JP4222860B2 - 有機複屈折膜を用いた偏光分離素子の作製方法およびそれに用いる有機複屈折膜の接着装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機複屈折膜を用いた偏光分離素子の作製方法および偏光分離素子の作製に用いる有機複屈折膜の接着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスク用ピックアップでは、光源からの入射光と光ディスクからの反射光（情報信号）を分離して、反射光（情報信号）を効率良く受光素子に導くために、偏光分離素子が用いられている。従来はプリズムを接着したビームスプリッタとλ/4波長板の組み合わせが用いられていたが、ピックアップの小型化、低コスト化の要求に答えるため、ビームスプリッタの替わりに薄型の偏光分離素子が実現できる複屈折回折格子型偏光分離素子が開発されつつある。
【０００３】
直交する２つの偏光成分を分離する方法として、特開２０００−７５１３０号公報（特許文献１）では透明基板上に入射光の異なる振動面に対し屈折率が異なる有機複屈折膜を接着し、かつ有機複屈折膜表面に周期的な凹凸格子（以降回折格子と略す）を形成した偏光分離素子が提案されている。なお有機複屈折膜は延伸した有機高分子材料からなる。
【０００４】
上記の偏光分離素子では、接着剤を用いて有機複屈折膜を透明基板へ接着する際に、回折格子面内で光路を一定とするため接着層厚さを均一にする必要がある。また接着層に気泡が入ると光（入射光、出射光）が気泡によって散乱し回折効率が低下するため、気泡を巻きこまないような接着法が必要となる。
以上の点から、透明基板へ有機複屈折膜を接着する方法は貼り合せ光ディスクで用いられているスピンナー法が適している。
【０００５】
図１４は、スピンナー法による貼り合せ光ディスクの作製工程を示す図である。以下、図面に沿って説明する。
【０００６】
（ａ）第１の基板６１のハブ６３をスピンテーブル１２のセンターピン６２にさし込み、スピンテーブル１２を回転させながら第１の基板６１に紫外線硬化型接着剤１３を滴下する。
【０００７】
（ｂ）第１の基板６１の周辺部まで紫外線硬化型接着剤が広がったらスピンテーブル１２の回転を停止する。
【０００８】
（ｃ）その後、第２の基板６４のハブ６３をスピンテーブル１２のセンターピン６２にさし込み、第１の基板６１と第２の基板６４を接触させる。
【０００９】
（ｄ）その後、スピンテーブル１２を回転させ、余分な紫外線硬化型接着剤を振り切り接着層厚さを一定にする。
【００１０】
（ｅ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、紫外線を照射して接着層を硬化し、貼り合せ光ディスクを完成させる。
【００１１】
しかしながら上記の方法を有機複屈折膜の接着に用いる場合、以下の問題が発生していた。
【００１２】
偏光分離素子は大きさが数mm程度であるため、直径4〜8インチの透明基板に接着された有機複屈折膜上に数10〜数100個の回折格子をアレイ状に作製し、その後、ダイシングによって個々の偏光分離素子を取り出している。また１枚の基板から取れる偏光分離素子数を多くするため、有機複屈折膜や透明基板にはハブを設けていない。
【００１３】
そのため、スピンテーブルに透明基板を真空吸着し、その後、透明基板の中央に紫外線硬化型接着剤を滴下し、スピンテーブルを回転して紫外線硬化型接着剤を透明基板全面に広げた後、有機複屈折膜を透明基板上に乗せるが、有機複屈折膜にはハブがないためセンターピンで固定できず、フリーな状態で透明基板に乗る。
【００１４】
一般的には載置装置を用いて有機複屈折膜を接着剤が塗付された透明基板に乗せているが、スピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心を正確に合せることは載置装置の機械的精度の点から困難な場合が多い。
【００１５】
そのため、有機複屈折膜がスピンテーブルの回転中心に乗っていない場合、図１５に示すような問題点が生じる。
【００１６】
すなわち、図１５（ａ）に示すように、有機複屈折膜１５、紫外線硬化型接着剤１３などがフリーな状態で透明基板１１に乗っているので、スピンテーブル１２を回転させると、同図（ｂ）に示すように、有機複屈折膜１５が位置ずれを起こす。位置ずれが大きい場合は透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出してしまう場合もある。
【００１７】
紫外線照射によって接着剤を硬化させた後、回折格子を形成するためリソグラフィー/ドライエッチングを行うが、装置内や工程間の搬送は基板側面をクランプして行うことが多く、透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出していると搬送が困難になり、回折格子を形成できない。
【００１８】
そのため、スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれが発生した場合は、スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を行い、再びスピンテーブルを回転させる必要があり、上記の作業を繰り返すことによって貼り合せ工程のスループットを遅くしていた。また上記の作業のため、スピンテーブルの回転時間を一定にすることができず、基板間で接着層厚さが不均一になる問題も発生していた。
【００１９】
スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれを起こさせないためには、回転中に紫外線を照射する方法が考えられる。例えば貼り合せ光ディスクの作製方法では、特開平１０−３３４５２１号公報（特許文献２）や特開２０００−２６８４１６号公報（特許文献３）において、回転中に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化する方法が提案されている。
【００２０】
【特許文献１】
特開２０００−７５１３０号公報
【特許文献２】
特開平１０−３３４５２１号公報
【特許文献３】
特開２０００−２６８４１６号公報
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した偏光分離素子の作製においては、接着層厚さを均一化するため基板をある程度回転させた後に紫外線を照射しなければならないので、有機複屈折膜の位置ずれを完全に防止することは困難であった。
【００２２】
また、載置装置に画像認識機能を搭載し、スピンテーブルの回転中心と有機複屈折膜の中心を検出し、載置装置にフィードバック制御を掛けながらスピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心を置く場合は、スピンテーブルの回転中心と有機複屈折膜の中心との位置合せ精度を著しく向上できるため、スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれが起きにくい。
【００２３】
しかしながら、載置装置にCCD等を用いた検出機構やフィードバック機構を設ける必要があり、載置装置のコストが上昇する。また貼り合せ時に位置検出やフィードバック制御を行うため、貼り合せ工程のスループットが低下してしまう。そのため安価に偏光分離素子を作製することが困難になる。
【００２４】
更に、接着層厚さを均一化するためスピンテーブルを回転させて余分な接着剤を振り切る工程において、振り切られた接着剤がミストとなり、有機複屈折膜上に付着してしまう。
【００２５】
また、有機複屈折膜は有機高分子材料からなるため、貼り合せ工程のハンドリング中に有機複屈折表面にキズが付き易かった。接着後、有機複屈折膜表面に回折格子を形成するため、フォトリソグラフィー/エッチングを行うが、有機複屈折膜表面に接着剤ミストやキズがあると、リソグラフィー工程でパターン欠陥が生じ、偏光分離素子の製造歩留を低下させていた。
【００２６】
本発明は、上記問題点を解消し、透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを抑制することができ、偏光分離素子の製造歩留を向上できる偏光分離素子の作製方法および偏光分離素子の作製に用いる有機複屈折膜の接着装置を提供することを目的としている。以下、請求項毎の目的を述べる。
【００２７】
ａ）請求項１〜４、６〜９記載の偏光分離素子の作製方法は、透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを抑制することを目的としている。
【００２８】
ｂ）請求項５、１０記載の偏光分離素子の作製方法は、基板周辺の接着剤を除去しつつ、人体に対しより安全な作業環境を構築することを目的としている。
【００３１】
ｃ）請求項１１および１２記載の有機複屈折膜の接着装置は、透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを起こすことを抑制できる装置の構造を提供することを目的としている。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、次のような特徴ある構成を採用した。以下、請求項毎の特徴を述べる。
【００３３】
（１）請求項１記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する回折格子形成工程を有する偏光分離素子の作製方法において、前記接着工程が、透明基板上に紫外線硬化型接着剤を塗布し、その後、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を乗せ、その後、透明基板を回転数Ｒ１で回転して有機複屈折膜表面を平坦化し、その後、透明基板の回転を止めた状態で有機複屈折膜を透明基板上で滑動して位置を修正した後、有機複屈折膜が位置ずれを生じない回転数Ｒ２で透明基板を回転しながら第１の紫外線を照射し、かつ紫外線硬化型接着剤を溶解し有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下して透明基板の周辺部の紫外線硬化型接着剤を除去する工程を有することを特徴としている。
【００３４】
（２）請求項２記載の発明は、請求項１において、回転数Ｒ２の回転中の第１の紫外線照射によって前記紫外線硬化型接着剤を半硬化し、回転数Ｒ２の回転終了後に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を完全硬化することを特徴としている。
【００３５】
（３）請求項３記載の発明は、請求項１または２において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、第１の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００３６】
（４）請求項４記載の発明は、請求項２において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、透明基板に第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００３７】
（５）請求項５記載の発明は、請求項１から４のいずれかにおいて、有機溶媒が、イソプロピルアルコールまたはアセトンの少なくとも一方であることを特徴としている。
【００３８】
（６）請求項６記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する回折格子形成工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、有機複屈折膜上に紫外線硬化型接着剤を塗布し、その後、紫外線硬化型接着剤上に透明基板を乗せ、その後、有機複屈折膜を回転数Ｒ１で回転し、その後、有機複屈折膜の回転を止めた状態で透明基板を有機複屈折膜上で滑動して位置を修正した後、透明基板が位置ずれを生じない回転数Ｒ２で有機複屈折膜を回転しながら第1の紫外線を照射し、かつ紫外線硬化型接着剤を溶解し有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧して透明基板の周辺部の紫外線硬化型接着剤を除去する工程を有することを特徴としている。
【００３９】
（７）請求項７記載の発明は、請求項６において、回転数Ｒ２の回転中の第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤を半硬化し、回転数Ｒ２の回転終了後に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を完全硬化することを特徴としている。
【００４０】
（８）請求項８記載の発明は、請求項６または７において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、第1の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００４１】
（９）請求項９記載の発明は、請求項７において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、透明基板に第2の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００４２】
（１０）請求項１０記載の発明は、請求項６から９のいずれかにおいて、有機溶媒が、イソプロピルアルコールまたはアセトンの少なくとも一方であることを特徴としている。
【００４６】
（１１）請求項１１および１２記載の発明は、有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、有機複屈折膜上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に透明基板を載置する載置機構と、紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ前記有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を前記透明基板に噴霧するリンス機構と、透明基板を有機複屈折膜上で滑動して位置を修正する位置調整機構と、透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構を有すること、およびスピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質であることを特徴としている。
【００４７】
【発明の実施の形態】
＜実施例１＞
図１は、本発明の偏光分離素子の作製方法の一例（実施例１）を示す図である。また、図2は、図１の（ｅ）の工程（位置ずれの修正）の詳細を説明する斜視図である。
【００４８】
以下、図１に沿って説明する。
（ａ）直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１をスピンテーブル１２に乗せ、真空吸着によってスピンテーブル１２に固定した。その後、スピンテーブルを10rpmで回転させながら、透明基板１１の中央部にディスペンサー１４を用いて粘度500cp、屈折率1.52のアクリル系の紫外線硬化型接着剤１３を3〜5g滴下した。
【００４９】
（ｂ）その後、スピンテーブル１２を400rpmで回転させ、透明基板１１全面に紫外線硬化型接着剤１３を広げ、その後、スピンテーブル１２の回転を停止した。
【００５０】
（ｃ）その後、有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せながら、載置装置（図示せず）を用いて紫外線硬化型接着剤１３の上に直径90mm、厚さ80μmの有機複屈折膜１５を乗せた。
【００５１】
（ｄ）その後、スピンテーブル１２を再び回転して３ステップで回転数を上昇して回転数をＲ１（1100rpm）として、余分な紫外線硬化型接着剤を振り切って有機複屈折膜１５表面を平坦化した。
【００５２】
（ｅ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止して有機複屈折膜１５の位置ずれを観察したところ、有機複屈折膜１５は透明基板１１からはみ出していた。その後、図２に詳細を示すように、調整治具１６を用い、有機複屈折膜１５のはみ出した側の端部を透明基板１１の中心側へ押し、透明基板１１上を滑るように有機複屈折膜１５を動かし（以後、滑るように動かすことを滑動と略す）、有機複屈折膜１５の位置修正（つまり透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出さない位置へ有機複屈折膜１５を動かす。概ね有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心に合せるのが良い）を行った。
【００５３】
（ｆ）その後、透明基板１１を回転数Ｒ２（Ｒ２=100rpm）で回転させながら、高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１３を徐々に硬化させた。
【００５４】
なお、上記（ｅ）の工程で有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合わせており、回転数Ｒ２が比較的小さいため、回転数Ｒ２の回転中には有機複屈折膜１５は位置ずれを起こさない。
【００５５】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解し有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒１７（本実施例ではイソプロピルアルコールを使用）を透明基板１１の端に滴下した。その結果、回転数Ｒ２の回転終了後では透明基板１１の周辺部の紫外線硬化型接着剤１３は除去されていた。
【００５６】
（ｇ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、有機複屈折膜１５を接着した透明基板（以下、基板と略す）１１をスピンテーブル１２から外し、有機複屈折膜１５上にポジレジストを0.8μmの厚さに塗布し、60℃30分のプリベークを行った。
【００５７】
その後、基板１１を縮小投影露光装置（NA＝0.45、σ＝0.6、波長；i線）に装着し、1.6μmのラインアンドスペースパターンのレチクルを用いて露光を行い、現像液NMD-3を用いて現像を行い、周期的なレジストパターンを完成させた。その後、前記のレジストパターン上に真空蒸着法によってAlを100nm成膜し、その後、レジストをアセトンを用いて剥離し、前記のレジストパターンを反転した金属パターンを作製した。
【００５８】
その後、ECRエッチング装置を用いて酸素ガスを主成分とするエッチングガス雰囲気中で前記の金属パターンをマスクとして有機複屈折膜を深さ3μmエッチングした。
【００５９】
その後、リン酸系のAlエッチング液を用いて金属パターンを除去し、凹凸格子（回折格子）１８を完成させた。
【００６０】
（ｈ）その後、平面加工したφ200mm、厚み50mmのステンレス台上に回折格子１８を形成した基板１１を置き、回折格子１８面に光学的に等方的なアクリル系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１９をマイクロシリンジで1.0mL滴下した。
【００６１】
そして、両面を光学研磨した直径100mm、厚み1mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）２０に乗せ、更に対向透明基板２０上に光学研磨した光学ガラスを乗せ、対向透明基板２０に100gf/cm2の圧力を加え、等方性接着剤１９を被接着面全面に広げた。
【００６２】
なお、対向透明基板２０の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。この状態で対向透明基板２０を通して紫外光を照射し、等方性接着剤１９を硬化した。
【００６３】
（ｉ）その後、ダイシングソー２１を用いて5mm角に切りだし、155個の偏光分離素子２２を完成させた。
【００６４】
なお、一部の基板はダイシングソー２１を用いて切断し後、断面を金属顕微鏡（倍率200倍）で観察し、基板直径方向での接着層厚さを測定した。図３は、その測定結果を示す図である。基板１１の直径方向での接着層厚さの変動は5μm以下であり、透明基板１１を回転して余分な紫外線硬化型接着剤１３を振り切り、有機複屈折膜１５の表面を平坦化した後は有機複屈折膜１５を透明基板１１上で滑るように動かしても接着層厚さ変動に影響はないことが判った。
【００６５】
本方法によると、（ｄ）の工程において透明基板１１の回転数Ｒ１の回転によって有機複屈折膜１５の位置ずれが発生した場合、（ｅ）の工程で透明基板１１の回転を止めた状態で透明基板１１上で有機複屈折膜１５を滑動させ、有機複屈折膜１５の位置を修正して透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出さないようにし、（ｆ）の工程で有機複屈折膜１５が位置ずれを起こさない回転数Ｒ２で透明基板１１を回転しながら第1の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤１３を硬化させるので、透明基板１１からの有機複屈折膜１５のはみ出しを完全に防止できる。その結果、次工程以降の装置間および装置内で搬送不良が起こらず、偏光分離素子２２の製造歩留を向上できる。
【００６６】
なお、回転数Ｒ２は透明基板１１の回転中に有機複屈折膜１５が位置ずれを起こさないようにするため、比較的低速な回転であることが望ましい。また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解するために透明基板１１の端に滴下した有機溶媒１７を振り切るためには、ある程度の回転数（Ｒ２）が必要になる。
【００６７】
本実施例で用いたイソプロピルアルコールは低粘度の溶媒なので、50rpmで回転させれば十分に振り切ることが可能なので、回転数Ｒ２としては50〜700rpm程度にするのが良い。
【００６８】
また、本方法によると、有機複屈折膜１５で被覆されていない透明基板１１周辺の紫外線硬化型接着剤１３は透明基板１１を回転数Ｒ２で回転させながら、紫外線硬化型接着剤１３を溶解しかつ有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒１７を滴下するため、透明基板１１の周辺部にある紫外線硬化型接着剤１３は除去される。
【００６９】
また、透明基板１１を回転数Ｒ２で回転させながら前記の有機溶媒１７を滴下するため、有機溶媒１７には遠心力がかかり、有機複屈折膜１５と透明基板１１とで挟まれた領域にある紫外線硬化型接着剤１３へは染み込みにくいので、第1の紫外線を照射することによって透明基板１１と有機複屈折膜１５は十分な接着面積が得られる。
【００７０】
その結果、基板１１の周辺部には接着剤１３が残らないので、装置間や装置内の搬送で基板周辺部をハンドリングしても基板周辺部からの異物発生が非常に少ないので、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【００７１】
なお、本実施例では有機溶媒１７としてイソプロピルアルコールを用いたが、前記の有機溶媒はイソプロピルアルコールに限定される必要は無く、紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒であれば何ら構わない。
【００７２】
しかしながら、貼り合せ光ディスク等の貼り合せ工程で広く用いられているアクリル系やエポキシ系紫外線硬化型接着剤は、イソプロピルアルコールとアセトンに非常によく溶解するので、有害性の大きい他の有機溶媒よりイソプロピルアルコールやアセトンを用いることは、作業環境や装置安全性の面からより望ましい。
【００７３】
また、本実施例では透明基板をスピンテーブルに固定した後、スピンテーブルを回転させながら透明基板の中央部にアクリル系紫外線硬化型接着剤を滴下して接着剤を塗布したが、接着剤の塗布方法は本方法に限定される必要は無く、透明基板をスピンテーブルに固定した後、スピンテーブルを停止したまま透明基板の中央部に接着剤を滴下し、その後、スピンテーブルを回転させて透明基板全面に接着剤を広げても良く、あるいはロールコート法、スプレー法等によって紫外線硬化型接着剤を塗布しても良い。
【００７４】
＜実施例2＞
図4は、本発明の偏光分離素子の作製方法の別の一例（実施例２）を示す図である。
【００７５】
（ａ）直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１をスピンテーブル１２に乗せ、真空吸着によってスピンテーブル１２に固定した。その後、スピンテーブル１２を10〜50rpmで回転させながら、透明基板１１の中央部にディスペンサー１４を用いて粘度600cp、屈折率1.58のエポキシ系の紫外線硬化型接着剤１３を3〜10g滴下した。
【００７６】
（ｂ）その後、スピンテーブル１２を300〜500rpmで回転させ、透明基板１１全面に紫外線硬化型接着剤１３を広げ、その後、スピンテーブル１２の回転を停止した。
【００７７】
（ｃ）その後、有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せながら、載置装置（図示せず）を用いて紫外線硬化型接着剤１３の上に直径90mm、厚さ80μmの有機複屈折膜１５を乗せた。
【００７８】
（ｄ）その後、スピンテーブル１２を再び回転（回転数Ｒ１=1000〜3000rpm）し、余分な紫外線硬化型接着剤１３を振り切って、有機複屈折膜１５の表面を平坦化した。
【００７９】
（ｅ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、図２に示すように、調整治具１６を用いて有機複屈折膜１５のはみ出した側の端部を透明基板１１の中心側へ押し、有機複屈折膜１５を透明基板１１上で滑動させ、有機複屈折膜１５の位置修正（つまり、透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出さない位置へ有機複屈折膜１５を動かす。概ね有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心に合せるのが良い）を行った。
【００８０】
（ｆ）その後、透明基板１１を回転数Ｒ２（Ｒ２=50〜700rpm）で回転させながら、高圧水銀灯を用いて第1の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤１３を徐々に半硬化させた。
【００８１】
なお、（ｅ）の工程で有機複屈折膜の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合わせており、回転数Ｒ２が比較的小さいため、回転数Ｒ２の回転中には有機複屈折膜１５は位置ずれを起こさない。
【００８２】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解し有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）を透明基板１１の端に滴下した。その結果、回転数Ｒ２の回転終了後では透明基板１１の周辺部の紫外線硬化型接着剤１３は除去されていた。
【００８３】
（ｇ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、有機複屈折膜１５側から高圧水銀灯を用いて第2の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１３を完全に硬化させた。
【００８４】
（ｈ）その後、透明基板１１をスピンテーブル１２から外して、実施例１と同様にリソグラフィー/エッチングによって有機複屈折膜１５上に回折格子１８を形成した。
【００８５】
（ｉ），（ｊ）その後、回折格子１８上に光学的に等方的なエポキシ系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１９塗布し、更に直径100mm、厚み1mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）２０を接着し、ダイシングソー２１を用いて5mm角に切りだし、個々の偏光分離素子２２を完成させた。
【００８６】
本方法によると、（ｄ）の工程において透明基板１１の回転数Ｒ１の回転によって有機複屈折膜１５の位置ずれが発生した場合、（ｅ）の工程で透明基板１１の回転を止めた状態で透明基板１１上で有機複屈折膜１５を滑動させ、有機複屈折膜１５の位置を修正して透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出さないようにし、（ｆ）の工程で有機複屈折膜１５が位置ずれを起こさない回転数Ｒ２で透明基板１１を回転させながら第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤１３を半硬化して有機複屈折膜１５を透明基板１１に固定するので、透明基板１１からの有機複屈折膜１５のはみ出しを完全に防止できる。その結果、次工程以降の装置間および装置内で搬送不良が起こらず、偏光分離素子２２の製造歩留を向上できる。
【００８７】
また、第1の紫外線照射によっても紫外線硬化型接着剤１３は完全硬化しない（紫外線硬化型接着剤は第1の紫外線照射によって半硬化する）ので、紫外線硬化型接着剤１３を溶解する有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）１７を滴下することによって、容易に除去することができ紫外線硬化型接着剤１３の残さがより少なくなる。
【００８８】
そのため装置間や装置内の搬送で透明基板１１周辺部をハンドリングしても基板周辺部からの異物発生はより少なくなるので、偏光分離素子２２の製造歩留をより向上できる。
【００８９】
＜実施例３＞
図５は、本発明の偏光分離素子の作製方法の別の一例（実施例３）を示す図である。
【００９０】
（ａ），（ｂ）実施例２と同様に、直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１をスピンテーブル１２に真空吸着してエポキシ系の紫外線硬化型接着剤１３を滴下し、スピンテーブル１２を回転させて紫外線硬化型接着剤１３を透明基板１１全面に均一に塗布した。
【００９１】
（ｃ）その後、一面に粘着剤１５１を介して有機高分子からなる保護膜１５２が付いた有機複屈折膜（直径90mm、厚さ100μm）１５を、その中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せ、かつ保護膜１５２の付いていない面を被接着面となるように、紫外線硬化型接着剤１３の上に載置装置を用いて乗せた。
【００９２】
（ｄ）その後、スピンテーブル１２を再び回転（回転数Ｒ１=1000〜3000rpm）し、余分な紫外線硬化型接着剤１３を振り切って、保護層１５２の表面を平坦化した。
【００９３】
（ｅ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、調整治具１６を用いて有機複屈折膜１５のはみ出した側の端部を透明基板１１の中心側へ押し、有機複屈折膜１５を透明基板１１上で滑動させ、有機複屈折膜１５の位置修正を行った。
【００９４】
（ｆ）その後、透明基板１１を回転数Ｒ２（Ｒ２=50〜700rpm）で回転させながら、高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤１３を徐々に半硬化させた。
【００９５】
なお、（ｅ）の工程で有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合わせており、回転数Ｒ２が比較的小さいため、回転数Ｒ２の回転中には有機複屈折膜１５は位置ずれを起こさない。
【００９６】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解し有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）１７を透明基板１１端に滴下した。その結果、回転数Ｒ２の回転終了後では透明基板１１の周辺部の紫外線硬化型接着剤１３は除去されていた。
【００９７】
なお、第１の紫外線は保護膜１５２での吸収を考慮して、実施例２の1.2倍のエネルギーで照射した。
【００９８】
（ｇ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、保護膜１５２上から高圧水銀灯を用いて第2の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１３を完全硬化させた。なお、第２の紫外線は保護膜１５２での吸収を考慮して、実施例2の1.2倍のエネルギーで照射した。
【００９９】
（ｈ）その後、ピンセットを用いて、有機複屈折膜１５から保護膜１５２を剥離した。
【０１００】
（ｉ）その後、透明基板１１をスピンテーブル１２から外して、実施例２と同様に、リソグラフィー/エッチングによって有機複屈折膜１５上に回折格子１８を形成した。
【０１０１】
（ｊ），（ｋ）その後、回折格子１８上に光学的に等方的なエポキシ系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１９を塗布して直径100mm、厚み1mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）２０を接着し、さらにダイシングソー２１を用いて5mm角に切りだし、個々の偏光分離素子２２を完成させた。
【０１０２】
本方法によると、透明基板１１と有機複屈折膜１５の貼り合せ工程は、有機複屈折膜１５の面のうち回折格子１８を形成する面を保護膜１５２で被覆した状態で行うことができるので、貼り合せ工程で回折格子１８を形成する面にキズや異物を付ける確率が著しく減少する。そのためリソグラフィー工程において異物やキズによって発生するパターン欠陥を低減でき、偏光分離素子２２の製造歩留を向上できる。
【０１０３】
＜実施例4＞
図６は、本発明の偏光分離素子の別の作製方法の一例（実施例４）を示す図である。
【０１０４】
（ａ），（ｂ）実施例２と同様に、直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１をスピンテーブル１２に真空吸着してエポキシ系紫外線硬化型接着剤１３を滴下し、スピンテーブル１２を回転させて紫外線硬化型接着剤１３を透明基板１１全面に均一に塗布した。
【０１０５】
（ｃ）その後、一面に粘着剤１５１を介して有機高分子からなる保護膜１５２が付いた有機複屈折膜（直径90mm、厚さ70μm）１５を、その中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せ、かつ保護膜１５２の付いていない面を被接着面となるように、紫外線硬化型接着剤１３の上に載置装置を用いて乗せた。
【０１０６】
（ｄ）その後、スピンテーブル１２を再び回転（回転数Ｒ１=1000〜3000rpm）し、余分な紫外線硬化型接着剤１３を振り切って、保護膜１５２表面を平坦化した。
【０１０７】
（ｅ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、調整治具１６を用いて有機複屈折膜１５のはみ出した側の端部を透明基板１１の中心側へ押し、有機複屈折膜１５を透明基板１１上で滑動させ、有機複屈折膜１５の位置修正を行った。
【０１０８】
（ｆ）その後、透明基板１１を回転数Ｒ２（Ｒ２=50〜700rpm）で回転させながら、高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤１３を徐々に半硬化させた。
【０１０９】
なお、（ｅ）の工程で有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合わせており、回転数Ｒ２が比較的小さいため、回転数Ｒ２の回転中には有機複屈折膜１５は位置ずれを起こさない。
【０１１０】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解し有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）１７を透明基板１１端に滴下した。その結果、回転数Ｒ２の回転終了後では透明基板１１の周辺部の紫外線硬化型接着剤１３は除去されていた。
【０１１１】
なお、第１の紫外線は保護膜１５２での吸収を考慮して、実施例2の1.2倍のエネルギーで照射した。
【０１１２】
（ｇ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、ピンセットを用いて有機複屈折膜１５から保護膜１５２を剥離した。
【０１１３】
（ｈ）その後、高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１３を完全硬化させた。
【０１１４】
（ｉ）その後、透明基板１１をスピンテーブル１２から外して、実施例2と同様に、リソグラフィー/エッチングによって有機複屈折膜１５上に回折格子１８を形成した。
【０１１５】
（ｊ），（ｋ）その後、回折格子１８上に光学的に等方的なエポキシ系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１９を塗布し、直径100mm、厚み1mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）２０を接着し、さらにダイシングソー２１を用いて5mm角に切りだし、個々の偏光分離素子２２を完成させた。
【０１１６】
本方法によっても、実施例３と同様に、有機複屈折膜１５の面のうち回折格子１８を形成する面を保護膜１５２で被覆した状態で行うことができ、貼り合せ工程で回折格子１８を形成する面にキズや異物を付ける確率を著しく低減できる。
【０１１７】
＜実施例５＞
図７は、本発明の偏光分離素子の作製方法の別の一例（実施例５）を示す図である。
【０１１８】
本実施例ではスピンテーブル１２の四隅にピン２３を立て、スピンテーブル１２に有機複屈折膜１５を固定し、紫外線硬化型接着剤１３を塗布後、有機複屈折膜１５よりも大きい透明基板１１を乗せる方法を採用している。
【０１１９】
以下、図７に沿って具体的に説明する。
（ａ）有機複屈折膜１５を固定するスピンテーブル１２の四隅に、図８に詳細を示したように、後述の（ｄ）の工程で紫外線硬化型接着剤１３の上に載置する透明基板１１の側面に近接ないし接触することが可能なピン２３を設けておく。本実施例では透明基板１１の直径方向で対向する４箇所にピン２３を設けた。
【０１２０】
なお、（ｂ）の工程では四隅のピンの上方から有機複屈折膜１５をスピンテーブル１２に乗せるようにする。
【０１２１】
（ｂ），（ｃ）直径90mm、厚さ90μmの有機複屈折膜１５をスピンテーブル１２に乗せ、真空吸着によってスピンテーブル１２に固定した。その後、屈折率1.52、粘度500cpのアクリル系の紫外線硬化型接着剤１３を有機複屈折膜全面に塗布した。
【０１２２】
（ｄ）その後、透明基板１１の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤１３の上に直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１を乗せた。
【０１２３】
その際、透明基板１１の側面はスピンテーブル１２に設けたピン２３と近接するようにしておく。
【０１２４】
（ｅ）その後、スピンテーブル１２に回転数Ｒ１（Ｒ１=1500rpm）の回転を与え、紫外線硬化型接着剤１３を振り切り、接着層厚さを透明基板１１面内で一定にした。なお、四隅のピン２３はスピンテーブル１２に固定されているため、回転数Ｒ１の回転によって有機複屈折膜１５と同時に回転することになる。
【０１２５】
（ｆ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、調整治具を用いて透明基板１１をずれた方向と反対方向に押し、透明基板１１を有機複屈折膜１５上で滑動させて透明基板１１の位置修正（つまり、透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出さない位置へ透明基板１１を動かす。概ね透明基板１１の中心をスピンテーブルの回転中心に合せるのが良い）を行った。
【０１２６】
（ｇ）その後、有機複屈折膜１５を回転数Ｒ２（Ｒ２=70rpm）で回転させながら、高圧水銀灯を用いて透明基板１１を通して第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤１３を徐々に半硬化させた。
【０１２７】
なお、（ｆ）の工程で透明基板１１の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合わせており、回転数Ｒ２が比較的小さいため、回転数Ｒ２の回転中には透明基板１１は位置ずれを起こさない。
【０１２８】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解し有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒（本実施例ではイソプロピルアルコールを使用）１７を透明基板１１端に噴霧した。その結果、回転数Ｒ２の回転終了後では透明基板１１の周辺部の紫外線硬化型接着剤１３は除去されていた。
【０１２９】
（ｈ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、透明基板１１側から高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１３を完全硬化させた。
【０１３０】
（ｉ）その後、透明基板１１をスピンテーブル１２から外して、実施例１と同様に、リソグラフィー/エッチングによって有機複屈折膜１５上に回折格子１８を形成した。
【０１３１】
（ｊ），（ｋ）その後、回折格子１８上に光学的に等方的なアクリル系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１９を塗布し、直径100mm、厚み1mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）２０を接着し、さらにダイシングソー２１を用いて5mm角に切りだし、個々の偏光分離素子２２を完成させた。
【０１３２】
本方法によると、（ｅ）の工程において有機複屈折膜１５の回転数Ｒ１の回転によって透明基板１１の位置ずれが発生した場合、（ｆ）の工程で有機複屈折膜１５の回転を止めた状態で、透明基板１１を有機複屈折膜１５上で滑動させ、透明基板１１の位置を修正して透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出さないようにし、（ｇ）の工程で透明基板１１が位置ずれを起こさない回転数Ｒ２で有機複屈折膜１５を回転しながら第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤１３を半硬化させて有機複屈折膜１５に透明基板１１を固定するので、透明基板１１からの有機複屈折膜１５のはみ出しを完全に防止できる。その結果、次工程以降の装置間および装置内で搬送不良が起こらず、偏光分離素子２２の製造歩留を向上できる。
【０１３３】
なお、回転数Ｒ２は有機複屈折膜１５の回転中に透明基板１１が位置ずれを起こさないようにするため、比較的低速な回転であることが望ましい。また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解するために透明基板１１端に噴霧した有機溶媒１７を振り切るためには、ある程度の回転数が必要になる。
【０１３４】
本実施例で用いたイソプロピルアルコールは低粘度の溶媒なので、50rpmで回転させれば十分に振り切ることが可能なので、回転数Ｒ２としては50〜700rpm程度にするのが良い。
【０１３５】
また、本方法によると、有機複屈折膜１５で被覆されていない透明基板１１周辺の紫外線硬化型接着剤１３は有機複屈折膜１５を回転数Ｒ２で回転させながら、紫外線硬化型接着剤１３を溶解しかつ有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒１７を噴霧するため、透明基板１１の周辺部にある紫外線硬化型接着剤１３は除去される。
【０１３６】
また、有機複屈折膜１５を回転数Ｒ２で回転させながら前記有機溶媒１７を噴霧するため、有機溶媒１７には遠心力がかかり、有機複屈折膜１５と透明基板１１とで挟まれた領域にある紫外線硬化型接着剤１３へは染み込みにくいので、第１の紫外線を照射することによって透明基板１１と有機複屈折膜１５は十分な接着面積が得られる。
【０１３７】
その結果、透明基板１１周辺部には紫外線硬化型接着剤１３が残らないので、装置間や装置内の搬送で透明基板１１の周辺部をハンドリングしても基板周辺部からの異物発生が非常に少ないので、偏光分離素子２２の製造歩留を向上できる。
【０１３８】
更に、スピンテーブル１２の四隅にピン２３を設けることにより、有機複屈折膜１５の回転数Ｒ１の回転によって透明基板１１が位置ずれを起こす場合、透明基板１１はスピンテーブル１２の四隅にピン２３に当たり位置ずれが大きくならない。そのため（e）の工程では透明基板１１を僅かに滑動するだけで位置修正が可能になるので、位置修正作業を簡便化できる。
【０１３９】
本実施例ではスピンテーブル１２の四隅にピン２３を設けているが、ピン２３を１〜３個あるいは５個以上設けた場合や、ピン２３を全く設なかった場合も本発明に含まれるものとする。
【０１４０】
本実施例ではスピンテーブル１２に有機複屈折膜１５を真空吸着で固定している。スピンテーブル１２の吸着穴が大きいと、有機複屈折膜１５が引きこまれてしまい表面に凹部ができて好ましくない。
【０１４１】
従って、スピンテーブル１２の吸着穴を有機複屈折膜１５の膜厚に対し十分小さくすることが望ましい。しかし機械加工の精度を考慮すると微細な穴を加工することは容易ではない。
【０１４２】
そこで、スピンテーブル１２の有機複屈折膜１５と接触する面をアルミナやジルコニア等の多孔質材料で作り、該多孔質材料のマイクロポアを吸着穴に用いると、有機複屈折膜１５が吸着穴に引き込まれず、接着後平滑な有機複屈折膜１５表面を得ることができる。
【０１４３】
なお、接着後の有機複屈折膜１５の平面性はスピンテーブル１２の平面性にも強く影響されるため、通常のスピンテーブル１２よりも吸着面の平面性を向上させておく必要がある。
【０１４４】
なお、本実施例では有機溶媒１７としてイソプロピルアルコールを用いたが、前記の有機溶媒１７はイソプロピルアルコールに限定される必要は無く、紫外線硬化型接着剤１３を溶解しかつ有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒であれば何ら構わない。
【０１４５】
しかしながら、貼り合せ光ディスク等の貼り合せ工程で広く用いられているアクリル系やエポキシ系の紫外線硬化型接着剤は、イソプロピルアルコールとアセトンに非常によく溶解するので、有害性の大きい他の有機溶媒よりイソプロピルアルコールやアセトンを用いることは、作業環境や装置安全性の面からより望ましい。
【０１４６】
また、本実施例では、有機複屈折膜１５をスピンテーブル１２に固定した後、スピンテーブル１２を回転させながら有機複屈折膜１５の中央部にアクリル系の紫外線硬化型接着剤１３を滴下する方法で接着剤を塗布したが、紫外線硬化型接着剤の塗布方法は本方法に限定される必要は無く、有機複屈折膜１５をスピンテーブル１２に固定した後、スピンテーブル１２を停止したまま有機複屈折膜１５の中央部に紫外線硬化型接着剤を滴下し、その後、スピンテーブルを回転させて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を広げても良く、あるいはロールコート法、スプレー法等によって紫外線硬化型接着剤を塗布しても良い。
【０１４７】
＜実施例６＞
図９は、本発明の偏光分離素子の作製方法の別の一例（実施例６）を示す図である。
【０１４８】
本実施例でもスピンテーブル１２の四隅にピン２３を立て、スピンテーブル１２に有機複屈折膜１５を固定し、紫外線硬化型接着剤１３を塗布後、有機複屈折膜１５よりも大きい透明基板１１を乗せる方法を採用している。
【０１４９】
以下、図面に沿って詳細に説明する。
（ａ）有機複屈折膜１５を固定するスピンテーブル１２の四隅に、後述する（ｄ）の工程で紫外線硬化型接着剤１３の上に載置する透明基板１１の側面に近接ないし接触することが可能なピン２３を設けておく。本実施例では透明基板１１の直径方向で対向する４箇所にピンを２３設けた。
【０１５０】
（ｂ），（ｃ）一面に粘着剤１５２を介して有機高分子からなる保護膜１５２が付いた有機複屈折膜（直径90mm、厚さ80μm）１５をスピンテーブル１２に乗せ、真空吸着によってスピンテーブル１２に固定した。
【０１５１】
その後、屈折率1.58、粘度600cpのエポキシ系の紫外線硬化型接着剤１３を有機複屈折膜１５の全面に塗布した。
【０１５２】
（ｄ）その後、透明基板１１の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤１３の上に直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１を乗せた。
その際、透明基板１１の側面はスピンテーブル１２に設けたピン２３と近接するようにしておく。
【０１５３】
（ｅ）その後、スピンテーブル１２に回転数Ｒ１（Ｒ１=1000〜3000rpm）の回転を与え、紫外線硬化型接着剤１３を振り切り、接着層厚さを透明基板１１面内で一定にした。なお、四隅のピン２３はスピンテーブル１２に固定されているため、回転数Ｒ１の回転によって有機複屈折膜５と同時に回転することになる。
【０１５４】
（ｆ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、調整治具１６を用いて、透明基板１１をずれた方向と反対方向に押し、透明基板１１を有機複屈折膜１５上で滑動させて透明基板１１の位置修正（つまり、透明基板１１から有機複屈折膜１５がはみ出さない位置へ透明基板１１を動かす。概ね透明基板１１の中心をスピンテーブル１２の回転中心に合せるのが良い）を行った。
【０１５５】
（ｇ）その後、有機複屈折膜５を回転数Ｒ２（Ｒ２=50〜700rpm）で回転させながら、高圧水銀灯を用いて透明基板１１を通して第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤１３を徐々に半硬化させた。
【０１５６】
なお、（ｆ）の工程で透明基板１１の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合わせており、回転数Ｒ２が比較的小さいため、回転数Ｒ２の回転中には透明基板１１は位置ずれを起こさない。
【０１５７】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤１３を溶解し有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）１７を透明基板１１端に噴霧した。その結果、回転数Ｒ２の回転終了後では透明基板１１の周辺部の紫外線硬化型接着剤１３は除去されていた。
【０１５８】
（ｈ）その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、透明基板１１側から高圧水銀灯を用いて第2の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１３を完全硬化させた。
【０１５９】
（ｉ）そして、スピンテーブル１２から基板を外し、ピンセットなどを用いて有機複屈折膜１５から保護膜１５２を剥離した。
【０１６０】
（ｊ）その後、リソグラフィー/エッチングによって有機複屈折膜１５上に回折格子１８を形成した。
【０１６１】
（ｋ），（ｌ）その後、回折格子１８上に光学的に等方的なエポキシ系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１９を塗布し、直径100mm、厚み1mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）２０を接着し、さらにダイシングソー２１を用いて5mm角に切りだし、個々の偏光分離素子２２を完成させた。
【０１６２】
本方法によると、有機複屈折膜１５の面のうち回折格子１８を形成する面を保護膜１５２で被覆した状態で行うことができる。特に実施例５と異なり、有機複屈折膜１５はスピンテーブル１２と接触しないので、回折格子１８を形成する有機複屈折膜１５表面にキズが付きにくく、スピンテーブル１２に有機複屈折膜１５を固定し紫外線硬化型接着剤１３を塗布後、有機複屈折膜１５よりも大きい透明基板１１を乗せる方法では有効である。
【０１６３】
なお、本実施例では、第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜１５から保護膜１５２を剥離したが、実施例３と同様に、第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤１３を半硬化させた後に、スピンテーブル１２から基板を外し、有機複屈折膜１５から保護膜１５２を剥離し、その後、透明基板１１に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤１３を完全硬化させても何ら構わない。
【０１６４】
以上のように実施例１〜６の作製方法によると、有機複屈折膜１５の接着工程では、透明基板１１からの有機複屈折膜１５のはみ出しを抑制できることから、偏光分離素子２２の製造歩留を向上することが可能となる。また、有機複屈折膜１５を透明基板１１に接着して作製しているので、従来のプリズムを接着したビームスプリッタよりも小さい偏光分離素子２２を作製できる。
【０１６５】
更に、本発明によると、回転数Ｒ１の回転後に１度のみ位置修正を行えば良いので、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（スピンテーブル１２の回転中に有機複屈折膜１５の位置ずれが発生した場合、スピンテーブル１２の回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜１５を戻し、再びスピンテーブル１２を回転させる）が不要となり、スピンテーブル１２の回転時間を一定にすることができ、透明基板１１間で接着層厚さを均一にできる。
【０１６６】
＜実施例７＞
図１０は、本発明に係る光ピックアップの構成の一例（実施例７）を示す図である。
【０１６７】
本実施例のＣＤ用光ピックアップでは、レーザーダイオード３１から出射された波長約780nmの光は、実施例２で作製した偏光分離素子３２、コリメータレンズ３３、λ/4波長板３４、対物レンズ３５を通った後、ＣＤ（図ではCD-RW）３６を照射する。
【０１６８】
また、ＣＤ３６の記録ピットからの反射光はλ/4波長板３４で直線偏光になった後、偏光分離素子３２で回折してフォトダイオード３７に導かれ、フォーカス検出、トラック検出、信号検出などが行われる。
【０１６９】
本実施例の光ピックアップを用い、ＣＤ−ＲＷに信号を記録し、その後、同じ光ピックアップで信号の再生を行った所、プリズムを接着したビームスプリッタとλ/4波長板を組み合わせた従来のＣＤ用光ピックアップと同等の再生信号出力を得ることができ、本実施例の光ピックアップが小形ながら従来の光ピックアップと同等の記録/再生特性を持つことが確認できた。
【０１７０】
また、本実施例のピックアップでは、偏光分離素子３２がプリズムを接着したビームスプリッタよりも小さくなっており、従来の光ピックアップと比較して小型化が実現できていた。
【０１７１】
＜実施例8＞
図１１は、本発明に係る光ピックアップの構成の別の一例（実施例８）を示す図である。
【０１７２】
本実施例のＤＶＤ用光ピックアップでは、レーザーダイオード４１から出射された波長約680nmの光は、上記実施例５で作製された偏光分離素子４２、コリメータレンズ４３、λ/4波長板４４、対物レンズ４５を通った後、ＤＶＤ４６を照射する。
【０１７３】
また、ＤＶＤ４６の記録ピットからの反射光は、λ/4波長板４４で直線偏光になった後、偏光分離素子４２で回折してフォトダイオード４７に導かれ、フォーカス検出、トラック検出、信号検出などが行われる。
【０１７４】
本実施例の光ピックアップを用い、ＤＶＤ−ＲＯＭから情報信号の再生を行った所、プリズムを接着したビームスプリッタとλ/4波長板を組み合わせた従来のＤＶＤ用光ピックアップと同等の信号出力を得ることができ、本実施例の光ピックアップが小形ながら従来の光ピックアップと同等の再生特性を持つことが確認できた。
【０１７５】
また、本実施例のピックアップでは、偏光分離素子４２がプリズムを接着したビームスプリッタよりも小さくなっているため、従来の光ピックアップよりも小型になっている。
【０１７６】
＜実施例9＞
図１２は、本発明に係る有機複屈折膜１５の接着装置の一例（実施例９）を示す図である。
【０１７７】
本実施例の接着装置は、透明基板１１を保持するスピンテーブル１２と、前記スピンテーブル１２を回転させるステッピングモーター等からなる回転機構（図示されていない）と、前記透明基板１１に紫外線硬化型接着剤１３を塗布するディスペンサー１４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム５４によって有機複屈折膜１５の両端を保持し、透明基板１１上に塗布された紫外線硬化型接着剤１３上に有機複屈折膜１５を載置する載置機構５５と、紫外線硬化型接着剤１３を溶解しかつ有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒を透明基板１１に滴下するリンス機構５６と、有機複屈折膜１５を透明基板１１上で滑動して位置を修正する位置調整機構（図では調整機構）５３と、透明基板１１に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプ等からなる紫外線照射機構５７から構成されている。
【０１７８】
なお、位置調整機構５３はXY方向に可動できる２軸アーム５２の先端に調整治具１６が付いており、調整治具１６で有機複屈折膜１５を押し、透明基板１１上を滑らせる機構になっている。
【０１７９】
次に、本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜１５を接着する手順を次に述べる。
直径165mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１をスピンテーブル１２に乗せ、真空吸着によってスピンテーブル１２に固定する。
【０１８０】
その後、透明基板１１の中央部にロボットアーム５１によってディスペンサー１４を移動し、スピンテーブル１２を20rpmで回転させながら、透明基板１１の中央部にディスペンサー１４を用いて屈折率1.58のエポキシ系の紫外線硬化型接着剤を10g滴下する。
【０１８１】
その後、ディスペンサー１４を元の位置に戻し、スピンテーブル１２を300rpmで回転させ、透明基板１１全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後、スピンテーブル１２の回転を停止する。
【０１８２】
その後、直径155mm、厚さ80μmの有機複屈折膜１５の両端を載置機構５５の２本の吸着アーム５４に真空吸着して保持し、載置機構５５を透明基板１１上へ移動し、有機複屈折膜１５の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せながら２本の吸着アーム５４の真空吸着を徐々に解除して紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜１５を乗せる。
【０１８３】
その後、載置機構５５を元の位置に戻し、スピンテーブル１２を1400rpmで回転（回転数Ｒ１）させ、紫外線硬化型接着剤を振り切り、有機複屈折膜１５表面を平坦化する。
【０１８４】
その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、２軸アーム５２を動かして調整治具１６を有機複屈折膜１５側面に突き当て、有機複屈折膜１５の位置ズレに応じて２軸アーム５２をXY方向に動かし有機複屈折膜１５を調整治具１６で押し、有機複屈折膜１５を透明基板１１上で滑るように動かし（滑動）、有機複屈折膜１５の位置修正を行う。
【０１８５】
位置調整終了後、位置調整機構５３を元の位置に戻す。その後、透明基板１１上に紫外線照射機構５７とリンス機構５６を移動し、スピンテーブル１２を80rpmで回転（回転数Ｒ２）させる。回転数Ｒ２の回転中に有機複屈折膜１５側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させる。
【０１８６】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）を透明基板１１端に滴下して、透明基板１１周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０１８７】
その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、リンス機構５６を元の位置に戻す。そして紫外線照射機構５７を用いて有機複屈折膜１５側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を完全硬化させる。
【０１８８】
紫外線照射終了後、紫外線照射機構５７を元の位置に戻し、スピンテーブル１２の真空吸着を解除して有機複屈折膜１５を接着した透明基板１１を取り出す。
【０１８９】
上記のように本実施例の接着装置を用いると、実施例２の偏光分離素子の作製方法を容易に実現できるため、透明基板１１の周辺部にある紫外線硬化型接着剤は除去され、かつ透明基板１１からの有機複屈折膜１５のはみ出しを防止できる。
【０１９０】
また、有機複屈折膜の一面に粘着剤を介して有機高分子からなる保護膜が付いた有機複屈折膜１５を用いると、実施例３、４の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０１９１】
更に、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤を完全硬化させると、実施例１の偏光分離素子の作製方法が実現できる。
【０１９２】
＜実施例１０＞
図１３は、本発明に係る有機複屈折膜１５の接着装置の一例（実施例１０）を示す図である。
【０１９３】
本実施例の接着装置は、有機複屈折膜１５を保持するスピンテーブル１２と、前記スピンテーブル１２を回転させるステッピングモーター等からなる回転機構（図示されていない）と、前記有機複屈折膜１５に紫外線硬化型接着剤を塗布するディスペンサー１４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム５４によって透明基板１１の両端を保持し、有機複屈折膜１５上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に透明基板１１を載置する載置機構５５と、透明基板１１側面に近接する４個のピン２３と、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜１５を溶解しない有機溶媒を透明基板１１に噴霧するリンス機構５６と、透明基板１１を有機複屈折膜１５上で滑動して位置を修正する位置調整機構（図では調整機構）５３と、透明基板１１に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプ等からなる紫外線照射機構５７から構成されている。
【０１９４】
次に、本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜を接着する手順を次に述べる。
直径155mm、厚さ80μmの有機複屈折膜１５をスピンテーブル１２に乗せ、真空吸着によってスピンテーブル１２に固定する。その後、有機複屈折膜１５の中央部にロボットアーム５１によってディスペンサー１４を移動し、スピンテーブル１２を20rpmで回転させながら、有機複屈折膜１５の中央部にディスペンサー１４を用いて屈折率1.58のエポキシ系紫外線硬化型接着剤を11g滴下する
【０１９５】
なお、スピンテーブル１２は有機複屈折膜１５と接触する面が多孔質のアルミナから形成されており、スピンテーブル１２表面の表面粗さは3um以下に抑えられている。
【０１９６】
その後、ディスペンサー１４を元の位置に戻し、スピンテーブル１２を300rpmで回転させ、有機複屈折膜１５全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後、スピンテーブル１２の回転を停止する。
【０１９７】
その後、直径165mm、厚さ1.5mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１１の両端を載置機構５５の２本の吸着アーム５４に真空吸着して保持し、載置機構５５を有機複屈折膜１５上へ移動し、透明基板１１の中心をスピンテーブル１２の回転中心にほぼ合せ、透明基板１１を斜めに倒すように吸着アーム５４を動かして紫外線硬化型接着剤の上に透明基板１１を乗せる。その際スピンテーブル１２に固定された複数のピン２３は透明基板１１側面と0.5〜1.5mmの距離で近接させるようにする。
【０１９８】
その後、載置機構５５を元の位置に戻し、スピンテーブル１２を３ステップで400rpmから900rpmに回転数を上げ（回転数Ｒ１=900rpm）、紫外線硬化型接着剤を振り切り、接着層厚さを面内で一定にした。
【０１９９】
その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、２軸アーム５２を動かして調整治具１６を透明基板１１側面に突き当て、透明基板１１の位置ズレに応じて２軸アーム５２をXY方向に動かし透明基板１１を調整治具１６で押し、有機複屈折膜１５上で透明基板１１を滑るように動かし（滑動）、透明基板１１の位置修正を行う。
【０２００】
位置調整終了後、位置調整機構５３を元の位置に戻す。その後、透明基板１１上に紫外線照射機構５７とリンス機構５６を移動し、スピンテーブル１２を100rpmで回転（回転数Ｒ２）させる。回転数Ｒ２の回転中に透明基板１１側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させる。
【０２０１】
また、回転数Ｒ２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）を透明基板１１端に噴霧して、透明基板１１周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０２０２】
その後、スピンテーブル１２の回転を停止し、リンス機構５６を元の位置に戻す。そして紫外線照射機構５７を用いて透明基板１１側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を完全硬化させる。
【０２０３】
紫外線照射終了後、紫外線照射機構を元の位置に戻し、スピンテーブル１２の真空吸着を解除して有機複屈折膜１５を接着した透明基板１１を取り出す。
【０２０４】
上記のように本実施例の接着装置を用いると、実施例５の偏光分離素子の作製方法を実現できるため、透明基板の周辺部にある紫外線硬化型接着剤は除去され、かつ透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを防止できる。
【０２０５】
また、有機複屈折膜の一面に粘着剤を介して有機高分子からなる保護膜が付いた有機複屈折膜を用いると、実施例6の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２０６】
【発明の効果】
以下、本発明の効果を請求項毎に述べる。
【０２０７】
ａ）請求項１記載の偏光分離素子の作製方法によれば、回転数Ｒ１の回転によって有機複屈折膜の位置ずれが発生した場合、透明基板の回転を止めた状態で透明基板上で有機複屈折膜を滑動し、有機複屈折膜の位置を修正して透明基板から有機複屈折膜がはみ出さないようにした後、有機複屈折膜が位置ずれを起こさない回転数Ｒ２で透明基板を回転しながら第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させるので、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを完全に防止できる。その結果、次工程以降の装置間および装置内で搬送不良が起こらず、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【０２０８】
また、有機複屈折膜で被覆されていない透明基板周辺の紫外線硬化型接着剤は透明基板を回転数Ｒ２で回転させながら、紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下するため、透明基板の周辺部にある紫外線硬化型接着剤は除去される。
【０２０９】
また、透明基板を回転数Ｒ２で回転させながら前記の有機溶媒を滴下するため、有機溶媒には遠心力がかかり、有機複屈折膜と透明基板とで挟まれた領域にある紫外線硬化型接着剤へは染み込みにくいので、第１の紫外線を照射することによって透明基板と有機複屈折膜は十分な接着面積が得られる。
【０２１０】
その結果、基板周辺部には接着剤が残らないので、装置間や装置内の搬送で基板周辺部をハンドリングしても基板周辺部からの異物発生が非常に少ないので、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【０２１１】
ｂ）請求項２記載の偏光分離素子の作製方法によれば、回転数Ｒ１の回転によって有機複屈折膜の位置ずれが発生した場合、透明基板の回転を止めた状態で透明基板上で有機複屈折膜を滑動し、有機複屈折膜の位置を修正して透明基板から有機複屈折膜がはみ出さないようにした後、有機複屈折膜が位置ずれを起こさない回転数Ｒ２で透明基板を回転しながら第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化して有機複屈折膜を透明基板に固定させるので、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを完全に防止できる。
【０２１２】
また、第１の紫外線照射によっても紫外線硬化型接着剤は完全硬化しないので、紫外線硬化型接着剤を溶解する有機溶媒を滴下することによって、容易に除去することができ紫外線硬化型接着剤の残さがより少なくなる。
【０２１３】
ｃ）請求項３記載の偏光分離素子の作製方法によれば、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、第１の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離する工程からなり、また請求項４に記載の偏光分離素子の作製方法によれば、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、透明基板に第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離する工程からなるため、透明基板と有機複屈折膜の貼り合せ工程は、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができるので、貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率が著しく減少する。
【０２１４】
そのため、リソグラフィー工程において異物やキズによって発生するパターン欠陥を低減でき、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【０２１５】
ｄ）請求項５記載の偏光分離素子の作製方法によれば、有機溶媒がイソプロピルアルコールまたはアセトンの少なくとも一方であるため、貼り合せ工程で広く用いられているアクリル系やエポキシ系紫外線硬化型接着剤を非常によく溶解するので、基板周辺に接着剤残が残りにくい。また、イソプロピルアルコールやアセトンは人体に対し有害性が小さいので、より安全な作業環境を構築できる。
【０２１６】
ｅ）請求項６記載の偏光分離素子の作製方法によれば、有機複屈折膜の回転数Ｒ１の回転によって透明基板の位置ずれが発生した場合、有機複屈折膜の回転を止めた状態で、透明基板を有機複屈折膜上で滑動して透明基板から有機複屈折膜がはみ出さないようにし、その後、透明基板が位置ずれを起こさない回転数Ｒ２で有機複屈折膜を回転しながら第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させるので、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを完全に防止できる。
【０２１７】
また、有機複屈折膜で被覆されていない透明基板周辺の紫外線硬化型接着剤は有機複屈折膜を回転数Ｒ２で回転させながら、紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧するため、透明基板の周辺部にある紫外線硬化型接着剤は除去される。
【０２１８】
また、有機複屈折膜を回転数Ｒ２で回転させながら前記の有機溶媒を噴霧するため、有機溶媒には遠心力がかかり、有機複屈折膜と透明基板とで挟まれた領域にある紫外線硬化型接着剤へは染み込みにくいので、第１の紫外線を照射することによって透明基板と有機複屈折膜は十分な接着面積が得られる。
【０２１９】
ｆ）請求項７記載の偏光分離素子の作製方法によれば、有機複屈折膜の回転数Ｒ１の回転によって透明基板の位置ずれが発生した場合、有機複屈折膜の回転を止めた状態で、透明基板を有機複屈折膜上で滑動して透明基板から有機複屈折膜がはみ出さないようにし、その後、透明基板が位置ずれを起こさない回転数Ｒ２で有機複屈折膜を回転しながら第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させて有機複屈折膜に透明基板を固定するので、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを完全に防止できる。
【０２２０】
また、第１の紫外線照射によっても紫外線硬化型接着剤は完全硬化しないので、紫外線硬化型接着剤を溶解する有機溶媒を噴霧することによって、容易に除去することができ紫外線硬化型接着剤の残さがより少なくなる。
【０２２１】
ｇ）請求項８および９記載の偏光分離素子の作製方法によれば、透明基板と有機複屈折膜の貼り合せ工程は、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができるので、貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率が著しく減少する。
【０２２２】
ｈ）請求項１０記載の偏光分離素子の作製方法によれば、有機溶媒がイソプロピルアルコールまたはアセトンの少なくとも一方であるため、貼り合せ工程で広く用いられているアクリル系やエポキシ系紫外線硬化型接着剤を非常によく溶解するので、基板周辺に接着剤残が残りにくい。また、イソプロピルアルコールやアセトンは人体に対し有害性が小さいので、より安全な作業環境を構築できる。
【０２２６】
ｉ）請求項１１および１２記載の有機複屈折膜の接着装置によれば、請求項６〜１０の偏光分離素子の作製方法を容易に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る偏光分離素子の作製法の一例（実施例１）を示す図である。
【図２】有機複屈折膜の位置ずれ修正を説明するための詳細図である。
【図３】実施例1での接着層膜厚を説明するための図である。
【図４】本発明に係る偏光分離素子の作製法の別の一例（実施例２）を示す図である。
【図５】本発明の偏光分離素子の作製法の別の一例（実施例３）を示す図である。
【図６】本発明に係る偏光分離素子の作製法の別の一例（実施例４）を示す図である。
【図７】本発明に係る偏光分離素子の作製法の別の一例（実施例５）を示す図である。
【図８】実施例5でのピン配置を示す図である。
【図９】本発明に係る偏光分離素子の作製法の別の一例（実施例６）を示す図である。
【図１０】本発明に係るＣＤ用光ピックアップの一例（実施例７）を示す図である。
【図１１】本発明に係るＤＶＤ用光ピックアップの一例（実施例８）を示す図である。
【図１２】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の一例（実施例９）を示す図である。
【図１３】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一例（実施例１０）を示す図である。
【図１４】貼り合せ光ディスクの作製工程を示す図である。
【図１５】有機複屈折膜の位置ずれを示す概念図である。
【符号の説明】
１１：透明基板（基板）、
１２：スピンテーブル、
１３：紫外線硬化型接着剤、
１４：ディスペンサー、
１５：有機複屈折膜、
１５１：粘着剤、
１５２：保護膜、
１６：調整治具、
１７：有機溶媒、
１８：回折格子（凹凸格子）、
１９：等方性接着剤、
２０：対向透明基板、
２１：ダイシングソー、
２２：偏光分離素子、
２３：ピン、
３１，４１：レーザーダイオード、
３２，４２：偏光分離素子、
３３，４３：コリメータレンズ、
３４，４４：λ/4波長板、
３５，４５：対物レンズ、
３６：ＣＤ（CD-RW）、
３７，４７：フォトダイオード、
４６：ＤＶＤ、
５１：ロボットアーム、
５２：２軸アーム、
５３：位置調整機構（調整機構）、
５４：吸着アーム、
５５：載置機構、
５６：リンス機構、
５７：紫外線照射機構。

Claims (12)

1. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する回折格子形成工程を有する偏光分離素子の作製方法において、前記接着工程が、透明基板上に紫外線硬化型接着剤を塗布し、その後、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を乗せ、その後、透明基板を回転数Ｒ１で回転して有機複屈折膜表面を平坦化し、その後、透明基板の回転を止めた状態で有機複屈折膜を透明基板上で滑動して位置を修正した後、有機複屈折膜が位置ずれを生じない回転数Ｒ２で透明基板を回転しながら第１の紫外線を照射し、かつ紫外線硬化型接着剤を溶解し有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下して透明基板の周辺部の紫外線硬化型接着剤を除去する工程を有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
2. 請求項１記載の偏光分離素子の作製方法において、前記回転数Ｒ２の回転中の第１の紫外線照射によって前記紫外線硬化型接着剤を半硬化し、前記回転数Ｒ２の回転終了後に第２の紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を完全硬化することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
3. 請求項１または２記載の偏光分離素子の作製方法において、前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、前記第１の紫外線を照射した後に前記有機複屈折膜から前記保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
4. 請求項２項記載の偏光分離素子の作製方法において、前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、前記透明基板に第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の偏光分離素子の作製方法において、前記有機溶媒がイソプロピルアルコールまたはアセトンの少なくとも一方であることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
6. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する回折格子形成工程を有する偏光分離素子の作製方法において、前記接着工程が、前記有機複屈折膜上に紫外線硬化型接着剤を塗布し、その後、前記紫外線硬化型接着剤上に透明基板を乗せ、その後、前記有機複屈折膜を回転数Ｒ１で回転し、その後、前記有機複屈折膜の回転を止めた状態で透明基板を有機複屈折膜上で滑動して位置を修正した後、前記透明基板が位置ずれを生じない回転数Ｒ２で前記有機複屈折膜を回転しながら第1の紫外線を照射し、かつ前記紫外線硬化型接着剤を溶解し前記有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧して前記透明基板の周辺部の紫外線硬化型接着剤を除去する工程を有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
7. 請求項６に記載の偏光分離素子の作製方法において、回転数Ｒ２の回転中の第１の紫外線照射によって前記紫外線硬化型接着剤を半硬化し、回転数Ｒ２の回転終了後に第２の紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を完全硬化することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
8. 請求項６または７記載の偏光分離素子の作製方法において、前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、前記第1の紫外線を照射した後に前記有機複屈折膜から前記保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
9. 請求項７項記載の偏光分離素子の作製方法において、前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に保護膜が付いており、前記透明基板に第2の紫外線を照射した後に前記有機複屈折膜から前記保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
10. 請求項６から９のいずれか１項に記載の偏光分離素子の作製方法において、前記有機溶媒が、イソプロピルアルコールまたはアセトンの少なくとも一方であることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
11. 有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、前記有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、前記有機複屈折膜上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に透明基板を載置する載置機構と、前記紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ前記有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を前記透明基板に噴霧するリンス機構と、前記透明基板を前記有機複屈折膜上で滑動して位置を修正する位置調整機構と、前記透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構を有することを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。
12. 請求項１１に記載の有機複屈折膜の接着装置において、
    前記スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質であることを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。

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