JP2003217580A - リチウム二次電池用電極およびその製造方法 - Google Patents

リチウム二次電池用電極およびその製造方法

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JP2003217580A JP2002008120A JP2002008120A JP2003217580A JP 2003217580 A JP2003217580 A JP 2003217580A JP 2002008120 A JP2002008120 A JP 2002008120A JP 2002008120 A JP2002008120 A JP 2002008120A JP 2003217580 A JP2003217580 A JP 2003217580A
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Daizo Chito
大造 地藤
Yoichi Domoto
洋一 堂本
Hisaki Tarui
久樹 樽井
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 エネルギ密度の高いリチウム二次電池用電極を提供す
る。 【課題】 【解決手段】このリチウム二次電池用電極は、集電体7
と、集電体7上に、スパッタリングにより形成され、L
i−Co−O層を含む正極活物質層とを備え、スパッタ
リングにより形成されたLi−Co−O層は、X線回折
法により評価した場合、2θ=65.9±1.0°の範
囲にピークI(110)を有するとともに、2θ=1
8.8±1.0°の範囲のピークI(003)を実質的
に有しない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、リチウム二次電
池用電極の製造方法に関し、より特定的には、集電体上
に活物質層を形成するリチウム二次電池用電極の製造方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、盛んに研究開発が行われているリ
チウム二次電池は、用いる電極によって、充放電特性、
充放電サイクル特性および保存特性などの電池特性が大
きく左右される。このため、電極に用いる活物質を改善
することにより、電池特性の改善および向上が図られて
いる。従来のリチウム二次電池の正極には、LiCoO
2が用いられている。従来のリチウム二次電池用正極で
あるLiCoO2は、導電性が十分でなく、かつ、集電
体に接着させる必要がある。このため、従来では、Li
CoO2の粉体に導電材および結着材を加えたものを集
電体上に塗布することによって、集電体上にLiCoO
2を含む正極活物質層を形成していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のリチウム二次電池の正極では、導電材や結着材
などの充放電に寄与しない材料が正極に含まれるため、
正極の重量あたりまたは体積あたりのエネルギ密度が低
下してしまうという問題点があった。
【0004】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたものであり、この発明の1つの目的は、
エネルギ密度の高いリチウム二次電池用電極を提供する
ことである。
【0005】この発明のもう1つの目的は、上記のリチ
ウム二次電池用電極において、粉体のLiCoO2とは
異なるX線回折法によるピーク強度を有する新たな充放
電可能なLi−Co−O層を含む正極を得ることであ
る。
【0006】この発明のさらにもう1つの目的は、エネ
ルギ密度の高いリチウム二次電池用電極を容易に形成す
ることが可能なリチウム二次電池用電極の製造方法を提
供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の第1の局面によるリチウム二次電池用電
極は、集電体と、集電体上に、スパッタリングにより形
成され、Li−Co−O層を含む正極活物質層とを備
え、スパッタリングにより形成されたLi−Co−O層
は、X線回折法により評価した場合、2θ=65.9±
1.0°の範囲に第1ピークを有するとともに、2θ=
18.8±1.0°の範囲の第2ピークを実質的に有し
ない。
【0008】この第1の局面によるリチウム二次電池用
電極では、Li−Co−O層は、X線回折法により評価
した場合、2θ=65.9±1.0°の範囲に第1ピー
クを有するとともに、2θ=18.8±1.0°の範囲
の第2ピークを実質的に有しないので、従来の粉体のL
iCoO2とは異なるX線回折法によるピーク強度を有
する。このため、充放電が可能な新たなLi−Co−O
層であると考えられる。このような新たなLi−Co−
O層を用いれば、高容量なリチウム二次電池を提供する
ことができる。また、集電体上にスパッタリングにより
Li−Co−O層を含む正極活物質層を形成することに
よって、集電体上にLi−Co−O層を含む正極活物質
層を密着して形成することができるので、粉体の塗布に
より正極活物質層を形成する場合のように結着材などを
用いる必要がない。これにより、正極内に充放電に関与
しない結着材などが含まれないので、エネルギ密度を高
くすることができる。また、スパッタリングを用いれ
ば、粉体の塗布により正極活物質層を形成する場合に比
べてより薄く正極活物質層を形成することができるの
で、電池本体を小型化することができる。また、正極活
物質層を薄く形成することができるので、導電性が十分
となり、その結果、導電材を用いる必要がない。これに
よっても、エネルギ密度を高くすることができる。
【0009】上記第1の局面によるリチウム二次電池用
電極において、好ましくは、正極活物質層は、250℃
以下の基板温度および1.0Pa以下のガス圧の条件下
でスパッタリングにより集電体上に形成されている。こ
のような条件下で正極活物質層を形成すれば、容易に、
X線回折法により評価した場合に、2θ=65.9±
1.0°の範囲に第1ピークを有するとともに、2θ=
18.8±1.0°の範囲の第2ピークを実質的に有し
ないLi−Co−O層を形成することができる。
【0010】上記のリチウム二次電池用電極において、
好ましくは、Li−Co−O層を含む正極活物質層の組
成は、1.0≦Li/Co≦1.9、2.6≦O/Co
≦4.7である。また、集電体は、Alを含むのが好ま
しい。
【0011】この発明の第2の局面によるリチウム二次
電池用電極の製造方法は、集電体上に、250℃以下の
集電体温度および1.0Pa以下のガス圧でスパッタリ
ングによりLi−Co−O層を含む正極活物質層を形成
する工程を備える。
【0012】この第2の局面によるリチウム二次電池用
電極の製造方法では、上記のように、集電体上に、25
0℃以下の集電体温度および1.0Pa以下のガス圧で
スパッタリングによりLi−Co−O層を含む正極活物
質層を形成することによって、容易に、X線回折法によ
り評価した場合に、2θ=65.9±1.0°の範囲に
第1ピークを有するとともに、2θ=18.8±1.0
°の範囲の第2ピークを実質的に有しないLi−Co−
O層を形成することができる。これにより、粉体のLi
CoO2とは異なるX線回折法によるピーク強度を有す
るLi−Co−O層を形成することができる。本願発明
者らは、このような粉体のLiCoO2とは異なるX線
回折法によるピーク強度を有するLi−Co−O層を用
いることによっても、充放電が可能であることを見い出
した。また、集電体上にスパッタリングによりLi−C
o−O層を含む正極活物質層を形成することによって、
集電体上にLi−Co−O層を含む正極活物質層を密着
して形成することができるので、粉体の塗布により正極
活物質層を形成する場合のように結着材などを用いる必
要がない。これにより、正極内に充放電に関与しない結
着材などが含まれないので、エネルギ密度を高くするこ
とができる。また、スパッタリングを用いれば、粉体の
塗布により正極活物質層を形成する場合に比べてより薄
く正極活物質層を形成することができるので、電池本体
を小型化することができる。また、正極活物質層を薄く
形成することができるので、導電性が十分となり、その
結果、導電材を用いる必要がない。これによっても、エ
ネルギ密度を高くすることができる。
【0013】上記第2の局面によるリチウム二次電池用
電極の製造方法において、好ましくは、正極活物質層を
形成した後、正極活物質を650℃以下の温度で熱処理
する工程をさらに備える。このように、正極活物質をA
lの融点(660.5℃)よりも低い650℃以下の温
度で熱処理することによって、正極活物質の結晶性を向
上させることができるとともに、集電体としてAlを用
いることができる。
【0014】
【実施例】まず、本発明のリチウム二次電池用電極の実
施例を説明する前に、実施例で用いたスパッタ装置につ
いて説明する。図1は、本発明の実施例で用いたスパッ
タ装置の全体構成を示した概略図である。このスパッタ
装置1は、チャンバー2と、平板3と、カソード4と、
バッキングプレート5とを備えている。カソード4に
は、RF電源6が接続されている。カソード4上に固定
されたバッキングプレート5は、平板3と対向するよう
に配置されている。この平板3上には、試料となる集電
体7が固定される。バッキングプレート5上には、スパ
ッタ源となるターゲット8が固定される。
【0015】上記したスパッタ装置1を用いて、以下の
実施例1〜4によるリチウム二次電池用電極(正極)a
1〜a4を作製した。
【0016】(実施例1)まず、実施例1の電極a1の
集電体7として、約20μmの厚みを有する圧延Al箔
を準備した。そして、以下の表1に示す成膜条件下で、
スパッタリングを行うことによって、集電体7上に、L
i−Co−O層からなる正極活物質層を形成した。
【0017】
【表1】 具体的な作製プロセスとしては、図1に示したスパッタ
装置1のバッキングプレート5上に、LiCoO2から
なる円形状(直径;10.16cm(4インチ),厚
み;5mm)のターゲット8を固定するとともに、平板
3に、上記した圧延Al箔からなる集電体7を固定し
た。この状態で、上記した表1に示すような条件下で、
集電体7の表面上に、Li−Co−O層からなる正極活
物質層を形成した。すなわち、RF電力;350W(電
力密度4.32W/cm2)、チャンバー2内のArガ
ス流量;100sccm、ガス圧;0.10Pa、基板
(集電体7)の温度;室温の条件下で、スパッタリング
を行った。なお、通常、スパッタリングにより薄膜形成
を行う場合、チャンバー2内を2〜3Pa程度のガス圧
に維持してスパッタリングを行うが、実施例1では、
0.10Paの低圧下(ガス圧)でスパッタリングを行
った。また、スパッタ時の基板(集電体7)の温度に関
しても、通常、250℃程度またはそれ以上の温度に設
定されるが、実施例1では室温で行った。これにより、
集電体7上に、約1.5μmの厚みを有するLi−Co
−O層からなる正極活物質層を形成した。なお、正極活
物質層形成前の基板(集電体7)の前処理は行っていな
い。
【0018】最後に、上記のように形成した正極活物質
層と集電体7とを2cm×2cmの大きさに切断するこ
とによって、実施例1の電極a1を作製した。
【0019】(実施例2)まず、実施例2の電極a2の
集電体7として、実施例1と同様の約20μmの厚みを
有する圧延Al箔を準備した。そして、上記表1に示し
た実施例1と同様の条件下でスパッタリングを行うこと
によって、Li−Co−O層からなる正極活物質層を形
成した。なお、この実施例2では、実施例1と異なり、
集電体7上に正極活物質層を形成した後、アニール処理
を行った。
【0020】具体的な作製プロセスとしては、図1に示
したスパッタ装置1のバッキングプレート5上に、Li
CoO2からなる円形状(直径;10.16cm,厚
み;5mm)のターゲット8を固定するとともに、平板
3上に、上記した圧延Al箔からなる集電体7を固定し
た。この状態で、上記した表1に示した実施例1と同様
の条件下で、集電体7の表面上に、Li−Co−O層か
らなる正極活物質層を形成した。すなわち、RF電力;
350W(電力密度4.32W/cm2)、チャンバー
2内のArガス流量;100sccm、ガス圧;0.1
0Pa、基板(集電体7)の温度;室温、の条件下で、
スパッタリングを行った。これにより、集電体7上に約
1.5μmの厚みを有するLi−Co−O層からなる正
極活物質層を形成した。なお、正極活物質層形成前の基
板(集電体7)の前処理は行っていない。
【0021】次に、実施例2では、正極活物質層と集電
体7とに対して、600℃の大気中で2時間のアニール
処理を行った。
【0022】最後に、上記のように形成した正極活物質
層と集電体7とを2cm×2cmの大きさに切断するこ
とによって、実施例2の電極a2を作製した。
【0023】(実施例3)まず、実施例3の電極a3の
集電体7として、実施例1と同様の約20μmの厚みを
有する圧延Al箔を準備した。そして、以下の表2に示
す成膜条件下でスパッタリングを行うことによって、L
i−Co−O層からなる正極活物質層を形成した。
【0024】
【表2】 具体的な作製プロセスとしては、図1に示したスパッタ
装置1のバッキングプレート5上に、LiCoO2から
なる円形状(直径;10.16cm,厚み;5mm)の
ターゲット8を固定するとともに、平板3に、上記した
圧延Al箔からなる集電体7を固定した。この状態で、
上記した表2に示すような条件下で、集電体7の表面上
に、Li−Co−O層からなる正極活物質層を形成し
た。すなわち、RF電力;350W(電力密度4.32
W/cm2)、チャンバー2内のArガス流量;100
sccm、O2ガス流量;20sccm、ガス圧;0.
10Pa、基板(集電体7)の温度;室温の条件下で、
スパッタリングを行った。なお、実施例3では、実施例
1と異なり、チャンバー2内への流入ガスとして、Ar
ガスとO2ガスとの混合ガスを用いた。これにより、集
電体7上に、約1.8μmの厚みを有するLi−Co−
O層からなる正極活物質層を形成した。なお、正極活物
質層形成前の基板(集電体7)の前処理は行っていな
い。
【0025】次に、実施例3では、正極活物質層と集電
体7とに対して、600℃の大気中で2時間のアニール
処理を行った。
【0026】最後に、上記のように形成した正極活物質
層と集電体7とを2cm×2cmの大きさに切断するこ
とによって、実施例3の電極a3を作製した。
【0027】(実施例4)まず、実施例4の電極a4の
集電体7として、実施例1と同様の約20μmの厚みを
有する圧延Al箔を準備した。そして、以下の表3に示
す成膜条件下でスパッタリングを行うことによって、L
i−Co−O層からなる正極活物質層を形成した。
【0028】
【表3】 具体的な作製プロセスとしては、図1に示したスパッタ
装置1のバッキングプレート5上に、LiCoO2から
なる円形状(直径;10.16cm,厚み;5mm)の
ターゲット8を固定するとともに、平板3上に、上記し
た圧延Al箔からなる集電体7を固定した。この状態
で、上記した表3に示すような条件下で、集電体7の表
面上に、Li−Co−O層からなる正極活物質層を形成
した。すなわち、RF電力;350W(電力密度4.3
2W/cm2)、チャンバー2内のArガス流量;10
00sccm、O2ガス流量;200sccm、ガス
圧;1.0Pa、基板(集電体7)の温度;室温の条件
下で、スパッタリングを行った。なお、実施例4では、
実施例1と異なり、ガス圧を1.0Paに設定するとと
もに、チャンバー2内への流入ガスとして、Arガスと
2ガスとの混合ガスを用いた。これにより、集電体7
上に、約1.2μmの厚みを有するLi−Co−O層か
らなる正極活物質層を形成した。なお、正極活物質層形
成前の基板(集電体7)の前処理は行っていない。
【0029】次に、実施例4では、正極活物質層と集電
体7とに対して、600℃の大気中で2時間のアニール
処理を行った。
【0030】最後に、正極活物質層と集電体7とを2c
m×2cmの大きさに切断することによって、実施例4
の電極a4を作製した。
【0031】(比較例)この比較例では、粉末状のLi
CoO2を集電体に塗布する方法により、比較例の電極
b1(粉体LiCoO2)を作製した。
【0032】具体的な作製プロセスとしては、出発材料
として、Li2Co3およびCoCO 3を用いて、Liと
Coとの原子比が1:1となるように秤量して乳鉢で混
合した。これを直径17mmの金型でプレスすることに
より加圧成形した後、800℃の大気中で24時間焼成
することによって、LiCoO2の焼成体を形成した。
そして、この焼成体を乳鉢で平均粒子径が約20μmに
なるまで粉砕することによって、LiCoO2粉末を形
成した。このようにして得られたLiCoO2粉末を、
結着材などを用いて、集電体上に塗布することによっ
て、比較例の電極b1(粉体LiCoO2)を作製し
た。
【0033】[電池(三極式セル)の作製]次に、上記
した実施例1〜4および比較例で作製した電極(正極)
a1〜a4およびb1を用いて電池(三極式セル)を作
成した。図2は、本発明の実施例1〜4および比較例で
作製した電極(正極)a1〜a4、b1の充放電サイク
ル特性を評価するために作製した電池(三極式セル)の
全体構成を示した概略図である。電池(三極式セル)1
0は、ビーカーセル11と、電解液12と、対極(負
極)13と、作用極(正極)14と、参照極15とから
構成されている。電解液12は、エチレンカーボネート
とジエチルカーボネートとの等体積混合溶媒にLiPF
6を1モル/リットル溶解することによって作製した。
対極(負極)13および参照極15にはリチウム金属か
らなる電極を使用した。また、作用極(正極)14に
は、上記実施例1〜4および比較例で作製した電極(正
極)a1〜a4およびb1をそれぞれ使用した。
【0034】[充放電サイクル特性評価試験]上記した
電池(三極式セル)10を用いて、電極a1〜a4およ
びb1の充放電サイクル特性評価試験を行った。具体的
な実験方法は次の通りである。まず、25℃の温度条件
下で、0.1mAの定電流充電によって、参照極15を
基準電位とする作用極14の電位が4.2Vになるまで
充電した。その後、0.1mAの定電流放電によって参
照極15を基準電位とする作用極14の電位が2.5V
になるまで放電を行った。これを1サイクルとした場合
の1サイクル目の放電容量、1サイクル目の充放電効率
および平均放電電位を測定した。なお、1サイクル目の
充放電効率および平均放電電位はそれぞれ以下の式で定
義される。
【0035】1サイクル目の充放電効率(%)=(1サ
イクル目の放電容量/1サイクル目の充電容量)×10
0 平均放電電位(V)=〔1サイクル目の放電電力量(m
Wh/g)/1サイクル目の放電容量(mAh/g)〕 このようにして測定した電極a1〜a4、b1を用いた
電池(三極式セル)10の充放電サイクル特性評価試験
の実験結果を以下の表4に示す。
【0036】
【表4】 上記表4を参照して、本発明の実施例2〜4で作製した
電極a2〜a4の充放電サイクル特性は、比較例で作製
した電極b1(粉体LiCoO2)と比べて、1サイク
ル目の充放電効率は若干劣るものの、他の充放電特性に
関してはほぼ同等の特性を有することがわかった。
【0037】また、上記した充放電サイクル特性評価に
おいて、実施例1および実施例2で作製した電極a1お
よび電極a2の1サイクル目の充電時および放電時にお
ける容量と電位とを連続的に測定した。図3は、この場
合の容量と電位との関係を示したグラフである。
【0038】図3を参照して、実施例2の電極a2は実
施例1の電極a1よりも放電容量が大きく、かつ、放電
電位も高いことがわかった。これは、集電体7上に正極
活物質層を形成した後、アニール処理を行ったことによ
り、正極活物質層の結晶性が向上したためであると考え
られる。
【0039】図3に示した実施例2の電極a2の放電カ
ーブは、LiCoO2粉末を集電体に塗布することによ
り作製された電極b1の放電カーブと類似しており、平
坦性に優れた放電電位特性を有するといえる。
【0040】[X線回折法、ICP発光分析法およびE
PMA法による組成分析]次に、本発明による実施例1
〜4で作製した電極a1〜a4の表面の正極活物質層、
および、比較例の電極b1に用いたLiCoO2粉末を
CuKα線を用いたX線回折法により評価した。図4〜
図7は、本発明の実施例による電極a1〜a4表面の正
極活物質層のX線回折法による測定結果を示したグラフ
である。また、図8は、比較例の電極b1に用いたLi
CoO2粉末のX線回折法による測定結果を示したグラ
フである。なお、図中、集電体7(Al)に対応するピ
ークの一部、および、Li−Co−O層に対応するピー
クI(003)(2θ=18.8±1.0°)と、ピー
クI(110)(2θ=65.9±1.0°)とを図示
した。
【0041】図4〜図8を参照して、実施例1〜4によ
る電極a1〜a4の集電体7に形成されたLi−Co−
O層からなる正極活物質層は、比較例によるLiCoO
2粉末で検出されるピークI(110)(2θ=65.
9±1.0°)を有する一方、LiCoO2粉末で検出
されるピークI(003)(2θ=18.8±1.0
°)を実質的に有しない。これにより、実施例1〜4に
よる電極a1〜a4の集電体7上に形成されたLi−C
o−O層からなる正極活物質層は、比較例によるLiC
oO2粉末とは異なる結晶構造を有していると考えられ
る。
【0042】また、実施例1〜4による電極a1〜a4
のLi−Co−O層からなる正極活物質層の組成(Li
/Co比、O/Co比)を、ICP発光分析(Indu
ctivery Couple Plasma spe
ctrometry)法およびEPMA(Elctro
n Probe Micro Analysis)法を
用いて測定した。その測定結果と、LiCoO2粉末の
化学量論比とを併せて以下の表5に示す。
【0043】
【表5】 上記した表5を参照して、実施例1〜4による電極a1
〜a4のLi−Co−O層からなる正極活物質層の組成
は、1.0≦Li/Co≦1.9、2.6≦O/Co≦
4.7となっていることがわかった。これにより、実施
例1〜4による電極a1〜a4のLi−Co−O層から
なる正極活物質層は、LiCoO2粉末とは異なる組成
を有することがわかった。
【0044】上記のように、本発明の実施例1〜4によ
る電極a1〜a4のLi−Co−O層からなる正極活物
質層は、従来の粉体のLiCoO2とは異なるピーク強
度を有するとともに、粉体LiCoO2とは異なる組成
を有することがわかった。これにより、本発明の実施例
1〜4による電極a1〜a4のLi−Co−O層からな
る正極活物質層は、従来の粉体のLiCoO2とは異な
る組成と結晶構造を有する充放電が可能な新たなLi−
Co−O層であると考えられる。
【0045】上記した実施例1〜4では、250℃以下
の基板(集電体7)の温度および1.0Pa以下のガス
圧で、スパッタリングによりLi−Co−O層を含む正
極活物質層を形成することによって、容易に、X線回折
法により評価した場合に、2θ=65.9±1.0°の
範囲にピークI(110)を有するとともに、2θ=1
8.8±1.0°の範囲のピークI(003)を実質的
に有しないLi−Co−O層を形成することができた。
これにより、LiCoO2の粉末とは異なるX線回折法
によるピーク強度を有するLi−Co−O層を形成する
ことができた。本願発明者らは、このような粉体のLi
CoO2とは異なるX線回折法によるピーク強度を有す
るLi−Co−O層を用いることによっても、充放電が
可能であることを見い出した。
【0046】また、上記実施例1〜4では、集電体7上
にスパッタリングによりLi−Co−O層を直接形成す
ることによって、集電体7上にLi−Co−O層を含む
正極活物質層を密着して形成することができるので、粉
体の塗布により正極活物質層を形成する場合のように結
着材などを用いる必要がない。これにより、正極内に充
放電に関与しない結着材などが含まれないので、エネル
ギ密度を高くすることができる。また、スパッタリング
を用いれば、粉体の塗布により正極活物質層を形成する
場合に比べてより薄く正極活物質層を形成することがで
きるので、電池本体を小型化することができる。また、
正極活物質層を薄く形成することができるので、導電性
が十分となり、その結果、導電材を用いる必要がない。
これによっても、エネルギ密度を高くすることができ
る。
【0047】なお、今回開示された実施例は、すべての
点で例示であって制限的なものではないと考えられるべ
きである。本発明の範囲は、上記した実施例の説明では
なく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の
範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含ま
れる。
【0048】たとえば、上記実施例では、基板(集電
体)の温度;室温、ガス圧;0.10Paまたは1.0
Paの条件下でスパッタリングを行ったが、本発明はこ
れに限らず、250℃以下の基板温度および1.0Pa
以下のガス圧の条件下であれば他の条件でスパッタリン
グを行ってもよい。
【0049】また、上記実施例では、Alからなる集電
体を用いたが、本発明はこれに限らず、他の材料からな
る集電体であってもよい。たとえば、Al合金からなる
集電体でもよい。
【0050】また、上記実施例2〜4では、集電体に正
極活物質を形成した後、600℃の大気中でアニール処
理を行ったが、本発明はこれに限らず、集電体として用
いたAlの融点(660.2℃)以下でアニール処理す
るのが好ましい。具体的には、650℃以下でアニール
処理するのが好ましい。また、アニール処理による効果
を得るためには、400℃以上で行うのが好ましい。ま
た、大気以外の雰囲気中でアニール処理を行っても同様
の効果が得られる。たとえば、真空中または酸素雰囲気
中で行ってもよい。
【0051】なお、上記実施例では、集電体上にスパッ
タリングにより正極活物質層を形成したが、スパッタ時
にイオンビームなどを集電体に照射することによって、
正極活物質層の結晶構造を乱すようにしてもよい。
【0052】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、エネル
ギ密度の高いリチウム二次電池用電極を提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例で用いたスパッタ装置の全体構
成を示した概略図である。
【図2】本発明の実施例および比較例で作製した電極
(正極)の充放電サイクル特性を評価するために作製し
た電池(三極式セル)の全体構成を示した概略図であ
る。
【図3】実施例1および実施例2で作製した電極a1お
よびa2の1サイクル目の充電時および放電時における
容量と電位とを連続的に測定した場合の容量と電位との
関係を示したグラフである。
【図4】電極a1表面の正極活物質層のX線回折法によ
る実験結果を示したグラフである。
【図5】電極a2表面の正極活物質層のX線回折法によ
る実験結果を示したグラフである。
【図6】電極a3表面の正極活物質層のX線回折法によ
る実験結果を示したグラフである。
【図7】電極a4表面の正極活物質層のX線回折法によ
る実験結果を示したグラフである。
【図8】比較例の電極b1に用いたLiCoO2粉末の
X線回折法による実験結果を示したグラフである。
【符号の説明】
7 集電体 14 作用極(リチウム二次電池用電極)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樽井 久樹 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 Fターム(参考) 5H017 AA03 AS02 BB01 BB08 BB17 BB19 CC01 DD05 EE05 HH00 HH01 HH05 HH07 HH08 5H029 AJ02 AJ03 AJ14 AK03 AL12 AM03 AM05 AM07 CJ02 CJ24 CJ28 CJ30 DJ07 EJ05 HJ02 HJ12 HJ13 HJ14 HJ15 5H050 AA02 AA08 AA19 BA17 CA08 CB12 DA02 DA08 FA18 GA02 GA24 GA27 GA29 HA02 HA12 HA13 HA14 HA15

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 集電体と、 前記集電体上に、スパッタリングにより形成され、Li
    −Co−O層を含む正極活物質層とを備え、 前記スパッタリングにより形成されたLi−Co−O層
    は、X線回折法により評価した場合、2θ=65.9±
    1.0°の範囲に第1ピークを有するとともに、2θ=
    18.8±1.0°の範囲の第2ピークを実質的に有し
    ない、リチウム二次電池用電極。
  2. 【請求項2】 前記正極活物質層は、250℃以下の集
    電体温度および1.0Pa以下のガス圧の条件下でスパ
    ッタリングにより前記集電体上に形成されている、請求
    項1に記載のリチウム二次電池用電極。
  3. 【請求項3】 前記Li−Co−O層を含む正極活物質
    層の組成は、1.0≦Li/Co≦1.9、2.6≦O
    /Co≦4.7である、請求項1または2に記載のリチ
    ウム二次電池用電極。
  4. 【請求項4】 前記集電体は、Alを含む、請求項1〜
    3のいずれか1項に記載のリチウム二次電池用電極。
  5. 【請求項5】 集電体上に、250℃以下の集電体温度
    および1.0Pa以下のガス圧でスパッタリングにより
    Li−Co−O層を含む正極活物質層を形成する工程を
    備える、リチウム二次電池用電極の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記正極活物質層を形成した後、前記正
    極活物質を650℃以下の温度で熱処理する工程をさら
    に備える、請求項5に記載のリチウム二次電池用電極の
    製造方法。
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