JP2003266304A - 基板の研削用マルチ砥石及びこれを用いた研削装置 - Google Patents
基板の研削用マルチ砥石及びこれを用いた研削装置Info
- Publication number
- JP2003266304A JP2003266304A JP2002075548A JP2002075548A JP2003266304A JP 2003266304 A JP2003266304 A JP 2003266304A JP 2002075548 A JP2002075548 A JP 2002075548A JP 2002075548 A JP2002075548 A JP 2002075548A JP 2003266304 A JP2003266304 A JP 2003266304A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- substrate
- grindstone
- outer diameter
- wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】簡単な構造の一種類のマルチ砥石にて面取り研
削、方形コーナー研削、外形調整研削等の複数の研削が
可能であり、ワークの前進、後退の往復研削にも対応出
来る多機能マルチ砥石及びこれを用いた生産性の高い研
削装置の提供を目的とする。 【解決手段】複数枚の砥石単板を所定の間隔を設けて平
行に配置したマルチ砥石において、中央部側砥石単板の
外径寸法をその外側に配置される砥石単板の外径寸法よ
り大きく設定し、最も外側に配置される砥石単板の外形
形状を回転軸延長方向外側に向けて外径寸法が小さくな
るようなテーパー形状を有するマルチ砥石とした。ま
た、マルチ砥石の上下ストロークを大きくし、基板と接
線接触可能にした。
削、方形コーナー研削、外形調整研削等の複数の研削が
可能であり、ワークの前進、後退の往復研削にも対応出
来る多機能マルチ砥石及びこれを用いた生産性の高い研
削装置の提供を目的とする。 【解決手段】複数枚の砥石単板を所定の間隔を設けて平
行に配置したマルチ砥石において、中央部側砥石単板の
外径寸法をその外側に配置される砥石単板の外径寸法よ
り大きく設定し、最も外側に配置される砥石単板の外形
形状を回転軸延長方向外側に向けて外径寸法が小さくな
るようなテーパー形状を有するマルチ砥石とした。ま
た、マルチ砥石の上下ストロークを大きくし、基板と接
線接触可能にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板、ガラス
基板等の端部の面取り研削加工、方形コーナー部の研削
加工、外径寸法を調整する外形整形研削加工等、多種類
の研削を一台の研削装置にて精度高く、効率良く行うの
に効果的なマルチ砥石及びこれを用いた研削装置に関す
る。
基板等の端部の面取り研削加工、方形コーナー部の研削
加工、外径寸法を調整する外形整形研削加工等、多種類
の研削を一台の研削装置にて精度高く、効率良く行うの
に効果的なマルチ砥石及びこれを用いた研削装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶基板、ガラス基板等は、ブレーク加
工等により、所定の大きさに切断されて使用に供され
る。基板のこの切断面が、エッヂ状になっているので従
来から、端面の面取り研削加工、方形基板のコーナー部
の研削加工が施されている。また、方形基板の外径寸法
をねらい寸法に調整するために、外形調整研削加工等も
広く実施されている。
工等により、所定の大きさに切断されて使用に供され
る。基板のこの切断面が、エッヂ状になっているので従
来から、端面の面取り研削加工、方形基板のコーナー部
の研削加工が施されている。また、方形基板の外径寸法
をねらい寸法に調整するために、外形調整研削加工等も
広く実施されている。
【０００３】ここで、基板の面取り加工は、例えば、図
６に示すように基板７の表裏２面の稜角部に対して、表
面７ａから端面方向７ｃに向けて回転ｗ１する砥石１０
４と、これとは逆に、裏面７ｂから端面方向７ｃに向け
て回転ｗ２する砥石１０５をそれぞれ、この稜角部に摺
接させながら、基板と一対の砥石とを相対移動させる方
法が採用されている。この場合に砥石を荒研削用、中研
削用、仕上げ用等にて分けて段階的に研削されている。
また、カップ状の砥石を稜角部に沿ってならうように回
転摺接させる方法も採用されている。
６に示すように基板７の表裏２面の稜角部に対して、表
面７ａから端面方向７ｃに向けて回転ｗ１する砥石１０
４と、これとは逆に、裏面７ｂから端面方向７ｃに向け
て回転ｗ２する砥石１０５をそれぞれ、この稜角部に摺
接させながら、基板と一対の砥石とを相対移動させる方
法が採用されている。この場合に砥石を荒研削用、中研
削用、仕上げ用等にて分けて段階的に研削されている。
また、カップ状の砥石を稜角部に沿ってならうように回
転摺接させる方法も採用されている。
【０００４】方形基板のコーナー部は、図７に示すよう
に回転する砥石１６２の刃先に基板７のコーナー部と軽
く接触させるようにして研削されている。
に回転する砥石１６２の刃先に基板７のコーナー部と軽
く接触させるようにして研削されている。
【０００５】基板の外径寸法をねらい寸法に調整する外
形整形研削は、図８に示すように回転する砥石１６１の
刃先に、基板の端面を摺接させて研削する方法が採用さ
れている。
形整形研削は、図８に示すように回転する砥石１６１の
刃先に、基板の端面を摺接させて研削する方法が採用さ
れている。
【０００６】以上説明したように、基板の面取り研削、
方形コーナー研削、外形整形研削それぞれ研削方法が異
なるので従来は、それぞれ目的に応じて複数の研削装置
を並設して順次研削加工していた。従って、複数の研削
加工装置の間に、ワークを移載する搬送装置が必要にな
り、ライン構成が長く複雑になるだけでなく、研削装置
毎にワークをセッティングし直さなければならないの
で、それだけバラツキが大きくなり、加工精度の作り込
みが大変であった。また、ライン構成が長くなるだけ、
その間に投入される半完成製品も多くなり、生産タクト
が長くなるという技術的課題が内在していた。
方形コーナー研削、外形整形研削それぞれ研削方法が異
なるので従来は、それぞれ目的に応じて複数の研削装置
を並設して順次研削加工していた。従って、複数の研削
加工装置の間に、ワークを移載する搬送装置が必要にな
り、ライン構成が長く複雑になるだけでなく、研削装置
毎にワークをセッティングし直さなければならないの
で、それだけバラツキが大きくなり、加工精度の作り込
みが大変であった。また、ライン構成が長くなるだけ、
その間に投入される半完成製品も多くなり、生産タクト
が長くなるという技術的課題が内在していた。
【０００７】一方、一台の研削装置で、従来、これらの
多種類の用途の研削方法に対応しようとすると、それぞ
れに応じた複数種類の砥石が必要になるだけでなく、砥
石の交換段取り工数がかかり、その間、ラインが停止す
る。また、半完成製品がライン内に滞留することにな
り、ライン構成が複雑になるとともに、品質の作り込み
が困難になるという技術的課題が内在していた。
多種類の用途の研削方法に対応しようとすると、それぞ
れに応じた複数種類の砥石が必要になるだけでなく、砥
石の交換段取り工数がかかり、その間、ラインが停止す
る。また、半完成製品がライン内に滞留することにな
り、ライン構成が複雑になるとともに、品質の作り込み
が困難になるという技術的課題が内在していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術に内在する技術的課題に鑑みて、簡単な構造の一種類
のマルチ砥石にて面取り研削、方形コーナー研削、外形
調整研削等の複数の研削が可能であり、ワークの前進、
後退の往復研削にも対応出来る多機能マルチ砥石及びこ
れを用いた生産性の高い研削装置の提供を目的とする。
術に内在する技術的課題に鑑みて、簡単な構造の一種類
のマルチ砥石にて面取り研削、方形コーナー研削、外形
調整研削等の複数の研削が可能であり、ワークの前進、
後退の往復研削にも対応出来る多機能マルチ砥石及びこ
れを用いた生産性の高い研削装置の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、複数枚の砥石単板を所定の間隔を設けて
平行に配置したマルチ砥石において、中央部側砥石単板
の外径寸法をその外側に配置される砥石単板の外径寸法
より大きく設定し、最も外側に配置される砥石単板の外
形形状を回転軸延長方向外側に向けて外径寸法が小さく
なるようなテーパー形状を有するマルチ砥石とした。
成するために、複数枚の砥石単板を所定の間隔を設けて
平行に配置したマルチ砥石において、中央部側砥石単板
の外径寸法をその外側に配置される砥石単板の外径寸法
より大きく設定し、最も外側に配置される砥石単板の外
形形状を回転軸延長方向外側に向けて外径寸法が小さく
なるようなテーパー形状を有するマルチ砥石とした。
【００１０】ここで、中央部側砥石単板の外径寸法をそ
の外側に配置される砥石単板の外径寸法より大きく設定
したのは、砥石単板にそれぞれ、刃先が形成されてい
て、砥石の回転方向において中央部の砥石単板の外径を
最も大きくし、その左右両端に向けて砥石単板の刃先外
径寸法を小さくすることにより、ワークの前進方向のみ
ならず、後退方向においても研削ができるように作用す
る。従って、平行に単板を配設したマルチ砥石の両サイ
ドの砥石単板は、荒削り用に使用され、それらの内側に
向けて中削り用又は仕上げ用砥石が配置される。なお、
砥石の種類は要求品質に応じて選定される。
の外側に配置される砥石単板の外径寸法より大きく設定
したのは、砥石単板にそれぞれ、刃先が形成されてい
て、砥石の回転方向において中央部の砥石単板の外径を
最も大きくし、その左右両端に向けて砥石単板の刃先外
径寸法を小さくすることにより、ワークの前進方向のみ
ならず、後退方向においても研削ができるように作用す
る。従って、平行に単板を配設したマルチ砥石の両サイ
ドの砥石単板は、荒削り用に使用され、それらの内側に
向けて中削り用又は仕上げ用砥石が配置される。なお、
砥石の種類は要求品質に応じて選定される。
【００１１】また、上記マルチ砥石において、最も外側
の両サイドの砥石の外形形状を外側に向かって外径寸法
が小さくなるテーパー形状としたことにより、このテー
パー部を利用して方形形材のコーナー研削が可能にな
る。
の両サイドの砥石の外形形状を外側に向かって外径寸法
が小さくなるテーパー形状としたことにより、このテー
パー部を利用して方形形材のコーナー研削が可能にな
る。
【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載のマ
ルチ砥石を用いて一台の研削装置にて多種類の研削を可
能にすることを目的とし、研削加工される基板を載置固
定するテーブルに、前後方向（Ｙ軸方向）移動制御手段
を備え、基板の進行方向サイド側端面に摺接又は当接す
るように、請求項１記載のマルチ砥石を上下一対配設
し、当該マルチ砥石に少なくともＸ軸方向及びＹ軸方向
の移動制御手段を備えた基板の研削装置とした。
ルチ砥石を用いて一台の研削装置にて多種類の研削を可
能にすることを目的とし、研削加工される基板を載置固
定するテーブルに、前後方向（Ｙ軸方向）移動制御手段
を備え、基板の進行方向サイド側端面に摺接又は当接す
るように、請求項１記載のマルチ砥石を上下一対配設
し、当該マルチ砥石に少なくともＸ軸方向及びＹ軸方向
の移動制御手段を備えた基板の研削装置とした。
【００１３】ここで、マルチ砥石を上下に一対として配
設したことにより、この上下一対のマルチ砥石にて基板
のサイド方向の稜角部に挟持するように相対摺接させる
ことにより、面取り研削が出来る。また、マルチ砥石は
基板載置テーブルを上下方向（Ｚ軸方向）に移動させ、
基板の単面が砥石と接線方向に接触するように配設する
ことにより、基板の外形整形研削及び方形コーナー部研
削が可能になる。
設したことにより、この上下一対のマルチ砥石にて基板
のサイド方向の稜角部に挟持するように相対摺接させる
ことにより、面取り研削が出来る。また、マルチ砥石は
基板載置テーブルを上下方向（Ｚ軸方向）に移動させ、
基板の単面が砥石と接線方向に接触するように配設する
ことにより、基板の外形整形研削及び方形コーナー部研
削が可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１に本発明に係る研削装置１の
要部構成図を示す。研削装置本体２の上部に、基板載置
テーブル３が備えられている。この基板載置テーブル３
には、真空ポンプ等で減圧吸引する吸着手段６等が備え
られていて、研削される液晶基板等が吸着固定され、前
進及び後退移動制御（Ｙ軸方向）される。この基板の進
行方向サイドに、マルチ砥石４、５が上下一対備えられ
ている。図１には、基板の進行方向に対して右側サイド
のみに一対の砥石を表示したが、これを一組として、左
側サイドにも同様に上下一対の砥石を設けて、二組の砥
石を門構えのように構成することにより、一回の進行に
より方形基板の両側の稜辺の面取り、コーナー研削、外
形整形研削等が出来る。また、マルチ砥石４、５は、後
述するように往復研削が可能になっているので、基板載
置テーブル３に旋回機能を設け、前進完了後に基板を９
０°旋回し、二組の砥石のＸ軸方向の間隔を基板の寸法
に合わせて調整し、後退するときに他の二辺の面取り等
が実施出来る。図１には、分かりやすくするために、マ
ルチ砥石４、５のみ模式的に表現してあるが、実際には
マルチ砥石を装着軸支する手段、回転駆動手段、上下方
向（Ｚ軸方向）にストロークする機構、上下の砥石の間
隔調整機構、左右方向（Ｘ軸方向）移動制御手段が備え
られている。これらの機構は、従来から広く採用されて
いる各種方法が採用されるので図示を省略したものであ
る。
要部構成図を示す。研削装置本体２の上部に、基板載置
テーブル３が備えられている。この基板載置テーブル３
には、真空ポンプ等で減圧吸引する吸着手段６等が備え
られていて、研削される液晶基板等が吸着固定され、前
進及び後退移動制御（Ｙ軸方向）される。この基板の進
行方向サイドに、マルチ砥石４、５が上下一対備えられ
ている。図１には、基板の進行方向に対して右側サイド
のみに一対の砥石を表示したが、これを一組として、左
側サイドにも同様に上下一対の砥石を設けて、二組の砥
石を門構えのように構成することにより、一回の進行に
より方形基板の両側の稜辺の面取り、コーナー研削、外
形整形研削等が出来る。また、マルチ砥石４、５は、後
述するように往復研削が可能になっているので、基板載
置テーブル３に旋回機能を設け、前進完了後に基板を９
０°旋回し、二組の砥石のＸ軸方向の間隔を基板の寸法
に合わせて調整し、後退するときに他の二辺の面取り等
が実施出来る。図１には、分かりやすくするために、マ
ルチ砥石４、５のみ模式的に表現してあるが、実際には
マルチ砥石を装着軸支する手段、回転駆動手段、上下方
向（Ｚ軸方向）にストロークする機構、上下の砥石の間
隔調整機構、左右方向（Ｘ軸方向）移動制御手段が備え
られている。これらの機構は、従来から広く採用されて
いる各種方法が採用されるので図示を省略したものであ
る。
【００１５】図２に本発明に係るマルチ砥石４の例を示
す。なお、マルチ砥石５も同様の構造になっているので
説明を省略する（図面の符号はマルチ砥石４に対応させ
て記載してある）。図２に示す例は、砥石単板を６枚平
行に備えた例を示すが、荒削り、中削り、仕上げの各種
組み合わせにて、必要に応じて枚数を選定使用すること
が可能である。中央の砥石４３ａ、４３ｂの外径寸法
が、その外側に位置する４２ａ、４２ｂの外径寸法より
大きくなっている。さらに、４２ａ、４２ｂの砥石の外
径寸法は、その外側の砥石４１ａ、４１ｂの外径寸法よ
り大きくなっている。そして、最も外側の砥石４１ａ、
４１ｂの外側は、テーパー形状になっていて方形基板の
コーナー研削用に使用する。また、砥石４１ａ、４１ｂ
の外側テーパー部は他の砥石と研削条件が異なり、外周
部の摩耗速度も異なる。そこで摩耗状況により、この砥
石単板を取り替え交換できるような構造になっている。
その構造例を図２にて説明する。マルチ砥石を回転駆動
する主軸８には中央にタップが切ってあり、主軸面に回
り止めピン４ｅが設けられている。各砥石単板は砥石母
材４ｂの外周に砥石部分４ａが形成されている。また、
各砥石単板は嵌め込み構造４ｃになっていて、ボルト４
ｄ等で連結され、砥石４１ａの側面に設けられた切り欠
き凹部と主軸面の回り止めピン４ｅと嵌合させて中央部
の取付孔からボルト４ｆを挿入して主軸のタップに取り
付ける。なお、砥石４２と４３の外径寸法の差は、研削
量に合わせて設定され、最終面取り幅が０．２〜０．４
ｍｍ程度であれば、上記砥石の外径寸法差は、０．１〜
０．２ｍｍ程度になるが、図２は、分かりやすくするた
めにその差を非常に大きく表現してある。
す。なお、マルチ砥石５も同様の構造になっているので
説明を省略する（図面の符号はマルチ砥石４に対応させ
て記載してある）。図２に示す例は、砥石単板を６枚平
行に備えた例を示すが、荒削り、中削り、仕上げの各種
組み合わせにて、必要に応じて枚数を選定使用すること
が可能である。中央の砥石４３ａ、４３ｂの外径寸法
が、その外側に位置する４２ａ、４２ｂの外径寸法より
大きくなっている。さらに、４２ａ、４２ｂの砥石の外
径寸法は、その外側の砥石４１ａ、４１ｂの外径寸法よ
り大きくなっている。そして、最も外側の砥石４１ａ、
４１ｂの外側は、テーパー形状になっていて方形基板の
コーナー研削用に使用する。また、砥石４１ａ、４１ｂ
の外側テーパー部は他の砥石と研削条件が異なり、外周
部の摩耗速度も異なる。そこで摩耗状況により、この砥
石単板を取り替え交換できるような構造になっている。
その構造例を図２にて説明する。マルチ砥石を回転駆動
する主軸８には中央にタップが切ってあり、主軸面に回
り止めピン４ｅが設けられている。各砥石単板は砥石母
材４ｂの外周に砥石部分４ａが形成されている。また、
各砥石単板は嵌め込み構造４ｃになっていて、ボルト４
ｄ等で連結され、砥石４１ａの側面に設けられた切り欠
き凹部と主軸面の回り止めピン４ｅと嵌合させて中央部
の取付孔からボルト４ｆを挿入して主軸のタップに取り
付ける。なお、砥石４２と４３の外径寸法の差は、研削
量に合わせて設定され、最終面取り幅が０．２〜０．４
ｍｍ程度であれば、上記砥石の外径寸法差は、０．１〜
０．２ｍｍ程度になるが、図２は、分かりやすくするた
めにその差を非常に大きく表現してある。
【００１６】図３に基板の稜辺を面取り研削する場合の
模式図を示す。上側のマルチ砥石４と下側のマルチ砥石
５がそれぞれ、相互に砥石の単板の間に入り込むように
配置されている。上側の砥石４が基板７の表面７ａから
端面７ｃに向けて回転ｗ１している。一方、下側の砥石
５は、基板７の裏面７ｂから端面７ｃに向けて逆方向に
回転ｗ２している。基板７の進行方向に対して、外側の
砥石４２（４２ａ、４２ｂ）、４３（４３ａ、４３ｂ）
にて順次研削され仕上げられる（図３は紙面の手前から
奥に向けて基板７が進行する状態を示す）。従って、本
発明におけるマルチ砥石にては、中央部の砥石の刃先外
径寸法がその外側の両サイドの砥石より大きくなってい
るので往復研削が可能である。
模式図を示す。上側のマルチ砥石４と下側のマルチ砥石
５がそれぞれ、相互に砥石の単板の間に入り込むように
配置されている。上側の砥石４が基板７の表面７ａから
端面７ｃに向けて回転ｗ１している。一方、下側の砥石
５は、基板７の裏面７ｂから端面７ｃに向けて逆方向に
回転ｗ２している。基板７の進行方向に対して、外側の
砥石４２（４２ａ、４２ｂ）、４３（４３ａ、４３ｂ）
にて順次研削され仕上げられる（図３は紙面の手前から
奥に向けて基板７が進行する状態を示す）。従って、本
発明におけるマルチ砥石にては、中央部の砥石の刃先外
径寸法がその外側の両サイドの砥石より大きくなってい
るので往復研削が可能である。
【００１７】図４に示すように、基板の端面の外形整形
研削する場合には、砥石の上下ストロークを調整又は基
板テーブル３の上下位置を調整することにより、基板の
端面が砥石の回転外径円接線接触するように摺接する。
研削する場合には、砥石の上下ストロークを調整又は基
板テーブル３の上下位置を調整することにより、基板の
端面が砥石の回転外径円接線接触するように摺接する。
【００１８】図５に示すように、方形基板のコーナー研
削する場合には、基板７のコーナー部とマルチ砥石の最
も外側の砥石、図２の例では、４１ａ、４１ｂの砥石の
テーパー部に軽く当接させることで研削できる。
削する場合には、基板７のコーナー部とマルチ砥石の最
も外側の砥石、図２の例では、４１ａ、４１ｂの砥石の
テーパー部に軽く当接させることで研削できる。
【００１９】
【発明の効果】本発明においては、マルチ砥石の構造を
中央の砥石単板の刃先外径寸法をその外側の砥石単板の
刃先外径寸法よりそれぞれ大きく設定したので、往復研
削が可能であり、最も外側の砥石単板の刃先形状をテー
パー状にし、砥石上下ストロークを従来より大きく設定
したので方形基板コーナー研削ができる。同様に、砥石
ストロークを大きく設定したので、基板の端面に砥石用
接線接触が可能になり、外形整形研削も可能になる。
中央の砥石単板の刃先外径寸法をその外側の砥石単板の
刃先外径寸法よりそれぞれ大きく設定したので、往復研
削が可能であり、最も外側の砥石単板の刃先形状をテー
パー状にし、砥石上下ストロークを従来より大きく設定
したので方形基板コーナー研削ができる。同様に、砥石
ストロークを大きく設定したので、基板の端面に砥石用
接線接触が可能になり、外形整形研削も可能になる。
【００２０】即ち、本発明における研削装置において
は、上記の構成を採用したことにより、一台の研削装置
で各種研削加工が可能になり、ライン構成が簡単にな
り、従来の加工装置間の移載装置も不要になり、一回の
基板のセンタリングにて一連の研削加工が可能になる。
従って、品質の作り込みが容易になる。また、ライン途
中の半完成製品も一掃される。
は、上記の構成を採用したことにより、一台の研削装置
で各種研削加工が可能になり、ライン構成が簡単にな
り、従来の加工装置間の移載装置も不要になり、一回の
基板のセンタリングにて一連の研削加工が可能になる。
従って、品質の作り込みが容易になる。また、ライン途
中の半完成製品も一掃される。
【図１】本発明に係る研削装置の要部構成図を示す。
【図２】本発明に係るマルチ砥石の例を示す。
【図３】面取り方法の模式図を示す。
【図４】外形整形研削の模式図を示す。
【図５】方形基板コーナー研削の模式図を示す。
【図６】従来の面取り方法を示す。
【図７】従来の方形基板コーナー研削の例を示す。
【図８】従来の外形整形研削の例を示す。
１ 研削装置
２ 研削装置本体
３ 基板載置テーブル
４ 上側マルチ砥石
５ 下側マルチ砥石
６ 吸着手段
７ 基板
８ 主軸
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｂ２４Ｂ 9/10 Ｂ２４Ｂ 9/10 Ｅ
Ｂ２４Ｄ 5/00 Ｂ２４Ｄ 5/00 Ｚ
Ｆターム(参考） 3C034 AA07 AA19 BB51 BB56 CB01
DD08
3C043 BA01 BB05 CC02 CC12 DD02
3C049 AA02 AA11 AA13 AA18 BC02
CA06 CB03
3C063 AA02 AB03 BH02 EE10
Claims (2)
- 【請求項１】複数枚の砥石単板を所定の間隔を設けて平
行に配置したマルチ砥石において、中央部側砥石単板の
外径寸法をその外側に配置される砥石単板の外径寸法よ
り大きく設定し、最も外側に配置される砥石単板の外形
形状を回転軸延長方向外側に向けて外径寸法が小さくな
るようなテーパー形状としたことを特徴とするマルチ砥
石。 - 【請求項２】研削加工される基板を載置固定するテーブ
ルに、前後方向（Ｙ軸方向）移動制御手段を備え、基板
の進行方向サイド側端面に摺接又は当接するように、請
求項１記載のマルチ砥石を上下一対配設し、当該マルチ
砥石に少なくともＸ軸方向及びＹ軸方向の移動制御手段
を備えたことを特徴とする基板の研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002075548A JP4514014B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 基板の研削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002075548A JP4514014B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 基板の研削方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003266304A true JP2003266304A (ja) | 2003-09-24 |
| JP4514014B2 JP4514014B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=29204593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002075548A Expired - Lifetime JP4514014B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 基板の研削方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4514014B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007210043A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ワークの側辺加工装置 |
| KR100786999B1 (ko) | 2006-05-10 | 2007-12-18 | (주)미래컴퍼니 | 유리기판의 연마장치 및 연마방법 |
| CN102101258A (zh) * | 2009-12-18 | 2011-06-22 | 中村留精密工业株式会社 | 工件的侧边加工装置 |
| JP2013233648A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Sandvik Intellectual Property Ab | フライス加工工具 |
| CN106736977A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-05-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 研磨机构及研磨设备 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5027636B1 (ja) * | 1970-06-16 | 1975-09-09 | ||
| JPS62104865U (ja) * | 1985-12-18 | 1987-07-04 | ||
| JPS62176746A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-03 | Yuukou:Kk | ガラス材の両糸面取加工装置 |
| JPH02117861U (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-20 | ||
| JPH07108446A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Asahi Glass Co Ltd | 板状材の面取り方法及び装置 |
| JPH07136931A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-05-30 | Noritake Dia Kk | 超砥粒メタルボンドホイール |
| JPH10118907A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-12 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ガラス基板の外周加工装置 |
| JPH11347928A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-12-21 | Ngk Insulators Ltd | マルチ砥石 |
| JP2000042888A (ja) * | 1998-07-28 | 2000-02-15 | Shirai Tekkosho:Kk | 板ガラスの加工装置 |
| JP2000127013A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-05-09 | Uchiyama Konpo Shizai Shiki:Kk | 面取り装置 |
| JP2001054843A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-02-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 硬質脆弱基板端面の研磨方法およびこれに用いられる研磨装置 |
-
2002
- 2002-03-19 JP JP2002075548A patent/JP4514014B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5027636B1 (ja) * | 1970-06-16 | 1975-09-09 | ||
| JPS62104865U (ja) * | 1985-12-18 | 1987-07-04 | ||
| JPS62176746A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-03 | Yuukou:Kk | ガラス材の両糸面取加工装置 |
| JPH02117861U (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-20 | ||
| JPH07108446A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Asahi Glass Co Ltd | 板状材の面取り方法及び装置 |
| JPH07136931A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-05-30 | Noritake Dia Kk | 超砥粒メタルボンドホイール |
| JPH10118907A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-12 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ガラス基板の外周加工装置 |
| JPH11347928A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-12-21 | Ngk Insulators Ltd | マルチ砥石 |
| JP2000042888A (ja) * | 1998-07-28 | 2000-02-15 | Shirai Tekkosho:Kk | 板ガラスの加工装置 |
| JP2000127013A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-05-09 | Uchiyama Konpo Shizai Shiki:Kk | 面取り装置 |
| JP2001054843A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-02-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 硬質脆弱基板端面の研磨方法およびこれに用いられる研磨装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007210043A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ワークの側辺加工装置 |
| KR100786999B1 (ko) | 2006-05-10 | 2007-12-18 | (주)미래컴퍼니 | 유리기판의 연마장치 및 연마방법 |
| CN102101258A (zh) * | 2009-12-18 | 2011-06-22 | 中村留精密工业株式会社 | 工件的侧边加工装置 |
| JP2013233648A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Sandvik Intellectual Property Ab | フライス加工工具 |
| CN106736977A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-05-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 研磨机构及研磨设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4514014B2 (ja) | 2010-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8021212B2 (en) | Apparatus for polishing edge surface of glass substrate for magnetic recording media, and process for producing glass substrate | |
| KR101241839B1 (ko) | 유리 기판의 끝면 가공장치 및 끝면 가공방법 | |
| JP5020603B2 (ja) | ガラス基板の面取加工装置 | |
| KR101273729B1 (ko) | 판상체의 연마 방법 및 그 장치 | |
| TWI679085B (zh) | 玻璃板之去角方法、及玻璃板之製造方法 | |
| JPH09168953A (ja) | 半導体ウェーハのエッジ研摩方法及び装置 | |
| JP2003266304A (ja) | 基板の研削用マルチ砥石及びこれを用いた研削装置 | |
| KR101511593B1 (ko) | 디스플레이패널용 유리판, 그의 연삭을 위한 연마지석 및 연삭장치 | |
| JP5006011B2 (ja) | 円板状基板の製造方法 | |
| JP6608604B2 (ja) | 面取り加工された基板及び液晶表示装置の製造方法 | |
| JP3980896B2 (ja) | 板材の加工方法及びその装置 | |
| JP2012143852A (ja) | ガラスディスクの製造装置 | |
| JP2000263393A (ja) | 研削装置 | |
| JP2002307272A (ja) | 両頭平面研削方法及び装置 | |
| JP6590049B2 (ja) | 板状物の端面加工装置 | |
| JP3630950B2 (ja) | 球面レンズの製造方法 | |
| JP4302336B2 (ja) | 研削装置および研削方法 | |
| JP2016190284A (ja) | 面取り基板の製造方法及びそれに用いられる面取り装置 | |
| JPH11320358A (ja) | 研磨装置 | |
| CN100528479C (zh) | 滚圆设备及滚圆方法 | |
| JP2003136385A (ja) | 端面加工方法および装置 | |
| KR20050118559A (ko) | 컬러필터의 에지 가공장치 | |
| JPH03136758A (ja) | 超砥粒メタルボンド砥石を用いたインプロセス電解ドレッシング可能なキャリアプレート型兼インフィード型研摩加工装置 | |
| JPS6133851A (ja) | 多面同時加工装置 | |
| JP2004306236A (ja) | 竪型両頭平面研削盤の砥石修正装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050210 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070510 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070514 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070709 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080107 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080306 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090406 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090706 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090714 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100506 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100506 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4514014 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |