JP2003300776A

JP2003300776A - 圧電磁器の製造方法

Info

Publication number: JP2003300776A
Application number: JP2002102655A
Authority: JP
Inventors: Shogo Murosawa; 尚吾室澤; Masaru Nanao; 勝七尾; Yoshiko Itsukida; 佳子五木田
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2002-04-04
Filing date: 2002-04-04
Publication date: 2003-10-21
Anticipated expiration: 2022-04-04
Also published as: JP4212289B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ペロブスカイト型酸化物の第１元素と第２元
素との組成比を調整し、特性を向上させることができる
圧電磁器の製造方法を提供する。【解決手段】ペロブスカイト型化合物Ｍ１_m（Ｎｂ
_1-zＴａ_z）Ｏ₃（Ｍ１は長周期型周期表１族の元素）
を主成分として含有する圧電磁器を製造する。原料を混
合し仮焼したのち、本焼成する。仮焼時のＡ／Ｂ比（第
２元素に対する第１元素の組成比）を１よりも大きく
１．０２よりも小さくし、本焼成時のＡ／Ｂ比を１±
０．００１とする。これにより、異相を少なくし、圧電
特性を向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ペロブスカイト型
酸化物を含有する圧電磁器の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電磁器としては、従来より、優れた圧
電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が最も多
く利用されている。しかし、チタン酸ジルコン酸鉛は鉛
を多く含んでいるので、最近では、酸性雨による鉛の溶
出など地球環境におよぼす悪影響が問題となっている。
そこで、チタン酸ジルコン酸鉛に代替する、鉛を含有し
ない圧電磁器の開発が望まれている。

【０００３】鉛を含有しない圧電磁器としては、例え
ば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）を主成分として
含むものが知られている（特開平２−１５９０７９号公
報参照）。この圧電磁器は、比誘電率εｒおよび電気機
械結合係数ｋｒが優れており、アクチュエータ用の圧電
材料として有望である。また、鉛を含有しない他の圧電
磁器としては、例えば、ニオブ酸ナトリウムカリウムリ
チウムを主成分として含むものが知られている（特開昭
４９−１２５９００号公報または特公昭５７−６７１３
号公報参照）。この圧電磁器は、キュリー温度が３５０
℃以上と高く、電気機械結合係数ｋｒも優れていること
から、圧電材料として期待されている。更に、最近で
は、ニオブ酸ナトリウムカリウムとタングステンブロン
ズ型酸化物とを複合化したものも報告されている（特開
平９−１６５２６２号公報参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の鉛を含まない圧電磁器は、鉛系の圧電磁器に比べて圧
電特性が低く、十分に大きな発生変位量を得ることがで
きないという問題があった。特に、ニオブ酸ナトリウム
カリウムリチウムなどのペロブスカイト型酸化物では、
ナトリウム（Ｎａ），カリウム（Ｋ）およびリチウム
（Ｌｉ）などいわゆるＡサイトに位置する第１元素と、
ニオブ（Ｎｂ）などいわゆるＢサイトに位置する第２元
素との組成比に影響を受け、その組成比が小さいと異相
の増加により特性が低下し、組成比が大きいと異相は減
少するが特性は低下してしまうことも一因となってい
る。

【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、ペロブスカイト型酸化物の第１元素
と第２元素との組成比を調整し、特性を向上させること
ができる圧電磁器の製造方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明による圧電磁器の
製造方法は、第１元素と第２元素と酸素とからなるペロ
ブスカイト型酸化物を含有する圧電磁器を製造するもの
であって、第１元素および第２元素を含む原料につい
て、第２元素に対する第１元素の組成比を１よりも大き
く１．０２よりも小さく調整し、仮焼する工程と、この
仮焼により得られた仮焼物に第２元素の原料を混合し、
第２元素に対する第１元素の組成比を１±０．００１の
範囲内に調整したのち、本焼成する工程とを含むもので
ある。

【０００７】本発明による圧電磁器の製造方法では、仮
焼の際に、第２元素に対する第１元素の組成比が１より
も大きく１．０２よりも小さく調整され、本焼成の際
に、第２元素に対する第１元素の組成比が１±０．００
１の範囲内に調整される。よって、ペロブスカイト型酸
化物の異相が少なくなり、圧電特性が向上する。

【０００８】なお、この製造方法は、第１元素としてナ
トリウム，カリウムおよびリチウムを含み、第２元素と
してニオブおよびタンタル（Ｔａ）からなる群のうち少
なくともニオブを含むペロブスカイト型酸化物を含有す
る圧電磁器を製造する場合に好ましく用いられる。

【０００９】また、この製造方法は、ペロブスカイト型
酸化物に加えて、タングステンブロンズ型酸化物を含む
組成物を含有する圧電磁器を製造する場合に好ましく、
中でも、長周期型周期表２族の元素と、ニオブおよびタ
ンタルからなる群のうちの少なくともニオブとを含むタ
ングステンブロンズ型酸化物を含有する圧電磁器を製造
する場合に好ましく用いられる。この組成物におけるタ
ングステンブロンズ型酸化物の含有量は５ｍｏｌ％以下
とすることが好ましい。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。

【００１１】図１は本発明の一実施の形態に係る圧電磁
器の製造方法における工程を表すものである。この製造
方法は、ペロブスカイト型酸化物を含む圧電磁器の製造
に関するものであり、例えば、ペロブスカイト型酸化物
とタングステンブロンズ型酸化物とを含む組成物を主成
分として含有する圧電磁器を製造する際に好ましく用い
られる。この組成物において、ペロブスカイト型酸化物
とタングステンブロンズ型酸化物とは、固溶していても
よく、完全に固溶していなくてもよい。

【００１２】なお、本実施の形態では、ペロブスカイト
型酸化物が、長周期型周期表１族の元素を含む第１元素
と、ニオブおよびタンタルからなる群のうちの少なくと
もニオブを含む第２元素と、酸素とからなり、タングス
テンブロンズ型酸化物が、長周期型周期表２族の元素を
含む第３元素と、ニオブおよびタンタルからなる群のう
ちの少なくともニオブを含む第４元素と、酸素とからな
る場合について具体的に説明する。なお、第１元素はペ
ロブスカイト型酸化物のいわゆるＡサイトに位置し、第
２元素はペロブスカイト型酸化物のいわゆるＢサイトに
位置し、第３元素はタングステンブロンズ型酸化物のい
わゆるＡサイトに位置し、第４元素はタングステンブロ
ンズ型酸化物のいわゆるＢサイトに位置するものであ
る。このペロブスカイト型酸化物の化学式は例えば化１
で表され、タングステンブロンズ型酸化物の化学式は例
えば化２で表される。

【００１３】

【化１】Ｍ１_m（Ｎｂ_1-zＴａ_z）Ｏ₃ 式中、Ｍ１は第１元素を表し、ｚは０≦ｚ＜１の範囲内
の値である。ｍは化学量論組成であれば１であるが、化
学量論組成からずれていてもよい。酸素の組成は化学量
論的に求めたものであり、化学量論組成からずれていて
もよい。

【００１４】

【化２】Ｍ２（Ｎｂ_1-wＴａ_w）₂Ｏ₆ 式中、Ｍ２は第３元素を表し、ｗは０≦ｗ＜１の範囲内
の値である。第３元素と第４元素（Ｎｂ_1-wＴａ_w）と
酸素との組成比は化学量論的に求めたものであり、化学
量論組成からずれていてもよい。

【００１５】まず、主成分の原料を用意する。例えば、
第１元素，第２元素，第３元素および第４元素を含む酸
化物をそれぞれ用意する。または、酸化物でなく、炭酸
塩あるいはシュウ酸塩のように焼成により酸化物となる
ものを用いてもよい。次いで、これら原料を十分に乾燥
させたのち、秤量し混合する（ステップＳ１０１）。

【００１６】その際、第１元素としては、長周期型周期
表１族の元素のうちのナトリウム，カリウムおよびリチ
ウムを用意することが好ましく、第２元素としては、ニ
オブおよび必要に応じてタンタルを用意することが好ま
しい。また、第３元素としては、長周期型周期表２族の
元素のうちのマグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃ
ａ），ストロンチウム（Ｓｒ）およびバリウム（Ｂａ）
からなる群のうちの少なくとも１種を用意することが好
ましく、第４元素としては、ニオブおよび必要に応じて
タンタルを用意することが好ましい。このような場合
に、鉛を含有せずあるいは鉛の含有量を少なくして、よ
り優れた圧電特性を有する圧電磁器を得ることができる
からである。

【００１７】第１元素に関する原料の配合比は、第１元
素におけるカリウムの含有量を１０ｍｏｌ％以上９０ｍ
ｏｌ％以下、リチウムの含有量を２０ｍｏｌ％以下とす
ることが好ましい。カリウムの含有量が少ないと発生変
位量を大きくすることができず、カリウムの含有量が多
いと焼成時におけるカリウムの揮発が激しく、焼成が難
しいからである。また、リチウムの含有量が多いと発生
変位量を大きくすることができないからである。

【００１８】第１元素と第２元素とに関する原料の配合
比は、第２元素に対する第１元素の組成比（第１元素／
第２元素、いわゆるＡ／Ｂ比；以下、単にＡ／Ｂ比と表
す）を、モル比で１よりも大きく１．０２よりも小さく
することが好ましい。１以下では異相の増加により発生
変位量が低下し、１．０２以上では過剰な第１元素の存
在により発生変位量が低下してしまうからである。

【００１９】第２元素または第４元素としてタンタルを
添加する場合には、第２元素および第４元素に関する原
料の配合比は、第２元素と第４元素との合計におけるタ
ンタルの含有量を５０ｍｏｌ％以下とすることが好まし
い。タンタルの含有量が多いと、キュリー温度が低くな
ると共に、発生変位量が小さくなってしまうからであ
る。なお、第２元素と第４元素とは同一となるようにし
てもよく、異なるようにしてもよい。

【００２０】ペロブスカイト型酸化物とタングステンブ
ロンズ型酸化物とに関する原料の配合比は、ペロブスカ
イト型酸化物とタングステンブロンズ型酸化物との組成
比をモル比で化３に示した範囲内とすることが好まし
い。すなわち、組成物におけるタングステンブロンズ型
酸化物の含有量を、０ｍｏｌ％よりも大きく５ｍｏｌ％
以下とすることが好ましい。タングステンブロンズ型酸
化物を添加することにより焼成を容易とすることができ
ると共に、発生変位量を大きくすることができる一方
で、タングステンブロンズ型酸化物の含有量が多すぎる
と、発生変位量が小さくなってしまうからである。

【００２１】

【化３】（１−ｎ）Ｘ＋ｎＹ式中、Ｘはペロブスカイト型酸化物、Ｙはタングステン
ブロンズ型酸化物をそれぞれ表し、ｎは０＜ｎ≦０．０
５の範囲内の値である。

【００２２】また、主成分に加えて、必要に応じて副成
分を添加するようにしてもよい。副成分としては、長周
期型周期表における３族から１２族の元素のうちの少な
くとも１種を含む酸化物が好ましく、中でも、マンガン
（Ｍｎ）を含む酸化物が好ましい。焼結性を向上させる
ことにより圧電特性をより向上させることができるから
である。副成分の原料としては、主成分と同様に、酸化
物を用いてもよいが、炭酸塩あるいはシュウ酸塩のよう
に焼成により酸化物となるものを用いてもよい。副成分
の添加量は、主成分の０．１質量％以上１質量％以下と
なるようにすることが好ましい。

【００２３】続いて、主成分の原料および必要に応じて
副成分の原料を添加した混合物を仮焼する（ステップＳ
１０２）。仮焼温度は、例えば本実施の形態において具
体的に説明した組成であれば、６５０℃〜９５０℃とす
ることが好ましい。これにより、ペロブスカイト型酸化
物およびタングステンブロンズ型酸化物が合成される。
その際、本実施の形態では、原料におけるＡ／Ｂ比を１
よりも大きく１．０２よりも小さくしているので、異相
の少ないペロブスカイト型酸化物が得られる。

【００２４】仮焼したのち、この仮焼物に第２元素の原
料を添加して、粉砕・混合する（ステップＳ１０３）。
これにより、第２元素の原料を添加した後の混合粉にお
けるＡ／Ｂ比を、１±０．００１の範囲内に調整する。
この範囲内において圧電特性を向上させることができ、
大きな発生変位量を得ることができるからである。

【００２５】仮焼物に第２元素の原料を混合したのち、
例えば、バインダを加えて造粒し、一軸プレス成形機あ
るいは静水圧成形機（ＣＩＰ）などを用いプレス成形す
る（ステップＳ１０４）。成形したのち、例えば、この
成形体を加熱して脱バインダを行い（ステップＳ１０
５）、本焼成する（ステップＳ１０６）。焼成温度は仮
焼温度以上とすることが好ましく、例えば本実施の形態
において具体的に説明した組成であれば、９５０℃〜１
３５０℃とすることが好ましい。そののち、この焼結体
を必要に応じて加工し、電極を形成し、加熱したシリコ
ーンオイル中で電界を印加して分極を行う（ステップＳ
１０７）。これにより、圧電磁器が得られる。

【００２６】このように本実施の形態によれば、仮焼時
におけるＡ／Ｂ比を１よりも大きく１．０２よりも小さ
くし、本焼成時におけるＡ／Ｂ比を１±０．００１の範
囲内とするようにしたので、ペロブスカイト型酸化物の
異相を少なくし、圧電特性を向上させることができる。

【００２７】

【実施例】更に、本発明の具体的な実施例について説明
する。

【００２８】実施例１〜３として、化４に示したペロブ
スカイト型酸化物とタングステンブロンズ型酸化物とを
含む組成物を主成分として含有する圧電磁器を作製し
た。

【００２９】

【化４】

【００３０】まず、主成分の原料として、炭酸ナトリウ
ム（Ｎａ₂ＣＯ₃）粉末、炭酸カリウム（Ｋ₂ＣＯ₃）
粉末、炭酸リチウム（Ｌｉ₂ＣＯ₃）粉末、酸化ニオブ
（Ｎｂ₂Ｏ₅）粉末、酸化タンタル（Ｔａ₂Ｏ₅）粉末
および炭酸バリウム（ＢａＣＯ₃）粉末をそれぞれ用意
した。また、副成分の原料として、炭酸マンガン（Ｍｎ
ＣＯ₃）粉末を用意した。次いで、これら主成分および
副成分の原料を十分に乾燥させ秤量したのち、ボールミ
ルにより水中で５時間混合し、乾燥して原料混合粉末を
得た（図１；ステップＳ１０１参照）。

【００３１】その際、原料混合粉末の配合比は、主成分
が化４に示した組成となるように調整した。但し、原料
混合粉末のＡ／Ｂ比は実施例１〜３で表１に示したよう
に変化させ、仮焼時のＡ／Ｂ比を調整した。また、副成
分である酸化マンガンの含有量はＭｎＯを基準として主
成分に対して０．３１質量％となるようにした。なお、
副成分の含有量は、主成分の原料のうち炭酸塩をＣＯ₂
が解離した酸化物に換算し、その換算した主成分の原料
の合計質量に対して副成分の原料である炭酸マンガン粉
末の混合量が０．５質量％となるようにしたものであ
る。

【００３２】

【表１】

【００３３】続いて、この原料混合物をプレス成形し
て、８５０℃〜９５０℃で２時間仮焼した（図１；ステ
ップＳ１０２参照）。得られた仮焼物について、Ｘ線回
折により組成の分析を行った。実施例２のＸ線回折プロ
ファイルを図２に示す。

【００３４】仮焼したのち、この仮焼物に第２元素の原
料（酸化ニオブ粉末および酸化タンタル粉末）をＡ／Ｂ
比が１．００００となるように添加して、本焼成時のＡ
／Ｂ比を１．００００に調整した。すなわち、圧電磁器
のＡ／Ｂ比、つまり化４におけるｍが１．００００とな
るようにした。第２元素の原料を添加したのち、ボール
ミルを用いて水中で粉砕・混合し、乾燥させた（図１；
ステップＳ１０３参照）。そののち、この混合粉にポリ
ビニルアルコールを加えて造粒し、一軸プレス成形機に
より約４０ＭＰａの圧力で直径１７ｍｍの円柱状に成形
して、更に約４００ＭＰａの圧力で静水圧成形した（図
１；ステップＳ１０４参照）。

【００３５】成形したのち、この成形体を６５０℃で４
時間加熱して脱バインダを行い（図１；ステップＳ１０
５参照）、更に１０００℃〜１１００℃で４時間本焼成
した（図１；ステップＳ１０６参照）。そののち、この
焼成体をスライス加工およびラップ加工により厚さ０．
６ｍｍの円板状とし、両面に電極を形成して、加熱した
シリコーンオイル中で５ｋＶ／ｍｍの電界を１５分間印
加して分極処理を行った（図１；ステップＳ１０７参
照）。これにより、実施例１〜３の圧電磁器を得た。

【００３６】得られた実施例１〜３の圧電磁器につい
て、２４時間放置したのち、圧電特性として、電気機械
結合係数ｋｒ、比誘電率εｒ、および３ｋＶ／ｍｍの電
界を印加した際の発生変位量を測定した。電気機械結合
係数ｋｒおよび比誘電率εｒの測定にはインピーダンス
アナライザー（ヒューレット・パッカード社製ＨＰ４１
９４Ａ）を用い、比誘電率εｒを測定する際の周波数は
１ｋＨｚとした。発生変位量の測定には、図２に示した
ような渦電流による変位測定装置を用いた。この変位測
定装置は、一対の電極１１，１２の間に試料１３を挟
み、直流電流を印加した場合の試料１３の変位を変位セ
ンサ１４により検出し、変位検出器１５によりその発生
変位量を求めるものである。

【００３７】得られた結果を表１に示す。なお、表１に
示した発生変位量は、測定値を試料の厚さで割り１００
を掛けた値（測定値／試料の厚さ×１００）である。

【００３８】本実施例に対する比較例１〜８として、仮
焼時のＡ／Ｂ比および本焼成時のＡ／Ｂ比を表１に示し
たように変化させたことを除き、他は実施例１〜３と同
様にして圧電磁器を作製した。なお、比較例１〜７は仮
焼時のＡ／Ｂ比と本焼成時のＡ／Ｂ比とを同一としたも
のであり、比較例８は仮焼時のＡ／Ｂ比を１．０２００
と大きくしたものである。比較例１〜８についても、実
施例１〜３と同様にして、仮焼物の組成、並びに圧電磁
器の電気機械結合係数ｋｒ、比誘電率εｒおよび３ｋＶ
／ｍｍの電界を印加した際の発生変位量を測定した。比
較例１〜３，７，８のＸ線プロファイルを図２に合わせ
て示すと共に、電気機械結合係数ｋｒ、比誘電率εｒお
よび発生変位量の結果を表１に合わせて示す。

【００３９】図２に示したように、仮焼時のＡ／Ｂ比を
１．０００以上とした比較例３，実施例２および比較例
７，８では、Ｋ₃ＬｉＮｂ₆Ｏ₁₇などの異相を示すピー
クが小さく、仮焼時のＡ／Ｂ比を１．０００よりも小さ
くした比較例１，２では大きかった。

【００４０】また、表１に示したように、実施例１〜３
によれば、仮焼時のＡ／Ｂ比と本焼成時のＡ／Ｂ比とを
同一とした比較例１〜７よりも、電気機械結合係数ｋ
ｒ、比誘電率εｒ、および発生変位量を大きくすること
ができた。更に、仮焼時のＡ／Ｂ比を１．０２００と大
きくし、本焼成時のＡ／Ｂ比を１．００００とした比較
例８は、仮焼時も本焼成時もＡ／Ｂ比を１．００００と
した比較例３よりも発生変位量が小さかった。

【００４１】すなわち、仮焼時のＡ／Ｂ比を１よりも大
きく１．０２よりも小さくし、本焼成時のＡ／Ｂ比を１
±０．００１とすれば、異相を少なくすることができる
と共に、圧電特性を向上させることができ、発生変位量
を大きくできることが分かった。

【００４２】なお、上記実施例では、化４に示した組成
を有する圧電磁器を作製する場合について具体的に説明
したが、他の組成を有するペロブスカイト型酸化物を含
む圧電磁器を作製する場合においても同様の結果を得る
ことができる。

【００４３】以上、実施の形態および実施例を挙げて本
発明を説明したが、本発明は、上記実施の形態および実
施例に限定されるものではなく、種々変形することがで
きる。例えば、上記実施の形態および実施例では、ペロ
ブスカイト型酸化物と、タングステンブロンズ型酸化物
とを含む圧電磁器を製造する場合について説明したが、
本発明は、少なくともペロブスカイト型酸化物を含む圧
電磁器を製造する場合について広く適用することができ
る。すなわち、ペロブスカイト型酸化物のみからなる圧
電磁器を製造する場合でもよく、ペロブスカイト型酸化
物に加えて、タングステンブロンズ型酸化物に限らず他
の化合物を含む圧電磁器を製造する場合でもよい。

【００４４】また、上記実施の形態および実施例では、
ペロブスカイト型酸化物の原料と、タングステンブロン
ズ型酸化物の原料とを混合したのち、仮焼するようにし
たが、ペロブスカイト型酸化物の原料とタングステンブ
ロンズ型酸化物の原料とを別々に混合して、それぞれを
個別に仮焼するようにしてもよい。これは、ペロブスカ
イト型酸化物とタングステンブロンズ型酸化物とを含む
圧電磁器を製造する場合に限らず、ペロブスカイト型酸
化物と他の化合物とを含む圧電磁器を製造する場合にお
いても同様である。

【００４５】更に、上記実施の形態および実施例では、
副成分の原料も主成分の原料と共に混合し、仮焼するよ
うにしたが、仮焼後に副成分の原料を添加するようにし
てもよい。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１ないし請
求項５のいずれかに記載の圧電磁器の製造方法によれ
ば、第２元素に対する第１元素の組成比を１よりも大き
く１．０２よりも小さく調整して仮焼したのち、第２元
素の原料を混合し、第２元素に対する第１元素の組成比
を１±０．００１の範囲内に調整して本焼成するように
したので、ペロブスカイト型酸化物の異相を少なくし、
圧電特性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る圧電磁器の製造方
法を表す流れ図である。

【図２】本発明の実施例および比較例における仮焼物の
Ｘ線プロファイルを示す特性図である。

【図３】本発明の実施例および比較例において発生変位
量の測定に用いた変位測定装置を表す構成図である。

【符号の説明】

１１，１２…電極、１３…試料、１４…変位センサ、１
５…変位検出器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者五木田佳子東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内Ｆターム(参考） 4G030 AA02 AA03 AA04 AA10 AA20 AA21 AA25 BA10 CA01 GA03 GA04 GA08 GA14 GA22 GA27

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１元素と第２元素と酸素とからなるペ
ロブスカイト型酸化物を含有する圧電磁器の製造方法で
あって、前記第１元素および前記第２元素を含む原料について、
前記第２元素に対する前記第１元素の組成比を１よりも
大きく１．０２よりも小さく調整し、仮焼する工程と、この仮焼により得られた仮焼物に前記第２元素の原料を
混合し、前記第２元素に対する前記第１元素の組成比を
１±０．００１の範囲内に調整したのち、本焼成する工
程とを含むことを特徴とする圧電磁器の製造方法。
【請求項２】前記第１元素としてナトリウム（Ｎ
ａ），カリウム（Ｋ）およびリチウム（Ｌｉ）を含み、
前記第２元素としてニオブ（Ｎｂ）およびタンタル（Ｔ
ａ）からなる群のうち少なくともニオブを含むペロブス
カイト型酸化物を含有する圧電磁器を製造することを特
徴とする請求項１記載の圧電磁器の製造方法。
【請求項３】前記ペロブスカイト型酸化物に加えて、
タングステンブロンズ型酸化物を含む組成物を含有する
圧電磁器を製造することを特徴とする請求項１または請
求項２記載の圧電磁器の製造方法。
【請求項４】前記組成物における前記タングステンブ
ロンズ型酸化物の含有量を５ｍｏｌ％以下とすることを
特徴とする請求項３記載の圧電磁器の製造方法。
【請求項５】長周期型周期表２族の元素と、ニオブお
よびタンタルからなる群のうちの少なくともニオブとを
含むタングステンブロンズ型酸化物を含有する圧電磁器
を製造することを特徴とする請求項３または請求項４記
載の圧電磁器の製造方法。