JP2009134355A - 開発支援装置及び半導体試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ユーザの使い勝手の向上を図ってプログラムのデバッグ効率を高めることができる開発支援装置、及び当該装置を備える半導体試験装置を提供する。
【解決手段】本発明の開発支援装置は、例えば半導体試験装置で用いられる試験プログラムの開発支援を行う装置であり、ユーザの指示に応じて試験プログラムに含まれる変数の内容を表示する変数表示ポイントＳ１〜Ｓ３が設定可能な試験プログラムデバッガ２１と、試験プログラムの実行によって得られる変数の内容を表示する配列変数表示ツール２２と、設定された変数表示ポイントＳ１〜Ｓ３と試験プログラムの実行位置との関係に応じて試験プログラムの実行を制御する試験プログラムプロセス２０と、試験プログラムプロセス２０の制御状況に応じて試験プログラムデバッガ２１による設定内容を参照し、配列変数表示ツール２２に表示させるべき変数を指示するインターフェイス部２３とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、計測システムで用いられるプログラムの開発支援を行う開発支援装置及び当該装置を備える半導体試験装置に関する。

近年において実用化されている種々の計測システムは、高機能化及び高性能化並びに開発コストの低減等を図るために、プログラムに従って動作するようハードウェアが構成され、プログラムに従った動作をすることによって所定の計測を行うものが一般的である。例えば、半導体デバイスから出力される信号（電気信号）を計測して半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置では、ユーザによって作成された試験プログラムに従った動作が行われることにより、半導体デバイスに対する試験が行われる。

具体的には、ユーザにより作成された試験プログラムの内容に従った試験パターン等が半導体試験装置の内部で生成され、その後に試験パターンに応じた試験信号が半導体デバイスに印加される。そして、試験信号の印加により半導体デバイスから得られる信号をディジタル信号に変換してメモリに記憶し、このディジタル信号に対して所定の演算処理を施して得られた結果を用いて半導体デバイスの良否判定が行われる。

計測システムの動作を制御するプログラムに誤りがあると、計測システムの動作が開発者やユーザの意図しないものとなり、本来得られるべき計測結果とは異なる計測結果が得られてしまう。このため、計測システムを制御するプログラムの開発においては、プログラムを実際に実行させて得られる測定結果を参照しつつプログラムをデバッグする作業が繰り返し行われる。

例えば、半導体試験装置で用いられる試験プログラムのデバッグは、図３に示すデバッガと図４に示す波形表示ツールとを用いて行われる。図３は試験プログラムのデバックに用いられる従来のデバッガの表示画面を簡略化して示す図であり、図４は半導体デバイスから出力される信号波形を表示する従来の波形表示ツールの表示画面を簡略化して示す図である。

図３に示す通り、デバッガの表示画面であるウィンドウＷ１１内には、ユーザによって作成された試験プログラムを表示する表示領域Ｒ１１と、表示領域Ｒ１１における試験プログラムの表示内容を変更するためのスクロールバーＳＢ１１とが設けられており、ユーザがスクロールバーＳＢ１１を操作することにより、試験プログラムの所望の位置（行）を表示領域Ｒ１１に表示させることができるようになっている。また、このデバッガは、ユーザの必要に応じて試験プログラムの実行を一時停止（ポーズ）させるブレークポイントの設定が可能である。図３に示す例では、試験プログラムの第４６６行にブレークポイントが設定されている。

図４に示す通り、波形表示ツールの表示画面であるウィンドウＷ１２内には、ユーザによって指定された試験結果を表示する表示領域Ｒ１２が設けられている。図４に示す例では、ユーザによって指定された３つの試験結果が表示領域Ｒ１２内に表示されている。尚、図４において、表示領域Ｒ１２に表示された試験結果は、半導体デバイスの異なる３つのピンに現れる電圧の時間変化（波形）を示すものであり、横軸に時間（サンプリング番号（ｐｏｓ））が設定されているとともに縦軸に電圧が設定されている。

試験プログラムのデバッグを行う場合には、まずユーザはデバッガを起動させて不具合の原因と思われる処理が記述されている行又はその近辺の行にブレークポイントを設定した上で試験プログラムを実行させる。これにより、試験プログラムはそのブレークポイントまで実行されて自動的にポーズされるため、そのブレークポイントまでの試験結果が得られる。次に、ユーザは、波形表示ツールを起動させてその試験結果を表示させてブレークポイントまでの試験結果を確認する。以上の作業を、必要に応じて試験プログラムの内容を修正しつつ行うことにより、不具合の発生原因を解析する。

尚、半導体試験装置で用いられる試験プログラムの従来のデバッグ方法については、例えば以下の特許文献１を参照されたい。
特開２００３−１６７０３３号公報

ところで、上述した従来のデバッグ方法において、ユーザが試験結果を確認するためには、まずデバッガに対して上述したブレークポイントの設定を行った上で試験プログラムを実行させる操作を行い、次いで試験プログラムの実行がポーズしている状態で表示させるべき試験結果を波形表示ツールに指示する操作を行う必要がある。特に、解析の初期段階では、問題の発生箇所を絞り込むことが困難な場合が多く、ユーザは上記の操作を頻繁に繰り返す必要がある。

また、問題の発生箇所を絞り込んで、試験プログラムを修正した後においても、問題が解消されているか否かを確認するために、上記の操作と同様の操作を繰り返す必要がある。このように、従来は、試験結果を参照するためにユーザが行う必要のある操作が多いため、使い勝手が良いとは言えない上に、デバッグ効率が悪化するという問題があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ユーザの使い勝手の向上を図ってプログラムのデバッグ効率を高めることができる開発支援装置、及び当該装置を備える半導体試験装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の開発支援装置は、所定のプログラム（Ｐ１）に従った動作を行うことで所定の計測を行う計測システムで用いられる当該プログラムの開発支援を行う開発支援装置において、ユーザの指示に応じて前記プログラムの編集を行うとともに、前記ユーザの指示に応じて前記プログラムに含まれる変数のうちの内容を表示すべき変数と当該変数の前記プログラム中における表示位置（Ｓ１〜Ｓ３）とを設定可能な編集手段（２１）と、前記プログラムの実行によって得られる前記変数の内容を表示する変数表示手段（２２）と、前記編集手段により設定された前記表示位置と前記プログラムの実行位置との関係に応じて前記プログラムの実行を制御する実行制御手段（２０）と、前記実行制御手段の制御状況に応じて前記編集手段の設定内容を参照し、前記変数表示手段に表示させるべき変数を指示する指示手段（２３）とを備えることを特徴としている。
この発明によると、ユーザの指示に応じて表示すべき変数とプログラム中における変数の表示位置との設定が設定手段で行われると、設定手段で設定された表示位置とプログラムの実行位置との関係に応じてプログラムの実行が制御され、実行制御手段の制御状況に応じて編集手段の設定内容が参照されて、変数表示手段に表示させるべき変数が指示手段によって指示される。
また、本発明の開発支援装置は、前記実行制御手段が、前記プログラムの実行位置が前記編集手段により設定された前記表示位置に至った場合には、前記プログラムの実行を中断する制御を行うとともに、前記プログラムの実行を中断した旨を前記指示手段に通知することを特徴としている。
また、本発明の開発支援装置は、前記指示手段が、前記変数表示手段による前記変数の内容の表示が終了した場合に、前記プログラムの実行の中断を解除すべき旨を前記実行制御手段に通知することを特徴としている。
また、本発明の開発支援装置は、前記編集手段の設定内容を記憶する第１記憶手段（１２ａ）と、前記変数表示手段により表示される変数の内容を記憶する第２記憶手段（１２ｂ）とを備えており、前記第１記憶手段の記憶内容と前記２記憶手段との記憶内容とは、所定の識別子によって関連付けられていることを特徴としている。
また、本発明の開発支援装置は、前記実行制御手段が、前記第１記憶手段に記憶された前記識別子から制御状況に応じた識別子を読み出して前記指示手段に通知し、前記指示手段が、前記実行制御手段から通知された識別子を、前記第１記憶手段から読み出した当該識別子に関連した設定内容に応じて前記変数表示手段に通知し、前記変数表示手段が、前記指示手段から通知された識別子に関連付けられている変数の内容を前記第２記憶手段から読み出して表示することを特徴としている。
本発明の半導体試験装置は、試験プログラム（Ｐ１）に従った試験信号を被試験デバイス（４０）に印加して当該被試験デバイスから得られる信号を、前記試験プログラムに従って処理することにより前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置（１）において、前記試験プログラムを前記所定のプログラムとして開発支援可能な上記の何れかに記載の開発支援装置を備えることを特徴としている。

本発明によれば、予めユーザの指示によって設定された変数の表示位置と、実際にプログラムを実行させたときのプログラムの実行位置との関係に応じてプログラムの実行を制御し、この制御状況に応じて編集手段の設定内容を参照して変数表示手段に表示させるべき変数を指示しているため、ユーザが特別な操作をしなくとも予め設定した設定内容に応じて変数の内容が表示される。このため、従来に比べてデバッグに必要になるユーザの操作を低減することができ、ユーザの使い勝手を向上させることができるという効果がある。
また、本発明によれば、変数表示手段による変数の内容の表示が終了した場合に、プログラムの実行の中断を解除させているため、ユーザによって変数の表示位置が複数設定された場合であっても、ユーザの操作を必要とせずに表示位置の各々において変数の内容を自動的にさせることができる。このため、デバッグに必要になるユーザの操作を更に低減することができ、更なるユーザの使い勝手の向上を図ることができる。
以上から、本発明によれば、ユーザの使い勝手が極めて高く、プログラムのデバッグ効率を飛躍的に高めることができるという効果がある。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態による開発支援装置及び半導体試験装置について詳細に説明する。尚、以下では、本実施形態の開発支援装置が、試験プログラムに従った試験信号を被試験デバイスに印加し、この被試験デバイスから得られる信号を試験プログラムに従って処理することにより被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置に設けられている態様について説明する。

図１は、本発明の一実施形態による半導体試験装置の要部構成を示すブロック図である。図１に示す通り、本実施形態の半導体試験装置１は、試験装置本体２と端末装置３とを備えており、端末装置３から試験開始の指示があった場合に、試験装置本体２が被試験デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）４０に対して試験信号を印加してＤＵＴ４０から出力される信号に基づいてパス／フェイルを判定することによりＤＵＴ４０の試験を行う。尚、ＤＵＴ４０は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶表示装置）の駆動ドライバ、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の半導体デバイスである。

試験装置本体２は、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１に従った試験信号を生成してＤＵＴ４０に印加するとともに、試験信号の印加によってＤＵＴ４０から得られる信号を試験プログラムＰ１に従って処理する（パス／フェイルの判定等を行う）ことによりＤＵＴ４０の試験を行う。この試験装置本体２は、ＣＰＵ（中央処理装置）１１、ＲＡＭ１２、ハードディスク１３、及び通信部１４を備える。尚、図１においては、パターンジェネレータ及びドライバ等の試験信号を生成するための構成、並びにコンパレータ等のＤＵＴ４０からの信号を処理するための構成については図示を省略している。

ＣＰＵ１１は、ハードディスク１３に格納された各種のプログラムに従って、試験装置本体２の動作を統括的に制御する。この試験装置本体２には、例えばマルチタスクが可能なオペレーティング・システム（ＯＳ）が実装されており、ＣＰＵ１１が見かけ上複数のプログラムを同時に実行することが可能な環境が整備されている。具体的に、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納された試験プログラムＰ１を読み出すことにより試験プログラムプロセス２０（実行制御手段）が実行され、これにより試験プログラムＰ１に応じたＤＵＴ４０の試験が開始される。

また、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納されたデバッガプログラムＰ１１を読み出すことにより、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１の編集を行うための試験プログラムデバッガ２１（編集手段）が実行される。更に、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納された表示ツールプログラムＰ１２を読み出すことにより、ＤＵＴ４０の試験により得られた試験結果を表示するための配列変数表示ツール２２（変数表示手段）が実行される。

ここで試験プログラムプロセス２０又は配列変数表示ツール２２が実行された場合には、ハードディスク１３からインターフェイスプログラムＰ１３が読み出されて、配列変数表示ツール２２と試験プログラムプロセス２０との間で各種情報の授受を行うためのインターフェイス部２３（指示手段）が実行される。尚、以上説明した試験プログラムプロセス２０、試験プログラムデバッガ２１、配列変数表示ツール２２、及びインターフェイス部２３の詳細については後述する。

ＲＡＭ１２は、ＤＵＴ４０の試験により得られた試験結果や、ＣＰＵ１１で行われる処理で用いられる各種変数の値を一時的に記憶する。このＲＡＭ１２には、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した各種設定情報を保存する変数表示条件保存領域１２ａ（第１記憶手段）と、配列変数表示ツール２２によって表示すべき試験結果が保存される表示対象変数保存領域１２ｂ（第２記憶手段）とが設けられる。尚、図１では、説明の便宜上、上記の変数表示条件保存領域１２ａ及び表示対象変数保存領域１２ｂがＲＡＭ１２に設けられる例について図示しているが、これらの領域はハードディスク１３に設けられても良い。

ハードディスク１３は、上述した試験プログラムＰ１を始めとしてデバッガプログラムＰ１１、表示ツールプログラムＰ１２、及びインターフェイスプログラムＰ１３等の各種プログラムを格納する。通信部１４は、端末装置３との間で通信を行うことにより、例えば端末装置３から送信されてくる各種指示をＣＰＵ１１に受け渡すとともに、ＣＰＵ１１で行われた各種処理の処理結果を示す情報を端末装置３に送信する。

端末装置３は、キーボード３ａやマウス３ｂ等の入力装置と液晶表示装置３ｃ等の表示装置とを備えており、試験装置本体２に対する指示の入力、並びに、試験装置本体２によるＤＵＴ４０の試験結果、試験プログラムデバッガ２１及び配列変数表示ツール２２の表示画面の表示等を行う。尚、端末装置３は、例えば一般的なパーソナルコンピュータで実現することができる。

次に、ＣＰＵ１１で実行される試験プログラムプロセス２０、試験プログラムデバッガ２１、配列変数表示ツール２２、及びインターフェイス部２３、並びに、ＲＡＭ１２に設けられる変数表示条件保存領域１２ａ及び表示対象変数保存領域１２ｂについて詳細に説明する。尚、これらは本発明の一実施形態による開発支援装置の要部をなすものである。図２は、本発明の一実施形態による開発支援装置の要部構成の関係を示すブロック図である。

図２に示す通り、試験プログラムデバッガ２１の表示画面であるウィンドウＷ１内には、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１を表示する表示領域Ｒ１が設けられている。尚、試験プログラムＰ１の全てを表示領域Ｒ１に表示することができない場合には、その一部が表示領域Ｒ１に表示される。試験プログラムデバッガ２１は、端末装置３を操作するユーザの指示に応じて試験プログラムＰ１の編集を行うとともに、ユーザの指示に応じて試験プログラムＰ１に含まれる変数（配列変数）のうちの内容を表示すべき変数と、その変数の試験プログラムＰ１中における表示位置（変数表示ポイント）とが設定可能である。

例えば、ユーザがマウス３ｂを操作して表示領域Ｒ１に表示されている変数の表示位置をクリックして変数を選択した後に、変数表示ポイント設定ボタンＢ１をクリックする操作を行えば内容を表示すべき変数とその変数表示ポイントとの設定を行うことができる。図２に示す例では、表示領域Ｒ１に３つの変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」が表示されているが、ユーザが変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の各々について上記の操作を行うことにより各々の変数についての変数表示ポイントＳ１〜Ｓ３を設定することができる。

変数表示条件保存領域１２ａは、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した各種設定情報を保存する。具体的には、図２に示す通り、重複せずに一意に割り当てられた識別子（ＩＤ）と、変数表示ポイントの設定位置（表示位置）と、変数の内容を表示するアプリケーションを特定する情報（アプリケーション）とが一組とされた情報が、ユーザの設定毎に保存される。尚、上記の識別子は試験プログラムデバッガ２１によって割り当てられる。

図２に示す例では、試験プログラムデバッガ２１の表示領域Ｒ１に表示された変数「＠ａａａ」については、識別子「０」、ファイル名「xxx.tdl」及びその行数「５０」を示す情報、並びに配列変数表示ツール２２を示す情報とが一組とされた情報が保存され、変数「＠ｂｂｂ」については、識別子「１」、ファイル名「xxx.tdl」及びその行数「７０」を示す情報、並びに配列変数表示ツール２２を示す情報とが一組とされた情報が保存される。また、変数「＠ｃｃｃ」については、識別子「２」、ファイル名「xxx.tdl」及びその行数「９０」を示す情報、並びに配列変数表示ツール２２を示す情報とが一組とされた情報が保存される。

また、図２に示す通り、配列変数表示ツール２２の表示画面であるウィンドウＷ２内には、ユーザにより指定された試験結果を表示する表示領域Ｒ２が設けられている。配列変数表示ツール２２は、表示対象変数保存領域１２ｂに保存された変数（表示対象変数）の内容を読み出して表示領域Ｒ２に表示する。ここで、試験プログラムデバッガ２１によって割り当てられた識別子及び内容を表示すべき変数（「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」）を示す情報は、試験プログラムデバッガ２１から配列変数表示ツール２２に渡され、配列変数表示ツール２２が表示対象変数保存領域１２ｂに保存する。尚、これらの変数の内容は試験プログラムＰ１が実行されることによって表示対象変数保存領域１２ｂに保存される点に注意されたい。

表示対象変数保存領域１２ｂは、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した変数の内容を保存する。図２に示す例では変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」がユーザによって設定されているため、上記の識別子とともに試験プログラムＰ１を実行して得られるこれらの変数の内容が表示対象変数保存領域１２ｂに保存される。具体的には、識別子「０」とともに変数「＠ａａａ」の内容が保存され、識別子「１」とともに変数「＠ｂｂｂ」の内容が保存され、識別子「２」とともに変数「＠ｃｃｃ」の内容が保存される。このように、変数表示条件保存領域１２ａに保存される情報に含まれる識別子と、表示対象変数保存領域１２ｂに保存される情報にふくまれる識別子とは１対１に対応している。このため、変数表示条件保存領域１２ａに保存される情報と表示対象変数保存領域１２ｂに保存される情報とは、識別子によって関連付けられることになる。

試験プログラムプロセス２０は試験プログラムＰ１がＣＰＵ１１で実行されることにより実現され、この試験プログラムプロセス２０の制御の下でＤＵＴ４０の試験が行われる。この試験プログラムプロセス２０は、変数表示条件保存領域１２ａの内容を参照しつつ、試験プログラムＰ１の実行位置と変数表示ポイントとの位置関係に応じて試験プログラムＰ１を中断する制御を行うとともに、中断した試験プログラムを再開させる制御を行う。尚、試験プログラムプロセス２０は、試験プログラムＰ１を中断した場合には、その旨を示す信号をインターフェイス部２３に通知する。

インターフェイス部２３は、配列変数表示ツール２２と試験プログラムプロセス２０との間で各種情報の授受を行う。具体的には、試験プログラムプロセス２０から試験プログラムＰ１を中断した旨を示す信号が入力された場合には、変数表示条件保存領域１２ａの内容を参照して表示させる変数を配列変数表示ツール２２に指示する。また、配列変数表示ツール２２で変数の内容表示が終了した場合には、試験プログラムＰ１の実行の中断を解除すべき旨を試験プログラムプロセス２０に通知する。

次に、試験プログラムＰ１のデバッグ時の動作について説明する。試験プログラムＰ１のデバッグを行うときには、まずユーザが端末装置３のキーボード３ａ又はマウス３ｂを操作して試験プログラムデバッガ２１の起動を指示する。かかる指示がなされると、ＣＰＵ１１がハードディスク１３からデバッガプログラムＰ１１を読み出して実行することにより、試験プログラムデバッガ２１が起動される。次に、ユーザはデバッグ対象の試験プログラムＰ１を選択して試験プログラムデバッガ２１に読み込ませる。以上の操作により、試験プログラムＰ１のデバッグが可能な状態になる。

ここで、ユーザが試験プログラムＰ１の実行途中での変数の内容を確認する場合には、まずマウス３ｂを操作して試験プログラムデバッガ２１の表示領域Ｒ１に表示されている変数の表示位置をクリックして変数を選択した後に、変数表示ポイント設定ボタンＢ１をクリックする操作を行う。尚、ここでは、図２に示す３つの変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」について上記の操作がなされたとし、これらの変数の各々について変数表示ポイントＳ１〜Ｓ３がそれぞれ設定されたとする。

すると、試験プログラムデバッガ２１は、一意に定まる識別子を割り当てながらユーザによって設定された設定情報を変数表示条件保存領域１２ａに保存する。これにより、変数表示条件保存領域１２ａには、図２に示す通り、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の各々について、識別子（ＩＤ）、変数表示ポイント（表示位置）、及び配列変数表示ツール２２を示す情報（アプリケーション）が一組とされた情報が保存される。

また、試験プログラムデバッガ２１によって割り当てられた識別子及び内容を表示すべき変数（「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」）を示す情報は、試験プログラムデバッガ２１から配列変数表示ツール２２に渡され、配列変数表示ツール２２によって表示対象変数保存領域１２ｂに保存される。これにより、表示対象変数保存領域１２ｂには、図２に示す通り、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の各々について、識別子（ＩＤ）とそれら変数の各々を示す情報（表示対象変数）とが一組とされた情報が保存される。

変数表示ポイントの設定を終えると、ユーザは試験プログラムデバッガ２１上から試験プログラムＰ１の実行を指示する。すると、ハードディスク１３から試験プログラムＰ１が読み出されることにより試験プログラムプロセス２０が実行される。尚、ここでは試験プログラムプロセス２０の実行とともに、インターフェイス部２３も実行されるとする。試験プログラムプロセス２０は、試験プログラムＰ１をその先頭の行から順次実行する。ここで、試験プログラムプロセス２０は、変数表示条件保存領域１２ａに保存された内容を確認しつつ試験プログラムＰ１を実行する。具体的には、試験プログラムＰ１の実行位置（実行行）が、変数表示条件保存領域１２ａに保存された表示位置に至ったか否かを確認しつつ試験プログラムＰ１を実行する。

試験プログラムＰ１の実行位置（実行行）が、変数表示条件保存領域１２ａに保存された表示位置に至っていないと判断した場合には、試験プログラムプロセス２０は、そのまま試験プログラムＰ１の実行を継続する。これに対し、試験プログラムＰ１の実行位置（実行行）が、変数表示条件保存領域１２ａに保存された表示位置に至ったと判断した場合（例えば、変数表示ポイントＳ１が設定された行に至ったと判断した場合）には、試験プログラムプロセス２０は、その行の処理を終了した後に試験プログラムＰ１の実行を中断（ポーズ）し、変数表示条件保存領域１２ａから制御状況に応じた識別子を読み出して、この識別子を中断した旨とともにインターフェイス部２３に通知する。尚、変数表示ポイントＳ１が設定された行の処理が実行されることにより、変数「＠ａａａ」の内容が変数表示条件保存領域１２ａに保存される。

インターフェイス部２３は、試験プログラムプロセス２０から試験プログラムＰ１の実行を中断した旨及び識別子の通知があると、変数表示条件保存領域１２ａからその識別子と組にされているアプリケーションを示す情報を読み出す。具体的に、インターフェイス部２３は、例えば試験プログラムプロセス２０から識別子「０」が通知された場合には、この識別子と組にされている配列変数表示ツール２２を示す情報（図２参照）が読み出される。そして、インターフェイス部２３は、読み出した情報で示されるアプリケーション（配列変数表示ツール２２）に対して、その読み出した識別子を通知する。

インターフェイス部２３からの通知がなされると、配列変数表示ツール２２が自動的に起動されて端末装置３の液晶表示装置３ｃには新たなウィンドウＷ２が表示される。そして、配列変数表示ツール２２は、インターフェイス部２３から通知された識別子（識別子「０」）と組にされている変数の内容を表示対象変数保存領域１２ｂから読み出して新たなウィンドウＷ２の表示領域Ｒ２に表示する処理を行う。以上の処理によって、変数「＠ａａａ」の波形が配列変数表示ツール２２の表示領域Ｒ２に表示される。

表示処理が終了すると、配列変数表示ツール２２はインターフェイス部２３に対して表示処理を終えた旨を通知する。この通知を受けると、インターフェイス部２３は、試験プログラムプロセス２０に対して試験プログラムの中断を解除すべき旨を通知する。インターフェイス部２３からの通知によって、試験プログラムプロセス２０は試験プログラムＰ１の実行を再開する。以下、同様の処理が行われて、試験プログラムＰ１の実行が変数表示ポイントＳ２に至ると配列変数表示ツール２２によって新たなウィンドウＷ２が表示されて変数「＠ｂｂｂ」の内容が表示される。更に、試験プログラムＰ１の実行が変数表示ポイントＳ３に至ると配列変数表示ツール２２によって新たなウィンドウＷ２が表示されて変数「＠ｃｃｃ」の内容が表示される。

以上の処理によって、端末装置３の液晶表示装置３ｃには、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の内容がそれぞれ表示された３つのウィンドウＷ２が表示される。このため、ユーザは試験プログラムＰ１の実行後においてもウィンドウＷ２を切り替えながら、変数「＠ａａａ」，「＠ｂｂｂ」，「＠ｃｃｃ」の内容の妥当性を時間をかけて詳細に検討することができる。

以上説明した通り、本実施形態によれば、予めユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して内容を表示すべき変数と変数表示ポイントとを設定しておくことにより、変数表示ポイントにおいて自動的に試験プログラムＰ１の実行が中断されて変数の内容が配列変数表示ツール２２によって表示される。このため、従来に比べてデバッグに必要になるユーザの操作を低減することができ、ユーザの使い勝手を向上させることができる。

また、本実施形態によれば、配列変数表示ツール２２の表示処理が終了したときには自動的に中断した試験プログラムＰ１の実行が再開される。このため、ユーザによって変数表示ポイントが複数設定された場合であっても、ユーザの操作を必要とせずに変数表示ポイントの各々において変数の内容が配列変数表示ツール２２によって自動的に表示される。しかも、各々の変数の内容は異なる配列変数表示ツール２２のウィンドウＷ２に表示される。このため、デバッグに必要になるユーザの操作を低減することができるとともに、試験プログラムＰ１の実行後に、複数の変数の内容を見比べながら検討するといったことができ、これによってもユーザの使い勝手を向上させることができる。以上から、本実施形態によれば、ユーザの使い勝手が極めて高く、試験プログラムＰ１のデバッグ効率を飛躍的に高めることができる。

以上、本発明の一実施形態による開発支援装置及び半導体試験装置について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、ユーザが試験プログラムデバッガ２１を操作して設定した設定情報を変数表示条件保存領域１２ａと表示対象変数保存領域１２ｂとに分けて保存したが、１つの保存領域に設定情報を保存しても良い。

また、上記実施形態では、開発支援装置が半導体試験装置に設けられている形態について説明したが、本発明の開発支援装置は、半導体試験装置以外にも所定のプログラムに従った動作を行うことで所定の計測を行う種々の計測システムに適用することができる。例えば、自動車のエンジンの状況（エンジンの回転数、温度等）を計測する計測システム、電車の運行状況（速度、加速度等）を計測するシステムに適用することができる。更には、プラントに設けられた各種機器の状況を計測する計測システムにも適用可能である。

本発明の一実施形態による半導体試験装置の要部構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態による開発支援装置の要部構成の関係を示すブロック図である。 試験プログラムのデバックに用いられる従来のデバッガの表示画面を簡略化して示す図である。 半導体デバイスから出力される信号波形を表示する従来の波形表示ツールの表示画面を簡略化して示す図である。

符号の説明

１ 半導体試験装置
１２ａ 変数表示条件保存領域
１２ｂ 表示対象変数保存領域
２０ 試験プログラムプロセス
２１ 試験プログラムデバッガ
２２ 配列変数表示ツール
２３ インターフェイス部
４０ ＤＵＴ
Ｐ１ 試験プログラム
Ｓ１〜Ｓ３ 変数表示ポイント

Claims (6)

1. 所定のプログラムに従った動作を行うことで所定の計測を行う計測システムで用いられる当該プログラムの開発支援を行う開発支援装置において、
   ユーザの指示に応じて前記プログラムの編集を行うとともに、前記ユーザの指示に応じて前記プログラムに含まれる変数のうちの内容を表示すべき変数と当該変数の前記プログラム中における表示位置とを設定可能な編集手段と、
   前記プログラムの実行によって得られる前記変数の内容を表示する変数表示手段と、
   前記編集手段により設定された前記表示位置と前記プログラムの実行位置との関係に応じて前記プログラムの実行を制御する実行制御手段と、
   前記実行制御手段の制御状況に応じて前記編集手段の設定内容を参照し、前記変数表示手段に表示させるべき変数を指示する指示手段と
   を備えることを特徴とする開発支援装置。
2. 前記実行制御手段は、前記プログラムの実行位置が前記編集手段により設定された前記表示位置に至った場合には、前記プログラムの実行を中断する制御を行うとともに、前記プログラムの実行を中断した旨を前記指示手段に通知することを特徴とする請求項１記載の開発支援装置。
3. 前記指示手段は、前記変数表示手段による前記変数の内容の表示が終了した場合に、前記プログラムの実行の中断を解除すべき旨を前記実行制御手段に通知することを特徴とする請求項２記載の開発支援装置。
4. 前記編集手段の設定内容を記憶する第１記憶手段と、前記変数表示手段により表示される変数の内容を記憶する第２記憶手段とを備えており、
   前記第１記憶手段の記憶内容と前記２記憶手段との記憶内容とは、所定の識別子によって関連付けられている
   ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の開発支援装置。
5. 前記実行制御手段は、前記第１記憶手段に記憶された前記識別子から制御状況に応じた識別子を読み出して前記指示手段に通知し、
   前記指示手段は、前記実行制御手段から通知された識別子を、前記第１記憶手段から読み出した当該識別子に関連した設定内容に応じて前記変数表示手段に通知し、
   前記変数表示手段は、前記指示手段から通知された識別子に関連付けられている変数の内容を前記第２記憶手段から読み出して表示する
   ことを特徴とする請求項４記載の開発支援装置。
6. 試験プログラムに従った試験信号を被試験デバイスに印加して当該被試験デバイスから得られる信号を、前記試験プログラムに従って処理することにより前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
   前記試験プログラムを前記所定のプログラムとして開発支援可能な請求項１から請求項５の何れか一項に記載の開発支援装置を備えることを特徴とする半導体試験装置。

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