JP2000127013A - 面取り装置 - Google Patents
面取り装置Info
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- JP2000127013A JP2000127013A JP30018198A JP30018198A JP2000127013A JP 2000127013 A JP2000127013 A JP 2000127013A JP 30018198 A JP30018198 A JP 30018198A JP 30018198 A JP30018198 A JP 30018198A JP 2000127013 A JP2000127013 A JP 2000127013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- plate
- suction
- axis
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶パネルのガラス基板などの板状体を効率
よく面取り加工して、生産性を向上することができる面
取り装置を提供する。 【解決手段】 複数の液晶パネル12の一方のガラス基
板13aを、各ガラス基板13a,13bの厚み方向に
一定の間隔Δt1をあけた状態で整列して保持する研削
用ホルダ14と、研削用ホルダ14によって保持された
各ガラス基板13の厚み方向に平行な回転軸線15まわ
りに回転駆動され、前記複数の一方のガラス基板13a
の各周縁部16を同時に研削して面取りする研削ロール
17を備える研削手段18と、相互に直交するX軸、Y
軸およびZ軸のうちZ軸方向に変位駆動されるZ軸移動
体22、および少なくとも前記研削ロール17による各
液晶パネル12の研削位置P1で前記回転軸線15に平
行なX軸方向に変位駆動されるX軸移動体20、および
前記仮想一水平面内でX軸に垂直なY軸方向に変位駆動
されるY軸移動体21を有する装置本体23と、各ガラ
ス基板13aの被研削部に向けて研削液を噴射する噴射
ノズル24を有する研削液噴射手段25とを備える。
よく面取り加工して、生産性を向上することができる面
取り装置を提供する。 【解決手段】 複数の液晶パネル12の一方のガラス基
板13aを、各ガラス基板13a,13bの厚み方向に
一定の間隔Δt1をあけた状態で整列して保持する研削
用ホルダ14と、研削用ホルダ14によって保持された
各ガラス基板13の厚み方向に平行な回転軸線15まわ
りに回転駆動され、前記複数の一方のガラス基板13a
の各周縁部16を同時に研削して面取りする研削ロール
17を備える研削手段18と、相互に直交するX軸、Y
軸およびZ軸のうちZ軸方向に変位駆動されるZ軸移動
体22、および少なくとも前記研削ロール17による各
液晶パネル12の研削位置P1で前記回転軸線15に平
行なX軸方向に変位駆動されるX軸移動体20、および
前記仮想一水平面内でX軸に垂直なY軸方向に変位駆動
されるY軸移動体21を有する装置本体23と、各ガラ
ス基板13aの被研削部に向けて研削液を噴射する噴射
ノズル24を有する研削液噴射手段25とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば液晶表示
素子の製造工程中で液晶注入後の2枚のガラス基板が貼
合わされた液晶パネルのガラス基板の周縁部を、複数枚
同時に研削して面取り処理するために好適に実施するこ
とができる面取り装置に関する。
素子の製造工程中で液晶注入後の2枚のガラス基板が貼
合わされた液晶パネルのガラス基板の周縁部を、複数枚
同時に研削して面取り処理するために好適に実施するこ
とができる面取り装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図11は、従来の技術を説明するための
周縁部が面取り処理される液晶パネル1の斜視図であ
る。各種の電子機器にディスプレイ装置として搭載され
る液晶表示素子の液晶注入後の液晶パネル1において、
2枚のガラス基板2,3のうち、たとえば薄膜トランジ
スタ(略称TFT)などのスイッチング素子が形成され
る板状体である一方のガラス基板3の一表面には、たと
えば配向膜のラビング処理によって発生した静電気によ
るショートリングを防止するために、アース配線4が前
記一方のガラス基板3の周縁部であるソース駆動回路側
の側縁部5aおよびゲート駆動回路側の側縁部5bに沿
って形成され、このアース配線4を接地して前記静電気
を除去している。
周縁部が面取り処理される液晶パネル1の斜視図であ
る。各種の電子機器にディスプレイ装置として搭載され
る液晶表示素子の液晶注入後の液晶パネル1において、
2枚のガラス基板2,3のうち、たとえば薄膜トランジ
スタ(略称TFT)などのスイッチング素子が形成され
る板状体である一方のガラス基板3の一表面には、たと
えば配向膜のラビング処理によって発生した静電気によ
るショートリングを防止するために、アース配線4が前
記一方のガラス基板3の周縁部であるソース駆動回路側
の側縁部5aおよびゲート駆動回路側の側縁部5bに沿
って形成され、このアース配線4を接地して前記静電気
を除去している。
【0003】このようなアース配線4は、各ガラス基板
2,3を貼合わせて真空脱気によって液晶を注入した工
程以降では不要となる。また素ガラス薄板はエッジ部分
が破損し易く、製造途中におけるひび割れ、およびこの
ひび割れによって生じた微細なガラス片の付着などを防
ぐ必要がある。そのため、図12に示されるように、一
方のガラス基板3の各側縁部5a,5bを、前記アース
配線4が形成される部分を含む範囲にわたって研削砥石
車によって研削し、角部7a,7bの面取りと同時に前
記アース配線4を除去している。
2,3を貼合わせて真空脱気によって液晶を注入した工
程以降では不要となる。また素ガラス薄板はエッジ部分
が破損し易く、製造途中におけるひび割れ、およびこの
ひび割れによって生じた微細なガラス片の付着などを防
ぐ必要がある。そのため、図12に示されるように、一
方のガラス基板3の各側縁部5a,5bを、前記アース
配線4が形成される部分を含む範囲にわたって研削砥石
車によって研削し、角部7a,7bの面取りと同時に前
記アース配線4を除去している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
では、複数の液晶パネルのガラス基板の周縁部を面取り
するにあたって、液晶パネルを一枚ずつ面取り処理して
いるため、処理効率が悪く、生産性が低いという課題が
ある。
では、複数の液晶パネルのガラス基板の周縁部を面取り
するにあたって、液晶パネルを一枚ずつ面取り処理して
いるため、処理効率が悪く、生産性が低いという課題が
ある。
【0005】本発明の目的は、上記液晶パネルのガラス
基板などの板状体を効率よく面取り加工して、生産性を
向上することができる面取り装置を提供することであ
る。
基板などの板状体を効率よく面取り加工して、生産性を
向上することができる面取り装置を提供することであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明
は、複数の板状体を、各板状体の厚み方向に予め定める
一定の間隔をあけた状態で整列して保持する保持手段
と、保持手段によって保持された各板状体の厚み方向に
平行な回転軸線まわりに回転駆動され、前記複数の板状
体の各周縁部を同時に研削して面取りする研削ロールを
備える研削手段と、相互に直交するX軸、Y軸およびZ
軸方向に変位駆動され、保持手段が設けられる移動体を
有する装置本体と、前記各板状体の研削位置に向けて研
削液を噴射する噴射ノズルを有する研削液噴射手段とを
含むことを特徴とする面取り装置である。
は、複数の板状体を、各板状体の厚み方向に予め定める
一定の間隔をあけた状態で整列して保持する保持手段
と、保持手段によって保持された各板状体の厚み方向に
平行な回転軸線まわりに回転駆動され、前記複数の板状
体の各周縁部を同時に研削して面取りする研削ロールを
備える研削手段と、相互に直交するX軸、Y軸およびZ
軸方向に変位駆動され、保持手段が設けられる移動体を
有する装置本体と、前記各板状体の研削位置に向けて研
削液を噴射する噴射ノズルを有する研削液噴射手段とを
含むことを特徴とする面取り装置である。
【0007】本発明に従えば、装置本体は、相互に直交
するX軸、Y軸およびZ軸方向に変位駆動される移動体
を備える。複数の板状体は、保持手段によって各板状体
の厚み方向に予め定める一定の間隔をあけた状態で整列
して保持され、この保持手段は上記の移動体に設けられ
る。研削動作を開始するにあたっては、移動体を、たと
えば周知の数値制御(NC制御ともいう)装置にプログ
ラムシートによって予め設定されたプログラムに基づい
て、X軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向にそれぞれ移
動させ、前記保持手段に保持された各板状体の研削開始
位置に研削ロールを配置し、研削ロールを各板状体の厚
み方向に平行な回転軸線まわりに回転駆動させるととも
に、研削液噴射手段によって噴射ノズルから研削位置に
向けて研削液、たとえば常温の水を噴射させて、研削に
よって発生した研削粉を除去し、かつ各板状体の被研削
部およびその付近を冷却しながら前記プログラムによっ
て設定された研削位置および範囲にわたって、同時に複
数枚の板状体を研削することができ、高い処理効率で面
取り処理することができる。
するX軸、Y軸およびZ軸方向に変位駆動される移動体
を備える。複数の板状体は、保持手段によって各板状体
の厚み方向に予め定める一定の間隔をあけた状態で整列
して保持され、この保持手段は上記の移動体に設けられ
る。研削動作を開始するにあたっては、移動体を、たと
えば周知の数値制御(NC制御ともいう)装置にプログ
ラムシートによって予め設定されたプログラムに基づい
て、X軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向にそれぞれ移
動させ、前記保持手段に保持された各板状体の研削開始
位置に研削ロールを配置し、研削ロールを各板状体の厚
み方向に平行な回転軸線まわりに回転駆動させるととも
に、研削液噴射手段によって噴射ノズルから研削位置に
向けて研削液、たとえば常温の水を噴射させて、研削に
よって発生した研削粉を除去し、かつ各板状体の被研削
部およびその付近を冷却しながら前記プログラムによっ
て設定された研削位置および範囲にわたって、同時に複
数枚の板状体を研削することができ、高い処理効率で面
取り処理することができる。
【0008】請求項2記載の本発明は、前記装置本体の
移動体には、複数の保持手段が設けられることを特徴と
する。
移動体には、複数の保持手段が設けられることを特徴と
する。
【0009】本発明に従えば、前記装置本体の移動体に
は、複数の保持手段が設けられるので、前記複数の保持
手段のうちいずれか一つの保持手段に保持される各板状
体を研削中に、残余の保持手段に複数の板状体を上記の
ように各板状体の厚み方向に予め定める間隔をあけて整
列して収容しておき、前記一つの保持手段に保持される
複数の板状体の面取り処理が終了したとき、その保持手
段を所定の退避位置に退避させるとともに、残余の保持
手段を前記研削開始位置に配置して研削動作を開始する
ことができる。このようにして研削後の板状体が収容さ
れた保持手段と研削前の板状体が収容された保持手段と
の交換時間を短縮して、装置の稼働効率を向上すること
ができる。
は、複数の保持手段が設けられるので、前記複数の保持
手段のうちいずれか一つの保持手段に保持される各板状
体を研削中に、残余の保持手段に複数の板状体を上記の
ように各板状体の厚み方向に予め定める間隔をあけて整
列して収容しておき、前記一つの保持手段に保持される
複数の板状体の面取り処理が終了したとき、その保持手
段を所定の退避位置に退避させるとともに、残余の保持
手段を前記研削開始位置に配置して研削動作を開始する
ことができる。このようにして研削後の板状体が収容さ
れた保持手段と研削前の板状体が収容された保持手段と
の交換時間を短縮して、装置の稼働効率を向上すること
ができる。
【0010】請求項3記載の本発明は、前記保持手段
は、負圧が導かれる吸引孔を有する基台と、基台に前記
予め定める一定の間隔をあけて立設され、各板状体の一
表面に周縁部よりも内側にそれぞれ設けられ、前記基台
の吸引孔から吸引力が導かれる平坦状の吸引面を有する
複数の吸着板とを含み、前記基台の吸引孔に負圧を導く
吸引手段を備えることを特徴とする。
は、負圧が導かれる吸引孔を有する基台と、基台に前記
予め定める一定の間隔をあけて立設され、各板状体の一
表面に周縁部よりも内側にそれぞれ設けられ、前記基台
の吸引孔から吸引力が導かれる平坦状の吸引面を有する
複数の吸着板とを含み、前記基台の吸引孔に負圧を導く
吸引手段を備えることを特徴とする。
【0011】本発明に従えば、各板状体は、吸引手段か
ら負圧が導かれる複数の吸着板の吸引面にそれぞれ吸着
された状態で周縁部を板状体から突出させて保持される
ので、板状体の厚みに拘わらず各板状体を前記予め定め
る一定の間隔で位置決めして保持することができる。こ
のように吸引手段から各吸着板の吸引面に導かれる負圧
は、各板状体が各吸着板に吸着された状態で撓みを生じ
ない程度に容易に調整することができ、これによって高
精度で面取り研磨処理を行うことができる。また各板状
体の厚みを変更したい場合であっても、各板状体を撓み
を生じない適度の吸引力で吸着板に吸着させて保持する
ことができるので、板状体の厚みによって保持手段の構
成を変更する必要がなく、厚みの異なる板状体に対して
広範囲に本発明を実施することができる。
ら負圧が導かれる複数の吸着板の吸引面にそれぞれ吸着
された状態で周縁部を板状体から突出させて保持される
ので、板状体の厚みに拘わらず各板状体を前記予め定め
る一定の間隔で位置決めして保持することができる。こ
のように吸引手段から各吸着板の吸引面に導かれる負圧
は、各板状体が各吸着板に吸着された状態で撓みを生じ
ない程度に容易に調整することができ、これによって高
精度で面取り研磨処理を行うことができる。また各板状
体の厚みを変更したい場合であっても、各板状体を撓み
を生じない適度の吸引力で吸着板に吸着させて保持する
ことができるので、板状体の厚みによって保持手段の構
成を変更する必要がなく、厚みの異なる板状体に対して
広範囲に本発明を実施することができる。
【0012】請求項4記載の本発明は、前記研削ロール
の外周部には、前記予め定める一定の間隔に等しい間隔
をあけて略V字状の研削面を有する複数の環状の研削溝
が形成されることを特徴とする。
の外周部には、前記予め定める一定の間隔に等しい間隔
をあけて略V字状の研削面を有する複数の環状の研削溝
が形成されることを特徴とする。
【0013】本発明に従えば、前記研削ロールの外周部
には複数の研削溝がけ形成され、各研削溝は略V字状の
研削面を有するので、各板状体の周縁部が各研削溝に嵌
まり込んだ状態で、その周縁部の前記研削ロールの半径
方向内方に臨む端面と、研削面の前記端面に対向する最
も半径方向内方の谷部に相当する略V字状研削面部分と
の間に研削ロールの周方向に貫通した空隙を形成するこ
とができる。このような空隙によって、研削時に噴射ノ
ズルから噴射される研削液を噴射方向上流側から下流側
に通過させることができ、これによって板状体の被研削
部に常に円滑に噴射ノズルから噴射される研削液を供給
して、研削粉を確実に除去するとともに、被研削部にお
ける研削液の滞留を防止して被研削部を確実に冷却する
ことができる。
には複数の研削溝がけ形成され、各研削溝は略V字状の
研削面を有するので、各板状体の周縁部が各研削溝に嵌
まり込んだ状態で、その周縁部の前記研削ロールの半径
方向内方に臨む端面と、研削面の前記端面に対向する最
も半径方向内方の谷部に相当する略V字状研削面部分と
の間に研削ロールの周方向に貫通した空隙を形成するこ
とができる。このような空隙によって、研削時に噴射ノ
ズルから噴射される研削液を噴射方向上流側から下流側
に通過させることができ、これによって板状体の被研削
部に常に円滑に噴射ノズルから噴射される研削液を供給
して、研削粉を確実に除去するとともに、被研削部にお
ける研削液の滞留を防止して被研削部を確実に冷却する
ことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態の
面取り装置11の全体の構成を示す系統図である。本実
施の形態の面取り装置11は、複数の液晶パネル12の
板状体である一方のガラス基板13aを、各ガラス基板
13a,13bの厚み方向に予め定める一定の間隔Δt
1をあけた状態で整列して保持する複数、本実施の形態
では2つの保持手段である研削用ホルダ14a,14b
(総称する場合には、添え字a,bを省略して研削用ホ
ルダ14と記す)と、研削用ホルダ14によって保持さ
れた各一方のガラス基板13aの厚み方向に平行な回転
軸線15まわりに回転駆動され、前記複数の一方のガラ
ス基板13aの各周縁部16を同時に研削して面取りす
る研削ロール17を備える研削手段18と、相互に直交
するX軸、Y軸およびZ軸のうち前記回転軸線15を含
む仮想一水平面に対して垂直なZ軸方向に変位駆動され
るZ軸移動体22、および少なくとも前記研削ロール1
7による各液晶パネル12の研削位置P1で前記回転軸
線15に平行なX軸方向に変位駆動されるX軸移動体2
0、および前記仮想一水平面内でX軸に垂直なY軸方向
に変位駆動されるY軸移動体21を有する装置本体23
と、前記各一方のガラス基板13aの被研削部に向けて
研削液である常温の水を噴射する噴射ノズル24を有す
る研削液噴射手段25とを含む。
面取り装置11の全体の構成を示す系統図である。本実
施の形態の面取り装置11は、複数の液晶パネル12の
板状体である一方のガラス基板13aを、各ガラス基板
13a,13bの厚み方向に予め定める一定の間隔Δt
1をあけた状態で整列して保持する複数、本実施の形態
では2つの保持手段である研削用ホルダ14a,14b
(総称する場合には、添え字a,bを省略して研削用ホ
ルダ14と記す)と、研削用ホルダ14によって保持さ
れた各一方のガラス基板13aの厚み方向に平行な回転
軸線15まわりに回転駆動され、前記複数の一方のガラ
ス基板13aの各周縁部16を同時に研削して面取りす
る研削ロール17を備える研削手段18と、相互に直交
するX軸、Y軸およびZ軸のうち前記回転軸線15を含
む仮想一水平面に対して垂直なZ軸方向に変位駆動され
るZ軸移動体22、および少なくとも前記研削ロール1
7による各液晶パネル12の研削位置P1で前記回転軸
線15に平行なX軸方向に変位駆動されるX軸移動体2
0、および前記仮想一水平面内でX軸に垂直なY軸方向
に変位駆動されるY軸移動体21を有する装置本体23
と、前記各一方のガラス基板13aの被研削部に向けて
研削液である常温の水を噴射する噴射ノズル24を有す
る研削液噴射手段25とを含む。
【0015】上記の各液晶パネル12は、アクティブマ
トリクス形液晶表示素子を製造する途中工程の液晶注入
後の状態であり、セルガラスとも呼ばれる2枚の透明な
ガラス基板13a,13bの各対向表面に透明電極と液
晶分子の積層状の配向層とが設けられ、周縁部で熱また
は光硬化形接着剤よって相互に貼り合せられ、液晶注入
空間が形成されている。前記一方のガラス基板13a
は、透明電極を構成するデータ線と走査線とがマトリク
ス状に形成され、これらの交点にスイッチング素子とし
てTFTと画素電極とが設けられる。
トリクス形液晶表示素子を製造する途中工程の液晶注入
後の状態であり、セルガラスとも呼ばれる2枚の透明な
ガラス基板13a,13bの各対向表面に透明電極と液
晶分子の積層状の配向層とが設けられ、周縁部で熱また
は光硬化形接着剤よって相互に貼り合せられ、液晶注入
空間が形成されている。前記一方のガラス基板13a
は、透明電極を構成するデータ線と走査線とがマトリク
ス状に形成され、これらの交点にスイッチング素子とし
てTFTと画素電極とが設けられる。
【0016】前記X軸移動体20にはその長手方向に間
隔をあけて前記研削用ホルダ14a,14bが設けら
れ、Y軸移動体21にはX軸移動体20が設けられ、Z
軸移動体22には研削手段18が設けられる。前記装置
本体23はまた、工場の床面上に載置されるベッド27
と、このベッド27から上方に立上がる立上がり部28
とを有する。立上がり部28の最上部には天板29がX
軸移動体20に臨む一側面30からモータ支持部31を
部分的に突出させて設けられる。このモータ支持部31
には、鉛直な回転軸線32まわりに回転駆動される出力
軸33を有するZ軸サーボモータMzが設けられる。こ
のZ軸サーボモータMzは前記天板29のモータ支持部
31から出力軸33を下方に突出させた状態で取り付け
られており、出力軸33の下端部には前記Z軸移動体2
2が、Z軸まわりの回転が阻止された状態で連結され
る。
隔をあけて前記研削用ホルダ14a,14bが設けら
れ、Y軸移動体21にはX軸移動体20が設けられ、Z
軸移動体22には研削手段18が設けられる。前記装置
本体23はまた、工場の床面上に載置されるベッド27
と、このベッド27から上方に立上がる立上がり部28
とを有する。立上がり部28の最上部には天板29がX
軸移動体20に臨む一側面30からモータ支持部31を
部分的に突出させて設けられる。このモータ支持部31
には、鉛直な回転軸線32まわりに回転駆動される出力
軸33を有するZ軸サーボモータMzが設けられる。こ
のZ軸サーボモータMzは前記天板29のモータ支持部
31から出力軸33を下方に突出させた状態で取り付け
られており、出力軸33の下端部には前記Z軸移動体2
2が、Z軸まわりの回転が阻止された状態で連結され
る。
【0017】前記Z軸移動体22は、立上がり部28の
一側面30から垂直に突出する昇降部本体34と、昇降
部本体34の基端部に固定される端板35とを有する。
昇降部本体34は、遊端部に前記研削ロール17と、こ
の研削ロール17の回転軸を回転自在に支持するスピン
ドル軸受36とが設けられ、基端部にZ軸サーボモータ
Mzの出力軸33に同軸に連なるボールねじ軸(図示せ
ず)を軸支する軸受(図示せず)が内蔵される。端壁3
5は、立上がり部28に内蔵されるたとえばリニアスラ
イダと呼ばれる図示しない直線案内手段によって一側面
30に沿ってZ軸方向に案内され、上下に直線移動する
ことができる。
一側面30から垂直に突出する昇降部本体34と、昇降
部本体34の基端部に固定される端板35とを有する。
昇降部本体34は、遊端部に前記研削ロール17と、こ
の研削ロール17の回転軸を回転自在に支持するスピン
ドル軸受36とが設けられ、基端部にZ軸サーボモータ
Mzの出力軸33に同軸に連なるボールねじ軸(図示せ
ず)を軸支する軸受(図示せず)が内蔵される。端壁3
5は、立上がり部28に内蔵されるたとえばリニアスラ
イダと呼ばれる図示しない直線案内手段によって一側面
30に沿ってZ軸方向に案内され、上下に直線移動する
ことができる。
【0018】X軸移動体20は、前記2つの研削用ホル
ダ14a,14bがX軸方向に間隔をあけて乗載されて
固定されるX軸方向に長手の乗載台37と、乗載台37
の下面に一体的に形成される案内レール38と、乗載台
37および案内レール38の長手方向一端部に設けら
れ、案内レール38内を挿通して乗載台37および案内
レール38の長手方向一端部から他端部にわたって延び
るボールねじ軸39を、X軸に平行な回転軸線まわりに
回転駆動するX軸サーボモータMxとを有する。
ダ14a,14bがX軸方向に間隔をあけて乗載されて
固定されるX軸方向に長手の乗載台37と、乗載台37
の下面に一体的に形成される案内レール38と、乗載台
37および案内レール38の長手方向一端部に設けら
れ、案内レール38内を挿通して乗載台37および案内
レール38の長手方向一端部から他端部にわたって延び
るボールねじ軸39を、X軸に平行な回転軸線まわりに
回転駆動するX軸サーボモータMxとを有する。
【0019】Y軸移動体21は、前記X軸移動体20の
案内レール38が嵌まり込むX軸案内溝41を有し、X
軸移動体20をX軸方向に移動可能に支持するととも
に、基台27の上部に設けられる頂壁42が嵌まり込む
Y軸案内溝43が形成される。前記頂壁42のY軸方向
の一側部には、Y軸サーボモータMyが設けられる。こ
のY軸サーボモータMyの出力軸(図示せず)には、同
軸にボールねじ軸40が設けられ、このボールねじ軸4
0はY軸移動体21に固定されるナット部材(図示せ
ず)に螺合して、Y軸移動体21をY軸方向に直線移動
することができる。
案内レール38が嵌まり込むX軸案内溝41を有し、X
軸移動体20をX軸方向に移動可能に支持するととも
に、基台27の上部に設けられる頂壁42が嵌まり込む
Y軸案内溝43が形成される。前記頂壁42のY軸方向
の一側部には、Y軸サーボモータMyが設けられる。こ
のY軸サーボモータMyの出力軸(図示せず)には、同
軸にボールねじ軸40が設けられ、このボールねじ軸4
0はY軸移動体21に固定されるナット部材(図示せ
ず)に螺合して、Y軸移動体21をY軸方向に直線移動
することができる。
【0020】前記研削液噴射手段25は、前記噴射ノズ
ル24と、たとえば常温の水である研削液が貯留される
研削液貯留タンク78と、この研削液貯留タンク78内
の研削液を汲み上げる研削液供給ポンプ79と、研削液
供給ポンプ79を駆動する研削液供給ポンプモータ80
と、研削液供給ポンプ79によって汲み上げられた研削
液を前記噴射ノズル24に導く供給管路81と、供給管
路81に介在される研削液開閉弁82と、研削位置P1
においてX軸移動体20の下方に設けられ、噴射ノズル
24から噴射されて飛散しまたは落下する研削液を回収
するカバー体83と、カバー体83によって回収された
研削液を前記研削液貯留タンク78に導く戻り管路84
とを含む。
ル24と、たとえば常温の水である研削液が貯留される
研削液貯留タンク78と、この研削液貯留タンク78内
の研削液を汲み上げる研削液供給ポンプ79と、研削液
供給ポンプ79を駆動する研削液供給ポンプモータ80
と、研削液供給ポンプ79によって汲み上げられた研削
液を前記噴射ノズル24に導く供給管路81と、供給管
路81に介在される研削液開閉弁82と、研削位置P1
においてX軸移動体20の下方に設けられ、噴射ノズル
24から噴射されて飛散しまたは落下する研削液を回収
するカバー体83と、カバー体83によって回収された
研削液を前記研削液貯留タンク78に導く戻り管路84
とを含む。
【0021】図2は、図1に示される面取り装置11の
研削用ホルダ14、研削ロール17および噴射ノズル2
4を部分的に切欠いて示す斜視図であり、図3は研削用
ホルダ14を図2の切断面線III−IIIから見た拡
大断面図ある。前記研削用ホルダ14は、負圧が導かれ
る単一の第1吸引孔47aおよび第1吸引孔47aに分
岐して連なる複数の第2吸引孔47bからなる吸引孔4
8を有する基台49と、基台49に前記予め定める一定
の間隔Δt1をあけて立設され、各ガラス基板13aの
一表面に周縁部16よりも内側にそれぞれ設けられ、前
記基台49の吸引孔48から負圧が導かれる平坦状の吸
引面50を有する複数(本実施の形態では48)の吸着
板51とを含む。
研削用ホルダ14、研削ロール17および噴射ノズル2
4を部分的に切欠いて示す斜視図であり、図3は研削用
ホルダ14を図2の切断面線III−IIIから見た拡
大断面図ある。前記研削用ホルダ14は、負圧が導かれ
る単一の第1吸引孔47aおよび第1吸引孔47aに分
岐して連なる複数の第2吸引孔47bからなる吸引孔4
8を有する基台49と、基台49に前記予め定める一定
の間隔Δt1をあけて立設され、各ガラス基板13aの
一表面に周縁部16よりも内側にそれぞれ設けられ、前
記基台49の吸引孔48から負圧が導かれる平坦状の吸
引面50を有する複数(本実施の形態では48)の吸着
板51とを含む。
【0022】各吸着板51の前記吸引面50は、本発明
の実施の他の形態として、各吸着板51よりも軟質の材
料であるポリテトラフルオロエチレン(商品名テフロ
ン)によって被覆されてもよい。
の実施の他の形態として、各吸着板51よりも軟質の材
料であるポリテトラフルオロエチレン(商品名テフロ
ン)によって被覆されてもよい。
【0023】各吸着板51の前記吸引面50側には、上
記の各第2吸引孔47bに個別に連通し、図2および図
3における上下方向、すなわちZ軸方向に延びる複数
(本実施の形態では3)列の吸引凹所52がそれぞれ形
成される。各吸着板51ごとに複数の各吸引凹所52
は、各吸着板51の上縁辺近傍から下縁辺近傍にわたっ
て形成され、かつ図3における紙面に垂直な幅方向両側
部および幅方向中央部に分散して形成されるので、各ガ
ラス基板13をほぼ均一な面圧で吸着板51の吸引面5
2に吸着させ、吸着状態における各一方のガラス基板1
3の局部的な吸引による撓みの発生を防止することがで
きるとともに、各ガラス基板13間の平行度を向上する
ことができ、これによって加工精度を向上することがで
きる。
記の各第2吸引孔47bに個別に連通し、図2および図
3における上下方向、すなわちZ軸方向に延びる複数
(本実施の形態では3)列の吸引凹所52がそれぞれ形
成される。各吸着板51ごとに複数の各吸引凹所52
は、各吸着板51の上縁辺近傍から下縁辺近傍にわたっ
て形成され、かつ図3における紙面に垂直な幅方向両側
部および幅方向中央部に分散して形成されるので、各ガ
ラス基板13をほぼ均一な面圧で吸着板51の吸引面5
2に吸着させ、吸着状態における各一方のガラス基板1
3の局部的な吸引による撓みの発生を防止することがで
きるとともに、各ガラス基板13間の平行度を向上する
ことができ、これによって加工精度を向上することがで
きる。
【0024】再び図1をも参照して、前記面取り装置1
1は、各研削用ホルダ14の基台49に個別または同時
に負圧を選択的に与える吸引手段44をさらに含む。こ
の吸引手段44は、吸引ポンプ85と、吸引ポンプ85
を駆動するモータ86と、一方の研削用ホルダ14aの
基台49の第1吸引孔47に吸引ポンプ85からの負圧
を導く第1吸引管路87と、第1吸引管路から分岐し、
他方の研削用ホルダ14bの基台49の第1吸引孔47
に負圧を導く第2吸引管路88と、第1吸引管路87の
前記第2吸引管路87との接続位置89と一方の研削用
ホルダ14aの第1吸引孔47との間に介在される第1
開閉弁90と、第2吸引管路88に介在される第2開閉
弁91とを含む。
1は、各研削用ホルダ14の基台49に個別または同時
に負圧を選択的に与える吸引手段44をさらに含む。こ
の吸引手段44は、吸引ポンプ85と、吸引ポンプ85
を駆動するモータ86と、一方の研削用ホルダ14aの
基台49の第1吸引孔47に吸引ポンプ85からの負圧
を導く第1吸引管路87と、第1吸引管路から分岐し、
他方の研削用ホルダ14bの基台49の第1吸引孔47
に負圧を導く第2吸引管路88と、第1吸引管路87の
前記第2吸引管路87との接続位置89と一方の研削用
ホルダ14aの第1吸引孔47との間に介在される第1
開閉弁90と、第2吸引管路88に介在される第2開閉
弁91とを含む。
【0025】このような吸引手段44によって各研削用
ホルダ14a,14bに与えられる負圧は、−240〜
−640mmH2Oである。このように負圧の大きさを
選ぶことによって、各一方のガラス基板13aに吸引力
による撓みが発生することなく確実に吸着板51に吸着
して保持することができる。
ホルダ14a,14bに与えられる負圧は、−240〜
−640mmH2Oである。このように負圧の大きさを
選ぶことによって、各一方のガラス基板13aに吸引力
による撓みが発生することなく確実に吸着板51に吸着
して保持することができる。
【0026】図4は、研削ロール17の外周部の一部を
拡大して示す断面図である。前記研削ロール17の外周
部17aには、回転軸線15方向に前記予め定める一定
の間隔Δt1に等しい間隔Δt2をあけて略V字状の研
削面56を有する複数(本実施の形態では7)の環状の
研削溝57が形成される。前記間隔Δt2は、たとえば
5.0mm(=Δt1)に選ばれる。各研削面56は、
研削ロール17の回転軸線15に垂直な仮想一平面に関
して半径方向内方になるにつれて相互に近接する方向に
傾斜する一対の円錐台状の第1および第2研削面部分5
6a,56bと、各研削面部分56a,56bに最も半
径方向内方で連なり、前記回転軸線15を含む仮想一平
面で切断した断面形状が略円弧状の第3研削面部分56
cとを有する。第1および第2研削面部分56a,56
bが前記回転軸線15を含む仮想一平面上で成す角度θ
は、20゜〜90゜に選ばれ、本実施の形態ではθ=3
4゜に選ばれる。このような各研削面部分56a,56
bは、角度θを成して前記回転軸線15に垂直な仮想平
面61に関して面対称に形成される。
拡大して示す断面図である。前記研削ロール17の外周
部17aには、回転軸線15方向に前記予め定める一定
の間隔Δt1に等しい間隔Δt2をあけて略V字状の研
削面56を有する複数(本実施の形態では7)の環状の
研削溝57が形成される。前記間隔Δt2は、たとえば
5.0mm(=Δt1)に選ばれる。各研削面56は、
研削ロール17の回転軸線15に垂直な仮想一平面に関
して半径方向内方になるにつれて相互に近接する方向に
傾斜する一対の円錐台状の第1および第2研削面部分5
6a,56bと、各研削面部分56a,56bに最も半
径方向内方で連なり、前記回転軸線15を含む仮想一平
面で切断した断面形状が略円弧状の第3研削面部分56
cとを有する。第1および第2研削面部分56a,56
bが前記回転軸線15を含む仮想一平面上で成す角度θ
は、20゜〜90゜に選ばれ、本実施の形態ではθ=3
4゜に選ばれる。このような各研削面部分56a,56
bは、角度θを成して前記回転軸線15に垂直な仮想平
面61に関して面対称に形成される。
【0027】各ガラス基板13は、幅Bが50〜54m
m、高さHが50〜54mm、厚みTが0.7mmの平
面性の良好なたとえばアルカリガラスから成る。各一方
のガラス基板13aは、上記の図1および図2に示され
るように、研削用ホルダ14に収容されてX軸移動体2
0によって研削開始位置に配置された状態では、各一方
のガラス基板13aの厚み方向中央部を通る各仮想平面
62が、各研削面56の前記回転軸線15に垂直な仮想
平面61に対して、前記回転軸線15に沿うX軸方向の
一方側(図4の右側)にΔL=0.1mmだけずれて配
置される。また各一方のガラス基板13aの周縁部16
の各研削溝57内へ研削ロール17の外周部から半径方
向内方に嵌まり込む深さΔDは、ΔD=約1.0mm選
ばれる。
m、高さHが50〜54mm、厚みTが0.7mmの平
面性の良好なたとえばアルカリガラスから成る。各一方
のガラス基板13aは、上記の図1および図2に示され
るように、研削用ホルダ14に収容されてX軸移動体2
0によって研削開始位置に配置された状態では、各一方
のガラス基板13aの厚み方向中央部を通る各仮想平面
62が、各研削面56の前記回転軸線15に垂直な仮想
平面61に対して、前記回転軸線15に沿うX軸方向の
一方側(図4の右側)にΔL=0.1mmだけずれて配
置される。また各一方のガラス基板13aの周縁部16
の各研削溝57内へ研削ロール17の外周部から半径方
向内方に嵌まり込む深さΔDは、ΔD=約1.0mm選
ばれる。
【0028】このような状態で研削することによって、
各一方のガラス基板13aの周縁部16には、前記一方
側に幅B1=約0.8mmのテーパ面58aが形成さ
れ、他方側に幅B2=約0.2mmのテーパ面58bが
形成される。前記一方側のテーパ面58aが形成される
研削によって、一方のガラス基板13aに図4の仮想線
59で示されるように形成されていた静電気除去用のア
ース配線を除去することができる。
各一方のガラス基板13aの周縁部16には、前記一方
側に幅B1=約0.8mmのテーパ面58aが形成さ
れ、他方側に幅B2=約0.2mmのテーパ面58bが
形成される。前記一方側のテーパ面58aが形成される
研削によって、一方のガラス基板13aに図4の仮想線
59で示されるように形成されていた静電気除去用のア
ース配線を除去することができる。
【0029】図5は、X軸移動体20上で退避位置P2
に配置される研削用ホルダ14bに面取り処理前の液晶
パネル12を装填するための構成を示す装填用ホルダ6
4および押出し装填手段65の斜視図である。前記X軸
移動体20上に設置される2つの研削用ホルダ14a,
14bのうち退避位置P2に配置される研削用ホルダ1
4bに、面取り処理される前の複数の液晶パネル12を
同時に整列して装填するために、装填用ホルダ64が用
いられる。この装填用ホルダ64は、一対の側板66
a,66bと、各側板66a,66b間に平行に配置さ
れる一対の位置決めパネル67a,67bと、各側板6
6a,66b間に配置され、各側板66a,66nを連
結する直円柱状の支持棒68とを有する。各側板66
a,66bはステンレス鋼から成り、各位置決めパネル
67a,67bおよび支持棒68は合成樹脂から成る。
この合成樹脂としては、耐熱性および耐摩耗性を有する
たとえばポリテトラフルオロエチレン(商品名テフロ
ン)が用いられる。
に配置される研削用ホルダ14bに面取り処理前の液晶
パネル12を装填するための構成を示す装填用ホルダ6
4および押出し装填手段65の斜視図である。前記X軸
移動体20上に設置される2つの研削用ホルダ14a,
14bのうち退避位置P2に配置される研削用ホルダ1
4bに、面取り処理される前の複数の液晶パネル12を
同時に整列して装填するために、装填用ホルダ64が用
いられる。この装填用ホルダ64は、一対の側板66
a,66bと、各側板66a,66b間に平行に配置さ
れる一対の位置決めパネル67a,67bと、各側板6
6a,66b間に配置され、各側板66a,66nを連
結する直円柱状の支持棒68とを有する。各側板66
a,66bはステンレス鋼から成り、各位置決めパネル
67a,67bおよび支持棒68は合成樹脂から成る。
この合成樹脂としては、耐熱性および耐摩耗性を有する
たとえばポリテトラフルオロエチレン(商品名テフロ
ン)が用いられる。
【0030】前記支持棒68の長手方向両端部は、各側
板66a,66bの図5における下部のほぼ中央部にボ
ルト69によって固定される。また各位置決めパネル6
7a,67bは、各側板66a,66bの一側部にボル
ト70によって固定される。一方の側板66aの前記下
部には、前記支持棒68の長手方向一端部に螺着される
ボルト69が挿通する第1挿通孔71と、この第1挿通
孔71よりもやや上方でかつ他側部寄りに前記ボルト6
9を挿通することができる第2挿通孔72とが形成され
る。また前記一方の側板66aの一側部には、他側部に
向けて相互に平行に延びる上下一対の長孔73,74が
形成される。各長孔73,74には前記ボルト70がそ
れぞれ挿通されて、前記各位置決めパネル67a,67
bの長手方向一端部に螺着される。
板66a,66bの図5における下部のほぼ中央部にボ
ルト69によって固定される。また各位置決めパネル6
7a,67bは、各側板66a,66bの一側部にボル
ト70によって固定される。一方の側板66aの前記下
部には、前記支持棒68の長手方向一端部に螺着される
ボルト69が挿通する第1挿通孔71と、この第1挿通
孔71よりもやや上方でかつ他側部寄りに前記ボルト6
9を挿通することができる第2挿通孔72とが形成され
る。また前記一方の側板66aの一側部には、他側部に
向けて相互に平行に延びる上下一対の長孔73,74が
形成される。各長孔73,74には前記ボルト70がそ
れぞれ挿通されて、前記各位置決めパネル67a,67
bの長手方向一端部に螺着される。
【0031】このような一方の側板66aに各位置決め
パネル67a,67bの長手方向一端部および支持棒6
8の長手方向一端部を連結する構成と同様に、各位置決
めパネル67a,67bの長手方向他端部および支持棒
68の長手方向他端部も他方の側板66bに連結されて
いる。
パネル67a,67bの長手方向一端部および支持棒6
8の長手方向一端部を連結する構成と同様に、各位置決
めパネル67a,67bの長手方向他端部および支持棒
68の長手方向他端部も他方の側板66bに連結されて
いる。
【0032】前記各位置決めパネル67a,67bの両
面には、各ガラス基板13の一側部が嵌まり込む複数の
凹溝74a,74bが前記予め定める一定の間隔Δt1
に等しい間隔Δt3をあけてそれぞれ形成される。各凹
溝74a,74bの各位置決めパネル67a,67bの
長手方向に沿う各幅ΔWは各ガラス基板13の厚みT
(図4参照)にほぼ等しく選ばれる。
面には、各ガラス基板13の一側部が嵌まり込む複数の
凹溝74a,74bが前記予め定める一定の間隔Δt1
に等しい間隔Δt3をあけてそれぞれ形成される。各凹
溝74a,74bの各位置決めパネル67a,67bの
長手方向に沿う各幅ΔWは各ガラス基板13の厚みT
(図4参照)にほぼ等しく選ばれる。
【0033】このように各側板66a,66bは、各位
置決めパネル67a,67bおよび支持棒68に対して
着脱可能であるので、板状体であるガラス基板の厚みが
異なる場合には、前記幅ΔWの異なる凹溝74a,74
bが形成される他の位置決めパネルと容易に交換するこ
とができる。また一方の位置決めパネル67aは、螺合
する各ボルト70を緩めた状態で各長孔73に沿って移
動させることができ、かつ第2の長孔72が形成される
ので、各一方のガラス基板13のサイズに応じて一方の
位置決めパネル67aを移動させるとともに、前記支持
棒68を第2挿通孔72を用いて取り付け、収容された
各ガラス基板13の各側板66a,66bからの突出量
および支持位置を調整することができる。しかも各位置
決めパネル67a,67bおよび支持棒68は合成樹脂
から成るので、各ガラス基板13が成膜後の収容時に接
触しても損傷することが防がれるとともに、高温となっ
たガラス基板によって位置決めパネル67および支持棒
68が変形および変質することが防がれる。
置決めパネル67a,67bおよび支持棒68に対して
着脱可能であるので、板状体であるガラス基板の厚みが
異なる場合には、前記幅ΔWの異なる凹溝74a,74
bが形成される他の位置決めパネルと容易に交換するこ
とができる。また一方の位置決めパネル67aは、螺合
する各ボルト70を緩めた状態で各長孔73に沿って移
動させることができ、かつ第2の長孔72が形成される
ので、各一方のガラス基板13のサイズに応じて一方の
位置決めパネル67aを移動させるとともに、前記支持
棒68を第2挿通孔72を用いて取り付け、収容された
各ガラス基板13の各側板66a,66bからの突出量
および支持位置を調整することができる。しかも各位置
決めパネル67a,67bおよび支持棒68は合成樹脂
から成るので、各ガラス基板13が成膜後の収容時に接
触しても損傷することが防がれるとともに、高温となっ
たガラス基板によって位置決めパネル67および支持棒
68が変形および変質することが防がれる。
【0034】前記押出し装填手段65は、複動空気圧シ
リンダ75と、この複動空気圧シリンダ75のピストン
棒76に直角に固定される押圧部材77とを含む。押圧
部材77は、前記装填用ホルダ64の各側板66a,6
6b間の間隔よりも僅かに小さい長さを有し、各ガラス
基板13が収容された装填用ホルダ64を前記位置決め
パネル67が下方に配置され、かつ支持棒68が一側方
に配置されるように、すなわち図5において反時計まわ
りに90゜角変位させ、各液晶パネル12が各位置決め
パネル67a,67bによって保持されるように、装填
用ホルダ64を方向変換する。この状態で、複動空気圧
シリンダ75のピストン棒76を伸長させて、支持棒6
8と一方の位置決めパネル67aとの間から外部に臨む
各ガラス基板13の外周面を押圧し、各液晶パネル12
を装填用ホルダ64から退避位置P2に配置される研削
用ホルダ14bに整列させたままで平行移動させ、装填
することができる。
リンダ75と、この複動空気圧シリンダ75のピストン
棒76に直角に固定される押圧部材77とを含む。押圧
部材77は、前記装填用ホルダ64の各側板66a,6
6b間の間隔よりも僅かに小さい長さを有し、各ガラス
基板13が収容された装填用ホルダ64を前記位置決め
パネル67が下方に配置され、かつ支持棒68が一側方
に配置されるように、すなわち図5において反時計まわ
りに90゜角変位させ、各液晶パネル12が各位置決め
パネル67a,67bによって保持されるように、装填
用ホルダ64を方向変換する。この状態で、複動空気圧
シリンダ75のピストン棒76を伸長させて、支持棒6
8と一方の位置決めパネル67aとの間から外部に臨む
各ガラス基板13の外周面を押圧し、各液晶パネル12
を装填用ホルダ64から退避位置P2に配置される研削
用ホルダ14bに整列させたままで平行移動させ、装填
することができる。
【0035】上記の押出し装填手段65は、図1の仮想
線で示されるように、退避位置P2に配置される研削用
ホルダ14bの装填方向A上流側に水平方向に対向する
位置に予め位置決めして配置されている。
線で示されるように、退避位置P2に配置される研削用
ホルダ14bの装填方向A上流側に水平方向に対向する
位置に予め位置決めして配置されている。
【0036】図6は、面取り装置11の制御手段94の
電気的構成を簡略化して示すブロック図である。制御手
段94は、複数の入力用操作キーを備えるキーボードお
よび各種の操作入力スイッチなどによって実現される入
力手段95と、入力手段95から入力した入力情報に基
づいて、研削ロール駆動モータ26、研削液供給ポンプ
駆動モータ80、吸引ポンプ駆動モータ86、研削液管
路開閉弁82、第1吸引管路開閉弁90、第2吸引管路
開閉弁91、X軸サーボモータMx、Y軸サーボモータ
My、およびZ軸サーボモータMzの各動作を制御する
制御回路96とを含む。このような入力手段95および
制御回路96を含む制御手段94は、たとえばNC制御
装置として実現されてもよい。
電気的構成を簡略化して示すブロック図である。制御手
段94は、複数の入力用操作キーを備えるキーボードお
よび各種の操作入力スイッチなどによって実現される入
力手段95と、入力手段95から入力した入力情報に基
づいて、研削ロール駆動モータ26、研削液供給ポンプ
駆動モータ80、吸引ポンプ駆動モータ86、研削液管
路開閉弁82、第1吸引管路開閉弁90、第2吸引管路
開閉弁91、X軸サーボモータMx、Y軸サーボモータ
My、およびZ軸サーボモータMzの各動作を制御する
制御回路96とを含む。このような入力手段95および
制御回路96を含む制御手段94は、たとえばNC制御
装置として実現されてもよい。
【0037】前記制御回路96には、入力手段95から
の入力情報だけでなく、X軸、Y軸Z軸の各サーボモー
タMx,My,Mzにそれぞれ内蔵される位置検出器9
7x,97y,97zからの位置検出信号が入力され
る。これらの位置検出器97x,97y,97zは、ロ
ータリエンコーダによって実現され、各サーボモータM
x,My,Mzの出力軸の回転量に応じたパルス波形の
信号を前記位置検出信号として出力する。
の入力情報だけでなく、X軸、Y軸Z軸の各サーボモー
タMx,My,Mzにそれぞれ内蔵される位置検出器9
7x,97y,97zからの位置検出信号が入力され
る。これらの位置検出器97x,97y,97zは、ロ
ータリエンコーダによって実現され、各サーボモータM
x,My,Mzの出力軸の回転量に応じたパルス波形の
信号を前記位置検出信号として出力する。
【0038】図7は、面取り装置11の動作を説明する
ためのフローチャートであり、図8は研削ロール17が
研削開始位置に配置された状態を示す正面図であり、図
9は研削ロール17の一工程における一連の移動経路c
1〜c21を示す斜視図である。まず、ステップs1
で、各研削用ホルダ14a,14bには図1に示される
ように、各一方のガラス基板13aがそれぞれ整列して
収容され、前記制御回路96が入力手段95から研削開
始信号を入力すると、ステップs2で制御手段96は、
研削ロール駆動モータ26、研削液供給ポンプ駆動モー
タ80、および吸引ポンプ駆動モータ86に駆動信号を
それぞれ出力して動作を開始させる。
ためのフローチャートであり、図8は研削ロール17が
研削開始位置に配置された状態を示す正面図であり、図
9は研削ロール17の一工程における一連の移動経路c
1〜c21を示す斜視図である。まず、ステップs1
で、各研削用ホルダ14a,14bには図1に示される
ように、各一方のガラス基板13aがそれぞれ整列して
収容され、前記制御回路96が入力手段95から研削開
始信号を入力すると、ステップs2で制御手段96は、
研削ロール駆動モータ26、研削液供給ポンプ駆動モー
タ80、および吸引ポンプ駆動モータ86に駆動信号を
それぞれ出力して動作を開始させる。
【0039】これによって研削ロール17は、1400
〜5000m/分の周速度で回転方向Bに回転駆動され
る。この回転方向Bは、各一方のガラス基板13aの被
研削部における研削面の移動方向が、図9の参照符c
2,c3,c9,c10,c15,c16で示されるよ
うに、研削ロール17の移動方向下流側に向けて移動す
るように選ばれる。また研削液供給ポンプ駆動モータ8
0によって研削液供給ポンプが汲み上げ動作を開始し、
噴射ノズル24から被研削部に向けて研削液が噴射され
る。
〜5000m/分の周速度で回転方向Bに回転駆動され
る。この回転方向Bは、各一方のガラス基板13aの被
研削部における研削面の移動方向が、図9の参照符c
2,c3,c9,c10,c15,c16で示されるよ
うに、研削ロール17の移動方向下流側に向けて移動す
るように選ばれる。また研削液供給ポンプ駆動モータ8
0によって研削液供給ポンプが汲み上げ動作を開始し、
噴射ノズル24から被研削部に向けて研削液が噴射され
る。
【0040】こうして研削可能な状態になった後、制御
回路96は各位置検出器97x,97y,97zからの
位置検出信号に応答して、X軸サーボモータMx、Y軸
サーボモータMy、およびZ軸サーボモータMzをオン
/オフ制御し、図9の参照符c1〜c20で示されるよ
うに、X軸、Y軸およびZ軸の各移動体20,21,2
2を移動させて研削開始位置P0に復帰させる。
回路96は各位置検出器97x,97y,97zからの
位置検出信号に応答して、X軸サーボモータMx、Y軸
サーボモータMy、およびZ軸サーボモータMzをオン
/オフ制御し、図9の参照符c1〜c20で示されるよ
うに、X軸、Y軸およびZ軸の各移動体20,21,2
2を移動させて研削開始位置P0に復帰させる。
【0041】次に、ステップs3で、制御回路96は各
移動体20,21,22が研削開始位置P0に復帰した
ことを各位置検出器97x,97y,97zからの位置
検出信号に基づいて判断すると、X軸移動体20を移動
させて退避位置P2に配置されていた第2研削用ホルダ
14bを研削位置P1に配置し、第1吸引管路開閉弁9
0を閉じるとともに第2吸引管路開閉弁91を開き、上
記の第1研削用ホルダ14aと同様に、参照符c1〜c
21のように研削ロール17および第2研削用ホルダ1
4bを移動させ、再び研削開始位置P0に復帰する。こ
のような研削動作を前記入力手段95によって予め設定
された所要回数だけ繰り返して、ステップs4で研削作
業を終了する。
移動体20,21,22が研削開始位置P0に復帰した
ことを各位置検出器97x,97y,97zからの位置
検出信号に基づいて判断すると、X軸移動体20を移動
させて退避位置P2に配置されていた第2研削用ホルダ
14bを研削位置P1に配置し、第1吸引管路開閉弁9
0を閉じるとともに第2吸引管路開閉弁91を開き、上
記の第1研削用ホルダ14aと同様に、参照符c1〜c
21のように研削ロール17および第2研削用ホルダ1
4bを移動させ、再び研削開始位置P0に復帰する。こ
のような研削動作を前記入力手段95によって予め設定
された所要回数だけ繰り返して、ステップs4で研削作
業を終了する。
【0042】このような制御手段94による面取り装置
11の研削動作は、周知の数値制御(NC制御ともい
う)で用いられるプログラムシートによる設定値を前記
入力手段95によって読取って各表示パネル12、特に
一方のガラス基板13aの寸法形状および枚数に対応し
て設定されたプログラムに基づいて制御することが可能
であり、同時に複数枚の板状体である一方のガラス基板
13aを研削することができ、高い作業効率で面取り処
理することができる。
11の研削動作は、周知の数値制御(NC制御ともい
う)で用いられるプログラムシートによる設定値を前記
入力手段95によって読取って各表示パネル12、特に
一方のガラス基板13aの寸法形状および枚数に対応し
て設定されたプログラムに基づいて制御することが可能
であり、同時に複数枚の板状体である一方のガラス基板
13aを研削することができ、高い作業効率で面取り処
理することができる。
【0043】また前記装置本体23のX軸移動体20に
は、複数の保持手段である研削用ホルダ14a,14b
が設けられるので、一方の研削用ホルダ14aに保持さ
れる各一方のガラス基板13aを研削中に、残余の研削
用ホルダ14bに複数のガラス基板を上記のように押出
し装填手段65を用いて、各一方のガラス基板13aの
厚み方向に予め定める間隔Δt1をあけて整列して収容
しておき、前記一方の研削用ホルダ14aに保持される
複数のガラス基板13aの面取り処理が終了したとき、
その第1研削用ホルダ14aを所定の退避位置に退避さ
せるとともに、第2研削用ホルダ14bを前記研削位置
P1に配置して研削動作を開始することができるので、
各研削用ホルダ14a,14bの交換時間を短縮して、
装置の稼働効率を向上することができる。
は、複数の保持手段である研削用ホルダ14a,14b
が設けられるので、一方の研削用ホルダ14aに保持さ
れる各一方のガラス基板13aを研削中に、残余の研削
用ホルダ14bに複数のガラス基板を上記のように押出
し装填手段65を用いて、各一方のガラス基板13aの
厚み方向に予め定める間隔Δt1をあけて整列して収容
しておき、前記一方の研削用ホルダ14aに保持される
複数のガラス基板13aの面取り処理が終了したとき、
その第1研削用ホルダ14aを所定の退避位置に退避さ
せるとともに、第2研削用ホルダ14bを前記研削位置
P1に配置して研削動作を開始することができるので、
各研削用ホルダ14a,14bの交換時間を短縮して、
装置の稼働効率を向上することができる。
【0044】さらに各一方のガラス基板13aは、複数
の吸着板51の吸引面50にそれぞれ吸着された状態で
保持されるので、ガラス基板13aの厚みに拘わらず各
ガラス基板13aを前記予め定める一定の間隔Δt1で
位置決めして保持することができる。しかも吸引手段4
4から各吸着板51の吸引面50に導かれる負圧は、各
ガラス基板13aが各吸着板51に吸着された状態で撓
みを生じない程度に、たとえば圧力調整弁によって容易
に調整することができ、これによって高精度で面取り研
磨処理を行うことができるとともに、各ガラス基板13
aの厚みを変更したい場合であっても、ガラス基板13
aの厚みによって研削用ホルダ14a,14bの構成を
変更する必要がなく、厚みの異なるガラス基板に対して
広範囲に本発明を実施することができる。
の吸着板51の吸引面50にそれぞれ吸着された状態で
保持されるので、ガラス基板13aの厚みに拘わらず各
ガラス基板13aを前記予め定める一定の間隔Δt1で
位置決めして保持することができる。しかも吸引手段4
4から各吸着板51の吸引面50に導かれる負圧は、各
ガラス基板13aが各吸着板51に吸着された状態で撓
みを生じない程度に、たとえば圧力調整弁によって容易
に調整することができ、これによって高精度で面取り研
磨処理を行うことができるとともに、各ガラス基板13
aの厚みを変更したい場合であっても、ガラス基板13
aの厚みによって研削用ホルダ14a,14bの構成を
変更する必要がなく、厚みの異なるガラス基板に対して
広範囲に本発明を実施することができる。
【0045】さらにまた前記研削ロール17の外周部に
は複数の研削溝57が形成され、各研削溝57は略V字
状の研削面部分56a,56bを有するので、各一方の
ガラス基板13aの周縁部16が各研削溝57に嵌まり
込んだ状態で、その周縁部16の前記研削ロール17の
半径方向内方に臨む端面と、この端面に対向する最も半
径方向内方の谷部に相当する第3研削面部分56cとの
間に、研削ロール17の周方向に貫通した空隙を形成す
ることができるので、研削時に噴射ノズル24から噴射
される研削液を噴射方向上流側から下流側に通過させる
ことができ、これによって一方のガラス基板13aの被
研削部に常に円滑に噴射ノズル24から噴射される研削
液を供給して、研削粉を確実に除去するとともに、被研
削部における研削液の滞留を防止して被研削部を確実に
冷却することができる。
は複数の研削溝57が形成され、各研削溝57は略V字
状の研削面部分56a,56bを有するので、各一方の
ガラス基板13aの周縁部16が各研削溝57に嵌まり
込んだ状態で、その周縁部16の前記研削ロール17の
半径方向内方に臨む端面と、この端面に対向する最も半
径方向内方の谷部に相当する第3研削面部分56cとの
間に、研削ロール17の周方向に貫通した空隙を形成す
ることができるので、研削時に噴射ノズル24から噴射
される研削液を噴射方向上流側から下流側に通過させる
ことができ、これによって一方のガラス基板13aの被
研削部に常に円滑に噴射ノズル24から噴射される研削
液を供給して、研削粉を確実に除去するとともに、被研
削部における研削液の滞留を防止して被研削部を確実に
冷却することができる。
【0046】図10は、本発明の実施の他の形態の面取
り装置11aを示す簡略化した斜視図である。本実施の
形態では、複数の液晶パネル12の一方のガラス基板1
3aを、各ガラス基板13aの厚み方向に予め定める一
定の間隔Δt1をあけた状態で整列して保持する複数
(本実施の形態では4)の保持手段である研削用ホルダ
114a〜114dと、各研削用ホルダ114a〜11
4dによって保持された各一方のガラス基板13aの厚
み方向に平行な回転軸線まわりに矢符B方向に回転駆動
され、各ガラス基板13aの各周縁部16を同時に研削
して面取りする一対の研削ロール117a,117bを
備える研削手段118と、相互に直交するX軸、Y軸お
よびZ軸に変位駆動されるとともに、Z軸まわりに90
゜ごとに回動する移動体である回転テーブル101を備
える装置本体102と、前記各一方のガラス基板13a
の被研削部に向けて研削液を噴射する各一対の噴射ノズ
ル103a,103b;103c,103dを有する研
削液噴射手段104とを含む。
り装置11aを示す簡略化した斜視図である。本実施の
形態では、複数の液晶パネル12の一方のガラス基板1
3aを、各ガラス基板13aの厚み方向に予め定める一
定の間隔Δt1をあけた状態で整列して保持する複数
(本実施の形態では4)の保持手段である研削用ホルダ
114a〜114dと、各研削用ホルダ114a〜11
4dによって保持された各一方のガラス基板13aの厚
み方向に平行な回転軸線まわりに矢符B方向に回転駆動
され、各ガラス基板13aの各周縁部16を同時に研削
して面取りする一対の研削ロール117a,117bを
備える研削手段118と、相互に直交するX軸、Y軸お
よびZ軸に変位駆動されるとともに、Z軸まわりに90
゜ごとに回動する移動体である回転テーブル101を備
える装置本体102と、前記各一方のガラス基板13a
の被研削部に向けて研削液を噴射する各一対の噴射ノズ
ル103a,103b;103c,103dを有する研
削液噴射手段104とを含む。
【0047】このような構成によってもまた、前述の実
施の形態と同様な効果を達成し得るとともに、連続して
多数のガラス基板を研削することができ、研削処理の作
業効率を格段に向上することができる。
施の形態と同様な効果を達成し得るとともに、連続して
多数のガラス基板を研削することができ、研削処理の作
業効率を格段に向上することができる。
【0048】本発明の実施のさらに他の形態として、図
10に示される面取り装置11aを複数、隣接して配置
し、一人の作業者によって研削用ホルダの交換作業を行
うようにしてもよい。
10に示される面取り装置11aを複数、隣接して配置
し、一人の作業者によって研削用ホルダの交換作業を行
うようにしてもよい。
【0049】本発明の実施のさらに他の形態として、前
記研削液は、上記の水と空気との混合流体が用いられて
もよい。
記研削液は、上記の水と空気との混合流体が用いられて
もよい。
【0050】本発明の実施のさらに他の形態として、板
状体は上記の液晶表示パネルの一方のガラス基板に限る
ものではなく、その他の板状体、たとえば液晶カラーフ
ィルタまたは偏光板などであってもよい。
状体は上記の液晶表示パネルの一方のガラス基板に限る
ものではなく、その他の板状体、たとえば液晶カラーフ
ィルタまたは偏光板などであってもよい。
【0051】
【発明の効果】請求項1記載の本発明によれば、装置本
体は、相互に直交するX軸、Y軸およびZ軸方向に変位
駆動される移動体を備える。複数の板状体は、保持手段
によって各板状体の厚み方向に予め定める一定の間隔を
あけた状態で整列して保持され、この保持手段は上記の
移動体に設けられる。研削動作を開始するにあたって
は、移動体を、たとえば周知の数値制御(NC制御とも
いう)装置にプログラムシートによって予め設定された
プログラムに基づいて、X軸方向、Y軸方向、およびZ
軸方向にそれぞれ移動させ、前記保持手段に保持された
各板状体の研削開始位置に研削ロールを配置し、研削ロ
ールを各板状体の厚み方向に平行な回転軸線まわりに回
転駆動させるとともに、研削液噴射手段によって噴射ノ
ズルから研削位置に向けて研削液、たとえば常温の水を
噴射させて、研削によって発生した研削粉を除去し、か
つ各板状体の被研削部およびその付近を冷却しながら前
記プログラムによって設定された研削位置および範囲に
わたって、同時に複数枚の板状体を研削することがで
き、高い処理効率で面取り処理することができる。
体は、相互に直交するX軸、Y軸およびZ軸方向に変位
駆動される移動体を備える。複数の板状体は、保持手段
によって各板状体の厚み方向に予め定める一定の間隔を
あけた状態で整列して保持され、この保持手段は上記の
移動体に設けられる。研削動作を開始するにあたって
は、移動体を、たとえば周知の数値制御(NC制御とも
いう)装置にプログラムシートによって予め設定された
プログラムに基づいて、X軸方向、Y軸方向、およびZ
軸方向にそれぞれ移動させ、前記保持手段に保持された
各板状体の研削開始位置に研削ロールを配置し、研削ロ
ールを各板状体の厚み方向に平行な回転軸線まわりに回
転駆動させるとともに、研削液噴射手段によって噴射ノ
ズルから研削位置に向けて研削液、たとえば常温の水を
噴射させて、研削によって発生した研削粉を除去し、か
つ各板状体の被研削部およびその付近を冷却しながら前
記プログラムによって設定された研削位置および範囲に
わたって、同時に複数枚の板状体を研削することがで
き、高い処理効率で面取り処理することができる。
【0052】請求項2記載の本発明によれば、前記装置
本体の移動体には、複数の保持手段が設けられるので、
前記複数の保持手段のうちいずれか一つの保持手段に保
持される各板状体を研削中に、残余の保持手段に複数の
板状体を上記のように各板状体の厚み方向に予め定める
間隔をあけて整列して収容しておき、前記一つの保持手
段に保持される複数の板状体の面取り処理が終了したと
き、その保持手段を所定の退避位置に退避させるととも
に、残余の保持手段を前記研削開始位置に配置して研削
動作を開始することができる。このようにして研削後の
板状体が収容された保持手段と研削前の板状体が収容さ
れた保持手段との交換時間を短縮して、装置の稼働効率
を向上することができる。
本体の移動体には、複数の保持手段が設けられるので、
前記複数の保持手段のうちいずれか一つの保持手段に保
持される各板状体を研削中に、残余の保持手段に複数の
板状体を上記のように各板状体の厚み方向に予め定める
間隔をあけて整列して収容しておき、前記一つの保持手
段に保持される複数の板状体の面取り処理が終了したと
き、その保持手段を所定の退避位置に退避させるととも
に、残余の保持手段を前記研削開始位置に配置して研削
動作を開始することができる。このようにして研削後の
板状体が収容された保持手段と研削前の板状体が収容さ
れた保持手段との交換時間を短縮して、装置の稼働効率
を向上することができる。
【0053】請求項3記載の本発明によれば、各板状体
は、吸引手段から負圧が導かれる複数の吸着板の吸引面
にそれぞれ吸着された状態で保持されるので、板状体の
厚みに拘わらず各板状体を前記予め定める一定の間隔で
位置決めして保持することができる。このように吸引手
段から各吸着板の吸引面に導かれる負圧は、各板状体が
各吸着板に吸着された状態で撓みを生じない程度に容易
に調整することができ、これによって高精度で面取り研
磨処理を行うことができる。また各板状体の厚みを変更
したい場合であっても、各板状体を撓みを生じない適度
の吸引力で吸着板に吸着させて保持することができるの
で、板状体の厚みによって保持手段の構成を変更する必
要がなく、厚みの異なる板状体に対して広範囲に本発明
を実施することができる。
は、吸引手段から負圧が導かれる複数の吸着板の吸引面
にそれぞれ吸着された状態で保持されるので、板状体の
厚みに拘わらず各板状体を前記予め定める一定の間隔で
位置決めして保持することができる。このように吸引手
段から各吸着板の吸引面に導かれる負圧は、各板状体が
各吸着板に吸着された状態で撓みを生じない程度に容易
に調整することができ、これによって高精度で面取り研
磨処理を行うことができる。また各板状体の厚みを変更
したい場合であっても、各板状体を撓みを生じない適度
の吸引力で吸着板に吸着させて保持することができるの
で、板状体の厚みによって保持手段の構成を変更する必
要がなく、厚みの異なる板状体に対して広範囲に本発明
を実施することができる。
【0054】請求項4記載の本発明によれば、前記研削
ロールの外周部には複数の研削溝がけ形成され、各研削
溝は略V字状の研削面を有するので、各板状体の周縁部
が各研削溝に嵌まり込んだ状態で、その周縁部の前記研
削ロールの半径方向内方に臨む端面と、研削面の前記端
面に対向する最も半径方向内方の谷部に相当する略V字
状研削面部分との間に研削ロールの周方向に貫通した空
隙を形成することができる。このような空隙によって、
研削時に噴射ノズルから噴射される研削液を噴射方向上
流側から下流側に通過させることができ、これによって
板状体の被研削部に常に円滑に噴射ノズルから噴射され
る研削液を供給して、研削粉を確実に除去するととも
に、被研削部における研削液の滞留を防止して被研削部
を確実に冷却することができる。
ロールの外周部には複数の研削溝がけ形成され、各研削
溝は略V字状の研削面を有するので、各板状体の周縁部
が各研削溝に嵌まり込んだ状態で、その周縁部の前記研
削ロールの半径方向内方に臨む端面と、研削面の前記端
面に対向する最も半径方向内方の谷部に相当する略V字
状研削面部分との間に研削ロールの周方向に貫通した空
隙を形成することができる。このような空隙によって、
研削時に噴射ノズルから噴射される研削液を噴射方向上
流側から下流側に通過させることができ、これによって
板状体の被研削部に常に円滑に噴射ノズルから噴射され
る研削液を供給して、研削粉を確実に除去するととも
に、被研削部における研削液の滞留を防止して被研削部
を確実に冷却することができる。
【図1】本発明の実施の一形態の面取り装置11の全体
の構成を示す系統図である。
の構成を示す系統図である。
【図2】図1に示される面取り装置11の研削用ホルダ
14、研削ロール17および噴射ノズル24を部分的に
切欠いて示す斜視図である。
14、研削ロール17および噴射ノズル24を部分的に
切欠いて示す斜視図である。
【図3】研削用ホルダ14を図2の切断面線III−I
IIから見た拡大断面図ある。
IIから見た拡大断面図ある。
【図4】研削ロール17の外周部の一部を拡大して示す
断面図である。
断面図である。
【図5】X軸移動体20上で退避位置P2に配置される
研削用ホルダ14bに面取り処理前のガラス基板13を
装填するための構成を示す装填用ホルダ64および押出
し装填手段65の斜視図である。
研削用ホルダ14bに面取り処理前のガラス基板13を
装填するための構成を示す装填用ホルダ64および押出
し装填手段65の斜視図である。
【図6】面取り装置11の制御手段94の電気的構成を
簡略化して示すブロック図である。
簡略化して示すブロック図である。
【図7】面取り装置11の動作を説明するためのフロー
チャートであ
チャートであ
【図8】研削ロール17が研削開始位置に配置された状
態を示す正面図であ
態を示す正面図であ
【図9】研削ロール17の一工程における一連の移動経
路c1〜c20を示す斜視図である。
路c1〜c20を示す斜視図である。
【図10】本発明の実施の他の形態の面取り装置11a
を示す簡略化した斜視図である。
を示す簡略化した斜視図である。
【図11】従来の技術を説明するための周縁部が面取り
加工される液晶パネル1の斜視図である。
加工される液晶パネル1の斜視図である。
【図12】一方のガラス基板3の各側縁部5a,5bが
アース配線4が形成される部分を含む範囲にわたって研
削砥石車によって研削された状態を示す一部の拡大断面
図である。
アース配線4が形成される部分を含む範囲にわたって研
削砥石車によって研削された状態を示す一部の拡大断面
図である。
11 面取り装置 12 液晶パネル 13 一方のガラス基板 14a,14b 研削用ホルダ 16 周縁部 17 研削ロール 18 研削手段 20,21,22 移動体 24 噴射ノズル 25 研削液噴射手段 44 吸引手段 50 吸引面 51 吸着板 56 研削面 64 装着用ホルダ 65 押出し装填手段 67 位置決めパネル 85 吸引ポンプ 94 制御手段
Claims (4)
- 【請求項1】 複数の板状体を、各板状体の厚み方向に
予め定める一定の間隔をあけた状態で整列して保持する
保持手段と、 保持手段によって保持された各板状体の厚み方向に平行
な回転軸線まわりに回転駆動され、前記複数の板状体の
各周縁部を同時に研削して面取りする研削ロールを備え
る研削手段と、 相互に直交するX軸、Y軸およびZ軸方向に変位駆動さ
れ、保持手段が設けられる移動体を有する装置本体と、 前記各板状体の研削位置に向けて研削液を噴射する噴射
ノズルを有する研削液噴射手段とを含むことを特徴とす
る面取り装置。 - 【請求項2】 前記装置本体の移動体には、複数の保持
手段が設けられることを特徴とする請求項1記載の面取
り装置。 - 【請求項3】 前記保持手段は、負圧が導かれる吸引孔
を有する基台と、 基台に前記予め定める一定の間隔をあけて立設され、各
板状体の一表面に周縁部よりも内側にそれぞれ設けら
れ、前記基台の吸引孔から吸引力が導かれる平坦状の吸
引面を有する複数の吸着板とを含み、 前記基台の吸引孔に負圧を導く吸引手段を備えることを
特徴とする請求項1または2記載の面取り装置。 - 【請求項4】 前記研削ロールの外周部には、前記予め
定める一定の間隔に等しい間隔をあけて略V字状の研削
面を有する複数の環状の研削溝が形成されることを特徴
とする請求項1〜3のいずれかに記載の面取り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30018198A JP3502551B2 (ja) | 1998-10-21 | 1998-10-21 | 液晶パネルの面取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30018198A JP3502551B2 (ja) | 1998-10-21 | 1998-10-21 | 液晶パネルの面取り装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000127013A true JP2000127013A (ja) | 2000-05-09 |
JP3502551B2 JP3502551B2 (ja) | 2004-03-02 |
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ID=17881723
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---|---|---|---|
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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