JPH09165262A - 圧電体磁器組成物 - Google Patents
圧電体磁器組成物Info
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- JPH09165262A JPH09165262A JP7330612A JP33061295A JPH09165262A JP H09165262 A JPH09165262 A JP H09165262A JP 7330612 A JP7330612 A JP 7330612A JP 33061295 A JP33061295 A JP 33061295A JP H09165262 A JPH09165262 A JP H09165262A
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- piezoelectric ceramic
- ceramic composition
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Abstract
(57)【要約】
【課題】周波数定数の大きい圧電セラミックスを開発す
ることによって、高周波特性に優れた圧電共振子及び発
振子材料として、安定して圧電特性が得られる圧電磁器
組成物を提供する。 【解決手段】一般式：ｘＮａ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｙ
Ｋ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｚＭ（Ｎｂ1-aＴａa）2Ｏ
6（但し、Ｍは少なくとも１種のアルカリ土類金属、か
つｘ＋ｙ＋２・ｚ＝１）で表される圧電磁器組成物であ
って、前記一般式中のａ、ｂ、ｘ及びｙを０．０≦ａ≦
０．５、０．２≦ｘ≦０．９８、０．０≦ｙ≦０．７
８、０．０１≦ｚ≦０．４の範囲とする。圧電磁器組成
物に対して第一遷移金属を含む化合物の少なくとも１種
を含有率０．０１〜１．８重量％になるように添加して
もよい。本発明の圧電磁器組成物から得られる圧電セラ
ミックスは周波数定数が大きく、機械的品質係数が大き
く、電気機械結合係数も良好である。
ることによって、高周波特性に優れた圧電共振子及び発
振子材料として、安定して圧電特性が得られる圧電磁器
組成物を提供する。 【解決手段】一般式：ｘＮａ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｙ
Ｋ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｚＭ（Ｎｂ1-aＴａa）2Ｏ
6（但し、Ｍは少なくとも１種のアルカリ土類金属、か
つｘ＋ｙ＋２・ｚ＝１）で表される圧電磁器組成物であ
って、前記一般式中のａ、ｂ、ｘ及びｙを０．０≦ａ≦
０．５、０．２≦ｘ≦０．９８、０．０≦ｙ≦０．７
８、０．０１≦ｚ≦０．４の範囲とする。圧電磁器組成
物に対して第一遷移金属を含む化合物の少なくとも１種
を含有率０．０１〜１．８重量％になるように添加して
もよい。本発明の圧電磁器組成物から得られる圧電セラ
ミックスは周波数定数が大きく、機械的品質係数が大き
く、電気機械結合係数も良好である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電セラミックス素
子、特に、圧電共振子及び発振子材料となる圧電体磁器
組成物に関するもので、詳しくは(Na,K)NbO3を含む圧電
体磁器組成物に関する。
子、特に、圧電共振子及び発振子材料となる圧電体磁器
組成物に関するもので、詳しくは(Na,K)NbO3を含む圧電
体磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より圧電体共振子材料としてPbTiO3
を主成分とするいわゆるPT系セラミックス、Pb(Ti,Zr)O
3を主成分とするいわゆるPZT系セラミックス、例えばPb
(Mg1/3Nb2/3)O3、Pb(Zn1/3Nb2/3)O3等をそれらに固溶す
る多成分系圧電材料等が使われてきた。
を主成分とするいわゆるPT系セラミックス、Pb(Ti,Zr)O
3を主成分とするいわゆるPZT系セラミックス、例えばPb
(Mg1/3Nb2/3)O3、Pb(Zn1/3Nb2/3)O3等をそれらに固溶す
る多成分系圧電材料等が使われてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、一般の圧電材
料は比誘電率が大きく、高周波領域においてはインピー
ダンス整合がとりにくく、高周波共振子や発振子などの
高周波用圧電素子には適当でないという問題点がある。
PZT系セラミックス等では厚み縦振動モードと面積振動
モードの電気機械結合係数がほぼ同等の値であるので、
厚み縦振動モードを用いて構成される高周波素子におい
て、面積振動モードのスプリアスが発生しやすい等の欠
点を有する。またPbTiO3を主成分とするセラミックスで
はPbTiO3の誘電率が約200程度と低いため、高周波帯に
おけるインピーダンス整合が取り易く、更に面積振動モ
ードの結合係数が高周波圧電素子に用いる厚み縦振動モ
ードの結合係数と比較して極めて小さく、面積振動モー
ドのスプリアスが発生しにくい。しかし、PbTiO3はその
結晶異方性が大きいため、焼結が困難であり、圧電セラ
ミックス中に空孔が発生し易く圧電特性上のばらつきが
大きい。また、分極処理を150℃で5〜10kV/mmという厳
しい条件で行う必要があり、絶縁破壊を起こし易いとい
う製造上の欠点を有していた。その他、従来の圧電磁器
組成物では上述の異種モードの結合によるスプリアスも
多く、圧電特性に悪影響を及ぼしていた。
料は比誘電率が大きく、高周波領域においてはインピー
ダンス整合がとりにくく、高周波共振子や発振子などの
高周波用圧電素子には適当でないという問題点がある。
PZT系セラミックス等では厚み縦振動モードと面積振動
モードの電気機械結合係数がほぼ同等の値であるので、
厚み縦振動モードを用いて構成される高周波素子におい
て、面積振動モードのスプリアスが発生しやすい等の欠
点を有する。またPbTiO3を主成分とするセラミックスで
はPbTiO3の誘電率が約200程度と低いため、高周波帯に
おけるインピーダンス整合が取り易く、更に面積振動モ
ードの結合係数が高周波圧電素子に用いる厚み縦振動モ
ードの結合係数と比較して極めて小さく、面積振動モー
ドのスプリアスが発生しにくい。しかし、PbTiO3はその
結晶異方性が大きいため、焼結が困難であり、圧電セラ
ミックス中に空孔が発生し易く圧電特性上のばらつきが
大きい。また、分極処理を150℃で5〜10kV/mmという厳
しい条件で行う必要があり、絶縁破壊を起こし易いとい
う製造上の欠点を有していた。その他、従来の圧電磁器
組成物では上述の異種モードの結合によるスプリアスも
多く、圧電特性に悪影響を及ぼしていた。
【０００４】また、ＰＺＴ等の鉛系の圧電材料では、そ
の周波数定数は2000Hz・m程度であり、例えば、10MHzの
共振周波数を持つ素子を得ようとすると、厚み振動を利
用する場合、その厚みを0.2mm程度にまで薄くする必要
があり、加工が困難になるという問題がある。よって、
高周波特性の特性の優れた圧電共振子及び発振子材料を
製造するために周波数定数の大きい圧電セラミックスを
開発することが必要である。
の周波数定数は2000Hz・m程度であり、例えば、10MHzの
共振周波数を持つ素子を得ようとすると、厚み振動を利
用する場合、その厚みを0.2mm程度にまで薄くする必要
があり、加工が困難になるという問題がある。よって、
高周波特性の特性の優れた圧電共振子及び発振子材料を
製造するために周波数定数の大きい圧電セラミックスを
開発することが必要である。
【０００５】本発明はこの問題点を解決するもので、高
周波用圧電材料として、安定して圧電特性が得られると
共に製造が容易な圧電磁器組成物を提供することを目的
とする。
周波用圧電材料として、安定して圧電特性が得られると
共に製造が容易な圧電磁器組成物を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の第一の圧電磁器組成物は、組成式を一般
式：ｘＮａ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｙＫ（Ｎｂ1-aＴ
ａa）Ｏ3−ｚＭ（Ｎｂ1-aＴａa）2Ｏ6（但し、Ｍは少な
くとも１種のアルカリ土類金属、かつｘ＋ｙ＋２・ｚ＝
１）で表現するとき、前記一般式中のａ、ｘ、ｙおよび
ｚがそれぞれ、０．０≦ａ≦０．５、０．２≦ｘ≦０．
９８、０．０≦ｙ≦０．７８、０．０１≦ｚ≦０．４の
範囲にあることを特徴とする。ここでＭはアルカリ土類
金属のうちの少なくとも１種、またはその一部を一種以
上の他のアルカリ土類金属で置換したものである。
め、本発明の第一の圧電磁器組成物は、組成式を一般
式：ｘＮａ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｙＫ（Ｎｂ1-aＴ
ａa）Ｏ3−ｚＭ（Ｎｂ1-aＴａa）2Ｏ6（但し、Ｍは少な
くとも１種のアルカリ土類金属、かつｘ＋ｙ＋２・ｚ＝
１）で表現するとき、前記一般式中のａ、ｘ、ｙおよび
ｚがそれぞれ、０．０≦ａ≦０．５、０．２≦ｘ≦０．
９８、０．０≦ｙ≦０．７８、０．０１≦ｚ≦０．４の
範囲にあることを特徴とする。ここでＭはアルカリ土類
金属のうちの少なくとも１種、またはその一部を一種以
上の他のアルカリ土類金属で置換したものである。
【０００７】次に本発明の第二の圧電磁器組成物は、組
成式を一般式：ｘＮａＮｂＯ3−ｙＫＮｂＯ3−ｚＢａＮ
ｂ2Ｏ6−ｗＳｒＮｂ2Ｏ6（但し、ｘ＋ｙ＋２・ｚ＋２・
ｗ＝１かつｚ＋ｗ≦０．４）で表現するとき、前記一般
式中のｘ、ｙ、ｚおよびｗがそれぞれ、０．２≦ｘ≦
０．９８、０．０≦ｙ≦０．７８、０．０１≦ｚ≦０．
４、０．０１≦ｗ≦０．４の範囲にあることを特徴とす
る。
成式を一般式：ｘＮａＮｂＯ3−ｙＫＮｂＯ3−ｚＢａＮ
ｂ2Ｏ6−ｗＳｒＮｂ2Ｏ6（但し、ｘ＋ｙ＋２・ｚ＋２・
ｗ＝１かつｚ＋ｗ≦０．４）で表現するとき、前記一般
式中のｘ、ｙ、ｚおよびｗがそれぞれ、０．２≦ｘ≦
０．９８、０．０≦ｙ≦０．７８、０．０１≦ｚ≦０．
４、０．０１≦ｗ≦０．４の範囲にあることを特徴とす
る。
【０００８】前記構成においては、圧電磁器組成物が第
一遷移金属を含む化合物の少なくとも１種を含有率０．
０１〜１．８重量％の範囲で含有することが好ましい。
ここで第一遷移金属とは21Ｓｃ〜29Ｃｕまでの元素をい
う。前記構成においては、第一遷移金属を含む化合物が
Ｖ2Ｏ5であることが好ましい。
一遷移金属を含む化合物の少なくとも１種を含有率０．
０１〜１．８重量％の範囲で含有することが好ましい。
ここで第一遷移金属とは21Ｓｃ〜29Ｃｕまでの元素をい
う。前記構成においては、第一遷移金属を含む化合物が
Ｖ2Ｏ5であることが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】前記本発明の第一の圧電磁器組成
物によれば、組成式を一般式：ｘＮａ（Ｎｂ 1-aＴａa）
Ｏ3−ｙＫ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｚＭ（Ｎｂ1-aＴａa）
2Ｏ6（但し、Ｍは少なくとも１種のアルカリ土類金属、
かつｘ＋ｙ＋２・ｚ＝１）で表現するとき、前記一般式
中のａ、ｘ、ｙおよびｚがそれぞれ、０．０≦ａ≦０．
５、０．２≦ｘ≦０．９８、０．０≦ｙ≦０．７８、
０．０１≦ｚ≦０．４の範囲にあることにより、周波数
定数の大きい圧電セラミックス、中でも環境上の問題を
生じるおそれのない圧電体磁器組成物であるNaNbO3系圧
電セラミックスを主成分として機械的品質係数が大きい
新規な圧電磁器組成物を実現でき、高周波用の圧電共振
子及び発振子用材料を容易に製造することが可能とな
る。
物によれば、組成式を一般式：ｘＮａ（Ｎｂ 1-aＴａa）
Ｏ3−ｙＫ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｚＭ（Ｎｂ1-aＴａa）
2Ｏ6（但し、Ｍは少なくとも１種のアルカリ土類金属、
かつｘ＋ｙ＋２・ｚ＝１）で表現するとき、前記一般式
中のａ、ｘ、ｙおよびｚがそれぞれ、０．０≦ａ≦０．
５、０．２≦ｘ≦０．９８、０．０≦ｙ≦０．７８、
０．０１≦ｚ≦０．４の範囲にあることにより、周波数
定数の大きい圧電セラミックス、中でも環境上の問題を
生じるおそれのない圧電体磁器組成物であるNaNbO3系圧
電セラミックスを主成分として機械的品質係数が大きい
新規な圧電磁器組成物を実現でき、高周波用の圧電共振
子及び発振子用材料を容易に製造することが可能とな
る。
【００１０】次に本発明の第二の圧電磁器組成物によれ
ば、組成式を一般式：ｘＮａＮｂＯ 3−ｙＫＮｂＯ3−ｚ
ＢａＮｂ2Ｏ6−ｗＳｒＮｂ2Ｏ6（但し、ｘ＋ｙ＋２・ｚ
＋２・ｗ＝１かつｚ＋ｗ≦０．４）で表現するとき、前
記一般式中のｘ、ｙ、ｚおよびｗがそれぞれ、０．２≦
ｘ≦０．９８、０．０≦ｙ≦０．７８、０．０１≦ｚ≦
０．４、０．０１≦ｗ≦０．４の範囲にあることによ
り、周波数定数の大きい圧電セラミックス、中でも環境
上の問題を生じるおそれのない圧電体磁器組成物である
NaNbO3系圧電セラミックスを主成分として機械的品質係
数が大きい新規な圧電磁器組成物を実現でき、高周波用
の圧電共振子及び発振子用材料を容易に製造することが
可能となる。
ば、組成式を一般式：ｘＮａＮｂＯ 3−ｙＫＮｂＯ3−ｚ
ＢａＮｂ2Ｏ6−ｗＳｒＮｂ2Ｏ6（但し、ｘ＋ｙ＋２・ｚ
＋２・ｗ＝１かつｚ＋ｗ≦０．４）で表現するとき、前
記一般式中のｘ、ｙ、ｚおよびｗがそれぞれ、０．２≦
ｘ≦０．９８、０．０≦ｙ≦０．７８、０．０１≦ｚ≦
０．４、０．０１≦ｗ≦０．４の範囲にあることによ
り、周波数定数の大きい圧電セラミックス、中でも環境
上の問題を生じるおそれのない圧電体磁器組成物である
NaNbO3系圧電セラミックスを主成分として機械的品質係
数が大きい新規な圧電磁器組成物を実現でき、高周波用
の圧電共振子及び発振子用材料を容易に製造することが
可能となる。
【００１１】また圧電磁器組成物が第一遷移金属を含む
化合物の少なくとも１種を含有率０．０１〜１．８重量
％の範囲で含有するという本発明の好ましい例によれ
ば、圧電体磁器の焼結性および圧電性の改善がみられ、
高周波用圧電素子として高い機械的品質係数が得られ
る。また第一遷移金属を含む化合物がＶ2Ｏ5であるとい
う本発明の好ましい例によれば、緻密で圧電性に優れた
圧電体磁器が得られ、高周波用圧電素子にふさわしい材
料が得られる。
化合物の少なくとも１種を含有率０．０１〜１．８重量
％の範囲で含有するという本発明の好ましい例によれ
ば、圧電体磁器の焼結性および圧電性の改善がみられ、
高周波用圧電素子として高い機械的品質係数が得られ
る。また第一遷移金属を含む化合物がＶ2Ｏ5であるとい
う本発明の好ましい例によれば、緻密で圧電性に優れた
圧電体磁器が得られ、高周波用圧電素子にふさわしい材
料が得られる。
【００１２】
【実施例】以下実施例を用いて本発明を具体的に説明す
る。本実施例の圧電磁器組成物は、出発原料としてNaCO
3、KCO3、BaCO3、SrCO3、MnCO3、V2O5、Nb2O5、およびT
a2O5を用いて最終的に得られる圧電セラミックスが例え
ば表１〜３に示す所定の配合比となるように秤量し、こ
れらをボールミルで均一になるように十分混合した。次
に、800〜900℃で２時間仮焼し、形成された化合物を再
びボールミルで粉砕し、ポリビニルアルコール（PVA）
等のバインダーを用いて造粒した。この粉末を70MPaの
圧力で直径13mmの円板に一軸プレス成形し、1050〜1200
℃で４時間焼成した。この円板試料を0.3mmの厚さに研
磨した後、Ａｇを700℃で焼き付けて電極付けを行い、
その後150℃のシリコン油中において2〜5KV/mmの電界を
印加して30分間、分極処理を行い、圧電セラミックスを
得た。ＮａＮｂＯ3、ＫＮｂＯ3、ＢａＮｂ2Ｏ6等を組み
合わせた実施例である実施例１〜３４の組成を、その圧
電特性のデータとともに表１〜２に示す。実施例３５は
Ｎｂの一部をＴａで置換した例であり、かつＢａの一部
をＣａで置き換えた例である。その組成と圧電特性のデ
ータを表３に示す。εrは比誘電率、ｋpは円板径方向広
がりモードの結合係数、ｋtは厚み縦振動モードの結合
係数である。Ｑmは機械的品質係数である。Ｎpは径方向
の広がりモードの周波数定数である。
る。本実施例の圧電磁器組成物は、出発原料としてNaCO
3、KCO3、BaCO3、SrCO3、MnCO3、V2O5、Nb2O5、およびT
a2O5を用いて最終的に得られる圧電セラミックスが例え
ば表１〜３に示す所定の配合比となるように秤量し、こ
れらをボールミルで均一になるように十分混合した。次
に、800〜900℃で２時間仮焼し、形成された化合物を再
びボールミルで粉砕し、ポリビニルアルコール（PVA）
等のバインダーを用いて造粒した。この粉末を70MPaの
圧力で直径13mmの円板に一軸プレス成形し、1050〜1200
℃で４時間焼成した。この円板試料を0.3mmの厚さに研
磨した後、Ａｇを700℃で焼き付けて電極付けを行い、
その後150℃のシリコン油中において2〜5KV/mmの電界を
印加して30分間、分極処理を行い、圧電セラミックスを
得た。ＮａＮｂＯ3、ＫＮｂＯ3、ＢａＮｂ2Ｏ6等を組み
合わせた実施例である実施例１〜３４の組成を、その圧
電特性のデータとともに表１〜２に示す。実施例３５は
Ｎｂの一部をＴａで置換した例であり、かつＢａの一部
をＣａで置き換えた例である。その組成と圧電特性のデ
ータを表３に示す。εrは比誘電率、ｋpは円板径方向広
がりモードの結合係数、ｋtは厚み縦振動モードの結合
係数である。Ｑmは機械的品質係数である。Ｎpは径方向
の広がりモードの周波数定数である。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【表２】
【００１５】
【表３】
【００１６】尚、特性比較のために従来の技術による本
実施例の組成範囲外の例を比較例１〜６として表４に示
す。比較例１〜６はＢａＮｂ2Ｏ7等を含有していない組
成の例である。
実施例の組成範囲外の例を比較例１〜６として表４に示
す。比較例１〜６はＢａＮｂ2Ｏ7等を含有していない組
成の例である。
【００１７】
【表４】
【００１８】表１〜３から明らかなように、実施例１〜
３５の圧電磁器組成物を用いれば、周波数定数および機
械的品質係数が大きく、電気機械結合係数も良好であ
る。本実施例の組成物の例えば実施例２〜４、１１、１
３、２１および２２のＮａＮｂＯ3、ＫＮｂＯ3およびＢ
ａＮｂ2Ｏ6のみの組成を図１の３元組成図に示した場
合、斜線で囲んだ領域内で良い結果が得られた。同様
に、本実施例の組成物の例えば実施例１６、１９、２３
〜３２のＮａＮｂＯ3、ＫＮｂＯ3および（Ｂａ0.8Ｓｒ
0.2）Ｎｂ2Ｏ6のみの組成を図２に示した場合、斜線で
囲んだ領域内で良い結果が得られた。従って高周波用の
圧電共振子及び発振子用材料を容易に製造することがで
きる。一方、比較例では機械的品質係数が十分でない。
３５の圧電磁器組成物を用いれば、周波数定数および機
械的品質係数が大きく、電気機械結合係数も良好であ
る。本実施例の組成物の例えば実施例２〜４、１１、１
３、２１および２２のＮａＮｂＯ3、ＫＮｂＯ3およびＢ
ａＮｂ2Ｏ6のみの組成を図１の３元組成図に示した場
合、斜線で囲んだ領域内で良い結果が得られた。同様
に、本実施例の組成物の例えば実施例１６、１９、２３
〜３２のＮａＮｂＯ3、ＫＮｂＯ3および（Ｂａ0.8Ｓｒ
0.2）Ｎｂ2Ｏ6のみの組成を図２に示した場合、斜線で
囲んだ領域内で良い結果が得られた。従って高周波用の
圧電共振子及び発振子用材料を容易に製造することがで
きる。一方、比較例では機械的品質係数が十分でない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明による圧電磁
器組成物によれば、周波数定数が大きく、機械的品質係
数が大きく、電気機械結合係数も良好であるので、高周
波用圧電材料として適しており、高周波用共振子及び発
振子用の材料として有用である。
器組成物によれば、周波数定数が大きく、機械的品質係
数が大きく、電気機械結合係数も良好であるので、高周
波用圧電材料として適しており、高周波用共振子及び発
振子用の材料として有用である。
【図１】 本発明の圧電磁器組成物の実施例の組成比率
を示す３元組成図。
を示す３元組成図。
【図２】 本発明の圧電磁器組成物の実施例の組成比率
を示す３元組成図。
を示す３元組成図。
Claims (4)
- 【請求項１】 組成式を一般式：ｘＮａ（Ｎｂ1-aＴ
ａa）Ｏ3−ｙＫ（Ｎｂ1-aＴａa）Ｏ3−ｚＭ（Ｎｂ1-aＴ
ａa）2Ｏ6（但し、Ｍは少なくとも１種のアルカリ土類
金属、かつｘ＋ｙ＋２・ｚ＝１）で表現するとき、前記
一般式中のａ、ｘ、ｙおよびｚがそれぞれ、 ０．０≦ａ≦０．５ ０．２≦ｘ≦０．９８ ０．０≦ｙ≦０．７８ ０．０１≦ｚ≦０．４ の範囲にあることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項２】 組成式を一般式：ｘＮａＮｂＯ3−ｙＫ
ＮｂＯ3−ｚＢａＮｂ2Ｏ6−ｗＳｒＮｂ2Ｏ6（但し、ｘ
＋ｙ＋２・ｚ＋２・ｗ＝１かつｚ＋ｗ≦０．４）で表現
するとき、前記一般式中のｘ、ｙ、ｚおよびｗがそれぞ
れ ０．２≦ｘ≦０．９８ ０．０≦ｙ≦０．７８ ０．０１≦ｚ≦０．４ ０．０１≦ｗ≦０．４ の範囲にあることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項３】 第一遷移金属を含む化合物の少なくとも
１種を含有率０．０１重量％〜１．８重量％の範囲で含
有した請求項１または２に記載の圧電磁器組成物。 - 【請求項４】 第一遷移金属を含む化合物がＶ2Ｏ5であ
る請求項３に記載の圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7330612A JPH09165262A (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | 圧電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7330612A JPH09165262A (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | 圧電体磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09165262A true JPH09165262A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18234615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7330612A Pending JPH09165262A (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | 圧電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09165262A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6387295B1 (en) | 1999-02-24 | 2002-05-14 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Alkali metal-containing niobate-based piezoelectric material composition and a method for producing the same |
| JP2002293628A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Tdk Corp | 圧電磁器および圧電素子 |
| JP2002338351A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-27 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物、圧電磁器焼結体および電子部品 |
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