JP2008249556A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積層方向Zから見て細長形状のフリー層55を有するスピンバルブGMR素子50と、積層方向Zから見て細長形状の永久磁石層40と、を備える。永久磁石層40はフリー層55と並列に配置されている。
【選択図】図1
Description
図1は、第1実施形態に係る磁気センサ1の概略斜視図である。図2は、図1のII−II線断面図である。
続いて、本発明の第2実施形態に係る磁気センサ1について図3及び図4を参照して説明する。本実施形態に係る磁気センサ1が第1実施形態と異なる点は、永久磁石層40が一つであり、さらに、永久磁石層40がGMRストライプ50の上に配置されている点である。詳しくは、永久磁石層40は、図4に示すように、非磁性絶縁層70を間に介してGMRストライプ50の上に配置されている。
図1及び図2のような磁気センサを作成した。GMRストライプの平面サイズは100μm×7.5μmとした。また、フリー層の材質は、CoFe(1nm)/NiFe(6nm)/CoFe(1nm)とした。一対の永久磁石層の平面サイズは、それぞれ100μm×20μmとし、GMRストライプと永久磁石との間隔は30nmとし、材質はCoNiCrとした。永久磁石層の厚みは、実施例A1,A2,A3の順に25、50、100μmとした。これにより、フリー層に対して矢印C方向に永久磁石層の厚みに応じて異なる大きさの磁界が印加された。なお、この磁界の強さは、いずれもフリー層の保磁力よりも十分に大きい。
GMRストライプの平面サイズをそれぞれ50μm×7.5μmとする以外は、実施例A1〜A3と同様とした。
永久磁石層を設けない以外は実施例A1、A4と同様とした。
図3及び図4のように永久磁石層をフリー層の上にひとつ配置し、永久磁石層の平面サイズを90μm×7.5μmとし、永久磁石層のGMRストライプとの距離は30nmとする以外は実施例A1〜A6と同様とした。
永久磁石層を設けない以外は実施例B1、B4と同様とした。
Claims (5)
- 積層方向から見て細長形状のフリー層を有するスピンバルブGMR素子と、
積層方向から見て細長形状の永久磁石層と、を備え、
前記永久磁石層の長手方向と前記フリー層の長手方向とが互いに平行に配置され、かつ、前記永久磁石層と前記フリー層とが、前記フリー層の長手方向に対して交差する方向に離間して配置された磁気センサ。 - 前記永久磁石層を一対備え、前記一対の永久磁石層は、前記フリー層の長手方向に対して交差しかつ前記フリー層の積層方向と交差する方向から前記フリー層を挟むように配置されている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記永久磁石層は前記フリー層上に配置されている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記永久磁石層が前記フリー層に対して及ぼすバイアス磁界の向きは、前記フリー層の長手方向と略平行である請求項1〜3のいずれか記載の磁気センサ。
- 前記フリー層の長手方向は磁化容易軸方向である請求項4記載の磁気センサ。
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