JP2003234460A

JP2003234460A - 積層型光導電膜および固体撮像装置

Info

Publication number: JP2003234460A
Application number: JP2002034175A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Aihara; 聡相原; Nobuo Saito; 信雄斎藤; Masahide Abe; 正英阿部
Original assignee: Nippon Hoso Kyokai NHK; Japan Broadcasting Corp
Current assignee: Japan Broadcasting Corp
Priority date: 2002-02-12
Filing date: 2002-02-12
Publication date: 2003-08-22

Abstract

(57)【要約】【課題】高い解像度および高い光の利用効率を有する
固体撮像装置を実現することができる積層型光導電膜お
よび固体撮像装置を提供する。【解決手段】積層型光導電膜２４は、光の三原色のう
ち相互に異なる色の波長の光を吸収機能を有する３つの
光導電膜２６、２８、３０が積層された構成を有する。
光導電膜２６および光導電膜２８はそれぞれ吸収した特
定波長領域の光の吸収特性に応じた光電流を生成すると
ともに、同時にそれぞれの下側の光導電膜に対するフィ
ルタの機能を有する。光導電膜３０は、光導電膜２６お
よび光導電膜２８のいずれにも吸収されなかった波長領
域の光を吸収し、光電流を生成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光導電膜および光
導電膜を有する固体撮像装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光導電膜は、例えば光センサ等に広く利
用され、特に、テレビカメラ等の撮像装置（固体撮像装
置）の受光素子（固体撮像素子）として好適に用いられ
ている。撮像装置の受光素子として用いられる光導電膜
の材料としては、Ｓｉ膜やａ−Ｓｅ膜等の無機材料の膜
が主に用いられている。

【０００３】これら無機材料の膜を用いた従来の光導電
膜は、光導電特性に対して急峻な波長依存性を持たな
い。このため、光導電膜を用いた撮像装置は、入射光を
赤、緑、青の三原色に分解するプリズムと、プリズムの
後段に配置される３枚の光導電膜とを備えた３板構造の
ものが主流となっている。

【０００４】しかしながら、この３板式構造の撮像装置
は、構造上、寸法および重量がともに大きくなることを
避けることができない。

【０００５】撮像装置の小型軽量化を実現するには、分
光プリズムを設ける必要がなく、受光素子が１枚である
単板構造のものが望まれ、例えば、単板受光素子に赤、
緑、青の色フィルタを縞状に配置した構造の撮像装置が
ある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
単板受光素子を有する撮像装置は、所定の面積を占める
色フィルタに対応して赤、緑、青の受光素子で１画素を
構成しているため、解像度を高くとることができない。
また、画素単位でみると、所望の色以外の波長の入射光
は色フィルタに吸収され有効に利用されていない。

【０００７】本発明は、上記の課題に鑑みてなされたも
のであり、高い解像度および光の利用効率を有する固体
撮像装置を実現することができる積層型光導電膜および
この積層型光導電膜を備えた固体撮像装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る積層型光導
電膜は、光の三原色のうちの所定の色の波長の光を吸収
する機能を有する第１の光導電膜と、該所定の色以外の
他の１色の波長の光を吸収する機能を有する第２の光導
電膜とを積層してなることを特徴とする。

【０００９】ここで、第１の光導電膜における所定の色
とは、光三原色のうちの１色であってもよく、また、２
色であってもよい。なお、周知事項として、各光導電膜
はそれぞれ１組の電極を光導電膜の両面に有し、光導電
膜が吸収した光によって光電流を生成する。また、異な
る光導電膜の電極間は絶縁層によって絶縁される。

【００１０】本発明の上記の構成より、白色光が２つの
光導電膜によってそれぞれ異なる色の波長の光を順次吸
収されるため、光導電膜の光の利用効率が高く、高い感
度を得ることができる。また、異なる色の波長の光を吸
収する２つの光導電膜が積層配置されているため、光導
電膜を高密度に集積配置することができ、高い解像度を
得ることができる。

【００１１】この場合、前記第２の光導電膜は、前記所
定の色の波長の光をさらに吸収する機能を有するもので
あると、材料の選択範囲に自由度が増し、また、容易な
形成条件で高い感度の第２の光導電膜を得ることでき
る。このとき、第１の光導電膜が第２の光導電膜のフィ
ルタとして作用し、第２の導電膜では目的とする所定の
色の波長の光のみが吸収される。

【００１２】また、本発明に係る積層型光導電膜は、光
の三原色のうちのいずれか１色の波長の光を吸収する機
能を有する光導電膜と、他の１色の波長の光を吸収する
機能を有する光導電膜と、残りの１色の光を吸収する機
能を有する光導電膜とを積層してなると、高い感度およ
び解像度を有するカラー画像を得ることができる。

【００１３】また、本発明に係る積層型光導電膜は、光
の入射側から順に、光の三原色のうちのいずれか１色で
ある第１の色の波長の光を吸収する機能を有するととも
に該第１の色以外の他の色の波長の光を一部吸収する機
能を有する前側光導電膜と、該他の色のうちのいずれか
１色である第２の色の波長の光を吸収する機能を有する
とともに該第２の色以外の他の色の波長の光を一部吸収
する機能を有する中間光導電膜と、該他の色のうちの残
り１色である第３の色の波長の光を少なくとも吸収する
機能を有する後側光導電膜とを積層してなることを特徴
とする。

【００１４】これにより、材料の選択範囲に自由度が増
し、また、容易な形成条件で高い感度の各光導電膜を得
ることできる。また、後側光導電膜では、残り１色の波
長の光のみを好適に吸収することができる。

【００１５】また、本発明に係る積層型光導電膜は、光
の入射側から順に、光の三原色のうちのいずれか１色の
波長の光を吸収する機能を有するとともに他の１色の波
長の光を一部吸収する機能を有する前面光導電膜と、該
他の１色の波長の光を吸収する機能を有するとともに該
前側光導電膜が吸収する機能を有する１色の波長の光を
一部吸収する機能を有する中央光導電膜と、該前面光導
電膜および該中央光導電膜が吸収する機能を有しない残
り１色の波長の光を少なくとも吸収する機能を有する後
面光導電膜とを積層してなると、より好適である。

【００１６】また、本発明に係る積層型光導電膜は、光
の入射側から順に、光の三原色のうちのいずれか１色の
波長の光のみを吸収する機能を有する上層光導電膜と、
該いずれか１色の波長の光および他の１色の波長の光の
みを吸収する機能を有する中層光導電膜と、該上層光導
電膜および該中層光導電膜が吸収する機能を有しない残
り１色の波長の光を少なくとも吸収する機能を有する下
層光導電膜とを積層してなると、さらに好適である。

【００１７】また、本発明に係る固体撮像装置は、上記
の積層型光導電膜を備えることを特徴とする。

【００１８】これにより、上記した本発明に係る積層型
光導電膜の効果を好適に得ることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明に係る積層型光導電膜およ
び固体撮像装置の好適な実施の形態（以下、本実施の形
態例という。）について、図を参照して、以下に説明す
る。

【００２０】まず、本実施の形態の第１の例に係る積層
型光導電膜について、図１および図２を参照して説明す
る。

【００２１】本実施の形態の第１の例に係る積層型光導
電膜１０は、図１に示すように、２つの光導電膜（第１
および第２の光導電膜）１２、１４が積層された構成を
有する。

【００２２】積層型光導電膜１０の各光導電膜１２、１
４は、それぞれ両面に１組の電極１６ａおよび１６ｂ、
１６ｃおよび１６ｄが配置される。電極１６ｂおよび電
極１６ｃは絶縁層２０により絶縁される。積層型光導電
膜１０は、基板２２上に配置される。

【００２３】白色光の入射側に配置される光導電膜１２
は、例えば青色および緑色の２色の波長の光を吸収する
機能を有する光吸収層である。一方、光導電膜１４は、
例えば青色、緑色および赤色の３色の波長の光、すなわ
ち、白色光を吸収する機能を有する光吸収層である。

【００２４】上記のように構成した本実施の形態の第１
の例に係る積層型光導電膜１０は、各光導電膜１２、１
４の電極１６ａおよび１６ｂ、１６ｃおよび１６ｄの間
にそれぞれ電圧を印加した状態において、光導電膜１２
で吸収した青色および緑色の波長の光により電荷が生成
され、これにより光電流が生成される。また、光導電膜
１２は光導電膜１４のフィルタとして機能する。光導電
膜１２を透過した赤色の波長の光は光導電膜１４で吸収
され、これにより光電流が生成される。

【００２５】光導電膜１２の光吸収特性を図２（ａ）
に、また、光導電膜１４の光吸収特性を図２（ｂ）に、
それぞれ示す。各図中、実線は、光導電膜が実際に吸収
する光の吸収スペクトルパターンであり、破線は、光導
電膜が吸収機能を有する全範囲を示したものである。図
２（ａ）では、光導電膜１２が吸収機能を有する全範囲
と実際に吸収する範囲とが一致している。一方、図２
（ｂ）では、光導電膜１４は、破線で示す吸収機能を有
する白色光の全範囲のうち赤色領域のみに実際に吸収す
る光の吸収スペクトルを有する。

【００２６】本実施の形態の第１の例に係る積層型光導
電膜１０は、入射した白色光が２つの光導電膜１２、１
４によってそれぞれ異なる色の波長の光を順次吸収され
るため、光導電膜１２、１４の光の利用効率が高く、高
い感度を得ることができる。また、異なる色の波長の光
を吸収する２つの光導電膜１２、１４が積層配置されて
いるため、光導電膜１２、１４を高密度に集積配置する
ことができ、高い解像度を得ることができる。

【００２７】また、積層型光導電膜１０は、光導電膜１
４として白色光を吸収する機能を有する吸収層を用いる
ことができるため、材料の選択範囲に自由度が増し、ま
た、容易な形成条件で高い感度の光導電膜１４を得るこ
とできる。また、光導電膜１２についても材料の選択範
囲の自由度あるいは形成条件の容易性が比較的大きい。

【００２８】なお、積層型光導電膜１０において、光導
電膜１２は、青色または緑色のいずれか１色の波長の光
のみを吸収する機能を有するように設けてもよい。

【００２９】つぎに、本実施の形態の第２の例に係る積
層型光導電膜について、図３および図４を参照して説明
する。

【００３０】本実施の形態の第２の例に係る積層型光導
電膜２４は、図３に示すように、上記積層型光導電膜の
２つの光導電膜からさらに光電膜が１つ増え、３つの光
導電膜２６、２８、３０が積層された構成を有する。な
お、これに対応して、電極１６ａ〜１６ｆおよび絶縁層
２０、２０ａが設けられる。

【００３１】白色光の入射側に配置される光導電膜２６
は、例えば青色の波長の光を吸収する機能を有する光吸
収層である。光導電膜２８は、例えば緑色の波長の光を
吸収する機能を有する光吸収層である。光導電膜３０
は、例えば白色光を吸収する機能を有する光吸収層であ
る。

【００３２】ここで、積層型光導電膜２４を構成する各
部材の材料について説明する。

【００３３】各光導電膜２６、２８、３０は、上記の光
吸収機能を有する限り、材料を特に限定するものではな
く、例えば、Ｓｉ系材料、ＧａＡｓ系材料、Ｇｅ系材
料、ＩｎＡｓ系材料または有機系材料等を用いることが
できる。また、適宜選択した材料に上記の光吸収機能を
有する色素を添加した構成としてもよい。

【００３４】なお、電極１６ａ〜１６ｆは、透明電極が
好ましく、このような電極の材料としては、例えばイン
ジウムスズ酸化物、インジウム酸化物または酸化スズ等
を挙げることができる。あるいは、アルミニウム、バナ
ジウム、金、銀、白金、鉄、コバルト、炭素、ニッケ
ル、タングステン、パラジウム、マグネシウム、カルシ
ウム、スズ、鉛、チタン、イットリウム、リチウム、ル
テニウム、マンガン等の金属およびそれらの合金を用い
て膜厚が２０〜８０ｎｍ程度の半透明電極を形成しても
よい。さらにまた、ポリアセチレン系、ポリアニリン
系、ポリピロール系、あるいはポリチオフェン系に代表
される導電性高分子を用いて電極を形成してもよい。

【００３５】また、絶縁層２０、２０ａは、ガラス、ポ
リエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテ
ルサルフォン、ポリプロピレン等の透明性絶縁材料を用
いて形成することができる。

【００３６】また、基板２２は、基板２２の側から光の
照射を行うときは、透明性の高い、ガラス、ポリエチレ
ン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリプロピレン等の材料を用いて形成することが
好ましい。一方、図３のように基板２２の側から光を照
射しないときは、上記の各材料のほかさらにＳｉ、Ｇ
ｅ、ＧａＡｓ等の材料を用いて形成することもできる。

【００３７】上記のように構成した本実施の形態の第２
の例に係る積層型光導電膜２４は、各光導電膜２６、２
８、３０の電極１６ａおよび１６ｂ、１６ｃおよび１６
ｄ、１６ｅおよび１６ｆのそれぞれの間に電圧を印加し
た状態において、光導電膜２６で吸収した青色の波長の
光により電荷が生成され、これにより光電流が生成され
る。また、光導電膜２６は光導電膜２８および光導電膜
３０のフィルタとして機能する。光導電膜２６を透過し
た緑色および赤色の波長の光のうち緑色の波長の光は光
導電膜２８で吸収され、これにより光電流が生成され
る。また、光導電膜２８は、光導電膜２６とともに光導
電膜３０のフィルタとして機能する。光導電膜２８を透
過した赤色の波長の光は光導電膜３０で吸収され、これ
により光電流が生成される。光導電膜２６の光吸収特性
を図４（ａ）に、また、光導電膜２８の光吸収特性を図
４（ｂ）に、また、光導電膜３０の光吸収特性を図４
（ｃ）に、それぞれ示す。各図中、光導電膜２６、２８
が実際に吸収する光の吸収スペクトルパターンと光導電
膜２６、２８が吸収機能を有する全範囲といずれも一致
している。一方、光導電膜３０は、破線で示す吸収機能
を有する白色光の全範囲のうち赤色領域のみに実際に吸
収する光の吸収スペクトルを有する。

【００３８】本実施の形態の第２の例に係る積層型光導
電膜２４は、本実施の形態の第１の例に係る積層型光導
電膜１０と同様の効果を奏するとともに、特に、固体撮
像装置に用いるとき、高い感度および解像度を有するカ
ラー画像を実現することができる。

【００３９】なお、本実施の形態の第２の例に係る積層
型光導電膜２４において、光導電膜２６および光導電膜
２８は積層順を変えてもよい。また、光導電膜３０は、
白色光を吸収する機能を有する吸収層に変えて、赤色の
波長の光のみを吸収する機能を有する吸収層を用いても
よく、また、赤色とともに他の色の波長の光を一部吸収
する機能を有する吸収層を用いてもよい。

【００４０】また、本実施の形態の第２の例に係る積層
型光導電膜２４において、光導電膜２６および光導電膜
２８は、青色の波長の光を吸収する機能を有する吸収層
と赤色の波長の光を吸収する機能を有する吸収層との組
み合わせでもよく、あるいは緑色の波長の光を吸収する
機能を有する吸収層と赤色の波長の光を吸収する機能を
有する吸収層との組み合わせでもよい。これらの場合に
おいて、光導電膜３０は光導電膜２６および光導電膜２
８のいずれにおいても吸収されない色の波長の光を吸収
する機能を有する吸収層を用いる。

【００４１】また、本実施の形態の第２の例に係る積層
型光導電膜２４において、光導電膜２６は青色の波長の
光を吸収するとともに例えば緑色の波長の光の一部を吸
収する機能を有する吸収層を用いてもよく（前面光導電
膜）、さらにまた、赤色の波長の光の一部をも吸収する
機能を有する吸収層を用いてもよい（前側光導電膜）。
同様に、光導電膜２８は緑色の波長の光を吸収するとと
もに青色の波長の光の一部を吸収する機能を有する吸収
層を用いてもよく（中央光導電膜）、さらにまた、赤色
の波長の光の一部をも吸収する機能を有する吸収層を用
いてもよい（中間光導電膜）。これらの場合、光導電膜
３０では、赤色の波長の光のみを好適に吸収することが
できる（後面光導電膜、後側光導電膜）。

【００４２】また、本実施の形態の第２の例に係る積層
型光導電膜２４において、光導電膜２６として青色の波
長の光のみを吸収する機能を有する吸収層を用い（上層
光導電膜）、光導電膜２８として青色の波長の光および
緑色の波長の光のみを吸収する機能を有する吸収層を用
いてもよい（中層光導電膜）。この場合、光導電膜３０
では、赤色の波長の光のみを好適に吸収することができ
る（下層光導電膜）。

【００４３】なお、本実施の形態の第２の例に係る積層
型光導電膜２４は、基板２２から最も遠い位置に積層さ
れた光導電膜２６を白色光の受光側（入射側）としてい
るが、これに変えて、基板２２の側から白色光を受光し
てもよい。この場合、各光導電膜の積層順は、本実施の
形態の第２の例に係る積層型光導電膜２４の各光導電膜
２６、２８、３０の積層順とは逆にすることになる。

【００４４】つぎに、本実施の形態の第３の例に係る固
体撮像装置について説明する。

【００４５】本実施の形態の第３の例に係る固体撮像装
置は、例えば、本実施の形態の第２の例に係る積層型光
導電膜２４を有する。そして、固体撮像装置の固体撮像
素子は、走査回路部の上に積層型光導電膜２４が設けら
れる（図示せず。）。

【００４６】走査回路部は、半導体基板上にＭＯＳトラ
ンジスタが各画素単位に形成された構成や、あるいは、
撮像素子としてＣＣＤを有する構成を適宜採用すること
ができる。

【００４７】例えばＭＯＳトランジスタを用いた固体撮
像素子の場合、電極を透過した入射光によって光導電膜
の中に電荷が発生し、電極に電圧を印加することにより
電極と電極との間に生じる電界によって電荷が光導電膜
の中を電極まで走行し、さらにＭＯＳトランジスタの電
荷蓄積部まで移動し、電荷蓄積部に電荷が蓄積される。
電荷蓄積部に蓄積された電荷は、ＭＯＳトランジスタの
スイッチングにより電荷読出し部に移動し、さらに電気
信号として出力される（図示せず。）。これにより、フ
ルカラーの画像信号が、図示しない信号処理部を含む固
体撮像装置に入力される。

【００４８】本実施の形態の第３の例に係る固体撮像装
置は、光導電膜が単板構造であり、また、分光プリズム
を設ける必要がないため、小型軽量な装置で、高い感度
と高い解像度を有するフルカラー画像を得ることができ
る。

【００４９】なお、本実施の形態の各例の積層型光導電
膜は、好適には固体撮像装置に適用することを前提とし
て、光の三原色を吸収する吸収層を光導電膜に用いるも
のについて説明したが、本発明の積層型光導電膜は、固
体撮像装置以外の他の用途に適用してもよく、この場
合、光導電膜は可視光以外の紫外光や赤外光等を吸収す
る吸収層であってもよい。

【００５０】

【実施例】積層型光導電膜について、実施例および比較
例を挙げて、本発明をさらに説明する。なお、本発明
は、以下に説明する実施例に限定されるものではない。

【００５１】まず、実施例の積層型光導電膜の作製方法
について説明する。積層型光導電膜は２つの光導電膜を
有する。

【００５２】光が直接に照射されない側の光導電膜を以
下の方法で形成した。

【００５３】赤色吸収色素として亜鉛フタロシアニン
（以下、ＺｎＰｃと表記する。）を選択し、３５ｍｍ×
２５ｍｍのインジウムスズ酸化物薄膜（以下、ＩＴＯと
表記する。）電極付き石英ガラス基板上に、真空蒸着法
を用いて、膜厚が１００ｎｍのＺｎＰｃ層を形成した。
引き続き、電荷輸送層として機能するとともに青色領域
に光吸収を持つトリスー８−ヒドロキシキノリンアルミ
ニウム（以下。Ａｌｑ３と表記する。）を選択し、Ｚｎ
Ｐｃ層上に、同じく真空蒸着法を用いて膜厚が１００ｎ
ｍのＡｌｑ３層を形成した。さらに、Ａｌｑ３層上に１
００ｎｍの膜厚の不透明のアルミニウム電極を形成し
た。これにより、光が直接に照射されない側の光導電膜
（以下、ＺｎＰｃ／Ａｌｑ３膜と表記する。）を得た。

【００５４】つぎに、光が照射される側の光導電膜を以
下の方法で形成した。

【００５５】青色吸収色素としてクマリン６を選択し、
透明導電性高分子であるポリシランにクマリン６を分散
させた膜（以下、クマリン６／ポリシラン膜と表記す
る。）をＩＴＯ電極付きガラス基板上に回転塗布法によ
り１．０μｍの膜厚に形成した。さらに、クマリン６／
ポリシラン膜上に５０ｎｍの膜厚の半透明のアルミニウ
ム電極を形成し、光が照射される側の光導電膜であるク
マリン６／ポリシラン膜を得た。

【００５６】さらに、クマリン６／ポリシラン膜のアル
ミニウム電極側とＺｎＰｃ／Ａｌｑ３膜のガラス基板側
とを接着して、光入射側から順に、ガラス基板、ＩＴＯ
電極、クマリン６／ポリシラン膜、半透明アルミニウム
電極、ガラス基板、ＩＴＯ電極、ＺｎＰｃ／Ａｌｑ３
膜、不透明アルミニウム電極の積層構造の実施例の積層
型光導電膜を得た。

【００５７】なお、比較例として、クマリン６／ポリシ
ラン膜およびそれに付随する電極等を有せず、ＺｎＰｃ
／Ａｌｑ３膜およびそれに付随する電極等のみを有する
光導電膜を作製した。

【００５８】得られた実施例の積層型導電膜の各光導電
膜および比較例の光導電膜のそれぞれについて、各電極
間に１．０×１０^６Ｖ／ｃｍの電界を印加し、５０μＷ
／ｃｍ^２の白色光を照射した。このとき、実施例の積層
型導電膜については、クマリン６／ポリシラン膜の側か
ら白色光を照射した。

【００５９】光導電膜の分光感度特性、すなわち、光吸
収特性に対応して得られる光電流の生成パターンを図５
に示した。図５中、実施例のクマリン６／ポリシラン膜
およびＺｎＰｃ／Ａｌｑ３膜のそれぞれについて、クマ
リン６／ポリシラン膜の特性曲線を実線で表し、ＺｎＰ
ｃ／Ａｌｑ３膜の特性曲線を黒丸の群で表し、また、比
較例のＺｎＰｃ／Ａｌｑ３膜の特性曲線を二重白丸の群
で表した。

【００６０】図５より、実施例の場合、クマリン６／ポ
リシラン膜が５００ｎｍ以下の青色領域全般に光感度を
有するとともに、赤色領域とともに青色領域にも吸収領
域を有するＺｎＰｃ／Ａｌｑ３膜が、クマリン６／ポリ
シラン膜のフィルタ機能により、６００〜７００ｎｍを
中心とする略赤色領域全般のみに光感度を有することが
わかる。

【００６１】一方、比較例の場合、ＺｎＰｃ／Ａｌｑ３
膜は６００〜７００ｎｍを中心とする略赤色領域全般に
光感度を有するが、同時に４５０ｎｍ以下の青色領域に
も急峻な光感度を有しており、比較例の光導電膜を赤色
吸収層として使用できないことがわかる。

【００６２】

【発明の効果】本発明に係る積層型光導電膜によれば、
光の三原色のうちの所定の色の波長の光を吸収する機能
を有する第１の光導電膜と、所定の色以外の他の１色の
波長の光を吸収する機能を有する第２の光導電膜とを積
層してなるため、光導電膜の光の利用効率が高く、高い
感度を得ることができ、また、光導電膜を高密度に集積
配置することができ、高い解像度を得ることができる。

【００６３】また、本発明に係る積層型光導電膜によれ
ば、第２の光導電膜は、所定の色の波長の光をさらに吸
収する機能を有するものであるため、材料の選択範囲に
自由度が増し、また、容易な形成条件で高い感度の第２
の光導電膜を得ることできる。

【００６４】また、本発明に係る積層型光導電膜によれ
ば、光の三原色のうちのいずれか１色の波長の光を吸収
する機能を有する光導電膜と、他の１色の波長の光を吸
収する機能を有する光導電膜と、残りの１色の光を吸収
する機能を有する光導電膜とを積層してなるため、高い
感度および解像度を有するカラー画像を得ることができ
る。

【００６５】また、本発明に係る積層型光導電膜によれ
ば、光の入射側から順に、光の三原色のうちのいずれか
１色である第１の色の波長の光を吸収する機能を有する
とともに第１の色以外の他の色の波長の光を一部吸収す
る機能を有する前側光導電膜と、他の色のうちのいずれ
か１色である第２の色の波長の光を吸収する機能を有す
るとともに第２の色以外の他の色の波長の光を一部吸収
する機能を有する中間光導電膜と、他の色のうちの残り
１色である第３の色の波長の光を少なくとも吸収する機
能を有する後側光導電膜とを積層してなるため、材料の
選択範囲に自由度が増し、また、容易な形成条件で高い
感度の各光導電膜を得ることできる。また、後側光導電
膜では、残り１色の波長の光のみを好適に吸収すること
ができる。

【００６６】また、本発明に係る積層型光導電膜によれ
ば、光の入射側から順に、光の三原色のうちのいずれか
１色の波長の光を吸収する機能を有するとともに他の１
色の波長の光を一部吸収する機能を有する前面光導電膜
と、他の１色の波長の光を吸収する機能を有するととも
に前側光導電膜が吸収する機能を有する１色の波長の光
を一部吸収する機能を有する中央光導電膜と、前面光導
電膜および中央光導電膜が吸収する機能を有しない残り
１色の波長の光を少なくとも吸収する機能を有する後面
光導電膜とを積層してなるため、好適である。

【００６７】また、本発明に係る積層型光導電膜によれ
ば、光の入射側から順に、光の三原色のうちのいずれか
１色の波長の光のみを吸収する機能を有する上層光導電
膜と、いずれか１色の波長の光および他の１色の波長の
光のみを吸収する機能を有する中層光導電膜と、上層光
導電膜および中層光導電膜が吸収する機能を有しない残
り１色の波長の光を少なくとも吸収する機能を有する下
層光導電膜とを積層してなるため、好適である。

【００６８】また、本発明に係る固体撮像装置によれ
ば、上記の積層型光導電膜を備えるため、上記した本発
明に係る積層型光導電膜の効果を好適に得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態の第１の例に係る積層型光導電膜
の概略構成を示す図である。

【図２】本実施の形態の第１の例に係る積層型光導電膜
の光吸収特性を説明するためのものであり、図２（ａ）
は光が照射される側の光導電膜の光吸収特性を示す図で
あり、図２（ｂ）は光が照射される側とは反対側の光導
電膜の光吸収特性を示す図である。

【図３】本実施の形態の第２の例に係る積層型光導電膜
の概略構成を示す図である。

【図４】本実施の形態の第２の例に係る積層型光導電膜
の光吸収特性を説明するためのものであり、図４（ａ）
は光が照射される側である前側光導電膜の光吸収特性を
示す図であり、図４（ｂ）は中間光導電膜の光吸収特性
を示す図であり、図４（ｃ）は光が照射される側とは反
対側の後側光導電膜の光吸収特性を示す図である。

【図５】実施例および比較例の光導電膜の分光感度特性
を説明するための図である。

【符号の説明】

１０、２４積層型光導電膜１２、１４、２６、２８、３０光導電膜１６ａ〜１６ｆ電極２０、２０ａ絶縁層２２基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者阿部正英東京都世田谷区砧一丁目10番11号日本放送協会放送技術研究所内Ｆターム(参考） 4M118 BA07 BA14 CA15 FA06 GC07 5C024 CX37 GX07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光の三原色のうちの所定の色の波長の光
を吸収する機能を有する第１の光導電膜と、該所定の色
以外の他の１色の波長の光を吸収する機能を有する第２
の光導電膜とを積層してなることを特徴とする積層型光
導電膜。
【請求項２】前記第２の光導電膜は、前記所定の色の
波長の光をさらに吸収する機能を有するものであること
を特徴とする請求項１記載の積層型光導電膜。
【請求項３】光の三原色のうちのいずれか１色の波長
の光を吸収する機能を有する光導電膜と、他の１色の波
長の光を吸収する機能を有する光導電膜と、残りの１色
の光を吸収する機能を有する光導電膜とを積層してなる
ことを特徴とする積層型光導電膜。
【請求項４】光の入射側から順に、光の三原色のうち
のいずれか１色である第１の色の波長の光を吸収する機
能を有するとともに該第１の色以外の他の色の波長の光
を一部吸収する機能を有する前側光導電膜と、該他の色
のうちのいずれか１色である第２の色の波長の光を吸収
する機能を有するとともに該第２の色以外の他の色の波
長の光を一部吸収する機能を有する中間光導電膜と、該
他の色のうちの残り１色である第３の色の波長の光を少
なくとも吸収する機能を有する後側光導電膜とを積層し
てなることを特徴とする積層型光導電膜。
【請求項５】光の入射側から順に、光の三原色のうち
のいずれか１色の波長の光を吸収する機能を有するとと
もに他の１色の波長の光を一部吸収する機能を有する前
面光導電膜と、該他の１色の波長の光を吸収する機能を
有するとともに該前側光導電膜が吸収する機能を有する
１色の波長の光を一部吸収する機能を有する中央光導電
膜と、該前面光導電膜および該中央光導電膜が吸収する
機能を有しない残り１色の波長の光を少なくとも吸収す
る機能を有する後面光導電膜とを積層してなることを特
徴とする積層型光導電膜。
【請求項６】光の入射側から順に、光の三原色のうち
のいずれか１色の波長の光のみを吸収する機能を有する
上層光導電膜と、該いずれか１色の波長の光および他の
１色の波長の光のみを吸収する機能を有する中層光導電
膜と、該上層光導電膜および該中層光導電膜が吸収する
機能を有しない残り１色の波長の光を少なくとも吸収す
る機能を有する下層光導電膜とを積層してなることを特
徴とする積層型光導電膜。
【請求項７】請求項１〜６のいずれか１項に記載の積
層型光導電膜を備えることを特徴とする固体撮像装置。