JP2003191215A - シート成形装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】シートの厚みバラツキを小さくして厚み精度の
高いシート成形装置を提供する。 【解決手段】スラリー槽１から引き上げられた塗工後の
ベースフィルム３の両塗工面に対して、前記フィルム３
から或る間隔離間してそれぞれ配置された一対の対向す
る刃部１６ａ，１６を接触させて平滑にし、乾燥炉４で
乾燥させてシートを成形するようにしており、さらに、
テンション検知ローラ９で検知されたテンションが一定
になるようにコントローラ１３によってニップロール１
０およびサクションロール１１，１２の送り量を制御し
て弛みや撓みが生じないようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックス
コンデンサのような積層型電子部品の製造などに用いら
れるセラミックスグリーンシートなどを成形するのに好
適なシート成形装置に関し、さらに詳しくは、引き上げ
方式のシート成形装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のセラミックスグリーンシートの成
形装置としては、例えば、図７に示される引き上げ方式
のものがある。

【０００３】ロール状のベースフィルム３は、例えば、
ポリエチレンフィルム２枚が貼り合わされて構成されて
いる。このロール状のベースフィルム３は、乾燥炉４の
後段のニップロール３３によって駆動されて引き出さ
れ、ローラ３４を介してスラリー槽１内に貯留されてい
るスラリー２に浸漬された後、垂直方向に引き上げられ
る。ベースフィルム３の両面に付着したスラリー２が乾
燥炉４において乾燥されてベースフィルム３上にシート
が成形され、ローラ３５，３６を介して巻き取りロール
６，７によって、各面がそれぞれ巻き取られる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような従来例で
は、成形されるシートの厚みは、スラリー槽１から引き
上げられた直後のベースフィルム３上に付着するスラリ
ー量と、乾燥過程でのスラリーの移動とによって規定さ
れる。

【０００５】ベースフィルム３上に付着するスラリー量
は、ベースフィルム３の引き上げ速度、スラリーの粘度
およびスラリーのチクソ性などによって制御決定されて
いるが、いずれの項目も厚みとの関係が不安定であり、
要求する厚みレベルの制御は困難である。

【０００６】また、ベースフィルム３の送りは、乾燥炉
４の後段のニップロール３３だけであるので、乾燥過程
で発生する乾燥収縮のバラツキによって発生する僅かな
応力が、ベースフィルム３の撓みなどを誘発し、このた
め、未乾燥のスラリーが撓み形状に応じて流動して厚み
のバラツキを一層悪化させるといった難点がある。

【０００７】本発明は、このような点に着目してなされ
たものであって、シートの厚みバラツキを小さくして厚
み精度の高いシート成形装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明では、上記目的を
達成するために、次のように構成している。

【０００９】すなわち、本発明のシート成形装置は、フ
ィルムを送り出してスラリー槽中に浸漬し、前記フィル
ムの表面にスラリーを塗工し、前記フィルムを前記スラ
リー槽から引き上げ、前記フィルムに付着したスラリー
を乾燥手段にて乾燥してシートを成形するシート成形装
置であって、前記スラリー槽から引き上げられた前記フ
ィルムの塗工面のスラリーを平滑にする平滑手段を備
え、前記平滑手段は、位置決め部と接触部とを備え、前
記位置決め部は、前記フィルムを位置決めして所定位置
を通過させるものであり、前記接触部は、前記所定位置
のフィルム表面からある間隔を置いて離間するように配
置されており、該接触部はフィルム表面に塗工されたス
ラリーを平滑にするものである。

【００１０】ここで、平滑とは、平らで滑らかなことを
いい、少なくとも平滑手段を通過する前の塗工面よりも
平滑であればよい。

【００１１】また、所定位置とは、スラリー槽から引き
上げられるフィルムの経路において、前記接触部をフィ
ルムから或る間隔離間するように配置できる位置であれ
ばよい。

【００１２】本発明によると、スラリー槽から引き上げ
られて所定位置を通過する塗工後のフィルムの塗工面に
対して、前記フィルムから或る間隔離間して配置された
接触部を接触させて塗工面を平滑にするので、前記間隔
に応じた厚みのシートを成形できることになり、スラリ
ー槽から引き上げたままで乾燥手段で乾燥させてシート
を成形する従来例に比べてシートの厚み精度を向上させ
ることができる。

【００１３】本発明の好ましい実施態様においては、前
記フィルムのテンションを検知する検知手段と、前記検
知手段の出力に基づいて、前記フィルムのテンションが
一定になるように前記フィルムの送り量を制御する制御
手段とを備えている。

【００１４】本発明によると、一定のテンションでフィ
ルムが送られるので、フィルムに弛みや撓みなどが発生
することなく、所定位置を通過することになり、平滑手
段によって精度よく平滑処理される。また、乾燥過程に
おいてもフィルムの弛みや撓みの発生がないので、未乾
燥のスラリーが撓み形状等に応じて流動するといったこ
ともなく、シートの厚みのバラツキを防止できる。

【００１５】本発明の一実施態様においては、前記フィ
ルムを送る第１及び第２の送り手段を備え、各送り手段
は、それぞれが少なくとも１つのロールを有し、前記第
１の送り手段は前記スラリー槽よりも上流側に設置し、
前記第２の送り手段は前記乾燥手段よりも下流側に設置
し、前記検知手段としての検知ローラは、前記第１の送
り手段と前記スラリー槽との間に設置するものである。

【００１６】本発明によると、スラリー槽の上流側と乾
燥手段の下流側とにフィルムを送る送り手段をそれぞれ
設置してフィルムの送り量を制御するので、スラリー槽
における塗工、平滑手段における平滑処理および乾燥手
段における乾燥の際のフィルムのテンションを高い精度
で制御することができ、これによって、シートの厚み精
度を一層高めることができる。

【００１７】本発明の他の実施態様においては、前記第
２の送り手段は、前記乾燥手段を通過した前記フィルム
の各塗工面にそれぞれ接触する複数のサクションロール
を備えている。

【００１８】本発明によると、乾燥後のフィルムを、複
数のサクションロールによって送るので、フィルムの各
塗工面が各サクションロールに面接触して駆動力が伝達
されて送られることになり、線接触で送る場合に比べて
フィルムからシートが剥離して送りロールが空回りする
といったことがない。

【００１９】本発明の好ましい実施態様においては、前
記接触部は、前記フィルムの幅方向に沿って直線状に延
びて前記塗工面に接触する刃部を有し、該刃部と前記所
定位置のフィルムとの離間間隔を調整可能にしている。

【００２０】本発明によると、フィルムの幅方向に直線
状に延びる刃部によって高精度に塗工面を平滑にできる
とともに、刃部と所定位置のフィルムとの離間間隔を調
整できるので、シートの厚みを可変調整できることにな
り、経時的な厚みの変動にも対応できる。また、２枚貼
り合わせフィルムの場合には、各面が異なる厚みのもの
を得るといったことも可能となる。

【００２１】本発明の他の実施態様においては、前記位
置決め部は、前記フィルムが通過するガイド溝と、該ガ
イド溝の位置決め面に対して、前記フィルムの一方の面
を圧接する押えローラとを有し、前記接触部は、前記刃
部を一対有するとともに、前記ガイド溝を通過する前記
フィルムを介して前記一対の刃部が対向配置されるもの
である。

【００２２】本発明によると、フィルムをガイド溝の位
置決め面に押えローラで圧接して所定位置を通過するよ
うに位置決めする一方、このフィルムを介して対向配置
された一対の刃部でフイルムの両塗工面を同時に平滑に
して刃部の対向間隔に応じた厚みのシートを成形でき
る。

【００２３】本発明の更に他の実施態様においては、前
記位置決め部は、前記フィルムの一方側の面が圧接され
る第１の位置決めローラと、前記フィルムの他方側の面
が圧接される第２の位置決めローラとを備え、前記接触
部は、前記第１の位置決めローラに圧接される前記フィ
ルムの他方側の塗工面に接触する第１の前記刃部と、前
記第２の位置決めローラに圧接される前記フィルムの一
方側の塗工面に接触する第２の前記刃部とを備えてい
る。

【００２４】本発明によると、第１の位置決めローラに
圧接されて位置決めされたフィルムの他方側の塗工面を
第１の刃部で平滑にし、第２の位置決めローラに圧接さ
れて位置決めされたフィルムの一方側の塗工面を第２の
刃部で平滑にすることにより、各刃部とフィルムとの間
隔に応じた厚みのシートを成形できる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、図面によって本発明の実施
の形態について詳細に説明する。

【００２６】（実施の形態１）図１は、本発明の一つの
実施の形態に係るシート成形装置の構成図である。

【００２７】この実施の形態のシート成形装置は、上述
の従来例と同様にセラミックスグリーンシートを成形す
るものであり、スラリー槽１中に浸漬してスラリー２を
塗工したベースフィルム３を前記スラリー槽１から引き
上げ、ベースフィルム３に付着したスラリーを乾燥手段
としての乾燥炉４で乾燥してシートを成形する引き上げ
方式のシート成形装置である。

【００２８】このシート成形装置では、ベースフィルム
ロール５から引き出された、例えば、ポリエチレンフィ
ルム２枚を貼り合わせてなるベースフィルム３は、スラ
リー槽１内に貯留されているスラリー２に浸漬された
後、垂直方向に引き上げられる。ベースフィルム３の両
面に付着したスラリーが乾燥炉４において乾燥されてベ
ースフィルム３上にシートが成形されて、ローラ３５，
３６を介して各巻き取りロール６，７によって、各面が
それぞれ巻き取られる。

【００２９】この実施の形態では、シートの厚みバラツ
キを小さくして厚み精度を高めるために、次のように構
成している。

【００３０】すなわち、この実施の形態のシート成形装
置は、基本的に、スラリー槽１から引き上げられて乾燥
炉４に至るベースフィルム３の両塗工面を平滑にする平
滑手段としての平滑用金型８と、スラリー槽１に浸漬さ
れるベースフィルム３のテンションを検知するテンショ
ン検知ローラ９と、スラリー槽１のベースフィルム３の
送り方向の上流側でベースフィルム３を送る第１の送り
手段としてのニップロール１０と、乾燥炉４の下流側で
ベースフィルム３を送る第２の送り手段としての２連の
サクションロール１１，１２と、テンション検知ローラ
９で検知されたテンションに基づいて、弛みや撓みの生
じない一定のテンションになるように前記ニップロール
１０および両サクションロール１１，１２の送り量を制
御するコントローラ１３と、スラリー槽１から引き上げ
られたベースフィルム３の幅方向の両端に付着したスラ
リーを掻き取る掻き取り部材１４と、乾燥後のベースフ
ィルム３の蛇行を補正する補正用ローラ（ＥＰＣロー
ラ）１５とを備えている。

【００３１】高度な寸法精度を得られるように金属で構
成された平滑用金型８は、スラリー槽１に浸漬されてス
ラリー２が塗工されたベースフィルム３を、後述のよう
に所定位置を通過するように位置決めするとともに、前
記所定位置のベースフィルム３の各面から或る等しい間
隔離間するように対向配置された接触部としての一対の
刃部１６ａ，１６ｂを有している。この実施の形態で
は、２枚貼り合わせフィルムの両面が等しい厚みになる
ように一対の刃部１６ａ，１６ｂを配置しているけれど
も、本発明の他の実施の形態として、両面の厚みを意図
的に異ならせるようにしてもよい。

【００３２】スラリー２が塗工されたベースフィルム３
を、両刃部１６ａ，１６ｂの間のスリットを通過させる
ことにより、ベースフィルム３の両塗工面を平滑にして
スラリー２の付着量を一定とし、前記スリットの間隔に
応じた厚みのシートを成形するものである。

【００３３】図２は、この平滑用金型８の平面図であ
り、図３は、一対の刃部１６ａ，１６ｂによる平滑処理
を説明するための概略側面図であり、これらの図におい
て、図１に対応する部分には、同一の参照符号を付す。

【００３４】平滑用金型８は、各刃部１６ａ，１６ｂが
それぞれ装備された一対の支持体１７，１８を備えてお
り、各支持体１７，１８は、ベースフィルム３の幅方向
（図２の左右方向）の両側の支持枠１９，２０が連結板
２１，２２を介してそれぞれ連結されて構成されてい
る。

【００３５】各刃部１６ａ，１６ｂは、ベースフィルム
３の幅方向に沿って直線状に延びており、各支持枠１
９，２０によってベースフィルム３の幅方向に垂直な方
向（図２の上下方向）に沿って変位可能に支持されてい
る。また、各刃部１６ａ，１６ｂは、各連結板２１，２
２に形成されているネジ孔に螺合する位置調整ネジ２
３，２４の先端にそれぞれ当接して前記垂直な方向にお
ける位置が規定されるようになっている。すなわち、各
刃部１６ａ，１６ｂは、各位置調整ネジ２３，２４に当
接することによって、各刃部１６ａ，１６ｂの先端のベ
ースフィルム３からの離間間隔がそれ以上広がらないよ
う規制されており、各位置調整ネジ２３，２４を調整し
て前記離間間隔を可変設定できるように構成されてい
る。

【００３６】両支持体１７，１８が組み合わされてベー
スフィルム３の幅方向の両端をガイドするコの字状の一
対のガイド溝２５が構成されており、一方の支持体１７
には、押さえローラ２６が装備されている。前記押さえ
ローラ２６は、ベースフィルム３両端部の一方の面を、
他方の支持体１８の位置決め面２５ａに圧接してベース
フィルム３が所定位置を通過するように位置決めする。

【００３７】なお、ガイド溝２５にガイドされるベース
フィルム３の両端部分は、上述の図１の掻き取り部材１
４によって、付着したスラリー２が事前に掻き取られて
おり、ベースフィルム３の面が直接位置決め面２５ａに
圧接されて精度よく位置決めされる。前記掻き取り部材
１４は、例えば、ゴム材料からなる。この掻き取り部材
１４は、ゴム材料に限らず、樹脂やその他の材料で構成
してもよい。

【００３８】平滑用金型８の各刃部１６ａ，１６ｂは、
位置決めされるベースフィルム３の各面からそれぞれ一
定の間隔に各先端が位置するように、位置調整ネジ２
３，２４によってその位置が規制されている。前記一定
の間隔は、乾燥炉４を経て得られる所望のシート厚みに
対応するように設定されており、必要に応じて各位置調
整ネジ２３，２４を調整して各刃部１６ａ，１６ｂの規
制位置を調整することができる。

【００３９】平滑用金型８の各刃部１６ａ，１６ｂは、
ベースフィルム３の幅方向に沿って高度な直線性を有す
るとともに、寸歩精度の高いものである。対向する刃部
１６ａ，１６ｂの間の間隔は、例えば、５０〜２００μ
ｍ程度であり、各刃部１６ａ，１６ｂの直線性のバラツ
キは、例えば、±１μｍ程度であるのが好ましい。

【００４０】この一対の刃部１６ａ，１６ｂによって、
その間を通過するベースフィルム３の両塗工面を平滑に
してスラリー２の付着量を一定にして厚みのバラツキを
なくすものである。

【００４１】このようにして平滑用金型８によって両塗
工面が平滑にされたベースフィルム３は、乾燥炉でスラ
リー２が乾燥されるのであるが、ベースフィルム３は、
弛みや撓みを生じないようように一定のテンションで送
られるので、弛みや撓みによって未乾燥のスラリー２が
流動して厚みのバラツキが生じることもない。

【００４２】乾燥後のベースフィルム３は、各サクショ
ンロール１１，１２に面で接触して送られるので、例え
ば、ニップロールのように線で接触して送られる場合に
比べて、ベースフィルム３からシートが剥がれるのを有
効に防止することができる。すなわち、ベースフィルム
３を送る場合に、応力がかかってベースフィルム３から
シートが剥がれようとしても面接触であるのでそれが広
がるのを有効に防止できるものである。

【００４３】以上のようにして、この実施の形態によれ
ば、弛みや撓みが生じないように一定のテンションで送
られるスラリー塗工後のベースフィルム３の両塗工面
を、平滑用金型８の両刃部１６ａ，１６ｂによって平滑
にし、乾燥炉４で弛みや撓みのない状態で乾燥させるの
で、厚みのバラツキが、例えば、２％以内の厚み精度の
高いシートを成形できる。

【００４４】なお、この実施の形態では、２枚貼り合わ
せフィルムに適用して説明したけれども、本発明は、１
枚のフィルムであっても同様に適用できるのは勿論であ
る。

【００４５】（実施の形態２）図４は、本発明の他の実
施の形態のスラリー槽１の前後の構成を示す図であり、
上述の実施の形態１に対応する部分には、同一の参照符
号を付す。

【００４６】上述の実施の形態では、平滑用金型８の対
向配置された一対の刃部１６ａ，１６ｂによってベース
フィルム３の両塗工面を同時に平滑処理したけれども、
この実施の形態では、スラリー槽１に浸漬されてスラリ
ー２が塗工されベースフィルム３の各塗工面を片面ずつ
平滑処理するものである。

【００４７】すなわち、この実施の形態では、スラリー
槽１から引き上げられたベースフィルム３の一方側の面
が圧接される第１の位置決めローラ２７と、ベースフィ
ルム３の他方側の面が圧接される第２の位置決めローラ
２８と、第１の位置決めローラ２７に圧接されるベース
フィルム３の他方側の塗工面に接触して平滑にする第１
の刃部２９と、第２の位置決めローラ２８に圧接される
ベースフィルム３の一方側の塗工面に接触して平滑にす
る第２の刃部３０と、各位置決めローラ２７，２８との
間でベースフィルム３をそれぞれ挟む第１，第２のニッ
プロール３１，３２と、ベースフィルム３の前記各位置
決めローラ２７，２８に対応する部分のスラリー２を掻
き取る掻き取り部材３３とを備えている。図示以外の部
分の構成は、上述の実施の形態と同様である。各位置決
めローラ２７，２８は、金属製であって、ハードクロム
処理等によって表面が平滑化されている。

【００４８】第１，第２の位置決めローラ２７，２８と
第１，第２のニップロール３１，３２とは、図５に示さ
れるように、ベースフィルム３の幅方向（図５の左右方
向）に沿って間隔をあけて複数（この実施の形態では、
３個）それぞれ配置されている。これらのローラ２７，
２８，３１，３２に挟まれるベースフィルム３の部分
は、上述の掻き取り部材３３によってスラリー２が掻き
取られており、この部分を各位置決めローラ２７，２８
に圧接してベースフィルム３が所定の位置をそれぞれ通
過するように位置決めされる。この位置決めされたベー
スフィルム３からその先端が一定の離間間隔となるよう
に、例えば、ドクターブレードからなる第１，第２の刃
部２９，３０がそれぞれ配置されている。

【００４９】なお、ベースフィルム３の幅方向に沿って
配置される位置決めローラ２７，２８およびニップロー
ル３１，３２の個数や配置間隔は、ベースフィルム３の
幅等に応じて適宜選択すればよい。

【００５０】図６は、第２の位置決めローラ２８、第２
のニップロール３２および第２の刃部３０の配置を示す
概略斜視図である。

【００５１】第２の位置決めローラ２８に圧接されて位
置決めされるベースフィルム３の塗工面に対して、二つ
に分離された第２の刃部３０をそれぞれ接触させて平滑
にし、スラリー２の付着量を一定として厚みのバラツキ
を小さくしている。

【００５２】この図６では、刃部３０は、ベースフィル
ム３の幅方向に沿って二つに分離して設けてベースフィ
ルム３の塗工面を平滑にしたけれども、これに限ること
なく、少なくとも一つの刃部を設けていればよく、ベー
スフィルム３の幅方向の全面を平滑にできればよい。

【００５３】なお、第１の位置決めローラ２７、第１の
ニップロール３１および第１の刃部２９の配置も同様で
ある。

【００５４】その他の構成および効果は、上述の実施の
形態と同様である。

【００５５】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、スラリー
槽から引き上げられて所定位置を通過する塗工後のフィ
ルムの塗工面に対して、フィルムから或る間隔離間して
配置された接触部を接触させて塗工面を平滑にするの
で、スラリー槽から引き上げたままで乾燥手段で乾燥さ
せてシートを成形する従来例に比べてシートの厚み精度
を向上させることができる。

【００５６】また、一定のテンションでフィルムが送ら
れるので、フィルムに弛みや撓みなどが発生することな
く、所定位置を通過するので、精度よく平滑処理してス
ラリー付着量を一定にすることができる一方、乾燥過程
においてもフィルムの弛みや撓みの発生がないので、未
乾燥のスラリーが撓み形状等に応じて流動するといった
こともなく、シートの厚みのバラツキを小さくできるこ
とになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一つの実施の形態に係るシート成形装
置の構成図である。

【図２】図１の平滑用金型８の平面図である。

【図３】一対の刃部１６ａ，１６ｂによる平滑処理を説
明するための概略側面図である。

【図４】本発明の他の実施の形態の要部の構成図であ
る。

【図５】位置決めローラ、ニップロールおよび刃部の配
置関係を示す平面図である。

【図６】第２の位置決めローラ、第２のニップロールお
よび第２の刃部の配置を示す概略斜視図である。

【図７】従来例の構成図である。

【符号の説明】

１ スラリー槽 ２ スラリー ３ ベースフィルム ４ 乾燥炉 ８ 平滑用金型 ９ テンション検知ローラ １０ ニップロール １１，１２ サクションロール １３ コントローラ １６ａ，１６ｂ 刃部 ２３，２４ 位置調整ネジ ２５ ガイド溝 ２５ａ 位置決め面 ２６ 押えローラ ２７，２８ 位置決めローラ ２９，３０ 刃部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルムを送り出してスラリー槽中に浸
   漬し、前記フィルムの表面にスラリーを塗工し、前記フ
   ィルムを前記スラリー槽から引き上げ、前記フィルムに
   付着したスラリーを乾燥手段にて乾燥してシートを成形
   するシート成形装置であって、 前記スラリー槽から引き上げられた前記フィルムの塗工
   面のスラリーを平滑にする平滑手段を備え、前記平滑手
   段は、位置決め部と接触部とを備え、前記位置決め部
   は、前記フィルムを位置決めして所定位置を通過させる
   ものであり、前記接触部は、前記所定位置のフィルム表
   面からある間隔を置いて離間するように配置されてお
   り、該接触部はフィルム表面に塗工されたスラリーを平
   滑にするものであることを特徴とするシート成形装置。
2. 【請求項２】 前記フィルムのテンションを検知する検
   知手段と、 前記検知手段の出力に基づいて、前記フィルムのテンシ
   ョンが一定になるように前記フィルムの送り量を制御す
   る制御手段とを備える請求項１記載のシート成形装置。
3. 【請求項３】 前記フィルムを送る第１及び第２の送り
   手段を備え、各送り手段は、それぞれが少なくとも１つ
   のロールを有し、前記第１の送り手段は前記スラリー槽
   よりも上流側に設置し、前記第２の送り手段は前記乾燥
   手段よりも下流側に設置し、 前記検知手段としての検知ローラは、前記第１の送り手
   段と前記スラリー槽との間に設置する請求項２記載のシ
   ート成形装置。
4. 【請求項４】 前記第２の送り手段は、前記乾燥手段を
   通過した前記フィルムの各塗工面にそれぞれ接触する複
   数のサクションロールを備える請求項３記載のシート成
   形装置。
5. 【請求項５】 前記接触部は、前記フィルムの幅方向に
   沿って直線状に延びて前記塗工面に接触する刃部を有
   し、該刃部と前記所定位置のフィルムとの離間間隔を調
   整可能な請求項１〜４に記載のシート成形装置。
6. 【請求項６】 前記位置決め部は、前記フィルムが通過
   するガイド溝と、該ガイド溝の位置決め面に対して、前
   記フィルムの一方の面を圧接する押えローラとを有し、 前記接触部は、前記刃部を一対有するとともに、前記ガ
   イド溝を通過する前記フィルムを介して前記一対の刃部
   が対向配置される請求項５記載のシート成形装置、。
7. 【請求項７】 前記位置決め部は、前記フィルムの一方
   側の面が圧接される第１の位置決めローラと、前記フィ
   ルムの他方側の面が圧接される第２の位置決めローラと
   を備え、 前記接触部は、前記第１の位置決めローラに圧接される
   前記フィルムの他方側の塗工面に接触する第１の前記刃
   部と、前記第２の位置決めローラに圧接される前記フィ
   ルムの一方側の塗工面に接触する第２の前記刃部とを備
   える請求項５記載のシート成形装置。