JP2003269995A - 回転検出装置 - Google Patents
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Abstract
磁気センサとのエアギャップが変化した場合であって
も、同じロータの回転角度に対して各MREブリッジの
出力の差動出力も同一となるエアギャップ特性最小点を
一定に維持すること。 【解決手段】4個のMREブリッジ50〜53から磁気
センサを構成し、MREブリッジ50,53をバイアス
磁石41の磁気的中心軸(基板55の中心線56)に対
して線対称位置に配置し、MREブリッジ51,52を
MREブリッジ50,53とバイアス磁石41の磁気的
中心軸との中間位置にそれぞれ配置する。そして、これ
らのMREブリッジ50〜53の出力信号に対して、複
数段階の差動演算を行なって単一の差動出力Vdを求め
る。この結果、差動出力Vdは、ロータ31に形成され
たギア歯の形状にかかわらず、AG特性最小点を一定に
保つことが可能になる。
Description
化によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子(以下、MR
Eという)を用いて回転情報の検出を行なう回転検出装
置に関し、特に、車両におけるエンジン制御装置や車両
ブレーキにおけるABS制御装置に好適に用いられる回
転検出装置に関する。
情報とカムの角度情報に基づいて決定される。例えば、
4サイクルエンジンではクランク2回転に対してカム1
回転の割合で回転しているため、カムの一回転の中に気
筒判別の情報を盛り込み、クランクの回転中に点火時期
情報を盛り込んでいる。
バイアス磁石からカムギアに向かうバイアス磁界の方向
が、カムギアの回転に伴って変化するため、このバイア
ス磁界の方向の変化をMREで検出することにより、上
記カムの回転状態を検出するものであった。
が静止状態から回転し始めたときに、カムのギア歯が
「山」位置から「谷」位置もしくは「谷」位置から
「山」位置に変化してバイアス磁界の方向が変わるま
で、正確なギア歯の位置を検出することができない。従
って、ギア歯の位置に基づいて行なわれる、点火すべき
最初の1気筒の判別が不能となって、初回は未点火にな
る。
を短縮できるように、ギア歯が停止している時からギア
歯の位置を検出することが可能な回転検出装置について
発明し、出願を行なった(特開平11−237256号
公報)。
に、2つのMREブリッジ6,16を備えている。これ
らのMREブリッジ6,16は、バイアス磁石2の中心
軸(バイアス磁界の磁気的中心)を対称軸として線対称
に配置され、かつ、それぞれ2つのMRE4,5及びM
RE17,18を直列接続することによって構成されて
いる。直列接続される2つのMRE4,5及びMRE1
7,18は、検知軸がバイアス磁界の磁気的中心に対し
て45度と−45度の角度を成すように、すなわち互い
に直交するハの字状になるように配置されている。これ
により、バイアス磁界のベクトルの変化に対する、直列
接続された2つのMRE4,5及びMRE7,8の中点
電位の変化を大きくしている。
ッジ6の出力となり、MRE17、18の中点電位がM
REブリッジ16の出力となる。MREブリッジ6とM
REブリッジ16の出力は、それぞれ差動増幅回路20
に入力される。差動増幅回路20は、2つのMREブリ
ッジ6、16の中点電位の差を増幅して出力する。
6,16は、それぞれバイアス磁石2が発生するバイア
ス磁界の磁気的中心からギア1の回転方向にずらした位
置に配置されている。これにより、ギア歯が「山」1a
の位置にある場合と「谷」1bの位置にある場合とで、
それぞれのMREブリッジ6,16に作用するバイアス
磁界の方向が変化する。このため、ギア歯の「山」1a
の位置と「谷」1bの位置で差動増幅器20から異なる
出力値を得ることができ、ギア1の静止状態からギア歯
の位置を検出できる。
の回転検出装置では、ギア歯の形状が異なる場合、ギア
1とMREブリッジ6,16との距離(エアギャップ)
に応じて、エアギャップ(AG)特性最小点が変動する
という問題がある。ここで、AG特性最小点とは、ギア
1とMREブリッジ6,16とのエアギャップが変動し
た場合であっても、同じギア1の角度に対して、差動増
幅器20も同一の出力を発生するポイントをいう。な
お、差動増幅器20の出力はバイアス磁界の振れ角に対
応している。
する。
して、MREブリッジ6,16を配置する距離(エアギ
ャップ)を変化させ、かつ、それぞれの場合における、
ギア1の回転に対する、磁界の振れ角に対応する差動増
幅器20の出力の関係を示したものである。図15
(a)に示す例では、磁界の振れ角が約−20度となっ
たときに、エアギャップが大きい場合とエアギャップが
小さい場合との差動増幅器20の出力が一致している。
従って、この図15(a)に示す例では、AG特性最小
点となる磁界の振れ角は、−20度となる。
のギア歯を形成した場合において、そのギアとMREブ
リッジ6,16とのエアギャップを変化させたときのギ
アの回転に対する差動増幅器20の出力を示すものであ
る。図15(b)に示されるように、ギアの外周に多数
のギア歯を形成して、その1つ1つのギア歯の山の長さ
が小さくなった場合、AG特性最小点となる磁界の振れ
角は約−15度となっている。
は、ギア歯の形状が変化すると、AG特性最小点となる
磁界の振れ角が変化してしまうのである。このAG特性
最小点においては、エアギャップの大きさにかかわら
ず、ギア1の同じ角度位置に対して差動増幅器20が同
一出力を発生するため、このAG特性最小点を基準とし
て差動増幅器20の出力を2値化するためのしきい値を
設定すると、ギア1の回転角度を高精度に検出すること
ができる。
示す回転検出装置では、ギア歯の形状が変化した場合に
は、AG特性最小点となる磁界の振れ角が変化してしま
うため、同一のしきい値を用いたのでは、ギア1の回転
角度の検出精度が悪化してしまう。このため、それぞれ
ギア歯の形状に応じてしきい値を個別に設定する必要が
生じ、その作業負荷が大きいものとなっていた。
あり、ギア歯の形状が変化しても、AG特性最小点とな
る磁界の振れ角の変化を防止できる回転検出装置を提供
することを目的とする。
に、請求項1に記載の回転検出装置は、外周面にギヤ歯
が形成された回転体と、回転体のギヤ歯に向けてバイア
ス磁界を発生するバイアス磁石と、回転体に形成された
ギヤ歯とバイアス磁石との間に配置され、バイアス磁石
からギヤ歯に向かうバイアス磁界の方向に応じて出力値
が変化する磁気抵抗素子ブリッジを少なくとも4個備え
る磁気センサと、少なくとも4個の磁気抵抗素子ブリッ
ジの出力信号に対して複数段階の差動演算を行なうこと
により、単一の差動出力を求める差動出力手段とを備
え、磁気センサを構成する少なくとも4個の磁気抵抗素
子ブリッジは、バイアス磁石の磁気的中心軸に対して対
称位置に配置された第1及び第2の磁気抵抗素子ブリッ
ジと、当該第1及び第2の磁気抵抗素子ブリッジとバイ
アス磁石の磁気的中心軸との中間位置にそれぞれ配置さ
れる第3及び第4の磁気抵抗素子ブリッジとを含むこと
を特徴とする。
素子ブリッジから磁気センサを構成し、かつ、この少な
くとも4個の磁気抵抗素子ブリッジに関して、第1及び
第2の磁気抵抗素子ブリッジをバイアス磁石の磁気的中
心軸に対して線対称位置に配置し、第3及び第4の磁気
抵抗素子ブリッジを第1及び第2の磁気抵抗素子ブリッ
ジとバイアス磁石の磁気的中心軸との中間位置にそれぞ
れ配置し、これら第1から第4の磁気抵抗素子ブリッジ
の出力信号に対して、複数段階の差動演算を行なって単
一の差動出力を求めることにより、この単一の差動出力
は、回転体に形成されたギア歯の形状にかかわらず、A
G特性最小点を一定に保つことが可能になる。
たように、第1から第4の磁気抵抗素子ブリッジに加え
て、第5の磁気抵抗素子ブリッジを配置する場合、当該
第5の磁気抵抗素子ブリッジは、前記バイアス磁石の磁
気的中心軸上に配置され、この場合、第1から第5の磁
気抵抗素子ブリッジの出力信号V1,V2,V3,V
4,V5に対して行なわれる複数段階の差動演算は、そ
の差動出力をVdとしたとき、Vd={(V1−V3)
−(V3−V5)}−{(V5−V4)−(V4−V
2)}との式、もしくはVd={(V5−V4)−(V
4−V2)}−{(V1−V3)−(V3−V5)}と
の式によって行なうことができる。
れ、Vd=(V1−V2)−2×(V3−V4)、もし
くはVd=(V2−V1)−2×(V4−V3)とな
る。従って、磁気抵抗素子ブリッジの数が4個である場
合、請求項2または請求項3に示した式に従って、第1
から第4の磁気抵抗素子ブリッジの出力信号に対する複
数段階の差動演算を行なうことができるのである。
抵抗素子ブリッジの各々は、バイアス磁石の磁気的中心
軸に対してそれぞれ略45度の方向に検知軸を有する第
1から第4の素子部をマトリクス状に配列したものであ
って、当該マトリクス状配列における各列の向きは、前
記バイアス磁石の磁気的中心軸と平行であり、第1及び
第2の素子部の検知軸と第3及び第4の素子部の検知軸
とは互いに直交する向きに設定されており、第1から第
4の素子部は、第1、第2、第3、第4の素子部の順序
に直列接続され、第2及び第3の素子部間の電位が、磁
気抵抗素子の抵抗値変化に応じて変化し、出力信号とし
て取り出されるものであって、第1の素子部と第2の素
子部、及び前記第3の素子部と第4の素子部が、マトリ
クス状の配列の互いに異なる列に配置されることを特徴
とする。
ら磁気センサを構成する場合に、これらを共通の基板上
に形成してICチップとする場合が多い。そして、この
ICチップは、銅等によって構成されるリードフレーム
上に搭載されたのち、エポキシ系の熱硬化性樹脂により
樹脂封止(モールド成形)される。この樹脂封止によ
り、ICチップには外部応力が印加される。すなわち、
モールド成形のため150〜160℃に加熱された金型
にリードフレームをセットすると、リードフレームはI
Cチップ(Si)に比較して熱膨張係数が大きいため、
リードフレームの膨張量がICチップのそれよりも大き
くなる。従って、モールド成形後に室温まで冷却される
と、樹脂自身の収縮応力と型温によって膨張していたリ
ードフレームの収縮応力がICチップに印加される。
ICチップの部位によって異なり、一般的に、チップの
中心から遠ざかるほど大きくなる。そして、この外部応
力によってICチップに形成された磁気抵抗素子ブリッ
ジには磁歪効果、すなわち、飽和磁界や抵抗変化率等の
磁気特性が変化する効果が発生する。
素子ブリッジによれば、第1と第2の素子部及び第3と
第4の素子部は、マトリクス状配列においてそれぞれ異
なる列に配置されるので、それぞれの列に異なる応力が
印加されても、第1と第2の素子部への磁歪効果の影響
の合計と、第3と第4の素子部への磁歪効果の影響の合
計とを等しくすることができる。このため、第2の素子
部と第3の素子部の間から取り出される中点電位に対す
る磁歪効果の影響が、第1及び第2の素子部と第3及び
第4の素子部とでほぼ相殺できる。従って、請求項7に
記載した磁気抵抗素子ブリッジは、磁歪効果の影響を除
去し、作用する磁界の方向に正確に対応した出力信号を
出力できる。
少なくとも4個の磁気抵抗素子ブリッジによって磁気セ
ンサを構成する場合、非常に有効となる。つまり、磁気
抵抗素子ブリッジの数が増えるほど、ICチップの中心
から離れた位置に磁気抵抗素子ブリッジを配置せざるを
得なくなり、その場合、各磁気抵抗素子ブリッジに対す
る磁歪効果は大きく相違することになる。このような状
況で、各磁気抵抗素子ブリッジの出力信号の差動出力を
求めても、その差動出力から正確な回転体の回転位置を
検出することができない。それに対して、請求項7に記
載の磁気センサによれば、各磁気抵抗素子ブリッジごと
に、磁歪効果の影響を低減することができるため、各磁
気抵抗素子ブリッジの出力信号の差動出力から回転体の
回転位置を高精度に検出できる。
について説明する。 (第1実施形態)図1は本実施形態による回転検出装置
の概略の構成を示す構成図である。回転転検出装置30
は、外周面にギア歯が形成された回転体(ロータ)3
1、磁気センサとしての4個の磁気抵抗素子(MRE)
ブリッジが形成されたICチップ40及びバイアス磁石
41を備えている。ロータ31は、その外周面がバイア
ス磁石41に対向し、かつ、バイアス磁石41の中心軸
がロータ32の回転軸に向くように配置されている。
おり、バイアス磁石41の中心軸がバイアス磁界の磁気
的中心をなしている。そして、中空形状をなすバイアス
磁石41の端面のうちロータ31に近い面がN極、遠い
面がS極になるように着磁されている。なお、ロータ3
1に近い面がS極、遠い面がN極となるように着磁して
も良いことは言うまでもない。
MREブリッジを配置することによって構成される。な
お、図示していないが、このICチップ40は、銅等の
リードフレーム上に搭載され、エポキシ等の熱硬化性樹
脂によってモールド成形される。
示す。図5に示すように、ICチップ40を構成する基
板55上に4個のMREブリッジ50,51,52,5
3が形成されている。そして、基板55の中心線56が
バイアス磁石41の中心軸に一致する位置において、I
Cチップ40はその一部が、中空状のバイアス磁石41
の内部空間に入り込むように配置されている。
とは、基板の中心線56に対して線対称となる位置に形
成されている。また、MREブリッジ51とMREブリ
ッジ52も基板の中心線56に対して線対称となる位置
に形成される。さらに、MREブリッジ51とMREブ
リッジ52とは、それぞれ基板55の中心線56とMR
Eブリッジ50,53の中心位置との丁度中間となる位
置に形成されている。これにより、図5に示すように、
MREブリッジ50とMREブリッジ51との距離L
1、MREブリッジ51と基板55の中心線56との距
離L2、基板55の中心線56とMREブリッジ52と
の距離L3及びMREブリッジ52とMREブリッジ5
3との距離L4はすべて等しくなる(L1=L2=L3
=L4)。
53はすべて同じように構成されているため、MREブ
リッジ50を例にとって、その詳細な構成を図6
(a),(b)に基づいて説明する。
50は、4個のMRE11,12,21,22から構成
される。それぞれのMRE11,12,21,22は、
磁気抵抗の異方性効果を有する強磁性材料(Ni−Co
合金、Ni−Fe合金等)を、複数の長辺及び短辺を接
続して櫛歯状に形成したものである。このため、各MR
E11,12,21,22においては、長辺における抵
抗値変化が支配的となり、長辺が設けられた向きに沿っ
て、各MRE11,12,21,22の検知軸が設定さ
れる。なお、各MRE11,12,21,22は、検知
軸の向きが異なるが、その長辺、短辺の長さ、本数等は
同様に構成されている。
基板55においてマトリクス状に配列されており、その
各列のMRE(11と21は第1列、22と12が第2
列)はバイアス磁石41の磁界の磁気的中心と平行な向
きに並べられ、かつ各行のMRE(11と22は第1
行、21と12は第2行)はロータ31の回転方向に沿
って並べられている。また、MRE11とMRE12と
は、バイアス磁石41の磁界の磁気的中心に対して略4
5°の角度に検知軸を持ち、MRE21とMRE22と
は、その磁気的中心に対して略−45°の角度に検知軸
を持つ。従って、MRE11,12の検知軸とMRE2
1,22の検知軸とは、互いに直交する向きとなってい
る。これにより、MREブリッジ50に作用する磁界の
方向の変化に対して、MRE11,12とMRE21,
22とは、抵抗値の増減方向が異なることとなる。
22は、図6(a),(b)に示すように、MRE11
→MRE12→MRE21→MRE22の順番で、電源
とアース間において直列接続されている。そして、MR
Eブリッジ50の出力は、MRE12とMRE21との
間の中間電位V1として取り出される。なお、4個のM
RE11,12,21,22の接続に関して、MRE2
2→MRE21→MRE12→MRE11の順番で電源
とアース間に接続しても良い。
ードフレームとともにモールド成形されることにより、
ICチップ40の各部には外部応力が作用する。この外
部応力は、一般的に基板55の中心線56から離れるほ
ど大きくなる傾向があるとともに、基板55の中心線5
6からの距離が等しい部位ではほぼ同一の外部応力が作
用するとみなすことができる。このため、MREブリッ
ジ50の第1列に属するMRE11とMRE21とに作
用する外部応力をσ1、第2列に属するMRE12とM
RE22とに作用する外部応力をσ2とすると、これら
の外部応力σ1,σ2による磁歪効果により、図6
(b)に示すように、MRE11,21にはRσ1、M
RE12,22にはRσ2という抵抗値変化が発生す
る。
抵抗値をそれぞれR11,R12,R21,R22と
し、MREブリッジ50に印加される電圧をEとする
と、MREブリッジ50の中点電位V1は下記の数式1
によって表すことができる。
/(R11+Rσ1+R12+Rσ2+R21+Rσ1+R2
2+Rσ2) ここで、外部応力σ1と外部応力σ2とは異なるが、上
記数式1に示すように、この2つの外部応力σ1,σ2
の合計が分子、分母ともに含まれており、少なくとも各
MRE11,12,21,22の抵抗値R11,R1
2,R21,R22が等しくなった場合、外部応力σ
1,σ2が中点電位V1に影響を与えることはない。
50は、MRE11とMRE12及びMRE21とMR
E22とは、マトリクス状配列においてそれぞれ異なる
列に配置されるので、それぞれの列に異なる外部応力σ
1,σ2が印加されても、MRE11とMRE12への
磁歪効果の影響の合計と、MRE21とMRE22への
磁歪効果の影響の合計とを等しくすることができる。こ
のため、MREブリッジ50の中点電位V1に対する各
MRE11,12,21,22における磁歪効果の影響
が、MRE11,21からなる素子部とMRE21,2
2からなる素子部とでほぼ相殺できる。従って、MRE
ブリッジ50は、磁歪効果の影響を低減し、そこに作用
するバイアス磁界の方向に対応した出力信号を高精度に
出力できる。
Eブリッジ50〜53が基板55上に形成されるもので
あるため、MREブリッジ50,53などは、基板55
の中心線から離れた位置に配置せざるを得ない。このよ
うな場合でも、各MREブリッジ50〜53ごとに、磁
歪効果による抵抗値変化を低減できるため、各MREブ
リッジ50〜53の出力信号の差動出力から、正確なロ
ータ31の回転位置を検出することができる。
路図である。差動増幅回路42は、3個の差動増幅器か
ら構成され、各MREブリッジ50,51,52,53
から出力される出力信号(中間電位)V1,V3,V
4,V2に対して、複数段階に渡って差動演算を行い
(図示の例では2段階)、単一の差動出力Vdを得るも
のである。図7に示す差動増幅回路42における差動演
算を数式2に示す。
増幅を行なう差動増幅器の反転入力端子と非反転入力端
子とを入れ替えて、以下の数式3に示す差動演算を行な
っても良い。
ータ31に対して、ICチップ40及びバイアス磁石4
1を配置する距離(エアギャップ)を3段階に変化させ
た時の、ロータ31の回転に対する差動増幅回路42の
出力、すなわち、磁界の振れ角の関係を図2に示す。図
2に示すように、エアギャップが大きくなるほど、ロー
タ31に形成したギア歯の「山」、「谷」に対する磁界
の振れ角が小さくなる。しかし、エアギャップが変動し
た場合であっても、同じロータ31の回転角度に対し
て、差動増幅回路42の出力が同じになる、つまり同じ
磁界の振れ角となる点(AG特性最小点)が存在し、図
2に示す例では、そのAG特性最小点となる磁界の振れ
角は約10度である。
えて、図2と同様の測定を行なった。その際に用いたロ
ータ32を図3に示し、ロータ32を用いたときの差動
増幅回路42の出力(磁界の振れ角)との関係を図4に
示す。
31に対して、ギア歯の数を減らしつつ、1つ1つのギ
ア歯の長さを長くしたものである。そして、ロータ32
を用いたときのロータ32の回転位置と磁界の振れ角と
関係において、図4から明らかなように、AG特性最小
点となる磁界の振れ角は約10度であり、図2に示す例
とほぼ同じである。
では、ロータのギア歯の形状を変更してもAG特性最小
点となる磁界の振れ角がほぼ一定となる理由について説
明する。
チップ40を通過する磁力線Hの向き、すなわち磁界の
振れ角の変化の様子、さらにその磁界の振れ角に応じた
MREブリッジが出力する出力信号の変化の様子を示す
ものである。なお、図8においては、MREブリッジ6
0の出力信号についての理解を容易にするために、便宜
的にICチップ40の中心位置に1個のみのMREブリ
ッジ60を示している。しかし、本実施形態において
は、4個のMREブリッジ50,51,52,53がI
Cチップ40の中心位置からずれた位置に配置されてい
るため、各MREブリッジ50,51,52,53の出
力信号の波形は図8に示すものと多少異なることにな
る。
に回転するものであり、MREブリッジ60は磁界が右
方向に振れたとき出力が増加し、左方向に振れたとき出
力が減少するものとする。この場合において、MREブ
リッジ60が、ロータ31のギア歯の「谷」に対向する
位置にある場合(A位置)には、バイアス磁石41によ
って放出される磁力線Hは、ギア歯の「谷」に向かって
真っ直ぐに進む。このため、差動出力Vdもほぼ中間的
な出力となる。
60がギア歯の「谷」から「山」に変化するリーディン
グエッジに対向する位置になると(B位置)、バイアス
磁石41からの磁力線Hは、ギア歯の「山」に引き寄せ
られるため、山の中心に向かうように右方向に湾曲す
る。この際、エアギャップが小さいほど、ギア歯の
「山」に引き寄せられやすくなるため、磁力線Hの湾曲
の度合いが大きくなる。B位置における2本の磁力線H
は、エアギャップが大きい場合と小さい場合との湾曲度
合いの違いを示している。また、B位置において、磁力
線Hの右方向への湾曲度合い(磁界の振れ角)が最大に
なるため、差動出力Vdも最大値を示す。
「山」の中央に対向する位置となると(C位置)、バイ
アス磁石41によって放出される磁力線Hは、ギア歯の
「山」に向かって真っ直ぐに進む。このため、差動出力
Vdは、再びほぼ中間的な出力となる。そして、MRE
ブリッジ60が、ギア歯の「山」から「谷」に変化する
トレイリングエッジに対向する位置になると(D位
置)、バイアス磁石41からの磁力線Hは、ギア歯の
「山」に引き寄せられるため、山の中心に向かうように
左方向に湾曲する。この際、エアギャップが小さいほ
ど、ギア歯の「山」に引き寄せられやすくなるため、磁
力線Hの湾曲の度合いが大きくなる。従って、D位置に
おいて、磁力線Hの左方向への湾曲度合いが最大になる
ため、差動出力Vdも最小値を示す。
ブリッジ6,16も基本的には上述したような出力を発
生する。その2つのMREブリッジ6,16の出力、そ
れらの出力の差動出力Vd、及びその差動出力Vdにお
けるAG特性最小点を図9に示す。なお、図9において
は、MREブリッジ6,16の出力として、エアギャッ
プが小さいときのMREブリッジ6,16の出力のみを
示している。
AG特性最小点は、MREブリッジ6の極値点とMRE
ブリッジ16の変曲点付近の値との差動出力であること
がわかる。ここで、極値点とは、差動増幅回路20の出
力が最大値もしくは最小値を取るポイントをいい、変曲
点とは、差動増幅回路20の出力の勾配の変化率が増加
から減少もしくは減少から増加に変化するポイントをい
う(図8参照)。
いて、AG特性最小点は、MREブリッジ6の極値点の
値とMREブリッジ16の変曲点付近の値との差動出力
によって与えられていた。ここで、図8から理解される
ように、MREブリッジ6の極値点の値は、エアギャッ
プの大きさとギア歯の谷1bから山1aあるいは山1a
から谷1bへの切り替わり(リーディングエッジ及びト
レイリングエッジ)によって決定される値であり、ギア
歯の山1aの長さの影響は受けない。一方、変曲点付近
の値は、エアギャップ、ギア歯の山1aのエッジ、さら
にはギア歯の山1aの長さによって決定される値であ
る。より詳細に説明すると、変曲点付近の値は、リーデ
ィングエッジから所定角度だけギア1が回転したとき、
もしくはトレイリングエッジまで所定角度となったとき
現れるため、ギア歯の山1aのエッジの影響を受ける値
である。さらに、ギア歯の山1aの長さが変われば、山
1aのエッジから変曲点となる位置までのギア1の回転
角度も変化するので、変曲点付近の値は、ギア歯の山1
aの長さの影響を受けるのである。
G特性最小点となる差動出力が、エアギャップとギア歯
の山1aのエッジによって決定される極値点と、これら
2つのパラメータに加え、さらにギア歯の山1aの長さ
の影響を受ける変曲点付近の値とから求められていた。
従って、極値点の値と変曲点付近の値との差動出力に
は、ギア歯の山1aの長さの影響が残り、ギア歯の形状
が変化することによってAG特性最小点も変化してしま
っていたのである。
果、本実施形態のように、4個のMREブリッジ50,
51,52,53を図5に示すように配置し、これら4
個のMREブリッジ50,51,52,53の出力信号
V1,V2,V3,V4に対して、複数段階の差動演算
を行なって単一の差動出力Vdを求めることにより、ロ
ータ31、32に形成されたギア歯の形状にかかわら
ず、AG特性最小点となる磁界の振れ角を一定に保つこ
とができることを見出した。
最小点に該当する差動出力Vdは、4個のMREブリッ
ジ50,51,52,53の出力における、変曲点もし
くは変曲点近傍の値から求められている。なお、図10
においても、MREブリッジ50,51,52,53の
出力として、エアギャップが小さいときの出力のみを示
している。
動出力Vdを求めるためのMREブリッジ50,51,
52,53の出力として、従来のように極値点の値を含
んでいないため、ロータ31,32のようにギア歯の形
状が変化しても、AG特性最小点となる差動出力Vd、
すなわち磁界の振れ角は一定に維持されるのである。こ
れにより、ロータ31,32のギア歯の形状にかかわら
ず、このAG特性最小点に相当する一定の磁界の振れ角
を基準とする共通のしきい値により、差動増幅回路42
の差動出力Vdを2値化すれば、その2値化信号に基づ
いて構成度にロータ31,32の回転位置を検出するこ
とができる。このため、ロータの形状に応じて、測定回
路を専用設計することが不要となり、製品コストの低減
に大きく貢献することが可能になる。
態について説明する。
MREブリッジが形成される点、及びその5個のMRE
ブリッジからの出力の差動出力を演算する差動増幅回路
の構成が、第1の実施形態と異なるため、以下、その相
違点に関して説明する。
は、共通の基板55上に5個のMREブリッジ50,5
1,52,53,54を配置することによって構成され
る。そして、基板55の中心線56がバイアス磁石41
の中心軸に一致する位置において、ICチップ40aの
一部が、中空状のバイアス磁石41の内部空間に入り込
むように配置されている点は図5に示したICチップ4
0と同様である。
REブリッジ53とは、基板の中心線56に対して線対
称となる位置に形成されている。また、MREブリッジ
51とMREブリッジ52も基板55の中心線56に対
して線対称となる位置であって、それぞれ基板55の中
心線56とMREブリッジ50,53の中心位置との丁
度中間となる位置に形成されている。さらに、5番目の
MREブリッジ54は、基板55の中心線と、自身の中
心位置が一致するように形成されている。
Eブリッジ50,51,54,52,53間の距離L
1,L2,L3,L4はすべて等しくなる(L1=L2
=L3=L4)。
たMREブリッジ50,51,52,53,54の各出
力に対して、複数段階に渡って差動演算を行い単一の差
動出力Vdを得るための差動増幅回路42aの構成を図
12に示す。図12において、差動増幅回路42aは、
7個の差動増幅器から構成され、各MREブリッジ5
0,51,52,53,54から出力される出力信号
(中間電位)V1,V3,V5,V4,V2に対して、
3段階に渡って差動演算を行なうものである。図12に
示す差動増幅回路42aにおける差動演算を数式4に示
す。
{(V5−V4)−(V4−V2)} また、差動増幅回路42aにおいて、3段目の差動増幅
を行なう差動増幅器の反転入力端子と非反転入力端子と
を入れ替えて、以下の数式5に示す差動演算を行なって
も良い。
{(V1−V3)−(V3−V5)} 上述のような構成によっても、前述の第1実施形態と同
様に、AG特性最小点に該当する差動出力Vdが、5個
のMREブリッジ50,51,52,53,54の出力
における、変曲点もしくは変曲点近傍の値から求めるこ
とができる。従って、このAG特性最小点を基準とする
しきい値によって、各種の形状のロータの回転角度を高
精度に検出することができる。
は削除され、上述した数式2と同様の結果となる。ま
た、上記数式5を変形すると、上述した数式3と同様の
結果となる。すなわち、MREブリッジの数は、4個で
も5個でも結果は同一となるので、回転検出装置の構成
を簡素化するために、第1の実施形態において説明した
ように、MREブリッジの数は4個が望ましい。
変形例を示す。
REブリッジ50,51,52,53は、4個のMRE
11,21,21,22から構成されていた。しかしな
がら、図13に示すように、2個のMREによって各M
REブリッジ70,71,72,73を構成することも
できる。なお、図13に示す例では、上述した磁歪効果
の影響を低減するため、第1段の差動演算の対象となる
MREブリッジ70とMREブリッジ73、及びMRE
ブリッジ71とMREブリッジ72に関して、電源側に
接続される電源側MRE及びアース側に接続されるアー
ス側MREを、基板75の中心線76に対して線対称の
位置に形成している。このため、出力信号V1と出力信
号V2、及び出力信号V3と出力信号V4は、磁歪効果
の影響によって同様に変化することになり、その差動演
算を行えば、磁歪効果の影響を排除することが可能にな
る。
に中空形状のものを用いているが、中空形状ではない磁
石、例えば円柱状のものや直方体のものを用いてもよ
い。
を示す構成図である。
1に対して、ICチップ40及びバイアス磁石41を配
置する距離(エアギャップ)を3段階に変化させた時
の、ロータ31の回転に対する差動増幅回路42の出
力、すなわち、磁界の振れ角の関係を示すグラフであ
る。
転検出装置の構成を示す構成図である。
2に対して、ICチップ40及びバイアス磁石41を配
置する距離(エアギャップ)を3段階に変化させた時
の、ロータ32の回転に対する差動増幅回路42の出
力、すなわち、磁界の振れ角の関係を示すグラフであ
る。
リッジ50の構成を示す構成図、(b)はMREブリッ
ジ50を構成する各MREの接続状態を示す回路図であ
る。
通過する磁力線Hの向き(磁界の振れ各)、及びその磁
界の振れ角に応じたMREブリッジ60が出力する出力
信号の変化の様子を示すグラフである。
の出力、それらの出力の差動出力Vd、及びその差動出
力VdにおけるAG特性最小点を示すグラフである。
ブリッジ50,51,52,53の出力、それらの出力
の差動出力Vd、及びその差動出力VdにおけるAG特
性最小点を示すグラフである。
の構成を示す構成図である。
aの構成を示す回路図である。
サの構成を示す構成図である。
る。
検出装置において、ギアの形状を変更した場合のそれぞ
れの差動増幅回路の差動出力を示すグラフである。
Claims (7)
- 【請求項1】 外周面にギヤ歯が形成された回転体と、 前記回転体のギヤ歯に向けてバイアス磁界を発生するバ
イアス磁石と、 前記回転体に形成されたギヤ歯と前記バイアス磁石との
間に配置され、前記バイアス磁石から前記ギヤ歯に向か
うバイアス磁界の方向に応じて出力値が変化する磁気抵
抗素子ブリッジを少なくとも4個備える磁気センサと、 前記少なくとも4個の磁気抵抗素子ブリッジの出力信号
に対して複数段階の差動演算を行なうことにより、単一
の差動出力を求める差動出力手段とを備え、 前記磁気センサを構成する少なくとも4個の磁気抵抗素
子ブリッジは、前記バイアス磁石の磁気的中心軸に対し
て対称位置に配置された第1及び第2の磁気抵抗素子ブ
リッジと、当該第1及び第2の磁気抵抗素子ブリッジと
前記バイアス磁石の磁気的中心軸との中間位置にそれぞ
れ配置される第3及び第4の磁気抵抗素子ブリッジとを
含むことを特徴とする回転検出装置。 - 【請求項2】 前記差動出力手段は、前記磁気抵抗素子
ブリッジの数が4個である場合、前記第1から第4の磁
気抵抗素子ブリッジの出力値をそれぞれV1,V2,V
3,V4としたとき、その差動出力Vdを、Vd=(V
1−V2)−2×(V3−V4)との式によって算出す
ることを特徴とする請求項1に記載の回転検出装置。 - 【請求項3】 前記差動出力手段は、前記磁気抵抗素子
ブリッジの数が4個である場合、前記第1から第4の磁
気抵抗素子ブリッジの出力値をそれぞれV1,V2,V
3,V4としたとき、その差動出力Vdを、Vd=(V
2−V1)−2×(V4−V3)との式によって算出す
ることを特徴とする請求項1に記載の回転検出装置。 - 【請求項4】 前記第1から第4の磁気抵抗素子ブリッ
ジに加えて、第5の磁気抵抗素子ブリッジを配置する場
合、当該第5の磁気抵抗素子ブリッジは、前記バイアス
磁石の磁気的中心軸上に配置されることを特徴とする請
求項1に記載の回転検出装置。 - 【請求項5】 前記差動出力手段は、前記第1から第5
の磁気抵抗素子ブリッジの出力信号をそれぞれV1,V
2,V3,V4,V5としたとき、その差動出力Vd
を、Vd={(V1−V3)−(V3−V5)}−
{(V5−V4)−(V4−V2)}との式によって算
出することを特徴とする請求項4に記載の回転検出装
置。 - 【請求項6】 前記差動出力手段は、前記第1から第5
の磁気抵抗素子ブリッジの出力信号をそれぞれV1,V
2,V3,V4,V5としたとき、その差動出力Vd
を、Vd={(V5−V4)−(V4−V2)}−
{(V1−V3)−(V3−V5)}との式によって算
出することを特徴とする請求項4に記載の回転検出装
置。 - 【請求項7】 前記磁気抵抗素子ブリッジの各々は、前
記バイアス磁石の磁気的中心軸に対してそれぞれ略45
度の方向に検知軸を有する第1から第4の素子部をマト
リクス状に配列したものであって、当該マトリクス状配
列における各列の向きは、前記バイアス磁石の磁気的中
心軸と平行であり、 前記第1及び第2の素子部の検知軸と前記第3及び第4
の素子部の検知軸とは互いに直交する向きに設定されて
おり、 前記第1から第4の素子部は、第1、第2、第3、第4
の素子部の順序に直列接続され、第2及び第3の素子部
間の電位が、前記磁気抵抗素子の抵抗値変化に応じて変
化し、出力信号として取り出されるものであって、 前記第1の素子部と第2の素子部、及び前記第3の素子
部と第4の素子部が、前記マトリクス状の配列の互いに
異なる列に配置されることを特徴とする請求項1乃至6
のいずれかに記載の回転検出装置。
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