JP4508058B2 - 磁界検出装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
層構造中に強磁性体層を備え、その強磁性体層の磁化方向の変化によって抵抗が変化する磁気抵抗素子として、スピンバルブ構造を有したGMR素子、TMR素子について説明する。
図7は実施の形態2の磁界検出装置の構成を示す斜視図である。また図8は図7の磁界検出装置を基板の上方のZ軸方向から見た上面図である。実施の形態2では実施の形態1の構成に加えて、検出用磁気抵抗素子の固定層の磁化方向31と同方向に2個目の参照用磁気抵抗素子5を配置した。参照用磁気抵抗素子2、5、検出用磁気抵抗素子1はいずれも同一の基板3の上に作製されたTMR素子である。参照用磁気抵抗素子2と参照用磁気抵抗素子5とは固定層の磁化方向が平行であり、層構造の面方向に磁石4から印加される磁界は反対方向である。
Rd=Rmin+(Rmax−Rmin)(H/2|Hk|+1/2)
ゆえに
(Rd−Rmin)/(Rmax−Rmin)=(H/2|Hk|)+1/2
となる。なお(Rd−Rmin)や(Rmax−Rmin)で磁気抵抗素子間の抵抗の差をとることで、温度に依存する抵抗変化分はキャンセルされる。
図13は実施の形態3の構成を示す磁界検出装置の断面図である。基板3上の検出用磁気抵抗素子1と参照用磁気抵抗素子2、5は実施の形態2と同じであるが、両面が平面部分を有する非磁性の板18をさらに備えている。また、非磁性の板18の一方の平面部分には磁石の磁極端面が密着して配置され、非磁性の板18の一方の平面部分には検出用磁気抵抗素子1の基板3が密着して配置される。
図14は実施の形態4の磁界検出装置の構成を示した斜視図である。実施の形態4では実施の形態2の構成に、図14に示すように磁束ガイド14を磁石と検出用磁気抵抗素子との間に、検出用磁気抵抗素子1および参照用磁気抵抗素子2、5をカバーするように設けた。磁束ガイド14は、透磁率の高い材料でできた磁束の方向をそろえるためのものであり、ここでは透磁率の高い材料としてパーマロイ合金を用いた。磁束ガイド14と配線基板6との間には絶縁材料7が有り、磁束ガイド14と配線基板6とは電気的に絶縁されている。図14において参照用磁気抵抗素子2、5の位置を結ぶ方向をY方向として、基板3に平行でY方向に垂直方向をX方向とすると、検出する外部磁界41の方向はY方向である。
図17は実施の形態5による磁界検出装置の構成を示す斜視図である。また図18は図17の基板3の上方であるZ軸方向から見た磁界検出装置の構成の上面図である。実施の形態5では実施の形態2の構成に加えて、さらに検出用磁気抵抗素子1の位置から検出用磁気抵抗素子1の固定層の磁化方向32と垂直な2方向に間隔をおいて参照用磁気抵抗素子20、21が設けられている。
図19は実施の形態4による磁界検出装置の構成を示した斜視図であり、図20は図19の基板面の上方Z軸方向から見た上面図である。この磁界検出装置は実施の形態1において、検出用磁気抵抗素子と参照用磁気抵抗素子とをAMR(Anisotropic Magneto−Resistance)素子で置き換え、磁石4、検出用磁気抵抗素子、参照用磁気抵抗素子の相互位置を変更したものである。ここで使用したAMR素子は層構造がスピンバルブ構造ではないが、強磁性体層を層構造に含み、磁性体層の磁化方向の変化で抵抗が変化する点、膜構造に垂直方向には感磁しない点はTMR素子やGMR素子と同じである。AMR素子には検出電流と平行な方向については実質的に感磁しないものがある。実施の形態4では検出電流と平行な方向について感磁しないAMR素子を検出用磁気抵抗素子51および参照用磁気抵抗素子52に使用した。磁石4はそのN極の中心とS極の中心とを結ぶ軸が検出用磁気抵抗素子51の検出電流の方向と略一致するように配置した。一方、参照用磁気抵抗素子52は図20からもわかるように、磁石4からの磁界が検出電流の略垂直方向になるように配置した。
Claims (11)
- 磁石と、
磁化方向が層内の一方向に固定された固定層と強磁性体層の磁化方向が外部磁界に影響されて層内で変化する自由層とを含む層構造を有する検出用磁気抵抗素子と、
前記検出用磁気抵抗素子と略同一の層構造を有する参照用磁気抵抗素子とを備え、
前記検出用磁気抵抗素子および前記参照用磁気抵抗素子は、それぞれが有する固定層の磁化方向と自由層の磁化方向との角度によって抵抗が変化する素子であり、
前記磁石は、前記参照用磁気抵抗素子の感磁する方向においては当該固定層の磁化方向と平行または反平行において飽和磁界以上の強度で、かつ前記検出用磁気抵抗素子の感磁する方向においては飽和磁界より小さい強度となる磁界を印加するように配置される
ことを特徴とする磁界検出装置。 - 磁石は、N極の中心とS極の中心とを結ぶ軸が検出用磁気抵抗素子の略中心を通る位置で、印加する磁界方向が前記検出用磁気抵抗素子の当該層構造の面に対して垂直になる向きに配置されることを特徴とする請求項1に記載の磁界検出装置。
- 複数の参照用磁気抵抗素子を備え、
前記複数の参照用磁気抵抗素子は、固定層の磁化方向が同一であり、層構造の面方向に磁石から印加される磁界が反対方向であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁界検出装置。 - 層構造の面方向に磁石から印加される磁界が固定層の磁化方向と垂直である参照用磁気抵抗素子をさらに備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の磁界検出装置。
- 検出用磁気抵抗素子は、第1の反強磁性層と、第1の反強磁性層に接して設けられた第1の強磁性層と、第1の強磁性層に接して第1の反強磁性層と反対側の面に設けられた第1の非磁性層と、第1の非磁性層に接して第1の強磁性層と反対側の面に設けられた第2の強磁性層を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の磁界検出装置。
- 検出用磁気抵抗素子は、第1の反強磁性層と、第1の反強磁性層に接して設けられた第1の強磁性層と、第1の強磁性層に接して第1の反強磁性層と反対側の面に設けられた第2の非磁性層と、第2の非磁性層に接して第1の強磁性層と反対側の面に設けられた第3の強磁性層と、第3の強磁性層に接して第2の非磁性層と反対側の面に設けられた第1の非磁性層と、第1の非磁性層に接して第3の強磁性層と反対側の面に設けられた第2の強磁性層とを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の磁界検出装置。
- 非磁性体の平板をさらに備え、
磁石は磁界に対して垂直な平面部分を有し、
前記磁石の平面部分が前記平板の一方に対向して配置され、
検出用磁気抵抗素子の膜構造が前記平板の他方に対向して配置されたことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の磁界検出装置。 - 検出用磁気抵抗素子の抵抗と参照用磁気抵抗素子の抵抗との差または比を検出する回路を備えたことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の磁界検出装置。
- 検出用磁気抵抗素子と磁石との間に透磁率の高い材料で構成された磁束ガイドを前記検出用磁気抵抗素子および参照用磁気抵抗素子をカバーするように設けたことを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の磁界検出装置。
- 検出した信号を増幅する回路が検出用磁気抵抗素子または参照用磁気抵抗素子と同一基板上に設けられていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の磁界検出装置。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載した磁界検出装置を製造する方法であって、前記参照用磁気抵抗素子の固定層の磁化方向と平行に飽和磁界以上の磁界を印加したときの前記参照用磁気抵抗素子の抵抗値と前記固定層の磁化方向と反平行に飽和磁界以上の磁界を印加したときの前記参照用磁気抵抗素子の抵抗値とから計算される参照値と、前記検出用磁気抵抗素子の抵抗値とが等しくなるように前記磁石と前記検出用磁気抵抗素子の相対位置を調整する工程を含むことを特徴とする磁界検出装置の製造方法。
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