JP5215370B2 - 磁気式位置検出装置 - Google Patents
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Description
に回転する磁性移動体500の平面上に磁性移動体500から離れて配設され、第1及び第2の磁電変換素子501a、501bより成るブリッジ回路を有する処理回路部502と、第1及び第2の磁電変換素子501a、501bに対して磁性移動体の回転軸線504方向に磁界を印加させる磁石503と、磁束ガイド505とを備える。第2の磁電変換素子501bは、回転軸線504方向に沿って見たときに、磁石503の周方向の幅寸法のほぼ中心線上に配置され、第1の磁電変換素子501aは第2の磁電変換素子501bに対して磁性移動体500の変位側に配置されて、第1及び第2の磁電変換素子501a、501bの出力から差動出力を得る。
)部または凹(slot)部に対向する時間に差がある。従って、各磁電変換素子の電気抵抗
値の変化には位相差が生じ、ブリッジ回路の差動出力は1個の磁電変換素子(他方は非磁性金属の抵抗体)で構成するよりも急峻に変化するため、空間的な分解能が向上する。
に在る場合でも、磁石により各磁電変換素子に印加される磁界の角度が異なると各磁電変換素子の感度が異なり、磁電変換素子の出来栄えにより磁気異方性がばらつけば、複数の磁電変換素子で構成されたブリッジ回路の差動出力はこれを反映してばらつく。
実施の形態1.
2が全周にわたって交互に形成されている。
出装置80の出力電圧Voutの変化をそれぞれ示している。
差(本装置80との距離の凹凸間の差)を大きくとった形状を採用する。本実施の形態1においてもこの考えに基づいて上記段差を大きくとった結果、凹(slot)部102における電気抵抗値は、磁性移動体が対向しない、つまり、本装置80が単独で在る場合とほぼ等しくなった。従って、第1から第4の磁電変換素子2a〜2dの、磁性移動体100の凹(slot)部102が対向した時の電気抵抗値は全て等しくなっている。(b)は磁性移動体100の移動に伴う差動増幅回路31の出力電圧Aの変化である。ブリッジ回路20の出力により得られるこの波形は、磁性移動体100の凹(slot)部102が対向している時はブリッジ回路20の電気抵抗値のバランスが取れている時の電圧となっており、凸(tooth)部101と対向するにつれてブリッジ回路20の電気抵抗値がアンバランスに
なって電圧が変化していることを示している。
この発明の実施の形態1の効果を示すため、実施の形態1の比較例について説明する。
図7は、実施の形態1及び実施の形態1の比較例の磁気式位置検出装置80の特性比較図である。磁性移動体100の凹(slot)部102が対向した場合の、(a)は差動増幅
回路31の出力電圧Aのばらつき、(b)は差動増幅回路31の出力電圧Aの温度特性のばらつきを示す。
02が対向した時のブリッジ回路20の電気抵抗値のバランス状態であるが、その状態は差動増幅回路31の出力電圧Aに現れるため、出力電圧Aのばらつき及び出力電圧Aの温度特性のばらつきを評価した。磁電変換素子2が形成された基板1を30台と、基板1と磁石4を組み付けるための磁石4が内蔵されたアルミニウムのホルダ10台とを準備し、各アルミニウムのホルダに基板1の30台を順次組み付けた試料を作製し、出力電圧Aを測定した。(a)は出力電圧Aのばらつきの平均値、(b)は出力電圧Aの室温から150℃までの変化量(出力電圧Aの温度特性)のばらつきの平均値である。(a)によると、実施の形態1の方が出力電圧Aのばらつきが小さいことが判る。また、(b)によると、実施の形態1は出力電圧Aの温度特性が殆どないが、比較例は出力電圧Aの温度特性があり、更には実施の形態1の方が出力電圧Aの温度特性のばらつきが小さいことが判る。実施の形態1は、磁性移動体100の凹(slot)部102が対向した時のブリッジ回路20の電気抵抗値のバランスが良いため、ブリッジ回路が十分機能して磁電変換素子の磁気特性のばらつきが出力電圧Aに現れないようにできているのである。本評価において、磁性移動体100の凹(slot)部102が対向した時の、あるいは本装置80が単独で在る場合の、ブリッジ回路20を構成する各磁電変換素子2に印加される磁界の基板1面内成分を同じとする効果が認められる。
この発明の実施の形態2に係る磁気式位置検出装置80は、磁電変換素子2と磁石4との間に磁性体からなる磁束ガイドを備え、実施の形態1を改良した例である。
この発明の実施の形態3に係る磁気式位置検出装置80は、実施の形態2と同様に、磁電変換素子2と磁石4との間に磁性体からなる磁束ガイド5を備える。磁束ガイド5は、実施の形態2とは異なる形状であり、実施の形態2を改良した例である。
は差動増幅回路31の出力電圧Aのばらつきを、(b)は差動増幅回路31の出力電圧Aの温度特性のばらつきを示す。
向した時のブリッジ回路20の電気抵抗値のバランス状態は良いが、それぞれの構成の違いにより基板1面内の磁界分布が異なるため、磁電変換素子の磁気特性のばらつきや磁電変換素子と磁石の組み付け位置のばらつきといった製造上のばらつきに対するロバスト性が異なる。実際、実施の形態1で行った評価(図7)と同様の、差動増幅回路31の出力電圧Aのばらつきの評価を実施した。(a)は出力電圧Aのばらつきの平均値、(b)は出力電圧Aの室温から150℃までの変化量(出力電圧Aの温度特性)のばらつきの平均値である。(a)によると、実施の形態3、実施の形態2、実施の形態1の順で出力電圧Aのばらつきが大きくなる。また、(b)によると、何れの実施の形態においても出力電圧Aの温度特性は殆どないが、出力電圧Aの温度特性のばらつきは、実施の形態3、実施の形態2、実施の形態1の順で大きくなる。製造上のばらつきに対するロバスト性は実施の形態3が最も高い。
この発明の実施の形態4による磁気式位置検出装置80は、実施の形態3の変形例であり、この発明の基本的構成の例である。
この発明の実施の形態5に係る磁気式位置検出装置80は、実施の形態3と同様に、磁電変換素子2と磁石4との間に磁性体からなる磁束ガイド5を備える。磁束ガイド5は、実施の形態3とは異なる形状であり、実施の形態3を改良した例である。
のばらつきに対して高いロバスト性を有すると共に、磁性移動体100に対向した場合には、ブリッジ回路20の差動出力の振幅を十分に大きく得られる構成である。
この発明の実施の形態6による磁気式位置検出装置80は、磁電変換素子としてGMR素子を用いるものである。GMR素子は面内感磁デバイスであり、MR素子と比較して格段に大きな磁気抵抗効果が得られるので、高S/N比の磁気式位置検出装置が実現でき、好適である。
[磁電変換素子]
磁電変換素子2は上述したように、印加される磁界に応じて電気抵抗値が変化する素子をいい、MR(磁気抵抗:Magneto-Resistance)素子、GMR(巨大磁気抵抗:Giant Magneto-Resistance)素子、TMR(トンネル磁気抵抗:Tunnel Magneto-Resistance)素子などの磁気抵抗素子の他、ホール素子などの半導体素子も含まれる。但し、本願で対象となる磁電変換素子2は素子が形成されている基板1面内の方向の磁界に感度を持つ、面内感磁デバイスである。
基板1は、磁電変換素子2の形成に適している材料であればよく、種々の層間絶縁膜が形成されたSi基板等が使用される。ブリッジ回路20は基板1上に、検出回路30は別の基板3上に設けたいわゆるハイブリッド構成でもよく、また、基板1上にブリッジ回路20と検出回路30を併せて設けたいわゆるモノリシック構成でもよい。モノリシック構成の場合は、基板1はICを形成できる基板であればよく、通常用いられるSi基板の他、GaAs基板や耐熱性の高いSiC基板でもよい。
磁石4は、磁電変換素子2に対して最適な磁界を印加し得るものであれば、どのような種類(材料)、形状(サイズ)であってもよい。種類としては、ボンド磁石、鉄系磁石、フェライト磁石、希土類磁石、及びアモルファス金属磁石の何れを用いることもできる。形状については、任意である。各実施の形態においてはほぼ直方体であったのは、磁石4の位置を決める、あるいは磁化方向を決める際に面がある形状が扱いやすいためである。
磁束ガイド5は、磁電変換素子2に対して最適な磁界を印加しうるものであれば、どのような種類(材料)であってもよく、飽和透磁率の高い軟磁性材料、例えば、Fe、Co、Niもしくはこれらの合金であれば何でもよいが、Fe系材料が好適である。
4 磁石、 5 磁束ガイド、
5a、5b 突出部、 10 等磁界面、
20 ブリッジ回路、 21a,21b 非磁性金属の抵抗線、
30 検出回路、 31 差動増幅回路、
32 定電圧電源回路、 33 信号変換回路、
34 比較回路、 80 磁気式位置検出装置、
100 磁性移動体、 101 磁性移動体の凸部、
102 磁性移動体の凹部、 103 回転軸、
104 第1の直線、
A 差動増幅回路の出力電圧、 B 比較回路の比較電圧、
Vcc 電源電圧(電源ノード)、VB 電源、
Vout 出力、 GND 接地(接地ノード)。
Claims (10)
- 基板と、基板に垂直な磁界を印加する磁石と、前記基板上に設けられ、磁性移動体の移動に伴う前記磁界の変化によって電気抵抗値が変化する少なくとも第1及び第2の磁電変換素子を含むブリッジ回路と、前記ブリッジ回路の出力に基づいて前記磁性移動体の移動を検出する検出回路とを備え、前記検出回路は、前記第1及び第2の磁電変換素子の接続ノードの電圧によって前記磁性移動体の移動を検出し、前記基板面は前記磁石の磁化方向にほぼ垂直であって、前記第2の磁電変換素子は、前記磁石の磁化方向に沿って見て、前記磁石の磁化方向に垂直でかつ前記磁性移動体の移動方向に垂直な直線と平行な前記磁石の磁極の中心点を通る第1の直線上あるいはその近傍に配置され、前記磁性移動体が対向していない場合に、前記第1の磁電変換素子は、印加される磁界による電気抵抗値が、印加される磁界による前記第2の磁電変換素子の電気抵抗値とほぼ同じであるように配置されていることを特徴とする磁気式位置検出装置。
- 前記第1及び第2の磁電変換素子と前記磁石との間に設けられた磁性体からなる磁束ガイドを備え、前記磁束ガイドは、前記磁石の磁化方向に垂直な面を有する板状の形状であって、前記磁石の磁化方向に沿って見て、前記第1の直線に対して対称な形状で、前記磁束ガイドの板面の一部が前記第1及び第2の磁電変換素子に重なる形状及び配置であり、前記磁束ガイドの中心点は前記磁石の磁極の中心点に対して前記磁性移動体に近い側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の磁気式位置検出装置。
- 前記磁束ガイドは、前記磁石の磁化方向に垂直な面を有する板状の形状であって、前記基板面を延在した仮想平面に近接する方向に突出する第1及び第2の突出部が前記第1の直線に垂直な方向に間隔をあけて設けられ、前記第1の磁電変換素子は、前記第2の磁電変換素子に対して一方の突出部側に配置されることを特徴とする請求項2に記載の磁気式位置検出装置。
- 前記磁束ガイドは、前記磁石の磁化方向に垂直な面を有する板状の形状であって、前記基板面を延在した仮想平面に近接する方向に突出する第1及び第2の突出部が前記第1の直線に垂直な方向に間隔を開けて設けられ、前記第1及び第2の突出部間の中央付近に前記基板から離反するように凹状に窪んだ窪みを備えて、前記磁石の磁化方向に沿って見て、前記第2の磁電変換素子は前記窪みと一部が重なるように配置され、前記第1の磁電変換素子は前記窪みを除く磁束ガイドのその他の部分と一部が重なるように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の磁気式位置検出装置。
- 前記ブリッジ回路は、前記基板上に設けられ、磁性移動体の移動に伴う前記磁界の変化によって電気抵抗値が変化する第3及び第4の磁電変換素子を更に含み、前記検出回路は、前記第1及び第2の磁電変換素子の接続ノードの電圧と前記第3及び第4の磁電変換素子の接続ノードの電圧との差電圧によって前記磁性移動体の移動を検出し、前記第3の磁電変換素子は、前記磁石の磁化方向に沿って見て、前記第1の直線上あるいはその近傍に配置され、前記磁性移動体が対向していない場合に、前記第3及び第4の磁電変換素子は、印加される磁界の基板面内成分が前記前記第1及び第2の磁電変換素子とほぼ同じであるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気式位置検出装置。
- 前記第1から第4の磁電変換素子と前記磁石との間に設けられた磁性体からなる磁束ガイドを備え、前記磁束ガイドは、前記磁石の磁化方向に垂直な面を有する板状の形状であって、前記磁石の磁化方向に沿って見て、前記第1の直線に対して対称な形状で、前記磁束ガイドの板面の一部が前記第1及び第2の磁電変換素子に重なる形状及び配置であり、前記磁束ガイドの中心点は前記磁石の磁極の中心点に対して前記磁性移動体に近い側に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の磁気式位置検出装置。
- 前記磁束ガイドは、前記磁石の磁化方向に垂直な面を有する板状の形状であって、前記基板面を延在した仮想平面に近接する方向に突出する第1及び第2の突出部が前記第1の直線に垂直な方向に間隔をあけて設けられ、前記第1及び第4の磁電変換素子は、前記第2及び第3の磁電変換素子に対して前記突出部側に配置されていることを特徴とする請求項6に記載の磁気式位置検出装置。
- 前記磁束ガイドは、前記磁石の磁化方向に垂直な面を有する板状の形状であって、前記基板面を延在した仮想平面に近接する方向に突出する第1及び第2の突出部が前記第1の直線に垂直な方向に間隔を開けて設けられ、前記第1及び第2の突出部間の中央付近に前記基板から離反するように凹状に窪んだ窪みを備えて、前記磁石の磁化方向に沿って見て、前記第2及び第3の磁電変換素子は前記窪みと一部が重なるように配置され、前記第1及び第2の磁電変換素子は前記窪みを除く磁束ガイドのその他の部分と一部が重なるように配置されていることを特徴とする請求項6に記載の磁気式位置検出装置。
- 前記磁電変換素子は、巨大磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の磁気式位置検出装置。
- 周面に凸(tooth)部及び凹(slot)部が設けられた磁性移動体の上記凹(slot)部に
対向した場合に、前記全ての磁電変換素子は、印加される磁界による電気抵抗値がほぼ同じになるように配置されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の磁気式位置検出装置。
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