JP4229709B2 - 偏光分離素子の作製方法およびそのための有機複屈折膜の接着装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、偏光分離素子の作製技術に関し、特に透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを抑制することを可能にした偏光分離素子の作製方法、およびそのために用いる有機複屈折膜の接着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスク用ピックアップでは、光源からの入射光と光ディスクからの反射光（情報信号）を分離して、反射光（情報信号）を効率よく受光素子に導くために、偏光分離素子が用いられている。従来、プリズムを接着したビームスプリッタとλ/4波長板の組み合わせが用いられるのが普通であったが、ピックアップの小型化、低コスト化の要求に答えるため、ビームスプリッタの替わりに薄型の偏光分離素子が実現できる複屈折回折格子型偏光分離素子が開発されつつある。
【０００３】
直交する２つの偏光成分を分離する方法として、特開２０００−７５１３０号公報（特許文献１）では透明基板上に入射光の異なる振動面に対し屈折率が異なる有機複屈折膜を接着し、かつ有機複屈折膜表面に周期的な凹凸格子（以降回折格子と略す）を形成した偏光分離素子が提案されている。なお有機複屈折膜は延伸した有機高分子材料からなる。
【０００４】
上記の偏光分離素子では、接着剤を用いて有機複屈折膜を透明基板へ接着するが、接着の際に、回折格子面内で光路を一定とするため接着層厚さを均一にする必要がある。
【０００５】
また、接着層に気泡が入ると光（入射光、出射光）が気泡によって散乱し回折効率が低下するため、気泡を巻きこまないような接着法が必要となる。
【０００６】
以上の点から、透明基板へ有機複屈折膜を接着する方法は、貼り合せ光ディスクで用いられているスピンナー法が適している。
【０００７】
以下、スピンナー法について説明する。
図２１は、スピンナー法による貼り合せ光ディスクの作製工程を説明するための図である。
【０００８】
（１）第１の基板８０３のハブ８０４をスピンテーブル８０１のセンターピン８０２にさし込み、スピンテーブル８０１を回転させながら第１の基板８０３に紫外線硬化型接着剤８０５を滴下する（図２１（ａ）参照）。
【０００９】
（２）第１の基板８０３全面に紫外線硬化型接着剤８０５が広がったらスピンテーブル８０１の回転を停止する（図２１（ｂ）参照）。
【００１０】
（３）その後、第２の基板８０６のハブ８０７をスピンテーブル８０１のセンターピン８０２にさし込み、第１の基板８０３と第２の基板８０６を紫外線硬化型接着剤８０５を介して合わせる（図２１（ｃ）参照）。
【００１１】
（４）その後、スピンテーブル８０１を回転させ、余分な紫外線硬化型接着剤８０５を振り切り接着層の厚さを一定にする（図２１（ｄ）参照）。
【００１２】
（５）その後、スピンテーブル８０１の回転を停止し、紫外線（ＵＶ）８０８を照射して接着層を硬化し、貼り合せ光ディスク８０９を完成させる（図２１（ｅ）参照）。
【００１３】
ここで、上記の方法を有機複屈折膜の接着に用いる場合の構成例と、そのときに生じる問題点を述べる。
【００１４】
偏光分離素子は大きさが数mm程度であるため、直径4〜8インチの透明基板に接着された有機複屈折膜上に数10〜数100個の回折格子をアレイ状に作製し、その後ダイシングによって個々の偏光分離素子を取り出すようにしている。
【００１５】
また、１枚の基板から取れる偏光分離素子数を多くするため、有機複屈折膜や透明基板にハブは設けない構成を採用する。そのためスピンテーブルに透明基板を真空吸着し、その後透明基板の中央に紫外線硬化型接着剤を滴下し、スピンテーブルを回転して接着剤を透明基板全面に広げた後、有機複屈折膜を透明基板上に載せるが、有機複屈折膜にはハブがないためセンターピンで固定できず、フリーな状態で透明基板に載る。
【００１６】
一般的には載置装置を用いて有機複屈折膜を接着剤が塗布された透明基板に載せているが、スピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心を正確に合せることは載置装置の機械的精度の点から困難な場合が多い。
【００１７】
図２２は、スピンテーブル上の有機複屈折膜が位置ずれを起こす例を説明するための図である。図２２（ａ）に示すように、有機複屈折膜９０６が正確にスピンテーブル９０１の回転中心に載っていない場合にスピンテーブル９０１を回転させると、同図（ｂ）に示すように、有機複屈折膜９０６が位置ずれを起こすことになる。同図において、９０３は透明基板、９０５は紫外線硬化型接着剤を示している。
【００１８】
位置ずれが大きい場合は透明基板９０３から有機複屈折膜９０６がはみ出してしまう。紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤９０５を硬化させた後、回折格子を形成するためリソグラフィー／ドライエッチングを行うが、装置内や工程間の搬送は基板側面をクランプして行うことが多く、透明基板９０３から有機複屈折膜９０６がはみ出していると搬送が困難になり、回折格子を形成できない。
【００１９】
そのため、スピンテーブル９０１の回転中に有機複屈折膜９０６の位置ずれが発生した場合は、スピンテーブル９０１の回転を一旦停止し、適切な位置へ有機複屈折膜９０６を戻す作業を行った後、再びスピンテーブル９０１を回転させる必要があった。このような作業の繰り返しが、貼り合せ工程のスループットを悪くする原因になっていた。また上記作業を行った場合、スピンテーブル９０１の回転時間を一定にすることができず、基板間で接着層厚さが不均一になってしまうという問題を生じていた。
【００２０】
スピンテーブル９０１の回転中に有機複屈折膜９０６の位置ずれを起こさないためには、回転中に紫外線を照射する方法が考えられる。例えば、貼り合せ光ディスクの作製方法としては、特開平１０−３３４５２１号公報（特許文献２）や特開２０００−２６８４１６号公報（特許文献３）において、回転中に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化する方法が提案されている。しかしながら偏光分離素子の作製においては、基板をある程度回転させて接着層厚さを均一化させた後に紫外線を照射しなければならないので、有機複屈折膜の位置ずれを完全に防止することは困難であった。
【００２１】
また、載置装置に画像認識機能を搭載し、スピンテーブルの回転中心と有機複屈折膜の中心を検出し、載置装置にフィードバック制御を掛けながらスピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心を置く方法は、スピンテーブルの回転中心と有機複屈折膜の中心との位置合せ精度を著しく向上できるため、スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれが起きにくいという利点がある。
【００２２】
しかしながら、この構成を採用する場合、載置装置にCCDなどを用いた検出機構やフィードバック機構を設ける必要があり、載置装置のコストが上昇するという問題がある。また、貼り合せ時に位置検出やフィードバック制御を行うため、貼り合せ工程のスループットが低下してしまうという問題も生じる。そのため、この方法では安価に偏光分離素子を作製することが困難となる。
【００２３】
【特許文献１】
特開２０００−７５１３０号公報
【特許文献２】
特開平１０−３３４５２１号公報
【特許文献３】
特開２０００−２６８４１６号公報
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を解消することを目的とするものである。以下、請求項毎の目的を述べる。
【００２５】
請求項１〜１２に記載の発明は、透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを抑制することが可能な偏光分離素子の作製方法を提供することを目的としている。
【００２７】
請求項１３〜１６に記載の発明は、透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを起こすことを抑制できる有機複屈折膜の接着装置を提供することを目的としている。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る偏光分離素子の作製方法，および有機複屈折膜の接着装置は、各々、次の如き構成を採用したことを特徴としている。以下、請求項毎の構成の特徴を記す。
【００２９】
ａ）請求項１記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて透明基板全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、該紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、透明基板に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴としている。
【００３０】
ｂ）請求項２記載の発明は、請求項１記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能としたことを特徴としている。
【００３１】
ｃ）請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００３２】
ｄ）請求項４記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、透明基板に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴としている。
【００３３】
ｅ）請求項５記載の発明は、請求項４記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能としたことを特徴としている。
【００３４】
ｆ）請求項６記載の発明は、請求項４または５記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００３５】
ｇ）請求項７記載の発明は、請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、透明基板に第１の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００３６】
ｈ）請求項８記載の発明は、請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、透明基板に第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００３７】
ｉ）請求項９記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、有機複屈折膜に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップとを有することを特徴としている。
【００３８】
ｊ）請求項１０記載の発明は、請求項９記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００３９】
ｋ）請求項１１記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴としている。
【００４０】
ｌ）請求項１２記載の発明は、請求項１１記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００４３】
ｍ）請求項１３記載の発明は、透明基板を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、透明基板に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、透明基板上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置する載置機構と、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと、紫外線硬化型接着剤は溶解するが有機複屈折膜は溶解しない有機溶媒を透明基板に滴下するリンス機構と、前記透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構を有することを特徴としている。
【００４４】
ｎ）請求項１４記載の発明は、請求項１５記載の有機複屈折膜の接着装置において、複数のピンをスピンテーブルから着脱する着脱機構を有することを特徴としている。
【００４５】
ｏ）請求項１５記載の発明は、有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、有機複屈折膜に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置する載置機構と、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンと、紫外線硬化型接着剤は溶解するが有機複屈折膜は溶解しない有機溶媒を透明基板に噴霧するリンス機構と、有機複屈折膜に紫外線を照射する紫外線照射機構を有することを特徴としている。
【００４６】
ｐ）請求項１６記載の発明は、請求項１５記載の有機複屈折膜の接着装置において、スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質であることを特徴としている。
【００４７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて詳細に説明する。
【００４８】
＜実施例１＞
図１および図２は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例を示す図である。
以下、図１（ａ）〜（ｇ）および図２（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【００４９】
（１）まず、図１（ａ）に示すように、透明基板を固定するスピンテーブル１に、後述する図１（ｄ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン２を設けておく。本実施例では、図３（ａ）の正面図、および同図（ｂ）の側面図に詳しく示した如く、有機複屈折膜６の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所にピン２を設けている。
【００５０】
（２）次に、図１（ｂ）に示すように、直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板３をスピンテーブル１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル１に固定する。なお、図１（ｂ）の工程では有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所のうちピンを設けなかった１箇所から透明基板３をスピンテーブル１に載せるようにする。
【００５１】
その後スピンテーブル１を10〜50rpmで回転させながら、透明基板３の中央部にディスペンサー４を用いて屈折率1.52、粘度500cpのアクリル系紫外線硬化型接着剤５を3〜10g滴下する。その後、スピンテーブル１を150〜500rpmで回転（第１の回転）させ、透明基板３の全面に紫外線硬化型接着剤５を広げる。
【００５２】
（３）その後、図１（ｃ）に示すように、スピンテーブル１の回転を停止する。
【００５３】
（４）その後、図１（ｄ）に示すように、有機複屈折膜の中心をスピンテーブルの回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤５の上に直径90mm、厚さ100μmの有機複屈折膜６を載せる。その際、有機複屈折膜６の側面は、スピンテーブル１に設けた複数のピン２と近接ないし接触するようにしておく。
【００５４】
（５）その後、図１（ｅ）に示すように、スピンテーブル１を1000〜3000rpmで回転(第２の回転)させ、紫外線硬化型接着剤５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にして有機複屈折膜表面を平坦化する。
【００５５】
なお、複数のピン２は、スピンテーブル１に設けられているので、第２の回転によって透明基板３と同時に回転することになる。
【００５６】
（６）さらに、図１（ｆ）に示すように、第２の回転中にイソプロピルアルコールなどの有機溶剤７を滴下しながら紫外線硬化型接着剤５を振り切り、有機複屈折膜表面をさらに平坦化する。
【００５７】
なお、イソプロピルアルコールは、本実施例に用いたアクリル系紫外線硬化型接着剤５を溶解しかつ有機複屈折膜６を溶解しない有機溶媒である。本工程を行うことにより透明基板３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤５はイソプロピルアルコールなどの有機溶剤７によって除去される。
【００５８】
（７）その後、図１（ｇ）に示すように、スピンテーブル１の回転を停止し、有機複屈折膜６側から高圧水銀灯を用いて紫外線８を照射し、紫外線硬化型接着剤５を硬化させる。
【００５９】
（８）その後、有機複屈折膜６を接着した透明基板（以下、単に基板と略す）３をスピンテーブル１から外し、有機複屈折膜６上にポジレジストを0.7μmの厚さに塗布し、60℃30分のプリベークを行う。その後、基板３を縮小投影露光装置（NA＝0.30、波長；i線）に装着し、0.9μmラインアンドスペースパターンのレチクルを用いて露光を行い、現像液NMD-3（商標）を用いて現像を行い、周期的なレジストパターンを完成させる。
【００６０】
その後、前記のレジストパターン上に真空蒸着法によってAlを60nm蒸着し、引き続きアセトンを用いてレジストを溶解してAlのリフトオフを行い、レジストパターンを反転させたAlパターンを完成させる。
【００６１】
その後、NLD （Neutral Loop Discharge）エッチング装置を用い酸素ガスを主成分とするエッチングガス雰囲気中で、前記のAlパターンを金属マスクにして有機複屈折膜６を深さ３μmエッチングする。
【００６２】
その後、リン酸系のAlエッチング液を用いてAlパターンを除去し、図２（ａ）に示すように、凹凸格子（以後回折格子９と記述）を完成させる。
【００６３】
（９）その後、平面加工したφ200mm、厚み50mmのステンレス台上に回折格子を形成した基板を置き、回折格子面に光学的に等方的なアクリル系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１１をマイクロシリンジで1.0mL滴下する。
【００６４】
次に、両面を光学研磨した直径100mm、厚み1.5mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）１２を前記の等方性接着剤１１を塗布した基板面に載せ、さらに対向透明基板１２上に光学研磨した光学ガラスを載せ、対向透明基板１２に１00gf/cm２の圧力を加え、等方性接着剤１１を被接着面全面に広げる。図２（ｂ）は、このときの構成を示す図である。
【００６５】
なお、対向透明基板１２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。この状態で対向透明基板１２を通して紫外線を照射し、等方性接着剤１１を硬化させる。
【００６６】
（１０）その後、図２（ｃ）に示すように、ダイシングソー１３を用いて5mm角に切りだし、複数の偏光分離素子１４を完成させる。
【００６７】
本方法によると、紫外線硬化型接着剤５上に載置された有機複屈折膜６の側面には近接ないし接触して複数のピン２がある。そのためスピンテーブル１の回転中心に有機複屈折膜６の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピン２を設けた３方向については有機複屈折膜はその側面がピン２に接触する位置までしかずれないため、大きな位置ずれが生じるのを抑制できる。その結果、紫外線を照射して接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を小さくすることができる。
【００６８】
また、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（有機複屈折膜の位置ずれが起きた場合スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を繰り返す）を少なくすることができるため、貼り付け工程のスループットが向上する。
【００６９】
なお、本実施例では有機複屈折膜６の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所にピン２を設けたが、対向する２箇所のみに設けた場合は、少なくとも有機複屈折膜の位置ずれを２方向で制限できるため、本実施例の効果よりも小さいが、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を低下させることができる。
【００７０】
本実施例では、透明基板３をスピンテーブル１に固定した後、スピンテーブル１を回転させながら透明基板３の中央部にアクリル系紫外線硬化型接着剤５を滴下して接着剤を塗布するようにしたが、紫外線硬化型接着剤５の塗付方法は本方法に限定される必要は無く、透明基板３をスピンテーブル１に固定した後、スピンテーブル１を停止したまま透明基板３の中央部に紫外線硬化型接着剤５を滴下し、その後スピンテーブル１を回転させて透明基板３全面に紫外線硬化型接着剤を広げるようにしてもよい。
【００７１】
また、本実施例では紫外線硬化型接着剤５を室温で塗布したが、紫外線硬化型接着剤５の粘度が高く有機複屈折膜６を載せた時に紫外線硬化型接着剤５の流動性が乏しく、気泡を巻き込みやすい時は、紫外線硬化型接着剤５が塗布された透明基板３をオーブンや赤外線ランプなどを用いて加熱し、紫外線硬化型接着剤５の粘度を低下させた後に有機複屈折膜６を載せるのがよい。または紫外線硬化型接着剤５をオーブンなどを用いて予め加熱し、紫外線硬化型接着剤５の粘度を低下させた後に、第１の回転によって透明基板３に塗布し、その後に有機複屈折膜６を載せるのがよい。
【００７２】
＜実施例２＞
図４および図５は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図４（ａ）〜（ｈ）および図５（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【００７３】
（１）本実施例では、透明基板を固定するスピンテーブルに、後述する図４（ｃ）の工程で紫外線硬化型接着剤２５の上に載置する有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン２２をスピンテーブル２１から着脱可能に設けておく。本実施例では、図６（ａ）の正面図、および同図（ｂ）の側面図に詳しく示した如く、有機複屈折膜２６の直径方向で対向する４箇所にピン２２を設けている。
【００７４】
（２）まず、図４（ａ）および（ｂ）に示すように、直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板２３をスピンテーブル２１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル２１に固定する。その後、実施例１と同様に屈折率1.52、粘度500cpのアクリル系紫外線硬化型接着剤２５を透明基板２３の全面に塗布する。
【００７５】
（３）その後、図４（ｃ）に示すように、有機複屈折膜２６の中心をスピンテーブル２１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤２５の上に直径90mm、厚さ85μmの有機複屈折膜２６を載せる。
【００７６】
（４）その後、図４（ｄ）に示すように、有機複屈折膜２６の側面と近接ないし接触するように、スピンテーブル２１に着脱可能な複数のピン２２を設置・固定する。
【００７７】
（５）その後、図４（ｅ）に示すように、スピンテーブル２１に第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤２５を振り切り、接着層の厚さを透明基板２３面内で一定にして有機複屈折膜２６の表面を平坦化する。
なお、本実施例では、着脱可能な複数のピン２２は、スピンテーブル２１に固定されているため、第２の回転によって透明基板２３と同時に回転することになる。
【００７８】
（６）さらに、図４（ｆ）に示すように、第２の回転中にイソプロピルアルコールなどの有機溶剤２７を滴下しながら紫外線硬化型接着剤２５を振り切り、透明基板２３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤２５を除去する。
【００７９】
（７）その後、図４（ｇ）に示すように、スピンテーブル２１の回転を停止し、着脱可能な複数のピン２２をスピンテーブル２１から外して退避させる。
【００８０】
（８）その後、図４（ｈ）に示すように、有機複屈折膜２６側から高圧水銀灯を用いて紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤２５を硬化させる。
【００８１】
（９）その後、有機複屈折膜を接着した透明基板（以下基板と略す）をスピンテーブル２１から外し、実施例１と同様にレジストパターンを形成し、その後Al蒸着後、リフトオフによって金属パターンを形成し、NLDを用い有機複屈折膜を3μmの深さでエッチングし、Alを除去して、図５（ａ）に示すように回折格子２９を作製する。
【００８２】
（１０）その後、平面加工したステンレス台上に回折格子２９を形成した基板を置き、回折格子面にアクリル性の等方性接着剤３１を滴下し、両面を光学研磨した直径100mm、厚み1.5mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）３２を接着した。図５（ｂ）は、このときの構成を示す図である。なお、対向透明基板３２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【００８３】
（１１）その後、図５（ｃ）に示すように、ダイシングソー３３を用いて5mm角に切りだし、複数の偏光分離素子３４を完成させる。
【００８４】
本方法によると、透明基板２３を回転するスピンテーブル２１から着脱可能な複数のピン２２が紫外線硬化型接着剤２５上に載置された有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触する構造となる。
【００８５】
そのため、図４（ａ）の工程ではスピンテーブル２１から複数のピン２２を外した状態で透明基板２３をスピンテーブル２１に載せることができ、透明基板２３をスピンテーブル２１に載せるための空間を確保するため、ピン２２を設置できない領域を作る必要がない。上記実施例１では有機複屈折膜６の直径方向で対向する４箇所のうちピンを設けなかった１箇所が、透明基板をスピンテーブルに載せるための空間を確保するためにピン設置ができない領域に相当している。
【００８６】
その結果、図４（ｄ）の工程で、有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触するようにスピンテーブル２１に複数のピン２２を設置する場合、ピン２２の配置を自由に設定することができる。
【００８７】
本実施例では、実施例１よりもピン数を１個多くすることができ、有機複屈折膜２６の直径方向で対向する４箇所にピン２２を設けることができる。そのため、有機複屈折膜２６の中心がスピンテーブル２１の回転中心に完全には載っていない場合においても、全てのピン２２が有機複屈折膜２６の側面に接触している時は第２の回転中に有機複屈折膜２６の位置ずれを防止することができる。
【００８８】
また、ピン２２が有機複屈折膜２６の側面に近接している時は、上記実施例１と比較してピン２２を設けられない禁止領域がないため、第２の回転中に有機複屈折膜が最大で動ける範囲はピン２２と有機複屈折膜２６の側面との距離に限定され、大きな位置ずれを抑制できる。
【００８９】
その結果、紫外線２８を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を飛躍的に減少させることができる。
【００９０】
また、従来、位置ずれ修正のため行われていた作業（有機複屈折膜の位置ずれが起きた場合スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を繰り返す）が必要ないため、貼り付け工程のスループットが向上する。
【００９１】
さらに、位置ずれ修正のため行われていた作業を無くすことによって、スピンテーブルの回転時間を一定にでき、基板間で接着層厚さを均一にすることが可能となる。
【００９２】
よって偏光分離分離素子の製造コストを低減でき、かつ基板間で均一な接着層を実現できることから素子間でも接着層厚さの変動を抑制でき、均一な接着層を持つ偏光分離素子が作製できる。
【００９３】
なお、有機複屈折膜の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限するためには、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンは少なくとも有機複屈折膜のＸ，Ｙの４方向に設けることが望ましい。
【００９４】
本実施例では、図６に示すように、有機複屈折膜２６の直径方向で対向する４箇所にピン２２を設けているため、最小のピン数で有機複屈折膜２６の位置ずれをＸ，Ｙの４方向で抑制できる。
【００９５】
なお、有機複屈折膜の直径方向で対向する６箇所以上に着脱可能なピンを設けた場合も有機複屈折膜の位置ずれを少なくともＸ，Ｙ方向の両方向で抑制できるので、本実施例と同等の効果を期待できる。
【００９６】
また、本実施例では、有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触するように複数のピン２２を設けたが、有機複屈折膜２６を紫外線硬化型接着剤２５に置く位置精度を考えると、有機複屈折膜２６の側面が複数のピン２２と接触するように置くためには、載置装置に画像認識機能を搭載し、スピンテーブル２１の回転中心と有機複屈折膜２６の中心を検出し、載置装置にフィードバック制御を掛けながらスピンテーブル２１の回転中心に有機複屈折膜２６の中心を置く必要があり、載置装置のコストアップにつながる。
【００９７】
そのため、載置装置のコストを抑えるためには、有機複屈折膜２６の側面に近接して複数のピン２２を設けることが望ましい。複数のピン２２と有機複屈折膜２６の側面との間隔は有機複屈折膜２６を置く載置装置の位置精度や有機複屈折膜２６や透明基板２３の大きさおよび公差などを考慮して決めればよいが、一般的には有機複屈折膜２６を置く載置装置の位置精度は容易に1mm以下に抑え込めるので、1.5mm程度にしておけば、第２の回転中に有機複屈折膜２６が位置ずれを起こしても最大で1.5mmまでしか動かないので、有機複屈折膜２６が透明基板２３からはみ出すことがほとんど起こらなくなる。
【００９８】
＜実施例３＞
図７および図８は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図７（ａ）〜（ｇ）および図８（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【００９９】
（１）本実施例では、実施例１と同様、図７（ａ）に示すように、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所に、紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン４２をスピンテーブル４１に設けておく。
【０１００】
（２）次に、図７（ｂ）（ｃ）に示すように、直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板４３をスピンテーブル４１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル４１に固定する。
【０１０１】
（３）その後、実施例１と同様、屈折率1.52、粘度500cpのアクリル系紫外線硬化型接着剤４５を透明基板４３の全面に塗布する。
【０１０２】
（４）その後、図７（ｄ）に示すように、有機複屈折膜４６の中心をスピンテーブル４１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤４５の上に直径90mm、厚さ100μmの有機複屈折膜４６を載せる。その際、有機複屈折膜４６の側面はスピンテーブル４１に設けた複数のピン４２と近接ないし接触するようにしておく。
【０１０３】
（５）その後、図７（ｅ）に示すように、スピンテーブル４１に第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤４５を振り切り、接着層厚さを透明基板４３の面内で一定にして有機複屈折膜４６の表面を平坦化する。
【０１０４】
なお、本実施例では、複数のピン４２はスピンテーブル４１に固定されているため、第２の回転によって透明基板と同時に回転することになる。
【０１０５】
（６）さらに、図７（ｆ）に示すように、第２の回転中にイソプロピルアルコールなどの有機溶剤４７を滴下し、かつ有機複屈折膜４６側から高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射する。本工程により、透明基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤４６は除去され、かつ紫外線硬化型接着剤４６は半硬化する。
【０１０６】
ここで、第１の紫外線の照射エネルギーを実施例１，２の紫外線の照射エネルギーよりも小さくし、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤４５は重合して高粘度化する程度に留め、紫外線硬化型接着剤４６の完全硬化は、後述する図７（ｇ）の工程における第２の紫外線照射によって行われるようにしておく。
【０１０７】
（７）その後、図７（ｇ）に示すように、スピンテーブル４１の回転を停止し、有機複屈折膜４６側から高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤４６を完全硬化させる。
【０１０８】
（８）その後、有機複屈折膜を接着した透明基板（以下基板と略す）をスピンテーブルから外し、実施例１と同様にレジストパターンを形成し、その後Al蒸着後、リフトオフによって金属パターンを形成し、NLDを用い有機複屈折膜を3μmの深さでエッチングし、Alを除去して回折格子を作製する。図８（ａ）はこのときの構成を示す図である。
【０１０９】
（９）その後、平面加工したステンレス台上に回折格子４９を形成した基板を置き、回折格子面にアクリル性の等方性接着剤５１を滴下し、両面を光学研磨した直径100mm、厚み1.5mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）５２を接着する。図８（ｂ）はそのときの構成を示す図である。なお、対向透明基板５２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【０１１０】
（１０）その後、図８（ｃ）に示すように、ダイシングソー５３を用いて5mm角に切りだし、複数の偏光分離素子５４を完成させる。
【０１１１】
本方法によると、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、透明基板の回転によって起こる有機複屈折膜の位置ずれを低減できる。その結果有機複屈折膜が透明基板からはみ出す頻度が小さくなり、本実施例のようにＸ，Ｙの３方向にのみピンを設けた場合も実施例１よりも搬送不良を低減でき、より低コストで偏光分離素子を実現できる。
【０１１２】
なお、接着層の厚さを均一化するため、透明基板を回転させてある程度接着剤を振り切らなければならないので、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤が急激に高粘度することを避ける必要があり、第１の紫外線は比較的弱い強度で照射するのがよく、本実施例では実施例１，２の紫外線の１／１０の強度で紫外線照射を行った。
【０１１３】
また、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤が高粘度化するため、接着層厚さを均一化するためには透明基板の回転数を最適化する必要があり、本実施例では第１の紫外線照射中に３ステップで回転数を上昇させた。
【０１１４】
なお、本実施例では有機溶媒の滴下中に透明基板を回転しながら第１の紫外線を照射したが、第１の紫外線の照射は本実施例に限定される必要はなく、前記の有機溶媒の滴下前、あるいは滴下後の一方であっても何ら構わず、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤が重合を始め、高粘度化して有機複屈折膜との固着力が大きくなればよい。
【０１１５】
＜実施例４＞
図９および図１０は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図９（ａ）〜（ｈ）および図１０（ａ）〜（ｄ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【０１１６】
（１）本実施例では、実施例２と同様、透明基板６３を固定するスピンテーブル６１に、図９（ｃ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピンをスピンテーブルから着脱可能にしておく。本実施例でも複屈折膜の直径方向で対向する４箇所にピンを設けている。
【０１１７】
（２）まず、図９（ａ）に示すように、直径100mm、厚さ1.0mmショット製光学ガラスBK7からなる透明基板６３をスピンテーブル６１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル６１に固定する。その後、スピンテーブル６１を10〜50rpmで回転させながら、透明基板６３の中央部にディスペンサー６４を用いて屈折率1.58、粘度600cpのエポキシ系紫外線硬化型接着剤６５を3〜8g滴下する。
【０１１８】
その後、スピンテーブル６１を150〜500rpmで回転（第１の回転）させ、透明基板６３全面に紫外線硬化型接着剤６５を広げる。その後、スピンテーブル６１の回転を停止する。図９（ｂ）はこのときの構成を示す図である。
【０１１９】
（３）その後、図９（ｃ）示すように、有機高分子からなる保護膜６６１が粘着剤６６２によって貼りついた有機複屈折膜（直径90mm、厚さ70μm）６６を、その中心をスピンテーブル６１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤６５の上に載せる。
【０１２０】
（４）その後、図９（ｄ）に示すように、有機複屈折膜６６の側面と近接ないし接触するように、スピンテーブル６１に着脱可能な複数のピン６２を設置・固定する。
【０１２１】
（５）その後、図９（ｅ）に示すように、スピンテーブル６１に1000〜3000rpmの第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤６５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にして有機複屈折膜６６の表面を平坦化する。
【０１２２】
なお、着脱可能な複数のピン６２はスピンテーブル６１に固定されているため、第２の回転によって透明基板６３と同時に回転することになる。
【０１２３】
（６）さらに、図９（ｆ）に示すように、第２の回転中にアセトンなどの有機溶剤６７を滴下し、かつ保護膜６６１上から高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射する。本工程により、透明基板６３周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤６５は除去され、かつ紫外線硬化型接着剤６５は半硬化する。
【０１２４】
ここで、第１の紫外線の照射エネルギーは紫外線硬化型接着剤６５が硬化に必要なエネルギーの１／５〜１／１０程度とし、紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤６５は重合して高粘度化する程度に留め、紫外線硬化型接着剤６５の完全硬化は図１０（ａ）の工程での第２の紫外線照射によって行われるようにしておく。
【０１２５】
なお、アセトンは保護膜６６１および有機複屈折膜６６を溶解せず、未硬化の紫外線硬化型接着剤６５を溶解する有機溶媒である。
【０１２６】
（７）その後、図９（ｇ）に示すように、スピンテーブル６１の回転を停止し、着脱可能な複数のピン６２をスピンテーブル６１から外して退避させる。
【０１２７】
（８）その後、図９（ｈ）に示すように、ピンセットなどを用いて、有機複屈折膜６６から保護膜６６１を剥離する。
【０１２８】
（９）次に、図１０（ａ）に示すように、有機複屈折膜６６側から高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤６５を完全硬化させる。
【０１２９】
（１０）その後、有機複屈折膜６６を接着した透明基板（以下基板と略す）６３をスピンテーブル６１から外し、有機複屈折膜６６上にスパッタ法によりCrを成膜し、その後、ポジレジストを0.7μmの厚さに塗布し、60℃30分のプリベークを行う。
【０１３０】
その後、基板を縮小投影露光装置（NA＝0.30、波長；i線）に装着し、0.8μmラインアンドスペースパターンのレチクルを用いて露光を行い、現像液NMD-3（商標）を用いて現像し、ポストべークを行って周期的なレジストパターンを完成させた。
【０１３１】
その後、硝酸セリウムアンモニウム系のエッチング液でCrをエッチングし、その後レジストをアセトンで除去してCrパターンを完成させる。その後NLDエッチング装置を用い酸素ガスを主成分とするエッチングガス雰囲気中で、前記のCrパターンを金属マスクにして有機複屈折膜を深さ3μmエッチングする。
【０１３２】
その後、前記のエッチング液を用いてCrパターンを除去し、凹凸格子（以後回折格子と記述）６９を完成させる。図１０（ｂ）はそのときの構成を示す図である。
【０１３３】
（１１）その後、平面加工したφ200mm、厚み50mmのステンレス台上に回折格子６９を形成した基板を置き、回折格子面に光学的に等方的なエポキシ系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）７１をマイクロシリンジで1.0mL滴下する。そして両面を光学研磨した直径100mm、厚み1.5mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）７２を前記の等方性接着剤７１を塗布した基板面に載せ、さらに対向透明基板７２上に光学研磨した光学ガラスを載せ、対向透明基板７２に100gf/cm２の圧力を加え、等方性接着剤７１を被接着面全面に広げる。図１０（ｃ）は、このときの構成を示す図である。
【０１３４】
なお、対向透明基板７２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。この状態で対向透明基板７２を通して紫外線を照射し、等方性接着剤７１を硬化する。
【０１３５】
（１２）その後、図１０（ｄ）に示すように、ダイシングソー７３を用いて5mm角に切りだし、複数の偏光分離素子７４を完成させる。
【０１３６】
本方法によると、第２の回転中は有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜がついている。そのため有機複屈折膜の剛性が大きくなり、第２の回転中に有機複屈折膜側面がピンに接触した場合も有機複屈折膜が変形しにくくなり、有機複屈折膜表面の平面性が改善される期待がある。
【０１３７】
また、保護膜を比較的厚くしてピンが保護膜のみに接触するようにした場合は、ピン先端とスピンテーブルとの間隔を大きくでき、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。
【０１３８】
さらに、透明基板と有機複屈折膜の貼り合せ工程は、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができる。そのため貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率が著しく減る。
【０１３９】
特に、スピンテーブルを回転させ、紫外線硬化型接着剤を振り切る工程において、振り切った接着剤のミストが回折格子を形成する面に付着しない（接着剤のミストは保護膜に付き、紫外線照射後保護膜を剥離するので、有機複屈折膜表面には残らない）ため、異物の非常に少ない有機複屈折膜表面を実現できる。そのためリソグラフィー工程において異物やキズによって発生するパターン欠陥を低減でき、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【０１４０】
また、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、透明基板の回転によって起こる有機複屈折膜の位置ずれをさらに低減できる。
【０１４１】
＜実施例５＞
図１１および図１２は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図１１（ａ）〜（ｈ）および図１２（ａ）〜（ｄ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【０１４２】
（１）本実施例では、実施例４と同様に透明基板８３を固定するスピンテーブル８１に、図１１（ｃ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピンをスピンテーブルから着脱可能にしておく。本実施例でも複屈折膜の直径方向で対向する４箇所にピンを設けている。
【０１４３】
（２）まず、図１１（ａ）に示すように、直径100mm、厚さ1.0mmショット製光学ガラスBK7からなる透明基板８３をスピンテーブル８１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル８１に固定する。その後、実施例４と同様に屈折率1.58、粘度600cpのエポキシ系紫外線硬化型接着剤８５を透明基板８３の全面に塗布する。図１１（ｂ）はこのときの構成を示す図である。
【０１４４】
（３）その後、図１１（ｃ）に示すように、有機高分子からなる保護膜８６１が粘着剤８６２によって付着された有機複屈折膜（直径90mm、厚さ70μm）８６を、その中心をスピンテーブル８１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤８５の上に載せる。
【０１４５】
（４）その後、図１１（ｄ）に示すように、有機複屈折膜８６の側面と近接ないし接触するように、スピンテーブル８１に着脱可能な複数のピン８２を設置・固定する。
【０１４６】
（５）その後、図１１（ｅ）に示すように、スピンテーブルに1000〜3000rpmの第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤８５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にして有機複屈折膜８６の表面を平坦化する。なお、着脱可能な複数のピン８２はスピンテーブル８１に固定されているため、第２の回転によって透明基板８３と同時に回転することになる。
【０１４７】
（６）さらに、図１１（ｆ）に示すように、第２の回転中にアセトンなどの有機溶媒８７を滴下し、かつ保護膜８６１上から高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射する。本工程により、透明基板８３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤８５は除去され、かつ紫外線硬化型接着剤８５は半硬化する。
【０１４８】
（７）その後、図１１（ｇ）に示すように、スピンテーブル８１の回転を停止し、着脱可能な複数のピン８２をスピンテーブル８１から外して退避させる。
【０１４９】
（８）そして、図１１（ｈ）に示すように、保護膜８６１側から高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤８５を完全硬化させる。なお、第２の紫外線のエネルギーは保護膜８６１での吸収を考慮し、実施例４の1.1倍とする。
【０１５０】
（９）その後、図１２（ａ）に示すように、ピンセットなどを用いて、有機複屈折膜８６から保護膜８６１を剥離する。
【０１５１】
（１０）その後、有機複屈折膜８６を接着した透明基板（以下基板と略す）８３をスピンテーブル８１から外し、実施例４と同様にして有機複屈折膜８６に回折格子８９を形成する。図１２（ｂ）は、このときの構成を示す図である。
【０１５２】
（１１）その後、平面加工したφ200mm、厚み50mmのステンレス台上に回折格子を形成した基板を置き、回折格子面にエポキシ系等方性接着剤９１を滴下し、両面を光学研磨した直径100mm、厚み1.5mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）９２を接着する。図１２（ｃ）は、このときの構成を示す図である。なお、対向透明基板９２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【０１５３】
（１２）その後、図１２（ｄ）に示すように、ダイシングソー９３を用いて5mm角に切りだし、複数の偏光分離素子９４を完成させる。
【０１５４】
本方法によっても、実施例４と同様に以下の効果が期待できる。すなわち、第２の回転中は有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜がついているため、有機複屈折膜の剛性を大きくできる。
【０１５５】
また、保護膜を比較的厚くしてピンが保護膜のみに接触するようにした場合は、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。
さらに、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で透明基板と有機複屈折膜の貼り合せを行うことができる。
【０１５６】
＜実施例６＞
図１３および図１４は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
【０１５７】
ドライエッチング装置では基板周辺をクランプし、裏面から冷却しながらエッチングを行う場合が多い。クランプ時の応力によって有機複屈折膜や接着剤などの比較的軟質な材料は破壊する懸念があるため、基板周辺では有機複屈折膜を無くして透明基板を直接クランプすることが望ましい。そのため透明基板は有機複屈折膜よりも大きくして行う場合が多い。そのため、上記実施例１〜５においてはφ90mmの有機複屈折膜とφ100mmの透明基板を接着している。
【０１５８】
本実施例では、スピンテーブルに有機複屈折膜を固定し、紫外線硬化型接着剤を塗布後、有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載せる方法を採用する。そのためスピンテーブルに設ける複数のピンのうち対向する２本のピンの間隔は透明基板の直径と同等以上にしているので、透明基板よりも小さい有機複屈折膜は複数のピンに邪魔されず、スピンテーブルの上に載置することができる。
【０１５９】
以下、図１３（ａ）〜（ｇ）および図１４（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【０１６０】
（１）図１３（ａ）に示すように、有機複屈折膜を固定するスピンテーブル１０１に、図１３（ｄ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する透明基板１０３の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン１０２を設けておく。本実施例では、図１５（ａ）の正面図、および同図（ｂ）の側面図に詳しく示した如く、透明基板１０３の直径方向で対向する４箇所にピン１０２を設けている。
【０１６１】
（２）図１３（ｂ）の工程では複数のピン１０２の上方から有機複屈折膜１０６をスピンテーブル１０１に載せるようにする。直径90mm、厚さ100μmの有機複屈折膜１０６をスピンテーブル１０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル１０１に固定する。その後、実施例５と同様に屈折率1.58、粘度600cpのエポキシ系紫外線硬化型接着剤１０５を有機複屈折膜１０６の全面に塗布する。
（３）図１３（ｃ）は、このときの構成を示す図である。
【０１６２】
（４）その後、図１３（ｄ）に示すように、透明基板の中心をスピンテーブル１０１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤１０５の上に直径100mm、厚さ1.0mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板１０３を載せる。その際、透明基板１０３の側面はスピンテーブル１０１に設けた複数のピン１０２と近接ないし接触するようにしておく。
【０１６３】
（５）その後、図１３（ｅ）に示すように、スピンテーブル１０１に第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤１０５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にする。なお、複数のピン１０２はスピンテーブル１０１に固定されているため、第２の回転によって有機複屈折膜１０６と同時に回転することになる。
【０１６４】
（６）さらに、図１３（ｆ）に示すように、第２の回転中にスピンテーブル１０１の下方からアセトンなどの有機溶媒１０７を噴霧し、透明基板１０３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤１０５を除去する。
【０１６５】
（７）その後、図１３（ｇ）に示すように、スピンテーブル１０１の回転を停止し、透明基板１０３側から高圧水銀灯を用いて紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１０５を硬化させる。
【０１６６】
（８）その後、有機複屈折膜１０６を接着した透明基板（以下基板と略す）１０３をスピンテーブル１０１から外し、実施例４と同様に有機複屈折膜１０６に回折格子１０９を形成する。図１４（ａ）は、このときの構成を示す図である。
【０１６７】
（９）その後、平面加工したφ200mm、厚み50mmのステンレス台上に回折格子１０９を形成した透明基板１０３を置き、回折格子面にエポキシ系等方性接着剤１１１を滴下し、両面を光学研磨した直径100mm、厚み1.5mmの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスBK7）１１２を接着する。図１４（ｂ）は、このときの構成を示す図である。なお、対向透明基板１１２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【０１６８】
（１０）その後、図１４（ｃ）に示すように、ダイシングソー１１３を用いて5mm角に切りだし、複数の偏光分離素子１１４を完成させる。
【０１６９】
本方法によると、スピンテーブル１０１に設ける複数のピン１０２は透明基板１０３と近接ないし接触している。そのため、対向する２本のピン１０２の間隔は透明基板１０３の直径と同等以上となる。そのため、透明基板１０３よりも小さい有機複屈折膜１０６は複数のピン１０２に邪魔されず、スピンテーブル１０１の上に載置することが可能となり、スピンテーブル１０１から着脱できないピン１０２であっても、上記実施例１，３とは異なりピン１０２の配置を自由に設定できる。
【０１７０】
なお、透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限するためには、透明基板の側面に近接ないし接触する複数のピンは少なくとも透明基板のＸ，Ｙの４方向でピンを設けることが望ましい。
【０１７１】
本実施例では、図１５（ａ）の正面図および図１５（ｂ）の側面図に示すように、透明基板の直径方向で対向する４箇所にピンを設けているため、最小のピン数で透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向で抑制できた。
【０１７２】
なお、透明基板の直径方向で対向する６箇所以上に着脱可能なピンを設けた場合も透明基板の位置ずれを少なくともＸ，Ｙ方向の両方向で抑制できるので、本実施例と同等の効果を期待できる。
【０１７３】
また、本実施例では透明基板の側面に近接ないし接触するように複数のピンを設けたが、透明基板を紫外線硬化型接着剤に置く位置精度を考えると、透明基板が複数のピンと接触するように置くためには、載置装置に画像認識機能を搭載し、スピンテーブルの回転中心と透明基板の中心を検出し、載置装置にフィードバック制御を掛けながらスピンテーブルの回転中心の中心を置く必要があり、載置装置のコストアップにつながる。
【０１７４】
そのため、載置装置のコストを抑えるためには、透明基板の側面に近接して複数のピンを設けることが望ましい。複数のピンと透明基板との間隔は透明基板を置く載置装置の位置精度や透明基板や有機複屈折膜の大きさや公差などを考慮して決めればよいが、一般的には載置装置の位置精度は容易に1mm以下に抑え込めるので、1.5mm程度にしておけば、第２の回転中に透明基板が位置ずれを起こしても最大で1.5mmまでしか動かないので、有機複屈折膜が透明基板からはみ出すことがほとんど起こらない。
【０１７５】
なお、本実施例ではスピンテーブルに有機複屈折膜を真空吸着で固定している。スピンテーブルの吸着穴が大きいと、有機複屈折膜が引きこまれてしまい表面に凹部ができて好ましくない。
【０１７６】
よって、スピンテーブルの吸着穴を有機複屈折膜の膜厚に対し十分小さくすることが望ましい。しかし機械加工の精度を考慮すると微細な穴を加工することは容易ではない。
【０１７７】
そこで、スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面をアルミナやジルコニアなどの多孔質材料で作り、多孔質材料のマイクロポアを吸着穴に用いると、有機複屈折膜が吸着穴に引き込まれず、接着後平滑な有機複屈折膜表面を得ることができる。
【０１７８】
なお、接着後の有機複屈折膜の平面性はスピンテーブルの平面性にも強く影響されるため、通常のスピンテーブルよりも吸着面の平面性を向上させておく必要がある。
【０１７９】
また、実施例３のように、第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化し、その後、有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化すると、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、有機複屈折膜の回転によって起こる透明基板の位置ずれをさらに低減できるのでより望ましい。
【０１８０】
また、実施例４〜５のように有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜をつけて接着を行ってもよい。
【０１８１】
以上のように、実施例１〜６の作製方法によると、有機複屈折膜の接着工程では透明基板から有機複屈折膜がはみ出す頻度を小さくできることから、偏光分離素子の製造歩留を向上することが可能となる。また有機複屈折膜を透明基板に接着して作製しているので、従来のプリズムを接着したビームスプリッタよりも小さい偏光分離素子を作製できる。
【０１８２】
特に、実施例２，４，５，６の作製方法によると、有機複屈折膜ないし透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向で制限できるため、有機複屈折膜が透明基板からはみ出すことがほとんどない。
【０１８３】
そのため、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれが発生した場合、スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻し、再びスピンテーブルを回転させる）が不要となる。その結果スピンテーブルの回転時間を一定にすることができ、基板間で接着層厚さを均一にできる。
【０１８４】
＜実施例７＞
図１６は、本発明に係る光ピックアップの構成の一実施例を示す図である。
本実施例におけるＣＤ用光ピックアップでは、レーザーダイオード２０１から出射された波長780nmの光は実施例１の偏光分離素子２０２とコリメータレンズ２０３、λ/4波長板２０４、対物レンズ２０５を通った後、ＣＤ（図はＣＤ−ＲＷの例）２０６を照射し、ＣＤ２０６の記録ピットからの反射光はλ/4波長板２０４で直線偏光になった後、偏光分離素子２０２で回折してフォトダイオード２０７に導かれ、フォーカス検出、トラック検出、信号検出が行われる。
【０１８５】
本実施例の光ピックアップを用い、ＣＤ−ＲＷに信号を記録し、その後、同じ光ピックアップで信号の再生を行ったところ、プリズムを接着したビームスプリッタとλ/4波長板を組み合わせた従来のＣＤ用光ピックアップと同等の再生信号出力を得ることができ、本実施例の光ピックアップが従来の光ピックアップと同等の記録／再生特性を持つことが確認できた。
【０１８６】
また、本実施例のピックアップでは、偏光分離素子２０２が、プリズムを接着した従来型のビームスプリッタよりも小さくなっており、従来の光ピックアップと比較して小型化が実現できた。
【０１８７】
＜実施例８＞
図１７は、本発明に係る光ピックアップの構成の別の一実施例を示す図である。
本実施例におけるＤＶＤ用光ピックアップでは、レーザーダイオード３０１から出射された波長680nmの光は実施例３の偏光分離素子３０２とコリメータレンズ３０３、λ/4波長板３０４、対物レンズ３０５を通った後、ＤＶＤ３０６を照射し、ＤＶＤ３０６の記録ピットからの反射光はλ/4波長板３０４で直線偏光になった後、偏光分離素子３０２で回折してフォトダイオード３０７に導かれ、フォーカス検出、トラック検出、信号検出が行われる。
【０１８８】
本実施例の光ピックアップを用い、ＤＶＤ−ＲＯＭから情報信号の再生を行ったところ、プリズムを接着したビームスプリッタとλ/4波長板を組み合わせた従来のＤＶＤ用光ピックアップと同等の信号出力を得ることができ、本実施例の光ピックアップが従来の光ピックアップと同等の再生特性を持つことが確認できた。
【０１８９】
また、本実施例のピックアップでは、偏光分離素子３０２がプリズムを接着した従来型のビームスプリッタよりも小さくなっているため、従来の光ピックアップよりも小型になっている。
【０１９０】
＜実施例９＞
図１８は、本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の一実施例を示す図である。本実施例における有機複屈折膜の接着装置は、透明基板４０３を保持するスピンテーブル４０１と、前記スピンテーブル４０１を回転させるステッピングモーターなどからなる回転機構（図示されていない）と、前記透明基板４０３に紫外線硬化型接着剤を塗布するディスペンサー４０４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム４０７によって有機複屈折膜４０６の両端を保持し、透明基板４０３上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜４０６を載置する載置機構４０８と、有機複屈折膜４０６側面に近接ないし接触する複数のピン４０２と、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜４０６を溶解しない有機溶媒を透明基板４０３に滴下するリンス機構４０９と透明基板４０３に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプなどからなる紫外線照射機構４１０から構成されている。
【０１９１】
なお、スピンテーブル４０１上において複数のピン４０２は、有機複屈折膜４０６の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所に設置・固定している。
【０１９２】
本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜を接着する手順を次に述べる。
有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所のうちピンを設けなかった１箇所から、直径165mm、厚さ1.5mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板４０３をスピンテーブル４０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル４０１に固定する。その後、透明基板４０３の中央部にロボットアーム４０５によってディスペンサー４０４を移動し、スピンテーブル４０１を20rpmで回転させながら、透明基板４０３の中央部にディスペンサー４０４を用いて屈折率1.52のアクリル系紫外線硬化型接着剤を10g滴下する。
【０１９３】
その後、ディスペンサー４０４を元の位置に戻し、スピンテーブル４０１を300rpmで回転（第１の回転）させ、透明基板４０３全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後、スピンテーブル４０１の回転を停止する。
【０１９４】
その後、直径155mm、厚さ80μmの有機複屈折膜４０６の両端を載置機構４０８の２本の吸着アーム４０７に真空吸着して保持し、載置機構４０８を透明基板４０３上へ移動し、有機複屈折膜４０６の中心をスピンテーブル４０１の回転中心にほぼ合せながら２本の吸着アーム４０７の真空吸着を徐々に解除して紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜４０６を載せる。その際、スピンテーブル４０１に固定された複数のピン４０２は有機複屈折膜４０６側面と0.5〜1.5mmの距離で近接させるようにする。
【０１９５】
その後、載置装置４０８を元の位置に戻し、スピンテーブル４０１を３ステップで400rpmから900rpmに回転数を上げ（第２の回転）、紫外線硬化型接着剤を振り切り、接着層厚さを面内で一定にした。なお、スピンテーブル４０１に固定されている複数のピン４０２も第２の回転では透明基板４０３と同時に回転する。
【０１９６】
また900rpmになってから有機複屈折膜４０６上にリンス機構４０９を移動して、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜４０６を溶解しない有機溶媒（本実施例ではイソプロピルアルコールを使用）を滴下し、基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０１９７】
その後、スピンテーブル４０１の回転を停止し、リンス機構４０９を元の位置に戻す。そして透明基板４０３上に紫外線照射機構４１０を移動し、有機複屈折膜４０６側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる。紫外線照射終了後、紫外線照射機構４１０を元の位置に戻し、スピンテーブル４０１の真空吸着を解除して有機複屈折膜４０６を接着した透明基板４０３を取り出す。
【０１９８】
上記のように本実施例の接着装置を用いると、実施例１の偏光分離素子の作製方法を実現できるため、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを抑制できる。
【０１９９】
また、本実施例では、第２の回転の終了後に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化したが、第２の回転中に透明基板４０３上に紫外線照射機構４１０を移動し、有機複屈折膜４０６側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させ、その後、スピンテーブル４０１の回転を停止し、リンス機構４０９を元の位置に戻し、さらに、紫外線照射機構４１０を用いて有機複屈折膜４０６側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させると実施例３の偏光分離素子の作製方法を実現できることから、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しや位置ズレをさらに抑制できる。
【０２００】
なお、本実施例では紫外線照射機構４１０は１つであるため、第１、第２の紫外線照射では照射時間や照射距離などを変えて第１の紫外線と第２の紫外線を照射するが、光強度の異なる２つの紫外線照射機構を設け、各々第１の紫外線と第２の紫外線を照射してもよい。
【０２０１】
＜実施例１０＞
図１９は、本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例を示す図である。
【０２０２】
本実施例における有機複屈折膜の接着装置は、透明基板５０３を保持するスピンテーブル５０１と、前記スピンテーブル５０１を回転させるステッピングモーターなどからなる回転機構（図示されていない）と、前記透明基板５０３に紫外線硬化型接着剤を塗布するディスペンサー５０４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム５０７によって有機複屈折膜５０６の両端を保持し、透明基板５０３上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜５０６を載置する載置機構５０８と、有機複屈折膜５０６側面に近接ないし接触する複数のピン５０２と、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜５０６を溶解しない有機溶媒を透明基板５０３に滴下するリンス機構５０９と透明基板５０３に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプなどからなる紫外線照射機構５１０から構成されている。
【０２０３】
なお、スピンテーブル５０１上において複数のピン５０２は、図示しない着脱機構によって遠隔操作でスピンテーブル５０１に固定でき、有機複屈折膜５０６の直径方向で対向する４箇所に配置できる。さらに、複数のピン５０２は前記の着脱機構によってスピンテーブル５０１からの取り外しが遠隔操作で行なえる。
【０２０４】
本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜を接着する手順を次に述べる。
直径165mm、厚さ1.5mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板５０３をスピンテーブル５０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル５０１に固定する。
【０２０５】
その後、透明基板５０３の中央部にロボットアーム５０５によってディスペンサー５０４を移動し、スピンテーブル５０１を20rpmで回転させながら、透明基板５０３の中央部にディスペンサー５０４を用いて屈折率1.52のアクリル系紫外線硬化型接着剤を10g滴下する。
【０２０６】
その後、ディスペンサー５０４を元の位置に戻し、スピンテーブル５０１を300rpmで回転（第１の回転）させ、透明基板５０３全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後スピンテーブル５０１の回転を停止する。
【０２０７】
その後、直径155mm、厚さ80μmの有機複屈折膜５０６の両端を載置機構５０８の２本の吸着アーム５０７に真空吸着して保持し、載置機構５０８を透明基板５０３上へ移動し、有機複屈折膜５０６の中心をスピンテーブル５０１の回転中心にほぼ合せながら２本の吸着アーム５０７の真空吸着を徐々に解除して紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜５０６を載せる。
【０２０８】
その後、載置機構５０８を元の位置に戻し、図示しない着脱機構によって複数のピン５０２を動かし、スピンテーブル５０１の開孔（図示せず）に複数のピン５０２を挿し込んで固定し、複数のピン５０２と有機複屈折膜５０６側面との距離を1〜2mmとした。
【０２０９】
その後、スピンテーブル５０１を３ステップで400rpmから900rpmに回転数を上げ（第２の回転）、紫外線硬化型接着剤を振り切り、接着層厚さを面内で一定にした。なお、スピンテーブル５０１に固定されている着脱可能な複数のピン５０２も第２の回転では透明基板５０３と同時に回転する。
【０２１０】
また、900rpmになってから有機複屈折膜５０６上にリンス機構５０９を移動して、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜５０６を溶解しない有機溶媒（本実施例ではイソプロピルアルコールを使用）を滴下し、基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０２１１】
その後、スピンテーブル５０１の回転を停止し、リンス機構５０９を元の位置に戻す。その後、着脱機構によって複数のピン５０２をスピンテーブル５０１の開孔から外して退避させた後、透明基板５０３上に紫外線照射機構５１０を移動し、有機複屈折膜５０６側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる。
【０２１２】
紫外線照射終了後、紫外線照射機構５１０を元の位置に戻し、スピンテーブル５０１の真空吸着を解除して有機複屈折膜５０６を接着した透明基板５０３を取り出す。
【０２１３】
上記のように、本実施例の接着装置を用いると、実施例２の偏光分離素子の作製方法を実現できるため、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを防止できる。
【０２１４】
また、本実施例では、第２の回転の終了後に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化したが、第２の回転中に透明基板５０３上に紫外線照射機構５１０を移動し、有機複屈折膜５０６側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させ、その後、スピンテーブル５０１の回転を停止し、リンス機構５０９を元の位置に戻し、さらに、紫外線照射機構５１０から有機複屈折膜５０６側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させてもよい。
【０２１５】
さらに、有機複屈折膜５０６に粘着剤を介して保護膜を付けると、実施例４、５の偏光分離素子の作製方法を実現できる。その結果、第２の回転中に有機複屈折膜５０６の剛性が向上し、有機複屈折膜５０６の側面がピン５０２に接触した場合も有機複屈折膜５０６が変形しにくくなり、有機複屈折膜５０６表面の平面性が改善される期待がある。
【０２１６】
また、保護膜を比較的厚くしてピン５０２が保護膜のみに接触するようにした場合は、ピン５０２の先端とスピンテーブル５０１との間隔を大きくでき、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。
【０２１７】
さらに、有機複屈折膜５０６の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができるため、貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率を著しく減らすことが可能となる。
【０２１８】
＜実施例１１＞
図２０は、本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例を示す図である。
【０２１９】
本発明に係る有機複屈折膜の接着装置は、有機複屈折膜６０６を保持するスピンテーブル６０１と、前記スピンテーブル６０１を回転させるステッピングモーターなどからなる回転機構（図示されていない）と、前記有機複屈折膜６０６に紫外線硬化型接着剤を塗布するディスペンサー６０４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム６０７によって透明基板６０３の両端を保持し、有機複屈折膜６０６上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に透明基板６０３を載置する載置機構６０８と、透明基板６０３側面に近接ないし接触する複数のピン６０２と、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜６０６を溶解しない有機溶媒を透明基板６０３に噴霧するリンス機構６０９と透明基板６０３に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプなどからなる紫外線照射機構６１０から構成されている。
【０２２０】
なお、スピンテーブル６０１上において複数のピン６０２は、透明基板６０３の直径方向で対向する４箇所に設置・固定している。
【０２２１】
本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜を接着する手順を次に述べる。
直径155mm、厚さ80μmの有機複屈折膜６０６をスピンテーブル６０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル６０１に固定する。その後、有機複屈折膜６０６の中央部にロボットアーム６０５によってディスペンサー６０４を移動し、スピンテーブル６０１を20rpmで回転させながら、有機複屈折膜６０６の中央部にディスペンサー６０４を用いて屈折率1.58のエポキシ系紫外線硬化型接着剤を11g滴下する
【０２２２】
なお、スピンテーブル６０１は有機複屈折膜６０６と接触する面が多孔質のアルミナから形成されており、スピンテーブル６０１表面の表面粗さは3um以下に抑えられている。
【０２２３】
その後、ディスペンサー６０４を元の位置に戻し、スピンテーブル６０１を300rpmで回転（第１の回転）させ、有機複屈折膜６０６全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後、スピンテーブル６０１の回転を停止する。
【０２２４】
その後、直径165mm、厚さ1.5mmのショット製光学ガラスBK7からなる透明基板６０３の両端を載置機構６０８の２本の吸着アーム６０７に真空吸着して保持し、載置機構６０８を有機複屈折膜６０６上へ移動し、透明基板６０３の中心をスピンテーブル６０１の回転中心にほぼ合せ、透明基板６０３を斜めに倒すように吸着アーム６０７を動かして紫外線硬化型接着剤の上に透明基板６０３を載せる。その際、スピンテーブル６０１に固定された複数のピン６０２は透明基板６０３側面と0.5〜1.5mmの距離で近接させるようにする。
【０２２５】
その後、載置装置６０８を元の位置に戻し、スピンテーブル６０１を３ステップで400rpmから900rpmに回転数を上げ（第２の回転）、紫外線硬化型接着剤を振り切り、接着層厚さを面内で一定にした。
【０２２６】
なお、スピンテーブル６０１に固定されている複数のピン６０２も第２の回転では有機複屈折膜６０６と同時に回転する。また900rpmになってから透明基板６０３の下部にリンス機構６０９を移動して、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜６０６を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）を噴霧し、基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０２２７】
その後、スピンテーブル６０１の回転を停止し、リンス機構６０９を元の位置に戻す。そして透明基板６０３上に紫外線照射機構６１０を移動し、透明基板６０３側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる。紫外線照射終了後、紫外線照射機構６１０を元の位置に戻し、スピンテーブル６０１の真空吸着を解除して有機複屈折膜６０６を接着した透明基板６０３を取り出す。
【０２２８】
上記のように本実施例の接着装置を用いると、実施例６の偏光分離素子の作製方法を実現できるため、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを防止できる。
【０２２９】
また、スピンテーブル６０１の有機複屈折膜６０６と接触する面が多孔質であるため、真空吸着によってスピンテーブル６０１に有機複屈折膜６０６を固定する際に吸着穴に有機複屈折膜６０６が引き込まれないので、接着後は平面性のよい有機複屈折膜表面を得ることができる。
【０２３０】
また、本実施例では、第２の回転の終了後に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化したが、第２の回転中に透明基板６０３上に紫外線照射機構６１０を移動し、透明基板６０３側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させる。
【０２３１】
その後、スピンテーブル６０１の回転を停止し、リンス機構６０９を元の位置に戻し、さらに、紫外線照射機構６１０により透明基板６０３側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させると、透明基板６０３の位置ずれをさらに抑制できるのでより望ましい。
【０２３２】
なお、本実施例では紫外線照射機構６１０は１つであるため、第１、第２の紫外線照射では照射時間や照射距離などを変えて第１の紫外線と第２の紫外線を照射するが、光強度の異なる２つの紫外線照射機構を設け、各々第１の紫外線と第２の紫外線を照射してもよい。
【０２３３】
【発明の効果】
以下、本発明の効果を請求項毎に述べる。
【０２３４】
ａ）請求項１に記載の偏光分離素子の作製方法は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて透明基板全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、該紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、透明基板に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有するようにしている。
【０２３５】
そのため、スピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については有機複屈折膜はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２３６】
その結果、紫外線を照射して接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を小さくすることができる。
【０２３７】
また、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（有機複屈折膜の位置ずれが起きた場合スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を繰り返す）を少なくすることができるため、貼り付け工程のスループットが向上する。
【０２３８】
ｂ）請求項２に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンが透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能となっている。
【０２３９】
そのため、透明基板をスピンテーブルに載せる時は複数のピンを外した状態で行うことができ、透明基板をスピンテーブルに載せるための空間を確保するためにピンを設置できない領域を作る必要がない。その結果スピンテーブルに複数のピンを自由に配置できる。
【０２４０】
請求項３に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンは有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けている。
【０２４１】
そのため、最小のピン数で有機複屈折膜の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２４２】
請求項４に記載の偏光分離素子の作製方法においては、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、透明基板に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有するようにしている。
【０２４３】
そのため、スピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については有機複屈折膜はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２４４】
さらに、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、透明基板の回転によって起こる有機複屈折膜の位置ずれを低減できる。その結果、有機複屈折膜が透明基板からはみ出す頻度をさらに小さくできる。
【０２４５】
請求項５に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンが透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能となっている。
【０２４６】
そのため、透明基板をスピンテーブルに載せる時は複数のピンを外した状態で行うことができ、透明基板をスピンテーブルに載せるための空間を確保するためにピンを設置できない領域を作る必要がない。その結果スピンテーブルに複数のピンを自由に配置できる。
【０２４７】
請求項６に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンは有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けている。
【０２４８】
そのため、最小のピン数で有機複屈折膜の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２４９】
請求項７に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜が付いており、透明基板に第１の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離する。
【０２５０】
また、請求項８に記載の偏光分離素子の作製方法において、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜が付いており、透明基板に第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離する。
【０２５１】
そのため、第２の回転中は有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜がついているので、有機複屈折膜の剛性が大きくなり、第２の回転中に有機複屈折膜側面がピンに接触した場合も有機複屈折膜が変形しにくくなり、有機複屈折膜表面の平面性が改善される。
【０２５２】
また、保護膜を比較的厚くしてピンが保護膜のみに接触するようにした場合は、ピン先端とスピンテーブルとの間隔を大きくでき、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。
【０２５３】
さらに、透明基板と有機複屈折膜の貼り合せる場合に、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができる。そのため貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率が著しく減らすことができる。
【０２５４】
特に、スピンテーブルを回転させ、紫外線硬化型接着剤を振り切る工程において、振り切った接着剤のミストが回折格子を形成する面に付着しない（接着剤のミストは保護膜に付き、紫外線照射後保護膜を剥離するので、有機複屈折膜表面には残らない）ため、異物の非常に少ない有機複屈折膜表面を実現できる。そのためリソグラフィー工程において異物やキズによって発生するパターン欠陥を低減でき、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【０２５５】
請求項９に記載の偏光分子素子の作製方法においては、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、有機複屈折膜に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップとを有するようにしたものである。
【０２５６】
そのため、スピンテーブルの回転中心に透明基板の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については透明基板はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２５７】
その結果、紫外線を照射して接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を小さくすることができる。
【０２５８】
また、透明基板は有機複屈折膜よりも大きいため、スピンテーブルに設ける複数のピンのうち対向する２本のピンの間隔は透明基板の直径と同等以上にしているので、透明基板よりも小さい有機複屈折膜は複数のピンに邪魔されず、スピンテーブルの上に載置することができる。その結果、スピンテーブルに複数のピンを自由に配置できる。
【０２５９】
請求項１０に記載の偏光分離素子の作製方法においては、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンは透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けているので、最小のピン数で透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２６０】
請求項１１に記載の偏光分離素子の作製方法においては、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧しながら紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有するようにしたものである。
【０２６１】
そのため、スピンテーブルの回転中心に透明基板の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については透明基板はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２６２】
さらに、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、有機複屈折膜の回転によって起こる透明基板の位置ずれを低減できる。その結果、有機複屈折膜が透明基板からはみ出す頻度をさらに小さくできる。
【０２６３】
請求項１２に記載の偏光分離素子の作製方法において、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンは透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けている。
そのため最小のピン数で透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２６９】
請求項１３の有機複屈折膜の接着装置は、透明基板を保持するスピンテーブルと、スピンテーブルを回転させる回転機構と、透明基板に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、透明基板上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置する載置機構と、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けた複数のピンと、紫外線硬化型接着剤は溶解するが有機複屈折膜は溶解しない有機溶媒を透明基板に滴下するリンス機構と、透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構からなるので、請求項１、４の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７０】
また、有機複屈折膜に透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を付けると、請求項７、８の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７１】
請求項１４の有機複屈折膜の接着装置は、複数のピンをスピンテーブルから着脱する着脱機構を有しているので、請求項２、５の偏光分離素子の作製方法を実現できる。また複数のピンを有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けると、請求項３、６の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７２】
さらに、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を付けると、請求項７、８の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７３】
請求項１５の有機複屈折膜の接着装置は、有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、スピンテーブルを回転させる回転機構と、有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、有機複屈折膜に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置する載置機構と、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンと、紫外線硬化型接着剤は溶解するが有機複屈折膜は溶解しない有機溶媒を透明基板に噴霧するリンス機構と、有機複屈折膜に紫外線を照射する紫外線照射機構からなるので、請求項９、１１の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７４】
また、複数のピンを透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けると、請求項１０、１２の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７５】
請求項１６に記載の有機複屈折膜の接着装置においては、スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質である。そのためマイクロポアを吸着穴として利用できるため、有機複屈折膜を真空吸着で固定する際に吸着穴に有機複屈折膜を引き込まず、接着後では平滑な有機複屈折膜表面を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例１）を示す図である（その１）。
【図２】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例１）を示す図である（その２）。
【図３】実施例１におけるピン配置を示す図である。
【図４】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例２）を示す図である（その１）。
【図５】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例２）を示す図である（その２）。
【図６】実施例２におけるピン配置を示す図である。
【図７】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例３）を示す図である（その１）。
【図８】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例３）を示す図である（その２）。
【図９】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例４）を示す図である（その１）。
【図１０】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例４）を示す図である（その２）。
【図１１】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例５）を示す図である（その１）。
【図１２】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例５）を示す図である（その２）。
【図１３】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例６）を示す図である（その１）。
【図１４】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例６）を示す図である（その２）。
【図１５】実施例６におけるピン配置を示す図である。
【図１６】本発明に係る光ピックアップ（ＣＤ用）の構成の一実施例（実施例７）を示す図である。
【図１７】本発明に係る光ピックアップ（ＤＶＤ用）の構成の一実施例（実施例８）を示す図である。
【図１８】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の一実施例（実施例９）を示す図である。
【図１９】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例（実施例１０）を示す図である。
【図２０】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例（実施例１１）を示す図である。
【図２１】スピンナー法による貼り合せ光ディスクの作製工程を説明するための図である。
【図２２】スピンテーブル上の有機複屈折膜が位置ずれを起こす例を説明するための図である。
【．符号の説明】
１，２１，４１，６１，８１，１０１，４０１，５０１，６０１，８０１，９０１：スピンテーブル、
２，２２，４２，６２，８２，１０２，４０２，５０２，６０２：ピン、
３，２３，４３，６３，８３，１０３，４０３，５０３，６０３，９０３：透明基板、
４，４４，６４，１０４，４０４，５０４，６０４：ディスペンサー、
５，２５，４５，６５，８５，１０５，８０５，９０５：紫外線硬化型接着剤、
６，２６，４６，６６，８６，１０６，４０６，５０６，６０６，９０６：有機複屈折膜、
７，２７，４７，６７，８７，１０７：有機溶剤、
８，２８：紫外線、
９，２９，４９，６９，８９，１０９：回折格子、
１１，３１，５１，７１，９１，１１１：等方性接着剤、
１２，３２，５２，７２，９２，１１２：対向透明基板、
１３，３３，５３，７３，９３，１１３：ダイシングソー、
１４，３４，５４，７４，９４，１１４：偏光分離素子、
２０１，３０１：レーザーダイオード、
２０２，３０２：偏光分離素子、
２０３，３０３：コリメータレンズ、
２０４，３０４：λ/4波長板、
２０５，３０５：対物レンズ、
２０６：ＣＤ−ＲＷ、
２０７，３０７：フォトダイオード、
３０６：ＤＶＤ、
４０５，５０５，６０５：ロボットアーム、
４０７，５０７，６０７：吸着アーム、
４０８，５０８，６０８：載置機構、
４０９，５０９，６０９：リンス機構、
４１０，５１０，６１０：紫外線照射機構、
６６１，８６１：保護膜、
６６２，８６２：粘着剤、
８０２：センターピン、
８０３：第１の基板、
８０４，８０７：ハブ、
８０６：第２の基板、
８０８：紫外線（ＵＶ）
８０９：貼り合せ光ディスク。

Claims (16)

1. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
   前記接着工程が、
   前記透明基板に第１の回転を与えて前記透明基板全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、
   該紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、
   前記有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記透明基板に第２の回転を与えて前記有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、
   前記第２の回転中に前記紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ前記有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下しながら前記紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、
   前記透明基板に紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化するステップ
   を有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
2. 請求項１記載の偏光分離素子の作製方法において、
   前記複数のピンは、前記透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能であることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
3. 請求項１または２記載の偏光分離素子の作製方法において、
   前記複数のピンは、前記有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
4. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
   前記接着工程が、
   前記透明基板に第１の回転を与えて全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、
   前記紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、
   前記有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記透明基板に第２の回転を与えて前記有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、
   前記第２の回転中に前記紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ前記有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を滴下しながら前記紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、
   該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、前記透明基板に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップ
   を有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
5. 請求項４記載の偏光分離素子の作製方法において、
   前記複数のピンは、前記透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能であることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
6. 請求項４または５記載の偏光分離素子の作製方法において、
   前記複数のピンは、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
7. 請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、
   前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、前記透明基板に第１の紫外線を照射した後に前記有機複屈折膜から前記保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
8. 請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、
   前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、前記透明基板に第２の紫外線を照射した後に前記有機複屈折膜から前記保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
9. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
   前記接着工程が、前記有機複屈折膜に第１の回転を与えて前記有機複屈折膜全面に前記紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、
   前記紫外線硬化型接着剤上に前記有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、
   前記透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記有機複屈折膜に第２の回転を与えて前記有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、
   前記第２の回転中に前記紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ前記有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧しながら前記紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、
   前記有機複屈折膜に紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化するステップと
   を有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
10. 請求項９記載の偏光分離素子の作製方法において、
    前記複数のピンは、前記透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
11. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上にマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングし回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
    前記接着工程が、
    前記有機複屈折膜に第１の回転を与えて前記有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、
    前記紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、
    前記透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記有機複屈折膜に第２の回転を与えて前記有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、
    前記第２の回転中に前記紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ前記有機複屈折膜を溶解しない有機溶媒を噴霧しながら前記紫外線硬化型接着剤を振り切るステップと、
    該第２の回転中に第１の紫外線を照射し前記紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、
    前記有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化するステップ
    を有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
12. 請求項１１記載の偏光分離素子の作製方法において、
    前記複数のピンは、前記透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。
13. 透明基板を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、前記透明基板に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、前記透明基板上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置する載置機構と、前記有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと、前記紫外線硬化型接着剤は溶解するが前記有機複屈折膜は溶解しない有機溶媒を前記透明基板に滴下するリンス機構と、前記透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構とを有することを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。
14. 請求項１３記載の有機複屈折膜の接着装置において、
    前記複数のピンをスピンテーブルから着脱する着脱機構を有することを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。
15. 有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、前記有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、前記有機複屈折膜に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置する載置機構と、前記透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンと、前記紫外線硬化型接着剤は溶解するが前記有機複屈折膜は溶解しない有機溶媒を前記透明基板に噴霧するリンス機構と、前記有機複屈折膜に紫外線を照射する紫外線照射機構と、を有することを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。
16. 請求項１５記載の有機複屈折膜の接着装置において、
    前記スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質であることを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。

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