JP2003168703A - スプールグリッパ、スプールグリッパを備えたスプール取扱いユニットおよびスプールグリッパを使用したスプール取扱い方法 - Google Patents

スプールグリッパ、スプールグリッパを備えたスプール取扱いユニットおよびスプールグリッパを使用したスプール取扱い方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スプールフランジに着脱可能なグリッパ、グ
リッパを備えたスプール取扱いユニットおよびグリッパ
を使用したスプールの取扱い方法を提供する。 【解決手段】 半導体装置ボンディングワイヤが巻き回
されたスプールの両側に設けられたフランジのうちのい
ずれか一方に結合されるスプールグリッパにおいて、ス
プールがスプールホルダに嵌め込まれる時にスプールホ
ルダを受容するための内径部分が設けられており、この
内径部分よりも直径が大きく、フランジの周縁部に結合
される結合部分が設けられており、この結合部分よりも
直径の大きな外径部分が設けられており、作業員が、ス
プールを取り扱うために外径部分を把持するようになっ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップパッ
ケージ処理を施すためのワイヤボンディングアセンブ
リ、特に、スプールフランジに取外し可能に嵌め込まれ
るスプールグリッパおよび、作業員の不注意によりボン
ディングワイヤが汚染および損傷を受けるのを効果的に
妨止する、スプールグリッパを使用したスプールの取扱
い方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】概して、ワイヤボンディングアセンブリ
は、高純度白金製Ｐｔワイヤまたはアルミニウムワイヤ
等の導電性ワイヤにより、リードフレームのリードを電
気特性を有する半導体チップのボンディングパッドに電
気的に接続するための装置である。
【０００３】通常、ワイヤボンディングアセンブリに
は、スプール、スプールホルダ、ワイヤフィードガイ
ド、ワイヤクランプおよびキャピラリが設けられてい
る。導電性ワイヤはスプールに巻き回され、スプールは
スプールホルダに嵌め込まれる。導電性ワイヤはキャピ
ラリおよびトーチバーにより溶融されて、半導体チップ
のボンディングパッドとリードとに溶接される。
【０００４】作業員がスプールを保持し、スプールをス
プールホルダに嵌め込む間に導電性ワイヤがスプールか
ら外れてしまうのを妨止するために、フランジがスプー
ルの両側に形成されており、これにより、フランジは半
径方向で４−５ｍｍだけスプールから突出している。ス
プールを取り扱うために様々な種類のスプールケースが
使用されてよい。スプールの取扱いとは、スプールの保
管および運搬であってよい。
【０００５】例えば、実開昭５４−１０３７４７号公報
は、円筒形のスプールが被嵌される突出部が設けられた
ベースと、このベース内に塵等の異物が入り込むのを妨
止するためにベースに結合されるカバーとを有するスプ
ールケースを開示している。カバーには、ベースの突出
部と対応してスプールを受容するための凹部が設けられ
ている。
【０００６】上述の構造を有するスプールケースを使用
する場合に、作業員はスプールのフランジを把持し、ス
プールをスプールケースから取り出して、そのままスプ
ールホルダにスプールを嵌め込む。
【０００７】しかしながら、スプールフランジはスプー
ルから最大で４−５ｍｍ程度しか半径方向に突出してい
ないので、スプールに巻き回されたワイヤはフランジの
外周縁に亘って配置される。したがって、スプールを取
り扱う場合に、作業員の指が導電性ワイヤの表面に触れ
てしまう。この場合に、ワイヤは汚染されるかまたは損
傷を受けてしまい、これにより、ワイヤボンディングプ
ロセス中の深刻な装置不良が引き起こされる。
【０００８】大韓民国実用新案公告第９７−５２８３７
号明細書は、第１の直径を有する一方の側のフランジ
と、第２の直径を有する反対側のフランジとを有するス
プールを開示している。第２の直径は、第１の直径より
も著しく大きくされている。作業員は、大径フランジを
把持してスプールをスプールホルダに嵌め込む。
【０００９】特開２０００−０１２５９９号公報は、ベ
ースを有するボンディングワイヤスプールケースを開示
している。ベースは、スプールを保持するためにスプー
ルフランジの外周縁に係合する界面結合部材と、スプー
ルホルダを受容するために外方に突出したノブとを有し
ている。ベースは、弾性変形させることができる。ベー
スからスプールを切り離すために、作業員はノブを把持
して、ベースを弾性変形させる。
【００１０】しかしながら、上述したような大径フラン
ジを有するスプールは、複数の問題を伴う。
【００１１】ワイヤボンディングアセンブリにおいて使
用されるスプールは、半導体チップパッケージ製造各社
によって構造が多様化されてよい。例えば、Ａ会社が一
方の側のフランジのみ直径が大きいスプールを使用して
いるのに対して、Ｂ会社が両側のフランジとも直径が小
さい（４−５ｍｍ）スプールを使用しているということ
が起こり得る。このような状況に対して、Ａ会社および
Ｂ会社の両社に適切なスプールを供給するために、スプ
ール製造会社は、前者のタイプのフランジを製造するた
めの設備と後者のタイプのフランジを製造するための設
備とを別々に提供すべきである。これは、必然的に製造
コストの増大を引き起こす。
【００１２】一方、特開２０００−０１２５９９号公報
に開示されているスプールケースの場合、界面結合部材
が設けられたベースは、弾性変形可能な材料で形成され
ており、これにより、この界面結合部材によりベースか
らスプールを切り離すことができる。
【００１３】スプールの脱着時にベースが繰り返し弾性
変形を受ける場合には、この弾性変形によりベースの所
定の領域において応力が生じる。これにより、ベースは
応力による損傷を受け、耐久性が低下する。
【００１４】界面結合部材は、スプールを実質的に保持
するためにケース本体のベースに結合されており、また
弾塑性材料で形成されている。繰り返し使用されること
により、界面結合部材が摩耗されるかまたはすり減らさ
れ、これにより、スプール保持動作の信頼性が低下す
る。
【００１５】さらに、スプールを取り扱う場合に、作業
員はベースからカバーを取り外し、ベースを把持して、
スプールをボンディングアセンブリのスプールホルダに
嵌め込む。この時に、不注意から作業員がベースの両側
を把持する虞がある。この場合には、界面結合部材によ
るスプール保持動作が解除され、これにより、スプール
がベースから脱離してしまう。したがって、ボンディン
グワイヤは汚染および損傷を受ける。
【００１６】さらに、スプールホルダがスプールおよび
ノブの全長よりも長い場合には、スプールがスプールホ
ルダに不完全に嵌め込まれ、これにより、ベースによる
スプール脱着作業を容易に行うことができなくなる。ス
プールホルダが端部に保持ノブを有している場合には、
この保持ノブは、ベースのノブによって内側に押さえら
れ、これにより、ベースを使用したスプール脱着作業は
不可能となり、またスプールケースの使用可能な範囲が
制限される。
【００１７】
【特許文献１】実開昭５４−１０３７４７号公報
【特許文献２】大韓民国実用新案公告第９７−５２８３
７号明細書
【特許文献３】特開２０００−０１２５９９号公報
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の課
題は、スプールフランジに着脱可能なグリッパ、グリッ
パを備えたスプール取扱いユニットおよびグリッパを使
用したスプールの取扱い方法を提供することである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】この課題およびその他の
課題は、以下の特徴を有する、スプールグリッパおよび
スプール取扱いユニットによって達成されてよい。
【００２０】スプールグリッパは、半導体装置ボンディ
ングワイヤが巻き回されたスプールの両側に設けられた
フランジのうちのいずれか一方に結合される。スプール
グリッパは、スプールがスプールホルダに嵌め込まれる
時にこのスプールホルダを受容するための内径部分と、
この内径部分よりも直径が大きく、フランジの周縁部に
結合される結合部分と、この結合部分よりも直径の大き
な外径部分とを有している。
【００２１】スプールグリッパに関して、設備コスト
は、増大させられないと同時にパッケージ製造会社の要
求も満たしている。大径フランジを有するスプールを所
望とするパッケージ製造会社にスプールが運搬される場
合、グリッパがスプールのフランジに結合された状態で
スプールが運搬される。したがって、大径フランジを製
造するための付加的な設備は必要とされない。
【００２２】さらに、スプールに巻き回されたボンディ
ングワイヤとグリッパの外径部分との間の距離は、慣用
の小径フランジに関連した距離よりも大いに拡大されて
いる。これにより、スプールに直接触れることなく、ス
プールを取り扱うことができる。グリッパがフランジか
ら意図的に切り離されない限り、スプールに対するグリ
ッパの結合状態は解除されない。グリッパがフランジに
結合された状態でワイヤボンディング作業が行われるた
め、ワイヤボンディング作業を行うためにグリッパをフ
ランジから切り離す必要はない。したがって、スプール
がグリッパから脱離してしまうのを妨止すると共に、グ
リッパの耐久性およびスプール保持の信頼性を低下させ
ることなく維持することができる。
【００２３】少なくとも２つの結合突起が結合部分に形
成されており、また半径方向で内方に突出させられてい
る。これらの結合突起は、結合部分の周縁または中央に
配置されてよい。
【００２４】結合突起は、グリッパがフランジに嵌まる
ようにフランジの厚さと同様の高さにおいて形成される
べきである。結合部分の中央に結合突起を配置する場
合、外径部分の厚さは所定の程度だけ拡大される。これ
により、作業員がグリッパを把持する時に、導電性ワイ
ヤＷに指が触れることはない。
【００２５】複数の突出部がグリッパに形成されてお
り、これにより、スプールフランジの外面にテープ留め
された導電性ワイヤＷの端部を受容するための空間を形
成している。グリッパがスプールフランジに結合される
時に導電性ワイヤＷの端部はこの空間内に配置されるの
で、導電性ワイヤＷの端部が受ける虞のある損傷を妨止
することができる。
【００２６】グリッパは金属プレートリングまたはプラ
スチックプレートリングで形成されていてよい。後者の
場合には、グリッパに切断面が形成されていると有利で
ある。作業員がグリッパを把持する時に、この切断面に
より、内径部分を圧縮しながらグリッパを変形させるこ
とができる。したがって、グリッパを把持することによ
り、脱離することなくスプールをグリッパに確実に結合
させることができる。
【００２７】グリッパを備えたスプール取扱いユニット
は、スプールを保管するためのスプールケースを含んで
いる。スプールケースは、スプールを装着するためのベ
ースと、塵等の異物が入り込むのを妨止するためにベー
スに結合されるカバーとを有している。ベースは、底部
と、この底部から突出した側壁と、この側壁よりも内側
の底部に形成されており、スプールの内径部分に挿入さ
れる突出部とを有している。カバーは、ベースに嵌め込
まれたスプールの内径部分に挿入される突出部を有して
おり、これにより、スプールの中心軸を水平方向に維持
する。
【００２８】スプールの中心軸は、水平面上に安定して
配置されている。したがって、スプールに巻き回された
ボンディングワイヤＷには、ワイヤ自身の荷重、運搬時
の振動およびその他の衝撃がワイヤの全長に亘って良好
に分散され、ワイヤの不意の巻付きまたは解放が効果的
に妨止される。
【００２９】ストッパがカバーに形成されていてよく、
これにより、スプールの中心軸を水平方向に維持する。
【００３０】
【発明の実施の形態】本発明および本発明に付随した多
数の利点が、同様の参照符号が同様または類似のコンポ
ーネントを示す添付図面と共に考察した場合に以下の詳
細な説明を参照することによってより良く理解された時
に、本発明および本発明に付随した多数の利点のより完
全な認識が容易に明白である。
【００３１】本発明の有利な実施例を、添付図面を参照
しながら以下に説明する。
【００３２】図１は本発明の有利な実施例によるスプー
ルグリッパの斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ線に沿
って切断されたスプールグリッパの縦断面図である。図
５はスプールグリッパを備えたスプール取扱いユニット
の組立分解斜視図である。
【００３３】スプール１０は、この分野においてよく知
られており、表面にボンディングワイヤＷが巻き回され
ている。図面に示したように、スプール１０は、ボンデ
ィングワイヤを巻き回すための円筒体部分（図示せず）
と、この円筒体部分の両端に設けられた一対の小径フラ
ンジ１２とにより形成されている。切欠き１４が、一方
の側の小径フランジ１２に形成されており、これにより
ボンディングワイヤＷの端部を保持している。切欠き１
４を通過したボンディングワイヤＷの端部は、テープ１
６によりフランジ１２の外面に固定されている。
【００３４】スプールグリッパ２０は、フランジ１２か
ら切り離すことができるようにフランジ１２のうちの一
方に結合されている。スプールグリッパ２０は、プラス
チック材料で形成されており、プレートリング形状を有
している。スプールグリッパ２０は、スプール１０の内
径部分１８と同一直径またはスプール１０の内径部分１
８よりも直径の大きな内径部分２２と、この内径部分２
２よりも直径が大きく、フランジ１２の周縁部に結合さ
れる結合部分２４と、この結合部分２４よりも直径の大
きな外径部分２６とを有している。スプール１０を取り
扱う場合に、作業員はスプールグリッパ２０の外径部分
２６を把持する。
【００３５】少なくとも２つの結合突起２４′、有利に
は３つの結合突起２４′が、フランジ１２を保持するた
めに結合部分２４に等間隔を置いて形成されており、ま
た半径方向で内方に突出させられている。これらの結合
突起２４′は、結合部分２４の周縁部に位置決めされて
おり、またフランジ１２の厚さに相当する高さを有して
いる。
【００３６】複数の突出部２８′がグリッパ２０に形成
されており、これにより、スプールフランジ１２の外面
にテープ留めされた導電性ワイヤＷの端部を受容するた
めの空間２８を形成している。グリッパ２０がスプール
フランジ１２に結合される時に導電性ワイヤＷの端部は
空間２８内に配置されるので、これにより、導電性ワイ
ヤＷの端部が受ける虞のある損傷を妨止することができ
る。
【００３７】一方、グリッパ２０は切断面２８′′を有
している。この切断面２８′′により、作業員がグリッ
パ２０を把持する時に、内径部分２２を圧縮しながらグ
リッパ２０を変形させることができる。
【００３８】したがって、グリッパ２０を把持すること
により、脱離することなくスプール１０をグリッパ２０
に確実に結合させることができる。
【００３９】一対のノブ２６′が、互いに向かい合っ
て、外径部分２６に形成されている。これらのノブ２
６′が切断面２８′′から同様の距離だけ間隔を置いて
配置されていると有利である。
【００４０】ノブ２６′を設けることにより、導電性ワ
イヤの汚染および損傷をさらに効果的に妨止することが
できる。
【００４１】グリッパ２０がスプールフランジ１２に結
合される時、スプール１０に巻き回されたボンディング
ワイヤとグリッパ２０の外径部分２６との間の距離は、
小径フランジ１２と比較して所定の寸法Ｗ１だけ拡大さ
れる。さらに、ノブ２６′を設けることにより、スプー
ルに直接触れることなくスプール１０を取り扱うことが
できる。このようにして、作業員の指が触れることによ
る導電性ワイヤＷの汚染および損傷を妨止することがで
きる。さらに、グリッパ２０が意図的にフランジ１２か
ら切り離されない限り、グリッパ２０の結合状態は解除
されない。グリッパ２０の内径部分２２を通じてスプー
ルホルダ４０が挿入されるため、グリッパ２０がフラン
ジ１２に結合された状態でワイヤボンディング作業を行
うことができる。したがって、グリッパ２０をフランジ
１２から切り離す必要はない。このようにして、グリッ
パ２０の耐久性が高まる。特に、結合突起２４′の摩耗
が可能な限り防止されると同時に、スプール保持の信頼
性も保証される。
【００４２】図３はグリッパの変化実施例を示してお
り、この実施例においては、結合突起２４′が結合部分
２４の中央に形成されている。グリッパのその他のコン
ポーネントおよび構造は、図１および図２に示したグリ
ッパと同様である。
【００４３】結合突起２４′は、グリッパ２０がフラン
ジ１２に嵌まるように、フランジ１２の厚さｔと同様の
高さｈにおいて形成されるべきである。結合部分２４の
中央に結合突起２４′′を配置する場合、外径部分２６
の厚さは所定の程度ｔ２だけ拡大される。これにより、
グリッパ２０を把持する時に作業員の指が導電性ワイヤ
Ｗに触れることはない。
【００４４】図４は、本発明の別の有利な実施例による
スプールグリッパ２０ａの斜視図である。グリッパは金
属材料で形成されている。金属材料を基材とするグリッ
パは半径方向で内方に変形させることができないので、
切断面（図１の２８′′によって示したような）を有し
ていないプレートリングにより形成されている。
【００４５】スプール取扱いユニットおよびスプールの
取扱い方法を、図５および図６を参照しながら以下に説
明する。
【００４６】上述した構造を有するグリッパ２０を備え
たスプール取扱いユニットは、スプール１０を保管およ
び運搬するためのスプールケース３０を有している。
【００４７】スプールケース３０は、アクリル、ポリオ
レフィンまたはスチレンを基礎とする合成樹脂により形
成されている。スプールケース３０は、ベース３２と、
このベース３２に結合されるカバー３４とを有してい
る。
【００４８】ベース３２は、底部３２ａと、この底部３
２ａから突出した側壁３２ｂと、この側壁３２ｂよりも
内側の底部３２ａから突出した突出部３２ｃとにより形
成されている。スプール１０の内径部分１８は、この突
出部３２ｃに被嵌される。
【００４９】カバー３４は、ベース３２の上部から側壁
３２ｂの外面に嵌め込まれ、これにより、スプール１０
のボンディングワイヤＷが塵等の異物により汚染される
のを妨止する。カバー３４は、スプール１０の内径部分
１８に挿入される突出部３４ｂを有しており、これによ
り、ベース３２の突出部３２ｃと対応して、スプール１
０の中心軸を水平方向に維持する。
【００５０】ベース３２の突出部３２ｃおよびカバー３
４の突出部３４ｂには、これらの突出部３２ｃ，３４ｂ
の直径がスプール１０の内径と同一かまたはスプール１
０の内径よりも小径であるように、円形の面が形成され
ている。突出部３２ｃおよび３４ｂの長さは、スプール
１０の長さの３０％に確立されている。
【００５１】カバー３４の上部３４ａから折り曲げられ
た側壁３４ｃは、上部３４ａに向かってテーパした円錐
状に形成されている。ストッパ３４ｄがカバー３４の側
壁３４ｃに形成されており、これにより、スプール１０
の中心軸を水平方向に維持する。
【００５２】スプールケースは、適当な修正により、種
々異なる構造を有していてよい。
【００５３】スプール取扱いユニットを使用する場合に
は、グリッパ２０が上側（カバー側）に位置決めされる
ように、ボンディングワイヤが巻き回されたスプール１
０が垂直向きでベース３２の底部３２ａに嵌められる。
カバー３４がベース３２の上側からベース３２に結合さ
れ、これにより、カバー３４の突出部３４ｂがスプール
１０の内径部分１８に挿入される。
【００５４】この状態において、スプールケース３０
は、ストッパ３４ｄが下向きになるように作業テーブル
（図示せず）上に載置される。
【００５５】スプール１０の中心軸が水平方向に維持さ
れるので、スプール１０に巻き回されたボンディングワ
イヤＷには、ワイヤＷ自身の荷重、運搬または取扱い時
における振動およびその他の衝撃がワイヤの全長に亘っ
て均等に分散され、これにより、ワイヤの望ましくない
巻付きまたは解放を効果的に防止することができ、また
スプールケース３０の転がりも回避することができる。
【００５６】スプール１０がワイヤボンディングアセン
ブリ（図示せず）のスプールホルダ４０に嵌め込まれる
場合に、作業員は一方の手でベース３２を把持し、この
状態のまま他方の手でカバー３４の側壁を把持する。次
いで、カバー３４が上方に持ち上げられ、これによりカ
バー３４はベース３２から切り離される。
【００５７】グリッパ２０のノブ２６′を把持すること
により、スプール１０は、矢印方向に移動させられて、
スプールホルダ４０に嵌め込まれる。この時に、スプー
ルホルダ４０の端部４２はスプール１０の内径部分１８
およびグリッパ２０の内径部分２２を通過する。このよ
うにして、スプールホルダ４０の長さに関係なく、スプ
ール１０の脱着を行うことができる。さらに、スプール
ホルダ４０の端部４２に保持ノブが設けられている場合
には、グリッパ２０のノブ２６′の存在に関係なく、ス
プール１０の脱着を行うことができる。
【００５８】このようにして、スプール１０は、スプー
ル固定部材４４および／または保持ノブ（図示せず）に
よりスプールホルダ４０にしっかりと装着されている。
ワイヤボンディング作業時に、グリッパ２０は常にスプ
ール１０のフランジ１２に嵌められている。
【００５９】交換のためにスプール１０がスプールホル
ダ４０から切り離される場合には、スプール１０のフラ
ンジ１２に嵌められたグリッパ２０のノブ２６′が把持
され、スプール１０が矢印と反対方向に引っ張られて、
これによりスプール１０の切離しが完了する。
【００６０】発明上の構造において、大径フランジを有
する慣用のスプールに関して、スプールに巻き回された
ボンディングワイヤとグリッパの外径部分との間の距離
は、慣用の小径フランジに関連した距離よりも大いに拡
大されている。
【００６１】これにより、スプールに直接触れることな
くスプールを取り扱うことができる。さらに、ノブがグ
リッパの外径部分に形成されているので、指が触れるこ
とにより生じる虞のある導電性ワイヤの汚染および損傷
を妨止することができる。
【００６２】さらに、グリッパがフランジから意図的に
切り離されない限り、スプールに対するグリッパの結合
状態は解除されない。グリッパがフランジに結合された
状態でワイヤボンディング作業が行われるので、ワイヤ
ボンディング作業を行うためにグリッパをフランジから
切り離す必要はない。したがって、グリッパからスプー
ルが脱離してしまうのを妨止すると共に、グリッパの耐
久性およびスプール保持の信頼性を低下させることなく
維持することができる。
【００６３】グリッパは導電性ワイヤの端部を受容する
ための空間を含んでいるので、グリッパにより生じる虞
のある導電性ワイヤの損傷を妨止することができる。
【００６４】いかなる修正も加えることなく通常のスプ
ールまたはスプールケースが使用されるので、製造コス
トを低減することができる。スプールの中心軸は水平面
上に安定して配置されている。したがって、スプールに
巻き回されたボンディングワイヤＷにはワイヤ自身の荷
重、運搬時の振動およびその他の衝撃がワイヤの全長に
亘って良好に分散され、ボンディングワイヤの不意の巻
付きまたは解放が効果的に妨止される。
【００６５】本発明上のグリッパを使用する場合、設備
コストは、増大させられないと同時にパッケージ製造会
社の要求も満たしている。大径フランジを有するスプー
ルを所望とするパッケージ製造会社にスプールが運搬さ
れる場合、グリッパがスプールのフランジに結合された
状態で運搬が行われる。したがって、大径フランジを製
造するための付加的な設備は必要とされない。
【００６６】本発明上のスプール取扱いユニットを使用
する場合、グリッパを使用してスプールがスプールホル
ダに嵌め込まれる。したがって、スプールホルダの長さ
またはスプール固定部材の有無に関係なく、あらゆるタ
イプのスプールホルダと共にスプール取扱いユニットを
使用することができる。スプール取扱いプロセスは慣用
のスプールに関連したプロセスと同様であるため、作業
員にはいかなる混乱も及ぼさない。
【００６７】本発明を有利な実施例を引用して詳細に説
明したが、添付の請求項に記載されたような本発明の思
想および範囲から逸脱することなしに、実施例に対して
様々な修正および代用を行うことができることを当業者
は認めるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の有利な実施例によるスプールグリッパ
を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿って切断されたスプールグ
リッパを示す縦断面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿って切断されたスプールグ
リッパを示す縦断面図であり、スプールグリッパの変化
実施例を示している。
【図４】本発明の別の有利な実施例によるスプールグリ
ッパを示す斜視図である。
【図５】スプールグリッパを備えたスプール取扱いユニ
ットを示す分解組立斜視図である。
【図６】スプールグリッパを使用したスプールの取扱い
プロセスを示す図である。
【符号の説明】
１０ スプール、 １２ 小径フランジ、 １４ 切欠
き、 １６ テープ、１８ 内径部分、 ２０ スプー
ルグリッパ、 ２２ 内径部分、 ２４ 結合部分、
２４′ 結合突起、 ２６ 外径部分、 ２６′ ノ
ブ、 ２８ 空間、 ２８′ 突出部、 ２８′′ 切
断面、 ３０ スプールケース、 ３２ベース、 ３２
ａ 底部、 ３２ｂ 側壁、 ３２ｃ 突出部、 ３４
カバー、 ３４ａ 上部、 ３４ｂ 突出部、 ３４
ｃ 側壁、 ３４ｄ ストッパ、 ４０ スプールホル
ダ、 ４２ 端部、 ４４ スプール固定部材
フロントページの続き (72)発明者 ジョン ウ パク 大韓民国 インチョン ヨンス−グ ドン チュン−ドン 925−７ デウ セカンド アパートメント 109−1708 Ｆターム(参考） 5F044 BB00 BB14 JJ00

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体装置ボンディングワイヤが巻き回
    されたスプールの両側に設けられたフランジのうちのい
    ずれか一方に結合されるスプールグリッパにおいて、 前記スプールがスプールホルダに嵌め込まれる時に該ス
    プールホルダを受容するための内径部分が設けられてお
    り、 該内径部分よりも直径が大きく、前記フランジの周縁部
    に結合される結合部分が設けられており、 該結合部分よりも直径の大きな外径部分が設けられてお
    り、作業員が、前記スプールを取り扱うために前記外径
    部分を把持するようになっていることを特徴とする、ス
    プールグリッパ。
  2. 【請求項２】 少なくとも２つの結合突起が、前記結合
    部分に形成されており、また半径方向で内方に突出して
    いる、請求項１記載のスプールグリッパ。
  3. 【請求項３】 前記結合突起が、前記結合部分の周縁部
    に位置決めされている、請求項２記載のスプールグリッ
    パ。
  4. 【請求項４】 前記結合突起が、前記結合部分の中央に
    位置決めされている、請求項２記載のスプールグリッ
    パ。
  5. 【請求項５】 前記フランジに固定された導電性ワイヤ
    の端部を受容するための空間を形成するための複数の突
    出部が設けられている、請求項２記載のスプールグリッ
    パ。
  6. 【請求項６】 一対のノブが、互いに向かい合って、前
    記外径部分に形成されている、請求項１記載のスプール
    グリッパ。
  7. 【請求項７】 圧縮しながら、前記内径部分を変形させ
    るための切断面が設けられている、請求項１記載のスプ
    ールグリッパ。
  8. 【請求項８】 前記フランジに固定された導電性ワイヤ
    の端部を受容するための空間を形成するための複数の突
    出部が設けられている、請求項１記載のスプールグリッ
    パ。
  9. 【請求項９】 スプール取扱いユニットにおいて、 請求項１から８までのいずれか１項記載のグリッパと、
    スプールを保管するためのスプールケースとが設けられ
    ており、該スプールケースが、前記スプールを装着する
    ためのベースと、塵等の異物が入り込むのを妨止するた
    めに該ベースに結合されるカバーとを有していることを
    特徴とする、スプール取扱いユニット。
  10. 【請求項１０】 前記ベースが、底部と、該底部から突
    出した側壁と、該側壁よりも内側で前記底部に形成さ
    れ、前記スプールの内径部分に挿入される突出部とを有
    しており、 前記カバーが、前記スプールの中心軸を水平方向に維持
    するための、前記ベースに嵌め込まれた前記スプールの
    内径部分に挿入される突出部と、前記スプールの中心軸
    を水平方向に維持するためのストッパとを有している、
    請求項９記載のスプールグリッパ。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載のスプール取扱いユニ
    ットを使用したスプールの取扱い方法において、 前記スプールを前記スプールケースに装着し、前記スプ
    ールの中心軸が水平方向に維持されるように前記スプー
    ルを保管および運搬し、前記スプールに結合された前記
    グリッパを把持し、前記スプールを前記スプールホルダ
    に嵌め込み、前記グリッパを前記スプールに結合させた
    状態でワイヤボンディング作業を行うことを含む、請求
    項１０記載のスプール取扱いユニットを使用したスプー
    ルの取扱い方法。
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