JP2003259238A - 電荷検出回路およびｌｓｉ - Google Patents
電荷検出回路およびｌｓｉInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 画像センサに用いられる電荷検出回路におい
て、実際に電磁波を照射することなしに、入出力特性を
測定できる電荷検出回路を提供する。 【解決手段】 電荷検出回路１ａは、通常モードおよび
試験モードを切り替える試験回路２ａと、通常モード時
には、試験回路２ａにより、入射電磁波に応じて変化す
る電圧を検出し、これを電荷として出力すると共に、試
験モード時には、上記入射電磁波に応じて変化する電荷
の代わりに、電荷検出回路１内における電源Ｖccに対応
する電荷を検出し、これを電圧として出力する電荷検出
増幅器３ａとを備えている。
て、実際に電磁波を照射することなしに、入出力特性を
測定できる電荷検出回路を提供する。 【解決手段】 電荷検出回路１ａは、通常モードおよび
試験モードを切り替える試験回路２ａと、通常モード時
には、試験回路２ａにより、入射電磁波に応じて変化す
る電圧を検出し、これを電荷として出力すると共に、試
験モード時には、上記入射電磁波に応じて変化する電荷
の代わりに、電荷検出回路１内における電源Ｖccに対応
する電荷を検出し、これを電圧として出力する電荷検出
増幅器３ａとを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、入射する電磁波を
電荷に変換し、これを順次読み出し画像データを出力す
る画像検出器に内蔵される電荷検出回路に関する。
電荷に変換し、これを順次読み出し画像データを出力す
る画像検出器に内蔵される電荷検出回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、放射線の二次元画像検出器と
して、Ｘ線を感知して電荷（電子−正孔）を発生する半
導体センサを二次元状に配置し、これらのセンサにそれ
ぞれ電気スイッチを設けて、各行毎に電気スイッチを順
次オンにして各列毎にセンサの電荷を読み出す画像セン
サが知られている。
して、Ｘ線を感知して電荷（電子−正孔）を発生する半
導体センサを二次元状に配置し、これらのセンサにそれ
ぞれ電気スイッチを設けて、各行毎に電気スイッチを順
次オンにして各列毎にセンサの電荷を読み出す画像セン
サが知られている。
【０００３】上記画像センサの構成を図１に基づいて説
明する。この画像センサ４８は、一般的な２次元行列構
造の画像検出器であり、硝子基板５０の上に、光電変換
層５４およびバイアス電極５２が形成されている構成で
ある。
明する。この画像センサ４８は、一般的な２次元行列構
造の画像検出器であり、硝子基板５０の上に、光電変換
層５４およびバイアス電極５２が形成されている構成で
ある。
【０００４】光電変換層５４は、例えば非晶質セレン
（以下ａ−Ｓｅとする）などで形成されている。さら
に、バイアス電極５２は、Ｘ線（電磁波）を透過する金
属膜、例えば金の薄膜で形成されている。硝子基板５０
の光電変換層５４側の面には、行列状に配置された画素
２２…、行方向と平行に延びる走査線（行）１０…、お
よび列方向と平行に延びるデータ線（列）１２…が形成
されている。各画素２２は、画素電極５６、蓄積容量１
７、スイッチ素子１８から構成される。そして、各走査
線１０は走査駆動器（ゲートドライバー）１４に接続さ
れており、データ線１２は読み取り回路１６に接続され
ている。
（以下ａ−Ｓｅとする）などで形成されている。さら
に、バイアス電極５２は、Ｘ線（電磁波）を透過する金
属膜、例えば金の薄膜で形成されている。硝子基板５０
の光電変換層５４側の面には、行列状に配置された画素
２２…、行方向と平行に延びる走査線（行）１０…、お
よび列方向と平行に延びるデータ線（列）１２…が形成
されている。各画素２２は、画素電極５６、蓄積容量１
７、スイッチ素子１８から構成される。そして、各走査
線１０は走査駆動器（ゲートドライバー）１４に接続さ
れており、データ線１２は読み取り回路１６に接続され
ている。
【０００５】画素電極５６はスイッチ素子１８を介して
データ線１２に接続されている。さらに、スイッチ素子
１８のスイッチング動作は走査駆動器１４から走査線１
０を介して、電圧が供給されることにより行われる。従
って、スイッチ素子１８が、一般的に用いられるＴＦＴ
（Thin Film Transistor；薄膜トランジスタ）の場合、
ＴＦＴのソースは画素電極５６に、ドレインはデータ線
１２に、ゲートは走査線１０にそれぞれ接続されること
になる。なお、以下の構成ではスイッチ素子１８として
ＴＦＴが用いられているものとして説明する。
データ線１２に接続されている。さらに、スイッチ素子
１８のスイッチング動作は走査駆動器１４から走査線１
０を介して、電圧が供給されることにより行われる。従
って、スイッチ素子１８が、一般的に用いられるＴＦＴ
（Thin Film Transistor；薄膜トランジスタ）の場合、
ＴＦＴのソースは画素電極５６に、ドレインはデータ線
１２に、ゲートは走査線１０にそれぞれ接続されること
になる。なお、以下の構成ではスイッチ素子１８として
ＴＦＴが用いられているものとして説明する。
【０００６】つぎに、画像センサ４８の断面構造を図２
に基づいて説明する。図２は、図１におけるＡ−Ａ線矢
視断面図である。画像センサ４８には、硝子基板５０の
上に走査線１０および補助電極６０が設けられており、
さらにその上に絶縁膜５８、画素電極５６およびデータ
線１２、光電変換層５４、バイアス電極５２が積層され
ている。このうち、補助電極６０は、絶縁膜５８を介し
て画素電極５６と対向する位置に設けられており、画素
電極５６との間で蓄積容量１７を構成している。この補
助電極６０は、全画素２２…において共通の基準電源
（Ｖref）となるように配線されている。また、バイア
ス電極５２は、画素電極５６に対して高電圧（例えば数
千ボルト）を印加できるようになっている。
に基づいて説明する。図２は、図１におけるＡ−Ａ線矢
視断面図である。画像センサ４８には、硝子基板５０の
上に走査線１０および補助電極６０が設けられており、
さらにその上に絶縁膜５８、画素電極５６およびデータ
線１２、光電変換層５４、バイアス電極５２が積層され
ている。このうち、補助電極６０は、絶縁膜５８を介し
て画素電極５６と対向する位置に設けられており、画素
電極５６との間で蓄積容量１７を構成している。この補
助電極６０は、全画素２２…において共通の基準電源
（Ｖref）となるように配線されている。また、バイア
ス電極５２は、画素電極５６に対して高電圧（例えば数
千ボルト）を印加できるようになっている。
【０００７】このような画像センサ４８において、Ｘ線
光子６８がバイアス電極５２側から光電変換層５４に入
射すると、光電変換層５４は、バイアス電極５２を透過
したＸ線光子６８から電子と正孔との対を発生させる。
ここで、バイアス電極５２に正の電圧が印加されている
ときは、上記正孔が画素電極５６側に移動する。一方、
バイアス電極５２に負の電圧が印加されているときは、
上記電子が画素電極５６側に移動する。これにより、上
記正孔または電子は、Ｘ線光子６８の入射位置に対応す
る位置にある画素電極５６に達する。さらに、画素電極
５６に達した上記正孔または電子は、正または負の電荷
（以下、信号電荷とする）として蓄積容量１７に保持さ
れる。なお、以下の説明では、特に断らない限りバイア
ス電極には負の電圧が印加されているものとして説明す
る。
光子６８がバイアス電極５２側から光電変換層５４に入
射すると、光電変換層５４は、バイアス電極５２を透過
したＸ線光子６８から電子と正孔との対を発生させる。
ここで、バイアス電極５２に正の電圧が印加されている
ときは、上記正孔が画素電極５６側に移動する。一方、
バイアス電極５２に負の電圧が印加されているときは、
上記電子が画素電極５６側に移動する。これにより、上
記正孔または電子は、Ｘ線光子６８の入射位置に対応す
る位置にある画素電極５６に達する。さらに、画素電極
５６に達した上記正孔または電子は、正または負の電荷
（以下、信号電荷とする）として蓄積容量１７に保持さ
れる。なお、以下の説明では、特に断らない限りバイア
ス電極には負の電圧が印加されているものとして説明す
る。
【０００８】ここで、走査駆動器１４が所定の一本の走
査線１０にハイレベルの電圧を出力すると、その走査線
１０に接続されている全てのＴＦＴ１８…がオン状態に
なる。そして、オン状態のＴＦＴ１８…の各蓄積容量１
７…に保持されている信号電荷が、各ＴＦＴ１８…に対
応するそれぞれのデータ線１２に流出する。さらに、デ
ータ線１２に流出した信号電荷は、データ線１２に接続
された読み取り回路１６によってその電荷量が読み取ら
れる。このように、走査駆動器１４が各走査線１０…に
順次ハイレベルの電圧を出力し、読み取り回路１６が全
ての画素電極５６に対応する信号電荷、すなわちデジタ
ル信号を読み取る。このようにして、１枚のデジタル画
像データの読み取りが行われる。
査線１０にハイレベルの電圧を出力すると、その走査線
１０に接続されている全てのＴＦＴ１８…がオン状態に
なる。そして、オン状態のＴＦＴ１８…の各蓄積容量１
７…に保持されている信号電荷が、各ＴＦＴ１８…に対
応するそれぞれのデータ線１２に流出する。さらに、デ
ータ線１２に流出した信号電荷は、データ線１２に接続
された読み取り回路１６によってその電荷量が読み取ら
れる。このように、走査駆動器１４が各走査線１０…に
順次ハイレベルの電圧を出力し、読み取り回路１６が全
ての画素電極５６に対応する信号電荷、すなわちデジタ
ル信号を読み取る。このようにして、１枚のデジタル画
像データの読み取りが行われる。
【０００９】次に、画像センサ４８に用いられる読み取
り回路１６について図３に基づいて説明する。図３は、
信号電荷がデジタルデータとして出力されるまでの１入
力対応の読み取り回路１６のブロック図である。読み取
り回路１６は、電荷検出増幅器（Charge Sensitive Amp
lifier，以下ＣＳＡとする）２０、メインアンプ（以
下、ＭＡとする）３０、サンプルホールド回路（以下、
Ｓ／Ｈとする）４０、マルチプレクサ３００、アナログ
デジタル変換器（Analog-to-Digital Converter，以下
ＡＤＣとする）４００、データラッチ回路（以下、ＤＬ
とする）５００がこの順で直列に接続される構成であ
る。ここで、図３に示す読み取り回路１６は、多数集積
されていて、ＬＳＩ（Large Scale Integrated Circui
t,大規模集積回路）を構成している。
り回路１６について図３に基づいて説明する。図３は、
信号電荷がデジタルデータとして出力されるまでの１入
力対応の読み取り回路１６のブロック図である。読み取
り回路１６は、電荷検出増幅器（Charge Sensitive Amp
lifier，以下ＣＳＡとする）２０、メインアンプ（以
下、ＭＡとする）３０、サンプルホールド回路（以下、
Ｓ／Ｈとする）４０、マルチプレクサ３００、アナログ
デジタル変換器（Analog-to-Digital Converter，以下
ＡＤＣとする）４００、データラッチ回路（以下、ＤＬ
とする）５００がこの順で直列に接続される構成であ
る。ここで、図３に示す読み取り回路１６は、多数集積
されていて、ＬＳＩ（Large Scale Integrated Circui
t,大規模集積回路）を構成している。
【００１０】ここで、読み取り回路１６の読み取り動作
について説明する。まず、ＣＳＡ２０が、データ線１２
から入力した信号電荷を電位として読み取り、電圧を出
力する。そして、ＣＳＡ２０から出力された電圧は、必
要に応じてＭＡ３０で増幅され、Ｓ／Ｈ４０にてサンプ
リング（標本化）されると共にデータ電圧として保持さ
れる。保持されたデータ電圧は、マルチプレクサ３００
を介してＡＤＣ４００に入力され、デジタル信号に変換
される。変換されたデジタル信号は、ＤＬ５００にて保
持される。なお、マルチプレクサ３００は、１つのＡＤ
Ｃ４００に複数の入力端子を割り当てるために用いるも
のであり、読み取り回路１６の本質的な要素ではない。
したがって、例えば各入力端子に１対１で対応してＡＤ
Ｃ４００を構成する場合、マルチプレクサ３００は不要
である。
について説明する。まず、ＣＳＡ２０が、データ線１２
から入力した信号電荷を電位として読み取り、電圧を出
力する。そして、ＣＳＡ２０から出力された電圧は、必
要に応じてＭＡ３０で増幅され、Ｓ／Ｈ４０にてサンプ
リング（標本化）されると共にデータ電圧として保持さ
れる。保持されたデータ電圧は、マルチプレクサ３００
を介してＡＤＣ４００に入力され、デジタル信号に変換
される。変換されたデジタル信号は、ＤＬ５００にて保
持される。なお、マルチプレクサ３００は、１つのＡＤ
Ｃ４００に複数の入力端子を割り当てるために用いるも
のであり、読み取り回路１６の本質的な要素ではない。
したがって、例えば各入力端子に１対１で対応してＡＤ
Ｃ４００を構成する場合、マルチプレクサ３００は不要
である。
【００１１】次に、ＣＳＡ２０の基本的な構造につい
て、図４の回路図に基づいて説明する。ＣＳＡ２０は、
信号電荷の電荷量を電位として読み取るための回路であ
り、演算増幅器２０ａ、帰還容量２０ｂ、リセットスイ
ッチ２０ｃから構成される。演算増幅器２０ａの反転入
力と出力とは帰還容量２０ｂを介して接続されており、
負帰還回路を構成している。また、帰還容量２０ｂと並
列にリセットスイッチ２０ｃが接続されており、帰還容
量２０ｂに蓄積された電荷を放電してリセットすること
ができる。さらに、データ線１２は演算増幅器２０ａの
反転入力に接続されている。また、演算増幅器２０ａの
非反転入力はＧＮＤ（接地電位）に接続されている。な
お、ここでは基準電源ＶrefをＧＮＤとしているが、特
にＧＮＤに限定されるものではない。
て、図４の回路図に基づいて説明する。ＣＳＡ２０は、
信号電荷の電荷量を電位として読み取るための回路であ
り、演算増幅器２０ａ、帰還容量２０ｂ、リセットスイ
ッチ２０ｃから構成される。演算増幅器２０ａの反転入
力と出力とは帰還容量２０ｂを介して接続されており、
負帰還回路を構成している。また、帰還容量２０ｂと並
列にリセットスイッチ２０ｃが接続されており、帰還容
量２０ｂに蓄積された電荷を放電してリセットすること
ができる。さらに、データ線１２は演算増幅器２０ａの
反転入力に接続されている。また、演算増幅器２０ａの
非反転入力はＧＮＤ（接地電位）に接続されている。な
お、ここでは基準電源ＶrefをＧＮＤとしているが、特
にＧＮＤに限定されるものではない。
【００１２】さらに、ＣＳＡ２０の読み取り動作を図５
および図６に基づいて説明する。なお、図５は読み取り
動作のタイミングチャートおよびＣＳＡ２０の出力電位
を表すグラフであり、図６は１画素あたりのＴＦＴ１
８、蓄積容量１７、ＣＳＡ２０の等価回路図である。
および図６に基づいて説明する。なお、図５は読み取り
動作のタイミングチャートおよびＣＳＡ２０の出力電位
を表すグラフであり、図６は１画素あたりのＴＦＴ１
８、蓄積容量１７、ＣＳＡ２０の等価回路図である。
【００１３】ここで、画素２２は、図６に示すように、
第ｉ行目の走査線１０である走査線１０ｉおよび第ｊ列
目のデータ線１２ｊに接続された画素であるものとす
る。すなわち、画素２２は、データ線１２ｊを介してＣ
ＳＡ２０と接続されている。なお、Ｃｄｌは、データ線
１２ｊの容量を表す。そして、図５におけるｇ（ｉ）
は、走査線１０ｉがハイレベルとなるタイミングを表
し、ＲｓｔはリセットスイッチＲｓｔがオンとなるタイ
ミングを表す。
第ｉ行目の走査線１０である走査線１０ｉおよび第ｊ列
目のデータ線１２ｊに接続された画素であるものとす
る。すなわち、画素２２は、データ線１２ｊを介してＣ
ＳＡ２０と接続されている。なお、Ｃｄｌは、データ線
１２ｊの容量を表す。そして、図５におけるｇ（ｉ）
は、走査線１０ｉがハイレベルとなるタイミングを表
し、ＲｓｔはリセットスイッチＲｓｔがオンとなるタイ
ミングを表す。
【００１４】読み取り動作は、まずリセットスイッチ２
０ｃがオンになることで開始される。これにより、それ
以前の動作で帰還容量２０ｂに蓄積されていた電荷が放
電され、ＣＳＡ２０の出力電位はＧＮＤとなる。したが
って、ＣＳＡ２０はリセットされた状態となる。
０ｃがオンになることで開始される。これにより、それ
以前の動作で帰還容量２０ｂに蓄積されていた電荷が放
電され、ＣＳＡ２０の出力電位はＧＮＤとなる。したが
って、ＣＳＡ２０はリセットされた状態となる。
【００１５】この後、図５のｇ（ｉ）に示すように、走
査駆動器１４から走査線１０ｉにハイレベルの電圧が出
力され、これによりＴＦＴ１８がオンになる。ＴＦＴ１
８がオンになると、蓄積容量１７に蓄積されていた信号
電荷（−Ｑ）がデータ線１２ｊに流出する。そして、演
算増幅器２０ａは、データ線に流出した全ての信号電荷
（−Ｑ）が帰還容量２０ｂの入力側の電極（演算増幅器
２０ａの反転入力と接続されている電極）に集まるよう
に作動する。その結果、帰還容量２０ｂの出力側の電極
（演算増幅器２０ａの出力と接続されている電極）に
は、等量で逆極性の電荷（＋Ｑ）が発生する。したがっ
て、図５のＢ期間において、ＣＳＡ２０の出力には、信
号電荷である＋Ｑを帰還容量２０ｂの容量値で割った電
位が現れる。ＣＳＡ２０は、このようにして信号電荷量
を電位として読み取り、信号電圧を出力することができ
る。
査駆動器１４から走査線１０ｉにハイレベルの電圧が出
力され、これによりＴＦＴ１８がオンになる。ＴＦＴ１
８がオンになると、蓄積容量１７に蓄積されていた信号
電荷（−Ｑ）がデータ線１２ｊに流出する。そして、演
算増幅器２０ａは、データ線に流出した全ての信号電荷
（−Ｑ）が帰還容量２０ｂの入力側の電極（演算増幅器
２０ａの反転入力と接続されている電極）に集まるよう
に作動する。その結果、帰還容量２０ｂの出力側の電極
（演算増幅器２０ａの出力と接続されている電極）に
は、等量で逆極性の電荷（＋Ｑ）が発生する。したがっ
て、図５のＢ期間において、ＣＳＡ２０の出力には、信
号電荷である＋Ｑを帰還容量２０ｂの容量値で割った電
位が現れる。ＣＳＡ２０は、このようにして信号電荷量
を電位として読み取り、信号電圧を出力することができ
る。
【００１６】つぎに、ＭＡ３０の詳細について説明す
る。ＭＡ３０は、ＣＳＡ２０の出力電圧が小さい場合
に、それ以降の回路が動作するのに十分な大きさの電圧
範囲にまで、信号電圧を増幅するために設けられてい
る。なお、一般的なＸ線撮影装置では静止画像撮影（撮
影モード）が行われるが、この場合、照射Ｘ線の線量が
十分に多い。したがって、画像センサ４８を上記Ｘ線撮
影装置に用いた場合、検出される電荷量も多く、ＣＳＡ
２０から十分大きな信号電圧が出力されるため、ＭＡ３
０は必ずしも必要でない。しかし、動画像を得るための
透視モードでは、秒単位から分単位の期間、Ｘ線を照射
し続ける必要がある。したがって、透視モードでは、Ｘ
線の総照射量を抑えるために撮影モードより２桁ほど弱
いＸ線が用いられている。具体的には、撮影モードで
は、放射線量が３０μＲ〜３ｍＲ程度のＸ線が照射され
るが、透視モードでは、０．１μＲ〜１０μＲ程度のＸ
線が照射される。これにより、透視モードでは撮影モー
ドと比べて、検出される信号電荷量が極めて少なく、Ｃ
ＳＡ２０は十分量の信号電圧を出力することができな
い。そこで、上記Ｘ線撮影装置に用いられる画像センサ
４８には、ＭＡ３０が必要となる。なお、図３ではＭＡ
３０を１つのブロックで表しているが、必要な増幅率を
得るために２段以上の構成を用いても構わない。
る。ＭＡ３０は、ＣＳＡ２０の出力電圧が小さい場合
に、それ以降の回路が動作するのに十分な大きさの電圧
範囲にまで、信号電圧を増幅するために設けられてい
る。なお、一般的なＸ線撮影装置では静止画像撮影（撮
影モード）が行われるが、この場合、照射Ｘ線の線量が
十分に多い。したがって、画像センサ４８を上記Ｘ線撮
影装置に用いた場合、検出される電荷量も多く、ＣＳＡ
２０から十分大きな信号電圧が出力されるため、ＭＡ３
０は必ずしも必要でない。しかし、動画像を得るための
透視モードでは、秒単位から分単位の期間、Ｘ線を照射
し続ける必要がある。したがって、透視モードでは、Ｘ
線の総照射量を抑えるために撮影モードより２桁ほど弱
いＸ線が用いられている。具体的には、撮影モードで
は、放射線量が３０μＲ〜３ｍＲ程度のＸ線が照射され
るが、透視モードでは、０．１μＲ〜１０μＲ程度のＸ
線が照射される。これにより、透視モードでは撮影モー
ドと比べて、検出される信号電荷量が極めて少なく、Ｃ
ＳＡ２０は十分量の信号電圧を出力することができな
い。そこで、上記Ｘ線撮影装置に用いられる画像センサ
４８には、ＭＡ３０が必要となる。なお、図３ではＭＡ
３０を１つのブロックで表しているが、必要な増幅率を
得るために２段以上の構成を用いても構わない。
【００１７】ここで、読み取り回路１６における、ＭＡ
３０の典型的な回路構成例を図７に示す。この例におい
て、ＭＡ３０は、１段の反転増幅器と容量Ｃ１・Ｃ２か
ら構成されており、その増幅率Ｇは、Ｇ＝Ｃ１／Ｃ２と
なる。
３０の典型的な回路構成例を図７に示す。この例におい
て、ＭＡ３０は、１段の反転増幅器と容量Ｃ１・Ｃ２か
ら構成されており、その増幅率Ｇは、Ｇ＝Ｃ１／Ｃ２と
なる。
【００１８】つぎに、Ｓ／Ｈ４０について図８、図９に
基づいて説明する。図８は読み取り回路１６におけるＣ
ＳＡ２０、ＭＡ３０、Ｓ／Ｈ４０の回路構成を示した回
路図であって、図９は、図８におけるＣＳＡ２０、ＭＡ
３０、Ｓ／Ｈ４０の動作を示したタイミングチャートで
ある。ここで、Ｓ／Ｈ４０はその制御信号ＳＨがハイレ
ベルの出力の期間に、ＭＡの出力電圧を標本化する。そ
して、制御信号がつぎのハイレベルの出力になるまで、
その標本化した電圧を保持して出力し続ける回路であ
る。
基づいて説明する。図８は読み取り回路１６におけるＣ
ＳＡ２０、ＭＡ３０、Ｓ／Ｈ４０の回路構成を示した回
路図であって、図９は、図８におけるＣＳＡ２０、ＭＡ
３０、Ｓ／Ｈ４０の動作を示したタイミングチャートで
ある。ここで、Ｓ／Ｈ４０はその制御信号ＳＨがハイレ
ベルの出力の期間に、ＭＡの出力電圧を標本化する。そ
して、制御信号がつぎのハイレベルの出力になるまで、
その標本化した電圧を保持して出力し続ける回路であ
る。
【００１９】まず、ＣＳＡ２０とＭＡ３０とのリセット
スイッチＲｓｔ（初期化スイッチ）が同時にオンされ
る。その後ＣＳＡ２０のリセットスイッチＲｓｔを先に
オフとして、次にＭＡ３０のリセットスイッチＲｓｔを
オフとする。これでＣＳＡ２０とＭＡ３０とが共に初期
化される。その後、ＣＳＡ２０は、入力する信号電荷を
電位として読み取り、信号電圧を出力する。さらに、こ
の信号電圧はＭＡ３０により増幅される。そして、Ｓ／
Ｈ４０の制御信号ＳＨがハイ出力の期間に、ＭＡ３０の
出力した信号電圧がＳ／Ｈ回路により標本化され、次に
制御信号ＳＨがハイレベルの出力になるまで保持される
ことになる。その後、保持された信号電圧は、Ｓ／Ｈ４
０の後段にあるＡＤＣ７によりデジタル信号（デジタル
画像データ）へと変換される。
スイッチＲｓｔ（初期化スイッチ）が同時にオンされ
る。その後ＣＳＡ２０のリセットスイッチＲｓｔを先に
オフとして、次にＭＡ３０のリセットスイッチＲｓｔを
オフとする。これでＣＳＡ２０とＭＡ３０とが共に初期
化される。その後、ＣＳＡ２０は、入力する信号電荷を
電位として読み取り、信号電圧を出力する。さらに、こ
の信号電圧はＭＡ３０により増幅される。そして、Ｓ／
Ｈ４０の制御信号ＳＨがハイ出力の期間に、ＭＡ３０の
出力した信号電圧がＳ／Ｈ回路により標本化され、次に
制御信号ＳＨがハイレベルの出力になるまで保持される
ことになる。その後、保持された信号電圧は、Ｓ／Ｈ４
０の後段にあるＡＤＣ７によりデジタル信号（デジタル
画像データ）へと変換される。
【００２０】ところで、上記ＣＳＡ２０等を構成する読
み取り回路１６は、各列毎に対応して設けられている。
すなわち、複数の読み取り回路１６…が集積してＬＳＩ
（Large Scale Integrated Circuit,大規模集積回路）
を構成している。ここで、ＬＳＩを構成する各読み取り
回路１６…には、入出力特性に若干のばらつきがある。
したがって、上記読み取り回路１６…が集合したＬＳＩ
によって得られるデジタル画像データから良質な画像を
再現するためには、上記読み取り回路１６…毎に入出力
特性のばらつきを補正する必要がある。このばらつきの
原因としては、ＣＳＡ２０やＭＡ３０を構成するオペア
ンプの特性のばらつき、コンデンサの容量のばらつきが
挙げられる。上記オペアンプの特性やコンデンサの容量
にばらつきがあれば、ＣＳＡ２０の出力やＭＡ３０の増
幅率にばらつきが生じ、読み取り回路１６ごとの入出力
特性にばらつきが生じる。
み取り回路１６は、各列毎に対応して設けられている。
すなわち、複数の読み取り回路１６…が集積してＬＳＩ
（Large Scale Integrated Circuit,大規模集積回路）
を構成している。ここで、ＬＳＩを構成する各読み取り
回路１６…には、入出力特性に若干のばらつきがある。
したがって、上記読み取り回路１６…が集合したＬＳＩ
によって得られるデジタル画像データから良質な画像を
再現するためには、上記読み取り回路１６…毎に入出力
特性のばらつきを補正する必要がある。このばらつきの
原因としては、ＣＳＡ２０やＭＡ３０を構成するオペア
ンプの特性のばらつき、コンデンサの容量のばらつきが
挙げられる。上記オペアンプの特性やコンデンサの容量
にばらつきがあれば、ＣＳＡ２０の出力やＭＡ３０の増
幅率にばらつきが生じ、読み取り回路１６ごとの入出力
特性にばらつきが生じる。
【００２１】従来は、このばらつきを補正するため、テ
ストモードで、画像センサ４８に実際にＸ線を照射し
て、デジタル画像データを得ることによって、各読み取
り回路１６…の入出力特性のばらつきを検出していた。
ここで、読み取り回路１６への入力電荷量がx〔ｅ-〕で
あるときに、読み取り回路１６の出力が最下位のビット
を単位としてｙ〔ＬＳＢ〕になるとすると、ｙ＝ａｘ+
ｂで表すことができる。ここで、ａ，ｂを求めるために
は、Ｘ線の強度を変えて、２度測定すればよい。具体的
には、Ｘ線を照射しない状態（ｘ＝０）と、センサ全面
に均一かつ一定の線量でＸ線を照射した状態とで出力を
測定することによりａ，ｂを求める。
ストモードで、画像センサ４８に実際にＸ線を照射し
て、デジタル画像データを得ることによって、各読み取
り回路１６…の入出力特性のばらつきを検出していた。
ここで、読み取り回路１６への入力電荷量がx〔ｅ-〕で
あるときに、読み取り回路１６の出力が最下位のビット
を単位としてｙ〔ＬＳＢ〕になるとすると、ｙ＝ａｘ+
ｂで表すことができる。ここで、ａ，ｂを求めるために
は、Ｘ線の強度を変えて、２度測定すればよい。具体的
には、Ｘ線を照射しない状態（ｘ＝０）と、センサ全面
に均一かつ一定の線量でＸ線を照射した状態とで出力を
測定することによりａ，ｂを求める。
【００２２】つぎに、画像を再現する場合の最も基本的
なばらつき補正の考え方を以下に説明する。例えば、ｎ
列（ｎ＝１〜Ｎ）の読み取り回路１６のｂ値をｂnとす
ると、Ｘ線を照射しない状態（ｘ＝０）で読み取り動作
を行って得られるｙ値は、１〜Ｎ列の読み取り回路１６
…において、それぞれのｂnとなる。
なばらつき補正の考え方を以下に説明する。例えば、ｎ
列（ｎ＝１〜Ｎ）の読み取り回路１６のｂ値をｂnとす
ると、Ｘ線を照射しない状態（ｘ＝０）で読み取り動作
を行って得られるｙ値は、１〜Ｎ列の読み取り回路１６
…において、それぞれのｂnとなる。
【００２３】また、傾きａnは、センサ全面に均一なＸ
線（ｘ＝ｘcとする）を照射して、ｎ列目の読み取り回
路１６…により、読み出し動作を行って得られる出力値
（ｙcnとする）と、先に求めたｂnとから以下の演算に
より求めることができる。
線（ｘ＝ｘcとする）を照射して、ｎ列目の読み取り回
路１６…により、読み出し動作を行って得られる出力値
（ｙcnとする）と、先に求めたｂnとから以下の演算に
より求めることができる。
【００２４】
【数１】
【００２５】つぎに、以下に示す演算により、ａnおよ
びｂnの平均値（ａavとｂav）を求めることで、ｎ列の
読み取り回路１６…における出力の平均特性を求めるこ
とができる。
びｂnの平均値（ａavとｂav）を求めることで、ｎ列の
読み取り回路１６…における出力の平均特性を求めるこ
とができる。
【００２６】
【数２】
【００２７】また、ｂnとｂavとの差（∇ｂnとする）お
よび、ａavとａnとの比（αnとする）を求めることで読
み取り回路１６ごと（端子ごと）の補正用データを決定
することができる。すなわち、
よび、ａavとａnとの比（αnとする）を求めることで読
み取り回路１６ごと（端子ごと）の補正用データを決定
することができる。すなわち、
【００２８】
【数３】
【００２９】さらに、画像センサ４８において、実際に
被写体を撮影した後に、上記補正用データを用いて、デ
ジタル画像データを補正する演算式を以下に示す。ここ
で、ｎ列目の読み取り回路１６において、被写体を撮影
して得られたデジタル画像データにおける最下位のビッ
トをＹn（ｎ＝１〜Ｎ）として、補正後のデジタル画像
データにおける最下位のビットをＹｈnとすると、
被写体を撮影した後に、上記補正用データを用いて、デ
ジタル画像データを補正する演算式を以下に示す。ここ
で、ｎ列目の読み取り回路１６において、被写体を撮影
して得られたデジタル画像データにおける最下位のビッ
トをＹn（ｎ＝１〜Ｎ）として、補正後のデジタル画像
データにおける最下位のビットをＹｈnとすると、
【００３０】
【数４】
【００３１】このような補正を行うことで、各列に対応
した読み取り回路１６ごとで、入出力特性のばらつきを
補正することができ、良質な画像を得ることができる。
した読み取り回路１６ごとで、入出力特性のばらつきを
補正することができ、良質な画像を得ることができる。
【００３２】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ＬＳＩの特
性は、周囲の温度等の使用環境や使用状況によって微妙
に変化する。また、その特性は時間の経過と共に微妙に
変化するものである。したがって、複数のＣＳＡ２０…
から成るＬＳＩにあっては、なるべく頻繁に入出力特性
を測定して補正用データを更新することが望ましい。こ
こで、補正用データを作成するにあたり、実際にＸ線を
照射して読み取り回路１６の入出力特性を測定しなけれ
ばならない従来の方法では、頻繁にＸ線を照射しなけれ
ばならず、その作業に手間が生じていた。
性は、周囲の温度等の使用環境や使用状況によって微妙
に変化する。また、その特性は時間の経過と共に微妙に
変化するものである。したがって、複数のＣＳＡ２０…
から成るＬＳＩにあっては、なるべく頻繁に入出力特性
を測定して補正用データを更新することが望ましい。こ
こで、補正用データを作成するにあたり、実際にＸ線を
照射して読み取り回路１６の入出力特性を測定しなけれ
ばならない従来の方法では、頻繁にＸ線を照射しなけれ
ばならず、その作業に手間が生じていた。
【００３３】また、従来の方法では、本来の使用目的以
外の目的にＸ線を照射しなければならない。すなわち、
被写体を撮影する目的以外で、人体に有害な放射線を無
駄に放出することになるという不都合が生じていた。
外の目的にＸ線を照射しなければならない。すなわち、
被写体を撮影する目的以外で、人体に有害な放射線を無
駄に放出することになるという不都合が生じていた。
【００３４】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたものであり、入射する電磁波を電荷に変換し、こ
れを順次読み出し画像データを出力する画像センサに内
蔵される電荷検出回路において、実際に電磁波を照射す
ることなしに、入出力特性を測定できる電荷検出回路を
提供することにある。
されたものであり、入射する電磁波を電荷に変換し、こ
れを順次読み出し画像データを出力する画像センサに内
蔵される電荷検出回路において、実際に電磁波を照射す
ることなしに、入出力特性を測定できる電荷検出回路を
提供することにある。
【００３５】
【課題を解決するための手段】本発明の電荷検出手段
は、上記の問題を解決するために、通常モードおよび試
験モードを切り替える切り替え回路と、上記切り替え回
路により、通常モード時には、入射電磁波に応じて変化
する電荷を検出し、これを電圧として出力すると共に、
試験モード時には、上記入射電磁波に応じて変化する電
荷の代わりに、電荷検出回路内における所定の第１試験
電圧に対応する電荷を検出し、これを電圧として出力す
る検出回路とを備える。
は、上記の問題を解決するために、通常モードおよび試
験モードを切り替える切り替え回路と、上記切り替え回
路により、通常モード時には、入射電磁波に応じて変化
する電荷を検出し、これを電圧として出力すると共に、
試験モード時には、上記入射電磁波に応じて変化する電
荷の代わりに、電荷検出回路内における所定の第１試験
電圧に対応する電荷を検出し、これを電圧として出力す
る検出回路とを備える。
【００３６】上記構成によれば、切り替え回路により、
電荷検出回路の通常の動作態様を示す通常モードと、電
荷検出回路の入出力特性測定を行う試験モードとを切り
替えることができる。すなわち、通常モード時におい
て、検出回路は入射電磁波に応じて変化する電荷を検出
し、これを電圧として出力できる。一方、試験モード時
において、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する
電荷の代わりに、電荷検出回路内の第１試験電圧に対応
する電荷を検出して、これを電圧として出力することが
できる。
電荷検出回路の通常の動作態様を示す通常モードと、電
荷検出回路の入出力特性測定を行う試験モードとを切り
替えることができる。すなわち、通常モード時におい
て、検出回路は入射電磁波に応じて変化する電荷を検出
し、これを電圧として出力できる。一方、試験モード時
において、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する
電荷の代わりに、電荷検出回路内の第１試験電圧に対応
する電荷を検出して、これを電圧として出力することが
できる。
【００３７】ここで、上記電荷検出回路内の第１試験電
圧は、所定の電圧値であるので、試験モードにおいて、
電荷検出回路の出力電圧を測定することにより電荷検出
回路の入出力特性の測定を行うことができる。しかも、
試験モードにおいて、検出回路は、電荷検出回路内の第
１試験電圧に対応する電荷を検出して、これを電圧とし
て出力しているので、電磁波を発生させることがなく簡
単な手順で電荷検出回路の入出力特性の測定を行うこと
ができる。これにより、電荷検出回路の入出力特性の試
験を頻繁に（ことある毎に）行うことができるので、電
荷検出回路の補正用データを頻繁に更新することがで
き、常に最適化した状態で回路を動作させることができ
る。
圧は、所定の電圧値であるので、試験モードにおいて、
電荷検出回路の出力電圧を測定することにより電荷検出
回路の入出力特性の測定を行うことができる。しかも、
試験モードにおいて、検出回路は、電荷検出回路内の第
１試験電圧に対応する電荷を検出して、これを電圧とし
て出力しているので、電磁波を発生させることがなく簡
単な手順で電荷検出回路の入出力特性の測定を行うこと
ができる。これにより、電荷検出回路の入出力特性の試
験を頻繁に（ことある毎に）行うことができるので、電
荷検出回路の補正用データを頻繁に更新することがで
き、常に最適化した状態で回路を動作させることができ
る。
【００３８】なお、上記電荷検出回路は、例えば電磁波
を電荷として読み取る画像検出装置に用いられる。した
がって、上記電荷検出回路を画像検出装置に用いる場
合、より高精度の画像を再現することが可能となる。
を電荷として読み取る画像検出装置に用いられる。した
がって、上記電荷検出回路を画像検出装置に用いる場
合、より高精度の画像を再現することが可能となる。
【００３９】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第１スイッチが接続されると共
に、第１試験電圧と検出回路との間に第２スイッチと第
１コンデンサとが直列に接続されるように構成されてい
てもよい。
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第１スイッチが接続されると共
に、第１試験電圧と検出回路との間に第２スイッチと第
１コンデンサとが直列に接続されるように構成されてい
てもよい。
【００４０】上記構成によれば、第１スイッチを閉にす
ると共に第２スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第１スイッチを開にすると共に、第２スイッチを閉
にすると、第１試験電源が、上記第１コンデンサを介し
て検出回路と接続される。これにより、試験モード状態
となり、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第１
コンデンサに蓄積された後に、検出回路は第１コンデン
サに蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力す
ることができる。
ると共に第２スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第１スイッチを開にすると共に、第２スイッチを閉
にすると、第１試験電源が、上記第１コンデンサを介し
て検出回路と接続される。これにより、試験モード状態
となり、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第１
コンデンサに蓄積された後に、検出回路は第１コンデン
サに蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力す
ることができる。
【００４１】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと第２スイ
ッチとの接続点と、電荷検出回路の入力端子との間に第
３スイッチが接続されると共に、上記入力端子から第２
試験電圧を印加できるように構成されていてもよい。
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと第２スイ
ッチとの接続点と、電荷検出回路の入力端子との間に第
３スイッチが接続されると共に、上記入力端子から第２
試験電圧を印加できるように構成されていてもよい。
【００４２】上記構成によれば、第１スイッチおよび第
２スイッチを開にすると共に第３スイッチを閉にするこ
とで、上記入力端子が第１コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第１コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第１コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は第２試験電圧に対応する電荷を検出し、これ
を電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧の
電圧波形と出力した電圧波形とを比較することにより、
出力信号波形の歪み率等を測定することができる。すな
わち、外部から電圧を印加することにより、電荷検出回
路が正常に動作しているか否かについて試験（動作試験
モード）することができる。
２スイッチを開にすると共に第３スイッチを閉にするこ
とで、上記入力端子が第１コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第１コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第１コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は第２試験電圧に対応する電荷を検出し、これ
を電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧の
電圧波形と出力した電圧波形とを比較することにより、
出力信号波形の歪み率等を測定することができる。すな
わち、外部から電圧を印加することにより、電荷検出回
路が正常に動作しているか否かについて試験（動作試験
モード）することができる。
【００４３】さらに、上記構成によれば、上記入力端子
と検出回路との間でコンデンサの挿入および削除ができ
るので、動作試験モードにおいては、電荷検出回路に対
する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を上記入力
端子に接続する手間を省くことができ、上記入力端子に
電圧を印加するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確
認試験を行うことができる。なお、上記切り替え回路
は、試験モードと動作試験モードとで、第１コンデンサ
を共用している構成である。
と検出回路との間でコンデンサの挿入および削除ができ
るので、動作試験モードにおいては、電荷検出回路に対
する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を上記入力
端子に接続する手間を省くことができ、上記入力端子に
電圧を印加するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確
認試験を行うことができる。なお、上記切り替え回路
は、試験モードと動作試験モードとで、第１コンデンサ
を共用している構成である。
【００４４】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと電荷検出
回路との間に第４スイッチが接続されるように構成され
ていてもよい。
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと電荷検出
回路との間に第４スイッチが接続されるように構成され
ていてもよい。
【００４５】上記構成によれば、通常モード時におい
て、第４スイッチを開にすることで、第２スイッチを開
にする必要がなくなる。また、試験モード時および上記
入力端子から第２試験電圧を印加する場合は、第４スイ
ッチを閉にすることで、第１コンデンサに充電した電荷
を検出回路に読み取らせることができる。
て、第４スイッチを開にすることで、第２スイッチを開
にする必要がなくなる。また、試験モード時および上記
入力端子から第２試験電圧を印加する場合は、第４スイ
ッチを閉にすることで、第１コンデンサに充電した電荷
を検出回路に読み取らせることができる。
【００４６】ここで、通常モード時において、第２スイ
ッチを閉にすることで、第１コンデンサが浮いた状態に
なるのを防止することができ、雑音電荷の発生を防止す
ることができる。
ッチを閉にすることで、第１コンデンサが浮いた状態に
なるのを防止することができ、雑音電荷の発生を防止す
ることができる。
【００４７】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第５スイッチが接続されると共
に、上記第５スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に、第６スイッチと第２コンデンサと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第５スイッチが接続されると共
に、上記第５スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に、第６スイッチと第２コンデンサと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
【００４８】上記構成によれば、第５スイッチを閉にす
ると共に第６スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第５スイッチを開にすると共に、第６スイッチを閉
にすると、第１試験電圧が、第２コンデンサを介して検
出回路と接続される。これにより、試験モード状態とな
り、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第２コン
デンサに蓄積された後に、検出回路は第２コンデンサに
蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力するこ
とができる。
ると共に第６スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第５スイッチを開にすると共に、第６スイッチを閉
にすると、第１試験電圧が、第２コンデンサを介して検
出回路と接続される。これにより、試験モード状態とな
り、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第２コン
デンサに蓄積された後に、検出回路は第２コンデンサに
蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力するこ
とができる。
【００４９】本発明の電荷検出回路は、上記切り替え回
路が、電荷検出回路の入力端子と上記検出回路との間
に、第７スイッチが接続されていると共に、第８スイッ
チと第３コンデンサと第９スイッチとが直列に接続さ
れ、上記第７スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に第４コンデンサと第１０スイッチと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
路が、電荷検出回路の入力端子と上記検出回路との間
に、第７スイッチが接続されていると共に、第８スイッ
チと第３コンデンサと第９スイッチとが直列に接続さ
れ、上記第７スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に第４コンデンサと第１０スイッチと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
【００５０】上記構成によれば、第８スイッチおよび第
１０スイッチを開にすると共に第７スイッチを閉にする
ことで、電荷検出回路の入力端子と検出回路とが接続さ
れ、通常モード状態となり、検出回路は上記入射電磁波
に応じて変化する電荷を検出し、これを電圧として出力
することができる。また、第７スイッチおよび第８スイ
ッチを開にすると共に、第１０スイッチを閉にすると、
第１試験電圧が、第４コンデンサを介して検出回路と接
続される。これにより、試験モード状態となり、第１試
験電圧に対応する電圧が電荷として第４コンデンサに蓄
積された後に、検出回路は第４コンデンサに蓄積された
電荷を検出し、これを電圧として出力することができ
る。
１０スイッチを開にすると共に第７スイッチを閉にする
ことで、電荷検出回路の入力端子と検出回路とが接続さ
れ、通常モード状態となり、検出回路は上記入射電磁波
に応じて変化する電荷を検出し、これを電圧として出力
することができる。また、第７スイッチおよび第８スイ
ッチを開にすると共に、第１０スイッチを閉にすると、
第１試験電圧が、第４コンデンサを介して検出回路と接
続される。これにより、試験モード状態となり、第１試
験電圧に対応する電圧が電荷として第４コンデンサに蓄
積された後に、検出回路は第４コンデンサに蓄積された
電荷を検出し、これを電圧として出力することができ
る。
【００５１】さらに、第８スイッチおよび第９スイッチ
を閉にし、第７スイッチおよび第１０スイッチを開にす
ると、上記入力端子が第３コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第３コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第３コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は、第２試験電圧に対応する電荷を検出し、こ
れを電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧
の電圧波形と出力した電圧波形とを比較することによ
り、出力信号波形の歪み率等を測定することができる。
すなわち、外部から電圧を印加することにより、電荷検
出回路が正常に動作しているか否かについて試験（動作
試験モード）することができる。
を閉にし、第７スイッチおよび第１０スイッチを開にす
ると、上記入力端子が第３コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第３コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第３コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は、第２試験電圧に対応する電荷を検出し、こ
れを電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧
の電圧波形と出力した電圧波形とを比較することによ
り、出力信号波形の歪み率等を測定することができる。
すなわち、外部から電圧を印加することにより、電荷検
出回路が正常に動作しているか否かについて試験（動作
試験モード）することができる。
【００５２】さらに、上記構成によれば、上記入力端子
と検出回路との間でコンデンサの挿入および削除ができ
るので、動作試験モードにおいては、電荷検出回路に対
する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を上記入力
端子に接続する手間を省くことができ、上記入力端子に
電圧を印加するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確
認試験を行うことができる。なお、上記切り替え回路
は、試験モードと動作試験モードとで、互いに別々のコ
ンデンサを切り替え回路に挿入する構成である。
と検出回路との間でコンデンサの挿入および削除ができ
るので、動作試験モードにおいては、電荷検出回路に対
する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を上記入力
端子に接続する手間を省くことができ、上記入力端子に
電圧を印加するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確
認試験を行うことができる。なお、上記切り替え回路
は、試験モードと動作試験モードとで、互いに別々のコ
ンデンサを切り替え回路に挿入する構成である。
【００５３】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、入力した電荷から電位を読み出して
上記電位と基準電位との差から電圧を出力する電荷検出
手段と、電荷を注入できる電荷注入手段とを備え、上記
電荷検出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第
１コンデンサを挿入するとともに、上記入力端子から電
圧を印加して、第１コンデンサに電荷を蓄える状態と、
上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に第１コン
デンサを挿入することにより、第１コンデンサに電荷を
蓄える状態と、第１コンデンサに蓄えられた電荷を上記
電荷検出手段に供給する状態と、電磁波から変換された
電荷を上記入力端子から上記電荷検出手段に供給する状
態とを切り替える切り替え手段を含んでいることを特徴
とする。
決するために、入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、入力した電荷から電位を読み出して
上記電位と基準電位との差から電圧を出力する電荷検出
手段と、電荷を注入できる電荷注入手段とを備え、上記
電荷検出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第
１コンデンサを挿入するとともに、上記入力端子から電
圧を印加して、第１コンデンサに電荷を蓄える状態と、
上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に第１コン
デンサを挿入することにより、第１コンデンサに電荷を
蓄える状態と、第１コンデンサに蓄えられた電荷を上記
電荷検出手段に供給する状態と、電磁波から変換された
電荷を上記入力端子から上記電荷検出手段に供給する状
態とを切り替える切り替え手段を含んでいることを特徴
とする。
【００５４】上記構成によれば、切り替え手段により、
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷検
出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第１コン
デンサを挿入する状態（動作試験モード）とを切り替え
ることができる。
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷検
出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第１コン
デンサを挿入する状態（動作試験モード）とを切り替え
ることができる。
【００５５】すなわち、通常モードでは、電磁波から変
換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入力
し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、こ
の電位と基準電位との差から電圧を出力する。
換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入力
し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、こ
の電位と基準電位との差から電圧を出力する。
【００５６】一方、動作試験モードでは、上記電荷検出
回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第１コンデ
ンサを挿入し、上記入力端子から電圧を印加することで
第１コンデンサに電荷を蓄える。そして、第１コンデン
サに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給すること
により、電荷検出手段は、印加された電圧を出力でき
る。ここで、印加した電圧波形と出力した電圧波形とを
比較することにより、出力信号波形の歪み率等を測定
し、上記電荷検出回路が正常に動作しているか否かを試
験することができる。
回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第１コンデ
ンサを挿入し、上記入力端子から電圧を印加することで
第１コンデンサに電荷を蓄える。そして、第１コンデン
サに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給すること
により、電荷検出手段は、印加された電圧を出力でき
る。ここで、印加した電圧波形と出力した電圧波形とを
比較することにより、出力信号波形の歪み率等を測定
し、上記電荷検出回路が正常に動作しているか否かを試
験することができる。
【００５７】さらに、上記構成によれば、上記電荷注入
手段と上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入
する状態にも切り替えることができる。これにより、電
荷検出回路内に備えられた電荷注入手段から第１コンデ
ンサに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第
１コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供
給することにより、電荷検出手段は、電圧を出力するこ
とができる。つまり、電荷検出回路内に備えられている
第１コンデンサと画像検出器に備えられている電荷注入
手段とを用いることにより、電磁波の照射や上記入力端
子から電圧を印加することなく、電荷検出手段に電荷を
注入することができる。これにより、簡単に上記電荷検
出回路の入出力特性の測定を行うことができる。言い換
えれば、画像検出器に備えられている電荷注入手段と、
動作試験モードで用いられる第１のコンデンサとを上記
入出力測定で利用することにより、電磁波を照射せずに
簡単な手順で上記入出力測定を行うことができる。
手段と上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入
する状態にも切り替えることができる。これにより、電
荷検出回路内に備えられた電荷注入手段から第１コンデ
ンサに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第
１コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供
給することにより、電荷検出手段は、電圧を出力するこ
とができる。つまり、電荷検出回路内に備えられている
第１コンデンサと画像検出器に備えられている電荷注入
手段とを用いることにより、電磁波の照射や上記入力端
子から電圧を印加することなく、電荷検出手段に電荷を
注入することができる。これにより、簡単に上記電荷検
出回路の入出力特性の測定を行うことができる。言い換
えれば、画像検出器に備えられている電荷注入手段と、
動作試験モードで用いられる第１のコンデンサとを上記
入出力測定で利用することにより、電磁波を照射せずに
簡単な手順で上記入出力測定を行うことができる。
【００５８】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段は電
源であって、電荷検出手段の入力部が基準電源と接続さ
れ、上記電荷検出手段の入力部と電荷検出回路の入力端
子との間に、第３スイッチと第１コンデンサと第４スイ
ッチとが、上記入力端子側からこの順で直列に接続され
ると共に、第１スイッチが第１コンデンサと並列に接続
され、第１コンデンサにおける第３スイッチと接続され
ている側の電極が、第２スイッチにより上記電源と接続
されていると共に、第１１スイッチにより基準電源と接
続されるように切り替え手段が構成されていることを特
徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段は電
源であって、電荷検出手段の入力部が基準電源と接続さ
れ、上記電荷検出手段の入力部と電荷検出回路の入力端
子との間に、第３スイッチと第１コンデンサと第４スイ
ッチとが、上記入力端子側からこの順で直列に接続され
ると共に、第１スイッチが第１コンデンサと並列に接続
され、第１コンデンサにおける第３スイッチと接続され
ている側の電極が、第２スイッチにより上記電源と接続
されていると共に、第１１スイッチにより基準電源と接
続されるように切り替え手段が構成されていることを特
徴とする。
【００５９】上記構成によれば、第１スイッチをオン、
第３スイッチ、第４スイッチはオフにすることで、電磁
波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷検出
手段に供給する状態（通常モード）を実現できる。
第３スイッチ、第４スイッチはオフにすることで、電磁
波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷検出
手段に供給する状態（通常モード）を実現できる。
【００６０】つぎに、第１スイッチ、第２スイッチ、第
４スイッチをオフにして、第３スイッチをオンにする
と、上記入力端子と上記電荷検出手段との間に第１コン
デンサを挿入（動作試験モード）するとともに、第１コ
ンデンサに電荷を蓄積できる。さらに、第３スイッチを
オフにすると共に、第４スイッチをオンにすることで、
第１コンデンサに蓄積されている電荷を上記電荷検出手
段に供給することが可能となる。
４スイッチをオフにして、第３スイッチをオンにする
と、上記入力端子と上記電荷検出手段との間に第１コン
デンサを挿入（動作試験モード）するとともに、第１コ
ンデンサに電荷を蓄積できる。さらに、第３スイッチを
オフにすると共に、第４スイッチをオンにすることで、
第１コンデンサに蓄積されている電荷を上記電荷検出手
段に供給することが可能となる。
【００６１】また、第１スイッチ、第３スイッチ、第１
１スイッチをオフにして、第２スイッチ、第４スイッチ
をオンにすると、上記電荷検出手段と上記電源との間に
第１コンデンサを挿入することになる。これにより、第
１コンデンサにおける第３スイッチと接続されている側
の電極（以下、左側電極とする）は、電源電位となる。
ここで、上記電荷検出手段の入力部は基準電源に接続さ
れているので、入力部の電位は基準電位となる。これに
伴い、第１コンデンサにおける第４スイッチと接続され
ている側の電極（以下、右側電極とする）は、基準電位
となる。これにより、第１コンデンサのいずれの電極に
おいても、電源電位と基準電位との差に相当する電荷が
蓄積される。
１スイッチをオフにして、第２スイッチ、第４スイッチ
をオンにすると、上記電荷検出手段と上記電源との間に
第１コンデンサを挿入することになる。これにより、第
１コンデンサにおける第３スイッチと接続されている側
の電極（以下、左側電極とする）は、電源電位となる。
ここで、上記電荷検出手段の入力部は基準電源に接続さ
れているので、入力部の電位は基準電位となる。これに
伴い、第１コンデンサにおける第４スイッチと接続され
ている側の電極（以下、右側電極とする）は、基準電位
となる。これにより、第１コンデンサのいずれの電極に
おいても、電源電位と基準電位との差に相当する電荷が
蓄積される。
【００６２】つぎに、第２スイッチをオフにしてから、
第１１スイッチをオンにすると、第１コンデンサの左側
電極は、電源と切断されると共に、基準電源に接続され
るので、基準電位となる。ここで、第１コンデンサの右
側電極の電位は基準電位であるので、第１コンデンサに
蓄積されていた電荷は消滅する。これは、左側電極の電
荷が基準電源に吸収されると共に、右側電極の電荷が上
記電荷検出手段へ放出されるからである。これにより、
第１コンデンサに蓄積されている電荷を上記電荷検出手
段に供給することができる。このような切り替え動作を
行うことにより、通常モードと動作試験モードとの切り
替えおよび、上記電荷検出回路の入出力測定を容易に行
うことができる。
第１１スイッチをオンにすると、第１コンデンサの左側
電極は、電源と切断されると共に、基準電源に接続され
るので、基準電位となる。ここで、第１コンデンサの右
側電極の電位は基準電位であるので、第１コンデンサに
蓄積されていた電荷は消滅する。これは、左側電極の電
荷が基準電源に吸収されると共に、右側電極の電荷が上
記電荷検出手段へ放出されるからである。これにより、
第１コンデンサに蓄積されている電荷を上記電荷検出手
段に供給することができる。このような切り替え動作を
行うことにより、通常モードと動作試験モードとの切り
替えおよび、上記電荷検出回路の入出力測定を容易に行
うことができる。
【００６３】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、第１コンデンサ
は、並列に接続された複数のコンデンサの組み合わせで
あると共に、各コンデンサの容量は互いに異なり、切り
替え手段は、上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との
間に、少なくとも１つのコンデンサを選択的に挿入する
ことにより、選択されたコンデンサに電荷を蓄える状態
と、選択されたコンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷
検出回路に供給する状態とを切り替えるように構成され
ていることを特徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、第１コンデンサ
は、並列に接続された複数のコンデンサの組み合わせで
あると共に、各コンデンサの容量は互いに異なり、切り
替え手段は、上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との
間に、少なくとも１つのコンデンサを選択的に挿入する
ことにより、選択されたコンデンサに電荷を蓄える状態
と、選択されたコンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷
検出回路に供給する状態とを切り替えるように構成され
ていることを特徴とする。
【００６４】上記構成によれば、各コンデンサがそれぞ
れ異なる容量であるので、切り替え手段により、異なる
量の電荷を電荷注入手段に供給することができる。これ
により、例えば、電荷検出回路の出力側に増幅器が設け
られている場合、増幅器の倍率に合わせて適性量の電荷
を供給することができる。
れ異なる容量であるので、切り替え手段により、異なる
量の電荷を電荷注入手段に供給することができる。これ
により、例えば、電荷検出回路の出力側に増幅器が設け
られている場合、増幅器の倍率に合わせて適性量の電荷
を供給することができる。
【００６５】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、入力した電荷から電位を読み出して
上記電位と基準電位との差から電圧を出力する電荷検出
手段と、電荷を注入できる電荷注入手段とを備え、上記
電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデン
サを挿入することにより、第２コンデンサに電荷を蓄え
る状態と、第２コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷
検出手段に供給する状態と、電磁波から変換された電荷
を電荷検出回路の入力端子から上記電荷検出手段に供給
する状態とを切り替える切り替え手段を含んでいること
を特徴とする。
決するために、入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、入力した電荷から電位を読み出して
上記電位と基準電位との差から電圧を出力する電荷検出
手段と、電荷を注入できる電荷注入手段とを備え、上記
電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデン
サを挿入することにより、第２コンデンサに電荷を蓄え
る状態と、第２コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷
検出手段に供給する状態と、電磁波から変換された電荷
を電荷検出回路の入力端子から上記電荷検出手段に供給
する状態とを切り替える切り替え手段を含んでいること
を特徴とする。
【００６６】上記構成によれば、切り替え手段により、
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷注
入手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿
入する状態とを切り替えることができる。
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷注
入手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿
入する状態とを切り替えることができる。
【００６７】すなわち、通常モードでは、電磁波から変
換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入力
し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、こ
の電位と基準電位との差から電圧を出力する。
換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入力
し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、こ
の電位と基準電位との差から電圧を出力する。
【００６８】さらに、上記構成によれば、上記電荷注入
手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿入
する状態に切り替えることができる。これにより、電荷
検出回路内に備えられた電荷注入手段から第２コンデン
サに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第２
コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給
することにより、電荷検出手段は、電圧を出力すること
ができる。つまり、電荷検出回路内に備えられている第
２コンデンサと画像検出器に備えられる電荷注入手段を
用いることにより、電磁波を照射することなく、電荷検
出手段に電荷を注入することができる。これにより、簡
単に上記電荷検出回路の入出力特性の測定を行うことが
できる。言い換えれば、電荷注入手段と第２のコンデン
サとを利用することにより、電磁波を照射せず、簡単な
手順で上記入出力測定を行うことができる。
手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿入
する状態に切り替えることができる。これにより、電荷
検出回路内に備えられた電荷注入手段から第２コンデン
サに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第２
コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給
することにより、電荷検出手段は、電圧を出力すること
ができる。つまり、電荷検出回路内に備えられている第
２コンデンサと画像検出器に備えられる電荷注入手段を
用いることにより、電磁波を照射することなく、電荷検
出手段に電荷を注入することができる。これにより、簡
単に上記電荷検出回路の入出力特性の測定を行うことが
できる。言い換えれば、電荷注入手段と第２のコンデン
サとを利用することにより、電磁波を照射せず、簡単な
手順で上記入出力測定を行うことができる。
【００６９】なお、上記構成によれば、動作試験モード
で用いられる第１コンデンサが備えられていないが、簡
単な動作試験を行うことが可能である。すなわち、上記
構成によれば、第１コンデンサが備えられていないた
め、所定量の電圧波形を入力できず、出力波形の歪み率
等の詳細な動作確認をすることはできないものの、第２
コンデンサから電荷検出手段に電荷を供給し、電荷検出
手段が電圧を出力できれば、一応、回路が動作している
ことがわかるからである。
で用いられる第１コンデンサが備えられていないが、簡
単な動作試験を行うことが可能である。すなわち、上記
構成によれば、第１コンデンサが備えられていないた
め、所定量の電圧波形を入力できず、出力波形の歪み率
等の詳細な動作確認をすることはできないものの、第２
コンデンサから電荷検出手段に電荷を供給し、電荷検出
手段が電圧を出力できれば、一応、回路が動作している
ことがわかるからである。
【００７０】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が電
源であって、上記電荷検出手段の入力部が基準電源と接
続され、第２コンデンサにおける一方の電極は、上記入
力端子および上記電荷検出手段の入力部に接続され、第
２コンデンサにおける他方の電極が、第６スイッチによ
り電源に接続されると共に、第１２スイッチにより基準
電源に接続されるように切り替え手段が構成されている
ことを特徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が電
源であって、上記電荷検出手段の入力部が基準電源と接
続され、第２コンデンサにおける一方の電極は、上記入
力端子および上記電荷検出手段の入力部に接続され、第
２コンデンサにおける他方の電極が、第６スイッチによ
り電源に接続されると共に、第１２スイッチにより基準
電源に接続されるように切り替え手段が構成されている
ことを特徴とする。
【００７１】上記構成によれば、第６スイッチと第１２
スイッチとをオフにすることで、電磁波から変換された
電荷を上記入力端子から上記電荷検出回路に供給するこ
とができる（通常モード）。
スイッチとをオフにすることで、電磁波から変換された
電荷を上記入力端子から上記電荷検出回路に供給するこ
とができる（通常モード）。
【００７２】そして、第６スイッチをオンにして、第１
２スイッチをオフにすることで、上記電荷検出手段と上
記電源との間に第１コンデンサを挿入することになる。
これにより、第２コンデンサの他方の電極（以下、下側
電極とする）の電位は電源電位となる。
２スイッチをオフにすることで、上記電荷検出手段と上
記電源との間に第１コンデンサを挿入することになる。
これにより、第２コンデンサの他方の電極（以下、下側
電極とする）の電位は電源電位となる。
【００７３】さらに、電荷検出手段の入力部は、基準電
源に接続されるので、基準電位となる。また、第２コン
デンサの一方の電極（以下、上側電極とする）は、上記
電荷検出手段の他方の入力部と接続されているので、上
側電極の電位は基準電位になる。これにより、第２コン
デンサのいずれの電極においても、電源電位と基準電位
との差に相当する電荷が発生する。
源に接続されるので、基準電位となる。また、第２コン
デンサの一方の電極（以下、上側電極とする）は、上記
電荷検出手段の他方の入力部と接続されているので、上
側電極の電位は基準電位になる。これにより、第２コン
デンサのいずれの電極においても、電源電位と基準電位
との差に相当する電荷が発生する。
【００７４】つぎに、第６スイッチをオフにしてから、
第１２スイッチをオンにすると、第２コンデンサの下側
電極は、電源と切断されると同時に基準電源と接続され
るので、基準電位となる。ここで、第２コンデンサの上
側電極の電位は、基準電位であるので、第２コンデンサ
に蓄えられた電荷は消失になる。これは、第２コンデン
サの下側電極の電荷が基準電源に吸収されるのと同時
に、上側電極の電荷が上記電荷検出手段へ放出されるか
らである。すなわち、第２コンデンサから上記演算増幅
器に電荷を供給することになる。
第１２スイッチをオンにすると、第２コンデンサの下側
電極は、電源と切断されると同時に基準電源と接続され
るので、基準電位となる。ここで、第２コンデンサの上
側電極の電位は、基準電位であるので、第２コンデンサ
に蓄えられた電荷は消失になる。これは、第２コンデン
サの下側電極の電荷が基準電源に吸収されるのと同時
に、上側電極の電荷が上記電荷検出手段へ放出されるか
らである。すなわち、第２コンデンサから上記演算増幅
器に電荷を供給することになる。
【００７５】これにより、上記構成によれば、電磁波を
発生させることなく、電荷検出回路に電荷を供給するこ
とができる。このような切り替え動作を行うことによ
り、上記演算増幅器の入出力測定を容易に行うことがで
きる。
発生させることなく、電荷検出回路に電荷を供給するこ
とができる。このような切り替え動作を行うことによ
り、上記演算増幅器の入出力測定を容易に行うことがで
きる。
【００７６】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、入力した電荷から電位を読み出して
上記電位と基準電位との差から電圧を出力する電荷検出
手段と、電荷を注入できる電荷注入手段とを備え、上記
電荷検出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第
３コンデンサを挿入するとともに、上記入力端子から電
圧を印加して、第３コンデンサに電荷を蓄える状態と、
上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に、第４コ
ンデンサを挿入することにより、第４コンデンサに電荷
を蓄える状態と、第３コンデンサまたは第４コンデンサ
に蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給する状態
と、電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記
電荷検出手段に供給する状態とを切り替える切り替え手
段を含んでいることを特徴とする。
決するために、入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、入力した電荷から電位を読み出して
上記電位と基準電位との差から電圧を出力する電荷検出
手段と、電荷を注入できる電荷注入手段とを備え、上記
電荷検出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第
３コンデンサを挿入するとともに、上記入力端子から電
圧を印加して、第３コンデンサに電荷を蓄える状態と、
上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に、第４コ
ンデンサを挿入することにより、第４コンデンサに電荷
を蓄える状態と、第３コンデンサまたは第４コンデンサ
に蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給する状態
と、電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記
電荷検出手段に供給する状態とを切り替える切り替え手
段を含んでいることを特徴とする。
【００７７】上記構成によれば、切り替え手段により、
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷検
出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第３コン
デンサを挿入する状態（動作試験モード）とを切り替え
ることができる。
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷検
出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第３コン
デンサを挿入する状態（動作試験モード）とを切り替え
ることができる。
【００７８】すなわち、通常モードでは、電磁波から変
換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入力
し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、こ
の電位と基準電位との差から電圧を出力する。
換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入力
し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、こ
の電位と基準電位との差から電圧を出力する。
【００７９】一方、動作試験モードでは、上記電荷検出
回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第３コンデ
ンサを挿入し、上記入力端子から電圧を印加することで
第３コンデンサに電荷を蓄える。そして、第３コンデン
サに蓄えられた電荷を上記電荷検出回路に供給すること
により、電荷検出手段は、印加された電圧を出力でき
る。ここで、印加した電圧波形と出力した電圧波形とを
比較することにより、出力信号波形の歪み率等を測定
し、上記電荷検出回路が正常に動作しているか否かを試
験することができる。
回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第３コンデ
ンサを挿入し、上記入力端子から電圧を印加することで
第３コンデンサに電荷を蓄える。そして、第３コンデン
サに蓄えられた電荷を上記電荷検出回路に供給すること
により、電荷検出手段は、印加された電圧を出力でき
る。ここで、印加した電圧波形と出力した電圧波形とを
比較することにより、出力信号波形の歪み率等を測定
し、上記電荷検出回路が正常に動作しているか否かを試
験することができる。
【００８０】さらに、上記構成によれば、上記電荷注入
手段と上記電荷検出手段との間に第４コンデンサを挿入
する状態にも切り替えることができる。これにより、電
荷検出回路内に備えられた電荷注入手段から第４コンデ
ンサに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第
４コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供
給することにより、電荷検出手段は、電圧を出力するこ
とができる。つまり、画像検出器に備えられている電荷
注入手段を用いることにより、電磁波の照射や上記入力
端子から電圧を印加することなく、電荷検出手段に電荷
を注入することができる。これにより、簡単に上記電荷
検出回路の入出力特性の測定を行うことができる。ここ
で、上記構成によれば、動作試験用の第３コンデンサ
と、上記入出力測定用の第４コンデンサとを別々に構成
しているので、各コンデンサをそれぞれの用途に応じて
最適化することができる。
手段と上記電荷検出手段との間に第４コンデンサを挿入
する状態にも切り替えることができる。これにより、電
荷検出回路内に備えられた電荷注入手段から第４コンデ
ンサに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第
４コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供
給することにより、電荷検出手段は、電圧を出力するこ
とができる。つまり、画像検出器に備えられている電荷
注入手段を用いることにより、電磁波の照射や上記入力
端子から電圧を印加することなく、電荷検出手段に電荷
を注入することができる。これにより、簡単に上記電荷
検出回路の入出力特性の測定を行うことができる。ここ
で、上記構成によれば、動作試験用の第３コンデンサ
と、上記入出力測定用の第４コンデンサとを別々に構成
しているので、各コンデンサをそれぞれの用途に応じて
最適化することができる。
【００８１】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が電
源であって、上記演算増幅器の入力部が基準電源と接続
され、上記演算増幅器の入力部と電荷検出回路の入力端
子との間に、第８スイッチと第３コンデンサと第９スイ
ッチとが、上記入力端子側からこの順で直列に接続され
ると共に、第７スイッチが第３コンデンサと並列に接続
され、第４コンデンサにおける一方の電極は、電荷検出
回路の入力端子および電荷検出手段に接続され、第４コ
ンデンサにおける他方の電極が、第１０スイッチにより
上記電源に接続されると共に、第１３スイッチにより基
準電源に接続されるように切り替え手段が構成されてい
ることを特徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が電
源であって、上記演算増幅器の入力部が基準電源と接続
され、上記演算増幅器の入力部と電荷検出回路の入力端
子との間に、第８スイッチと第３コンデンサと第９スイ
ッチとが、上記入力端子側からこの順で直列に接続され
ると共に、第７スイッチが第３コンデンサと並列に接続
され、第４コンデンサにおける一方の電極は、電荷検出
回路の入力端子および電荷検出手段に接続され、第４コ
ンデンサにおける他方の電極が、第１０スイッチにより
上記電源に接続されると共に、第１３スイッチにより基
準電源に接続されるように切り替え手段が構成されてい
ることを特徴とする。
【００８２】上記構成によれば、第７スイッチをオン、
第８スイッチ、第９スイッチ、第１０スイッチ、第１３
スイッチをオフにすることで、電磁波から変換された電
荷を上記入力端子から上記電荷検出手段に供給する状態
（通常モード）を実現できる。
第８スイッチ、第９スイッチ、第１０スイッチ、第１３
スイッチをオフにすることで、電磁波から変換された電
荷を上記入力端子から上記電荷検出手段に供給する状態
（通常モード）を実現できる。
【００８３】つぎに、第７スイッチ、第９スイッチ、第
１０スイッチ、第１３スイッチをオフにして、第８スイ
ッチをオンにすると、上記入力端子と上記電荷検出手段
との間に第３コンデンサを挿入（動作試験モード）する
とともに、第３コンデンサに電荷を蓄積できる。さら
に、第８スイッチをオフにすると共に、第９スイッチを
オンにすることで、第３コンデンサに蓄積されている電
荷を上記電荷検出手段に供給することが可能となる。
１０スイッチ、第１３スイッチをオフにして、第８スイ
ッチをオンにすると、上記入力端子と上記電荷検出手段
との間に第３コンデンサを挿入（動作試験モード）する
とともに、第３コンデンサに電荷を蓄積できる。さら
に、第８スイッチをオフにすると共に、第９スイッチを
オンにすることで、第３コンデンサに蓄積されている電
荷を上記電荷検出手段に供給することが可能となる。
【００８４】そして、第１０スイッチをオンにして、第
７スイッチ、第８スイッチ、第９スイッチ、第１３スイ
ッチをオフにすることで、上記電荷検出手段と上記電源
との間に第４コンデンサを挿入することになる。これに
より第４コンデンサの他方の電極（以下、下側電極とす
る）の電位は電源電位となる。
７スイッチ、第８スイッチ、第９スイッチ、第１３スイ
ッチをオフにすることで、上記電荷検出手段と上記電源
との間に第４コンデンサを挿入することになる。これに
より第４コンデンサの他方の電極（以下、下側電極とす
る）の電位は電源電位となる。
【００８５】さらに、電荷検出手段の入力部は、基準電
源に接続されるので、基準電位となる。また、第４コン
デンサの一方の電極（以下、上側電極とする）は、上記
電荷検出手段の入力部と接続されているので、上側電極
の電位は基準電位になる。これにより、第４コンデンサ
のいずれの電極においても、電源電位と基準電位との差
に相当する電荷が発生する。
源に接続されるので、基準電位となる。また、第４コン
デンサの一方の電極（以下、上側電極とする）は、上記
電荷検出手段の入力部と接続されているので、上側電極
の電位は基準電位になる。これにより、第４コンデンサ
のいずれの電極においても、電源電位と基準電位との差
に相当する電荷が発生する。
【００８６】つぎに、第１０スイッチをオフにしてか
ら、第１３スイッチをオンにすると、第４コンデンサの
下側電極は、電源と切断されると同時に基準電源と接続
されるので、基準電位となる。ここで、第４コンデンサ
の上側電極の電位は、基準電位であるので、第４コンデ
ンサに蓄えられた電荷は消失になる。これは、第４コン
デンサの下側電極の電荷が基準電源に吸収されるのと同
時に、上側電極の電荷が上記電荷検出手段へ放出される
からである。すなわち、第４コンデンサから上記電荷検
出手段に電荷を供給することになる。
ら、第１３スイッチをオンにすると、第４コンデンサの
下側電極は、電源と切断されると同時に基準電源と接続
されるので、基準電位となる。ここで、第４コンデンサ
の上側電極の電位は、基準電位であるので、第４コンデ
ンサに蓄えられた電荷は消失になる。これは、第４コン
デンサの下側電極の電荷が基準電源に吸収されるのと同
時に、上側電極の電荷が上記電荷検出手段へ放出される
からである。すなわち、第４コンデンサから上記電荷検
出手段に電荷を供給することになる。
【００８７】これにより、上記構成によれば、電磁波を
発生させることなく、電荷検出手段に電荷を供給するこ
とができる。このような切り替え動作を行うことによ
り、上記演算増幅器の入出力測定を容易に行うことがで
きる。
発生させることなく、電荷検出手段に電荷を供給するこ
とができる。このような切り替え動作を行うことによ
り、上記演算増幅器の入出力測定を容易に行うことがで
きる。
【００８８】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が、
電荷検出回路を駆動する電源であることを特徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が、
電荷検出回路を駆動する電源であることを特徴とする。
【００８９】上記構成によれば、電荷検出回路を駆動す
るための電源を、前記入出力測定時の電荷注入手段とし
て、そのまま利用できるので、別個独自の電源を設ける
必要がない。したがって、余分な構成を付加する必要が
ない。
るための電源を、前記入出力測定時の電荷注入手段とし
て、そのまま利用できるので、別個独自の電源を設ける
必要がない。したがって、余分な構成を付加する必要が
ない。
【００９０】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が、
電荷検出回路を駆動する電源とは別個独立に設けられた
電源であることを特徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段が、
電荷検出回路を駆動する電源とは別個独立に設けられた
電源であることを特徴とする。
【００９１】上記構成によれば、電荷検出回路を駆動す
る電源とは別個独自に設けられた電源を電荷注入手段と
して利用する。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定することができる。
る電源とは別個独自に設けられた電源を電荷注入手段と
して利用する。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定することができる。
【００９２】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段から
出力した電圧のうち一定割合の電圧を取り出すことがで
きる分圧器が備えられていることを特徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、電荷注入手段から
出力した電圧のうち一定割合の電圧を取り出すことがで
きる分圧器が備えられていることを特徴とする。
【００９３】上記構成によれば、分圧器により、電荷注
入手段から出力した電圧のうち一定割合の電圧を取り出
すことができる。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定できる。
入手段から出力した電圧のうち一定割合の電圧を取り出
すことができる。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定できる。
【００９４】本発明の電荷検出回路は、上記の問題を解
決するために、上記の構成に加えて、電磁波はＸ線であ
ることを特徴とする。
決するために、上記の構成に加えて、電磁波はＸ線であ
ることを特徴とする。
【００９５】上記構成によれば、Ｘ線を発生させること
なく、電荷検出回路の入出力特性を測定することができ
る。したがって、被写体を撮影する目的以外で、人体に
有害な放射線を無駄に放出するという不都合を解消する
ことができる。
なく、電荷検出回路の入出力特性を測定することができ
る。したがって、被写体を撮影する目的以外で、人体に
有害な放射線を無駄に放出するという不都合を解消する
ことができる。
【００９６】本発明のＬＳＩは、上記の問題を解決する
ために、上記記載の電荷検出回路が複数集積して構成さ
れているＬＳＩであることを特徴とする。
ために、上記記載の電荷検出回路が複数集積して構成さ
れているＬＳＩであることを特徴とする。
【００９７】ＬＳＩの特性は、周囲の温度等の使用環境
や使用状況によって、微妙に変化する。したがって、電
荷検出回路が複数集積したＬＳＩの場合、なるべく頻繁
に入出力特性の測定を行い、頻繁に補正用データを作成
しなおす必要がある。
や使用状況によって、微妙に変化する。したがって、電
荷検出回路が複数集積したＬＳＩの場合、なるべく頻繁
に入出力特性の測定を行い、頻繁に補正用データを作成
しなおす必要がある。
【００９８】ここで、上記構成によれば、電磁波を発生
させることなく、上記切り替え手段による動作だけで、
入出力特性の測定を行うことが可能なので、無駄な作業
手間を省略できる。言い換えると、頻繁にＬＳＩの入出
力特性の測定を行うことが容易になる。
させることなく、上記切り替え手段による動作だけで、
入出力特性の測定を行うことが可能なので、無駄な作業
手間を省略できる。言い換えると、頻繁にＬＳＩの入出
力特性の測定を行うことが容易になる。
【００９９】
【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕本発明の実施の
一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通
りである。
一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通
りである。
【０１００】本発明の実施の一形態に係る電荷検出回路
は、例えば、Ｘ線撮像装置の画像センサ（画像検出器）
が検出した電荷をデジタル画像データとして出力するた
めの読み取り回路（画像処理用回路）に備えられてい
る。具体的に、この電荷検出回路は、上記画像センサが
検出した電荷を電位として読み出すことにより、信号電
圧を出力するための回路である。ここで、画像センサお
よび読み取り回路の概略構成については、従来技術の項
で説明したので省略し、ここでは、電荷検出回路の具体
的構成について説明する。
は、例えば、Ｘ線撮像装置の画像センサ（画像検出器）
が検出した電荷をデジタル画像データとして出力するた
めの読み取り回路（画像処理用回路）に備えられてい
る。具体的に、この電荷検出回路は、上記画像センサが
検出した電荷を電位として読み出すことにより、信号電
圧を出力するための回路である。ここで、画像センサお
よび読み取り回路の概略構成については、従来技術の項
で説明したので省略し、ここでは、電荷検出回路の具体
的構成について説明する。
【０１０１】図１０に示すように、本実施の形態に係る
電荷検出回路１ａは、上記読み取り回路の入力端子の直
近に備えられていて、試験回路（切り替え回路）２ａと
電荷検出増幅器（Charge Sensitive Amplifier，以下Ｃ
ＳＡとする，電荷検出手段，検出回路）３ａと電源（電
荷注入手段，第１試験電圧）Ｖccと基準電源Ｖrefとを
備える。
電荷検出回路１ａは、上記読み取り回路の入力端子の直
近に備えられていて、試験回路（切り替え回路）２ａと
電荷検出増幅器（Charge Sensitive Amplifier，以下Ｃ
ＳＡとする，電荷検出手段，検出回路）３ａと電源（電
荷注入手段，第１試験電圧）Ｖccと基準電源Ｖrefとを
備える。
【０１０２】ここで、試験回路２ａは、上記読み取り回
路について、動作試験（動作確認試験）を行うことので
きる回路であり、コンデンサＣt１（第１コンデン
サ）、スイッチ１（第１スイッチ，以下「スイッチをＳ
Ｗとする」）・ＳＷ２（第２スイッチ）・ＳＷ３（第３
スイッチ）・ＳＷ４（第４スイッチ）・ＳＷ１１（第１
１スイッチ）から構成される。この動作試験とは、上記
読み取り回路が正常に動作するか否かを確認するための
試験をいう。
路について、動作試験（動作確認試験）を行うことので
きる回路であり、コンデンサＣt１（第１コンデン
サ）、スイッチ１（第１スイッチ，以下「スイッチをＳ
Ｗとする」）・ＳＷ２（第２スイッチ）・ＳＷ３（第３
スイッチ）・ＳＷ４（第４スイッチ）・ＳＷ１１（第１
１スイッチ）から構成される。この動作試験とは、上記
読み取り回路が正常に動作するか否かを確認するための
試験をいう。
【０１０３】ＣＳＡ３ａは、信号電荷の電荷量を電位と
して読み取るための回路であり、演算増幅器４、帰還容
量５、リセットスイッチ６から構成される。ここで、基
準電源ＶrefをＧＮＤとするが、特にＧＮＤに限定され
るものではない。また、電源Ｖccは、上記読み取り回路
に負の電圧を供給するための電源である。
して読み取るための回路であり、演算増幅器４、帰還容
量５、リセットスイッチ６から構成される。ここで、基
準電源ＶrefをＧＮＤとするが、特にＧＮＤに限定され
るものではない。また、電源Ｖccは、上記読み取り回路
に負の電圧を供給するための電源である。
【０１０４】演算増幅器４の反転入力端子と出力端子と
は帰還容量５を介して接続されており、負帰還回路を構
成している。また、帰還容量５と並列にリセットスイッ
チ６が接続されていて、帰還容量５に蓄積された電荷を
放電してリセットすることができる。
は帰還容量５を介して接続されており、負帰還回路を構
成している。また、帰還容量５と並列にリセットスイッ
チ６が接続されていて、帰還容量５に蓄積された電荷を
放電してリセットすることができる。
【０１０５】コンデンサＣt１の一方の電極（以下、右
側電極とする）は、ＳＷ４により、演算増幅器４の反転
入力端子および帰還容量５と接続されている。また、コ
ンデンサＣt１の他方の電極（以下、左側電極とする）
は、ＳＷ３により、電荷検出回路１ａの入力端子に接続
される。さらに、コンデンサＣt１の左側電極とＳＷ３
との接続点は、ＳＷ１１を介して基準電源に接続されて
いると共に、ＳＷ２を介して電源Ｖccに接続される。ま
た、演算増幅器４および帰還容量５は、ＳＷ１により電
荷検出回路１ａの入力端子と接続されている。
側電極とする）は、ＳＷ４により、演算増幅器４の反転
入力端子および帰還容量５と接続されている。また、コ
ンデンサＣt１の他方の電極（以下、左側電極とする）
は、ＳＷ３により、電荷検出回路１ａの入力端子に接続
される。さらに、コンデンサＣt１の左側電極とＳＷ３
との接続点は、ＳＷ１１を介して基準電源に接続されて
いると共に、ＳＷ２を介して電源Ｖccに接続される。ま
た、演算増幅器４および帰還容量５は、ＳＷ１により電
荷検出回路１ａの入力端子と接続されている。
【０１０６】つぎに、試験回路２ａおよびＣＳＡ３ａの
動作について説明する。
動作について説明する。
【０１０７】上記Ｘ線撮像装置を通常態様で使用する場
合（被写体を撮影する場合）、すなわち、入射Ｘ線から
発生する電荷を検出するときは、ＳＷ１を閉（オン）、
ＳＷ３、ＳＷ４は開（オフ）にする。このようにするこ
とにより、上記読み取り回路の入力端子から入力した信
号電荷は、ＳＷ１を介して演算増幅器４の反転入力端子
へ入力する。なお、ＳＷ２、ＳＷ１１は、開にしておく
とコンデンサＣt１が浮いた状態になり外部からの影響
を受けやすく、信号電荷入力時に雑音電荷を生じさせる
場合がある。従って閉にしておくことが一般的に好まし
い。
合（被写体を撮影する場合）、すなわち、入射Ｘ線から
発生する電荷を検出するときは、ＳＷ１を閉（オン）、
ＳＷ３、ＳＷ４は開（オフ）にする。このようにするこ
とにより、上記読み取り回路の入力端子から入力した信
号電荷は、ＳＷ１を介して演算増幅器４の反転入力端子
へ入力する。なお、ＳＷ２、ＳＷ１１は、開にしておく
とコンデンサＣt１が浮いた状態になり外部からの影響
を受けやすく、信号電荷入力時に雑音電荷を生じさせる
場合がある。従って閉にしておくことが一般的に好まし
い。
【０１０８】さらに、上記読み取り回路について、動作
確認試験を行う場合（動作試験モード）は、まず、ＳＷ
１、ＳＷ２、ＳＷ４、ＳＷ１１を開にして、ＳＷ３を閉
にする。つぎに、上記読み取り回路の入力端子に、上記
読み取り回路の外部から電圧（第２試験電圧）を印加す
る。これにより、コンデンサＣt１に電荷を蓄積させる
ことが可能となる。さらに、ＳＷ３を開、ＳＷ４を閉に
することで、コンデンサＣt１に蓄積されている電荷を
ＣＳＡ３ａに供給することが可能となる。すなわち、Ｃ
ＳＡ３ａが反転増幅回路として機能し、上記読み取り回
路の入力端子から電圧を入力することによって、ＣＳＡ
３ａに電荷を供給できる。
確認試験を行う場合（動作試験モード）は、まず、ＳＷ
１、ＳＷ２、ＳＷ４、ＳＷ１１を開にして、ＳＷ３を閉
にする。つぎに、上記読み取り回路の入力端子に、上記
読み取り回路の外部から電圧（第２試験電圧）を印加す
る。これにより、コンデンサＣt１に電荷を蓄積させる
ことが可能となる。さらに、ＳＷ３を開、ＳＷ４を閉に
することで、コンデンサＣt１に蓄積されている電荷を
ＣＳＡ３ａに供給することが可能となる。すなわち、Ｃ
ＳＡ３ａが反転増幅回路として機能し、上記読み取り回
路の入力端子から電圧を入力することによって、ＣＳＡ
３ａに電荷を供給できる。
【０１０９】つぎに、ＣＳＡ３ａは、このようにして供
給された電荷から、信号電圧を出力することができる。
さらに、出力された信号電圧は、上記読み取り回路内の
図示しないサンプルホールド回路で標本化され、続いて
アナログデジタル変換器でデジタルデータに変換され
る。ここで、上記出力された信号電圧の周波数とサンプ
ルホールド回路の周期とを調整することで、アナログデ
ジタル変換器で変換されるデジタルデータを、電圧波形
の再現可能な出力データ列とすることができる。そし
て、上記読み取り回路に入力した電圧波形と出力データ
列から再現した電圧波形とを比較することにより、上記
読み取り回路の動作が正常であるか否かを確認すること
ができるとともに、増幅率、直線性、歪み率等の上記読
み取り回路の各特性についても測定することができる。
給された電荷から、信号電圧を出力することができる。
さらに、出力された信号電圧は、上記読み取り回路内の
図示しないサンプルホールド回路で標本化され、続いて
アナログデジタル変換器でデジタルデータに変換され
る。ここで、上記出力された信号電圧の周波数とサンプ
ルホールド回路の周期とを調整することで、アナログデ
ジタル変換器で変換されるデジタルデータを、電圧波形
の再現可能な出力データ列とすることができる。そし
て、上記読み取り回路に入力した電圧波形と出力データ
列から再現した電圧波形とを比較することにより、上記
読み取り回路の動作が正常であるか否かを確認すること
ができるとともに、増幅率、直線性、歪み率等の上記読
み取り回路の各特性についても測定することができる。
【０１１０】つぎに、本実施の形態の特徴点である入出
力特性の測定（上記読み取り回路の入出力端子における
増幅率の特性測定，試験モード）について説明する。こ
の入出力特性の測定は以下のように行う。まず、ＳＷ
１、ＳＷ３、ＳＷ１１を開にして、ＳＷ２、ＳＷ４を閉
にする。これにより、コンデンサＣt１の左側電極と電
源Ｖccとが接続されるので、コンデンサＣt１の左側電
極の電位はＶccとなる。
力特性の測定（上記読み取り回路の入出力端子における
増幅率の特性測定，試験モード）について説明する。こ
の入出力特性の測定は以下のように行う。まず、ＳＷ
１、ＳＷ３、ＳＷ１１を開にして、ＳＷ２、ＳＷ４を閉
にする。これにより、コンデンサＣt１の左側電極と電
源Ｖccとが接続されるので、コンデンサＣt１の左側電
極の電位はＶccとなる。
【０１１１】一方、ＣＳＡ３ａにおける演算増幅器４の
非反転入力端子は、基準電源Ｖrefに接続されるので、
上記非反転入力端子に基準電位Ｖrefが印加される。さ
らに、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転入力端
子の入力も基準電位Ｖrefとなる。したがって、コンデ
ンサＣt１の右側電極の電位は基準電位Ｖrefになる。こ
こで、右側電極には、＋Ｑｔ＝（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ
［Ｃ］の電荷が発生する。一方、左側電極には、−Ｑｔ
＝−（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。
非反転入力端子は、基準電源Ｖrefに接続されるので、
上記非反転入力端子に基準電位Ｖrefが印加される。さ
らに、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転入力端
子の入力も基準電位Ｖrefとなる。したがって、コンデ
ンサＣt１の右側電極の電位は基準電位Ｖrefになる。こ
こで、右側電極には、＋Ｑｔ＝（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ
［Ｃ］の電荷が発生する。一方、左側電極には、−Ｑｔ
＝−（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。
【０１１２】つぎに、ＳＷ２を開にしてからＳＷ１１を
閉にすると、左側電極は電源Ｖccと切断されると同時に
基準電源Ｖrefと接続されるので、左側電極の電位は基
準電位Ｖrefとなる。ここで、右側電極の電位は基準電
位Ｖrefであるので、コンデンサＣt１に充電されていた
電荷は０になる。これは、左側電極の電荷が基準電源Ｖ
refに吸収される（あるいは、＋Ｑｔの電荷が基準電源
Ｖrefから左側電極へ注入される）のと同時に、右側電
極の電荷がＣＳＡ３ａの帰還容量５へ集められる。すな
わち、電荷検出回路１ａは、＋Ｑｔ［Ｃ］の電荷をＣＳ
Ａ３ａへ注入する回路として動作することがわかる。
閉にすると、左側電極は電源Ｖccと切断されると同時に
基準電源Ｖrefと接続されるので、左側電極の電位は基
準電位Ｖrefとなる。ここで、右側電極の電位は基準電
位Ｖrefであるので、コンデンサＣt１に充電されていた
電荷は０になる。これは、左側電極の電荷が基準電源Ｖ
refに吸収される（あるいは、＋Ｑｔの電荷が基準電源
Ｖrefから左側電極へ注入される）のと同時に、右側電
極の電荷がＣＳＡ３ａの帰還容量５へ集められる。すな
わち、電荷検出回路１ａは、＋Ｑｔ［Ｃ］の電荷をＣＳ
Ａ３ａへ注入する回路として動作することがわかる。
【０１１３】したがって、電源Ｖccから試験回路２ａを
介してＣＳＡ３ａへ電荷を供給することができるので、
上記読み取り回路の入出力特性を測定することが可能に
なる。これにより、本実施の形態の電荷検出回路１ａを
用いた上記読み取り回路をＸ線撮像装置に用いた場合、
実際にＸ線を照射したり、上記読み取り回路の入力端子
から電圧を印加しなくても、ＣＳＡ３ａに電荷を供給し
て、読み取り回路の入出力特性を測定することが可能と
なる。そのため、頻繁に補正用データを更新することが
できるため、従来に比べてより最適化した状態でＸ線撮
像装置を作動でき、より高精度の画像を再現することが
可能となる。
介してＣＳＡ３ａへ電荷を供給することができるので、
上記読み取り回路の入出力特性を測定することが可能に
なる。これにより、本実施の形態の電荷検出回路１ａを
用いた上記読み取り回路をＸ線撮像装置に用いた場合、
実際にＸ線を照射したり、上記読み取り回路の入力端子
から電圧を印加しなくても、ＣＳＡ３ａに電荷を供給し
て、読み取り回路の入出力特性を測定することが可能と
なる。そのため、頻繁に補正用データを更新することが
できるため、従来に比べてより最適化した状態でＸ線撮
像装置を作動でき、より高精度の画像を再現することが
可能となる。
【０１１４】また、通常、上記読み取り回路は、画像セ
ンサにおいてマトリクス状に配列された画素の各列ごと
に設けられていて、複数の読み取り回路が多数集積して
ＬＳＩ（Large Scale Integrated Circuit,大規模集積
回路）を構成している。ここで、ＬＳＩの特性は、周囲
の温度等の使用環境や使用状況によって微妙に変化す
る。また、その特性は経時的に変化しうる。したがっ
て、ＬＳＩにあっては、なるべく頻繁に入出力特性を測
定して補正用データを更新することが望ましい。ここ
で、本実施の形態に係る電荷検出回路１ａを用いた読み
取り回路では、頻繁に補正用データを作成する場合であ
っても、Ｘ線を照射する必要がないので、作業の簡略化
が可能となる。
ンサにおいてマトリクス状に配列された画素の各列ごと
に設けられていて、複数の読み取り回路が多数集積して
ＬＳＩ（Large Scale Integrated Circuit,大規模集積
回路）を構成している。ここで、ＬＳＩの特性は、周囲
の温度等の使用環境や使用状況によって微妙に変化す
る。また、その特性は経時的に変化しうる。したがっ
て、ＬＳＩにあっては、なるべく頻繁に入出力特性を測
定して補正用データを更新することが望ましい。ここ
で、本実施の形態に係る電荷検出回路１ａを用いた読み
取り回路では、頻繁に補正用データを作成する場合であ
っても、Ｘ線を照射する必要がないので、作業の簡略化
が可能となる。
【０１１５】なお、上記した電荷検出回路１ａでは、Ｓ
Ｗ２を介して接続する電源として、上記読み取り回路を
駆動する正負両電源のうち負電源Ｖccを用いたものであ
るが、正電源Ｖdd（電荷注入手段，第１試験電圧）であ
っても構わない。ＳＷ４を介して接続する電源として正
電源Ｖddを用いた場合の電荷検出回路１ｂを図１１に示
す。この場合、電荷検出回路１は、−Ｑｔ［Ｃ］の電荷
をＣＳＡ３ｂへ注入する回路として動作する。
Ｗ２を介して接続する電源として、上記読み取り回路を
駆動する正負両電源のうち負電源Ｖccを用いたものであ
るが、正電源Ｖdd（電荷注入手段，第１試験電圧）であ
っても構わない。ＳＷ４を介して接続する電源として正
電源Ｖddを用いた場合の電荷検出回路１ｂを図１１に示
す。この場合、電荷検出回路１は、−Ｑｔ［Ｃ］の電荷
をＣＳＡ３ｂへ注入する回路として動作する。
【０１１６】また、上記読み取り回路が正電源Ｖddと負
電源Ｖccとで駆動する場合に限られず、上記読み取り回
路が単電源駆動の場合であっても本実施の形態の電荷検
出回路を構成することは可能である。この場合の電荷検
出回路１ｃを図１２に示す。同図においては、上記読み
取り回路を正電源Ｖddの単電源駆動とする一方、基準電
源Ｖrefとして、ＧＮＤと正電源Ｖddとの間の電位を供
給するように構成したものである。すなわち、図１２に
示す電荷検出回路１ｃにおいては、基準電源ＶrefはＧ
ＮＤでない。また、この場合、基準電源ＶrefとしてＶd
d／２の電圧電位を出力するものが用いられる場合が多
い。なお、この場合の電荷検出回路１ｃは、図１０の電
荷検出回路１ａとほぼ同様の構成であるが、負電源Ｖcc
は用いられず、ＳＷ２を介してコンデンサＣt１とＧＮ
Ｄ（電荷注入手段，第１試験電圧）とが接続されてい
る。また、この場合の電荷検出回路１は、ＳＷ２、ＳＷ
４を閉にすると、コンデンサＣt１の右側電極には、＋
Ｑｔ＝Ｖref×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。一方、左
側電極には、−Ｑｔ＝−Ｖref×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発
生する。
電源Ｖccとで駆動する場合に限られず、上記読み取り回
路が単電源駆動の場合であっても本実施の形態の電荷検
出回路を構成することは可能である。この場合の電荷検
出回路１ｃを図１２に示す。同図においては、上記読み
取り回路を正電源Ｖddの単電源駆動とする一方、基準電
源Ｖrefとして、ＧＮＤと正電源Ｖddとの間の電位を供
給するように構成したものである。すなわち、図１２に
示す電荷検出回路１ｃにおいては、基準電源ＶrefはＧ
ＮＤでない。また、この場合、基準電源ＶrefとしてＶd
d／２の電圧電位を出力するものが用いられる場合が多
い。なお、この場合の電荷検出回路１ｃは、図１０の電
荷検出回路１ａとほぼ同様の構成であるが、負電源Ｖcc
は用いられず、ＳＷ２を介してコンデンサＣt１とＧＮ
Ｄ（電荷注入手段，第１試験電圧）とが接続されてい
る。また、この場合の電荷検出回路１は、ＳＷ２、ＳＷ
４を閉にすると、コンデンサＣt１の右側電極には、＋
Ｑｔ＝Ｖref×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。一方、左
側電極には、−Ｑｔ＝−Ｖref×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発
生する。
【０１１７】さらに、電荷検出回路は、例えば、図１３
に示す電荷検出回路１ｄのように変形することも可能で
ある。図１０の電荷検出回路１ａでは、ＳＷ３とコンデ
ンサＣt１との間に電源Ｖccおよび基準電源Ｖrefが接続
されているが、図１３の電荷検出回路１ｄでは、ＳＷ１
４と電荷検出回路１ｄの入力端子との間に電源Ｖccおよ
び基準電源Ｖrefが接続され、電源Ｖccと演算増幅器４
との間に、ＳＷ１７、ＳＷ１４、コンデンサＣt５、Ｓ
Ｗ１５が直列に接続されている構成である。なお、この
回路により入出力特性の測定を行う場合の動作は、以下
の通りである。
に示す電荷検出回路１ｄのように変形することも可能で
ある。図１０の電荷検出回路１ａでは、ＳＷ３とコンデ
ンサＣt１との間に電源Ｖccおよび基準電源Ｖrefが接続
されているが、図１３の電荷検出回路１ｄでは、ＳＷ１
４と電荷検出回路１ｄの入力端子との間に電源Ｖccおよ
び基準電源Ｖrefが接続され、電源Ｖccと演算増幅器４
との間に、ＳＷ１７、ＳＷ１４、コンデンサＣt５、Ｓ
Ｗ１５が直列に接続されている構成である。なお、この
回路により入出力特性の測定を行う場合の動作は、以下
の通りである。
【０１１８】まず、ＳＷ１４、ＳＷ１５、ＳＷ１７を閉
にして、ＳＷ１６、ＳＷ１８を開にする。これにより、
コンデンサＣt５の左側電極と電源Ｖccとが接続される
ので、左側電極の電位はＶccとなる。
にして、ＳＷ１６、ＳＷ１８を開にする。これにより、
コンデンサＣt５の左側電極と電源Ｖccとが接続される
ので、左側電極の電位はＶccとなる。
【０１１９】一方、ＣＳＡ３ｄにおける演算増幅器４の
非反転入力端子は、基準電源Ｖrefに接続されるので、
上記非反転入力端子に基準電位Ｖrefが印加される。さ
らに、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転入力端
子の入力も基準電位Ｖrefとなる。したがって、コンデ
ンサＣt５の右側電極の電位は基準電位Ｖrefになる。そ
して、右側電極には、Ｑｔ＝（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ
［Ｃ］の電荷が発生する。一方、左側電極には、−Ｑｔ
＝−（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。
非反転入力端子は、基準電源Ｖrefに接続されるので、
上記非反転入力端子に基準電位Ｖrefが印加される。さ
らに、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転入力端
子の入力も基準電位Ｖrefとなる。したがって、コンデ
ンサＣt５の右側電極の電位は基準電位Ｖrefになる。そ
して、右側電極には、Ｑｔ＝（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ
［Ｃ］の電荷が発生する。一方、左側電極には、−Ｑｔ
＝−（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。
【０１２０】つぎに、ＳＷ１７を開にしてから、ＳＷ１
８を閉にすると、左側電極は電源Ｖccから切断されると
同時に基準電源Ｖrefと接続されるので、左側電極の電
位は基準電位Ｖrefとなる。ここで、コンデンサＣt１の
右側電極の電位は基準電位Ｖrefであるので、コンデン
サＣt１に充電されていた電荷は０になる。これは、左
側電極の電荷が基準電源Ｖrefに吸収される（あるい
は、＋Ｑｔの電荷が基準電源Ｖrefから左側電極へ注入
される）のと同時に、右側電極の電荷が、ＣＳＡ３ｄの
帰還容量５に集められるからである。すなわち、電荷検
出回路１ｄが、＋Ｑｔ［Ｃ］の電荷をＣＳＡ３ｄへ注入
する回路として動作することがわかる。
８を閉にすると、左側電極は電源Ｖccから切断されると
同時に基準電源Ｖrefと接続されるので、左側電極の電
位は基準電位Ｖrefとなる。ここで、コンデンサＣt１の
右側電極の電位は基準電位Ｖrefであるので、コンデン
サＣt１に充電されていた電荷は０になる。これは、左
側電極の電荷が基準電源Ｖrefに吸収される（あるい
は、＋Ｑｔの電荷が基準電源Ｖrefから左側電極へ注入
される）のと同時に、右側電極の電荷が、ＣＳＡ３ｄの
帰還容量５に集められるからである。すなわち、電荷検
出回路１ｄが、＋Ｑｔ［Ｃ］の電荷をＣＳＡ３ｄへ注入
する回路として動作することがわかる。
【０１２１】〔実施の形態２〕本発明は、実施の形態１
における電荷検出回路に限定されるものではなく、他の
構成の電荷検出回路を用いることも可能である。そこ
で、本実施の形態では、実施の形態１における電荷検出
回路以外の電荷検出回路について図１４、図１５に基づ
いて説明する。なお、本実施の形態では、実施の形態１
と異なる部分のみを説明し、実施の形態１で用いた部材
と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付記
し、その説明を省略する。
における電荷検出回路に限定されるものではなく、他の
構成の電荷検出回路を用いることも可能である。そこ
で、本実施の形態では、実施の形態１における電荷検出
回路以外の電荷検出回路について図１４、図１５に基づ
いて説明する。なお、本実施の形態では、実施の形態１
と異なる部分のみを説明し、実施の形態１で用いた部材
と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付記
し、その説明を省略する。
【０１２２】実施の形態１では、電荷検出回路は、前記
読み取り回路を駆動するための電源Ｖccまたは電源Ｖdd
から電荷を電荷検出回路に取り込むように構成されたも
のである。しかし、本実施の形態の電荷検出回路１ｅ
は、図１４に示すように上記読み取り回路を駆動するた
めの電源と別の電源Ｖq（電荷注入手段，第１試験電
圧）を用いている。なお、電源としては上記読み取り回
路の外部に別個独自の電源を設け、該電源から電荷を供
給してもよく、読み取り回路内部において電源Ｖccまた
は電源Ｖddから分圧回路（分圧器）等を用いて別個独自
の電圧を発生させたものでもよい。
読み取り回路を駆動するための電源Ｖccまたは電源Ｖdd
から電荷を電荷検出回路に取り込むように構成されたも
のである。しかし、本実施の形態の電荷検出回路１ｅ
は、図１４に示すように上記読み取り回路を駆動するた
めの電源と別の電源Ｖq（電荷注入手段，第１試験電
圧）を用いている。なお、電源としては上記読み取り回
路の外部に別個独自の電源を設け、該電源から電荷を供
給してもよく、読み取り回路内部において電源Ｖccまた
は電源Ｖddから分圧回路（分圧器）等を用いて別個独自
の電圧を発生させたものでもよい。
【０１２３】ここで、分圧回路の例を図１５に示す。分
圧回路７は、抵抗分圧８で基準電源Ｖrefと電源Ｖccと
の間の電圧を分圧し、ボルテジフォロア接続の演算増幅
器９を介して電荷検出回路１ｅに電荷を供給する。ここ
で、分圧回路７では、抵抗分圧８および演算増幅器９の
作用により、電荷検出回路１ｅに印加する電圧を調整で
きる。これにより、電源Ｖqとしての分圧回路７は、上
記読み取り回路の入力端子に応じた電圧を電荷検出回路
１ｅに供給することができる。また、上述したように電
源Ｖqとして上記読み取り回路の外部に独立の電源を設
ける構成としてもよい。この場合、上記読み取り回路に
電圧を供給するための電源とは、別個独立の電源を供給
するので、注入される電荷量およびその正負の極性を調
整した電荷を供給できる。
圧回路７は、抵抗分圧８で基準電源Ｖrefと電源Ｖccと
の間の電圧を分圧し、ボルテジフォロア接続の演算増幅
器９を介して電荷検出回路１ｅに電荷を供給する。ここ
で、分圧回路７では、抵抗分圧８および演算増幅器９の
作用により、電荷検出回路１ｅに印加する電圧を調整で
きる。これにより、電源Ｖqとしての分圧回路７は、上
記読み取り回路の入力端子に応じた電圧を電荷検出回路
１ｅに供給することができる。また、上述したように電
源Ｖqとして上記読み取り回路の外部に独立の電源を設
ける構成としてもよい。この場合、上記読み取り回路に
電圧を供給するための電源とは、別個独立の電源を供給
するので、注入される電荷量およびその正負の極性を調
整した電荷を供給できる。
【０１２４】なお、上記読み取り回路は、ＣＳＡ３ｅか
ら出力した電圧をメインアンプで増幅される構成とする
ことも可能である。ここで、メインアンプの増幅率が高
倍率のとき、メインアンプからの出力が飽和しない範囲
で上記読み取り回路の入出力特性を測定する必要があ
る。この場合、図１４に示す電荷検出回路１ｅは、メイ
ンアンプの倍率に応じて最適な電荷を供給して測定の精
度を向上させることができる。したがって、高倍率のメ
インアンプが用いられる上記読み取り回路において、メ
インアンプの出力が飽和しない範囲の電荷を供給するた
めに電荷検出回路１ｅは、特に有効である。
ら出力した電圧をメインアンプで増幅される構成とする
ことも可能である。ここで、メインアンプの増幅率が高
倍率のとき、メインアンプからの出力が飽和しない範囲
で上記読み取り回路の入出力特性を測定する必要があ
る。この場合、図１４に示す電荷検出回路１ｅは、メイ
ンアンプの倍率に応じて最適な電荷を供給して測定の精
度を向上させることができる。したがって、高倍率のメ
インアンプが用いられる上記読み取り回路において、メ
インアンプの出力が飽和しない範囲の電荷を供給するた
めに電荷検出回路１ｅは、特に有効である。
【０１２５】〔実施の形態３〕本発明は、実施の形態
１、２における電荷検出回路に限定されるものではな
く、他の構成の電荷検出回路を用いることも可能であ
る。そこで、本実施の形態では、実施の形態１、２にお
ける電荷検出回路以外の電荷検出回路について図１６に
基づいて説明する。なお、本実施の形態では、実施の形
態１、２と異なる部分のみを説明し、実施の形態１、２
で用いた部材と同一の機能を有する部材には同一の部材
番号を付記し、その説明を省略する。
１、２における電荷検出回路に限定されるものではな
く、他の構成の電荷検出回路を用いることも可能であ
る。そこで、本実施の形態では、実施の形態１、２にお
ける電荷検出回路以外の電荷検出回路について図１６に
基づいて説明する。なお、本実施の形態では、実施の形
態１、２と異なる部分のみを説明し、実施の形態１、２
で用いた部材と同一の機能を有する部材には同一の部材
番号を付記し、その説明を省略する。
【０１２６】本実施の形態の電荷検出回路１ｆは、図１
６に示すように、容量の異なる複数のコンデンサを並列
に備えることにする。なお、図１６では、説明の便宜の
ため、２つのコンデンサを並列に備えた構成としている
が、コンデンサの数は複数であればいくつでも構わな
い。
６に示すように、容量の異なる複数のコンデンサを並列
に備えることにする。なお、図１６では、説明の便宜の
ため、２つのコンデンサを並列に備えた構成としている
が、コンデンサの数は複数であればいくつでも構わな
い。
【０１２７】図１６の電荷検出回路１ｆは、コンデンサ
Ｃt１a（第１コンデンサ）と並列にコンデンサＣt１ｂ
（第１コンデンサ）とが設けられている。コンデンサＣ
t１aの左側電極（電荷検出回路の入力端子側の電極）
は、ＳＷ１９、ＳＷ２５を介して基準電源Ｖrefに接続
されていると共に、ＳＷ１９、ＳＷ２４を介して電源Ｖ
ccに接続されている。また、コンデンサＣt１aの右側電
極は、ＳＷ２０を介してＣＳＡ３ｆの演算増幅器４の反
転入力端子と帰還容量５とに接続される。
Ｃt１a（第１コンデンサ）と並列にコンデンサＣt１ｂ
（第１コンデンサ）とが設けられている。コンデンサＣ
t１aの左側電極（電荷検出回路の入力端子側の電極）
は、ＳＷ１９、ＳＷ２５を介して基準電源Ｖrefに接続
されていると共に、ＳＷ１９、ＳＷ２４を介して電源Ｖ
ccに接続されている。また、コンデンサＣt１aの右側電
極は、ＳＷ２０を介してＣＳＡ３ｆの演算増幅器４の反
転入力端子と帰還容量５とに接続される。
【０１２８】また、コンデンサＣt１bの左側電極（ＣＳ
Ａ３側の電極）はＳＷ２１、ＳＷ２５を介して基準電源
Ｖrefに接続されるとともに、ＳＷ２１、ＳＷ２４を介
して電源Ｖccに接続されている。また、コンデンサＣt
１bの右側電極は、ＳＷ２２を介してＣＳＡ３ｆの演算
増幅器４の反転入力端子と帰還容量５とに接続される。
なお、コンデンサＣt１aの容量はＣＳＡ３の帰還容量５
（Ｃｆ）の２分の１（Ｃt1a＝Ｃｆ／２）とし、コンデ
ンサＣt１bの容量は帰還容量５の１０分の１（Ｃt1b＝
Ｃｆ／１０）とする。また、電荷検出回路１ｆの入力端
子はＳＷ２３を介して演算増幅器４の反転入力端子４と
帰還容量５とに接続されている。さらに、電荷検出回路
１ｆの入力端子は、ＳＷ２１を介してコンデンサＣt１b
の左側電極に接続されている。また、電荷検出回路１ｆ
の入力端子は、ＳＷ１９を介してコンデンサＣt１aの左
側電極に接続されている。
Ａ３側の電極）はＳＷ２１、ＳＷ２５を介して基準電源
Ｖrefに接続されるとともに、ＳＷ２１、ＳＷ２４を介
して電源Ｖccに接続されている。また、コンデンサＣt
１bの右側電極は、ＳＷ２２を介してＣＳＡ３ｆの演算
増幅器４の反転入力端子と帰還容量５とに接続される。
なお、コンデンサＣt１aの容量はＣＳＡ３の帰還容量５
（Ｃｆ）の２分の１（Ｃt1a＝Ｃｆ／２）とし、コンデ
ンサＣt１bの容量は帰還容量５の１０分の１（Ｃt1b＝
Ｃｆ／１０）とする。また、電荷検出回路１ｆの入力端
子はＳＷ２３を介して演算増幅器４の反転入力端子４と
帰還容量５とに接続されている。さらに、電荷検出回路
１ｆの入力端子は、ＳＷ２１を介してコンデンサＣt１b
の左側電極に接続されている。また、電荷検出回路１ｆ
の入力端子は、ＳＷ１９を介してコンデンサＣt１aの左
側電極に接続されている。
【０１２９】ここで、電荷検出回路１ｆについて入出力
特性の測定をする場合の手順を説明する。まず、ＳＷ２
４を閉にするとともに、ＳＷ１９またはＳＷ２１のいず
れかを閉にすると、閉にしたスイッチ側のコンデンサＣ
t１aまたはコンデンサＣt１bの左側電極の電位はＶccと
なる。一方、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転
入力端子の電位は基準電位Ｖrefとなっているので、Ｓ
Ｗ２０またはＳＷ２２のいずれかを閉にすると、閉にし
た側のコンデンサＣt１aまたはコンデンサＣt１bの右側
電極の電位は基準電位Ｖrefとなる。
特性の測定をする場合の手順を説明する。まず、ＳＷ２
４を閉にするとともに、ＳＷ１９またはＳＷ２１のいず
れかを閉にすると、閉にしたスイッチ側のコンデンサＣ
t１aまたはコンデンサＣt１bの左側電極の電位はＶccと
なる。一方、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転
入力端子の電位は基準電位Ｖrefとなっているので、Ｓ
Ｗ２０またはＳＷ２２のいずれかを閉にすると、閉にし
た側のコンデンサＣt１aまたはコンデンサＣt１bの右側
電極の電位は基準電位Ｖrefとなる。
【０１３０】つぎに、ＳＷ２５を開にしてから、ＳＷ２
４を閉にすると、コンデンサＣt１aまたはコンデンサＣ
t１bのいずれか一方から、それぞれの容量に相当する電
荷をＣＳＡ３ｆへ注入される。
４を閉にすると、コンデンサＣt１aまたはコンデンサＣ
t１bのいずれか一方から、それぞれの容量に相当する電
荷をＣＳＡ３ｆへ注入される。
【０１３１】このように、電荷検出回路１ｆでは、ＳＷ
２０とＳＷ２２およびＳＷ１９とＳＷ２１を選択的に作
動させることで、容量の異なる電荷をＣＳＡ３ｆへ供給
できる。すなわち、コンデンサＣt１bから電荷を供給す
る場合は、コンデンサＣt１aから電荷を供給するときの
１／５の電荷を供給することが可能である。これによ
り、上記読み取り回路が、ＣＳＡ３ｆから出力した電圧
をメインアンプで増幅させる構成としている場合、上記
メインアンプの増幅率に適した電荷供給を選択的に行う
ことができる。なお、ここで挙げたコンデンサＣt１a、
コンデンサＣt１b、帰還容量５の容量の比率は一例であ
り、メインアンプの増幅率やＳＷ２４に接続する電源Ｖ
cc、また上記読み取り回路の出力電圧範囲等により適宜
決定すればよい。勿論、コンデンサの数を３以上にする
ことも可能である。また、コンデンサＣt１aとコンデン
サＣt１bとを同時に使用することも可能である。（コン
デンサＣt１aとコンデンサＣt１bとが並列接続の形にな
る） 〔実施の形態４〕本発明は、実施の形態１〜３における
電荷検出回路に限定されるものではなく、他の構成の電
荷検出回路を用いることも可能である。そこで、本実施
の形態では、実施の形態１〜３における電荷検出回路以
外の電荷検出回路について図１７、図１８に基づいて説
明する。なお、本実施の形態では、実施の形態１〜３と
異なる部分のみを説明し、実施の形態１〜３で用いた部
材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付記
し、その説明を省略する。
２０とＳＷ２２およびＳＷ１９とＳＷ２１を選択的に作
動させることで、容量の異なる電荷をＣＳＡ３ｆへ供給
できる。すなわち、コンデンサＣt１bから電荷を供給す
る場合は、コンデンサＣt１aから電荷を供給するときの
１／５の電荷を供給することが可能である。これによ
り、上記読み取り回路が、ＣＳＡ３ｆから出力した電圧
をメインアンプで増幅させる構成としている場合、上記
メインアンプの増幅率に適した電荷供給を選択的に行う
ことができる。なお、ここで挙げたコンデンサＣt１a、
コンデンサＣt１b、帰還容量５の容量の比率は一例であ
り、メインアンプの増幅率やＳＷ２４に接続する電源Ｖ
cc、また上記読み取り回路の出力電圧範囲等により適宜
決定すればよい。勿論、コンデンサの数を３以上にする
ことも可能である。また、コンデンサＣt１aとコンデン
サＣt１bとを同時に使用することも可能である。（コン
デンサＣt１aとコンデンサＣt１bとが並列接続の形にな
る） 〔実施の形態４〕本発明は、実施の形態１〜３における
電荷検出回路に限定されるものではなく、他の構成の電
荷検出回路を用いることも可能である。そこで、本実施
の形態では、実施の形態１〜３における電荷検出回路以
外の電荷検出回路について図１７、図１８に基づいて説
明する。なお、本実施の形態では、実施の形態１〜３と
異なる部分のみを説明し、実施の形態１〜３で用いた部
材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付記
し、その説明を省略する。
【０１３２】本実施の形態の電荷検出回路１ｇは、図１
７に示すように、演算増幅器４の反転入力端子および帰
還容量５は、ＳＷ５（第５スイッチ）を介して、電荷検
出回路回路１ｇの入力端子と接続されている。また、コ
ンデンサＣt２（第２コンデンサ）の一方の電極（上側
電極）が、ＳＷ５と演算増幅器４の反転入力端子とを結
ぶ線路に接続されている。コンデンサＣt２の他方の電
極（下側電極）は、ＳＷ１２（第１２スイッチ）を介し
て基準電源Ｖrefに接続されると共にＳＷ６（第６スイ
ッチ）を介して電源に接続されている。
７に示すように、演算増幅器４の反転入力端子および帰
還容量５は、ＳＷ５（第５スイッチ）を介して、電荷検
出回路回路１ｇの入力端子と接続されている。また、コ
ンデンサＣt２（第２コンデンサ）の一方の電極（上側
電極）が、ＳＷ５と演算増幅器４の反転入力端子とを結
ぶ線路に接続されている。コンデンサＣt２の他方の電
極（下側電極）は、ＳＷ１２（第１２スイッチ）を介し
て基準電源Ｖrefに接続されると共にＳＷ６（第６スイ
ッチ）を介して電源に接続されている。
【０１３３】電荷検出回路１ｇをこのような構成にする
ことで、動作試験用に回路を構成することなく、上記読
み取り回路の入出力測定を行うことができると共に、簡
単な動作試験を行うことも可能になる。以下、電荷検出
回路１ｇを用いて、通常動作、入出力特性の測定および
簡単な動作試験を行う手順を説明する。
ことで、動作試験用に回路を構成することなく、上記読
み取り回路の入出力測定を行うことができると共に、簡
単な動作試験を行うことも可能になる。以下、電荷検出
回路１ｇを用いて、通常動作、入出力特性の測定および
簡単な動作試験を行う手順を説明する。
【０１３４】まず、通常動作を説明する。ＳＷ５を閉に
してＳＷ６、ＳＷ１２を開にすると、電荷検出回路１ｇ
の入力端子からの電荷をＣＳＡ３ｇが検出できる。
してＳＷ６、ＳＷ１２を開にすると、電荷検出回路１ｇ
の入力端子からの電荷をＣＳＡ３ｇが検出できる。
【０１３５】つぎに、動作試験の態様を説明する。ま
ず、ＳＷ６を閉にして、ＳＷ１２を開にすることで、コ
ンデンサＣt２の下側電極がＳＷ６を介して電源Ｖccと
接続される。これにより下側電極の電位は電源電位とな
る。
ず、ＳＷ６を閉にして、ＳＷ１２を開にすることで、コ
ンデンサＣt２の下側電極がＳＷ６を介して電源Ｖccと
接続される。これにより下側電極の電位は電源電位とな
る。
【０１３６】さらに、演算増幅器４の非反転入力端子は
基準電源Ｖrefに接続されているので、演算増幅器４の
非反転入力端子には基準電位Ｖrefが印加される。ここ
で、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転入力端子
も基準電位Ｖrefとなるので、コンデンサＣt２の上側電
極の電位は基準電位Ｖrefになる。これにより、コンデ
ンサＣt２のいずれの電極においても、電源電位Ｖccと
基準電位Ｖrefとの差に相当する電荷が発生する。
基準電源Ｖrefに接続されているので、演算増幅器４の
非反転入力端子には基準電位Ｖrefが印加される。ここ
で、仮想短絡の原理により演算増幅器４の反転入力端子
も基準電位Ｖrefとなるので、コンデンサＣt２の上側電
極の電位は基準電位Ｖrefになる。これにより、コンデ
ンサＣt２のいずれの電極においても、電源電位Ｖccと
基準電位Ｖrefとの差に相当する電荷が発生する。
【０１３７】つぎに、ＳＷ６を開にしてからＳＷ１２を
閉にすると、コンデンサＣt２の下側電極は、電源Ｖcc
と切断されると同時に基準電源Ｖrefと接続されるの
で、基準電位となる。ここで、コンデンサＣt２の上側
電極の電位は、基準電位であるので、コンデンサＣt２
に充電されていた電荷は０になる。これは、コンデンサ
Ｃt２の下側電極の電荷が基準電源Ｖrefに吸収されるの
と同時に、上側電極の電荷がＣＳＡ３ｇへ放出されるか
らである。すなわち、本実施の形態の電荷検出回路１
は、電磁波を発生させることなく、ＣＳＡ３ｇに電荷を
供給することができる。
閉にすると、コンデンサＣt２の下側電極は、電源Ｖcc
と切断されると同時に基準電源Ｖrefと接続されるの
で、基準電位となる。ここで、コンデンサＣt２の上側
電極の電位は、基準電位であるので、コンデンサＣt２
に充電されていた電荷は０になる。これは、コンデンサ
Ｃt２の下側電極の電荷が基準電源Ｖrefに吸収されるの
と同時に、上側電極の電荷がＣＳＡ３ｇへ放出されるか
らである。すなわち、本実施の形態の電荷検出回路１
は、電磁波を発生させることなく、ＣＳＡ３ｇに電荷を
供給することができる。
【０１３８】したがって、上記読み取り回路に電荷検出
回路１ｇを用いた場合、上記読み取り回路の入出力特定
を測定できるだけでなく、動作試験用のコンデンサＣt
１を用いずに回路が動作しているか否かの判断をも行う
ことができる。
回路１ｇを用いた場合、上記読み取り回路の入出力特定
を測定できるだけでなく、動作試験用のコンデンサＣt
１を用いずに回路が動作しているか否かの判断をも行う
ことができる。
【０１３９】勿論、どちらかの出力が明らかに異常であ
れば、入出力特性を測定するまでもなく、該端子の回路
は不良であると判断することができる。
れば、入出力特性を測定するまでもなく、該端子の回路
は不良であると判断することができる。
【０１４０】また、本実施の形態の電荷検出回路１ｇを
用いた場合、動作試験（量産試験）時において歪み率等
の詳細な情報を得ることはできないが、基本的に動作し
ているか否かは明確に判断できるため、ＬＳＩに求めら
れる精度等の条件によっては有用な回路である。これに
より、本実施の形態の電荷検出回路１ｇを用いて動作試
験を行うことにより、動作試験のみに用いられるコンデ
ンサを設ける必要がない。
用いた場合、動作試験（量産試験）時において歪み率等
の詳細な情報を得ることはできないが、基本的に動作し
ているか否かは明確に判断できるため、ＬＳＩに求めら
れる精度等の条件によっては有用な回路である。これに
より、本実施の形態の電荷検出回路１ｇを用いて動作試
験を行うことにより、動作試験のみに用いられるコンデ
ンサを設ける必要がない。
【０１４１】さらに、図１８に示す電荷検出回路１ｈの
ように、動作試験用のコンデンサＣt３（第３コンデン
サ）と入出力特性の測定用のコンデンサＣt４（第４コ
ンデンサ）とを独立とした構成としてもよい。この電荷
検出回路１ｈの長所は、それぞれのコンデンサＣt３・
Ｃt４の容量をそれぞれの目的に最適化しやすいことで
ある。
ように、動作試験用のコンデンサＣt３（第３コンデン
サ）と入出力特性の測定用のコンデンサＣt４（第４コ
ンデンサ）とを独立とした構成としてもよい。この電荷
検出回路１ｈの長所は、それぞれのコンデンサＣt３・
Ｃt４の容量をそれぞれの目的に最適化しやすいことで
ある。
【０１４２】図１８に示す電荷検出回路１ｈは、前記読
み取り回路の入力端子と演算増幅器４の反転入力端子と
の間に、ＳＷ７が接続されていると共に、ＳＷ８とコン
デンサＣt４とＳＷ９とが直列に接続されている。ま
た、ＳＷ７と演算増幅器４との接続点とＶccとの間にコ
ンデンサＣt４とＳＷ１０とが直列に接続されている。
また、コンデンサＣt４とＳＷ１０との接続点は、ＳＷ
１３を介して基準電源Ｖrefに接続されている。さら
に、演算増幅器４の非反転入力端子は、基準電位Ｖref
に接続されている。
み取り回路の入力端子と演算増幅器４の反転入力端子と
の間に、ＳＷ７が接続されていると共に、ＳＷ８とコン
デンサＣt４とＳＷ９とが直列に接続されている。ま
た、ＳＷ７と演算増幅器４との接続点とＶccとの間にコ
ンデンサＣt４とＳＷ１０とが直列に接続されている。
また、コンデンサＣt４とＳＷ１０との接続点は、ＳＷ
１３を介して基準電源Ｖrefに接続されている。さら
に、演算増幅器４の非反転入力端子は、基準電位Ｖref
に接続されている。
【０１４３】上記構成によれば、通常動作の場合、ＳＷ
８およびＳＷ１０を開にすると共に、ＳＷ７を閉にする
ことで、電荷検出回路１ｈの入力端子と演算増幅器４の
反転入力端子とが接続され、通常モード状態となり、Ｃ
ＳＡ３ｈは、入射Ｘ線から発生する電荷を検出し、これ
を電圧として出力できる。
８およびＳＷ１０を開にすると共に、ＳＷ７を閉にする
ことで、電荷検出回路１ｈの入力端子と演算増幅器４の
反転入力端子とが接続され、通常モード状態となり、Ｃ
ＳＡ３ｈは、入射Ｘ線から発生する電荷を検出し、これ
を電圧として出力できる。
【０１４４】つぎに、入出力の特性を測定する場合につ
いて説明する。まず、ＳＷ７およびＳＷ８を開にすると
共に、ＳＷ１０を閉にすると、Ｖccが、コンデンサＣt
４を介して演算増幅器４の非反転入力端子と接続され
る。一方、ＣＳＡ３ａにおける演算増幅器４の非反転入
力端子は、基準電源Ｖrefに接続されるので、上記非反
転入力端子に基準電位Ｖrefが印加される。これによ
り、実施の形態１で説明した仮想短絡の原理により、コ
ンデンサＣt４におけるＶcc側の電極（左側電極）に
は、＋Ｑｔ＝（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発
生し、他方の電極（右側電極）には、−Ｑｔ＝−（Ｖre
f−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。つぎに、Ｓ
Ｗ１０を開にしてからＳＷ１３を閉にすると、コンデン
サＣt４の左側電極の電荷が基準電源Ｖrefに吸収される
（あるいは、＋Ｑｔの電荷が基準電源Ｖrefから左側電
極へ注入される）のと同時に、コンデンサＣt４の右側
電極の電荷がＣＳＡ３ｈの帰還容量５へ集められる。す
なわち、電荷検出回路１ｈは、＋Ｑｔ［Ｃ］の電荷をＣ
ＳＡ３ｈへ注入する回路として動作することがわかる。
したがって、電源Ｖccから試験回路２ｈを介してＣＳＡ
３ｈへ電荷を供給することができるので、上記読み取り
回路の入出力特性を測定することが可能になる。
いて説明する。まず、ＳＷ７およびＳＷ８を開にすると
共に、ＳＷ１０を閉にすると、Ｖccが、コンデンサＣt
４を介して演算増幅器４の非反転入力端子と接続され
る。一方、ＣＳＡ３ａにおける演算増幅器４の非反転入
力端子は、基準電源Ｖrefに接続されるので、上記非反
転入力端子に基準電位Ｖrefが印加される。これによ
り、実施の形態１で説明した仮想短絡の原理により、コ
ンデンサＣt４におけるＶcc側の電極（左側電極）に
は、＋Ｑｔ＝（Ｖref−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発
生し、他方の電極（右側電極）には、−Ｑｔ＝−（Ｖre
f−Ｖcc）×Ｃｔ［Ｃ］の電荷が発生する。つぎに、Ｓ
Ｗ１０を開にしてからＳＷ１３を閉にすると、コンデン
サＣt４の左側電極の電荷が基準電源Ｖrefに吸収される
（あるいは、＋Ｑｔの電荷が基準電源Ｖrefから左側電
極へ注入される）のと同時に、コンデンサＣt４の右側
電極の電荷がＣＳＡ３ｈの帰還容量５へ集められる。す
なわち、電荷検出回路１ｈは、＋Ｑｔ［Ｃ］の電荷をＣ
ＳＡ３ｈへ注入する回路として動作することがわかる。
したがって、電源Ｖccから試験回路２ｈを介してＣＳＡ
３ｈへ電荷を供給することができるので、上記読み取り
回路の入出力特性を測定することが可能になる。
【０１４５】さらに、動作試験について説明する。ま
ず、ＳＷ８およびＳＷ９を閉にし、ＳＷ７、ＳＷ１０お
よびＳＷ１３を開にすると、電荷検出回路１ｈの入力端
子がコンデンサＣt３を介して演算増幅器４の反転入力
端子と接続される。さらに、外部から電荷検出回路１ｈ
の入力端子に電圧（第２試験電圧）を印加することによ
り、上記電圧が電荷としてコンデンサＣt３に蓄積され
た後に、ＣＳＡ３ｈはコンデンサＣt３に蓄積された電
荷を検出し、これを電圧として出力することができる。
これにより、上記外部から印加した電圧の電圧波形と出
力した電圧波形とを比較することにより、出力信号波形
の歪み率等を測定することができる。すなわち、外部か
ら電圧を印加することにより、電荷検出回路が正常に動
作しているか否かについて試験（動作試験モード）する
ことができる。
ず、ＳＷ８およびＳＷ９を閉にし、ＳＷ７、ＳＷ１０お
よびＳＷ１３を開にすると、電荷検出回路１ｈの入力端
子がコンデンサＣt３を介して演算増幅器４の反転入力
端子と接続される。さらに、外部から電荷検出回路１ｈ
の入力端子に電圧（第２試験電圧）を印加することによ
り、上記電圧が電荷としてコンデンサＣt３に蓄積され
た後に、ＣＳＡ３ｈはコンデンサＣt３に蓄積された電
荷を検出し、これを電圧として出力することができる。
これにより、上記外部から印加した電圧の電圧波形と出
力した電圧波形とを比較することにより、出力信号波形
の歪み率等を測定することができる。すなわち、外部か
ら電圧を印加することにより、電荷検出回路が正常に動
作しているか否かについて試験（動作試験モード）する
ことができる。
【０１４６】なお、図１８では、コンデンサＣt４は、
ＳＷ７と演算増幅器４との接続点に接続されているが、
上記読み取り回路の入力端子とＳＷ７との接続点に接続
されていても構わない。
ＳＷ７と演算増幅器４との接続点に接続されているが、
上記読み取り回路の入力端子とＳＷ７との接続点に接続
されていても構わない。
【０１４７】上述した記載によれば、本発明により、実
際にＸ線を照射することなく電荷検出回路に電荷を供給
して、回路の入出力特性を測定することが可能となる。
そのため、本願回路を用いたＬＳＩをＸ線センサの信号
読出しに用いた場合は、補正用データを取得するために
実際にＸ線を照射する回数を大幅に少なくすることがで
きる。また、逆に言えば、頻繁に補正用データを更新す
ることができるため、従来に比べてより最適化した状態
でシステムを動作させられて、より高精度の画像を再現
することが可能となる。なお、上述した記載ではＸ線セ
ンサを前提に説明したが、本発明の特質は、電荷検出増
幅器を用いたＬＳＩにおいて、電荷注入をＬＳＩ単独で
行えることにあり、Ｘ線照射をせずに補正用データを得
られるというのは、そこから派生して得られる効果であ
る。従って、本発明自体は、Ｘ線センサに何ら制約され
るものではない。
際にＸ線を照射することなく電荷検出回路に電荷を供給
して、回路の入出力特性を測定することが可能となる。
そのため、本願回路を用いたＬＳＩをＸ線センサの信号
読出しに用いた場合は、補正用データを取得するために
実際にＸ線を照射する回数を大幅に少なくすることがで
きる。また、逆に言えば、頻繁に補正用データを更新す
ることができるため、従来に比べてより最適化した状態
でシステムを動作させられて、より高精度の画像を再現
することが可能となる。なお、上述した記載ではＸ線セ
ンサを前提に説明したが、本発明の特質は、電荷検出増
幅器を用いたＬＳＩにおいて、電荷注入をＬＳＩ単独で
行えることにあり、Ｘ線照射をせずに補正用データを得
られるというのは、そこから派生して得られる効果であ
る。従って、本発明自体は、Ｘ線センサに何ら制約され
るものではない。
【０１４８】また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集
積したＬＳＩの試験回路であって、該ＬＳＩの入力端子
と該入力端子に対応する電荷検出増幅器を構成する演算
増幅器の反転入力端子との間に第１コンデンサが直列に
挿入される動作試験モードと、第１コンデンサの入力端
子側電極を該ＬＳＩ内部の電源回路に接続することで第
１コンデンサを充電し、しかる後に充電された電荷を該
電荷検出増幅器に移動させる入出力試験モード（入出力
特性の測定）とを備えた構成としてもよい。
積したＬＳＩの試験回路であって、該ＬＳＩの入力端子
と該入力端子に対応する電荷検出増幅器を構成する演算
増幅器の反転入力端子との間に第１コンデンサが直列に
挿入される動作試験モードと、第１コンデンサの入力端
子側電極を該ＬＳＩ内部の電源回路に接続することで第
１コンデンサを充電し、しかる後に充電された電荷を該
電荷検出増幅器に移動させる入出力試験モード（入出力
特性の測定）とを備えた構成としてもよい。
【０１４９】また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間を切断する第１スイッ
チと、該入力端子と該反転入力端子との間に、第３スイ
ッチによって一方の電極を該入力端子に接続され、第４
スイッチによって他方の電極を該反転入力端子に接続さ
れる第１コンデンサと、第１コンデンサの一方の電極と
該電荷検出回路の基準電源（該演算増幅器の非反転入力
端子に供給される電圧源）とを接続する第１１スイッチ
と、第１コンデンサの第１電極を該基準電源以外の他の
電圧源に接続する第２スイッチとを備えた構成としても
よい。
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間を切断する第１スイッ
チと、該入力端子と該反転入力端子との間に、第３スイ
ッチによって一方の電極を該入力端子に接続され、第４
スイッチによって他方の電極を該反転入力端子に接続さ
れる第１コンデンサと、第１コンデンサの一方の電極と
該電荷検出回路の基準電源（該演算増幅器の非反転入力
端子に供給される電圧源）とを接続する第１１スイッチ
と、第１コンデンサの第１電極を該基準電源以外の他の
電圧源に接続する第２スイッチとを備えた構成としても
よい。
【０１５０】また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間を切断する第２３スイ
ッチと、該入力端子と該反転入力端子との間に、第１９
スイッチによって一方の電極を該入力端子に接続され、
第２０スイッチによって他方の電極を該反転入力端子に
接続されるコンデンサＣt１aと、該入力端子と該反転入
力端子との間に、第２１スイッチによって一方の電極を
該入力端子に接続され、第２２スイッチによって他方の
電極を該反転入力端子に接続されるコンデンサＣt１b
と、コンデンサＣt１aおよびＣt１bの一方の電極と該電
荷検出回路の基準電源（該演算増幅器の非反転入力端子
に供給される電圧源）とを接続する第２５スイッチと、
コンデンサＣt１aおよびＣt１bの一方の電極を該基準電
源以外の他の電圧源に接続する第２４スイッチとを備え
た構成としてもよい。
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間を切断する第２３スイ
ッチと、該入力端子と該反転入力端子との間に、第１９
スイッチによって一方の電極を該入力端子に接続され、
第２０スイッチによって他方の電極を該反転入力端子に
接続されるコンデンサＣt１aと、該入力端子と該反転入
力端子との間に、第２１スイッチによって一方の電極を
該入力端子に接続され、第２２スイッチによって他方の
電極を該反転入力端子に接続されるコンデンサＣt１b
と、コンデンサＣt１aおよびＣt１bの一方の電極と該電
荷検出回路の基準電源（該演算増幅器の非反転入力端子
に供給される電圧源）とを接続する第２５スイッチと、
コンデンサＣt１aおよびＣt１bの一方の電極を該基準電
源以外の他の電圧源に接続する第２４スイッチとを備え
た構成としてもよい。
【０１５１】また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集
積したＬＳＩの試験回路であって、該ＬＳＩの入力端子
と該入力端子に対応する電荷検出増幅器を構成する演算
増幅器の反転入力端子との間に一方の電極が接続され、
第２コンデンサの他方の電極を該ＬＳＩ内部の電源回路
に接続することで該コンデンサを充電し、しかる後に該
充電された電荷を該電荷検出増幅器に移動させる入出力
試験モードを備えたことを特徴としてもよい。
積したＬＳＩの試験回路であって、該ＬＳＩの入力端子
と該入力端子に対応する電荷検出増幅器を構成する演算
増幅器の反転入力端子との間に一方の電極が接続され、
第２コンデンサの他方の電極を該ＬＳＩ内部の電源回路
に接続することで該コンデンサを充電し、しかる後に該
充電された電荷を該電荷検出増幅器に移動させる入出力
試験モードを備えたことを特徴としてもよい。
【０１５２】また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間に一方の電極が接続さ
れた第２コンデンサを有し、第２コンデンサの他方の電
極が第１２スイッチを介して該電荷検出回路の基準電源
に接続されるとともに、第６スイッチを介して該基準電
圧源以外の他の電圧源に接続される構成であってもよ
い。
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間に一方の電極が接続さ
れた第２コンデンサを有し、第２コンデンサの他方の電
極が第１２スイッチを介して該電荷検出回路の基準電源
に接続されるとともに、第６スイッチを介して該基準電
圧源以外の他の電圧源に接続される構成であってもよ
い。
【０１５３】また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集
積したＬＳＩの試験回路であって、該ＬＳＩの入力端子
と該入力端子に対応する電荷検出増幅器を構成する演算
増幅器の反転入力端子との間に第３コンデンサが直列に
挿入される動作試験モードと、一方の電極が該演算増幅
器の反転入力端子に接続され、他方の電極に接続される
電圧源を切り替えることでその充電状態を制御される第
４コンデンサを有し、該第４コンデンサを充電し、しか
る後に該充電された電荷を該電荷検出増幅器に移動させ
る入出力試験モードとを備えた構成としてもよい。
積したＬＳＩの試験回路であって、該ＬＳＩの入力端子
と該入力端子に対応する電荷検出増幅器を構成する演算
増幅器の反転入力端子との間に第３コンデンサが直列に
挿入される動作試験モードと、一方の電極が該演算増幅
器の反転入力端子に接続され、他方の電極に接続される
電圧源を切り替えることでその充電状態を制御される第
４コンデンサを有し、該第４コンデンサを充電し、しか
る後に該充電された電荷を該電荷検出増幅器に移動させ
る入出力試験モードとを備えた構成としてもよい。
【０１５４】また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間を切断する第７スイッ
チと、該入力端子と該反転入力端子との間に、第８スイ
ッチによって一方の電極を該入力端子に接続され、第９
スイッチによって他方の電極を該反転入力端子に接続さ
れる第３コンデンサと、該入力端子と該第７スイッチと
の間にその一方の電極が接続され、他方の電極を第１３
スイッチによって該電荷検出回路の基準電源に接続さ
れ、また第１０スイッチによって該基準電源以外の電圧
源に接続される構成であってもよい。
積したＬＳＩの試験回路であって、電荷検出増幅器を構
成する演算増幅器の反転入力端子と該反転入力端子に対
応する該ＬＳＩの入力端子との間を切断する第７スイッ
チと、該入力端子と該反転入力端子との間に、第８スイ
ッチによって一方の電極を該入力端子に接続され、第９
スイッチによって他方の電極を該反転入力端子に接続さ
れる第３コンデンサと、該入力端子と該第７スイッチと
の間にその一方の電極が接続され、他方の電極を第１３
スイッチによって該電荷検出回路の基準電源に接続さ
れ、また第１０スイッチによって該基準電源以外の電圧
源に接続される構成であってもよい。
【０１５５】最後に、上述した実施の形態１〜４は、本
発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲内で
種々の変更が可能である。
発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲内で
種々の変更が可能である。
【０１５６】
【発明の効果】本発明の電荷検出手段は、以上のよう
に、通常モードおよび試験モードを切り替える切り替え
回路と、上記切り替え回路により、通常モード時には、
入射電磁波に応じて変化する電荷を検出し、これを電圧
として出力すると共に、試験モード時には、上記入射電
磁波に応じて変化する電荷の代わりに、電荷検出回路内
における所定の第１試験電圧に対応する電荷を検出し、
これを電圧として出力する検出回路とを備える。
に、通常モードおよび試験モードを切り替える切り替え
回路と、上記切り替え回路により、通常モード時には、
入射電磁波に応じて変化する電荷を検出し、これを電圧
として出力すると共に、試験モード時には、上記入射電
磁波に応じて変化する電荷の代わりに、電荷検出回路内
における所定の第１試験電圧に対応する電荷を検出し、
これを電圧として出力する検出回路とを備える。
【０１５７】上記構成によれば、切り替え回路により、
電荷検出回路の通常の動作態様を示す通常モードと、電
荷検出回路の入出力特性測定を行う試験モードとを切り
替えることができる。すなわち、通常モード時におい
て、検出回路は入射電磁波に応じて変化する電荷を検出
し、これを電圧として出力できる。一方、試験モード時
において、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する
電荷の代わりに、電荷検出回路内の第１試験電圧に対応
する電荷を検出して、これを電圧として出力することが
できる。
電荷検出回路の通常の動作態様を示す通常モードと、電
荷検出回路の入出力特性測定を行う試験モードとを切り
替えることができる。すなわち、通常モード時におい
て、検出回路は入射電磁波に応じて変化する電荷を検出
し、これを電圧として出力できる。一方、試験モード時
において、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する
電荷の代わりに、電荷検出回路内の第１試験電圧に対応
する電荷を検出して、これを電圧として出力することが
できる。
【０１５８】ここで、上記電荷検出回路内の第１試験電
圧は、所定の電圧値であるので、試験モードにおいて、
電荷検出回路の出力電圧を測定することにより電荷検出
回路の入出力特性の測定を行うことができる。しかも、
試験モードにおいて、検出回路は、電荷検出回路内の第
１試験電圧に対応する電荷を検出して、これを電圧とし
て出力しているので、電磁波を発生させることがなく簡
単な手順で電荷検出回路の入出力特性の測定を行うこと
ができる。これにより、電荷検出回路の入出力特性の試
験を頻繁に（ことある毎に）行うことができるので、電
荷検出回路の補正用データを頻繁に更新することがで
き、常に最適化した状態で回路を動作させることができ
るという効果を奏する。
圧は、所定の電圧値であるので、試験モードにおいて、
電荷検出回路の出力電圧を測定することにより電荷検出
回路の入出力特性の測定を行うことができる。しかも、
試験モードにおいて、検出回路は、電荷検出回路内の第
１試験電圧に対応する電荷を検出して、これを電圧とし
て出力しているので、電磁波を発生させることがなく簡
単な手順で電荷検出回路の入出力特性の測定を行うこと
ができる。これにより、電荷検出回路の入出力特性の試
験を頻繁に（ことある毎に）行うことができるので、電
荷検出回路の補正用データを頻繁に更新することがで
き、常に最適化した状態で回路を動作させることができ
るという効果を奏する。
【０１５９】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第１スイッチが接続されると共
に、第１試験電圧と検出回路との間に第２スイッチと第
１コンデンサとが直列に接続されるように構成されてい
てもよい。
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第１スイッチが接続されると共
に、第１試験電圧と検出回路との間に第２スイッチと第
１コンデンサとが直列に接続されるように構成されてい
てもよい。
【０１６０】上記構成によれば、第１スイッチを閉にす
ると共に第２スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第１スイッチを開にすると共に、第２スイッチを閉
にすると、第１試験電源が、上記第１コンデンサを介し
て検出回路と接続される。これにより、試験モード状態
となり、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第１
コンデンサに蓄積された後に、検出回路は第１コンデン
サに蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力す
ることができるという効果を奏する。
ると共に第２スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第１スイッチを開にすると共に、第２スイッチを閉
にすると、第１試験電源が、上記第１コンデンサを介し
て検出回路と接続される。これにより、試験モード状態
となり、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第１
コンデンサに蓄積された後に、検出回路は第１コンデン
サに蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力す
ることができるという効果を奏する。
【０１６１】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと第２スイ
ッチとの接続点と、電荷検出回路の入力端子との間に第
３スイッチが接続されると共に、上記入力端子から第２
試験電圧を印加できるように構成されていてもよい。
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと第２スイ
ッチとの接続点と、電荷検出回路の入力端子との間に第
３スイッチが接続されると共に、上記入力端子から第２
試験電圧を印加できるように構成されていてもよい。
【０１６２】上記構成によれば、第１スイッチおよび第
２スイッチを開にすると共に第３スイッチを閉にするこ
とで、上記入力端子が第１コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第１コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第１コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は第２試験電圧に対応する電荷を検出し、これ
を電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧の
電圧波形と出力した電圧波形とを比較することにより、
出力信号波形の歪み率等を測定することができる。すな
わち、外部から電圧を印加することにより、電荷検出回
路が正常に動作しているか否かについて試験（動作試験
モード）することができるという効果を奏する。
２スイッチを開にすると共に第３スイッチを閉にするこ
とで、上記入力端子が第１コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第１コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第１コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は第２試験電圧に対応する電荷を検出し、これ
を電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧の
電圧波形と出力した電圧波形とを比較することにより、
出力信号波形の歪み率等を測定することができる。すな
わち、外部から電圧を印加することにより、電荷検出回
路が正常に動作しているか否かについて試験（動作試験
モード）することができるという効果を奏する。
【０１６３】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと電荷検出
回路との間に第４スイッチが接続されるように構成され
ていてもよい。
えて、上記切り替え回路が、第１コンデンサと電荷検出
回路との間に第４スイッチが接続されるように構成され
ていてもよい。
【０１６４】上記構成によれば、通常モード時におい
て、第４スイッチを開にすることで、第２スイッチを開
にする必要がなくなる。また、試験モード時および上記
入力端子から第２試験電圧を印加する場合は、第４スイ
ッチを閉にすることで、第１コンデンサに充電した電荷
を検出回路に読み取らせることができる。
て、第４スイッチを開にすることで、第２スイッチを開
にする必要がなくなる。また、試験モード時および上記
入力端子から第２試験電圧を印加する場合は、第４スイ
ッチを閉にすることで、第１コンデンサに充電した電荷
を検出回路に読み取らせることができる。
【０１６５】ここで、通常モード時において、第２スイ
ッチを閉にすることで、第１コンデンサが浮いた状態に
なるのを防止することができ、雑音電荷の発生を防止す
ることができるという効果を奏する。
ッチを閉にすることで、第１コンデンサが浮いた状態に
なるのを防止することができ、雑音電荷の発生を防止す
ることができるという効果を奏する。
【０１６６】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第５スイッチが接続されると共
に、上記第５スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に、第６スイッチと第２コンデンサと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
えて、上記切り替え回路が、電荷検出回路の入力端子と
上記検出回路との間に、第５スイッチが接続されると共
に、上記第５スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に、第６スイッチと第２コンデンサと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
【０１６７】上記構成によれば、第５スイッチを閉にす
ると共に第６スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第５スイッチを開にすると共に、第６スイッチを閉
にすると、第１試験電圧が、第２コンデンサを介して検
出回路と接続される。これにより、試験モード状態とな
り、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第２コン
デンサに蓄積された後に、検出回路は第２コンデンサに
蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力するこ
とができるという効果を奏する。
ると共に第６スイッチを開にすることで、電荷検出回路
の入力端子と検出回路とが接続され、通常モード状態と
なり、検出回路は上記入射電磁波に応じて変化する電荷
を検出し、これを電圧として出力することができる。ま
た、第５スイッチを開にすると共に、第６スイッチを閉
にすると、第１試験電圧が、第２コンデンサを介して検
出回路と接続される。これにより、試験モード状態とな
り、第１試験電圧に対応する電圧が電荷として第２コン
デンサに蓄積された後に、検出回路は第２コンデンサに
蓄積された電荷を検出し、これを電圧として出力するこ
とができるという効果を奏する。
【０１６８】本発明の電荷検出回路は、上記切り替え回
路が、電荷検出回路の入力端子と上記検出回路との間
に、第７スイッチが接続されていると共に、第８スイッ
チと第３コンデンサと第９スイッチとが直列に接続さ
れ、上記第７スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に第４コンデンサと第１０スイッチと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
路が、電荷検出回路の入力端子と上記検出回路との間
に、第７スイッチが接続されていると共に、第８スイッ
チと第３コンデンサと第９スイッチとが直列に接続さ
れ、上記第７スイッチと上記検出回路との接続点と、第
１試験電圧との間に第４コンデンサと第１０スイッチと
が直列に接続されるように構成されていてもよい。
【０１６９】上記構成によれば、第８スイッチおよび第
１０スイッチを開にすると共に第７スイッチを閉にする
ことで、電荷検出回路の入力端子と検出回路とが接続さ
れ、通常モード状態となり、検出回路は上記入射電磁波
に応じて変化する電荷を検出し、これを電圧として出力
することができる。また、第７スイッチおよび第８スイ
ッチを開にすると共に、第１０スイッチを閉にすると、
第１試験電圧が、第４コンデンサを介して検出回路と接
続される。これにより、試験モード状態となり、第１試
験電圧に対応する電圧が電荷として第４コンデンサに蓄
積された後に、検出回路は第４コンデンサに蓄積された
電荷を検出し、これを電圧として出力することができ
る。
１０スイッチを開にすると共に第７スイッチを閉にする
ことで、電荷検出回路の入力端子と検出回路とが接続さ
れ、通常モード状態となり、検出回路は上記入射電磁波
に応じて変化する電荷を検出し、これを電圧として出力
することができる。また、第７スイッチおよび第８スイ
ッチを開にすると共に、第１０スイッチを閉にすると、
第１試験電圧が、第４コンデンサを介して検出回路と接
続される。これにより、試験モード状態となり、第１試
験電圧に対応する電圧が電荷として第４コンデンサに蓄
積された後に、検出回路は第４コンデンサに蓄積された
電荷を検出し、これを電圧として出力することができ
る。
【０１７０】さらに、第８スイッチおよび第９スイッチ
を閉にし、第７スイッチおよび第１０スイッチを開にす
ると、上記入力端子が第３コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第３コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第３コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は、第２試験電圧に対応する電荷を検出し、こ
れを電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧
の電圧波形と出力した電圧波形とを比較することによ
り、出力信号波形の歪み率等を測定することができる。
すなわち、外部から電圧を印加することにより、電荷検
出回路が正常に動作しているか否かについて試験（動作
試験モード）することができるという効果を奏する。
を閉にし、第７スイッチおよび第１０スイッチを開にす
ると、上記入力端子が第３コンデンサを介して検出回路
と接続される。さらに、上記入力端子から第２試験電圧
を印加することができるので、第２試験電圧に対応する
電圧が電荷として第３コンデンサに蓄積された後に、検
出回路は第３コンデンサに蓄積された電荷を検出し、こ
れを電圧として出力することができる。すなわち、電荷
検出回路内の第１試験電圧とは別個に、電荷検出回路の
外部電源としての第２試験電圧を印加することができ、
検出回路は、第２試験電圧に対応する電荷を検出し、こ
れを電圧として出力できる。これにより、第２試験電圧
の電圧波形と出力した電圧波形とを比較することによ
り、出力信号波形の歪み率等を測定することができる。
すなわち、外部から電圧を印加することにより、電荷検
出回路が正常に動作しているか否かについて試験（動作
試験モード）することができるという効果を奏する。
【０１７１】本発明の電荷検出回路は、以上のように、
入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、上記電荷検出回路の入力
端子と上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入
するとともに、上記入力端子から電圧を印加して、第１
コンデンサに電荷を蓄える状態と、上記電荷注入手段と
上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入するこ
とにより、第１コンデンサに電荷を蓄える状態と、第１
コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給
する状態と、電磁波から変換された電荷を上記入力端子
から上記電荷検出手段に供給する状態とを切り替える切
り替え手段を含んでいることを特徴とする。
入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、上記電荷検出回路の入力
端子と上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入
するとともに、上記入力端子から電圧を印加して、第１
コンデンサに電荷を蓄える状態と、上記電荷注入手段と
上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入するこ
とにより、第１コンデンサに電荷を蓄える状態と、第１
コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給
する状態と、電磁波から変換された電荷を上記入力端子
から上記電荷検出手段に供給する状態とを切り替える切
り替え手段を含んでいることを特徴とする。
【０１７２】上記構成によれば、通常モードでは、電磁
波から変換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段
に入力し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出
し、この電位と基準電位との差から電圧を出力する。一
方、動作試験モードでは、上記電荷検出回路の入力端子
と上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入し、
上記入力端子から電圧を印加することで第１コンデンサ
に電荷を蓄える。そして、第１コンデンサに蓄えられた
電荷を上記電荷検出手段に供給することにより、電荷検
出手段は、印加された電圧を出力できる。ここで、印加
した電圧波形と出力した電圧波形とを比較することによ
り、出力信号波形の歪み率等を測定し、上記電荷検出回
路が正常に動作しているか否かを試験することができ
る。
波から変換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段
に入力し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出
し、この電位と基準電位との差から電圧を出力する。一
方、動作試験モードでは、上記電荷検出回路の入力端子
と上記電荷検出手段との間に第１コンデンサを挿入し、
上記入力端子から電圧を印加することで第１コンデンサ
に電荷を蓄える。そして、第１コンデンサに蓄えられた
電荷を上記電荷検出手段に供給することにより、電荷検
出手段は、印加された電圧を出力できる。ここで、印加
した電圧波形と出力した電圧波形とを比較することによ
り、出力信号波形の歪み率等を測定し、上記電荷検出回
路が正常に動作しているか否かを試験することができ
る。
【０１７３】さらに、上記電荷注入手段と上記電荷検出
手段との間に第１コンデンサを挿入する状態にも切り替
えることができる。これにより、電荷検出回路内に備え
られた電荷注入手段から第１コンデンサに電荷を注入
し、蓄えることができる。そして、第１コンデンサに蓄
えられた電荷を上記電荷検出手段に供給することによ
り、電荷検出手段は、電圧を出力することができる。つ
まり、電荷検出回路内に備えられている第１コンデンサ
と画像検出器に備えられている電荷注入手段とを用いる
ことにより、電磁波の照射や上記入力端子から電圧を印
加することなく、電荷検出手段に電荷を注入することが
できる。これにより、画像検出器に備えられている電荷
注入手段と、動作試験モードで用いられる第１のコンデ
ンサとを上記入出力測定で利用することにより、電磁波
を照射せずに簡単な手順で上記入出力測定を行うことが
できるという効果を奏する。
手段との間に第１コンデンサを挿入する状態にも切り替
えることができる。これにより、電荷検出回路内に備え
られた電荷注入手段から第１コンデンサに電荷を注入
し、蓄えることができる。そして、第１コンデンサに蓄
えられた電荷を上記電荷検出手段に供給することによ
り、電荷検出手段は、電圧を出力することができる。つ
まり、電荷検出回路内に備えられている第１コンデンサ
と画像検出器に備えられている電荷注入手段とを用いる
ことにより、電磁波の照射や上記入力端子から電圧を印
加することなく、電荷検出手段に電荷を注入することが
できる。これにより、画像検出器に備えられている電荷
注入手段と、動作試験モードで用いられる第１のコンデ
ンサとを上記入出力測定で利用することにより、電磁波
を照射せずに簡単な手順で上記入出力測定を行うことが
できるという効果を奏する。
【０１７４】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、電荷注入手段は電源であって、電荷検出手段の入
力部が基準電源と接続され、上記電荷検出手段の入力部
と電荷検出回路の入力端子との間に、第３スイッチと第
１コンデンサと第４スイッチとが、上記入力端子側から
この順で直列に接続されると共に、第１スイッチが第１
コンデンサと並列に接続され、第１コンデンサにおける
第３スイッチと接続されている側の電極が、第２スイッ
チにより上記電源と接続されていると共に、第１１スイ
ッチにより基準電源と接続されるように切り替え手段が
構成されていることを特徴とする。
えて、電荷注入手段は電源であって、電荷検出手段の入
力部が基準電源と接続され、上記電荷検出手段の入力部
と電荷検出回路の入力端子との間に、第３スイッチと第
１コンデンサと第４スイッチとが、上記入力端子側から
この順で直列に接続されると共に、第１スイッチが第１
コンデンサと並列に接続され、第１コンデンサにおける
第３スイッチと接続されている側の電極が、第２スイッ
チにより上記電源と接続されていると共に、第１１スイ
ッチにより基準電源と接続されるように切り替え手段が
構成されていることを特徴とする。
【０１７５】上記構成によれば、複数のスイッチを用い
ることにより、通常モードと動作試験モードとの切り替
えおよび、上記電荷検出回路の入出力測定を容易に行う
ことができるという効果を奏する。
ることにより、通常モードと動作試験モードとの切り替
えおよび、上記電荷検出回路の入出力測定を容易に行う
ことができるという効果を奏する。
【０１７６】本発明の電荷検出回路は、以上のように、
上記の構成に加えて、第１コンデンサは、並列に接続さ
れた複数のコンデンサの組み合わせであると共に、各コ
ンデンサの容量は互いに異なり、切り替え手段は、上記
電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に、少なくとも
１つのコンデンサを選択的に挿入することにより、選択
されたコンデンサに電荷を蓄える状態と、選択されたコ
ンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出回路に供給す
る状態とを切り替えるように構成されていることを特徴
とする。
上記の構成に加えて、第１コンデンサは、並列に接続さ
れた複数のコンデンサの組み合わせであると共に、各コ
ンデンサの容量は互いに異なり、切り替え手段は、上記
電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に、少なくとも
１つのコンデンサを選択的に挿入することにより、選択
されたコンデンサに電荷を蓄える状態と、選択されたコ
ンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出回路に供給す
る状態とを切り替えるように構成されていることを特徴
とする。
【０１７７】上記構成によれば、各コンデンサがそれぞ
れ異なる容量であるので、切り替え手段により、異なる
量の電荷を電荷注入手段に供給することができる。これ
により、例えば、電荷検出回路の出力側に増幅器が設け
られている場合、増幅器の倍率に合わせて適性量の電荷
を供給することができるという効果を奏する。
れ異なる容量であるので、切り替え手段により、異なる
量の電荷を電荷注入手段に供給することができる。これ
により、例えば、電荷検出回路の出力側に増幅器が設け
られている場合、増幅器の倍率に合わせて適性量の電荷
を供給することができるという効果を奏する。
【０１７８】本発明の電荷検出回路は、以上のように、
入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、上記電荷注入手段と上記
電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿入することに
より、第２コンデンサに電荷を蓄える状態と、第２コン
デンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給する
状態と、電磁波から変換された電荷を電荷検出回路の入
力端子から上記電荷検出手段に供給する状態とを切り替
える切り替え手段を含んでいることを特徴とする。
入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、上記電荷注入手段と上記
電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿入することに
より、第２コンデンサに電荷を蓄える状態と、第２コン
デンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供給する
状態と、電磁波から変換された電荷を電荷検出回路の入
力端子から上記電荷検出手段に供給する状態とを切り替
える切り替え手段を含んでいることを特徴とする。
【０１７９】上記構成によれば、切り替え手段により、
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷注
入手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿
入する状態とを切り替えることができる。さらに、上記
構成によれば、上記電荷注入手段と上記電荷検出手段と
の間に第２コンデンサを挿入する状態に切り替えること
ができる。これにより、電荷検出回路内に備えられた電
荷注入手段から第２コンデンサに電荷を注入し、蓄える
ことができる。そして、第２コンデンサに蓄えられた電
荷を上記電荷検出手段に供給することにより、電荷検出
手段は、電圧を出力することができる。つまり、電荷検
出回路内に備えられている第２コンデンサと画像検出器
に備えられる電荷注入手段を用いることにより、電磁波
を照射することなく、電荷検出手段に電荷を注入するこ
とができる。これにより、簡単に上記電荷検出回路の入
出力特性の測定を行うことができる。言い換えれば、電
荷注入手段と第２コンデンサとを利用することにより、
電磁波を照射せず、簡単な手順で上記入出力測定を行う
ことができるという効果を奏する。
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷注
入手段と上記電荷検出手段との間に第２コンデンサを挿
入する状態とを切り替えることができる。さらに、上記
構成によれば、上記電荷注入手段と上記電荷検出手段と
の間に第２コンデンサを挿入する状態に切り替えること
ができる。これにより、電荷検出回路内に備えられた電
荷注入手段から第２コンデンサに電荷を注入し、蓄える
ことができる。そして、第２コンデンサに蓄えられた電
荷を上記電荷検出手段に供給することにより、電荷検出
手段は、電圧を出力することができる。つまり、電荷検
出回路内に備えられている第２コンデンサと画像検出器
に備えられる電荷注入手段を用いることにより、電磁波
を照射することなく、電荷検出手段に電荷を注入するこ
とができる。これにより、簡単に上記電荷検出回路の入
出力特性の測定を行うことができる。言い換えれば、電
荷注入手段と第２コンデンサとを利用することにより、
電磁波を照射せず、簡単な手順で上記入出力測定を行う
ことができるという効果を奏する。
【０１８０】本発明の電荷検出回路は、以上のように、
上記の構成に加えて、電荷注入手段が電源であって、上
記電荷検出手段の入力部が基準電源と接続され、第２コ
ンデンサにおける一方の電極は、上記入力端子および上
記電荷検出手段の入力部に接続され、第２コンデンサに
おける他方の電極が、第６スイッチにより電源に接続さ
れると共に、第１２スイッチにより基準電源に接続され
るように切り替え手段が構成されていることを特徴とす
る。
上記の構成に加えて、電荷注入手段が電源であって、上
記電荷検出手段の入力部が基準電源と接続され、第２コ
ンデンサにおける一方の電極は、上記入力端子および上
記電荷検出手段の入力部に接続され、第２コンデンサに
おける他方の電極が、第６スイッチにより電源に接続さ
れると共に、第１２スイッチにより基準電源に接続され
るように切り替え手段が構成されていることを特徴とす
る。
【０１８１】上記構成によれば、複数のスイッチを用い
ることにより、通常モードと動作試験モードと上記電荷
検出回路の入出力測定とを容易に実現できるという効果
を奏する。
ることにより、通常モードと動作試験モードと上記電荷
検出回路の入出力測定とを容易に実現できるという効果
を奏する。
【０１８２】本発明の電荷検出回路は、以上のように、
入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、上記電荷検出回路の入力
端子と上記電荷検出手段との間に第３コンデンサを挿入
するとともに、上記入力端子から電圧を印加して、第３
コンデンサに電荷を蓄える状態と、上記電荷注入手段と
上記電荷検出手段との間に、第４コンデンサを挿入する
ことにより、第４コンデンサに電荷を蓄える状態と、第
３コンデンサまたは第４コンデンサに蓄えられた電荷を
上記電荷検出手段に供給する状態と、電磁波から変換さ
れた電荷を上記入力端子から上記電荷検出手段に供給す
る状態とを切り替える切り替え手段を含んでいることを
特徴とする。
入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、上記電荷検出回路の入力
端子と上記電荷検出手段との間に第３コンデンサを挿入
するとともに、上記入力端子から電圧を印加して、第３
コンデンサに電荷を蓄える状態と、上記電荷注入手段と
上記電荷検出手段との間に、第４コンデンサを挿入する
ことにより、第４コンデンサに電荷を蓄える状態と、第
３コンデンサまたは第４コンデンサに蓄えられた電荷を
上記電荷検出手段に供給する状態と、電磁波から変換さ
れた電荷を上記入力端子から上記電荷検出手段に供給す
る状態とを切り替える切り替え手段を含んでいることを
特徴とする。
【０１８３】上記構成によれば、切り替え手段により、
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷検
出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第３コン
デンサを挿入する状態（動作試験モード）とを切り替え
ることができる。すなわち、通常モードでは、電磁波か
ら変換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入
力し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、
この電位と基準電位との差から電圧を出力する。一方、
動作試験モードでは、上記電荷検出回路の入力端子と上
記電荷検出手段との間に第３コンデンサを挿入し、上記
入力端子から電圧を印加することで第３コンデンサに電
荷を蓄える。そして、第３コンデンサに蓄えられた電荷
を上記電荷検出回路に供給することにより、電荷検出手
段は、印加された電圧を出力できる。ここで、印加した
電圧波形と出力した電圧波形とを比較することにより、
出力信号波形の歪み率等を測定し、上記電荷検出回路が
正常に動作しているか否かを試験することができる。
電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態（通常モード）と、上記電荷検
出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間に第３コン
デンサを挿入する状態（動作試験モード）とを切り替え
ることができる。すなわち、通常モードでは、電磁波か
ら変換された電荷が入力端子を介して電荷検出手段に入
力し、電荷検出手段が、入力電荷から電位を読み出し、
この電位と基準電位との差から電圧を出力する。一方、
動作試験モードでは、上記電荷検出回路の入力端子と上
記電荷検出手段との間に第３コンデンサを挿入し、上記
入力端子から電圧を印加することで第３コンデンサに電
荷を蓄える。そして、第３コンデンサに蓄えられた電荷
を上記電荷検出回路に供給することにより、電荷検出手
段は、印加された電圧を出力できる。ここで、印加した
電圧波形と出力した電圧波形とを比較することにより、
出力信号波形の歪み率等を測定し、上記電荷検出回路が
正常に動作しているか否かを試験することができる。
【０１８４】さらに、上記構成によれば、上記電荷注入
手段と上記電荷検出手段との間に第４コンデンサを挿入
する状態にも切り替えることができる。これにより、電
荷検出回路内に備えられた電荷注入手段から第４コンデ
ンサに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第
４コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供
給することにより、電荷検出手段は、電圧を出力するこ
とができる。つまり、画像検出器に備えられている電荷
注入手段を用いることにより、電磁波の照射や上記入力
端子から電圧を印加することなく、電荷検出手段に電荷
を注入することができる。これにより、簡単に上記電荷
検出回路の入出力特性の測定を行うことができる。ここ
で、上記構成によれば、動作試験用の第３コンデンサ
と、上記入出力測定用の第４コンデンサとを別々に構成
しているので、各コンデンサをそれぞれの用途に応じて
最適化することができるという効果を奏する。
手段と上記電荷検出手段との間に第４コンデンサを挿入
する状態にも切り替えることができる。これにより、電
荷検出回路内に備えられた電荷注入手段から第４コンデ
ンサに電荷を注入し、蓄えることができる。そして、第
４コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に供
給することにより、電荷検出手段は、電圧を出力するこ
とができる。つまり、画像検出器に備えられている電荷
注入手段を用いることにより、電磁波の照射や上記入力
端子から電圧を印加することなく、電荷検出手段に電荷
を注入することができる。これにより、簡単に上記電荷
検出回路の入出力特性の測定を行うことができる。ここ
で、上記構成によれば、動作試験用の第３コンデンサ
と、上記入出力測定用の第４コンデンサとを別々に構成
しているので、各コンデンサをそれぞれの用途に応じて
最適化することができるという効果を奏する。
【０１８５】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、電荷注入手段が電源であって、上記演算増幅器の
入力部が基準電源と接続され、上記演算増幅器の入力部
と電荷検出回路の入力端子との間に、第８スイッチと第
３コンデンサと第９スイッチとが、上記入力端子側から
この順で直列に接続されると共に、第７スイッチが第３
コンデンサと並列に接続され、第４コンデンサにおける
一方の電極は、電荷検出回路の入力端子および電荷検出
手段に接続され、第４コンデンサにおける他方の電極
が、第１０スイッチにより上記電源に接続されると共
に、第１３スイッチにより基準電源に接続されるように
切り替え手段が構成されていることを特徴とする。
えて、電荷注入手段が電源であって、上記演算増幅器の
入力部が基準電源と接続され、上記演算増幅器の入力部
と電荷検出回路の入力端子との間に、第８スイッチと第
３コンデンサと第９スイッチとが、上記入力端子側から
この順で直列に接続されると共に、第７スイッチが第３
コンデンサと並列に接続され、第４コンデンサにおける
一方の電極は、電荷検出回路の入力端子および電荷検出
手段に接続され、第４コンデンサにおける他方の電極
が、第１０スイッチにより上記電源に接続されると共
に、第１３スイッチにより基準電源に接続されるように
切り替え手段が構成されていることを特徴とする。
【０１８６】上記構成によれば、複数のスイッチを用い
ることにより、通常モードと動作試験モードとの切り替
えおよび、上記電荷検出回路の入出力測定を容易に行う
ことができるという効果を奏する。
ることにより、通常モードと動作試験モードとの切り替
えおよび、上記電荷検出回路の入出力測定を容易に行う
ことができるという効果を奏する。
【０１８７】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、電荷注入手段が、電荷検出回路を駆動する電源で
あることを特徴とする。
えて、電荷注入手段が、電荷検出回路を駆動する電源で
あることを特徴とする。
【０１８８】上記構成によれば、電荷検出回路を駆動す
るための電源を、前記入出力測定時の電荷注入手段とし
て、そのまま利用できるので、別個独自の電源を設ける
必要がない。したがって、余分な構成を付加する必要が
ないという効果を奏する。
るための電源を、前記入出力測定時の電荷注入手段とし
て、そのまま利用できるので、別個独自の電源を設ける
必要がない。したがって、余分な構成を付加する必要が
ないという効果を奏する。
【０１８９】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、電荷注入手段が、電荷検出回路を駆動する電源と
は別個独立に設けられた電源であることを特徴とする。
えて、電荷注入手段が、電荷検出回路を駆動する電源と
は別個独立に設けられた電源であることを特徴とする。
【０１９０】上記構成によれば、電荷検出回路を駆動す
る電源とは別個独自に設けられた電源を電荷注入手段と
して利用する。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定することができるという効果を奏す
る。
る電源とは別個独自に設けられた電源を電荷注入手段と
して利用する。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定することができるという効果を奏す
る。
【０１９１】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、電荷注入手段から出力した電圧のうち一定割合の
電圧を取り出すことができる分圧器が備えられているこ
とを特徴とする。
えて、電荷注入手段から出力した電圧のうち一定割合の
電圧を取り出すことができる分圧器が備えられているこ
とを特徴とする。
【０１９２】上記構成によれば、分圧器により、電荷注
入手段から出力した電圧のうち一定割合の電圧を取り出
すことができる。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定できるという効果を奏する。
入手段から出力した電圧のうち一定割合の電圧を取り出
すことができる。したがって、コンデンサの容量に応じ
て、前記入出力測定に必要とされる電荷量を供給できる
電荷注入手段を設定できるという効果を奏する。
【０１９３】本発明の電荷検出回路は、上記の構成に加
えて、電磁波はＸ線であることを特徴とする。
えて、電磁波はＸ線であることを特徴とする。
【０１９４】上記構成によれば、Ｘ線を発生させること
なく、電荷検出回路の入出力特性を測定することができ
る。したがって、被写体を撮影する目的以外で、人体に
有害な放射線を無駄に放出するという不都合を解消する
ことができるという効果を奏する。
なく、電荷検出回路の入出力特性を測定することができ
る。したがって、被写体を撮影する目的以外で、人体に
有害な放射線を無駄に放出するという不都合を解消する
ことができるという効果を奏する。
【０１９５】本発明のＬＳＩは、以上のように、上記記
載の電荷検出回路が複数集積して構成されているＬＳＩ
であることを特徴とする。
載の電荷検出回路が複数集積して構成されているＬＳＩ
であることを特徴とする。
【０１９６】上記構成によれば、電磁波を発生させるこ
となく、上記切り替え手段による動作だけで、入出力特
性の測定を行うことが可能なので、無駄な作業手間を省
略できる。言い換えると、頻繁にＬＳＩの入出力特性の
測定を行うことが容易になるという効果を奏する。
となく、上記切り替え手段による動作だけで、入出力特
性の測定を行うことが可能なので、無駄な作業手間を省
略できる。言い換えると、頻繁にＬＳＩの入出力特性の
測定を行うことが容易になるという効果を奏する。
【図１】従来技術における２次元行列構造の画像センサ
の分解図である。
の分解図である。
【図２】上記画像センサにおけるＡ−Ａ線矢視断面図で
ある。
ある。
【図３】上記画像センサに内蔵される読み取り回路の構
成を表したブロック図である。
成を表したブロック図である。
【図４】上記読み取り回路に備えられる電荷検出増幅器
の回路図である。
の回路図である。
【図５】上記読み取り回路の動作を表したタイミングチ
ャートである。
ャートである。
【図６】画素と上記電荷検出増幅器との関係を示した回
路図である。
路図である。
【図７】上記読み取り回路に備えられるメインアンプの
回路図である。
回路図である。
【図８】上記電荷検出増幅器と上記メインアンプとの関
係を示した回路図である。
係を示した回路図である。
【図９】上記電荷検出増幅器と上記メインアンプとサン
プルホールド回路との動作の関係を示したタイミングチ
ャートである。
プルホールド回路との動作の関係を示したタイミングチ
ャートである。
【図１０】本発明の実施の一形態に係る電荷検出回路を
示した回路図である。
示した回路図である。
【図１１】正電源Ｖddを用いた場合における上記電荷検
出回路の回路図である。
出回路の回路図である。
【図１２】読み取り回路の駆動電源が単電源である場合
の上記電荷検出回路の回路図である。
の上記電荷検出回路の回路図である。
【図１３】図１０の電荷検出回路の変形例を示した回路
図である。
図である。
【図１４】読み取り回路の駆動電源から別個独立の電源
を用いて電荷注入を行う場合の電荷検出回路の回路図で
ある。
を用いて電荷注入を行う場合の電荷検出回路の回路図で
ある。
【図１５】上記別個独立の電圧源として用いられる変圧
回路の回路図である。
回路の回路図である。
【図１６】複数のコンデンサを並列に接続した場合の電
荷検出回路の回路図である。
荷検出回路の回路図である。
【図１７】動作試験用コンデンサを用いない電荷検出回
路の回路図である。
路の回路図である。
【図１８】動作試験用のコンデンサと電荷注入用のコン
デンサＣとを独立に備えた電荷検出回路の回路図であ
る。
デンサＣとを独立に備えた電荷検出回路の回路図であ
る。
１ 電荷検出回路
２ 試験回路（切り替え回路）
３ 電荷検出増幅器（電荷検出手段，検出回路）
４ 演算増幅器
５ 帰還容量
６ リセットスイッチ
７ 分圧回路
８ 抵抗分圧
９ 演算増幅器
Ｃt１ コンデンサ（第１コンデンサ）
Ｃt１a コンデンサ（第１コンデンサ）
Ｃt１b コンデンサ（第１コンデンサ）
Ｃt２ コンデンサ（第２コンデンサ）
Ｃt３ コンデンサ（第３コンデンサ）
Ｃt４ コンデンサ（第４コンデンサ）
Ｃt５ コンデンサ（第５コンデンサ）
Ｖcc 電源（電荷注入手段,第１試験電圧）
Ｖdd 電源（電荷注入手段，第１試験電圧）
Ｖref 基準電源
ＳＷ１〜ＳＷ２５ スイッチ（切り替え手段，第１〜
第２５スイッチ）
第２５スイッチ）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 足立 晋
京都府相楽郡精華町光台３−９ 株式会社
島津製作所内
Ｆターム(参考） 2G088 EE01 FF02 GG21 LL26
4M118 AA09 AB01 BA05 CB05 DD09
FB09 FB13 FB30 GA10
5C024 AX12 CY44 HX01 HX13 HX17
HX23 HX46
Claims (18)
- 【請求項１】通常モードおよび試験モードを切り替える
切り替え回路と、 上記切り替え回路により、通常モード時には、入射電磁
波に応じて変化する電荷を検出し、これを電圧として出
力すると共に、試験モード時には、上記入射電磁波に応
じて変化する電荷の代わりに、電荷検出回路内における
所定の第１試験電圧に対応する電荷を検出し、これを電
圧として出力する検出回路とを備えた電荷検出回路。 - 【請求項２】上記切り替え回路は、電荷検出回路の入力
端子と上記検出回路との間に、第１スイッチが接続され
ると共に、第１試験電圧と検出回路との間に第２スイッ
チと第１コンデンサとが直列に接続されるように構成さ
れている請求項１に記載の電荷検出回路。 - 【請求項３】上記切り替え回路は、第１コンデンサと第
２スイッチとの接続点と、電荷検出回路の入力端子との
間に第３スイッチが接続されると共に、上記入力端子か
ら第２試験電圧を印加できるように構成されている請求
項２に記載の電荷検出回路。 - 【請求項４】上記切り替え回路は、第１コンデンサと電
荷検出回路との間に第４スイッチが接続されるように構
成されている請求項２または３に記載の電荷検出回路。 - 【請求項５】上記切り替え回路は、電荷検出回路の入力
端子と上記検出回路との間に、第５スイッチが接続され
ると共に、上記第５スイッチと上記検出回路との接続点
と、第１試験電圧との間に、第６スイッチと第２コンデ
ンサとが直列に接続されるように構成されている請求項
１に記載の電荷検出回路。 - 【請求項６】上記切り替え回路は、電荷検出回路の入力
端子と上記検出回路との間に、第７スイッチが接続され
ていると共に、第８スイッチと第３コンデンサと第９ス
イッチとが直列に接続され、 上記第７スイッチと上記検出回路との接続点と、第１試
験電圧との間に第４コンデンサと第１０スイッチとが直
列に接続されるように構成されている請求項１に記載の
電荷検出回路。 - 【請求項７】入射する電磁波を電荷に変換し、これを画
像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷検
出回路において、 入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、 上記電荷検出回路の入力端子と上記検出回路との間に第
１コンデンサを挿入するとともに、上記入力端子から電
圧を印加して、第１コンデンサに電荷を蓄える状態と、 上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に第１コン
デンサを挿入することにより、第１コンデンサに電荷を
蓄える状態と、 第１コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に
供給する状態と、 電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態とを切り替える切り替え手段を
含んでいることを特徴とする電荷検出回路。 - 【請求項８】電荷注入手段は電源であって、 電荷検出手段の入力部が基準電源と接続され、 上記電荷検出手段の入力部と電荷検出回路の入力端子と
の間に、第３スイッチと第１コンデンサと第４スイッチ
とが、上記入力端子側からこの順で直列に接続されると
共に、第１スイッチが第１コンデンサと並列に接続さ
れ、 第１コンデンサにおける第３スイッチと接続されている
側の電極が、第２スイッチにより上記電源と接続されて
いると共に、第１１スイッチにより基準電源と接続され
るように切り替え手段が構成されていることを特徴とす
る請求項７に記載の電荷検出回路。 - 【請求項９】第１コンデンサは、並列に接続された複数
のコンデンサの組み合わせであると共に、各コンデンサ
の容量は互いに異なり、 切り替え手段は、上記電荷注入手段と上記電荷検出手段
との間に、少なくとも１つのコンデンサを選択的に挿入
することにより、選択されたコンデンサに電荷を蓄える
状態と、選択されたコンデンサに蓄えられた電荷を上記
電荷検出回路に供給する状態とを切り替えるように構成
されていることを特徴とする請求項７に記載の電荷検出
回路。 - 【請求項１０】入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、 入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、 上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に第２コン
デンサを挿入することにより、第２コンデンサに電荷を
蓄える状態と、 第２コンデンサに蓄えられた電荷を上記電荷検出手段に
供給する状態と、 電磁波から変換された電荷を電荷検出回路の入力端子か
ら上記電荷検出手段に供給する状態とを切り替える切り
替え手段を含んでいることを特徴とする電荷検出回路。 - 【請求項１１】電荷注入手段は電源であって、 上記電荷検出手段の入力部が基準電源と接続され、 第２コンデンサにおける一方の電極は、上記入力端子お
よび上記電荷検出手段の入力部に接続され、 第２コンデンサにおける他方の電極が、第６スイッチに
より電源に接続されると共に、第１２スイッチにより基
準電源に接続されるように切り替え手段が構成されてい
ることを特徴とする請求項１０に記載の電荷検出回路。 - 【請求項１２】入射する電磁波を電荷に変換し、これを
画像データとして出力する画像検出器に内蔵される電荷
検出回路において、 入力した電荷から電位を読み出して上記電位と基準電位
との差から電圧を出力する電荷検出手段と、電荷を注入
できる電荷注入手段とを備え、 上記電荷検出回路の入力端子と上記電荷検出手段との間
に第３コンデンサを挿入するとともに、上記入力端子か
ら電圧を印加して、上記コンデンサに電荷を蓄える状態
と、 上記電荷注入手段と上記電荷検出手段との間に、第４コ
ンデンサを挿入することにより、第４コンデンサに電荷
を蓄える状態と、 第３コンデンサまたは第４コンデンサに蓄えられた電荷
を上記電荷検出手段に供給する状態と、 電磁波から変換された電荷を上記入力端子から上記電荷
検出手段に供給する状態とを切り替える切り替え手段を
含んでいることを特徴とする電荷検出回路。 - 【請求項１３】電荷注入手段は電源であって、 上記演算増幅器の入力部が基準電源と接続され、 上記演算増幅器の入力部と電荷検出回路の入力端子との
間に、第８スイッチと第３コンデンサと第９スイッチと
が、上記入力端子側からこの順で直列に接続されると共
に、第７スイッチが第３コンデンサと並列に接続され、 第４コンデンサにおける一方の電極は、電荷検出回路の
入力端子および電荷検出手段に接続され、 第４コンデンサにおける他方の電極が、第１０スイッチ
により上記電源に接続されると共に、第１３スイッチに
より基準電源に接続されるように切り替え手段が構成さ
れていることを特徴とする請求項１２に記載の電荷検出
回路。 - 【請求項１４】電荷注入手段が、電荷検出回路を駆動す
る電源であることを特徴とする請求項７ないし１３のい
ずれか１項に記載の電荷検出回路。 - 【請求項１５】電荷注入手段が、電荷検出回路を駆動す
る電源とは別個独立に設けられた電源であることを特徴
とする請求項７ないし１３のいずれか１項に記載の電荷
検出回路。 - 【請求項１６】電荷注入手段から出力した電圧のうち一
定割合の電圧を取り出すことができる分圧器が備えられ
ていることを特徴とする請求項７ないし１５のいずれか
１項に記載の電荷検出回路。 - 【請求項１７】電磁波はＸ線であることを特徴とする請
求項１ないし１６のいずれか１項に記載の電荷検出回
路。 - 【請求項１８】請求項１ないし１６のいずれか１項に記
載の電荷検出回路が複数集積して構成されているＬＳ
Ｉ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002059456A JP4080222B2 (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 電荷検出回路およびｌｓｉ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002059456A JP4080222B2 (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 電荷検出回路およびｌｓｉ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003259238A true JP2003259238A (ja) | 2003-09-12 |
| JP4080222B2 JP4080222B2 (ja) | 2008-04-23 |
Family
ID=28669142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002059456A Expired - Fee Related JP4080222B2 (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 電荷検出回路およびｌｓｉ |
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|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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-
2002
- 2002-03-05 JP JP2002059456A patent/JP4080222B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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| A977 | Report on retrieval |
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| A521 | Request for written amendment filed |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110215 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4080222 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110215 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130215 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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