JP2003302514A - 回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置 - Google Patents
回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】透過光に対する波面収差の劣化の少ない回折光
学素子を実現する。 【解決手段】光学的に透明な第１の基板１１の上に、光
学的に透明な接着剤層１３を介して、光学的に透明なフ
ィルム１５を接着し、接着されたフィルム１５の表面に
凹凸による所望の回折格子を形成し、フィルム１５の回
折格子を形成された面に、光学的に透明な接着剤による
オーバコート層１７を、接着剤が回折格子の凹部に充填
されるように形成し、オーバコート層上に、光学的に透
明な第２の基板１９をオーバコート層表面を平坦化する
ようにして接着固定する回折光学素子の製造方法におい
て、接着剤層１３およびフィルム１５として、屈折率が
互いに略同一であるものを用いる。
学素子を実現する。 【解決手段】光学的に透明な第１の基板１１の上に、光
学的に透明な接着剤層１３を介して、光学的に透明なフ
ィルム１５を接着し、接着されたフィルム１５の表面に
凹凸による所望の回折格子を形成し、フィルム１５の回
折格子を形成された面に、光学的に透明な接着剤による
オーバコート層１７を、接着剤が回折格子の凹部に充填
されるように形成し、オーバコート層上に、光学的に透
明な第２の基板１９をオーバコート層表面を平坦化する
ようにして接着固定する回折光学素子の製造方法におい
て、接着剤層１３およびフィルム１５として、屈折率が
互いに略同一であるものを用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、回折光学素子お
よびその製造方法および光ピックアップ装置および光デ
ィスクドライブ装置に関する。
よびその製造方法および光ピックアップ装置および光デ
ィスクドライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】回折光学素子は「光に所望の回折現象を
生じさせる光学素子」であり、分光や光の偏向等を行わ
せる素子として広く使用されている。
生じさせる光学素子」であり、分光や光の偏向等を行わ
せる素子として広く使用されている。
【０００３】回折光学素子は従来から種々のものが知ら
れているが、新たな回折光学素子として「光学的に透明
な基板の上に有機膜や高分子膜を形成し、これら膜の表
面に凹凸による所望の回折格子を形成したもの」が提案
されている（特開２０００−２２１３２５号公報、特開
２０００―７５１３０号公報等）。
れているが、新たな回折光学素子として「光学的に透明
な基板の上に有機膜や高分子膜を形成し、これら膜の表
面に凹凸による所望の回折格子を形成したもの」が提案
されている（特開２０００−２２１３２５号公報、特開
２０００―７５１３０号公報等）。
【０００４】このような回折光学素子では、基板上に形
成される膜、あるいは膜とこれを基板に接着させる接着
剤層の厚さが均一でないと、光を透過させた場合に透過
光の波面収差が劣化するという問題がある。
成される膜、あるいは膜とこれを基板に接着させる接着
剤層の厚さが均一でないと、光を透過させた場合に透過
光の波面収差が劣化するという問題がある。
【０００５】上記公報に記載されている回折光学素子
は、膜が複屈折性を持つ「偏光ホログラム」であり、例
えば、光ピックアップ装置において、光源側からの光と
光ディスクからの戻り光束とを光路分離するのに好適に
使用され得るが、光源側からの光を透過させた場合に透
過光の波面収差が劣化すると、光ディスクの記録面上に
所望のスポット径の光スポットを形成するのが困難にな
る。
は、膜が複屈折性を持つ「偏光ホログラム」であり、例
えば、光ピックアップ装置において、光源側からの光と
光ディスクからの戻り光束とを光路分離するのに好適に
使用され得るが、光源側からの光を透過させた場合に透
過光の波面収差が劣化すると、光ディスクの記録面上に
所望のスポット径の光スポットを形成するのが困難にな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、透過光に
対する波面収差の劣化を有効に軽減できる新規な回折光
学素子およびその製造方法、上記回折光学素子を用いる
光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置の実
現を課題とする。
対する波面収差の劣化を有効に軽減できる新規な回折光
学素子およびその製造方法、上記回折光学素子を用いる
光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置の実
現を課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の回折光学素子
の製造方法は「光学的に透明な第１の基板の上に、光学
的に透明な接着剤層を介して、光学的に透明なフィルム
を接着し、接着されたフィルムの表面に凹凸による所望
の回折格子を形成し、フィルムの回折格子を形成された
面に、光学的に透明な接着剤によるオーバコート層を、
接着剤が回折格子の凹部に充填されるように形成し、オ
ーバコート層上に、光学的に透明な第２の基板を、オー
バコート層表面を平坦化するようにして接着固定する、
回折光学素子」の製造方法であって、以下の点を特徴と
する（請求項１）。
の製造方法は「光学的に透明な第１の基板の上に、光学
的に透明な接着剤層を介して、光学的に透明なフィルム
を接着し、接着されたフィルムの表面に凹凸による所望
の回折格子を形成し、フィルムの回折格子を形成された
面に、光学的に透明な接着剤によるオーバコート層を、
接着剤が回折格子の凹部に充填されるように形成し、オ
ーバコート層上に、光学的に透明な第２の基板を、オー
バコート層表面を平坦化するようにして接着固定する、
回折光学素子」の製造方法であって、以下の点を特徴と
する（請求項１）。
【０００８】即ち、接着剤層およびフィルムとして、屈
折率が互いに略同一であるものが用いられる。
折率が互いに略同一であるものが用いられる。
【０００９】請求項１記載の回折光学素子の製造方法に
おいて用いられる「接着剤層を構成する接着剤およびオ
ーバコート層を構成する接着剤」として光硬化性樹脂を
用い、光照射により固化接着を行うことができる（請求
項２）。
おいて用いられる「接着剤層を構成する接着剤およびオ
ーバコート層を構成する接着剤」として光硬化性樹脂を
用い、光照射により固化接着を行うことができる（請求
項２）。
【００１０】請求項１または２記載の回折光学素子の製
造方法において、光学的に透明なフィルムを複屈折膜と
し、接着剤層として「フィルムの常光線もしくは異常光
線に対する屈折率と略同一の屈折率を持つもの」を用い
ることができる。この場合、オーバコート層として「フ
ィルムの常光線もしくは異常光線に対する屈折率と略同
一の屈折率を持つもの」を用いることができる（請求項
３）。
造方法において、光学的に透明なフィルムを複屈折膜と
し、接着剤層として「フィルムの常光線もしくは異常光
線に対する屈折率と略同一の屈折率を持つもの」を用い
ることができる。この場合、オーバコート層として「フ
ィルムの常光線もしくは異常光線に対する屈折率と略同
一の屈折率を持つもの」を用いることができる（請求項
３）。
【００１１】上記請求項３または４記載の回折光学素子
の製造方法において、光学的に透明なフィルムとしては
「複屈折性をもつ有機材料で構成されたもの」を用いる
こともできるし（請求項５）、「延伸により複屈折性を
持たせたもの」を用いることもできる（請求項６）。
の製造方法において、光学的に透明なフィルムとしては
「複屈折性をもつ有機材料で構成されたもの」を用いる
こともできるし（請求項５）、「延伸により複屈折性を
持たせたもの」を用いることもできる（請求項６）。
【００１２】請求項３〜６の任意の１に記載の回折光学
素子の製造方法においては「接着剤層を構成する接着剤
と、オーバコート層を構成する接着剤とを同一材料とす
る」ことができる（請求項７）。
素子の製造方法においては「接着剤層を構成する接着剤
と、オーバコート層を構成する接着剤とを同一材料とす
る」ことができる（請求項７）。
【００１３】請求項８記載の回折光学素子は「請求項１
〜７の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法により
製造される回折光学素子」である。
〜７の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法により
製造される回折光学素子」である。
【００１４】請求項９記載の回折光学素子は「請求項３
〜７の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法により
製造される回折光学素子」である。即ち、請求項９記載
の回折光学素子では、フィルムが複屈折性を有する。
〜７の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法により
製造される回折光学素子」である。即ち、請求項９記載
の回折光学素子では、フィルムが複屈折性を有する。
【００１５】上記請求項８または９に記載の回折光学素
子は、入射面および／または射出面に「無反射コーティ
ング処理」を施すことができる（請求項１０）。
子は、入射面および／または射出面に「無反射コーティ
ング処理」を施すことができる（請求項１０）。
【００１６】この発明の光ピックアップ装置は「光源か
ら放射される光を、対物レンズにより光ディスクの記録
面上に光スポットとして集光し、記録面により反射され
た戻り光束を、対物レンズを介して光検出部へ導きつ
つ、光ディスクに対し、情報の記録・再生・消去の１以
上を行う光ピックアップ装置」であり、請求項１１記載
のものは、光源と対物レンズとの間に請求項８記載の回
折光学素子が配置されていることを特徴とする。
ら放射される光を、対物レンズにより光ディスクの記録
面上に光スポットとして集光し、記録面により反射され
た戻り光束を、対物レンズを介して光検出部へ導きつ
つ、光ディスクに対し、情報の記録・再生・消去の１以
上を行う光ピックアップ装置」であり、請求項１１記載
のものは、光源と対物レンズとの間に請求項８記載の回
折光学素子が配置されていることを特徴とする。
【００１７】また、請求項１２記載の光ピックアップ装
置は、回折光学素子が請求項９記載のものであり、戻り
光束を回折により光検出部側へ分離する偏光ホログラム
素子として用いられていることを特徴とする。この場
合、回折光学素子の光源側面および／または対物レンズ
側面に無反射コーティング処理を施したものを用いるこ
とができる（請求項１３）。
置は、回折光学素子が請求項９記載のものであり、戻り
光束を回折により光検出部側へ分離する偏光ホログラム
素子として用いられていることを特徴とする。この場
合、回折光学素子の光源側面および／または対物レンズ
側面に無反射コーティング処理を施したものを用いるこ
とができる（請求項１３）。
【００１８】この発明の光ディスクドライブ装置は、光
ディスクに対し、光ピックアップ装置を用いて、情報の
記録・再生・消去の１以上を行う光ディスクドライブ装
置であって、光ピックアップ装置として、請求項１１ま
たは１２または１３記載のものを用いたことを特徴とす
る。
ディスクに対し、光ピックアップ装置を用いて、情報の
記録・再生・消去の１以上を行う光ディスクドライブ装
置であって、光ピックアップ装置として、請求項１１ま
たは１２または１３記載のものを用いたことを特徴とす
る。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態を説明する。図
１は、この発明の回折光学素子の実施の１形態を説明図
的に示している。
１は、この発明の回折光学素子の実施の１形態を説明図
的に示している。
【００２０】符号１１は「光学的に透明な第１の基
板」、符号１３は「接着剤層」、符号１５は「光学的に
透明なフィルム」、符号１７は「オーバコート層」、符
号１９は「光学的に透明な第２の基板」を示している。
板」、符号１３は「接着剤層」、符号１５は「光学的に
透明なフィルム」、符号１７は「オーバコート層」、符
号１９は「光学的に透明な第２の基板」を示している。
【００２１】第１の基板１１や第２の基板１９は平行平
板状で、両面が高精度に平行化され、両面とも高精度に
平坦化されている。これら基板１１、１９の材料として
はＢＫ７等を始めとする各種の光学ガラスを好適に用い
ることができる。
板状で、両面が高精度に平行化され、両面とも高精度に
平坦化されている。これら基板１１、１９の材料として
はＢＫ７等を始めとする各種の光学ガラスを好適に用い
ることができる。
【００２２】接着剤層１３やオーバコート層１９をなす
接着剤としてはエポキシ系樹脂によるもの、特に光硬化
性のものを用いることができる。
接着剤としてはエポキシ系樹脂によるもの、特に光硬化
性のものを用いることができる。
【００２３】光学的に透明なフィルム１５は、ポリエス
テル系の有機材料を用いることができ、この有機材料の
フィルムに延伸により複屈折性を持たせたものを用いる
こともできる。
テル系の有機材料を用いることができ、この有機材料の
フィルムに延伸により複屈折性を持たせたものを用いる
こともできる。
【００２４】回折光学素子１０は、以下のように製造さ
れる。光学的に透明な第１の基板１１の上に、光学的に
透明な接着剤層１３を介してフィルム１５を接着する。
接着されたフィルム１５の表面に「凹凸による所望の回
折格子」を形成する。回折格子は所望のものであるか
ら、通常の１次元の回折格子であることができることは
勿論、回折光に１以上のレンズ作用や、非点収差付加と
いった作用を与える回折格子として形成することができ
る。このような回折格子は、フォトリソグラフィとエッ
チングとを利用して容易に形成できる。
れる。光学的に透明な第１の基板１１の上に、光学的に
透明な接着剤層１３を介してフィルム１５を接着する。
接着されたフィルム１５の表面に「凹凸による所望の回
折格子」を形成する。回折格子は所望のものであるか
ら、通常の１次元の回折格子であることができることは
勿論、回折光に１以上のレンズ作用や、非点収差付加と
いった作用を与える回折格子として形成することができ
る。このような回折格子は、フォトリソグラフィとエッ
チングとを利用して容易に形成できる。
【００２５】例えば、フィルム１５の表面（回折格子を
形成する面）に金属薄膜をスパッタリング等により形成
し、その上にフォトレジスト膜を形成する。フォトレジ
スト膜を「形成すべき回折格子のパターン」に従って露
光し、現像を行う。ついで、露呈した金属薄膜部分を除
去した後、フォトレジストを除去すると、形成すべき回
折格子パターンに応じた金属薄膜のマスクがフィルム上
に得られるので、上記マスクを介して異方性のエッチン
グを行い、マスクの形状に従う回折格子を形成する。そ
の後、金属薄膜のマスクをリフトオフして除去すれば、
フィルム１５の表面に凹凸による回折格子が得られる。
形成する面）に金属薄膜をスパッタリング等により形成
し、その上にフォトレジスト膜を形成する。フォトレジ
スト膜を「形成すべき回折格子のパターン」に従って露
光し、現像を行う。ついで、露呈した金属薄膜部分を除
去した後、フォトレジストを除去すると、形成すべき回
折格子パターンに応じた金属薄膜のマスクがフィルム上
に得られるので、上記マスクを介して異方性のエッチン
グを行い、マスクの形状に従う回折格子を形成する。そ
の後、金属薄膜のマスクをリフトオフして除去すれば、
フィルム１５の表面に凹凸による回折格子が得られる。
【００２６】フィルム１５の回折格子を形成された面
に、光学的に透明な接着剤によるオーバコート層１７
を、オーバコート層となる接着剤が回折格子の凹部に充
填されるように形成し、形成されたオーバコート層１７
上に、光学的に透明な第２の基板１９を「オーバコート
層表面を平坦化する」ようにして接着固定する。
に、光学的に透明な接着剤によるオーバコート層１７
を、オーバコート層となる接着剤が回折格子の凹部に充
填されるように形成し、形成されたオーバコート層１７
上に、光学的に透明な第２の基板１９を「オーバコート
層表面を平坦化する」ようにして接着固定する。
【００２７】このようにして回折光学素子１０が得られ
る。この発明に於いては、接着剤層１３およびフィルム
１５として「屈折率が互いに略同一であるもの」が用い
られる。
る。この発明に於いては、接着剤層１３およびフィルム
１５として「屈折率が互いに略同一であるもの」が用い
られる。
【００２８】また、フィルム１５が複屈折膜である場合
には、接着剤層１３として「フィルムの常光線もしくは
異常光線に対する屈折率と略同一の屈折率を持つもの」
が用いられる。この場合、オーバコート層１７として
「フィルムの常光線もしくは異常光線に対する屈折率と
略同一の屈折率を持つもの」を用いることができる。こ
れを実現するには、接着剤層１３を構成する接着剤と、
オーバコート層１７を構成する接着剤とを同一材料とす
ればよい。
には、接着剤層１３として「フィルムの常光線もしくは
異常光線に対する屈折率と略同一の屈折率を持つもの」
が用いられる。この場合、オーバコート層１７として
「フィルムの常光線もしくは異常光線に対する屈折率と
略同一の屈折率を持つもの」を用いることができる。こ
れを実現するには、接着剤層１３を構成する接着剤と、
オーバコート層１７を構成する接着剤とを同一材料とす
ればよい。
【００２９】回折光学素子１０は、その入射面および／
または射出面に「無反射コーティング処理」を施すこと
ができる。
または射出面に「無反射コーティング処理」を施すこと
ができる。
【００３０】図３は、この発明の光ピックアップ装置の
実施の１形態を示す図である。この光ピックアップ装置
は、光源３０から放射される光を、対物レンズ３７によ
り光ディスク４０の記録面上に光スポットとして集光
し、記録面により反射された戻り光束を、対物レンズ３
７を介して光検出部３９へ導きつつ、光ディスク４０に
対し、情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ピック
アップ装置であり、光源と対物レンズとの間に回折光学
素子３１が配置されている。
実施の１形態を示す図である。この光ピックアップ装置
は、光源３０から放射される光を、対物レンズ３７によ
り光ディスク４０の記録面上に光スポットとして集光
し、記録面により反射された戻り光束を、対物レンズ３
７を介して光検出部３９へ導きつつ、光ディスク４０に
対し、情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ピック
アップ装置であり、光源と対物レンズとの間に回折光学
素子３１が配置されている。
【００３１】回折光学素子３１は、図１に即して説明し
た如きものである。
た如きものである。
【００３２】図３の光ピックアップ装置では、光源３０
である半導体レーザからの光が回折光学素子３１を透過
する。回折光学素子３１は、偏光ホログラム素子として
用いられており、光源側からの光はそのまま回折光学素
子３１を透過し、コリメータレンズ３３により平行光束
化される。
である半導体レーザからの光が回折光学素子３１を透過
する。回折光学素子３１は、偏光ホログラム素子として
用いられており、光源側からの光はそのまま回折光学素
子３１を透過し、コリメータレンズ３３により平行光束
化される。
【００３３】平行光束化された光は１／４波長板３５を
透過し、対物レンズ３７の作用により、光ディスク４０
の記録面上に光スポットとして集光する。記録面により
反射された光は「戻り光束」となって対物レンズ３７、
１／４波長板３５を透過し、偏光面が当初の方向から９
０度旋回した直線偏光となり、回折光学素子３１に入射
し、回折光学素子３１による回折作用を受けて光検出部
３９へ向けて偏向される。このとき、戻り光束には回折
光学素子３１により、例えば、非点収差が与えられ、こ
の光束は光検出部３９で受光され、非点収差法によるフ
ォーカシング信号、プッシュプル法によるトラッキング
信号や再生信号を発生させる。
透過し、対物レンズ３７の作用により、光ディスク４０
の記録面上に光スポットとして集光する。記録面により
反射された光は「戻り光束」となって対物レンズ３７、
１／４波長板３５を透過し、偏光面が当初の方向から９
０度旋回した直線偏光となり、回折光学素子３１に入射
し、回折光学素子３１による回折作用を受けて光検出部
３９へ向けて偏向される。このとき、戻り光束には回折
光学素子３１により、例えば、非点収差が与えられ、こ
の光束は光検出部３９で受光され、非点収差法によるフ
ォーカシング信号、プッシュプル法によるトラッキング
信号や再生信号を発生させる。
【００３４】図４は、光ディスクドライブ装置の実施の
１形態を示す図である。この光ディスクドライブ装置
は、光ディスク４０に対し、光ピックアップ装置４１を
用いて情報の記録・再生・消去の１以上を行う装置であ
る。光ディスク４０は保持部４７に保持され、「駆動手
段」としてのモータＭで回転駆動される。
１形態を示す図である。この光ディスクドライブ装置
は、光ディスク４０に対し、光ピックアップ装置４１を
用いて情報の記録・再生・消去の１以上を行う装置であ
る。光ディスク４０は保持部４７に保持され、「駆動手
段」としてのモータＭで回転駆動される。
【００３５】セットされた光ディスク４０に対し光ピッ
クアップ装置４１が、変位駆動手段４３により光ディス
ク４０の半径方向へ変位駆動されて、記録・再生・消去
の１以上を行う。制御手段４５は、光ピックアップ装置
４１からの信号に基づく各種制御や再生信号の出力を制
御するほか、装置全体の制御を行う。
クアップ装置４１が、変位駆動手段４３により光ディス
ク４０の半径方向へ変位駆動されて、記録・再生・消去
の１以上を行う。制御手段４５は、光ピックアップ装置
４１からの信号に基づく各種制御や再生信号の出力を制
御するほか、装置全体の制御を行う。
【００３６】若干、説明を補足する。図１に即して説明
した回折光学素子は、上記のごとき光ピックアップ装置
に用いられるものでは、サイズが「数ミリ四方程度」
で、これを単品づつ別個に製造するわけではなく、一度
に数百のものが製造される。
した回折光学素子は、上記のごとき光ピックアップ装置
に用いられるものでは、サイズが「数ミリ四方程度」
で、これを単品づつ別個に製造するわけではなく、一度
に数百のものが製造される。
【００３７】即ち、第１、第２の基板としては、直径数
１０ｍｍ〜数１００ｍｍのサイズのもの、例えば直径：
１００あるいは１６０ｍｍのものが用いられ、第１の基
板の上に接着剤層が形成される。接着剤層の形成には種
々の方法があるが、１例として、スピンコーターを用い
て「スピンコート」する方法は好適である。
１０ｍｍ〜数１００ｍｍのサイズのもの、例えば直径：
１００あるいは１６０ｍｍのものが用いられ、第１の基
板の上に接着剤層が形成される。接着剤層の形成には種
々の方法があるが、１例として、スピンコーターを用い
て「スピンコート」する方法は好適である。
【００３８】このようにして形成された接着剤層の上
に、基板サイズより一回り小さいフィルムを載せ、接着
剤層により第１の基板に接着固定する。この場合、接着
剤として光硬化性のもの、例えば紫外線硬化型樹脂を用
いると、固化前の接着剤層上にフィルムを載せ、フィル
ムを介して紫外線照射を行い、接着剤層を固化して接着
を行うことができる。
に、基板サイズより一回り小さいフィルムを載せ、接着
剤層により第１の基板に接着固定する。この場合、接着
剤として光硬化性のもの、例えば紫外線硬化型樹脂を用
いると、固化前の接着剤層上にフィルムを載せ、フィル
ムを介して紫外線照射を行い、接着剤層を固化して接着
を行うことができる。
【００３９】このとき「以後の製造工程において、フィ
ルムと第１の基板とが剥離したりしない」ように接着力
を強化するのに、フィルムの接着剤層側面を「粗面化処
理」するのが好ましい。この粗面化処理は「プラズマ処
理」を用いて行うこともできるし、コロナ放電やサンド
ブラスト処理で行うこともできる。ただし、粗面化処理
によりフィルム面に形成される凹凸が大きいと光を散乱
させるので、形成される凹凸は、使用波長：λに対しλ
／１０以下の大きさで、なおかつ接着力強化に有効な大
きさである必要がある。
ルムと第１の基板とが剥離したりしない」ように接着力
を強化するのに、フィルムの接着剤層側面を「粗面化処
理」するのが好ましい。この粗面化処理は「プラズマ処
理」を用いて行うこともできるし、コロナ放電やサンド
ブラスト処理で行うこともできる。ただし、粗面化処理
によりフィルム面に形成される凹凸が大きいと光を散乱
させるので、形成される凹凸は、使用波長：λに対しλ
／１０以下の大きさで、なおかつ接着力強化に有効な大
きさである必要がある。
【００４０】上に説明した「回折格子の形成」は、基板
に接着されたフィルム面上の複数の素子に対応して１度
に行われる。この回折格子の形成は、上述したフォトリ
ソグラフィとエッチングとで行う場合、エッチングに必
要な時間は数１０秒〜数分であり、極めて効率よく回折
格子形成を行うことができる。
に接着されたフィルム面上の複数の素子に対応して１度
に行われる。この回折格子の形成は、上述したフォトリ
ソグラフィとエッチングとで行う場合、エッチングに必
要な時間は数１０秒〜数分であり、極めて効率よく回折
格子形成を行うことができる。
【００４１】なお、フォトレジストのプリベークを例え
ば１００℃前後の高温で行うと、フィルムが熱収縮して
第１の基板に「反り」が生じるので、プリベークは６０
度以下の低温で行うことが好ましい。このとき、減圧下
でプリベークすると、２０℃程度の低音でも溶剤を有効
に除去でき、短時間でプリベークを実現できる。
ば１００℃前後の高温で行うと、フィルムが熱収縮して
第１の基板に「反り」が生じるので、プリベークは６０
度以下の低温で行うことが好ましい。このとき、減圧下
でプリベークすると、２０℃程度の低音でも溶剤を有効
に除去でき、短時間でプリベークを実現できる。
【００４２】回折格子の形成後、オーバコート層となる
べき接着剤をフィルム面の全面に塗布し、しかるのちそ
の上から第２の基板を載置してオーバコート層による接
着で全体を一体化する。例えば、このときも接着剤とし
て紫外線硬化型樹脂を用いるのであれば、接着剤の塗布
後に第２の基板を載置して、基板越しに紫外線の照射を
行うことにより接着固化を行うことができる。
べき接着剤をフィルム面の全面に塗布し、しかるのちそ
の上から第２の基板を載置してオーバコート層による接
着で全体を一体化する。例えば、このときも接着剤とし
て紫外線硬化型樹脂を用いるのであれば、接着剤の塗布
後に第２の基板を載置して、基板越しに紫外線の照射を
行うことにより接着固化を行うことができる。
【００４３】フィルムのオーバコート層に接する側の面
にも、前記と同様の「粗面化処理」を施すことが好まし
い。
にも、前記と同様の「粗面化処理」を施すことが好まし
い。
【００４４】このようにして第２の基板を接着したら、
ダイシングソーを用いて切断を行い、個々の回折光学素
子を得ることができる。
ダイシングソーを用いて切断を行い、個々の回折光学素
子を得ることができる。
【００４５】
【実施例】第１の基板として、直径：１００ｍｍ、厚
さ：１ｍｍのＢＫ７による平行平板ガラスを用い、その
片面にエポキシ系の接着剤による厚み：４０μｍの接着
剤層を形成し、その上にポリエステル系の有機材料によ
る厚さ：１００μｍのフィルムを接着した。
さ：１ｍｍのＢＫ７による平行平板ガラスを用い、その
片面にエポキシ系の接着剤による厚み：４０μｍの接着
剤層を形成し、その上にポリエステル系の有機材料によ
る厚さ：１００μｍのフィルムを接着した。
【００４６】上記フィルム上に所望の回折格子を多数組
形成した。各組の回折格子は同一のもので、ピッチ：２
μｍ、デューティ：５０％、深さ：１μｍの断面矩形形
状のものである。この状態で、全体をダイシングソーに
より切断し、５ｍｍ×５ｍｍのサイズの回折光学素子と
した。このようなサンプルを２種類作製した。
形成した。各組の回折格子は同一のもので、ピッチ：２
μｍ、デューティ：５０％、深さ：１μｍの断面矩形形
状のものである。この状態で、全体をダイシングソーに
より切断し、５ｍｍ×５ｍｍのサイズの回折光学素子と
した。このようなサンプルを２種類作製した。
【００４７】上記第１の基板は、波長：６６０ｎｍの光
に対して屈折率：１.５２である。
に対して屈折率：１.５２である。
【００４８】第１のサンプル（サンプル１）では、接着
剤層をなす接着剤として波長：６６０ｎｍに対する屈折
率：Ｎ＝１.５２のものを用い、フィルムとして同波長
の光に対する屈折率：Ｎ＝1.５８のものを用いた。
剤層をなす接着剤として波長：６６０ｎｍに対する屈折
率：Ｎ＝１.５２のものを用い、フィルムとして同波長
の光に対する屈折率：Ｎ＝1.５８のものを用いた。
【００４９】第２のサンプル（サンプル２）では、接着
剤層をなす接着剤として波長：６６０ｎｍに対する屈折
率：Ｎ＝１．５８のものを用い、フィルムとして同波長
の光に対する屈折率：Ｎ＝1.５８のものを用いた。即
ち、サンプル２では、接着剤層とフィルムの屈折率が同
じである。各サンプルに対する波面収差（ルートミーン
スクエア値：ｒｍｓ値）を、干渉による測定を行う測定
機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫＩＶ で測定した結果、以下の
ようになった。
剤層をなす接着剤として波長：６６０ｎｍに対する屈折
率：Ｎ＝１．５８のものを用い、フィルムとして同波長
の光に対する屈折率：Ｎ＝1.５８のものを用いた。即
ち、サンプル２では、接着剤層とフィルムの屈折率が同
じである。各サンプルに対する波面収差（ルートミーン
スクエア値：ｒｍｓ値）を、干渉による測定を行う測定
機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫＩＶ で測定した結果、以下の
ようになった。
【００５０】
基板Ｎ 接着剤層Ｎ フィルムＮ 波面収差（λｒｍｓ）
サンプル１ １.５２ １.５２ １.５８ ０.０６〜０.１２
サンプル２ １．５２ １．５８ １．５８ ０．０４〜０．０８
波面収差の値が範囲を持っているのは、サンプル１、２
とも複数個を測定しているため、その測定値の範囲を示
しているためである。この結果から、接着剤層の屈折率
をフィルムの屈折率を合わせることによって、波面収差
が改善されることが分かる。
とも複数個を測定しているため、その測定値の範囲を示
しているためである。この結果から、接着剤層の屈折率
をフィルムの屈折率を合わせることによって、波面収差
が改善されることが分かる。
【００５１】次ぎに、サンプル２の構成において、ダイ
シングソーによる切断前に、回折格子の形成されたフィ
ルム上に、屈折率：Ｎ＝１．４７の接着剤によるオーバ
コート層（ＯＣ層）を厚さ：５０μｍに形成し（このと
き、接着剤は回折格子の凹部を充填する）その後、ダイ
シングソーによる切断を行って、５ｍｍ×５ｍｍのサイ
ズの回折光学素子とした。これをサンプル３とする。
シングソーによる切断前に、回折格子の形成されたフィ
ルム上に、屈折率：Ｎ＝１．４７の接着剤によるオーバ
コート層（ＯＣ層）を厚さ：５０μｍに形成し（このと
き、接着剤は回折格子の凹部を充填する）その後、ダイ
シングソーによる切断を行って、５ｍｍ×５ｍｍのサイ
ズの回折光学素子とした。これをサンプル３とする。
【００５２】サンプル３に対する波面収差（ｒｍｓ値）
を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結
果、以下のようになった。
を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結
果、以下のようになった。
【００５３】
基板Ｎ 接着剤層Ｎ フィルムＮ ＯＣ層Ｎ 波面収差
サンプル３ １.５２ １.５８ １.５８ 1.４７ ０.０２〜０.０６
この結果から、接着剤層の屈折率をフィルムの屈折率を
合わせ、さらにオーバコート層を設けることによって、
波面収差がさらに改善されることが分かる。しかしなが
ら、改善された波面収差でも大きいものは０．０６に達
する。なお、サンプル３で、接着剤層の屈折率を１．５
２としても、サンプル３と同様の結果が得られた。
合わせ、さらにオーバコート層を設けることによって、
波面収差がさらに改善されることが分かる。しかしなが
ら、改善された波面収差でも大きいものは０．０６に達
する。なお、サンプル３で、接着剤層の屈折率を１．５
２としても、サンプル３と同様の結果が得られた。
【００５４】実施例１
上記サンプル３の構成において、ダイシングソーによる
切断前に、オーバコート層（ＯＣ層）上に、厚さ：１ｍ
ｍのＢＫ７による平行平板ガラスを第２の基板として載
せ、オーバコート層表面を平坦化するようにして接着固
定した。これをダイシングソーで切断し、５ｍｍ×５ｍ
ｍのサイズの回折光学素子とした。
切断前に、オーバコート層（ＯＣ層）上に、厚さ：１ｍ
ｍのＢＫ７による平行平板ガラスを第２の基板として載
せ、オーバコート層表面を平坦化するようにして接着固
定した。これをダイシングソーで切断し、５ｍｍ×５ｍ
ｍのサイズの回折光学素子とした。
【００５５】これをサンプル４とする。
【００５６】サンプル４に対する波面収差（ｒｍｓ値）
を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結
果、以下のようになった。
を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結
果、以下のようになった。
【００５７】
基板N 接着剤層N フィルムN ＯＣ層N 基板N 波面収差
サンプル４ 1.52 1.58 1.58 1.47 1.52 0.01〜0.02
この結果から、接着剤層の屈折率をフィルムの屈折率と
合わせ、オーバコート層を設け、さらに、第２の基板を
「オーバコート層表面を平坦化する」ようにして接着固
定することにより、波面収差がさらに良好に改善され、
しかも、波面収差の「ばらつき」も小さくなることが分
かる。
合わせ、オーバコート層を設け、さらに、第２の基板を
「オーバコート層表面を平坦化する」ようにして接着固
定することにより、波面収差がさらに良好に改善され、
しかも、波面収差の「ばらつき」も小さくなることが分
かる。
【００５８】なお、サンプル３、４においても、回折格
子はピッチ：２μｍ、デュ−ティ：５０％、深さ：１μ
ｍの断面矩形形状の回折格子であり、使用波長：６６０
ｎｍの光に対する回折効率はサンプル１〜４とも１０
％、透過率はサンプル１〜４とも８０％である。
子はピッチ：２μｍ、デュ−ティ：５０％、深さ：１μ
ｍの断面矩形形状の回折格子であり、使用波長：６６０
ｎｍの光に対する回折効率はサンプル１〜４とも１０
％、透過率はサンプル１〜４とも８０％である。
【００５９】第１の基板として、直径：１００ｍｍ、厚
さ：１ｍｍのＢＫ７による平行平板ガラスを用い、その
片面にエポキシ系の接着剤による厚み：４０μｍの接着
剤層を形成し、その上にポリエステル系の有機材料によ
る厚さ：１００μｍのフィルムを接着した。このフィル
ムは、延伸により複屈折性を発現させたものである。
さ：１ｍｍのＢＫ７による平行平板ガラスを用い、その
片面にエポキシ系の接着剤による厚み：４０μｍの接着
剤層を形成し、その上にポリエステル系の有機材料によ
る厚さ：１００μｍのフィルムを接着した。このフィル
ムは、延伸により複屈折性を発現させたものである。
【００６０】上記フィルム上に所望の回折格子を多数組
形成した。各組の回折格子は同一のもので、ピッチ：２
μｍ、デューティ：５０％、深さ：４μｍの断面矩形状
のものである。
形成した。各組の回折格子は同一のもので、ピッチ：２
μｍ、デューティ：５０％、深さ：４μｍの断面矩形状
のものである。
【００６１】この状態で、全体をダイシングソーにより
切断し、５ｍｍ×５ｍｍのサイズの回折光学素子（偏光
ホログラム素子）とした。このようなサンプルを２種類
（サンプル５、６）作製した。
切断し、５ｍｍ×５ｍｍのサイズの回折光学素子（偏光
ホログラム素子）とした。このようなサンプルを２種類
（サンプル５、６）作製した。
【００６２】上記第１の基板は、波長：６６０ｎｍの光
に対して屈折率：１．５２である。
に対して屈折率：１．５２である。
【００６３】サンプル５では、接着剤層をなす接着剤と
して波長：６６０ｎｍに対する屈折率：Ｎ＝１．５２の
ものを用い、フィルムとして同波長の光に対する屈折
率：Ｎ＝1.５８（常光線方向）、１．６７（異常光線方
向）のものを用いた。
して波長：６６０ｎｍに対する屈折率：Ｎ＝１．５２の
ものを用い、フィルムとして同波長の光に対する屈折
率：Ｎ＝1.５８（常光線方向）、１．６７（異常光線方
向）のものを用いた。
【００６４】サンプル６では、接着剤層をなす接着剤と
して波長：６６０ｎｍに対する屈折率：Ｎ＝１．５８の
ものを用い、フィルムとして同波長の光に対する屈折
率：Ｎ＝1.５８（常光線方向）、１．６７（異常光線方
向）のものを用いた。即ち、サンプル６では、接着剤層
とフィルムの常光線方向の屈折率が同じである。各サン
プルに対する波面収差（ｒｍｓ値）を測定機：Ｚｙｇｏ
ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結果、以下のようになっ
た。
して波長：６６０ｎｍに対する屈折率：Ｎ＝１．５８の
ものを用い、フィルムとして同波長の光に対する屈折
率：Ｎ＝1.５８（常光線方向）、１．６７（異常光線方
向）のものを用いた。即ち、サンプル６では、接着剤層
とフィルムの常光線方向の屈折率が同じである。各サン
プルに対する波面収差（ｒｍｓ値）を測定機：Ｚｙｇｏ
ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結果、以下のようになっ
た。
【００６５】
基板Ｎ 接着剤層Ｎ フィルムＮ 波面収差（λｒｍｓ）
サンプル５ １.５２ １.５２ 1.58/1.67 ０.０６〜０.１２
サンプル６ １.５２ １.５８ 1.58/1.67 ０.０４〜０.０８
サンプル５、６とも複数個を測定しているため、波面収
差は範囲を有する。
差は範囲を有する。
【００６６】この結果から、接着剤層として、フィルム
の常光線に対する屈折率と略同一の屈折率を持つものを
用いることにより、波面収差が改善されることが分か
る。
の常光線に対する屈折率と略同一の屈折率を持つものを
用いることにより、波面収差が改善されることが分か
る。
【００６７】次ぎに、サンプル６の構成において、ダイ
シングソーによる切断前に、回折格子の形成されたフィ
ルム上に、屈折率：Ｎ＝１．５８の接着剤によるオーバ
コート層（ＯＣ層）を厚さ：５０μｍに形成し（このと
き、接着剤は回折格子の凹部を充填する）その後、ダイ
シングソーによる切断を行って、５ｍｍ×５ｍｍのサイ
ズの回折光学素子とした。これをサンプル７とする。
シングソーによる切断前に、回折格子の形成されたフィ
ルム上に、屈折率：Ｎ＝１．５８の接着剤によるオーバ
コート層（ＯＣ層）を厚さ：５０μｍに形成し（このと
き、接着剤は回折格子の凹部を充填する）その後、ダイ
シングソーによる切断を行って、５ｍｍ×５ｍｍのサイ
ズの回折光学素子とした。これをサンプル７とする。
【００６８】サンプル７に対する波面収差（ｒｍｓ値）
を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結
果、以下のようになった。
を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した結
果、以下のようになった。
【００６９】
基板Ｎ 接着剤層Ｎ フィルムＮ ＯＣ層Ｎ 波面収差
サンプル７ １.５２ １.５８ 1.58/1.67 1.５８ ０.０２〜０.０６
この結果から、接着剤層の屈折率をフィルムの屈折率
（常光線方向）と合わせ、さらにオーバコート層（接着
剤層と同一材料）を設けることによって、波面収差がさ
らに改善されることが分かる。しかしながら、改善され
た波面収差でも大きいものは０．０６に達する。サンプ
ル７で、接着剤層の屈折率を１．５２としても、サンプ
ル７と同様の結果が得られた。
（常光線方向）と合わせ、さらにオーバコート層（接着
剤層と同一材料）を設けることによって、波面収差がさ
らに改善されることが分かる。しかしながら、改善され
た波面収差でも大きいものは０．０６に達する。サンプ
ル７で、接着剤層の屈折率を１．５２としても、サンプ
ル７と同様の結果が得られた。
【００７０】実施例２
上記サンプル７の構成において、ダイシングソーによる
切断前に、オーバコート層（ＯＣ層）上に、厚さ：１ｍ
ｍのＢＫ７による平行平板ガラスを第２の基板として載
せ、オーバコート層表面を平坦化するようにして接着固
定した。これをダイシングソーで切断し、５ｍｍ×５ｍ
ｍのサイズの回折光学素子とした。
切断前に、オーバコート層（ＯＣ層）上に、厚さ：１ｍ
ｍのＢＫ７による平行平板ガラスを第２の基板として載
せ、オーバコート層表面を平坦化するようにして接着固
定した。これをダイシングソーで切断し、５ｍｍ×５ｍ
ｍのサイズの回折光学素子とした。
【００７１】これをサンプル８とする。サンプル８に対
する波面収差（ｒｍｓ値 常光線を透過させたときのも
の）を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した
結果、以下のようになった。
する波面収差（ｒｍｓ値 常光線を透過させたときのも
の）を測定機：Ｚｙｇｏ ＭＡＲＫ ＩＶ で測定した
結果、以下のようになった。
【００７２】
基板N 接着剤層N フィルムN ＯＣ層N 基板N 波面収差
サンプル８ 1.52 1.58 1.58/1.67 1.58 1.52 0.005〜0.02
この結果から、接着剤層の屈折率をフィルムの屈折率を
合わせ、オーバコート層を設け、さらに、第２の基板を
「オーバコート層表面を平坦化する」ようにして接着固
定することにより、波面収差がさらに良好に改善され、
しかも、波面収差の「ばらつき」も小さくなることが分
かる。
合わせ、オーバコート層を設け、さらに、第２の基板を
「オーバコート層表面を平坦化する」ようにして接着固
定することにより、波面収差がさらに良好に改善され、
しかも、波面収差の「ばらつき」も小さくなることが分
かる。
【００７３】なお、サンプル７、８においても、回折格
子はピッチ：２μｍ、デュ−ティ：５０％、深さ：４μ
ｍの断面矩形回折格子であり、サンプル５〜８とも、使
用波長：６６０ｎｍの光に対する回折効率は、常光線方
向の偏光方向に対しては略０％、異常光線方向の偏光方
向に対しては３５％、透過率は、常光線方向の偏光方向
に対しては略９５％、異常光線方向の偏光方向に対して
は略０％である。
子はピッチ：２μｍ、デュ−ティ：５０％、深さ：４μ
ｍの断面矩形回折格子であり、サンプル５〜８とも、使
用波長：６６０ｎｍの光に対する回折効率は、常光線方
向の偏光方向に対しては略０％、異常光線方向の偏光方
向に対しては３５％、透過率は、常光線方向の偏光方向
に対しては略９５％、異常光線方向の偏光方向に対して
は略０％である。
【００７４】ここで「波面収差の改善」につき説明す
る。図２は、１つの回折光学素子における接着剤層１
３、フィルム１５、オーバコート層１７の様子を説明図
的に示している。回折光学素子の製造に当たっては、先
ず、第１の基板１１の上に接着剤層１３を構成すること
となる接着剤が塗布される。
る。図２は、１つの回折光学素子における接着剤層１
３、フィルム１５、オーバコート層１７の様子を説明図
的に示している。回折光学素子の製造に当たっては、先
ず、第１の基板１１の上に接着剤層１３を構成すること
となる接着剤が塗布される。
【００７５】このときの塗布の方法にもよるが、どのよ
うな方法であれ、塗布された接着剤層の厚みを完全に均
一化することはできず、形成された接着剤層１３には図
の如く「厚みの不均一な分布」が発生してしまう。ま
た、フィルム１５もその厚さは完全に均一ではなく、僅
かながら厚さが変動している。
うな方法であれ、塗布された接着剤層の厚みを完全に均
一化することはできず、形成された接着剤層１３には図
の如く「厚みの不均一な分布」が発生してしまう。ま
た、フィルム１５もその厚さは完全に均一ではなく、僅
かながら厚さが変動している。
【００７６】このため、接着剤層１３、フィルム１５、
オーバコート層１７の厚さは、それらの総和としては基
板１１、１９により規制されて一定になるが、個々の部
分についてはランダムに変化することになる。
オーバコート層１７の厚さは、それらの総和としては基
板１１、１９により規制されて一定になるが、個々の部
分についてはランダムに変化することになる。
【００７７】接着剤層の厚さと屈折率をｄ１、Ｎ１、フ
ィルムの厚さと屈折率をｄ２、Ｎ２、オーバコート層の
厚さと屈折率をｄ３、Ｎ３とすると、これら三者の光学
的な厚み：Ｄは、ｄ１・Ｎ１＋ｄ２・Ｎ２＋ｄ３・Ｎ３
となる。
ィルムの厚さと屈折率をｄ２、Ｎ２、オーバコート層の
厚さと屈折率をｄ３、Ｎ３とすると、これら三者の光学
的な厚み：Ｄは、ｄ１・Ｎ１＋ｄ２・Ｎ２＋ｄ３・Ｎ３
となる。
【００７８】波面収差の劣化は、光が接着剤層１３、フ
ィルム１５、オーバコート層１７を透過するときに上記
光学的厚さ：Ｄが、各厚さ：ｄ１、ｄ２、ｄ３の位置的
な変化により一定とならないことにより発生するもので
ある。
ィルム１５、オーバコート層１７を透過するときに上記
光学的厚さ：Ｄが、各厚さ：ｄ１、ｄ２、ｄ３の位置的
な変化により一定とならないことにより発生するもので
ある。
【００７９】接着剤層１３とフィルム１５の屈折率：Ｎ
１、Ｎ２を略等しくする（Ｎ１＝Ｎ２＝Ｎ）と、光学的
な厚み：Ｄは、（ｄ１＋ｄ２）Ｎ＋ｄ３・Ｎ３となり、
光学的厚さ：ｄ１・Ｎ１、ｄ２・Ｎ２が独立に変化する
場合に比して、変動が抑制され、これにより波面収差の
劣化が改善される。
１、Ｎ２を略等しくする（Ｎ１＝Ｎ２＝Ｎ）と、光学的
な厚み：Ｄは、（ｄ１＋ｄ２）Ｎ＋ｄ３・Ｎ３となり、
光学的厚さ：ｄ１・Ｎ１、ｄ２・Ｎ２が独立に変化する
場合に比して、変動が抑制され、これにより波面収差の
劣化が改善される。
【００８０】特に、実施例２（サンプル８）の場合に
は、常光線方向の偏光に対する各層の屈折率が互いに等
しくなる（Ｎ１＝Ｎ２＝Ｎ３＝Ｎ）ため、光学的な厚
み：ＤはＤ＝Ｎ（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３）となるが、物理的
な厚さ：ｄ１＋ｄ２＋ｄ３は「基板１１、１９により均
一化されている」ため至るところ一定化される。このた
め光学的厚さ：Ｄも一定となり、波面収差の劣化は顕著
に軽減される（上記実施例２における波面収差の下限
値：０．００５を参照）。
は、常光線方向の偏光に対する各層の屈折率が互いに等
しくなる（Ｎ１＝Ｎ２＝Ｎ３＝Ｎ）ため、光学的な厚
み：ＤはＤ＝Ｎ（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３）となるが、物理的
な厚さ：ｄ１＋ｄ２＋ｄ３は「基板１１、１９により均
一化されている」ため至るところ一定化される。このた
め光学的厚さ：Ｄも一定となり、波面収差の劣化は顕著
に軽減される（上記実施例２における波面収差の下限
値：０．００５を参照）。
【００８１】上記の各実施例の如く、この発明により、
波面収差の劣化を有効に改善した回折光学素子を実現で
きた。また各実施例の回折光学素子は、回折格子を形成
するフィルムの材料を有機材料とすることで、低価格で
実現できた。
波面収差の劣化を有効に改善した回折光学素子を実現で
きた。また各実施例の回折光学素子は、回折格子を形成
するフィルムの材料を有機材料とすることで、低価格で
実現できた。
【００８２】なお、この発明の回折光学素子は、上記各
実施例のような材料・形状に限定されるものではない。
実施例のような材料・形状に限定されるものではない。
【００８３】上記実施例２（サンプル８）の回折光学素
子の、入・射出面と空気層の界面に波長：６６０ｎｍの
光に対する無反射コートを施し、このようにして得られ
た回折光学素子を偏光ホログラム素子として、図３に示
す如き光ピックアップ装置を作製し、これを図４の如く
光ディスクドライブ装置に組込み、光ディスク４０とし
てのＤＶＤ（デジタルビデオディスク）に対して、情報
の再生を行ったところ極めて良好な再生画像が得られ
た。
子の、入・射出面と空気層の界面に波長：６６０ｎｍの
光に対する無反射コートを施し、このようにして得られ
た回折光学素子を偏光ホログラム素子として、図３に示
す如き光ピックアップ装置を作製し、これを図４の如く
光ディスクドライブ装置に組込み、光ディスク４０とし
てのＤＶＤ（デジタルビデオディスク）に対して、情報
の再生を行ったところ極めて良好な再生画像が得られ
た。
【００８４】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば新規な回折光学素子およびその製造方法、回折光学素
子を用いた光ピックアップ装置及びこの光ピックアップ
装置を用いる光ディスクドライブ装置を実現できる。
ば新規な回折光学素子およびその製造方法、回折光学素
子を用いた光ピックアップ装置及びこの光ピックアップ
装置を用いる光ディスクドライブ装置を実現できる。
【００８５】この発明の回折光学素子は上記の如き方法
で製造され、透過光の波面収差の劣化が少ない。したが
って、このような回折光学素子を用いる光ピックアップ
装置では、光ディスクの記録面に所望のスポット径の光
スポットを良好に形成でき、このような光ピックアップ
装置を用いる光ディスクドライブ装置では、光ディスク
に対する情報の再生・記録・消去の１以上を極めて良好
に行うことができる。
で製造され、透過光の波面収差の劣化が少ない。したが
って、このような回折光学素子を用いる光ピックアップ
装置では、光ディスクの記録面に所望のスポット径の光
スポットを良好に形成でき、このような光ピックアップ
装置を用いる光ディスクドライブ装置では、光ディスク
に対する情報の再生・記録・消去の１以上を極めて良好
に行うことができる。
【図１】この発明の回折光学素子を説明するための図で
ある。
ある。
【図２】波面収差劣化の改善を説明するための図であ
る。
る。
【図３】光ピックアップ装置の実施の１形態を説明する
ための図である。
ための図である。
【図４】光ディスクドライブ装置の実施の１形態を説明
するための図である。
するための図である。
１０ 回折光学素子
１１ 第１の基板
１３ 接着剤層
１５ フィルム
１７ オーバコート層
１９ 第２の基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ１１Ｂ 7/22 Ｇ０２Ｂ 1/10 Ａ
Ｆターム(参考） 2H049 AA03 AA13 AA33 AA37 AA57
CA05 CA15
2K009 AA02 BB02 FF02
5D119 AA11 AA40 BA01 BB01 BB02
BB03 EA02 EA03 EC07 JA12
JA14 JA32 JA64 JA65 NA05
5D789 AA11 AA40 BA01 BB01 BB02
BB03 EA02 EA03 EC07 JA12
JA14 JA32 JA64 JA65 NA05
Claims (14)
- 【請求項１】光学的に透明な第１の基板の上に、光学的
に透明な接着剤層を介して、光学的に透明なフィルムを
接着し、 接着された上記フィルムの表面に凹凸による所望の回折
格子を形成し、 上記フィルムの回折格子を形成された面に、光学的に透
明な接着剤によるオーバコート層を、上記接着剤が上記
回折格子の凹部に充填されるように形成し、 上記オーバコート層上に、光学的に透明な第２の基板
を、上記オーバコート層表面を平坦化するようにして接
着固定する、回折光学素子の製造方法において、 接着剤層およびフィルムとして、屈折率が互いに略同一
であるものを用いることを特徴とする回折光学素子の製
造方法。 - 【請求項２】請求項１記載の回折光学素子の製造方法に
おいて、 接着剤層を構成する接着剤およびオーバコート層を構成
する接着剤として光硬化性樹脂を用い、光照射により固
化接着を行うことを特徴とする回折光学素子の製造方
法。 - 【請求項３】請求項１または２記載の回折光学素子の製
造方法において、 光学的に透明なフィルムが複屈折膜であり、 接着剤層として、フィルムの常光線もしくは異常光線に
対する屈折率と略同一の屈折率を持つものを用いること
を特徴とする回折光学素子の製造方法。 - 【請求項４】請求項３記載の回折光学素子の製造方法に
おいて、 オーバコート層として、フィルムの常光線もしくは異常
光線に対する屈折率と略同一の屈折率を持つものを用い
ることを特徴とする回折光学素子の製造方法。 - 【請求項５】請求項３または４記載の回折光学素子の製
造方法において、 光学的に透明なフィルムとして、複屈折性をもつ有機材
料で構成されたものを用いることを特徴とする回折光学
素子の製造方法。 - 【請求項６】請求項３または４または５記載の回折光学
素子の製造方法において、 光学的に透明なフィルムとして、延伸により複屈折性を
持たせたものを用いることを特徴とする回折光学素子の
製造方法。 - 【請求項７】請求項３〜６の任意の１に記載の回折光学
素子の製造方法において、 接着剤層を構成する接着剤と、オーバコート層を構成す
る接着剤とが同一材料であることを特徴とする回折光学
素子の製造方法。 - 【請求項８】請求項１〜７の任意の１に記載の回折光学
素子の製造方法により製造される回折光学素子。 - 【請求項９】請求項３〜７の任意の１に記載の回折光学
素子の製造方法により製造される回折光学素子。 - 【請求項１０】請求項８または９に記載の回折光学素子
において、 入射面および／または射出面に、無反射コーティング処
理を施したことを特徴とする回折光学素子。 - 【請求項１１】光源から放射される光を、対物レンズに
より光ディスクの記録面上に光スポットとして集光し、
上記記録面により反射された戻り光束を、上記対物レン
ズを介して光検出部へ導きつつ、上記光ディスクに対
し、情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ピックア
ップ装置において、 光源と対物レンズとの間に請求項８記載の回折光学素子
が配置されていることを特徴とする光ピックアップ装
置。 - 【請求項１２】請求項１１記載の光ピックアップ装置に
おいて、 回折光学素子が、請求項９記載のものであり、戻り光束
を回折により光検出部側へ分離する偏光ホログラム素子
として用いられていることを特徴とする光ピックアップ
装置。 - 【請求項１３】請求項１２記載の光ピックアップ装置に
おいて、 回折光学素子の、光源側面および／または対物レンズ側
面に無反射コーティング処理が施されていることを特徴
とする光ピックアップ装置。 - 【請求項１４】光ディスクに対し、光ピックアップ装置
を用いて、情報の記録・再生・消去の１以上を行う光デ
ィスクドライブ装置において、 光ピックアップ装置として、請求項１１または１２また
は１３記載のものを用いたことを特徴とする光ピックア
ップ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002106444A JP2003302514A (ja) | 2002-04-09 | 2002-04-09 | 回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置 |
| US10/402,968 US20050073747A1 (en) | 2002-04-09 | 2003-04-01 | Diffractive optical element, manufacturing method thereof, optical pickup apparatus and optical disk drive apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002106444A JP2003302514A (ja) | 2002-04-09 | 2002-04-09 | 回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003302514A true JP2003302514A (ja) | 2003-10-24 |
Family
ID=29390768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002106444A Pending JP2003302514A (ja) | 2002-04-09 | 2002-04-09 | 回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20050073747A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003302514A (ja) |
Cited By (1)
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| JP2006171332A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 反射防止膜 |
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| KR20150038203A (ko) | 2012-07-26 | 2015-04-08 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 열 접합해제성 접착제 물품 |
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| JPS55101922A (en) * | 1979-01-31 | 1980-08-04 | Canon Inc | Light splitter |
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| CN1134677C (zh) * | 1994-04-14 | 2004-01-14 | 株式会社三协精机制作所 | 偏振光束分束器及使用偏振光束分束器的光探头 |
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2002
- 2002-04-09 JP JP2002106444A patent/JP2003302514A/ja active Pending
-
2003
- 2003-04-01 US US10/402,968 patent/US20050073747A1/en not_active Abandoned
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|---|---|---|---|---|
| JP2006171332A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 反射防止膜 |
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