JP2004252376A

JP2004252376A - 組み合わせレンズの製造方法

Info

Publication number: JP2004252376A
Application number: JP2003045069A
Authority: JP
Inventors: Noriaki Okada; 訓明岡田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2003-02-21
Filing date: 2003-02-21
Publication date: 2004-09-09

Abstract

【課題】一方のレンズを利用してもう一方のレンズのレンズを形成することにより、光軸調整を簡単化し、製造工程の簡略化を実現できる組み合わせレンズの製造方法を提供する。
【解決手段】部分的に光の透過率を異ならせたマスクであり、紫外光に強度分布を与えるグレースケールマスク２３と、レンズ２４と、第１レンズ１とで露光光学系を構成する。そして、グレースケールマスク２３を介して第１レンズ１に紫外光を照射し、第１レンズを透過した光でレジスト層１３を露光することで、レジスト層１３に第２レンズのパターンを形成する。その後、ガラス平面基板１２をエッチングすることで第２レンズを形成する。
【選択図】図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、組み合わせレンズの製造方法に関し、特に高記録密度を実現できる光ディスク用の光学ピックアップ装置に対物レンズとして搭載される組み合わせレンズの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、情報記録の分野においては、光学情報記録方式に関する研究が各所で進められている。この光学情報記録方式は、非接触で記録・再生が行えること、再生専用型、追記型、書換可能型のそれぞれのメモリ形態に対応できるなどの数々の利点を有し、安価な大容量ファイルの実現を可能とする方式として産業用から民生用まで幅広い用途が考えられている。
【０００３】
上記の各種光学情報記録方式用のＣＤ（コンパクトディスク）やＤＶＤ（デジタル多用途ディスク）などの光学記録媒体（以下、光ディスクともいう）の記録・再生装置（以下、光ディスク装置ともいう）に搭載される光学ピックアップ装置においては、例えば７８０ｎｍあるいは６５０ｎｍの波長のレーザ光を出射するレーザダイオードからのレーザ光がビームスプリッタなどの光学部材を含む光学系により光ディスクの光学記録層上に集光され、光ディスクからの反射光は、上記の光学系を逆の経路を辿り、マルチレンズなどによりフォトダイオードなどの受光素子上に投光される。上記の光ディスクからの反射光の変化により、光ディスクの光学記録層上に記録された情報の読み出しがなされる。
【０００４】
上記のような光ディスク装置は、通常の構成において、波長λの光を照射する光源と、当該光源の出射する光を光学記録媒体の光学記録層上に集光する開口数ＮＡの対物レンズ（集光レンズ）を含む光学系と、光学記録層からの反射光を検出する受光素子などを有する。
【０００５】
上記の光ディスク装置において、光学記録層上における光のスポットサイズφは、一般に下記式（１）で与えられる。
φ＝λ／ＮＡ………（１）
光のスポットサイズφは光学記録媒体の記録密度に直接影響を与え、スポットサイズφが小さいほど高密度記録が可能となり、大容量化ができる。即ち、光の波長λがより短いほど、また、対物レンズの開口数ＮＡが大きいほど、スポットサイズφはより小さくなるので高密度記録が可能となることを示す。
【０００６】
上記の指針に従って、光ディスクの大容量化を実現するために、例えば光源の波長を緑色から青色、さらには紫外線の領域にまで短波長化し、対物レンズの開口数ＮＡを例えば０．８５にまで高めた光ディスク装置の検討がなされており、組み合わせレンズが検討されている。
【０００７】
このような組み合わせレンズの例として、例えば特許文献１に開示されているものがある。図６は、特許文献１に開示の組み合わせレンズの構成を概略的に示す断面図である。同図に示すように、組み合わせレンズは、第１凸レンズ５１および第２凸レンズ５２から構成されている。
【０００８】
第１凸レンズ５１は、ガラスなどの光学材料よりなるレンズ基体の上面に設けられた底面が凸状となっている凹部の表面とレンズ基体の下面表面とから構成されており、この凹部を除く部分のレンズ基体の上面および下面はそれぞれ基準面となりうる平面となっている。
【０００９】
一方、第２凸レンズ５２は、ガラスなどの光学材料よりなるレンズ基体より高屈折率な材料５３が埋め込まれて構成されている。レンズ基体の凹部を除く部分のレンズ基体の上面および下面はそれぞれ基準面となりうる平面となっている。
【００１０】
第１凸レンズ５１と第２凸レンズ５２とは、同一光軸上に配置され、レンズ基体の下面とレンズ基体の上面とが接着、固定され、光源５４からの光ビームが第１凸レンズ５１を通過した後、第２凸レンズ５２を通過し、第１凸レンズ５１とは反対側の光軸上の、所定の点に集光するように構成されている。
【００１１】
上記のように平面同士を貼り合わせることで、組み合わせる際に発生するレンズの光軸の倒れを抑制して高精度に調整することが可能な組み合わせレンズとなっている。
【００１２】
【特許文献１】
特開２００２−２４３９１２号公報（公開日平成１４年８月２８日）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の方法では、組み合わせレンズの収差を小さくするために、第１凸レンズ５１と第２凸レンズ５２との貼り合わせ工程において、第１凸レンズ５１と第２凸レンズ５２との光軸の位置ずれを極力小さくする必要があり、そのためには複雑な調整機構を用いて光軸調整を行わなければならず、生産性に問題があった。
【００１４】
本発明は上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、組み合わせレンズを製造するにあたって、一方のレンズを利用してもう一方のレンズのレンズを形成することにより、光軸調整を簡単化し、製造工程の簡略化を実現できる組み合わせレンズの製造方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記の課題を解決するために、２個以上のレンズから構成される組み合わせレンズの製造方法であって、第１レンズを支持する第１レンズ支持体と第２レンズ材料からなる層とを、上記第１レンズ支持体に支持された第１レンズと上記第２レンズ材料からなる層とが対向するように貼り合せた後、上記第１レンズに光を照射し、該第１レンズを透過した光を用いて上記第２レンズ材料からなる層に第２レンズのパターンを形成することを特徴としている。
【００１６】
上記の構成によれば、第２レンズのパターンは第１レンズを透過した光を用いて形成される。そのため、このパターンを用いて第２レンズを形成すれば、第２レンズと第１レンズとの光軸を同一光軸上に配置することができる。これによれば、複雑な調整機構を必要とせずに、第１レンズおよび第２レンズのレンズ間の光軸調整を高精度で行える。したがって、製造工程を簡略化することで、組み合わせレンズの生産性を向上させるとともに、生産コストを低減させることができる。
【００１７】
本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記の課題を解決するために、２個以上のレンズから構成される組み合わせレンズの製造方法であって、第１レンズを支持する第１レンズ支持体と光学部材とを、上記第１レンズ支持体に支持された第１レンズと上記光学部材とが対向するように貼り合せる貼り合せ工程と、上記光学部材上に感光性樹脂を塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、上記貼り合せ工程後、第１レンズに可視光あるいは紫外光を照射する照射工程と、第１レンズを透過した可視光あるいは紫外光を用いて上記感光性樹脂層に第２レンズのパターンを形成し、このパターンを用いて第２レンズを形成するレンズ形成工程とを含むことを特徴としている。
【００１８】
また、本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記感光性樹脂はレジストであり、上記レンズ形成工程では、レジスト層に形成された第２レンズのパターンを用いて光学部材をエッチングすることで、光学部材からなる第２レンズを形成することを特徴としている。
【００１９】
また、本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記感光性樹脂は紫外線硬化樹脂であり、上記レンズ形成工程では、紫外線硬化樹脂層に形成された第２レンズのパターンの未硬化部分を除去することで、紫外線硬化樹脂からなる第２レンズを形成することを特徴としている。
【００２０】
上記の構成によれば、第１レンズに照射された可視光あるいは紫外光は、第１レンズを透過した後、光学部材を透過し、光学部材上に形成された感光性樹脂層に到達する。このように、第１レンズを透過する可視光あるいは紫外光と、感光性樹脂層に到達する可視光あるいは紫外光とは同じ光であるので、第１レンズを透過した可視光あるいは紫外光を用いることで、第１レンズの光軸と同一光軸上に配置される第２レンズのパターンを感光性樹脂層に形成することができる。そこで感光性樹脂層に第２レンズのパターンを形成後、このパターンを用いて第２レンズを形成すれば、第２レンズの光軸を第１レンズの光軸と同一光軸上に配置することができる。このようにすれば、複雑な調整機構を用いることなく、第１レンズおよび第２レンズのレンズ間の光軸調整を、高精度でしかも簡単に行うことができる。これによれば、製造工程の簡略化によって、組み合わせレンズの生産性を向上させるとともに、生産コストを低減させることができる。
【００２１】
このとき、上記感光性樹脂としてレジストを用いれば、レジスト層に形成された第２レンズのパターンを用いて光学部材をエッチングすることで、光学部材からなる第２レンズを形成することができる。
【００２２】
また、感光性樹脂として紫外線硬化樹脂を用いれば、第１レンズを透過した紫外光で紫外線硬化樹脂を硬化するとともに、未硬化部分を除去することで、紫外線硬化樹脂からなる第２レンズを形成することができる。これによれば、光学部材をエッチングする工程が不要となるので、感光性樹脂としてレジストを用いる場合よりも、第２レンズの形成をより簡単化することができるので、組み合わせレンズの生産性をより向上させることができる。
【００２３】
本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記の課題を解決するために、上記光学部材が、無機誘電体であることを特徴としている。
【００２４】
無機誘電体は、熱膨張が小さく耐湿性に優れている。さらに、無機誘電体は、一般に高屈折率を有し、また光の透過率が良好である。したがって、光学部材として無機誘電体を用いれば、熱による光学性能劣化が低く耐湿性に優れ、高屈折率を有し、光の透過率の良好な組み合わせレンズを得ることができる。
【００２５】
本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記の課題を解決するために、部分的に光の透過率を変化させたマスクを用いて第１レンズに光を照射することを特徴としている。
【００２６】
例えば感光性樹脂層がネガレジスト層の場合には、強い光が照射された地点ではネガレジスト層が厚く残り、弱い光が照射された地点ではネガレジスト層は薄くなる。また、感光性樹脂層が紫外線硬化樹脂層である場合には、強い紫外光が照射された地点では紫外線硬化樹脂層は硬化しやすく、弱い紫外光が照射された地点の紫外線硬化樹脂層は硬化しにくくなる。したがって、部分的に光の透過率を変化させたマスクを用いて第１レンズに光を照射し、光の強度に対する感光性樹脂の特性を利用することで、所望の第２レンズの形状を得ることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１〜図３に基づいて説明すれば、以下の通りである。本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、２個以上のレンズから構成される組み合わせレンズを製造する方法である。
【００２８】
本実施の形態では、まず初めに、第１レンズのレンズ部外縁に設けられ、第１レンズと第２レンズとの間の距離を一定に保って支持する第１レンズ支持体と第２レンズ材料からなる層とを、上記第１レンズ支持体に支持された第１レンズと上記第２レンズ材料からなる層とが対向するように貼り合せる。
【００２９】
上記第１レンズの材質は特に限定されるものではなく、従来の組み合わせレンズで使用される種々の材質を用いることができる。また本実施の形態において、第１レンズとは、両凸レンズ、両凹レンズ、平凸レンズ、平凹レンズ、凹凸レンズなどであり、これらの形状は特に限定されるものではない。
【００３０】
上記第１レンズ支持体とは、第１レンズのレンズ部外縁に設けられ、第１レンズと第２レンズとの間の距離を一定に保って支持するものであり、第１レンズと一体に形成される。あるいは、第１レンズ支持体を薄くし、円筒形のスペーサと組み合わせ、第１レンズと第２レンズとの間の距離を一定に保って支持してもよい。
【００３１】
上記第２レンズ材料からなる層としては、レンズを構成することの可能な無機誘電体やプラスチックからなる層が挙げられるがこれらは特に限定されるものではない。
【００３２】
本実施の形態では、例えば接着剤を用いて第１レンズ支持体および第２レンズ材料からなる層を貼り合せる。このときスペーサを介して第１レンズ支持体および第２レンズ材料からなる層を貼り合せることもできる。
【００３３】
第１レンズ支持体および第２レンズ材料からなる層を貼り合せた後、第１レンズに光（可視光あるいは紫外光）を照射する。すると光は第１レンズを透過し、第２レンズ材料からなる層に到達し、さらに第２レンズ材料からなる層を透過するが、この際、第１レンズを透過する光と、第２レンズ材料からなる層を透過する光とは同一の光である。そこで、例えば第２レンズ材料からなる層を透過した光を用いて第２レンズのパターンを形成し、このパターンに基づいて第２レンズを形成するようにすれば、第２レンズの光軸を第１レンズの光軸と同一光軸上に配置することができる。このとき、部分的に光の透過率を変化させたマスクを用いて第１レンズに光を照射することもできる。
【００３４】
このとき、例えば第２レンズ材料からなる層として光学部材を用い、この光学部材上にさらに感光性樹脂を塗布することで感光性樹脂層を形成し、光学部材を透過した光を用いて感光性樹脂に第２レンズのパターンを形成し、このパターンを用いて第２レンズを形成することができる。
【００３５】
上記光学部材は、例えば無機誘電体（例えばガラス等）材料あるいは高分子（例えばプラスチック）材料から構成すればよい。無機誘電体材料は、熱膨張が小さく、耐湿性に優れている。また無機誘電体材料は、一般に高分子材料よりも高い屈折率を示し、また短波長での光の透過率も高いものが多い。さらに無機誘電体材料は、複屈折率が小さい、均質性が良いなどの利点を備えている。したがって、光学部材として無機誘電体材料を用いれば、組み合わせレンズの光学性能劣化を低く抑えるとともに、耐湿性に優れ、複屈折が小さく、均質性の良好な組み合わせレンズを得ることができる。
【００３６】
上記感光性樹脂としては、例えばレジストや紫外線硬化樹脂を用いることができる。以下、感光性樹脂としてレジストを用いた場合の、組み合わせレンズの製造方法について説明する。
【００３７】
まず、軟化したガラスなどの光学材料を金型に充填し、第１レンズ体（第１レンズ体とは、図１に示すように、凸レンズ３，４が対になった両凸レンズから構成されている第１レンズ１、およびその外縁に設けられた第１レンズ支持体５を合わせたものを指す）が複数個並べられてなる第１レンズ集積体１１を形成する。図２（ａ）に、第１レンズ集積体１１の断面図を示す。
【００３８】
次に、図２（ｂ）に示すように、第１レンズ支持体５の下面側の第１レンズ集積体１１に、ガラス平面基板（光学部材）１２を接着固定する。
【００３９】
さらに、図２（ｃ）に示すように、ガラス平面基板１２上にレジストを塗布することで、レジスト層１３を形成する。レジスト層１３を形成後、第１レンズ１に紫外光を照射する。これにより第１レンズ１を透過した紫外光は、ガラス平面基板１２を透過し、レジスト層１３に到達する。そしてレジスト層１３が、図２（ｄ）に示すように紫外光で露光される。
【００４０】
このとき第１レンズ１に照射する紫外光に強度分布を持たせれば、第１レンズ１を透過した紫外光によって露光されたレジスト層１３の各地点での感光量は異なるので、現像後のレジスト層１３の残膜量は、レジスト層１３の各地点で異なることになる。
【００４１】
そこで、本実施形態では照射する紫外光の強度分布を調整することで、レジスト層１３に所望のパターンを形成し、これによって第２レンズの形状を調整する。なお、レジスト層１３の露光工程についての詳細は後述する。
【００４２】
露光後、現像処理を行うことで、図２（ｄ）に示すような第２レンズのパターン１４を得る。その後、ポストベーク処理を行う。
【００４３】
そして図２（ｅ）に示すように、レジスト層１３側からガラス平面基板１２をエッチングすることで、ネガレジスト層１３に形成されたパターン１４をガラス平面基板１２に転写する。これによりガラス平面基板１２からなる第２レンズ７を形成する。
【００４４】
上記エッチングとして、ドライエッチングを行えばよい。ドライエッチングの方法として、例えば、反応性イオンエッチングやイオンミリングなどが挙げられる。このとき、エッチング条件によって、レジスト層１３に形成されたパターン１４の厚みを拡大することができる。例えば、ガラス平面基板１２が石英ガラスからなり、レジスト１３と石英ガラスのエッチング選択比が１：２となるようなエッチング条件を選択すると、レジスト層１３において厚み５０μｍのパターン１４は、ガラス平面基板１２においては厚み１００μｍのパターンに拡大される。このようなことから、レジスト層１３に第２レンズのパターンを形成するときには、エッチングの選択比も考慮して決定する。
【００４５】
エッチング後、図２（ｆ）に示すように所定の分割ラインで分割することで、図１に示す組み合わせレンズが得られる。ここで、本実施形態によって得られる組み合わせレンズについて、図１に基づいて説明する。
【００４６】
図１に示すのは、本実施の形態にかかる製造方法よって得られる組み合わせレンズの構成を概略的に示す断面図である。図１に示すように、組み合わせレンズは、第１レンズ１と、第２レンズ７とから構成されている。第１レンズ１は、凸レンズ３，４から構成される両凸レンズとなっている。第１レンズ１は第１レンズ支持体５に支持されており、第１レンズ支持体５の下面６は、凸レンズ４よりも下側に位置している。
【００４７】
第１レンズ支持体１の下面６に第２レンズ支持体２（第２レンズ支持体２は、図２に示すガラス平面基板１２から構成されている）および第２レンズ７が設けられている。本実施の形態によれば、第２レンズ７は、前述したガラス平面基板１２をエッチングすることで構成されたものであり、第２レンズ７部分を除くガラス平面基板１２の上面および下面はそれぞれ基準面となりうる平面を持っている。
【００４８】
そして第１レンズ１と第２レンズ７とは同一光軸上に配置されており、光源８からの光ビームが第１レンズ１を通過した後、第２レンズ７を通過し、第１レンズ１とは反対側の光軸の、所定の点に集光するようになっている。図１に示す組み合わせレンズは、全体の収差が小さくなるよう、第１レンズ１と第２レンズ７との光軸が一致するように配置されている。
【００４９】
ここで、前述した露光工程について、図３に基づいて説明する。図３は、露光工程を行うための露光光学系の構成を概略的に示している。同図に示すように、露光光学系は、超高圧水銀ランプ２１と、曲面ミラー２２と、グレースケールマスク２３と、レンズ２４とを備えて構成されている。
【００５０】
超高圧水銀ランプ２１は、露光光の光源である。超高圧水銀ランプ２１から出射されたｉ線（波長３６５ｎｍ）の紫外光は、曲面ミラー２２によって反射され、グレースケールマスク２３を照明する。
【００５１】
グレースケールマスク（マスク）２３は、部分的に光の透過率を変化させたマスクである。本実施の形態では、グレースケールマスク２３は、第１レンズ１と第２レンズ７との光軸が一致するように、第１レンズ１の形状に合わせた光の透過率を有している。またこのときの光の透過率は連続的に変調するようになっている。グレースケールマスク２３を介して紫外光を照射することで、紫外光を所望の強度分布をもった光束として作りだすことができる。
【００５２】
グレースケールマスク２３を透過した紫外光は、レンズ２４と第１レンズ１によってレジスト層１３に結像し、レジスト層１３が露光される。ここで、例えば、レジスト層１３をネガレジストからなる層とすれば、強く露光された地点では、レジスト層１３が厚く残り、弱く露光された地点ではレジスト層１３は薄くなる。このようにグレースケールマスク２３の透過率分布の制御を行うことにより、所望の第２レンズ７の形状のパターンが得られる。
【００５３】
本実施の形態によれば、第１レンズ１を透過する紫外光を用いて第２レンズ７のパターン１４を形成することで、第１レンズ１と第２レンズ２の位置ずれを抑制することができる。
【００５４】
なお、第１レンズ１と第２レンズ７とのレンズ間の光軸ずれは、第１レンズ集積体１１とガラス平面基板１２との傾きや、第２レンズ２の露光光学系の傾きにより引き起こされるが、本実施の形態によれば、第１レンズ１と第２レンズ７との間隔が５００μｍの場合、光軸傾き０．１°内でのレンズ間の光軸ずれを０．９μｍ以下と小さく抑えることができる。光軸傾き０．１°は管理可能な数字である。また、第１レンズ支持体５の平面を利用し干渉計を用いることで精密に測定することで、露光光学系の傾きを小さく抑えることが可能である。したがって本実施の形態によれば、第１レンズ集積体１１とガラス平面基板１２の傾きや、第２レンズ２の露光光学系の傾きによって、第１レンズ１と第２レンズ７とのレンズ間の光軸ずれが生じるということはない。なお、露光原理ではレジスト層がネガレジストからなる層を用いた場合について説明したが、これに限らず、本実施の形態にかかるレジスト層１３としてポジレジストからなる層としてもよい。
【００５５】
また本実施の形態によれば、第２レンズ７を形成するために金型を必要としない。したがって、第２レンズ７を構成する材料が低融点ガラスに限定されないので、材料を自由に選択することができる。第２レンズ７を構成する材料として、例えば高屈折率の材料を選択すれば、レンズの集光性能をより向上させることができる。また例えば屈折率の値が２に近い高屈折率の材料を用いれば、第２レンズの面のカーブを緩くすることができるので、第２レンズの形成が容易になるという利点がある。
【００５６】
〔実施の形態２〕
次に、本発明にかかる他の実施の形態について、図４および図５に基づいて説明する。なお、本実施の形態にかかる第１レンズ、第１レンズ支持体、ガラス平面基板の材質や形状などは、実施の形態１と同様にすればよい。
【００５７】
本実施形態では、軟化したガラスなどの光学材料を金型に充填し、図４に示す両凸レンズから構成される第１レンズ３０およびそれを支持する第１レンズ支持体３１からなる第１レンズ体を１個ずつ作製する。実施の形態１では、複数個並べた第１レンズ体からなる第１集積体１１を利用したが、この場合、高精度に作製された第１レンズの金型を複数個必要とし、さらにそれぞれの第１レンズ厚みを均一に保つ必要があるため、第１レンズ集積体１１の作製が困難になる虞がある。これに対して、本実施の形態によれば、第１レンズ体を１個ずつ作製することで、第１レンズ３０の作製誤差を低減することができ、これにより組み合わせレンズの性能を向上させることができる。
【００５８】
第１レンズ体を作製後、本実施の形態では、図５（ｂ）に示すように、第１レンズ支持体３１を筒状のスペーサ３３にはめ込み、このスペーサ３３を介して第１レンズ支持体３１およびガラス平面基板３４を貼り合せる。これにより第１レンズ３０と後述する第２レンズ３２との間隔を所望の値に調整する。
【００５９】
そして図５（ｂ）に示すように、スペーサ３３とガラス平面基板３４とを貼り合せ、さらに図５（ｃ）に示すように、ガラス平面基板３４上に高屈折率の紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線硬化樹脂層３５を形成する。
【００６０】
次に、実施の形態１で述べた露光光学系を用いて、第１レンズ２０を通して紫外光を紫外線硬化樹脂層３５に照射する。そして紫外線硬化樹脂層３５を硬化させ、紫外線硬化樹脂層３５に第２レンズのパターンを形成する。
【００６１】
紫外線硬化樹脂層３５の硬化する部分の厚みは、紫外光の強度分布に応じて変化する。そこで、本実施の形態では、紫外光の強度分布を調整することにより、所望の形状の第２レンズのパターンを紫外線硬化樹脂層３５に形成する。
【００６２】
紫外線照射後、紫外線硬化樹脂層３５を有機溶剤に浸ける。これにより、紫外線により硬化しない紫外線硬化樹脂層３５は除去され、図５（ｄ）に示すように、紫外線硬化樹脂層３５からなる第２レンズ３２が形成される。本実施の形態では、第２レンズ３２の形成後、第２レンズ３２側からさらに紫外線を照射することで、第２レンズ３２を完全に硬化させる。これにより、紫外線硬化樹脂層３５からなる第２レンズ３２がガラス平面基板３４に形成される。
【００６３】
最後に、図５（ｅ）に示すように所定の分割ラインで分割することで、図４に示す組み合わせレンズが得られる。ここで、本実施形態によって得られる組み合わせレンズについて、図４に基づいて説明する。
【００６４】
図４に示すのは、本実施の形態にかかる製造方法によって得られる組み合わせレンズの構成を概略的に示す断面図である。図４に示すように、組み合わせレンズは、第１レンズ３０および該第１レンズ３０を支持する第１レンズ支持体３１、スペーサ３３、ガラス平面基板３４、第２レンズ３２から構成されている。
【００６５】
図４に示すように、スペーサ３２の上面は第１レンズ３０の第１レンズ支持体３１にはめこまれ、スペーサ３３の下面は、ガラス平面基板３４に接着固定されている。組み合わせレンズは全体の収差が小さくなるよう、第１レンズ３０と第２レンズ３２との光軸が一致するように配置されている。
【００６６】
本実施の形態によれば、第１レンズ３０をより高精度に作製することで、組み合わせレンズの作製精度を向上させることができる。また感光性樹脂として紫外線硬化樹脂を用いているので、実施の形態１で述べたようにレジスト層１３に形成されたパターン１４を転写するためのエッチングを行う必要がなくなるので、製造工程をより簡略化することで、組み合わせレンズの生産コストをより低減することができる。なお本実施の形態でも、紫外光を照射する際に、マスクを用いることが好ましい。
【００６７】
なお、実施の形態１および本実施の形態では、それぞれ図２、図５に示すように、第２レンズは１つのレンズ面を備える構成としたが、これに限らず、第１レンズに照射する光を調整することで、２つ以上のレンズ面を備える第２レンズとして形成してもよい。また、照射する光は紫外光に限られるものではなく、例えば可視光を用いてもよい。
【００６８】
また、さらに第２レンズ側にガラス平面基板（光学部材）を設け、第１レンズおよび第２レンズを透過した光を用いて、実施の形態１や本実施の形態で第２レンズを形成したようにして、さらに第３レンズを備える組み合わせレンズを製造することもできる。
【００６９】
【発明の効果】
本発明の組み合わせレンズの製造方法は、以上のように、２個以上のレンズから構成される組み合わせレンズの製造方法であって、第１レンズを支持する第１レンズ支持体と第２レンズ材料からなる層とを、上記第１レンズ支持体に支持された第１レンズと上記第２レンズ材料からなる層とが対向するように貼り合せた後、上記第１レンズに光を照射し、該第１レンズを透過した光を用いて上記第２レンズ材料からなる層に第２レンズのパターンを形成する構成である。
【００７０】
それゆえ、複雑な調整機構を必要とせずに、第１レンズおよび第２レンズのレンズ間の光軸調整を高精度で行えるので、製造工程を簡略化することで、組み合わせレンズの生産性を向上させるとともに、生産コストを低減させることができるという効果を奏する。
【００７１】
本発明の組み合わせレンズの製造方法は、以上のように、２個以上のレンズから構成される組み合わせレンズの製造方法であって、第１レンズを支持する第１レンズ支持体と光学部材とを、上記第１レンズ支持体に支持された第１レンズと上記光学部材とが対向するように貼り合せる貼り合せ工程と、上記光学部材上に感光性樹脂を塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、上記貼り合せ工程後、第１レンズに可視光あるいは紫外光を照射する照射工程と、第１レンズを透過した可視光あるいは紫外光を用いて上記感光性樹脂層に第２レンズのパターンを形成し、このパターンを用いて第２レンズを形成するレンズ形成工程とを含む構成である。
【００７２】
また、本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記感光性樹脂はレジストであり、上記レンズ形成工程では、レジスト層に形成された第２レンズのパターンを用いて光学部材をエッチングすることで、光学部材からなる第２レンズを形成する構成である。
【００７３】
また、本発明にかかる組み合わせレンズの製造方法は、上記感光性樹脂は紫外線硬化樹脂であり、上記レンズ形成工程では、紫外線硬化樹脂層に形成された第２レンズのパターンの未硬化部分を除去することで、紫外線硬化樹脂からなる第２レンズを形成する構成である。
【００７４】
それゆえ、複雑な調整機構を用いることなく、第１レンズおよび第２レンズのレンズ間の光軸調整を、高精度かつ簡単に行うことができる。このような方法により製造工程の簡略化を実現することができるので、組み合わせレンズの生産性を向上させるとともに、生産コストを低減させることができるという効果を奏する。また感光性樹脂として紫外線硬化樹脂を用いれば、感光性樹脂としてレジストを用いる場合よりも、第２レンズの形成をより簡単に行うことができるので、組み合わせレンズの生産性をより向上させることができるという効果を奏する。
【００７５】
本発明の組み合わせレンズの製造方法は、以上のように、上記光学部材が、無機誘電体である構成である。
【００７６】
それゆえ、熱による光学性能劣化が低く耐熱性に優れ、高屈折率を有し、光の透過率の良好な組み合わせレンズを得ることができるという効果を奏する。
【００７７】
本発明の組み合わせレンズの製造方法は、以上のように、部分的に光の透過率を変化させたマスクを用いて第１レンズに光を照射する構成である。
【００７８】
それゆえ、所望の第２レンズの形状を得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる組み合わせレンズの構成を概略的に示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１にかかる組み合わせレンズの製造工程を概略的に示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１および２にかかる組み合わせレンズの製造方法で用いる、露光光学系の構成を概略的に示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態２にかかる組み合わせレンズの構成を概略的に示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２にかかる組み合わせレンズの製造工程を概略的に示す図である。
【図６】従来の組み合わせレンズの構成を概略的に示す断面図である。
【符号の説明】
１，３０第１レンズ
５，３１第１レンズ支持体
７，３２第２レンズ
１１第１レンズ集積体
１２，３４ガラス平面基板（光学部材）
１３レジスト層（感光性樹脂層）
２３グレースケールマスク（マスク）
３５紫外線硬化樹脂層

Claims

２個以上のレンズから構成される組み合わせレンズの製造方法であって、
第１レンズを支持する第１レンズ支持体と第２レンズ材料からなる層とを、上記第１レンズ支持体に支持された第１レンズと上記第２レンズ材料からなる層とが対向するように貼り合せた後、上記第１レンズに光を照射し、該第１レンズを透過した光を用いて上記第２レンズ材料からなる層に第２レンズのパターンを形成することを特徴とする組み合わせレンズの製造方法。
２個以上のレンズから構成される組み合わせレンズの製造方法であって、
第１レンズを支持する第１レンズ支持体と光学部材とを、上記第１レンズ支持体に支持された第１レンズと上記光学部材とが対向するように貼り合せる貼り合せ工程と、
上記光学部材上に感光性樹脂を塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、上記貼り合せ工程後、第１レンズに可視光あるいは紫外光を照射する照射工程と、
第１レンズを透過した可視光あるいは紫外光を用いて上記感光性樹脂層に第２レンズのパターンを形成し、このパターンを用いて第２レンズを形成するレンズ形成工程とを含むことを特徴とする組み合わせレンズの製造方法。
上記感光性樹脂はレジストであり、上記レンズ形成工程では、レジスト層に形成された第２レンズのパターンを用いて上記光学部材をエッチングすることで、上記光学部材からなる第２レンズを形成することを特徴とする請求項２に記載の組み合わせレンズの製造方法。
上記感光性樹脂は紫外線硬化樹脂であり、上記レンズ形成工程では、紫外線硬化樹脂層に形成された第２レンズのパターンの未硬化部分を除去することで、紫外線硬化樹脂からなる第２レンズを形成することを特徴とする請求項２に記載の組み合わせレンズの製造方法。
上記光学部材が、無機誘電体であることを特徴とする請求項２に記載の組み合わせレンズの製造方法。
部分的に光の透過率を変化させたマスクを用いて第１レンズに光を照射することを特徴とする請求項１または２に記載の組み合わせレンズの製造方法。