JP2003167033A - テストプログラムのデバッグ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 強制判定情報の実際の記憶容量及び強制判定
情報を記憶するために予め確保すべき記憶領域を低減す
る。 【解決手段】 多数の被測定デバイスを並列試験する半
導体集積回路試験装置におけるテストプログラムのデバ
ッグ方法であって、各被測定デバイスの試験に対する強
制判定情報を各被測定デバイス毎に記憶する判定情報部
と、前記テストプログラムを構成する各テスト項目毎に
前記判定情報部の強制判定情報を採用するか否かを示す
指定情報を記憶する判定情報指定部とからなる強制判定
情報テーブルを複数設け、各強制判定情報テーブルの何
れかの判定情報指定部で指定された強制判定情報部の強
制判定情報を用いてテストプログラムを実行してデバッ
グを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多数の被測定デバ
イスを並列試験する半導体集積回路試験装置に使用する
テストプログラムのデバッグ方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、各種半導体集積回路（被
測定デバイス）の動作試験を行う装置として、半導体集
積回路試験装置がある。この半導体集積回路試験装置
は、試験専用に作成されたテストプログラムに基づいて
被測定デバイスを複数の試験項目に亘って試験するもの
である。上記テストプログラムには各試験項目に関する
情報が記述されており、半導体集積回路試験装置は、テ
ストプログラムを先頭から順次実行することにより、各
試験項目に応じた試験信号を被測定デバイスに供給し、
この試験信号に応じて被測定デバイスから出力される出
力信号を期待値信号と比較することにより各試験項目に
対する被測定デバイスの動作の良否を判定する。

【０００３】このようなテストプログラムの新規作成や
改編する場合には、デバッグ作業が当然に必要になる。
このデバッグ作業では、テストプログラムに基づいて半
導体集積回路試験装置を実際に動作させてテストプログ
ラムの不具合な箇所を検出することが必要になるが、最
近では、上記被測定デバイスの動作の良否判定結果を強
制判定情報として各試験項目毎に記憶装置に予め記憶さ
せておき、これら強制判定情報を用いることにより半導
体集積回路試験装置を実際に動作させることなくテスト
プログラムの不具合箇所を検出することが行われてい
る。このようなデバッグ方法を採用することにより、各
試験項目の判定結果に応じた試験の流れ、つまりテスト
プログラムの実行順序等の不具合を確認することができ
る。デバッグ作業者は、デバッグ目的に応じて試験項目
毎に種々の強制判定情報を設定してテストプログラムを
デバッグする。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記強制判
定情報は、同時に並列試験を行う全ての被測定デバイス
について各試験項目毎に設定されるものであり、デバイ
ス数として例えば１２８個の被測定デバイスを並列試験
するためのテストプログラムの場合、１つの試験項目に
対して１２８個の強制判定情報を設定する必要がある。
また、通常の被測定デバイスの試験では１００項目程度
の試験項目数があるので、上記デバイス数に当該試験項
目数を乗じた数の強制判定情報を設定して記憶装置に記
憶する必要がある。したがって、強制判定情報の記憶容
量は、デバイス数や試験項目数の増加に応じて増大す
る。近年、試験に関わるスループットの向上の観点から
デバイス数の増加に対する要望が著しく、また大規模な
被測定デバイスでは当然に試験項目数が多くなるため、
強制判定情報の記憶容量は増大する。

【０００５】一方、上述したように強制判定情報は試験
項目毎に設定されるが、実際には管理運用上の都合か
ら、デバッグ作業者は各試験項目に任意の試験項目番号
を設定して強制判定情報を運用している。このような試
験項目番号は、デバッグ作業者の管理・運用の都合か
ら、例えば桁によってグループ管理されているため、桁
数の増加が要望されている。このような試験項目番号に
応じた強制判定情報を記憶装置に記憶させる場合には、
デバッグに際して、試験項目番号の桁数に応じた記憶容
量を記憶装置内に確保する必要がある。

【０００６】例えば、試験項目番号が２桁であれば、１
〜９９つまり９９個の試験項目番号に応じた記憶領域を
確保すれば良いが、４桁の場合には、１〜９９９９つま
り９９９９個の試験項目番号に応じた記憶領域を確保す
る必要があり、桁数の増加により強制判定情報を記憶す
るために確保しなければならない記憶容量は膨大とな
る。実際に設定される強制判定情報は上述したように試
験項目数分（１００項目程度）であるが、４桁の試験項
目番号によって強制判定情報を管理・運用する場合に
は、デバッグ作業者が１〜９９９９までの間の何れの試
験項目番号を使用するか不明なので、デバッグ作業に先
立って９９９９個分の記憶領域をスタティックに確保す
る必要がある。

【０００７】本発明は、上述した課題に鑑みてなされた
もので、強制判定情報の実際の記憶容量及び強制判定情
報を記憶するために予め確保すべき記憶領域の低減を目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、第１の手段として、多数の被測定デバ
イスを並列試験する半導体集積回路試験装置におけるテ
ストプログラムのデバッグ方法であって、各被測定デバ
イスの試験に対する強制判定情報を各被測定デバイス毎
に記憶する判定情報部と、前記テストプログラムを構成
する各テスト項目毎に前記判定情報部の強制判定情報を
採用するか否かを示す指定情報を記憶する判定情報指定
部とからなる強制判定情報テーブルを複数設け、各強制
判定情報テーブルの何れかの判定情報指定部で指定され
た判定情報部の強制判定情報を用いてテストプログラム
を実行してデバッグを行うという手段を採用する。

【０００９】また、第２の手段として、上記第１の手段
において、判定情報部は、各被測定デバイスに対して連
番設定されたデバイス番号に対応して強制判定情報を記
憶するという手段を採用する。

【００１０】第３の手段として、上記第第１または第２
の手段において、判定情報指定部は、各テスト項目毎に
任意に設定された試験項目番号に対応して指定情報を記
憶するという手段を採用する。

【００１１】第４の手段として、上記第１〜第３いずれ
かの手段において、試験項目番号は４桁に設定されると
いう手段を採用する。

【００１２】第５の手段として、上記第１〜第４いずれ
かの手段において、マルチステーションタイプの半導体
集積回路試験装置のテストプログラムをデバッグする場
合には、判定情報部を各ステーション毎に設けるという
手段を採用する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わるテストプログラムのデバッグ方法の一実施形態に
ついて説明する。なお、本実施形態におけるテストプロ
グラムは、１２８個の被測定デバイス（デバイス数＝１
２８個）を並列試験するためのものである。

【００１４】図１は、本実施形態における強制判定情報
テーブル１〜３の構成を示す模式図である。強制判定情
報テーブル１は判定情報部１１及び判定情報指定部１２
から構成され、強制判定情報テーブル２は、判定情報部
２１及び判定情報指定部２２から構成され、強制判定情
報テーブル３は、判定情報部３１及び判定情報指定部３
２から構成されている。これら各判定情報部１１〜３１
は基本的に同一のデータ構造を有するが、互いに異なる
パターンの強制判定情報を記憶している。また、各判定
情報指定部１２〜３２も基本的に同一のデータ構造を有
するが、互いに異なるパターンの指定情報を記憶してい
る。

【００１５】各判定情報部１１〜３１には、各被測定デ
バイスの試験に対する強制判定情報を各被測定デバイス
のＤＵＴ番号（デバイス番号）毎に設定されている。本
テストプログラムのデバイス数は１２８個なので、各判
定情報部１１〜３１には、００１〜１２８迄のＤＵＴ番
号に対応する強制判定情報が「０（良）」あるいは「１
（否）」の１ビットデータとして設定されている。

【００１６】各判定情報部１１〜３１は、図示するよう
に異なる３つの強制判定情報パターンに設定されてい
る。例えば、判定情報部１１には、ＤＵＴ番号が「００
１」及び「１２８」の被測定デバイスについては強制判
定情報として「０（良）」が、またＤＵＴ番号が「００
２」及び「００３」の被測定デバイスについては強制判
定情報として「１（否）」がそれぞれ設定され、一方、
判定情報部２１には、ＤＵＴ番号が「００１」〜「００
３」の被測定デバイスについて強制判定情報として「０
（良）」が、ＤＵＴ番号が「１２８」の被測定デバイス
については強制判定情報として「１（否）」がそれぞれ
設定され、さらに判定情報部３１には、ＤＵＴ番号が
「００１」〜「００３」及び「１２８」の被測定デバイ
スについて強制判定情報として「１（否）」がそれぞれ
設定されている。

【００１７】各判定情報指定部１２〜３２には、テスト
プログラムを構成する各テスト項目に対応して任意に設
定される試験項目番号（０００１〜９９９９）毎に対応
する上記判定情報部１１〜３１の強制判定情報を採用す
るか否かを示す指定情報が設定されている。判定情報指
定部１２には強制判定情報テーブル１を互いに構成する
ものとして判定情報部１１が、判定情報指定部２２には
強制判定情報テーブル２を互いに構成するものとして判
定情報部２１が、また判定情報指定部３２には強制判定
情報テーブル３を互いに構成するものとして判定情報部
３１がそれぞれ対応している。上記指定情報は、このよ
うに互いに対応する判定情報部１１〜３１の強制判定情
報を採用するか否かを「０（採用しない）」あるいは
「１（採用する）」として示す１ビットデータである。

【００１８】判定情報指定部１２は、試験項目番号「０
００１」に指定情報として「１」が設定され、試験項目
番号「０００２」，「０００３」及び「９９９９」に指
定情報として「０」が設定されているので、試験項目番
号「０００１」に該当する試験項目について判定情報部
１１の強制判定情報を採用し、試験項目番号「０００
２」，「０００３」及び「９９９９」に該当する試験項
目について判定情報部１１の強制判定情報を採用しない
設定になっている。

【００１９】一方、判定情報指定部２２は、試験項目番
号「０００２」及び「９９９９」には指定情報として
「１」が設定され、試験項目番号「０００１」及び「０
００３」には指定情報として「０」が設定されているの
で、試験項目番号「０００２」及び「９９９９」に該当
する試験項目については対応する判定情報部２１の強制
判定情報を採用し、試験項目番号「０００１」及び「０
００３」に該当する試験項目については判定情報部２１
の強制判定情報を採用しない設定になっている。

【００２０】さらに、定情報指定部３２は、試験項目番
号「０００１」、「０００２」、「０００３」及び「９
９９９」に指定情報として「０」が設定されているの
で、これら各試験項目番号「０００１」、「０００
２」、「０００３」及び「９９９９」に該当する試験項
目について、対応する判定情報部３１の強制判定情報を
採用しない設定になっている。

【００２１】ここで、本実施形態では、３つの強制判定
情報テーブル１〜３、つまり判定情報部１１〜３１に示
されるように、各被測定デバイスに対する３つの強制判
定情報の設定パターンを設定しているが、これは、実際
のデバッグ作業では、強制判定情報の設定パターンとし
ては数パターン、多くても１０パターンもあれば十分で
あという事情に基づくものである。

【００２２】次に、このように構成された強制判定情報
テーブル１〜３を用いたテストプログラムのデバッグ方
法について、図２及び図３に示すフローチャートを参照
して説明する。

【００２３】なお、図２のフローチャートは、テストプ
ログラムのデバッグ専用のデバッグプログラムの処理手
順を示すものであり、図３のフローチャートは、テスト
プログラムにおける各試験項目（試験項目番号）におけ
る処理手順を示すものである。各試験項目に対するデバ
ッグ手順は全て同じなので、以下では一例として試験項
目番号「０００２」に関するデバッグ処理について説明
する。

【００２４】試験項目番号「０００２」の試験項目に関
するテストプログラムの処理の流れをデバッグする場
合、まず最初に、ステップＳ1において、強制判定情報
テーブル１〜３のテーブル数（すなわち「３」）が必要
条件として設定され、続いて初期条件として強制判定情
報テーブルを指定する変数Ｘが初期設定される（ステッ
プＳ2）。

【００２５】そして、上記ステップＳ2の処理結果とし
て、強制判定情報テーブル１の判定情報指定部１２の試
験項目番号「０００２」の指定情報が参照され（ステッ
プＳ3）、当該判定情報指定部１２に対応する判定情報
部１１の強制判定情報を採用するか否かが判定される
（ステップＳ4）。ここで、当該試験項目番号「０００
２」の指定情報は「０」に設定されているので、当該ス
テップＳ4の判断は「Ｎｏ」となり、よって判定情報部
１１の強制判定情報を採用されず、引き続いて変数Ｘの
設定値（Ｘ＝１）とステップＳ1で設定されたテーブル
数「３」とを比較することにより、強制判定情報テーブ
ル１が最後のテーブルであるか否かが判断される（ステ
ップＳ6）。

【００２６】ステップＳ6の判断は当然に「Ｎｏ」とな
るので、変数Ｘがインクリメントされて「２」に設定変
更されて（ステップＳ7）、上記ステップＳ3の処理が繰
り返される。すなわち、強制判定情報テーブル１に代え
て、強制判定情報テーブル２の判定情報指定部２２が参
照され、判定情報指定部２２の試験項目番号「０００
２」の指定情報が参照され、当該判定情報指定部２２に
対応する判定情報部２１の強制判定情報を採用するか否
かが判定される（ステップＳ4）。

【００２７】ここで、判定情報指定部２２には試験項目
番号「０００２」の指定情報として「１」が設定されて
いるので、ステップＳ4の判断は「Ｙｅｓ」となり、よ
って判定情報部２１の強制判定情報が読み出される（ス
テップＳ5）。そして、試験項目番号「０００２」に該
当する試験項目には、判定情報指定部２２に対応する判
定情報部２１の強制判定情報が採用される。すなわち、
テストプログラムをデバッグする上での当該試験項目の
判定結果には、判定情報部２１に設定された各ＤＵＴ番
号「００１」〜「１２８」の各強制判定情報「０」,
「０」，「０」，……「１」が設定される。

【００２８】なお、このように試験項目番号「０００
２」に該当する試験項目に対して、各被測定デバイスの
強制判定情報が設定されると、強制判定情報テーブル３
の判定情報指定部３２を参照する必要はないので、ステ
ップＳ6の判断処理を行うことなくデバッグプログラム
は終了する。

【００２９】なお、試験項目によっては、各判定情報部
１１〜３１における強制判定情報の設定パターンを何れ
も使用しない場合がある。例えば、各判定情報指定部３
２の試験項目番号「０００３」には、指定情報として
「０」が設定されており、これは各判定情報部１１〜３
１の強制判定情報の何れも使用しないことを示してい
る。このような場合には、デフォルト設定として、全Ｄ
ＵＴ番号「００１」〜「１２８」について強制判定情報
として「０」を設定する（オールパス設定）が採用され
る。すなわち、以上の処理手順により、試験項目番号
「０００２」について各被測定デバイスに対する良否判
定情報（強制判定情報）が設定される。

【００３０】続いて、テストプログラムは、試験項目番
号「０００２」に該当する試験項目について、図３に示
すような処理を行う。なお、このような処理は、他の各
試験項目についても同様である。

【００３１】すなわち、試験項目番号「０００２」に該
当する試験項目として規定された試験を各被測定デバイ
スについて実行すると（ステップＳa1）、その試験結果
の良否判定を行う（ステップＳa2）。そして、この良否
判定が良（PASS）の場合はステップＳa3の処理を実行す
る一方、否（FAIL）の場合はステップＳa4の処理を実行
する。

【００３２】上記ステップＳa2における良否判定は、上
記図２のフローチャートの処理によって各被測定デバイ
スに設定された強制判定情報に基づいて行われる。すな
わち、試験項目番号「０００２」に該当する試験項目に
ついては、強制判定情報テーブル２の判定情報部２１に
基づいて各ＤＵＴ番号「００１」〜「１２８」の各被測
定デバイスに対して強制判定情報「０（良）」,「０
（良）」，「０（良）」，……「１（否）」が設定され
ているので、ＤＵＴ番号「００１」〜「００３」の各被
測定デバイスに対しては上記ステップＳa3の処理が実行
され、ＤＵＴ番号「１２８」の被測定デバイスに対して
はステップＳa4の処理が実行される。

【００３３】そして、上記ＤＵＴ番号「００１」〜「０
０３」の各被測定デバイスに対してステップＳa3の処理
が実行されるか否かを確認することにより、試験項目番
号「０００２」に該当する試験項目の良（PASS）の場合
における処理の流れが正常か否かを確認することができ
る。また、ＤＵＴ番号「１２８」の被測定デバイスに対
してステップＳa4の処理が実行されるか否かを確認する
ことにより、試験項目番号「０００２」に該当する試験
項目の否（FAIL）の場合における処理流れが正常か否か
を確認することができる。そして、上記各処理の流れの
うち、何れか一方あるいは両方が異常な場合には、上記
ステップＳa2の判定処理が正常でないことが原因なの
で、テストプログラムの当該ステップＳa2の判定処理に
関する記述を修正することになる。

【００３４】本実施形態によれば、判定情報部と判定情
報指定部との対からなる強制判定情報テーブル１〜３を
複数設け、各強制判定情報テーブル１〜３の何れかの判
定情報指定部で指定された判定情報部の強制判定情報を
用いてテストプログラムを実行してデバッグするので、
従来のように全テスト項目に対して各被測定デバイスの
強制判定情報を設定する場合よりも、強制判定情報の記
憶容量を明らかに削減することができる。

【００３５】また、各判定情報指定部１２〜３２は各試
験項目番号「０００１」〜「９９９９」毎に指定情報を
設定するように構成されているので、従来のように全試
験項目番号「０００１」〜「９９９９」毎に各被測定デ
バイスに対する強制判定情報を設定する場合に比較し
て、強制判定情報の設定ように記憶装置に予め確保しな
ければならない記憶領域を削減することができる。

【００３６】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、例えば以下の変形が考えられる。 （１）強制判定情報テーブルの数は３に限定されず、任
意の数だけ用意することが考えられる。 （２）半導体集積回路試験装置には複数のテストヘッド
を備えたマルチステーションタイプのものがある。この
ような半導体集積回路試験装置のテストプログラムをデ
バッグする場合には、各強制判定情報テーブル１〜３に
各ステーション毎に判定情報部１１〜３１を設ける必要
がある。 （３）判定情報指定部の項目番号の桁数は４桁に限定さ
れず、５桁以上であっても良い。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
多数の被測定デバイスを並列試験する半導体集積回路試
験装置におけるテストプログラムのデバッグ方法であっ
て、各被測定デバイスの試験に対する強制判定情報を各
被測定デバイス毎に記憶する判定情報部と、テストプロ
グラムを構成する各テスト項目毎に判定情報部の強制判
定情報を採用するか否かを示す指定情報を記憶する判定
情報指定部とからなる強制判定情報テーブルを複数設
け、各強制判定情報テーブルの何れかの判定情報指定部
で指定された判定情報部の強制判定情報を用いてテスト
プログラムを実行してデバッグを行うので、強制判定情
報の実際の記憶容量及び強制判定情報を記憶するために
予め確保すべき記憶領域を低減することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態における強制判定情報テ
ーブルの構成を示す模式図である。

【図２】 本発明の一実施形態におけるテストプログラ
ムのデバッグ手順を示すフローチャートである。

【図３】 本発明の一実施形態において、テストプログ
ラムにおける各試験項目（試験項目番号）における処理
手順を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１〜３……強制判定情報テーブル １１、２１、３１……判定情報部 １２、２２、３２……判定情報指定部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数の被測定デバイスを並列試験する半
   導体集積回路試験装置におけるテストプログラムのデバ
   ッグ方法であって、 各被測定デバイスの試験に対する強制判定情報を各被測
   定デバイス毎に記憶する判定情報部と、前記テストプロ
   グラムを構成する各テスト項目毎に前記判定情報部の強
   制判定情報を採用するか否かを示す指定情報を記憶する
   判定情報指定部とからなる強制判定情報テーブルを複数
   設け、 各強制判定情報テーブルの何れかの判定情報指定部で指
   定された強制判定情報部の強制判定情報を用いてテスト
   プログラムを実行してデバッグを行うことを特徴とする
   テストプログラムのデバッグ方法。
2. 【請求項２】 判定情報部は、各被測定デバイスに対し
   て連番設定されたデバイス番号に対応して強制判定情報
   を記憶することを特徴とする請求項１記載のテストプロ
   グラムのデバッグ方法。
3. 【請求項３】 判定情報指定部は、各テスト項目毎に任
   意に設定された試験項目番号に対応して指定情報を記憶
   することを特徴とする１または２記載のテストプログラ
   ムのデバッグ方法。
4. 【請求項４】 試験項目番号は４桁に設定されることを
   特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のテストプログ
   ラムのデバッグ方法。
5. 【請求項５】 マルチステーションタイプの半導体集積
   回路試験装置のテストプログラムをデバッグする場合に
   は、判定情報部を各ステーション毎に設けることを特徴
   とする請求項１〜４いずれかに記載のテストプログラム
   のデバッグ方法。