JP2003014908A - 対物レンズ、対物レンズの製造方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高ＮＡで、製造が容易で、複数のレンズを貼
り合わせる際にレンズ形状の製造バラツキを補正するこ
とができる安価な光ピックアップ用対物レンズと、対物
レンズの製造方法及び製造装置を提供する。 【解決手段】 光源１０からの光を光記録媒体上に微小
スポットとして集光し、記録、再生を行なうための光ピ
ックアップ用の対物レンズにおいて、レンズ部４と接合
部５が一体となっている複数のレンズで構成し、互いに
突き当てられる接合部５、７のうち、一方の接合部５に
傾斜面を形成し、他方の接合部７を凸形状とした。その
他７項ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体に対し
て情報の記録、再生を行なう光ピックアップ装置に用い
られる対物レンズと、対物レンズの製造方法及び製造装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、光ディスクの高記録密度化が要求
されており、その方法の１つとしてソリッドイマージョ
ンレンズや高ＮＡレンズを用いた方法が提案されてい
る。従来の光ピックアップ装置では、２つのレンズで構
成される２群対物レンズ構成にすることにより、対物レ
ンズのＮＡを大きくし、レーザ光のスポット径を小さく
することが可能となり、光ディスクの高記録密度化が可
能となる。特開平８−３１５４０４号公報、特開２００
０−１１３８８号公報、特開２０００−１３１５０８号
公報では２つのレンズで対物レンズを構成しており、こ
れにより対物レンズのＮＡが大きくなり、光ディスクの
高記録密度化を可能にしている。

【０００３】図１１、図１２は従来の２つのレンズで構
成された対物レンズの構成図である。図中符号１０１、
１１１は第１のレンズ、１０２、１１２は第２のレン
ズ、１０３、１０４はアクチュエータ、１０５は光ディ
スク、１０６は磁気コイルである。図１１の対物レンズ
では独立した第１のレンズ１０１と第２のレンズ１０２
で対物レンズを構成し、高ＮＡを実現している。図１２
の対物レンズでは第１のレンズ１１１と第２のレンズ１
１２とを貼り合わせて対物レンズを構成し、高ＮＡを実
現している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開２
０００−１１３８８号公報のように、第１のレンズをア
クチュエータを介して保持している構成では、第１のレ
ンズが傾きやすく、第１のレンズと第２のレンズとの光
軸ズレが生じ、収差が発生してスポットが十分に絞りき
れなくなるという問題がある。

【０００５】又、特開平８−３１５４０４号公報では、
対物レンズの設計において、形状に制限を設けることで
２つのレンズの組み付け精度を緩和している。しかしな
がら、レンズ形状に制限を設けているためレンズ設計の
自由度が小さくなり、レンズ設計が難しくなるという問
題がある。

【０００６】又、特開２０００−１３１５０８号公報で
は、２つのレンズを貼り合わせる構造にすることで、そ
れぞれのレンズを形成したウエハを貼り合わせるときに
ウエハに形成したアライメントマークを用いて位置合わ
せを行なっており、非常に高い精度で光軸合わせを行な
うことができる。又、レンズ間隔についても、レンズ支
持部を突き合わせて接合しているので高い精度で行なう
ことができる。

【０００７】しかしながら、レンズ形成工程において、
フォトレジストパターンにリフロー処理を行なう工法
や、グレイスケールマスクを使ってフォトリソを行なう
工法などのレジストでレンズ形状を形成する工程、又、
レジストで形成されたレンズ形状を基板に転写するドラ
イエッチング工程では、当然ながらレジストで形成され
たレンズ形状及び基板に転写されたレンズ形状にバラツ
キが生じる。特にドライエッチング工程はバラツキを制
御するのが非常に困難である。

【０００８】ガラスのドライエッチングは一般的にＣＦ
４やＣ４ｆ８、ＣＨＦ３といったフロロカーボンガスの
プラズマを用いる。このようなドライエッチングでは、
プラズマ中のイオン種やラジカル種の割合を制御するこ
とで、重合膜の堆積とエッチングとのバランスをとり、
所望の選択比（ガラスのエッチングレートとレジストの
エッチングレートとの比）を得ている。

【０００９】プラズマ中のイオン種やラジカル種の割合
は、ガス種やガスの混合比、あるいは印加する高周波の
パワーによって調整する。ところが、重合膜はガラスや
レジストの上だけでなく、エッチング室の内壁などにも
堆積してしまうので、ガス種やガスの混合比あるいは印
加する高周波のパワーを同じにしても、エッチング室の
内壁に堆積した重合膜状態によってプラズマ中のイオン
種やラジカル種の割合が変化し、選択比が変化してしま
うという問題が生じる。

【００１０】特開２０００−１３１５０８号公報の構成
では、このようなレンズ製造工程でのバラツキによって
発生する収差を補正する手段を備えていないため、歩留
まりが低下しコストアップにつながるといった問題があ
った。

【００１１】本発明は、高ＮＡで、製造が容易で、複数
のレンズを貼り合わせる際にレンズ形状の製造バラツキ
を補正することができる安価な光ピックアップ用対物レ
ンズと、対物レンズの製造方法及び製造装置を提供する
ことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の発明は、光源からの光を光記録媒体上
に微小スポットとして集光し、記録、再生を行なうため
の光ピックアップ用の対物レンズにおいて、レンズ部と
接合部が一体となっている複数のレンズで構成し、互い
に突き当てられる接合部のうち、一方の接合部に傾斜面
を形成し、他方の接合部を凸形状としたことを特徴とす
る対物レンズに関する。

【００１３】又、請求項２記載の発明は、複数のレンズ
のうち少なくとも１つのレンズは光軸を中心に回転する
回転機構を備えていることを特徴とする請求項１記載の
対物レンズに関する。

【００１４】又、請求項３記載の発明は、レンズ部を形
成する工程と、接合部を形成する工程と、別々に形成さ
れた複数のレンズを接合する工程と、レンズに光を入射
する工程と、スポットの形状を測定しながらどちらか一
方のレンズを回転してレンズ間隔を調整し貼り合わせる
工程とからなることを特徴とする対物レンズの製造方法
に関する。

【００１５】又、請求項４記載の発明は、レンズ部を形
成する工程と、接合部を形成する工程を同一のプロセス
で実行することを特徴とする請求項3 記載の対物レンズ
の製造方法に関する。

【００１６】又、請求項５記載の発明は、対物レンズを
構成する複数のレンズをそれぞれ保持するホルダと、少
なくとも１つのレンズを回転させる回転機構と、光源
と、光源からの光をレンズに導く光学系と、対物レンズ
によって形成されたスポットの形状を測定するスポット
測定用光学系を備えていることを特徴とする対物レンズ
製造装置に関する。

【００１７】又、請求項６記載の発明は、対物レンズを
構成するレンズと一体的に当該レンズとは屈折率の異な
る部材からなるレンズが形成されていることを特徴とす
る請求項１記載の対物レンズに関する。

【００１８】又、請求項７記載の発明は、記録媒体に対
向する面に磁気コイルが形成されていることを特徴とす
る光磁気ピックアップ用対物レンズに関する。

【００１９】又、請求項８記載の発明は、磁気コイルが
薄膜磁気コイルであることを特徴とする請求項７記載の
光磁気ピックアップ用対物レンズに関する。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づき説明する。図１は本発明の光ピックアップ用対物
レンズを構成する第１のレンズの一例の斜視図である。
図２は本発明の光ピックアップ用対物レンズを構成する
第２のレンズの第１の例の斜視図であり、図３は第２の
レンズの第２の例の斜視図である。

【００２１】図中符号１は第１のレンズ、２は第２のレ
ンズ、３は石英ガラス基板、４及び６はレンズ部、５及
び７は接合部である。図１に示すように第１のレンズ１
の接合部５は３つの傾斜面となっており、図２及び図3
に示すように第２のレンズ２の接合部７は３つの凸形状
となっている。図3 に示す第２のレンズ２の接合部７
は、図１に示す第１のレンズ１の接合部５と同じ傾斜角
の傾斜面となっており、接合面積を広くしてある。本実
施の形態の光ピックアップ用対物レンズは、第１のレン
ズ１と第２のレンズ２とを対向して貼り合わせることに
よって構成される。

【００２２】図４は本発明の第１の実施の形態に係る光
ピックアップ用対物レンズの斜視図である。図５は本発
明の第２の実施の形態に係る光ピックアップ用対物レン
ズの斜視図である。（図４、図５とも第２のレンズの石
英ガラス基板とレンズ部は省略してある。）図４及び図
５に示すように第１のレンズ１に形成された接合部５の
傾斜面と、第２のレンズ２に形成された凸形状の接合部
７が突き当てて接合されている。

【００２３】図６は、本発明の実施の形態に係る光ピッ
クアップ用対物レンズを貼り合わせる製造装置の構成図
である。図中符号１０は光源、１１は光源の光を第２の
レンズ２に入射する光学系、１２はスポット測定用光学
系、１３はカメラ、１４は第１のレンズ１を保持するホ
ルダ、１５は第２のレンズ２を保持するホルダである。
ホルダ１４及びホルダ１５のうち少なくともどちらか一
方には上下方向及び回転方向に動作可能な機構に連結さ
れている。製造装置は図６に示したスポット測定用光学
系１２のほかに、図示しない紫外線硬化型樹脂を塗布す
る機構と紫外線を照射する機構とからなる接着機構を備
える。

【００２４】次に、貼り合わせ手順について説明する。
まず、ホルダ１４、１５に第１のレンズ１、第２のレン
ズ２を接合部５、７が対向するように装着し、光軸を合
わせながら接合部同士を突き合わせる。この状態で光を
入射し、スポット測定用光学系によりスポットの形状を
測定しながら、接合部同士を突き合わせたまま、第１の
レンズ１又は第２のレンズ２のどちらか一方を光軸中心
に回転させる。第１のレンズ１の接合部５は傾斜面とな
っているので、接合部同士を突き合わせながら回転させ
ることで、レンズ部４とレンズ部６との間隔を調整する
ことができる。

【００２５】このように、レンズ間隔を調整しながらス
ポットを測定し、所望のスポットプロファイルとなった
ところで回転を停止し、一旦第１のレンズ１と第２のレ
ンズ２を引き離して、紫外線硬化型樹脂を塗布し、再度
付きあわせ紫外線照射装置で紫外線を照射して、紫外線
硬化型樹脂を硬化させ、第１のレンズ１と第２のレンズ
２を接着する。

【００２６】第１のレンズ１及び第２のレンズ２の製造
方法について説明する。第１のレンズ１と第２のレンズ
２の製造はフォトリソグラフィ工程とドライエッチング
工程により行なわれる。フォトリソグラフィ工程では、
石英ガラスウエハ上にレンズ部４、６及び接合部５、７
形状をフォトレジストにより形成する。レンズ部４、６
は曲面で構成され、又、接合部５も傾斜面で構成される
ので、フォトレジストを塗布しプリベークを行なった
後、露光量に分布が生じるような露光方法を用いて露光
する。

【００２７】露光量によって現像後のレジスト残膜量を
制御することができるので、レンズ部４、６及び接合部
５、７の形状に対応した露光量分布が生じるように露光
し現像することによって、石英ガラスウエハ上にレンズ
部４、６及び接合部５、７の形状のフォトレジストパタ
ーンが形成される。露光量に分布が生じるような露光法
としては、光学的濃淡の分布があるフォトマスクを用い
る方法や、微小ドットパターンの密度に分布があるマス
クを使い露光時に故意にデフォーカスさせる方法などが
ある。

【００２８】次に、レンズ部４、６及び接合部５、７の
形状のフォトレジストパターンが形成された石英ガラス
ウエハをドライエッチングし、フォトレジストパターン
を石英ガラスウエハに転写させる。本実施の形態では、
ドライエッチングを行なうエッチング装置としてＥＣＲ
エッチング装置を使用した。エッチングガスはＣＦ４を
用い、これにＨ２やO ２を添加して、エッチングレート
及びエッチング選択比（石英ガラスエッチングレート／
フォトレジストエッチングレート）を調整した。

【００２９】選択比をほぼ１に設定した場合は、フォト
レジストパターンがほぼそのままの形状及び大きさで石
英ガラスウエハに転写される。選択比が１より大きい場
合はフォトレジストパターン形状の高さ方向を拡大して
転写され、選択比が１より小さい場合はフォトレジスト
パターン形状の高さ方向を縮小して転写される。これら
の工程はウエハプロセスで行なうことができるので、一
度のプロセスで多量に作製することができる。レンズ部
４、６及び接合部５、７が形成された石英ガラスウエハ
はダイシングなどにより分割され、先に説明したように
貼り合わされる。

【００３０】このように、本実施の形態で説明した構造
の光ピックアップ用対物レンズにすることで、光ピック
アップ用対物レンズを構成する２つのレンズの間隔を調
整する機構を持たせることができ、貼り合わせ装置を用
いて、貼り合わせ手順に従い貼り合わせることにより、
レンズ製造工程で生じる製造バラツキによる特性の変動
を補正することが可能となり、歩留まりが飛躍的に向上
し対物レンズの製造コストを下げることができる。又、
非常に小型で軽量にすることができるので、スライダに
搭載し浮上ヘッドに用いることも容易である。

【００３１】本実施の形態では、対物レンズの材質を石
英ガラスとしているが、光ピックアップの光源波長に対
して透明な材質であれば、石英ガラス以外のガラスやガ
ラス以外の材質でもよい。当然ではあるが、ドライエッ
チングの条件はエッチングガスの種類を含めて、材質に
合わせて変更する必要がある。

【００３２】本実施の形態では、ドライエッチング装置
として、ＥＣＲエッチング装置を使用しているが、ＩＣ
Ｐエッチング装置など他の方式によるエッチング装置で
も良い。当然ではあるが、方式や装置が異なると、エッ
チングレート及び選択比が異なるので、エッチング条件
を変更する必要がある。

【００３３】本実施の形態では、第１のレンズ１と第２
のレンズ２を接着するのに紫外線硬化型樹脂を用いてい
るが、熱硬化型など他の接着剤でも良い。特に、対物レ
ンズの材質として紫外線を透過しにくい材質や紫外線を
照射することによって変質してしまう材質を使用する場
合は、紫外線硬化型樹脂以外の接着剤を使用するほうが
望ましい。

【００３４】図７は本発明の光ピックアップ用対物レン
ズを構成する第２のレンズの第３の例の斜視図である。
図7 に示すように、第２のレンズ２がレンズホルダ２１
に装着されており、レンズホルダ２１の外周にはウォー
ムギア２２が形成されている。

【００３５】図８は本発明の第３の実施の形態に係る光
ピックアップ用対物レンズの構成図である。図中符号２
３はスクリュ、２４はローラである。図８に示すよう
に、第２のレンズ２の下には第１のレンズ１（破線で表
示）があり、接合部同士を付き合わせて配置してある。
（図８では接合部を省略してある。）接合部同士は常時
接触するように、第２のレンズ２は図示しない板バネな
どで押さえつけられている。ウォームギア２２に噛み合
わせてあるスクリュ２３は図示しないモータに接続され
ており、モータによって第２のレンズ２は光軸中心に回
転し、接合部の接合位置が変化して、第１のレンズ１と
第２のレンズ２との間隔を変えることができる構造とな
っている。

【００３６】このように、本実施の形態の構造にするこ
とで、レンズ間隔を容易に調整できる対物レンズとする
ことができ、レンズの製造誤差の補正だけでなく、記録
媒体の保護層の厚み誤差の補正も行なうことができるの
で、光ピックアップ装置の信頼性が向上する。さらに、
光記録媒体の製造誤差も緩和され、光記録媒体のコスト
低減にもなる。

【００３７】本実施の形態では、第２のレンズ２を回転
させる機構を、ウォームギア２２とスクリュ２３とモー
タによって構成される機構にしているが、他の方式によ
る回転機構でも構わない。

【００３８】図９は本発明の第４の実施の形態に係る光
ピックアップ用対物レンズの断面図である。図９に示す
ように、第１のレンズ１を形成した石英ガラス基板３の
裏面に第３のレンズ２６が形成されている。第３のレン
ズ２６は石英ガラス基板３（屈折率１. ４６）に凹形状
を形成し、高屈折材料を埋め込むことで構成されてい
る。

【００３９】第３のレンズ２６の形成方法について説明
する。石英ガラス基板３に凹形状を形成する方法は、第
１の実施の形態で述べた第１のレンズ１及び第２のレン
ズ２の形成方法と同じフォトリソグラフィ工程とドライ
エッチング工程で行なう。光学的濃淡の分布があるフォ
トマスクを用いる方法や、微小ドットパターンの密度に
分布があるマスクを用いる方法など、露光量に分布が生
じるような露光方法を用いると、第１のレンズ１や第２
のレンズ２のような凸曲面形状だけでなく、凹曲面形状
も形成可能である。

【００４０】凹部に埋め込む高屈折材料としては、Ｌａ
Ｆ２（屈折率１. ７４）やＳＦＳ１（屈折率１. ９１）
などを用いることができる（屈折率は６３２. ８ｎｍで
の値）。これらの高屈折材料をスパッタリング法などで
堆積し、エッチバック及び平坦化によって凹部に選択的
に残存させる。これらの工法もウエハプロセスで行なう
ことができる。高屈折材料はこれ以外にも、紫外線硬化
型樹脂をコーティングしてもよい。このように本実施の
形態で説明した構造の対物レンズにすることで、さらに
高ＮＡの対物レンズとすることができる。

【００４１】図１０は本発明の第５の実施の形態に係る
光ピックアップ用対物レンズの断面図である。図１０に
示す薄膜磁気コイル２７は、スパッタリングや蒸着など
の薄膜形成プロセスと、フォトリソグラフィプロセスと
エッチングプロセスにより第１のレンズ１を形成する石
英ガラス基板３に形成される。これらのプロセスもウエ
ハプロセスで行なうことができる。このように、本実施
の形態で説明した構造の対物レンズにすることで、光磁
気記録用の対物レンズとして使用することができる。

【００４２】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、一方の接
合部に傾斜面を形成し、もう一方の接合部に凸形状部を
形成しているので、接合する位置を変えることでレンズ
の光軸の傾きが生じることなく容易にレンズ間隔を調整
することができ、レンズ製造工程で生じる製造バラツキ
による特性の変動を補正することができる。よって、高
ＮＡの対物レンズにおいても製造公差を緩和することが
でき、歩留まりが飛躍的に向上し対物レンズの製造コス
トを下げることができる。

【００４３】請求項２記載の発明によれば、少なくとも
１つのレンズは光軸を中心に回転する回転機構を備えて
いるので、光ピックアップ装置として構成された後もレ
ンズ間隔を調整できるため、光記録媒体の保護層厚のバ
ラツキ補正を行なうことができる。従って、対物レンズ
の製造コストを下げるだけでなく、光ピックアップ装置
の信頼性を向上させることができる。

【００４４】請求項３記載の発明によれば、別々に形成
されたレンズを接合し、レンズに光を入射し、スポット
を測定しながら一方のレンズを回転してレンズ間隔を調
整し貼り合わせるので、それぞれのレンズ製造工程で製
造バラツキがあっても、容易に調整して貼り合わせるこ
とができ、高ＮＡの対物レンズにおいても製造公差を緩
和することができ、歩留まりが飛躍的に向上し対物レン
ズの製造コストを下げることができる。

【００４５】請求項４記載の発明によれば、接合部形成
をレンズ形成と同一のプロセスで実行するので、傾斜面
形状や凸形状の接合部を設けても、プロセスを新たに追
加する必要がなく低コストで製造することができる。

【００４６】請求項５記載の発明によれば、対物レンズ
を構成する複数のレンズをそれぞれ保持する複数のホル
ダと、対物レンズを構成するレンズのうち少なくとも１
つのレンズを回転させる回転機構と、光源と、光源から
の光をレンズに導く光学系と、対物レンズによって形成
されたスポットの形状を測定するスポット測定用光学系
を備えているので、容易にレンズ間隔を調整してレンズ
を貼り合わせることができ、高ＮＡの対物レンズにおい
ても製造公差を緩和することができ、歩留まりが飛躍的
に向上し対物レンズの製造コストを下げることができ
る。

【００４７】請求項６記載の発明によれば、対物レンズ
を構成するレンズと一体的に当該レンズとは屈折率の異
なる部材からなるレンズが形成されているので、製造容
易で安価ながら対物レンズのＮＡをさらに向上させるこ
とができる。

【００４８】請求項７記載の発明によれば、記録媒体に
対向する面に磁気コイルが形成されているので、磁界を
印加することができ、光磁気記録を行なうことができ
る。

【００４９】請求項８記載の発明によれば、磁気コイル
を薄膜磁気コイルとしたため、レンズ形成プロセスと同
様にウエハプロセスで行なうことができるので、低コス
トで磁気コイルを形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光ピックアップ用対物レンズを構成す
る第１のレンズの１例の斜視図である。

【図２】本発明の光ピックアップ用対物レンズを構成す
る第２のレンズの第１の例の斜視図である。

【図３】本発明の光ピックアップ用対物レンズを構成す
る第２のレンズの第２の例の斜視図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態に係る光ピックアッ
プ用対物レンズの斜視図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係る光ピックアッ
プ用対物レンズの斜視図である。

【図６】本発明の実施の形態に係る光ピックアップ用対
物レンズを貼り合わせる製造装置の構成図である。

【図７】本発明の光ピックアップ用対物レンズを構成す
る第２のレンズの第３の例の斜視図である。

【図８】本発明の第３の実施の形態に係る光ピックアッ
プ用対物レンズの構成図である。

【図９】本発明の第４の実施の形態に係る光ピックアッ
プ用対物レンズの断面図である。

【図１０】本発明の第５の実施の形態に係る光ピックア
ップ用対物レンズの断面図である。

【図１１】従来の２つのレンズで構成される対物レンズ
の構成図である。

【図１２】従来の２つのレンズで構成される対物レンズ
の構成図である。

【符号の説明】

１ 第１のレンズ ２ 第２のレンズ ３ 石英ガラス基板 ４、６ レンズ部 ５、７ 接合部 １０ 光源 １１ 光学系 １２ スポット測定用光学系 １３ カメラ １４、１５ ホルダ ２１ レンズホルダ ２２ ウォームギア ２３ スクリュ ２４ ローラ ２６ 第３のレンズ ２７ 薄膜磁気コイル １０１ 第１のレンズ １０２ 第２のレンズ １０３、１０４ アクチュエータ １０５ 光ディスク １０６ 磁気コイル １１１ 第１のレンズ １１２ 第２のレンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 7/02 Ｇ０２Ｂ 7/02 Ｅ Ｚ Ｇ１１Ｂ 7/135 Ｇ１１Ｂ 7/135 Ａ 7/22 7/22 11/105 ５５１ 11/105 ５５１Ｌ Ｆターム(参考） 2H043 AE02 AE18 AE24 2H044 AA02 AA17 AB02 AB11 AB12 AB13 AB17 AC00 AC01 AE01 AE06 AJ04 BC01 BD06 BE02 BE10 5D075 CD17 CD20 CF03 5D119 AA38 AA40 AA43 JA44 JA49 NA05

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源からの光を光記録媒体上に微小スポ
   ットとして集光し、記録、再生を行なうための光ピック
   アップ用の対物レンズにおいて、レンズ部と接合部が一
   体となっている複数のレンズで構成し、互いに突き当て
   られる接合部のうち、一方の接合部に傾斜面を形成し、
   他方の接合部を凸形状としたことを特徴とする対物レン
   ズ。
2. 【請求項２】 複数のレンズのうち少なくとも１つのレ
   ンズは光軸を中心に回転する回転機構を備えていること
   を特徴とする請求項１記載の対物レンズ。
3. 【請求項３】 レンズ部を形成する工程と、接合部を形
   成する工程と、別々に形成された複数のレンズを接合す
   る工程と、レンズに光を入射する工程と、スポットの形
   状を測定しながら一方のレンズを回転してレンズ間隔を
   調整し貼り合わせる工程とからなることを特徴とする対
   物レンズの製造方法。
4. 【請求項４】 レンズ部を形成する工程と、接合部を形
   成する工程を同一のプロセスで実行することを特徴とす
   る請求項3 記載の対物レンズの製造方法。
5. 【請求項５】 対物レンズを構成する複数のレンズをそ
   れぞれ保持するホルダと、少なくとも１つのレンズを回
   転させる回転機構と、光源と、光源からの光をレンズに
   導く光学系と、対物レンズによって形成されたスポット
   の形状を測定するスポット測定用光学系を備えているこ
   とを特徴とする対物レンズ製造装置。
6. 【請求項６】 対物レンズを構成するレンズと一体的に
   当該レンズとは屈折率の異なる部材からなるレンズが形
   成されていることを特徴とする請求項１記載の対物レン
   ズ。
7. 【請求項７】 記録媒体に対向する面に磁気コイルが形
   成されていることを特徴とする光磁気ピックアップ用対
   物レンズ。
8. 【請求項８】 磁気コイルが薄膜磁気コイルであること
   を特徴とする請求項７記載の光磁気ピックアップ用対物
   レンズ。