JP5389005B2 - 磁気抵抗型積層構造体ならびに該構造体を備えたグラジオメータ - Google Patents
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Description
10 基板
11 バッファ層
12 第1の軟磁性層
12′ 第2の軟磁性層
13 中間層
14 カバー層
15 硬磁性層
16 積層列
19,20 ハーフブリッジ
30 グラジオメータ
Claims (12)
- 複数の磁気抵抗型積層構造体(5)を有するグラジオメータであって、
個々の前記磁気抵抗型積層構造体(5)は、
少なくとも2つの磁性層(12,12′)を有する積層列(16)が設けられており、前記少なくとも2つの磁性層(12,12′)は、強磁性材料から成る軟磁性層であり、該軟磁性層の磁化方向は、前記磁気抵抗型積層構造体(5)外部から該磁気抵抗型積層構造体(5)に作用する外部磁界により可変であり、
前記少なくとも2つの磁性層(12,12′)の間に非磁性かつ導電性の中間層(13)が配置されており、
少なくとも1つの硬磁性層(15)が前記磁気抵抗型積層構造体(5)に少なくとも部分的に組み込まれており、該硬磁性層は、前記少なくとも2つの磁性層(12,12′)と前記非磁性かつ導電性の中間層(13)との界面の少なくとも1つの領域に磁界を印加し、
前記少なくとも1つの硬磁性層(15)の磁界により、前記磁気抵抗型積層構造体(5)の特性曲線における動作点がシフトされ、
前記磁気抵抗型積層構造体(5)の電気抵抗は、該磁気抵抗型積層構造体(5)に作用する前記外部磁界に依存して可変である、
グラジオメータにおいて、
前記硬磁性層(15)は少なくとも部分的に前記積層列(16)の上に、および/または少なくとも部分的に前記積層列(16)の下に配置されており、
個々の前記磁気抵抗型積層構造体(5)は、上から見るとそれぞれメアンダ状にパターニングされ、ペアごとに隣り合うように配置されていることを特徴とする、
グラジオメータ。 - 前記硬磁性層(15)により引き起こされる内部磁界は強度と方向に関して時間的に一定である、請求項1記載のグラジオメータ。
- 前記硬磁性層(15)により引き起こされる内部磁界は、該硬磁性層(15)の形成時に設定された方向と強度を有する、請求項1または2記載のグラジオメータ。
- 前記硬磁性層(15)により引き起こされる内部磁界の強さは前記界面において1mT〜30mTとなる、請求項1から3のいずれか1項記載のグラジオメータ。
- 前記積層構造体(5)への前記硬磁性層(15)の集積および該硬磁性層により引き起こされる内部磁界の選定によって、該内部磁界は少なくとも部分的に前記積層列(16)を超えて広がっている、請求項1から4のいずれか1項記載のグラジオメータ。
- 前記硬磁性層(15)はSmCo,又はNdFeB,又はCoPt,又はCoCrから成る、請求項1記載のグラジオメータ。
- 互いに上下に配置された複数の軟磁性層(12,12′)が前記積層列(16)に設けられており、該複数の軟磁性層(12,12′)は少なくとも部分的に1つの中間層(13)を介してそれぞれ互いに分離されている、請求項1から6のいずれか1項記載のグラジオメータ。
- 前記硬磁性層(15)は分離層を介して前記積層列(16)から分離されている、請求項1から7のいずれか1項記載のグラジオメータ。
- 前記硬磁性層(15)は所定の構造をもっており、該硬磁性層は前記積層列(16)の上および/または下だけに配置されている、請求項1から8のいずれか1項記載のグラジオメータ。
- 前記磁性層(12,12′)のうち少なくとも1つの磁性層はNiFe,CoFe,NiCoまたはCoから成る、請求項1から9のいずれか1項記載のグラジオメータ。
- 異なる積層構造体(5)に集積された硬磁性層(15)により形成された磁界は、強度と方向に関してそれぞれ等しい、請求項1から10のいずれか1項記載のグラジオメータ。
- 前記積層構造体(5)はホイートストンブリッジとして結線されている、請求項1から11のいずれか1項記載のグラジオメータ。
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