JP2005123621A - 固体イメージャ用蓄電キャパシタ設計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体イメージャ(100)用の蓄電キャパシタ設計である。イメージャは、撮像用アレイ・パターンを成して基材(105)上に配設されている幾つかのピクセル(110)を含んでいる。各々のピクセルが、薄膜切り換えトランジスタ(130)に結合されている光センサ(120)を含んでいる。撮像用アレイの第一の軸(101)に沿って基材に関して第一の階層に何本かの走査線(150)が配設されており、第二の軸(102)に沿って第二の階層に何本かのデータ線(140)が配設されている。各々のピクセルは、光センサに並列に結合されている蓄電キャパシタ(212)を含んでおり、蓄電キャパシタは蓄電キャパシタ電極(214)とキャパシタ共通電極(216)とを含んでいる。
【選択図】 図2
Description
101 横列軸
102 縦列軸
105 基材
110 ピクセル
120 光センサ
121 第一の誘電材料層
122 ピクセル電極
123 第二の誘電材料層
124 感光性材料本体
125 第三の誘電層
126 ダイオード共通電極
130 薄膜切り換えトランジスタ
132 ゲート電極
134 ドレイン電極
136 ソース電極
140 データ線
150 走査線
205 光センサ
210 ピクセル
211 蓄電キャパシタ
212 キャパシタ共通電極
214 キャパシタ誘電体
216 キャパシタ信号電極
217 ゲート電極
218 ソース電極バイア
219 導電層(下層ピクセル電極)
220 バイア領域
222 バイア
224 孔
225 誘電層
230 薄膜切り換えトランジスタ
Claims (10)
- 横列及び縦列で構成されている撮像用アレイ・パターンを成して基材上に配設されている複数のピクセル(210)であって、当該ピクセルの各々が、それぞれの薄膜切り換えトランジスタ(230)に結合されているそれぞれの光センサ(205)を含んでいる、複数のピクセル(210)と、
前記撮像用アレイ・パターンの第一の軸に沿って前記基材に関して第一の階層に配設されている複数の走査線(150)であって、前記撮像用アレイ・パターンの各々のピクセル横列がそれぞれの走査線を有しており、当該それぞれの走査線の各々が、前記撮像用アレイ・パターンの前記それぞれのピクセル横列に沿って配設されている各々のピクセルの前記薄膜切り換えトランジスタのそれぞれのゲート電極(217)に結合されている、複数の走査線(150)と、
前記撮像用アレイ・パターンの第二の軸に沿って前記基材に関して第二の階層に配設されている複数のデータ線(140)であって、前記撮像用アレイ・パターンの各々のピクセル縦列が、対応するデータ線を有しており、当該それぞれのデータ線の各々が、前記撮像用アレイ・パターンの前記それぞれのピクセル縦列に沿って配設されている各々のピクセルの前記薄膜切り換えトランジスタのそれぞれのソース電極(236)に結合されている、複数のデータ線(140)と、
と、を備えたイメージャであって、
各々のピクセルが、前記光センサに並列に結合されている蓄電キャパシタ(211)を含んでおり、該蓄電キャパシタは、キャパシタ信号電極(216)、キャパシタ共通電極(212)、及び前記キャパシタ信号電極と前記キャパシタ共通電極との間に配設されている誘電体(214)を含んでおり、前記キャパシタ信号電極は前記蓄電キャパシタの前記共通電極よりも大きい、
イメージャ(100)。 - 前記キャパシタ信号電極は少なくとも2層の導電層(219)を含んでおり、該導電層はソース金属バイア(218)により共に結合されている、請求項1に記載のイメージャ。
- 前記薄膜トランジスタの前記ゲート電極及び前記キャパシタ信号電極は同じ材料で構成されている、請求項1に記載のイメージャ。
- 前記導電層は前記光センサの下層ピクセル電極及び前記薄膜切り換えトランジスタの前記ソース電極を形成している、請求項1に記載のイメージャ。
- 前記導電層及び前記キャパシタ信号電極は前記ソース金属バイアにより結合されている、請求項1に記載のイメージャ。
- 前記ソース金属バイアの下方領域において前記キャパシタ共通電極に蝕刻されている孔(224)をさらに含んでいる請求項1に記載のイメージャ。
- 前記キャパシタ信号電極を前記光センサに結合する複数のバイア(222)をさらに含んでいる請求項1に記載のイメージャ。
- 前記複数のバイアの下方領域において前記共通電極に蝕刻されている複数の孔(224)をさらに含んでいる請求項7に記載のイメージャ。
- 前記光センサは前記導電層よりも大きい、請求項1に記載のイメージャ。
- 前記イメージャはX線イメージャである、請求項1に記載のイメージャ。
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