JP2012119613A - 磁気検出素子及びそれを用いた磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定磁性層とフリー磁性層とが非磁性材料層を介して積層された積層構造を備え、固定磁性層3は、第1磁性層3aと第2磁性層3cとが非磁性中間層3bを介して積層され、反平行に磁化固定されたセルフピン止め型であり、第1磁性層3aは第2磁性層よりも高保磁力材料のFexCo100-x(ただしxは、55at%以上で65at%以下)で形成され、第1磁性層3aの膜厚t1は14Å以上で20.5Å以下の範囲内で第2磁性層よりも薄く、第1磁性層3aと第2磁性層3cの磁化量の差が実質的にゼロである。
【選択図】図1
Description
例えば特許文献1には、第1磁性層:CoFe(21.2)/Ru/第2磁性層:CoFe(20)のSFP構造(Synthetic Ferri Pin)から成る固定磁性層が開示されている(特許文献1の[0023]欄参照)。第2磁性層が、非磁性材料層(特許文献1の中間層13)に接する磁性層である。なお各層の括弧内の数値は膜厚を示し単位はÅである。
固定磁性層とフリー磁性層とが非磁性材料層を介して積層された積層構造を備え、
前記固定磁性層は、第1磁性層と第2磁性層とが非磁性中間層を介して積層され、前記第1磁性層と前記第2磁性層とが反平行に磁化固定されたセルフピン止め型であり、前記第2磁性層が前記非磁性材料層に接しており、
前記第1磁性層は前記第2磁性層よりも高保磁力材料のFexCo100-x(ただしxは、55at%以上で65at%以下)で形成され、
前記第1磁性層の膜厚t1は14Å以上で20.5Å以下の範囲内で前記第2磁性層の膜厚t2よりも薄く、
前記第1磁性層と前記第2磁性層の磁化量の差が実質的にゼロであることを特徴とするものである。
図1に示すように本実施形態の磁気検出素子(GMR素子)1は、下から、シード層2、固定磁性層3、非磁性材料層4、フリー磁性層5及び保護層6の順に積層されて成膜される。磁気検出素子1を構成する各層は、例えばスパッタにて成膜される。
シード層:NiFeCr(60)/反強磁性層:PtMn(200)/固定磁性層[第1磁性層:co90at%Fe10at%(12.5±0.5)/非磁性中間層:Ru(9.1)/第2磁性層Co90at%Fe10at%(10.5)]/非磁性材料層:Cu(20.5)/フリー磁性層[CoFe(12)/NiFe(20)]/保護層:Ta(50)
各層における括弧内の数値は膜厚を示し、単位はÅである。
シード層:NiFeCr(42)/固定磁性層[第1磁性層:Fe60at%Co40at%(X±0.2)/非磁性中間層:Ru(3.6)/第2磁性層Co90at%Fe10at%(Y)]/非磁性材料層:Cu(22)/フリー磁性層[CoFe(12)/NiFe(20)]/保護層:Ta(50)
各層における括弧内の数値は膜厚を示し、単位はÅである。
傾きaを以下の表1に示した。
B2 第2バイアス磁界
P1、P2 磁化固定方向
S 磁気センサ
10 第1ブリッジ回路
11 第2ブリッジ回路
15、15a〜15d 第1磁気検出素子
16、16a〜16d 第2磁気検出素子
20 入力端子
21 グランド端子
22〜25 出力端子
30 第1素子部
31 第1ハードバイアス層
35 第2素子部
36、36a〜36c 第2ハードバイアス層
40、41,43,44 側面
61 固定磁性層
61a、61b 磁性層
61c 非磁性中間層
63 フリー磁性層
70 磁石
Claims (5)
- 固定磁性層とフリー磁性層とが非磁性材料層を介して積層された積層構造を備え、
前記固定磁性層は、第1磁性層と第2磁性層とが非磁性中間層を介して積層され、前記第1磁性層と前記第2磁性層とが反平行に磁化固定されたセルフピン止め型であり、前記第2磁性層が前記非磁性材料層に接しており、
前記第1磁性層は前記第2磁性層よりも高保磁力材料のFexCo100-x(ただしxは、55at%以上で65at%以下)で形成され、
前記第1磁性層の膜厚t1は14Å以上で20.5Å以下の範囲内で前記第2磁性層の膜厚t2よりも薄く、
前記第1磁性層と前記第2磁性層の磁化量の差が実質的にゼロであることを特徴とする磁気検出素子。 - 前記第1磁性層は、FexCo100-x(ただしxは、55at%以上で65at%以下)で形成され、前記第1磁性層の膜厚t1は、18Å以上で20.5Å以下である請求項1記載の磁気検出素子。
- 前記非磁性中間層はRuで形成され、前記非磁性中間層の膜厚は、3.4Å以上で4.2Å以下である請求項1又は2に記載の磁気検出素子。
- 基板上に、請求項1ないし3のいずれか一項に記載された磁気検出素子が配置されていることを特徴とする磁気センサ。
- 感度軸方向の異なる複数の前記磁気検出素子が配置されている請求項4記載の磁気センサ。
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