JP2003124712A - 高周波伝送線路およびそれを用いた電子部品または電子装置 - Google Patents

高周波伝送線路およびそれを用いた電子部品または電子装置

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JP2003124712A JP2001319040A JP2001319040A JP2003124712A JP 2003124712 A JP2003124712 A JP 2003124712A JP 2001319040 A JP2001319040 A JP 2001319040A JP 2001319040 A JP2001319040 A JP 2001319040A JP 2003124712 A JP2003124712 A JP 2003124712A
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conductor
signal conductor
ground
hole
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Makoto Torigoe
誠 鳥越
Hisaaki Kanai
久亮 金井
Taku Suga
卓 須賀
Koichi Kamisaka
晃一 上坂
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高速信号を伝送する伝送線路において、特性
インピーダンスの変化の少ない、伝送特性の良い高周波
伝送線路を提供する。 【解決手段】 スルーホール近傍の信号導体の幅や、グ
ラウンド導体の幅を変化させることにより特性インピー
ダンスを略一定に保つ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は高周波伝送線路及び
それを用いた電子部品または電子装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来の高周波伝送線路を、図2〜図4を
用いて説明する。図2は従来の高周波伝送線路の構成図
であり、図2(a)は斜視図、図2(b)は側面図であ
る。図2に示すように、回路基板や高周波の電気信号を
伝送する伝送線路としては、誘電体203上に信号導体
201を設け、その信号導体201の両側にグラウンド
導体203a、203bを設けたものがある。この伝送
線路は、図2(b)に示すように、信号導体201とグ
ラウンド導体203a、203bの間に電磁界を閉じ込
めて信号を伝搬するコプレーナ線路である。電気力線2
04は信号導体201とグランド導体302a、信号導
体201と302bの間に発生する。
【0003】図3は従来の他の高周波伝送線路の構成図
であり、図3(a)は斜視図、図3(b)は側面図であ
る。図3に示すように、信号導体301に対して誘電体
302を挟んで反対の面にグラウンド導体303を有
し、その信号導体301とグラウンド導体303の間に
電磁界を閉じ込めて信号を伝搬するマイクロストリップ
線路が示されている。電気力線304は図3(b)に示
すように、信号導体301とグランド導体303間に発
生する。
【0004】図4は従来の更に他の高周波伝送線路の構
成図であり、図4(a)は斜視図、図4(b)は側面図
である。図4に示すように信号導体401に対して誘電
体402を挟んで両側の面にグラウンド導体403a、
403bを有し、その信号導体401とグラウンド導体
403a、403bの間に電磁界を閉じ込めて信号を伝
搬するストリップ線路示されている。電気力線404は
図4(b)に示すように、信号導体401とグランド導
体403a、信号導体401とグランド導体403bと
の間に発生する。
【0005】図5は従来の更に他の高周波伝送線路の構
成図であり、図5(a)は斜視図、図5(b)は側面図
である。図5に示すように、信号導体501の両側に、
グラウンド導体502a、502bを有し、さらに誘電
体503を挟んだ反対側にもグラウンド導体504を有
し、信号導体501と3つのグラウンド導体502a、
502b及びグラウンド導体504との間に電磁界を閉
じ込めて信号を伝搬するグラウンデッドコプレーナ線路
が示されている。電気力線505は信号導体501とグ
ランド導体502a、信号導体501とグランド導体5
02b、信号導体501とグランド導体504間に発生
する。
【0006】図2〜図5に示されている高周波伝送線路
ではそれぞれの構造によって決まる特性インピーダンス
を一定に保って信号を伝搬することが重要である。特性
インピーダンスが異なる伝送線路を接続すると、その接
続部分で信号の反射が起こる。
【0007】図6は特性インピーダンスの異なる伝送線
路を接続した場合の模式図であり、例えば、特性インピ
ーダンスがZ1の伝送線路1と特性インピーダンスがZ2
の伝送線路2を接続して、伝送線路1から伝送線路2に
信号を伝搬したとき、その反射係数は(数1)で表され
る。
【0008】
【数1】 したがって、特性インピーダンスを伝送線路のすべての
位置で一定にすることが重要である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】実際の基板は複数の層
からなり、各層間の電気的導通をとるためのスルーホー
ルが多数存在する。伝送線路の近傍にスルーホールがあ
ると、その影響により、インピーダンスが変化する。こ
のインピーダンスの変化により信号の反射が起こり、伝
送特性が悪化する。
【0010】本発明の目的は上記従来技術の問題点を解
決し、特性インピーダンスの変化の少ないまた、伝送特
性の良い高周波伝送線路を提供することにある。本発明
の他の目的は、本発明による高周波伝送線路を用いた、
高周波特性の良い、電子部品または電子装置を提供する
ことにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的はスルーホール
近傍の信号線あるいはグラウンド導体の幅を変化させる
ことにより実現されるもので、以下詳細に説明する。
【0012】第1の発明では、高周波伝送線路は、誘電
体と、該誘電体を挟んで両側に配置された複数のグラン
ド導体と、該両側に配置されたグランド導体間を電気的
に接続するスルーホールと、該スルーホールの近傍に配
置された信号導体とを備え、該スルーホールによる信号
導体の特性インピーダンスが変化することを抑圧するた
めに、該スルーホール近傍において、該グランド導体及
び信号導体のいずれか一方又は両方の形状を変化させ
る。
【0013】第1の発明において、該複数のグランド導
体は、該誘電体の一面に配置された第1のグランド導体
及び第2のグランド導体と、該誘電体の他面に配置され
た第3のグランド導体とから構成され、該信号導体は該
第1及び該第2のグランド導体の間に配置される。ま
た、該グランド導体は該誘電体の一面に配置された第1
のグランド導体と該誘電体の他の面に配置された第2の
グランド導体とから構成され、該信号導体は該誘電体を
構成する第1の層と第2の層の間に配置される。また、
該グランド導体は該誘電体の一面に配置された第1のグ
ランド導体と該誘電体の他の面に配置された第2のグラ
ンド導体とから構成され、該信号導体は該第1のグラン
ド電極上に設けられた他の誘電体を介して該スルーホー
ルの近傍に配置される。また、該信号導体は該スルーホ
ールの近傍において、該信号導体の幅が狭くなるように
凹みが形成される。また、この発明で、該信号導体は該
凹み部分を除いて略同じ幅を有する。また、この発明
で、該信号導体は該凹み部分を除いて徐々に変化する幅
を有する。
【0014】第1の発明において、該グランド導体は該
スルーホールの近傍において、該グランド導体の幅が狭
くなるように凹みが形成される。また、この発明で、該
複数のグランド導体は該凹み部分を除いて略同じ幅を有
する。
【0015】第1の発明において、該信号導体は該スル
ーホールの近傍で、該信号導体の幅が狭くなるように凹
みが形成され、該グランド導体は該スルーホールの近傍
において、該グランド導体の幅が狭くなるように凹みが
形成される。
【0016】第2の発明では、誘電体と、該誘電体の一
面に配置された第1のグランド導体と、該誘電体の他の
面に配置された第2の誘電体と、該第1のグランド導体
と該第2のグランド導体との間を接続するスルーホール
と、該第1のグランド導体及び該スルーホールに隣接し
て配置された信号導体とを備え、該スルーホールの近傍
において、該信号導体の幅又は該グランド導体の幅のい
ずれか一方が狭くなるように構成する。
【0017】第2の発明において、高周波伝送線路は、
該誘電体の一面に第3のグランド導体を設け、該第1の
グランド導体との間で該信号導体を挟み込むように該第
3のグランド導体を配置する。
【0018】第3の発明では、高周波伝送線路は、信号
導体と、複数のグラウンド導体と、複数のグラウンド導
体間を電気的に接続するスルーホールとを備え、複数の
グラウンド導体間を接続するスルーホールの近傍の信号
導体幅を細くする。
【0019】第4の発明では、1本の信号導体と、複数
のグラウンド導体と、複数のグラウンド導体間を電気的
に接続するスルーホールとを備え、複数のグラウンド導
体間を接続するスルーホールの近傍のグラウンド導体幅
を細くする。
【0020】第5の発明では、高周波伝送線路は、1本
の信号導体と、複数のグラウンド導体と、複数のグラウ
ンド導体間を電気的に接続するスルーホールとを備え、
複数のグラウンド導体間を接続するスルーホールの近傍
の信号導体幅とグラウンド導体幅を細くする。
【0021】第6の発明では、高周波伝送線路は、1本
の信号導体と、複数のグラウンド導体と、複数のグラウ
ンド導体間を電気的に接続するスルーホールとを備え、
複数のグラウンド導体間を接続するスルーホールの近傍
の信号導体幅を細くし、グラウンド導体幅を太くする。
【0022】第7の発明では、電子部品は、上記の高周
波伝送線路の構造を有する。
【0023】第8の発明では、電子装置は、上記の高周
波伝送線路の構造を有する。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を幾つ
かの実施例を用い、図を参照しながら具体的に説明す
る。図1は本発明による高周波伝送線路の第1の実施例
を示す構成図であり、図1(a)は平面図、図1(b)
は図1(a)のA−A断面図、図1(c)は図1(a)
のB−B断面図である。本実施例の伝送線路は、図1に
示すように、信号導体101と、その両側に配置された
グラウンド導体102a、102bと、誘電体基板10
3と、誘電体基板103を挟んで信号導体101の反対
側の面にあるグラウンド導体104と、信号導体101
の両側に配置されたグラウンド導体102a、102b
と信号導体101の反対側の面にあるグラウンド導体1
04の間の電気的導通を取るためのスルーホール105
a、105b、105c、105dからなる。本実施例
ではスルーホール105a、105b、105c、10
5dの影響でこの近傍の特性インピーダンスが変化す
る。
【0025】以下、スルーホールにより特性インピーダ
ンスが変化する理由について説明する。伝送線路の信号
導体101及びグラウンド導体102a、102b、1
04はその幅や厚さ等によって決まるインダクタンス成
分Lを持つ。また信号導体101とグラウンド導体グラ
ウンド導体102a、102bの距離や誘電体材料等に
よって決まる容量成分Cを持つ。伝送線路の特性インピ
ーダンスZは、伝送線路のロスが無いとすると、インダ
クタンスLと容量を用いて、(数2)のように表すこと
ができる。
【0026】
【数2】 スルーホール105a、105b、105c、105d
がない部分に比べ、スルーホール105a、105b、
105c、105dがある部分では、信号導体の近傍の
グラウンド導体が増えるため、容量Cが増大する。した
がって、(数2)から明らかなようにインピーダンスが
下がる。従って、スルーホール近傍のインダクタンスを
増加あるいは、スルーホール近傍の容量を低減すること
で、特性インピーダンスを一定に保ち、伝送特性を向上
させることができる。スルーホール近傍のインダクタン
スを増加させるためには、信号線の線幅を狭くすればよ
く、また、容量の低減は信号線とグラウンド導体の距離
を広くすることで実現できる。本実施例では、伝送線路
における信号導体101の幅はスルーホールの近傍にお
いて細くなっている。又は、表現を変えると、信号導体
101はスルーホールの近傍において凹んでへこんでい
る。また、スルーホール105a、105b、又はスル
ーホール105c、105dの外側の両端を結んだ線の
中に信号導体101の幅が狭くなっている部分が存在す
るといえる。また、スルーホール105a、105bと
スルーホール105c、105dの間で信号導体101
は狭い幅と広い幅とを持っている。
【0027】本実施例では、スルーホール105a、1
05b、105c、105dによって容量が増え、特性
インピーダンスが低下することをキャンセルするため
に、信号導体101の幅を細くして凹みを持たせてい
る。これによって、インダクタンス成分を上げ、特性イ
ンピーダンスを一定に保つことができる。また、本実施
例では、信号導体101と、その両側に配置されたグラ
ウンド導体102の間の間隔が広くなるため、この間の
容量成分を低減する効果もある。
【0028】図7は信号導体の幅と特性インピーダンス
の関係を電磁界解析により求めた結果を示す特性図であ
り、横軸に伝送線路における信号線幅(μm)を示し、
縦軸に特性インピーダンス(Ω)を示す。また、図8は
電磁界解析を行うためのスルーホールを用いた伝送線路
の断面図であり、図9は電磁界解析を行うためのスルー
ホールなしの伝送線路の断面図である。図8において、
801は信号導体、802a、802b、804はグラ
ンド導体、803は誘電体、805a、805bはスル
ーホールである。グランド導体802a、802bの幅
は675μm、厚さは2.2μm、グランド導体804
の幅は1500μm、厚さは2.2μm、誘電体803
の厚さは245μmであり、信号導体801の厚さは
2.2μmであり、スルーホール805a、805b近
傍の信号導体801の幅d1を変えた場合の特性インピ
ーダンス(Ω)を図7の特性線701で示す。図9にお
いて、グランド導体902a、902bの幅は675μ
m、厚さは2.2μmである。誘電体903の厚さは2
54μm、グランド導体904の幅は1500μm、厚
さは2.2である。また、信号導体901の幅はd2、
厚さは2.2μmであり、d2を変えた場合の特性イン
ピーダンス(Ω)を図7の特性線702で示す。本解析
は図8および、図9に示す構造で解析を行った。本解析
構造は光モジュールの内部で高周波信号を伝送するため
に使用されることを想定した場合に実現性の高いサイズ
である。伝送線路の特性インピーダンスを50Ωで設計
した場合、スルーホールの無い部分では図7の特性線7
02から分かるように信号導体の幅を97μmとする必
要があるが、その幅で近傍にスルーホール805a、8
05bが存在した場合、特性インピーダンスは41Ωと
約20%も低くなってしまう。スルーホール805a、
805bが存在する場合、特性インピーダンスを50Ω
にするためには図7の特性線701から分かるように、
信号導体の幅を72μmにすれば良い。したがって、本
実施例の構造の伝送線路では、信号導体の幅は、スルー
ホール805a、805bがないところでは97μmと
広くし、スルーホール805a、805bのあるところ
では72μmと狭くすることによって、特性インピーダ
ンスを50Ωと一定の値とすることができる。
【0029】以下、本発明の第2の実施例について、図
10を用いて説明する。図10は本発明による高周波伝
送線路の第2の実施例を示す平面図である。図におい
て、図1の同じ構成要素には同一の番号を付し、その説
明を省略する。本実施例においては、信号導体111の
幅を一定とし、グラウンド導体112a、112bの幅
を変化させている。スルーホール105a、105b、
105c、105d近傍で、グラウンド導体112a、
112bの幅を狭くし、信号導体111とグラウンド導
体112a、112bの間の距離を遠くすることで信号
導体111とグラウンド導体112a、112b間の容
量成分を低減できる。これにより、スルーホール付加に
よる容量成分の増加を打ち消し、特性インピーダンスを
一定に保つことができる。
【0030】以下、本発明の第3の実施例について、図
11を用いて説明する。図11は本発明による高周波伝
送線路の第3の実施例を示す平面図である。本実施では
信号導体101の幅と、グラウンド導体122a、12
2bの幅の両方を細くしている。即ちスルーホール10
5a、105b、105c、105d近傍で、信号導体
101に凹みを設けてその幅を狭くして、インダクタン
ス成分を増やし、さらに、グラウンド導体122a、1
22bに凹みを設けてその幅を狭くして信号導体101
からグラウンド導体122a又はグランド導体122b
の距離を遠くすることで、容量成分を低減できる。この
2つの効果により、特性インピーダンスを一定に保つこ
とができる。
【0031】以下、本発明の第4の実施例について、図
12を用いて説明する。図12は本発明による高周波伝
送線路の第4の実施例を示す平面図である。本実施では
信号導体101は図11の場合と同様にその幅を狭く
(又は細く)し、グラウンド導体132a、132bの
幅を広くしている。スルーホール近傍で、信号導体10
1の幅を狭くし、インダクタンス成分を増やす。グラウ
ンド導体132a、132bの幅を広くすることで信号
導体からグラウンド導体132a、132bの距離が近
くなり、容量成分が更に増加してしまうが、グラウンド
導体132a、132bの幅を狭くすることでそれを打
ち消す。本構造では、信号導体101とグラウンド導体
132a、132bの間のギャップを一定に保つことも
可能であり、ギャップが変化することによる電磁界のモ
ード変化を最小限に抑えることができるという利点があ
る。
【0032】以上、2層構造のグラウンデットコプレー
ナ線路について複数の実施例を挙げて述べたが、本発明
は2層構造のものに限られるものでは無い。より多層の
基板においても、基板の一部にでもグラウンデットコプ
レーナ構造の伝送線路があれば、本実施例の効果は得ら
れる。また、本発明はグラウンデットコプレーナ線路に
限られる発明ではない。
【0033】以下、各種伝送線路における実施例につい
て説明する。図13は本発明による高周波伝送線路の第
4の実施例を示す構成図であり、図13(a)は斜視
図、図13(b)は平面図、図13(c)は図13
(b)のA−A断面図、図13(d)は図13(b)の
B−B断面図である。本実施例の伝送線路は信号導体1
301と、誘電体1302と、その誘電体1302を挟
んで両側に配置されたグラウンド導体1303a、13
03bと、そのグラウンド導体1303a、1303b
の間の電気的導通を取るためのスルーホール1304a
〜1304dからなる。
【0034】本実施例の伝送線路における信号導体13
01の幅はスルーホール1304a〜1304dの近傍
において細くなっている。スルーホールによって容量成
分が増え、特性インピーダンスが低下することをキャン
セルするために信号導体1301の幅を細くすることで
インダクタンス成分を上げ、特性インピーダンスを一定
に保つことができる。また、本実施例では、信号導体1
301と、スルーホール1304a〜1304dの間隔
が広くなるため、容量成分を低減する効果もある。
【0035】マイクロストリップ線路に関する実施例
を、図14を用いて説明する。図14は本発明による高
周波伝送線路の第5の実施例を示す構成図であり、図1
4(a)は斜視図、図14(b)は平面図、図14
(c)は図14(b)のA−A断面図、図14(d)は
図14(b)のB−B断面図である。本実施例の伝送線
路は信号導体1401と、誘電体1402と、その誘電
体1402を挟んで信号導体1401両側に配置された
グラウンド導体1403と、それとは別のグラウンド導
体1404と、それら複数のグラウンド層の間を電気的
に接続するための貫通型のスルーホール1405a〜1
405dからなる。
【0036】本実施例の伝送線路における信号導体14
01の幅はスルーホール1405a〜1405dの近傍
において細くなっている。スルーホール1405a〜1
405dによって容量成分が増え、特性インピーダンス
が低下することをキャンセルするために信号導体140
1の幅を細くすることでインダクタンス成分を上げ、特
性インピーダンスを一定に保つことができる。また、本
実施例では、信号導体1401と、スルーホール140
5a〜1405dの間隔が広くなるため、容量成分を低
減する効果もある。以上、スルーホールが信号導体から
等距離の位置に左右対称に、周期的にある場合の実施例
について述べてきたが、本発明はこれに限るものではな
い。
【0037】以下、図15を用いて、信号導体からスル
ーホールまでの距離が一定でない場合の実施例について
説明する。図15は本発明による高周波伝送線路の第6
の実施例を示す平面図である。本実施例では、スルーホ
ール1503aとスルーホール1503b間の距離はス
ルーホール1504aとスルーホール1504b間の距
離より長い。信号導体501からスルーホール1503
a、1503bまでの距離が遠い場合、スルーホール1
503a、1503bのよる容量値の増加はスルーホー
ル1504aとスルーホール1504bによる容量の増
加より少ないため、スルーホール1503a、1503
b近傍の信号導体1501の幅はスルーホール1504
aとスルーホール1504b近傍の信号導体1501の
幅より広くする。
【0038】信号導体からスルーホールまでの距離が一
定でない場合の実施例としてグラウンデットコプレーナ
線路について信号導体を細くした場合の実施例を示した
が、マイクロストリップ線路、ストリップ線路等でも同
様の議論ができることは言うまでもない。
【0039】次に、信号導体の幅を徐々に狭くしていっ
た場合に特性インピーダンスが一定になる場合、例え
ば、誘電体の厚さが徐々に異ならしめた場合や電界の方
向を90度変更するために、徐々に信号導体とグランド
導体の距離を離す場合の実施例である。図16は本発明
による高周波伝送線路の第7の実施例を示す平面図であ
る。本実施例において、信号導体1601の幅は図の下
方に行くに従って狭くなっているが、この場合でも、ス
ルーホール1602a、1602bが設けられている近
傍の信号導体1601の幅は狭く、又は細くなるように
凹みが設けられ、上述した効果を得ている。
【0040】以下、スルーホールが対になって構成され
ていない場合の例について図17を用いて説明する。図
17は本発明による高周波伝送線路の第8の実施例を示
す平面図である。図において、グランド導体1702a
に設けられたスルーホール1703とグランド導体17
02bに設けられたスルーホール1704とが対になっ
ていいない場合でも、スルーホール1703、1704
近傍の信号導体1701の幅は狭く、又は細くなるよう
に凹みが設けられている。
【0041】本発明は高周波信号を伝搬する装置とし
て、光モジュールの高速信号伝送基板や、パーソナルコ
ンピュータ、携帯端末、通信機器などに適用できる。ま
た、本実施例では、基板上の伝送線路の例を示したが、
本発明はこれに限られるものではない。LSIチップ内
の伝送線路において本発明を利用することで、より高周
波特性の良いLSIを作製可能となる。その他、基板間
を接続するフレキシブルケーブル当にも適用可能であ
る。
【0042】以上述べたように、本発明によれば、少な
くとも1本の信号導体と、複数のグラウンド導体と、複
数のグラウンド導体間を電気的に接続するスルーホール
を有する伝送線路に関し、信号導体とスルーホールの間
の容量が増えることにより伝送線路の特性インピーダン
スが下がり、信号の反射が生じて伝送特性が悪くなると
いう問題点を克服するために、信号導体、グラウンド導
体の幅を広げたり狭めたりすることでインダクタンスを
増加させ、あるいは容量を低減してインピーダンスを一
定に保っている。また、本発明を適用することにより、
より伝送特性のよい伝送線路を提供できる。
【0043】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、信
号導体と、複数のグラウンド導体とを有する伝送線路に
スルーホールを設けても、インダクタンスを増加させ、
あるいは容量を低減してインピーダンスを一定に保つこ
とができる。また、本発明を適用することにより、より
伝送特性のよい伝送線路を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による高周波伝送線路の第1の実施例を
示す構成図である。
【図2】従来の高周波伝送線路の構成図である。
【図3】従来の他の高周波伝送線路の構成図である。
【図4】従来の更に他の高周波伝送線路の構成図であ
る。
【図5】従来の更に他の高周波伝送線路の構成図であ
る。
【図6】特性インピーダンスの異なる伝送線路を接続し
た場合の模式図である。
【図7】信号導体の幅と特性インピーダンスの関係を電
磁界解析により求めた結果を示す特性図である。
【図8】電磁界解析を行うためのスルーホールを用いた
伝送線路の断面図である。
【図9】電磁界解析を行うためのスルーホールなしの伝
送線路の断面図である。
【図10】本発明による高周波伝送線路の第2の実施例
を示す平面図である。
【図11】本発明による高周波伝送線路の第3の実施例
を示す平面図である。
【図12】本発明による高周波伝送線路の第4の実施例
を示す平面図である。
【図13】本発明による高周波伝送線路の第4の実施例
を示す構成図である。
【図14】本発明による高周波伝送線路の第5の実施例
を示す構成図である。
【図15】本発明による高周波伝送線路の第6の実施例
を示す平面図である。
【図16】本発明による高周波伝送線路の第7の実施例
を示す平面図である。
【図17】本発明による高周波伝送線路の第8の実施例
を示す平面図である。
【符号の説明】
101…信号導体、102a、102b…グラウンド導
体、103…誘電体基板、102a、102b、102
c、102d…スルーホール、104…グラウンド導
体。
フロントページの続き (72)発明者 須賀 卓 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 上坂 晃一 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 Fターム(参考) 5E317 AA24 CD27 CD32 GG11 5E338 AA02 BB12 CC01 CC02 CC06 EE11 5J014 CA00

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】誘電体と、該誘電体を挟んで両側に配置さ
    れた複数のグランド導体と、該両側に配置されたグラン
    ド導体間を電気的に接続するスルーホールと、該スルー
    ホールの近傍に配置された信号導体とを備え、該スルー
    ホールによる信号導体の特性インピーダンスが変化する
    ことを抑圧するために、該スルーホール近傍において、
    該グランド導体及び信号導体のいずれか一方又は両方の
    形状を変化させることを特徴とする高周波伝送線路。
  2. 【請求項2】誘電体と、該誘電体の一面に配置された第
    1のグランド導体と、該誘電体の他の面に配置された第
    2の誘電体と、該第1のグランド導体と該第2のグラン
    ド導体との間を接続するスルーホールと、該第1のグラ
    ンド導体及び該スルーホールに隣接して配置された信号
    導体とを備え、該スルーホールの近傍において、該信号
    導体の幅又は該グランド導体の幅のいずれか一方が狭く
    なるように構成することを特徴とする高周波伝送線路。
  3. 【請求項3】信号導体と、複数のグラウンド導体と、複
    数のグラウンド導体間を電気的に接続するスルーホール
    とを備え、複数のグラウンド導体間を接続するスルーホ
    ールの近傍における信号導体幅を細くする構成、及び複
    数のグラウンド導体間を接続するスルーホールの近傍の
    グラウンド導体幅を細くする構成、複数のグラウンド導
    体間を接続するスルーホールの近傍の信号導体幅とグラ
    ウンド導体幅を細くする構成、及び複数のグラウンド導
    体間を接続するスルーホールの近傍の信号導体幅を細く
    してグラウンド導体幅を太くする構成のいずれかである
    ことを特徴とする高周波伝送線路。
  4. 【請求項4】請求項1乃至3のいずれかに記載の高周波
    伝送線路の構造を有することを特徴とする電子部品。
  5. 【請求項5】請求項1乃至3から請求項16記載の高周
    波伝送線路の構造を有することを特徴とする電子装置。
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