JP2003243474A

JP2003243474A - 無人搬送車システム

Info

Publication number: JP2003243474A
Application number: JP2002038342A
Authority: JP
Inventors: Shuji Akiyama; 収司秋山; Takashi Nakao; 敬史中尾
Original assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-02-15
Filing date: 2002-02-15
Publication date: 2003-08-29
Anticipated expiration: 2022-02-15
Also published as: JP4234934B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】異なるサイズのウエハが同一の製造ラインに
混在している場合でも、サイズ毎に異なる搬送車を用意
する必要がなく、同一の搬送車で異なるサイズのウエハ
の搬送をも可能とする無人搬送車システムを提供する。【解決手段】無人搬送車２に、ウエハの移載を行う枚
葉移載装置１８と、ウエハを収納するバッファカセット
１７ａと、枚葉移載装置１８の制御装置１２とを設け、
バッファカセットは搬送車本体５に対して着脱可能に設
けられると共に、制御装置１２に、搭載されるバッファ
カセットに収納されるウエハのサイズごとに異なる移載
動作プログラムを記憶させ、載置されるバッファカセッ
トの取付面形状の違いを検出する検出機構が設けられ、
検出機構の検出結果に基づいて、載置されたバッファカ
セットに応じた保持機構を作動させる制御装置１２を設
けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、異なるサイズの半
導体ウエハなどが混在した半導体製造工程などにおい
て、ウエハの搬送・移載を行う無人搬送車システムの技
術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウエハを収納するための棚
を多数設けたカセットを移載するための移載装置を搭載
した無人搬送車により、その搬送経路に沿って多数設け
られた処理装置に当該カセットごと移載する無人搬送車
システムが知られている。このシステムでは、各処理装
置に、載置されたカセットから半導体ウエハを１枚ずつ
取り出し、１枚毎処理部に移載する枚葉移載装置がそれ
ぞれ設けてあった。このため、システムが大規模になる
ほど処理装置が多く設けられるので、この枚葉移載装置
がその分多く必要になるという問題があった。その上、
多品種少量生産を行う場合、品種により処理する処理装
置が異なるため、各処理装置には、処理する半導体ウエ
ハが１〜２枚であっても、例えば２５枚を収納可能なカ
セットで供給する必要がある。このため、カセットも非
常に多く必要になり、そのカセットを収納するストッカ
ーが大きくならざるを得ないという問題があった。そこ
で、半導体ウエハを収納するための棚を多数設けたバッ
ファカセットと、枚葉移載装置を無人搬送車に搭載し、
例えば、ストッカーのステーションに載置されたカセッ
トから、半導体ウエハを枚葉移載装置でバッファカセッ
トに順次収納し、目的の処理装置まで搬送して、処理装
置に半導体ウエハを直接移載することが検討されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このようなシステムで
は、半導体ウエハを収納するバッファカセットは、無人
搬送車に固定されることになる。しかしながら、半導体
ウエハは、そのサイズ（直径）が、従来から設けられて
いる８インチに加えて、より多くの製品を作ることがで
きる１２インチのものができており、半導体ウエハを収
納するカセットも８インチ専用のものと１２インチ専用
のものがＳＥＭＩ規格に基づいて造られている。そし
て、一つの工場内に８インチ用の処理ライン、１２イン
チ用の処理ライン、それに８インチと１２インチの処理
ラインとが混在することがある。さらに、その処理ライ
ンは、レイアウト変更により、今まで８インチ専用の処
理ラインであったものが、８インチと１２インチの並設
ラインや、１２インチのみの処理ラインになる可能性が
ある。このため、８インチ専用の無人搬送車、１２イン
チ専用の無人搬送車では、８インチと１２インチとが混
在する処理ラインや、レイアウト変更などに伴うウエハ
のサイズの変化に対応できないという問題が発生した。
そこで、本発明は、以上のような状況に鑑み、処理ライ
ンが複数のサイズのウエハを処理するラインであった
り、レイアウト変更により処理しなければならないウエ
ハが変化したりしても対応することができる無人搬送車
システムを提供することが課題である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するた
めの手段を説明する。

【０００５】即ち、請求項１においては、ウエハを収納
するバッファカセットと枚葉移載装置を搭載し、ウエハ
の処理装置へウエハを収納するバッファカセットを搬送
し、前記枚葉移載装置によってバッファカセット内のウ
エハを処理装置に移載する無人搬送車と、枚葉移載装置
の移載動作制御装置とを備えた無人搬送車システムにお
いて、前記制御装置に、バッファカセットに収納される
ウエハのサイズにそれぞれ対応した移載動作を枚葉移載
装置にさせるための移載動作プログラムを格納したもの
である。

【０００６】請求項２においては、前記バッファカセッ
トには、サイズが異なる二種類以上のウエハをサイズご
とに分別収納する棚が並設されるものである。

【０００７】請求項３においては、無人搬送車に前記バ
ッファカセットを着脱自在に取り付ける台を設け、収納
するウエハのサイズによって異なる種類のバッファカセ
ット毎にそれぞれ対応した複数のバッファカセット保持
機構とバッファカセットの種類を検出する検出機構とを
該台に設け、また該検出機構の検出したバッファカセッ
トの種類に対応する前記保持機構を作動させる制御装置
を設けたものである。

【０００８】請求項４においては、前記移載動作プログ
ラムは、ウエハのサイズに対応した複数のプログラムか
らなるとともに、前記バッファカセットに収納されるウ
エハのサイズを検出する検出機構を設け、前記移載動作
制御装置は、前記ウエハのサイズを検出する検出機構か
らの検出結果に基づき、対応するウエハのサイズの移載
動作プログラムを選択し、枚葉移載装置の移載動作を最
適移載モードに変更する機構を有するものである。

【０００９】請求項５においては、前記ウエハのサイズ
を検出する検出機構が、前記バッファカセットの種類を
検出する検出機構であるものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】次に、発明の実施の一形態を説明
する。図１は本発明の実施の一形態である無人搬送車シ
ステムが適用されるウエハ処理作業の一工程作業部を示
す概略図、図２は無人搬送車の右側面図、図３は無人搬
送車の平面図、図４はバッファカセットとバッファカセ
ット台の側面一部断面図、図５はバッファカセットとバ
ッファカセット台の前面一部断面図、図６はバッファカ
セット台の平面図、図７は８インチ専用バッファカセッ
トの右側面一部断面図、図８は８インチ専用バッファカ
セットの取付面図、図９は８インチ専用バッファカセッ
トの係止部を示す正面図、図１０は第二保持機構の平面
図、図１１は第二保持機構の斜視図である。

【００１１】まず、図１から図３を用いて本発明の一実
施例である無人搬送車システム１の全体構成を説明す
る。図１に示すように、本実施例の無人搬送車システム
１は、ウエハ処理作業の一工程作業部に適用されてい
る。該作業部には、ウエハが収納される自動倉庫３や、
ウエハの処理装置４・４・・・が配置される。無人搬送
車システム１には、処理装置４にウエハを搬送する無人
搬送車２が備えられている。そして、自動倉庫３、処理
装置４・４・・・に沿って、無人搬送車２の走行経路が
形成されている。本実施例では、無人搬送車２の走行経
路に沿って走行レール７ａ・７ｂが敷設されており、無
人搬送車２は走行レール７ａ・７ｂ上を走行する。ま
た、一方の走行レール７ａには、無人搬送車２に走行や
各種作動部の駆動のための電力を供給する給電ケーブル
８が添設される。無人搬送車２はコアとコアに巻回する
受電コイルとを備え、給電ケーブル８より電磁誘導を利
用して、非接触にて電力が供給される。電力供給装置９
は無人搬送車２の走行経路の側方に設置され、前記給電
ケーブル８に電力を供給する。本実施例では、無人搬送
車２は走行レール７ａ・７ｂ上を走行する有軌道台車と
し、給電ケーブルより非接触で電力供給を受ける構成と
している。本発明はその性質上、この構成に限定される
ものではなく、バッテリにより電力供給を受け、走行レ
ールを敷設せず、誘導線やレーザー誘導システムにより
走行経路に誘導されるようにしてもよい。

【００１２】工程内には、工程内で作動する無人搬送車
２の制御を行う搬送車コントローラ１０が設けられてい
る。加えて、各工程内に設けた搬送車コントローラ１０
を統括制御する統括制御装置６が設けられる。統括制御
装置６は、中央制御室など工程外に設置されるホストコ
ンピュータであり、搬送車コントローラ１０を介して、
無人搬送車２に搬送指令を発信する。統括制御装置６と
搬送車コントローラ１０とは、通信線を介して接続され
ている。また、搬送車コントローラ１０と無人搬送車２
とは、搬送車コントローラ１０と接続される通信手段１
１ａと、無人搬送車２に搭載されている通信手段１１ｂ
とで行う。例えば、通信手段１１ａ・１１ｂは、光通信
手段で構成される。

【００１３】次に無人搬送車２の構成について図２およ
び図３を用いて説明する。無人搬送車２の搬送車本体５
には、アライナー１９、枚葉移載装置１８、バッファカ
セットが搭載される。搬送車本体５には、走行輪１３・
１３・・・が備えられており、駆動モータ１４の駆動に
より、無人搬送車２が走行可能である。なお、以下の記
述では便宜上無人搬送車２の方向について、後述するア
ライナー１９が搭載されている方を「前方」、バッファ
カセット（図２においては１２インチ・８インチ併用の
バッファカセット１７ａ）が搭載されている方を「後
方」と呼ぶことにする。また、バッファカセットには、
搬送車本体５への取付面（本実施例では底面）の形状の
異なる三種類のカセット（１２インチ・８インチ併用の
バッファカセット１７ａ、１２インチ専用のバッファカ
セット１７ｂ、８インチ専用のバッファカセット１７
ｃ）が存在するが、図２および図３では１２インチ・８
インチ併用のバッファカセット１７ａが固定された場合
を示す。

【００１４】図２に示すように、無人搬送車２はクリー
ンルーム内に敷設された二本の走行レール７ａ・７ｂ上
を走行する有軌道台車であり、一方の走行レール７ａに
添設される給電ケーブル８（図１に図示）より電磁誘導
を利用して非接触により、電力供給される。そして、無
人搬送車２内に設けた駆動モータや制御機器等の電力負
荷に、電力を供給する。

【００１５】搬送車本体５の上面後部にはバッファカセ
ット台１５が設けられ、バッファカセット台１５には、
第一保持機構３６と第二保持機構４０とが設けられる。
また、バッファカセット１７ａには、ウエハを収納する
ための開口部２６が形成されており、該開口部２６を前
方（枚葉移載装置１８側）に向けて、バッファカセット
台１５上に載置される。バッファカセットは、その種類
により、第一保持機構３６、第二保持機構４０のいずれ
か一方により、バッファカセット台１５に対して、固定
・解除が可能である。つまり、バッファカセットは、搬
送車本体５に着脱可能に設けられる。種々のバッファカ
セットおよび保持機構３６・４０の構成については後で
詳述する。

【００１６】バッファカセット台１５の前方には枚葉移
載装置１８、さらに前方にはアライナー（姿勢合わせ装
置）１９が配設される。アライナー１９について説明す
る。枚葉移載装置１８によりバッファカセットに収納さ
れたウエハ２０・２０・・・は一枚づつ取り出され、ア
ライナー１９にてウエハ７の結晶方位が所定方向となる
ように枚葉移載装置１８の吸着位置を補正してから製造
装置や検査装置などの処理装置４に移載されたり、ある
いは処理装置４で処理後のウエハ２０がバッファカセッ
ト内に回収される。このアライナー１９には、載置され
たウエハ２０を吸引保持するとともに、旋回する載置台
と、載置台に載置されたウエハ２０の外縁の旋回軌跡を
検出するための外周検出センサとが設けられており、外
周検出センサにより検出された軌跡と、予め記憶されて
いる軌跡との差から、載置されているウエハ２０の、載
置台の中心に対する載置位置のズレを検出するととも
に、ウエハ２０の外縁に１箇所設けられているノッチや
オリエンテーションフラットなどの切欠の位置などを検
出する。この外周検出センサは、８インチのウエハ２０
ａの軌跡を検出可能な位置と、１２インチのウエハ２０
ｂの軌跡を検出可能な位置との両方に並設されている。
またアライナー１９には各ウエハ２０の表面に記された
バーコードなどの製造履歴情報を読み取るＩＤリーダー
（図示せず）も併設される。なお、本実施例では無人搬
送車２にはアライナー１９が配設されているが、本発明
はアライナーが配設されない構成の無人搬送車であって
も良い。

【００１７】枚葉移載装置１８について説明する。枚葉
移載装置１８の基部は昇降機構２１であり、昇降機構２
１は昇降自在に無人搬送車２に設けられる。昇降機構２
１上端には旋回可能な旋回台２２が設けられ、該旋回台
２２上面にアッパーアーム２３とロアアーム２４の二本
の移載アームが設けられる。前記移載アームが二本設け
られていることにより、ウエハ２０・２０・・・の移載
作業の迅速化が可能である。

【００１８】アッパーアーム２３およびロアアーム２４
は同様の構成であるので、以下、アッパーアーム２３に
ついて説明する。アッパーアーム２３は水平多関節のい
わゆるスカラ型移載装置で、その先端部はピンセット２
３ａとなっている。ピンセット２３ａの先端付近上面に
は吸着口２５・２５が穿設されており、無人搬送車２に
搭載されるエアータンクやエジェクターなどからなる負
圧発生機構（図示せず）が該吸着口２５・２５にエアー
配管を介して連結される。このように構成することによ
り、ピンセット２３ａ上にすくい取られたウエハ２０の
盤面が、吸着口２５・２５によるエアー吸引によりピン
セット２３ａに吸着されて、移載時にウエハ２０が脱落
しない。またピンセット２３ａを薄板状に形成すること
により、バッファカセットへの進入時に、バッファカセ
ット内の上下に配置される他のウエハに接触しない構成
となっている。ロアアーム２４のピンセット２４ａは、
常にアッパーアーム２３のピンセット２３ａよりも低い
位置で作動し、結果としてアッパーアーム２３とロアア
ーム２４は互いに接触せずに移載作業を行うことが可能
な構成となっている。

【００１９】無人搬送車２は、収納するウエハの種類や
組み合わせの異なるバッファカセットを搭載可能であ
る。本実施例においては、無人搬送車２は、三種類の異
なるバッファカセットを搭載可能に構成されており、具
体的には、１２インチ・８インチ併用のバッファカセッ
ト１７ａと、１２インチ専用のバッファカセット１７ｂ
と、８インチ専用のバッファカセット１７ｃとの三種類
である。１２インチ専用のバッファカセット１７ｂは、
１２インチ用のウエハ２０ａを収納可能なバッファカセ
ットである。８インチ専用のバッファカセット１７ｃ
は、８インチ用のウエハ２０ｂを収納可能なバッファカ
セットである。これに対し、１２インチ・８インチ併用
のバッファカセット１７ａは、サイズの異なる８インチ
のウエハ２０ａと１２インチのウエハ２０ｂを同時に収
納可能としたバッファカセットである。つまり、無人搬
送車２には、複数のサイズの異なるウエハを同時に収納
可能とするバッファカセットを、搭載可能である。１２
インチ・８インチ併用のバッファカセット１７ａは、詳
しくは後述するが、８インチのウエハを上方に配置され
た棚に、１２インチのウエハを下方に配置された棚に、
それぞれサイズ毎に分けた状態で収納するバッファカセ
ットである。なお、複数種のウエハを収納するバッファ
カセットは、収納可能なサイズを８インチと１２インチ
に限るものではなく、例えば、６インチ用と８インチ用
の共用のバッファカセットを製造して、該共用カセット
を搭載することも可能である。

【００２０】図４および図５に示すように、１２インチ
・８インチ併用のバッファカセット１７ａは筐体２７、
８インチ収納部２８、１２インチ収納部２９、位置決め
脚３０・３０・３０、係止体３１などで構成され、直径
８インチのウエハ２０ａと直径１２インチウエハ２０ｂ
との双方を収納可能である。そして、同一の処理ライン
に、直径８インチのウエハ２０ａと直径１２インチのウ
エハ２０ｂとが混在した状態でも、取り扱うウエハサイ
ズが異なる複数のバッファカセットを用意して無人搬送
車２に載せ換えたり、異なる無人搬送車２を同時に走行
させたりする必要が無い。

【００２１】１２インチ収納部２９の構成について説明
する。１２インチ収納部２９内に、ウエハ２０ｂが上下
に多数段配置して収納可能である。１２インチ収納部２
９の内壁の左右には、左右一対でウエハ２０ｂを載置す
る１２インチ用棚２９ａ・２９ａが、上下に多数段固設
されている。左右一対の１２インチ用棚２９ａ・２９ａ
は、直径８インチのウエハ２０ａの端部を支持すること
により、複数のウエハ２０ａを互いに接触させること無
く、１２インチ収納部内に収納することができる。８イ
ンチ収納部２８も、１２インチ用収納部２９と同様の構
成である。８インチ収納部２８の内壁の左右には、左右
一対でウエハ２０ａを載置する８インチ用棚２８ａ・２
８ａが、上下に多数段固設されている。８インチ用棚２
８ａ・２８ａの左右間隔は、ウエハのサイズに合わせ
て、１２インチ用棚２９ａ・２９ａの左右間隔より狭く
配置されている。

【００２２】なお本実施例では、１２インチ・８インチ
併用のバッファカセット１７ａ内部の構成について、８
インチのウエハ２０ａを上半分に、１２インチのウエハ
２０ｂを下半分に収納する構成としたが、例えば１２イ
ンチのウエハ２０ｂを上半分に収納してもよく、８イン
チのウエハ２０ａおよび１２インチのウエハ２０ｂの収
納可能な比率（８インチ用棚２８および１２インチ用棚
２９の設置棚数の比率）を変更してもよい。あるいはウ
エハのサイズが６インチのものが取り扱える棚を新たに
形成し、直径の異なる三種類以上のウエハを同時に収納
可能な構成としてもよく、限定されない。

【００２３】まず、バッファカセット台１５と、１２イ
ンチ・８インチ併用のバッファカセット１７ａとにおけ
る、相互の位置決め手段について説明する。バッファカ
セット台１５上には、正三角形の頂点位置となる三点
に、位置決めピン３２・３２・３２が立設されている。
一方、１２インチ・８インチ併用のバッファカセット１
７ａの底面には、位置決め脚３０・３０・３０が設けら
れており、位置決め脚３０の下面には、位置決め孔３０
ａが、前記位置決めピン３２と係合するように形成され
る。このため、バッファカセット１７ａがバッファカセ
ット台１５上に載置されると、前記位置決めピン３２が
それぞれ対応する位置決め孔３１ａに係合し、位置決め
がなされ、水平方向の移動が規制される。しかしなが
ら、位置決めピン３２による係合だけでは、上下方向の
大きな振動でずれる恐れがある。なお、本実施の一形態
では、バッファカセット１７ａの位置決め手段として位
置決め孔３０ａが形成されているが、ＳＥＭＩ規格にあ
るような位置決め用の溝でも良い。

【００２４】このため、本実施例のバッファカセット台
１５には、バッファカセット台１５に対するバッファカ
セット１７ａの上下動を制止する手段として、第一保持
機構３６が設けられている。第一保持機構３６は、位置
決めピン３２、固定フック３３、エアーシリンダ３４、
および開口部３５からなる。

【００２５】バッファカセット１７ａの筐体２７のバッ
ファカセット台１５への取付面には、側面視略Ｌ字型の
係止体３１が突設される。Ｌ字型となる係止体３１は、
基部３１ａと係止部３１ｂとからなる。基部３１ａの一
端が前記取付面に固設され、係止部３１ｂの面部は、取
付面と平行となる。一方、バッファカセット台１５側に
は該バッファカセット台１５に回動可能に固定フック３
３が設けられ、固定フック３３の駆動手段として、エア
ーシリンダ３４が設けられる。固定フック３３は、側面
視鉤状に形成されるフック部３３ａと、内部に長溝を形
成したスライド部３３ｂとを備えている。フック部３３
ａとスライド部３３ｂとの中央部で、固定フック３３は
バッファカセット台１５に取り付けられた枢軸５７に回
動自在に枢設される。エアーシリンダ３４の伸縮ロッド
３４ａの先端には、固定フック３３の枢軸５７と平行と
なる係止軸３４ｂが固設されている。前記スライド部３
３ｂ内に形成される長溝３３ｃは、係止軸３４ｂが溝の
方向に沿って移動可能な幅に形成されている。そして、
伸縮ロッド３４ａの伸縮により、係止軸３４ｂが前後
（伸縮ロッド３４ａの伸縮方向に）に移動し、それに伴
って、スライド部３３ｂが枢軸５７回りに回転し、フッ
ク部３３ａが回動する。従って、伸縮ロッド３４ａを伸
張させると、フック部３３ａが図４上において左回転
し、フック部３３ａの先端が係止体３１に当圧し、係止
体３１を固定する。その結果バッファカセット１７ａが
固定される。

【００２６】バッファカセット台１５の上面には開口部
３５が形成されており、固定フック３３が回動しても、
固定フック３３とバッファカセット台１５の上面とが接
触しない。また、固定フック３３は不使用時にはバッフ
ァカセット台１５内部に収納される。

【００２７】１２インチ専用のバッファカセット１７ｂ
（図示せず）は、１２インチのウエハ２０ｂのみを取り
扱う場合に使用され、前記１２インチ・８インチ併用の
バッファカセット１７ａの内部が１２インチ収納部２９
のみで構成される場合と略同じ構成である。前記１２イ
ンチ・８インチ併用のバッファカセット１７ａと取付面
である底面の形状も、位置決めおよび取り付け構成に関
して略同じである（ただし、後で詳述する検出手段５６
ａ・５６ｂ・５６ｃで検出される部位の形状はバッファ
カセット１７ａと異なる）。つまり、前記第一保持機構
３６により、１２インチ専用カセット１７ｂはバッファ
カセット台１５に対して固定・解除可能である。

【００２８】次に、直径８インチのウエハ２０ａのみを
収納する８インチ専用のバッファカセット１７ｃを使用
する場合について説明する。図７および図８に示すよう
に、８インチ専用のバッファカセット１７ｃの内部構成
は、前記８インチ収納部２８と同様の構成である。８イ
ンチ専用のバッファカセット１７ｃの内部の左右側壁に
は、左右一対でウエハ２０ａを載置する８インチ用棚３
７・３７が、上下に多数段固設されている。そして、左
右一対の８インチ用棚３７・３７によりウエハ２０ａの
左右両端部を支持し、複数のウエハ２０ａを互いに接触
させること無く収納することができる。

【００２９】８インチ専用のバッファカセット１７ｃと
バッファカセット台１５との前後位置の位置決め構造に
ついて説明する。８インチ専用のバッファカセット１７
ｃの底面６０中央には、側断面視略半円形状の位置決め
バー３９が固設されている。位置決めバー３９は、８イ
ンチ専用のバッファカセット１７ｃの左右方向に延出し
ている。一方、バッファカセット台１５上面には、一対
の位置決めブロック５４・５４が前後離間して固設され
ている。この一対の位置決めブロック５４・５５間の距
離は、前記位置決めバー３９の外径と同じである。そし
て、前記位置決めバー３９を前記一対の位置決めブロッ
ク５４・５５間に位置させて、８インチ専用のバッファ
カセット１７ｃをバッファカセット台１５上に載置する
と、８インチ専用のバッファカセット１７ｃがバッファ
カセット台１５上に対して、前後位置が位置決めされ
る。この状態で、８インチ専用のバッファカセット１７
ｃのウエハを収納する開口部は前方を向いている。

【００３０】次に、８インチ専用のバッファカセット１
７ｃとバッファカセット台１５との左右位置の位置決め
構造について説明する。８インチ専用のバッファカセッ
ト１７ｃの底面６０（バッファカセット台１５への取付
面）には、左右両端部に、それぞれ左右で一対となる係
止部３８・３８が形成されている。係止部３８には、図
９に示すように、８インチ専用のバッファカセット１７
ｃの左右側壁の下端部より下方（載置時）に延出する垂
直部３８ａと、垂直部３８ａの先端より、底面６０と平
行に（載置時）両側方に延出する水平部３８ｂとが形成
されている。水平部３８ｂ・３８ｂは、垂直部３８ａ・
３８ａより、それぞれ対向する向き（内側）に延出して
いる。そして、底面６０と、水平部３８ｂ、垂直部３８
ａとで、コ字形状となる係止部３８が構成される。一
方、バッファカセット台１５の内部には図１０に示す第
二保持機構４０が設けられている。ここで、バッファカ
セット台１５について説明する。バッファカセット台１
５は、図５に示すように大きさの異なる筐体からなるも
ので、それぞれ天板１５ａ・１５ｂを有している。上部
筐体の天板（以下「上部天板」という）１５ａには、後
述する軸４２ａ・４２ｂを上下方向に通過するととも
に、左右方向に移動可能にする長孔５３・５３・５３・
５３が形成されている。

【００３１】次に、第二保持機構４０について、以下説
明する。図５、図１０、図１１に示されるように、バッ
ファカセット台１５の下部筐体の天板（以下「下部天
板」という）１５ｂに支持される基部部材５２上に、左
右方向に配置されるガイド５３をスライドする一対のス
ライダー５７・５８が設けられている。それぞれのスラ
イダー５７・５８上には、側面視で水平部材を下方とし
た凹字形状のチャック基部４１ａ・４１ｂが取り付けら
れている。このため、それぞれのチャック基部４１ａ・
４１ｂは、スライダー５７・５８を介してガイド５３上
をスライド可能に構成されている。そして、チャック４
１ａ・４１ｂの上部の各先端には、前記上部天板１５ａ
に形成された長孔５３・５３・５３・５３内をこれら長
孔５３に沿って移動自在の軸４２ａ・４２ａ・４２ｂ・
４２ｂが設けられ、これら軸４２ａ・４２ａ・４２ｂ・
４２ｂには、係止体４２・４２・４２・４２が取り付け
られている。さらに第二保持機構４０は、チャック基部
４１ａ・４１ｂを移動させるための駆動機構を備えてい
る。

【００３２】駆動機構には、図１０に示すように、無端
状のワイヤ４４と、ワイヤ４４が掛け渡されるプーリ４
５・４６・４７・４８・４９が設けられ、また前記スラ
イダー５７・５８のそれぞれには、ワイヤ４４を係止す
るためのワイヤホルダ４１ｃが設けられ、さらに前記ス
ライダー５７を駆動させるエアシリンダ５１が設けら
れ、それぞれ前記基部部材５２上に配設される。プーリ
４５・４６・４７・４８・４９は、ワイヤ４４が平面視
で凹形を形成するように配置され、ワイヤ４４の内側の
コ字形の中央に前記ガイド４３が配置される。そして、
スライダー５７・５８にはワイヤ４４が通過可能な一対
の貫通孔５７ａ・５７ｂおよび貫通孔５８ａ・５８ｂが
それぞれガイド４３に略平行となるように形成され、内
側のコの字を形成している一対のワイヤ４４の部分（よ
り具体的にはプーリ４７・４８間およびプーリ４８・４
９間に掛け渡されている部分）がそれぞれ貫通するよう
になっている。この一対の貫通孔の一方を貫通している
ワイヤ４４に前記ワイヤホルダ４１ｃを係止すること
で、スライダー５７・５８をワイヤ４４に固定するよう
になっている。このときのスライダー５７・５８とワイ
ヤ４４との係止固定位置は、ワイヤ４４のコ字形の対向
する一対の一方を、スライダー５７に固定し、他方をス
ライダー５８に固定する。より具体的には、プーリ４８
・４９間においてワイヤ４４とスライダー５７とを係止
し、プーリ４７・４８間においてワイヤ４４とスライダ
ー５８とを係止するのである。また、エアシリンダ５１
のシリンダロッド５１ａの先端には、スライダー固定部
材５１ｂが取り付けられ、スライダー固定部材５１ｂは
スライダー５７に固定されるようになっている。このよ
うな構成になっているため、エアシリンダ５１を作動さ
せることで、スライダー５７が移動し、その移動に伴い
ワイヤ４４のコ字形の対向する辺のワイヤが逆方向に移
動する。つまり、エアシリンダ５１の伸縮に合わせて、
スライダー５７（チャック基部４１ａ）とスライダー５
８（チャック基部４１ｂ）とが接近・離間するようにな
っている。

【００３３】また、チャック基部４１ａ・４１ｂの上方
に配置されている前記係止体４２は、前記係止部３８に
進入可能な高さ位置に配置されている。そして、係止体
４２が中央から外側に移動する（チャック基部４１ａ
と、チャック基部４１ｂとが離間する方向に移動する）
ことで、係止体４２は係止部３８と係合し、バッファカ
セット１７ｃがバッファカセット台１５に固定されるよ
うになっている。また、係止体４２が係止部３８と係合
している状態から、係止体４２が中央方向に移動する
（チャック基部４１ａと、チャック基部４１ｂとが接近
する方向に移動する）ことで、係止体４２と係止部３８
との係合が解け、バッファカセット１７ｃがバッファカ
セット台１５から着脱可能になる。

【００３４】図７および図８に示すように、８インチ専
用のバッファカセット１７ｃをバッファカセット台１５
に固定するときは、バッファカセット台１５上面に突設
された二組の一対の位置決めブロック５４・５５間に位
置決めバー３９がはまり込むように載置する。これで、
前後位置が位置決めされる。続いて前記第二保持機構４
０を作動させて二組の一対の係止体４２・４２・４２・
４２を無人搬送車２の左右側面外方向に移動させ、８イ
ンチ専用カセット１７ｃに設けた係止部３８と、前記係
止体４２とを係合させる。

【００３５】このようにすることにより、８インチ専用
のバッファカセット１７ｃはバッファカセット台１５に
位置決めされて固定される。なお、本実施例ではバッフ
ァカセット１７ｃの係止部３８の水平部３８ｂがバッフ
ァカセット１７ｃの内側に対向するように設けられ、こ
れに応じて係止体４２が内側（中心軸）から外側に移動
することによりバッファカセット１７ｃをバッファカセ
ット台１５に係合するようにしているが、バッファカセ
ット１７ｃの水平部３８ｂが外側に向くように形成され
ていれば、係止体４２を外側から内側に移動させること
で係合させるようにすればよい。また、前記１２インチ
・８インチ併用のバッファカセット１７ａまたは１２イ
ンチ専用のバッファカセット１７ｂをバッファカセット
台１５に固定する第一保持機構３６と、８インチ専用の
バッファカセット１７ｃをバッファカセット台１５に固
定する第二保持機構４０とは、互いに干渉せず、所定の
バッファカセット以外のものを載置する際に邪魔になら
ないように構成されている。

【００３６】以上で説明したように、無人搬送車２に搭
載するバッファカセットは、搬送車本体５に対して脱着
可能である。

【００３７】このため、収納するウエハのサイズの異な
るバッファカセットを、無人搬送車２に搭載することが
できる。したがって、一台の無人搬送車２を、バッファ
カセットの種類を交換するだけで、ウエハのサイズの異
なる製造ラインで共用することができ、部品共用化に繋
がる。

【００３８】また、搬送車本体５には、枚葉移載装置１
８の制御装置１２が設けられている。枚葉移載装置１８
は、制御装置１２に記憶される移載動作プログラムによ
り制御される。枚葉移載装置１８により移載するウエハ
の種類に応じて、異なる移載動作プログラムが必要とな
るが、これらの各種の移載動作プログラムが、制御装置
１２に記憶されている。異なる移載動作プログラムが必
要とされるのは、枚葉移載装置１８が移載するウエハの
サイズに応じて、例えば、無人搬送車２に搭載されるバ
ッファカセットやアライナー４、走行経路に沿って設け
た処理装置までの移載距離が変化するため、枚葉移載装
置１８のピンセット２３ａ・２３ｂの伸縮量を変化させ
る必要があることによる。

【００３９】そこで、枚葉移載装置１８の制御装置１２
に、ウエハのサイズに応じて異なる移載動作プログラム
を記憶させることで、枚葉移載装置１８が移載するウエ
ハのサイズに応じて、枚葉移載装置１８の移載動作を変
更することができる。したがって、無人搬送車２に種類
の異なるバッファカセットを搭載して、種類の異なるウ
エハを移載する場合に、枚葉移載装置１８の移載動作を
変更することができ、直ちに、ウエハサイズの異なる製
造ラインでの無人搬送車２の使用が可能となる。

【００４０】前述した各種のバッファカセットの一つで
ある１２インチ・８インチ併用のバッファカセット１７
ａには、８インチ用収納部２８と１２インチ用収納部２
９とが設けられる。８インチ用収納部２８には、８イン
チのウエハ２０ｂを収納する８インチ用棚２８ａ・２８
ａが設けられ、１２インチ用収納部２９には、１２イン
チ用のウエハ２０ａを収納する１２インチ用棚２９ａ・
２９ａが設けられる。また、本実施例の無人搬送車２で
は、１２インチのウエハ２０ａ用の処理装置と、１２イ
ンチのウエハ２０ｂ用の処理装置が混在していても対応
できるように、１２インチ・８インチ併用のバッファカ
セット１７ａでは、１２インチ用の移載プログラムと８
インチ用の移載プログラムとが両方作動し、枚葉移載装
置１８を制御するようになっている。つまり、８インチ
用の棚２８ａ・２８ａに８インチ用ウエハ２０ａを移載
する場合には、前記制御装置１２に記憶されている移載
動作プログラムの中から８インチ用の移載動作プログラ
ムが選択され、１２インチ用の棚２９ａ・２９ａに１２
インチのウエハ２０ｂを移載する場合には１２インチ用
の移載動作プログラムが選択される。そして、この移載
動作プログラムは、そのウエハ２０ａ（もしくはウエハ
２０ｂ）をそれぞれ収納されている一対の棚２８ａ・２
８ａ（もしくは棚２９ａ・２９ａ）から、前記アライナ
ー１９に供給する際にも適用されるとともに、検査装置
や製造装置などの処理装置４にウエハ２０ａ（もしくは
ウエハ２０ｂ）を移載する際にも適用される。なお、こ
の際の移載動作プログラムの選択方法であるが、８イン
チ用の移載動作プログラムと１２インチ用の移載動作プ
ログラムとの２種類を制御装置１２に格納させておき、
それを棚の位置のウエハ移載指令に応じて適用プログラ
ムを選択する方法や、８インチ用の棚２８ａ・２８ａと
１２インチ用の棚２９ａ・２９ａの高さ位置に枚葉移載
装置１８が昇降するときの昇降指令と連動するように８
インチ用の移載動作プログラムと１２インチ用の移載動
作プログラムが併記されている１２インチ・８インチ併
用のバッファカセット１７ａ用の移載動作プログラムを
制御手段１２に更に格納させ、それによって選択する方
法等がある。

【００４１】また８インチ専用のバッファカセット１７
ｃや、１２インチ専用のバッファカセット１７ｂが搭載
された場合には、それぞれ８インチ専用または１２イン
チ専用の移載動作プログラムが選択されるようになって
いる。このように、本実施例の無人搬送車２は、異なる
種類のバッファカセットを搭載できるのみならず、搭載
されたバッファカセットの種類に応じて、前記制御手段
１２に格納されている前記枚葉移載装置１８の移載動作
プログラムの中から、最適な移載動作プログラムが選択
されるようになっている。さらに、搭載しているアライ
ナー１９も、載置される８インチのウエハ２０ａおよび
１２インチのウエハ２０ｂの両方が検出可能に外周検出
センサをそれぞれ配置しており、搭載されるバッファカ
セットの種類に応じて適切なセンサが選択されるように
する。このため、レイアウト変更等により従来８インチ
のウエハ２０ａのみの処理ラインであったものが、８イ
ンチのウエハ２０ａ用の処理装置と、１２インチのウエ
ハ２０ｂ用の処理装置とが混在する処理ラインに変更さ
れても、また、１２インチのウエハ２０ｂ用の処理装置
専用ラインに変更されても、搭載するバッファカセット
の種類を変えるだけで枚葉移載装置１８の設定変更など
をすることなく、同じ無人搬送車２で対応することがで
きるようになっている。

【００４２】続いて、種類の異なるバッファカセット
を、無人搬送車２側で検出する方法について説明する。
バッファカセットのバッファカセット台１５への取付面
の形状は、バッファカセットの種類毎に異なる部分を有
するように形成されている。具体的には、バッファカセ
ットの底面（取付面）に、例えば、前期位置決め脚３０
のように外側に突出する部分が形成されており、この突
出する部分の形状がバッファカセットにより異なるよう
になっている。そこで、本実施例の無人搬送車２では、
突出部の有無を検出機構により検出することで、バッフ
ァカセット台１５に載置されたバッファカセットの種類
を認識するようになっている。

【００４３】この検出機構は、図６に示されるような前
記上部天板１５ａに、その検出部のみが上方に突出する
ように配置された検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃと、
これらの検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃの検出信号が
送信される制御装置１２とを備えている。なお、制御装
置１２は、枚葉移載装置１８の制御装置をも兼ねてい
る。このそれぞれの検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃ
は、検出部が押し下げられることにより物品を検出する
ようになっており、バッファカセット台１５の上面の三
箇所に配設される。該検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃ
はバッファカセット台１５上面より上方に突出した押し
ボタンであり、例えば８インチ専用のバッファカセット
１７ｃをバッファカセット台１５に載置したとき、８イ
ンチ専用のバッファカセット１７ｃの底面に突設された
位置決めバー３９により、検出手段５６ｃは押し下げら
れる。このとき、残りの二箇所の検出手段５６ａ・５６
ｂは８インチ専用のバッファカセット１７ｃにより押し
下げられないように構成されている。

【００４４】取付面形状の違いを検出する検出機構は、
検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃのいずれから検出信号
が発せられたかを、制御装置１２に設けた判定回路で判
定して、バッファカセットの取付面（底面）形状の違い
を認識する。この認識結果により、検出機構は、バッフ
ァカセットの種類の違いを検出する。例えば、検出手段
５６ｃのみが押し下げられて検出信号が発せられなが
ら、検出手段５６ａ・５６ｂからは検出信号が発せられ
ない場合、搬送車本体５に載置されたバッファカセット
が、８インチ専用のバッファカセット１７ｃであること
が検出機構により検出される。

【００４５】以上において、８インチ専用のバッファカ
セット１７ｃにおいては、位置決めバー３９が、底面
（取付面）からの突出部であり、他のカセットとの違い
が搬送車本体５側に検出される被検出部である。

【００４６】１２インチ・８インチ併用のバッファカセ
ット１７ａおよび１２インチ専用のバッファカセット１
７ｂについても略同様であり、１２インチ・８インチ併
用のバッファカセット１７ａのときは三箇所の検出機構
のうち、検出手段５６ａのみが、１２インチ・８インチ
併用のバッファカセット１７ａの底面（取付面）に設け
た突出部（不図示）により押し下げられる。この突出部
が、他のバッファカセットとの違いが搬送車本体５側に
検出される被検出部である。また、１２インチ専用のバ
ッファカセット１７ｂのときは三箇所の検出手段のう
ち、検出手段５６ｂのみが、１２インチ専用のバッファ
カセット１７ｂの底面（取付面）に設けた突出部（不図
示）により、押し下げられる。この場合も、この突出部
が、他のバッファカセットとの違いが搬送車本体５側に
検出される被検出部である。

【００４７】このように構成することにより、無人搬送
車２のバッファカセット台１５に載置されたバッファカ
セットの種類が、検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃのい
ずれか一つが押し下げられることにより、前記検出機構
により検出される。なお、本実施例では、検出手段５６
ａ・５６ｂ・５６ｃのいずれか１つだけ押し下げられ、
その検出結果を制御手段１２で検出するようになってい
るが、複数の、検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃが同時
に押し下げられたり、検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃ
を適宜組み合わせたものが押し下げられたりするように
して、その組み合わせを検出して、バッファカセットの
種類を制御手段１２で判断するような構成にしても良
い。また本実施例では、バッファカセットの種類を底面
の形状により検出したが、ＣＣＤカメラなどの撮像手段
による画像認識によりバッファカセットの種類を検出し
ても良い。また、バッファカセットの種類を検出するこ
とにより、該バッファカセットに収納されているウエハ
のサイズを認識するようにしているが、ウエハのサイズ
をＣＣＤカメラやレーザーセンサなどにより直接認識す
るようにしても良い。従って、検出手段５６ａ・５６ｂ
・５６ｃの配設位置を本実施例の構成に代えて、例え
ば、１２インチ・８インチ併用のバッファカセット１７
ａでは、検出手段５６ａ・５６ｂの双方が、１２インチ
・８インチ併用のバッファカセット１７ａの底面の突出
部により押し下げられる、などという構成でもよい。

【００４８】また、無人搬送車２には、前記検出機構の
検出結果に基づいて、搬送車本体５に載置されるバッフ
ァカセットに応じた保持機構を作動させる制御装置が備
えられている。該制御装置は、前記検出機構によって、
載置されるバッファカセットが、１２インチ・８インチ
併用のバッファカセット１７ａと１２インチ専用のバッ
ファカセット１７ｂのいずれかであることが検出される
と、前記第一保持機構３６を作動させる。また、該制御
装置は、前記検出機構によって、載置されるバッファカ
セットが、８インチ専用のバッファカセット１７ｃであ
ることが検出されると、前記第二保持機構４０を作動さ
せる。保持機構を作動させる制御装置は、本実施例で
は、枚葉移載装置１８の制御装置１２で兼用している。

【００４９】このため、搬送車本体５に載置されるバッ
ファカセットの取付面（底面）の形状の違いにより、載
置されるバッファカセットに対応した保持機構を作動さ
せることができる。特に、載置されるバッファカセット
に関するデータを、統括制御装置６や搬送車コントロー
ラ１０等の外部の制御装置より、無人搬送車２に予め送
信しておく必要が無いので、無人搬送車２への外部装置
からのデータ送信量を低減することができる。加えて、
複数種類のバッファカセットを無人搬送車２で使用する
場合でも、バッファカセットの交換のたびにバッファカ
セットに関するデータを、外部装置で作成する必要が無
い。

【００５０】バッファカセット台１５上に載置されたバ
ッファカセットの取付面形状の違いを検出する検出機構
により、バッファカセットの種類が検出されると、その
バッファカセットに応じた保持機構が作動する。

【００５１】枚葉移載装置１８の制御装置１２は、前記
検出機構の検出結果に基づいて、つまり、バッファカセ
ットの種類の検出に基づいて、枚葉移載装置１８の移載
動作モードを検出されたバッファカセットの種類に対応
したものに変更する。前述したように、制御装置１２に
は、ウエハサイズに応じた移載動作プログラムが記憶さ
れている。このとき、制御装置１２は、前記検出機構の
検出結果に基づいて、載置されたバッファカセットに対
応した移載動作プログラムで、枚葉移載装置１８が作動
するように、移載動作モードを変更する。つまり、アク
ティブにする移載動作プログラムの切替制御が、制御装
置１２内で行われる。

【００５２】このため、載置されるバッファカセットに
関するデータを、無人搬送車２に予め送信することな
く、載置されたバッファカセットに応じた適切な移載動
作モードで、無人搬送車２を待機させることができる。
このため、無人搬送車２に、統括制御装置６や搬送車コ
ントローラ１０等の外部の制御装置より、搬送の指令を
送信する際にも、載置されるバッファカセットに関する
データを含む必要が無いので、搬送指令の容量を小さな
ものとすることができる。外部制御装置の負担や、無人
搬送車２と外部制御装置との間を通信可能とする通信機
器の負担が、軽減される。

【００５３】本実施例では、バッファカセットの交換時
には、無人搬送車２と、外部の制御装置である統括制御
装置６および搬送車コントローラ１０との間で、次のよ
うな手順に従って、移載動作が開始される。

【００５４】第一段階では、無人搬送車２において、バ
ッファカセットの交換が行われる。バッファカセットの
交換作業は、手動であっても、他の移載装置による自動
作業であってもよい。例えば、自動倉庫３上にバッファ
カセットの移載装置を設け、該移載装置によりバッファ
カセットの交換を行うものである。

【００５５】第二段階では、第一段階で載置されたセッ
トの種類を、無人搬送車２が備える前記検出機構が検出
する。検出機構に設けた制御装置１２は、バッファカセ
ットの取付面（底面）形状より、バッファカセットの種
類を検出する。

【００５６】第三段階では、制御装置１２は、検出機構
の検出結果に基づいて、バッファカセットの種類に応じ
た保持機構を作動させて、バッファカセットを搬送車本
体５に保持する。

【００５７】第四段階では、制御装置１２は、検出機構
の検出結果に基づいて、自らに記憶されている移載動作
プログラムの中から、載置されたバッファカセットに収
納されるウエハに対応した移載動作プログラムを選択
し、該移載動作プログラムに基づいて枚葉移載装置１８
が作動するように、移載動作モードを変更する。本実施
例では、無人搬送車２は、この状態で、外部制御装置で
ある統括制御装置６および搬送車コントローラ１０等の
搬送指令の待機状態となる。

【００５８】第五段階では、制御装置１２は、搬送車コ
ントローラ１０へ向けて、前記検出結果に基づいて、自
らの無人搬送車２に搭載されたバッファカセットの種類
に関するデータを送信する。

【００５９】第六段階では、搬送車コントローラ１０
に、統括制御装置６より無人搬送車２への搬送指令が送
られてくると、そのデータの中に含まれるウエハのサイ
ズに関するデータと、無人搬送車２の制御装置１２より
送信されたバッファカセットの種類に関するデータと
が、比較される。そして、搬送車コントローラ１０での
比較により、搬送指令に関わるウエハのサイズが、無人
搬送車２に搭載されたバッファカセットに収納可能なウ
エハであれば、問題無しと判定する。搬送指令に関わる
ウエハのサイズが、無人搬送車２に搭載されたバッファ
カセットに収納不能なウエハであれば、エラーと判定す
る。

【００６０】第七段階では、搬送車コントローラ１０で
の比較結果が問題ない場合、搬送指令が無人搬送車２に
伝達される。このとき、ウエハのサイズに関する確認作
業は終了しているので、搬送車コントローラ１０内にお
いて、統括制御装置６から下された搬送指令の再編集が
行われ、ウエハのサイズ等、不用なデータを除いたデー
タ量の少ない搬送指令が作成される。この再編集された
搬送指令が、搬送車コントローラ１０より、統括制御装
置６へ向けて伝達される。一方、搬送車コントローラ１
０での比較結果がエラーであった場合は、エラーである
ことに関するデータが、搬送車コントローラ１０より統
括制御装置６へ向けて送信される。無人搬送車２への搬
送指令の伝達は一時中断される。そして、ウエハのサイ
ズの誤認による、移載作業によるウエハの破損等の不具
合の発生を防止する。

【００６１】なお、前記第三段階から第五段階の処理は
同時処理に構成しても良く、また本実施例では統括制御
装置６の送信データと無人搬送車２の送信データとを搬
送車コントローラ１０にて比較していたが、該搬送車コ
ントローラ１０を省略して統括制御装置６と無人搬送車
２との間で直接データを送受信し、統括制御装置６また
は制御装置１２でデータを比較する構成としてもよい。
さらに、前記検出手段５６ａ・５６ｂ・５６ｃは押しボ
タンに限定する必要はなく、例えばバッファカセット台
１５上に三組の透過型光センサを設け、三種類のバッフ
ァカセットの取付面（底面）にそれぞれ特定の透過型光
センサの光のみを遮断する部材を設けても同様の効果を
奏する。またバッファカセットの種類は本実施例の三種
類に限らず、四種類以上でも構わない。また、本実施例
ではアライナー１９に設けられる外周検出センサを、８
インチ用と１２インチ用の２つが並設されるようにした
が、並設可能にしておき、処理ラインの構成に応じて、
その数を変えるようにしても良い。

【００６２】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成したので、
以下に示すような効果を奏する。

【００６３】即ち、請求項１に示す如く、ウエハを収納
するバッファカセットと枚葉移載装置を搭載し、ウエハ
の処理装置へウエハを収納するバッファカセットを搬送
し、前記枚葉移載装置によってバッファカセット内のウ
エハを処理装置に移載する無人搬送車と、枚葉移載装置
の移載動作制御装置とを備えた無人搬送車システムにお
いて、前記制御装置に、バッファカセットに収納される
ウエハのサイズにそれぞれ対応した移載動作を枚葉移載
装置にさせるための移載動作プログラムを格納したの
で、異なるサイズのウエハでも枚葉移載装置により移載
することができる。この結果、例えば、ウエハを処理す
る処理ラインに、８インチ用の処理装置と、１２インチ
用の処理装置とが並設されていても、１台の無人搬送車
で対応することができる。また、処理ラインが８インチ
用の処理装置のみから、レイアウト変更により、８イン
チ用の処理装置と１２インチ用の処理装置とが並設され
るようになっても、また、１２インチ用の処理装置のみ
が配置されるようになっても、対応することができる。

【００６４】請求項２に示す如く、前記バッファカセッ
トには、サイズが異なる二種類以上のウエハをサイズご
とに分別収納する棚が並設されるので、同一の製造ライ
ン上に、８インチ用のウエハの処理装置と、１２インチ
用のウエハの処理装置とが混在する場合でも、一台の無
人搬送車で対応することができる。特に、混在ラインに
おいて、移載するウエハのサイズが異なる度に、無人搬
送車に搭載するバッファカセットを交換する必要が無い
ので、移載作業の効率を低下させることが無い。

【００６５】請求項３に示す如く、無人搬送車に前記バ
ッファカセットを着脱自在に取り付ける台を設け、収納
するウエハのサイズによって異なる種類のバッファカセ
ット毎にそれぞれ対応した複数のバッファカセット保持
機構とバッファカセットの種類を検出する検出機構とを
該台に設け、また該検出機構の検出したバッファカセッ
トの種類に対応する前記保持機構を作動させる制御装置
を設けたので、バッファカセットを容易に交換すること
ができるため、レイアウト変更などにより処理しなけれ
ばならないウエハの種類が変わった場合に、最適なバッ
ファカセットに容易に交換することができる。また、バ
ッファカセットを交換する際に、検出機構によりそのバ
ッファカセットの種類の違いを認識し、最適な保持機構
を作動させることができる。

【００６６】請求項４に示す如く、前記移載動作プログ
ラムは、ウエハのサイズに対応した複数のプログラムか
らなるとともに、前記バッファカセットに収納されるウ
エハのサイズを検出する検出機構を設け、前記移載動作
制御装置は、前記ウエハのサイズを検出する検出機構か
らの検出結果に基づき、対応するウエハのサイズの移載
動作プログラムを選択し、枚葉移載装置の移載動作を最
適移載モードに変更する機構を有するので、検出機構に
より認識した結果に基づき、格納されている移載動作プ
ログラムからウエハを移載するのに最適な移載プログラ
ムを選択し、最適な移載モードとすることができる。こ
のため、ウエハのサイズに関するデータを外部の制御装
置から、例えば、搬送指令に含めて無人搬送車に送信す
ることなく、ウエハを移載することができ、外部の制御
装置から無人搬送車に送信するデータを減らすことがで
きるとともに、外部の制御装置および無人搬送車の制御
装置にかかる負担を減らすことができる。

【００６７】請求項５に示す如く、前記ウエハのサイズ
を検出する検出機構が、前記バッファカセットの種類を
検出する検出機構であるので、バッファカセットの種類
を検出することでバッファカセットに収納されているウ
エハの種類を容易に認識することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態である無人搬送車システ
ムが適用されるウエハ処理作業の一工程作業部を示す概
略図。

【図２】無人搬送車の右側面図。

【図３】無人搬送車の平面図。

【図４】バッファカセットとバッファカセット台の側面
一部断面図。

【図５】バッファカセットとバッファカセット台の前面
一部断面図。

【図６】バッファカセット台の平面図。

【図７】８インチ専用バッファカセットの右側面一部断
面図。

【図８】８インチ専用バッファカセットの底面図。

【図９】８インチ専用バッファカセットの係止部を示す
正面図。

【図１０】第二保持機構の平面図。

【図１１】第二保持機構の斜視図。

【符号の説明】

１無人搬送車システム２無人搬送車３自動倉庫４半導体製造装置５搬送車本体６統括制御装置１２制御装置１７バッファカセット１７ａ１２インチ・８インチ併用バッファカセット１７ｂ１２インチ専用バッファカセット１７ｃ８インチ専用バッファカセット１８枚葉移載装置２０ウエハ２０ａ８インチウエハ２０ｂ１２インチウエハ２８８インチ用収納部２９１２インチ用収納部３６第一保持機構４０第二保持機構５６ａ・５６ｂ・５６ｃ検出手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 ＣＬ (72)発明者中尾敬史京都市伏見区竹田向代町136番地村田機械株式会社本社工場内Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 CC02 EE05 KK10 LL12 MM08 NN13 PP01 PP04 QQ11 QQ17 5F031 CA02 DA01 DA17 EA18 FA01 FA03 FA09 GA08 GA24 GA30 GA35 GA36 GA38 GA43 GA49 GA50 GA58 HA13 HA59 JA01 JA02 JA04 JA08 JA14 JA15 JA17 JA28 JA29 JA34 JA35 JA36 JA40 JA50 JA51 KA11 KA13 KA14 KA20 LA13 LA15 MA06 NA02 PA02 PA16

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハを収納するバッファカセットと枚
葉移載装置を搭載し、ウエハの処理装置へウエハを収納
するバッファカセットを搬送し、前記枚葉移載装置によ
ってバッファカセット内のウエハを処理装置に移載する
無人搬送車と、枚葉移載装置の移載動作制御装置とを備
えた無人搬送車システムにおいて、前記制御装置に、バッファカセットに収納されるウエハ
のサイズにそれぞれ対応した移載動作を枚葉移載装置に
させるための移載動作プログラムを格納したことを特徴
とする無人搬送車システム。
【請求項２】前記バッファカセットには、サイズが異
なる二種類以上のウエハをサイズごとに分別収納する棚
が並設されることを特徴とする請求項１に記載の無人搬
送車システム。
【請求項３】無人搬送車に前記バッファカセットを着
脱自在に取り付ける台を設け、収納するウエハのサイズ
によって異なる種類のバッファカセット毎にそれぞれ対
応した複数のバッファカセット保持機構とバッファカセ
ットの種類を検出する検出機構とを該台に設け、また該
検出機構の検出したバッファカセットの種類に対応する
前記保持機構を作動させる制御装置を設けた、ことを特
徴とする請求項１または請求項２に記載の無人搬送車シ
ステム。
【請求項４】前記移載動作プログラムは、ウエハのサ
イズに対応した複数のプログラムからなるとともに、前
記バッファカセットに収納されるウエハのサイズを検出
する検出機構を設け、前記移載動作制御装置は、前記ウ
エハのサイズを検出する検出機構からの検出結果に基づ
き、対応するウエハのサイズの移載動作プログラムを選
択し、枚葉移載装置の移載動作を最適移載モードに変更
する機構を有する、ことを特徴とする請求項１から請求
項３のいずれかに記載の無人搬送車システム。
【請求項５】前記ウエハのサイズを検出する検出機構
が、前記バッファカセットの種類を検出する検出機構で
ある、ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれ
かに記載の無人搬送車システム。