JP2001101022A - 自動診断装置 - Google Patents

自動診断装置

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JP2001101022A
JP2001101022A JP28200799A JP28200799A JP2001101022A JP 2001101022 A JP2001101022 A JP 2001101022A JP 28200799 A JP28200799 A JP 28200799A JP 28200799 A JP28200799 A JP 28200799A JP 2001101022 A JP2001101022 A JP 2001101022A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
program
diagnosis
automatic
diagnostic
checker
Prior art date
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Pending
Application number
JP28200799A
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English (en)
Inventor
Yuji Nanamura
勇二 七村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JP2001101022A publication Critical patent/JP2001101022A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 診断が容易に連続的に実行でき、診断の実行
漏れ等の不都合が発生することのない自動診断装置の実
現を課題とする。 【解決手段】 ホストコンピュータ1に電気的特性測定
装置2を駆動する機能別診断プログラムをロードして起
動するコマンドファイルを作成するコマンドファイル作
成プログラムを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動診断装置に関
し、特に半導体装置などの連続して複数の診断を実行す
る自動診断装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置の試験は、半導体装置の各機
能を試験する電気特性測定装置を半導体装置に用いて、
それぞれの機能に応じた複数の診断プログラムを実行し
て、診断、動作確認を行うことによって実行されてい
る。ここで用いられる電気特性測定装置を以下ではテス
ターと呼び、診断プログラムを以下ではチェッカーと呼
ぶことにする。そうしてテスターを制御するホストコン
ピュータとチェッカーを含むテスターとの組み合わせで
自動診断装置が形成される。
【0003】ところで、従来の自動診断装置の方法で
は、各機能別のチェッカーを、テスターに順次人手によ
って入力して実行するようにしていた。この方法を簡単
にフローチャートで示すと図5のようになる。ところ
で、この方法ではフローチャートから分かるように、同
一の作業を複数回(n回)繰り返す必要が生じる。通
常、テスターは1つとは限らず、それに用いられるチェ
ッカーの形式、記述方法、記述言語も異なることが多
い。このようなチェッカーを1つずつ、対象テスターに
読み込ませて実行させる作業は煩雑であり、ややもする
と読み込ませ漏れが発生し、このためにチェッカーの実
行漏れ、すなわちチェックすべき機能の動作確認漏れが
発生する虞があった。さらに、1つのチェッカーの動作
終了を待って次のチェッカーを読み込ませなければなら
ないために、動作終了まで作業者が待機して手を煩わせ
なければならないという問題もあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、従来の
自動診断装置においては被検査対象の機能別の診断を行
う際に、その都度、診断プログラムを電気特性測定装置
にロードし、順次起動させて診断を行っていた。このた
め、作業者に手間がかかり、ややもすると診断プログラ
ムの読み込ませ漏れによる診断の実行漏れが発生する虞
があった。本発明は比較的簡単な方法でこの点を解決し
て、診断が容易に連続的に実行でき、診断の実行漏れ等
の不都合が発生することのない自動診断装置の実現を課
題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、本発明は、制御手段と、この制御手段によって制御
される1または複数の特性測定手段とを有する自動診断
装置において、前記制御手段は前記特性測定手段を駆動
する機能別診断プログラムをロードして起動する起動命
令群を作成する起動命令作成手段を具備することを特徴
とする。これにより、診断プログラムのロードと起動を
行う起動命令群を作成して、診断を連続して自動的に行
うことができる。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる自動診断装
置を添付図面を参照にして詳細に説明することにする。
【0007】図1は、本発明の半導体装置の検査に用い
られる自動診断装置の一実施の形態の構成を示すブロッ
ク図である。図1において、符号1はホストコンピュー
タ、符号2は電気的特性測定装置(テスター)、符号3
はLANなどの回線、符号21はテスター2に含まれる
ハードディスクである。
【0008】図1に示すように、ハードディスク21を
有する複数のテスター2は、回線3を介してホストコン
ピュータ1によって管理されている。テスター2は、用
途や機種によって、その構成は様々であり、かつ使用さ
れる診断プログラム(チェッカー)の言語もそれぞれ異
なっている。従来は、ホストコンピュータ1から対象テ
スター2のハードディスク21に対して、その都度、チ
ェッカーを読み込ませて診断計測を実行するようにして
いた。本発明では、テスター2内のハードディスク21
にファンクションキーで実行可能なコマンドファイルを
生成して、複数のチェッカーを連続して容易に実行でき
るようにする。
【0009】図2に、本発明の自動診断装置に用いられ
るプログラムの例を示す。このプログラム例の各部を説
明することで、本発明の自動診断装置の動作を説明す
る。このプログラムはホストコンピュータ1のファンク
ションキーなどによって実行可能なコマンドファイルを
生成するプログラムであり、一旦コマンドファイルを生
成すると、このコマンドファイルを起動することによっ
て、チェッカー読み込み、実行を連続して実行すること
ができる。
【0010】プログラム例−の部分は、定義文であ
る。プログラム例−の部分は、ディスプレイへの表示
文で、“head1〜head4”のいずれかを数字で
選択できるようにし、ここで選択された数値を以下でL
8という変数に置き換える。以下の説明では“head
1”を選択した場合を例にして説明する。この“hea
d1〜head4”は、診断の種別に対応するものであ
る。プログラム例−の部分は、ファイル名を決定する
部分で、の部分で数値“1”を選択した場合、“FI
LEMEI.01”という名前でファイルが決定され
る。
【0011】プログラム例−の部分は、判定文で、同
一ファイルが既にある場合は、プログラム例−の部分
にジャンプする。プログラム例−の部分は、実際のチ
ェッカー名を指定する部分である。ここでは“チェッカ
ー1”〜“チェッカーn”がチェッカー名であるが、こ
のチェッカー名を選択することによってテスター2別の
対応が可能になる。プログラム例−の部分は、ファイ
ルが形成されたことをディスプレイへ表示する。
【0012】プログラム例−の部分は、プログラム例
−の部分で指定したファイル名がすでに存在した場合
に、その旨をディスプレイへ表示する。プログラム例−
の部分は、NG時のデータをプリンタに出力する。ま
た、プログラム実行回数の決定も行っている。プログラ
ム例−の部分は、診断結果のサマリーをプリンタに出
力する。
【0013】このプログラム例を、ホストコンピュータ
1に登録してテスター2に読み込ませて実行すると、図
3のフローチャートに示したように、“FILEME
I.01”というコマンドファイルを瞬時に生成するこ
とができる。コマンドファイルは複数のチェッカーを連
続起動するキースイッチの役割を果たし、ここまでの操
作を行ったあと、図3のフローチャートで生成されたコ
マンドファイル“FILEMEI.01”を起動するこ
とで、図4のフローチャートに示したように複数のチェ
ッカーを自動的に実行することができる。
【0014】このように、本発明の自動診断装置は、チ
ェッカーのロードと駆動を連続して行うコマンドファイ
ルをプログラムで生成し、このコマンドファイルを起動
することで、複数のチェッカーを1つの操作で連続して
実行することができる。したがって、1つのチェッカー
が終了するごとにプログラムロードを行わなくても良く
なる。また、チェッカー名をいったん入力しておけばチ
ェッカー名を覚えてなくても操作を実行することができ
る。また、チェッカー実行時の動作確認漏れがなくな
る。コマンドファイル生成をプログラムで行っているた
め、コマンドファイルが消去されても、すぐに復元する
ことができる。また、複数のテスターに対するコマンド
ファイルを同一のプログラムで生成しているため、複数
のテスターに対するコマンドファイルに統一性を持たす
ことができる。これにより、複数台のテスターを有して
いても同じコマンドファイル名で、同じ内容のファイル
を瞬時に作成することができ、また複数台のテスターを
連続動作することも可能になる。以上の説明では、半導
体装置の各機能を試験する自動診断装置として説明を行
ってきたが、半導体装置に限らず、各種の電子部品や機
能素子の自動診断装置にも本発明が適用できることはい
うまでもない。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1の
発明は、制御手段と、この制御手段によって制御される
1または複数の特性測定手段とを有する自動診断装置に
おいて、制御手段は特性測定手段を駆動する機能別診断
プログラムをロードして起動する起動命令群を作成する
起動命令作成手段を具備することを特徴とする。これに
より、診断プログラムのロードと起動を行うコマンドフ
ァイルを自動的に作成することができ、したがって、診
断を自動的に誤りなく行うことが可能な自動診断装置を
実現することができる。
【0016】また、本発明の請求項2の発明は、起動命
令作成手段によって作成される起動命令群は、所定の順
序で機能別診断プログラムを順次ロードして起動するこ
とを特徴とする。これにより、コマンドファイルを自動
的に作成し、診断を自動的に所定の順序で誤りなく行う
ことが可能な自動診断装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の自動診断装置の構成を示すブロック
図。
【図2】本発明の自動診断装置に用いられるプログラム
の一例。
【図3】図2に示すプログラムの機能フローチャート。
【図4】図2に示すプログラムによって作成されるコマ
ンドファイルの機能フローチャート。
【図5】従来の診断プログラムの機能フローチャート。
【符号の説明】
1…ホストコンピュータ、2…電気的特性測定装置(テ
スター)、3…回線、21…ハードディスク。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 制御手段と、この制御手段によって制御
    される1または複数の特性測定手段とを有する自動診断
    装置において、 前記制御手段は前記特性測定手段を駆動する機能別診断
    プログラムをロードして起動する起動命令群を作成する
    起動命令作成手段を具備することを特徴とする自動診断
    装置。
  2. 【請求項2】 前記起動命令作成手段によって作成され
    る起動命令群は、所定の順序で前記機能別診断プログラ
    ムを順次ロードして起動することを特徴とする請求項1
    に記載の自動診断装置。
JP28200799A 1999-10-01 1999-10-01 自動診断装置 Pending JP2001101022A (ja)

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JP28200799A JP2001101022A (ja) 1999-10-01 1999-10-01 自動診断装置

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JP28200799A JP2001101022A (ja) 1999-10-01 1999-10-01 自動診断装置

Publications (1)

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JP2001101022A true JP2001101022A (ja) 2001-04-13

Family

ID=17646935

Family Applications (1)

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JP28200799A Pending JP2001101022A (ja) 1999-10-01 1999-10-01 自動診断装置

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JP (1) JP2001101022A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008046074A (ja) * 2006-08-21 2008-02-28 Advantest Corp 試験装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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