JP2003089164A - 透明ガスバリア材及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】プラスチック樹脂基材にポリマー層、無機化合
物薄膜層を積層した積層体において、ポリマー層の硬化
収縮に起因するカールを少なくし、かつ、透明で、ガス
バリア性に優れた積層体からなる透明ガスバリア材およ
びその製造方法を提供するものである。 【解決手段】透明なプラスチック樹脂基材２の両面に、
電子線または紫外線重合性モノマーおよび／もしくはオ
リゴマーを重合したポリマーからなるポリマー層３、無
機化合物薄膜層４を交互に積層した積層体において、ポ
リマー層３がそれぞれの面に同数積層されていること、
又はポリマー層３と無機化合物薄膜層４がそれぞれの面
に同数積層されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は透明性に優れ、酸素
および水蒸気の透過に対して高度なガスバリア性を持
ち、かつ、カールが少ないガスバリア材およびその製造
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】高分子樹脂基材上に金属酸化物などから
なる無機化合物を形成した透明ガスバリア材は、酸素や
水蒸気に対するガスバリア性を有し透明性に優れてい
る。透明ガスバリア材は、食品や医療品などの包装材料
に利用されるほか、近年では液晶表示素子のプラスチッ
ク基板や有機エレクトロルミネッセンス素子のパッケー
ジフィルム用途へも拡大し、より高度なバリア性能が要
求されている。高度なガスバリア性を達成する手法とし
て、ラミネートやプライマーコート、オーバーコートな
どが行われている。プライマーコートやオーバーコート
は主として有機系樹脂からなり、塗布液には溶剤が含ま
れるものが大部分であり、乾燥工程、さらには大型乾燥
設備が必要とされる。無機化合物の形成はガスバリア性
能や生産性の点で巻き取り式真空製膜が適しているた
め、溶剤を含むプライマーコートやオーバーコートとは
別装置にて製膜する必要がある。有機系樹脂に溶剤を含
まない有機系樹脂モノマーやオリゴマーを使用すること
によって、真空中で高分子樹脂基材上への有機系樹脂層
の形成が可能となる。この技術では、乾燥工程および大
型乾燥設備が不要であり、有機系樹脂層と無機化合物薄
膜層を同一装置内で形成することができ、生産性が向上
する。無機化合物薄膜層と有機系樹脂層を連続的に形成
することで膜の損傷によるガスバリア性の劣化を防止で
きる等の利点がある。酸素、水蒸気に対する高度なガス
バリア性を有する透明ガスバリア材を得るために、プラ
スチック樹脂基材にアクリレートやメタクリレートなど
の重合ポリマー層と無機化合物薄膜層を交互に積層させ
る手法が行われ、その積層体のポリマー層が無機化合物
薄膜層のプライマーコートやオーバーコートとしての役
割を担うだけでなく、堅くて脆い無機化合物薄膜層を柔
軟なポリマー層で挟み、フィルムに曲げ応力が加わる場
合でも無機化合物薄膜層の破壊を防止でき、フレキシブ
ルなガスバリア材を得ることが可能となる。有機系樹脂
層の硬化方法としては、硬化速度が速く生産性に優れた
放射線硬化が最適であり、使用される樹脂は放射線硬化
型のアクリレートやメタクリレートのモノマーやオリゴ
マーが用いられる。例えば、特表平８―５１２２５６で
は、高分子支持体上に蒸発したアクリレートモノマーを
モノマーフィルムとして凝縮、放射線重合させ有機系樹
脂層を形成し、次いでその上に無機酸化物層を蒸着させ
ることによって、酸素に対するガスバリア性に優れた透
明ガスバリア材を発明している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、重合収
縮率が大きいモノマーやオリゴマーを使用する場合やポ
リマー層を厚く塗布する場合、プラスチック樹脂基材の
片面のみに塗布すると、モノマーやオリゴマーの硬化収
縮による内部応力が発生し、フィルムがカールして製膜
プロセスにおいて不都合が生じ、後加工が困難となるな
どの問題が発生していた。特にポリマー層が多い時にこ
の傾向が顕著に見られていた。プラスチック樹脂基材の
両面に同数のポリマー層を形成すると、硬化収縮により
発生する内部応力を各面で均等にすることができ、カー
ルが小さいフィルムを得ることができることを見出し、
本発明に至ったものである。

【０００４】本発明の課題は、プラスチック樹脂基材に
ポリマー層、無機化合物薄膜層を積層した積層体におい
て、ポリマー層の硬化収縮に起因するカールを少なく
し、かつ、透明で、ガスバリア性に優れた透明ガスバリ
ア材およびその製造方法を提供するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、透明なプラスチック樹脂基材の両面に電子線ま
たは紫外線重合性モノマーおよび／もしくはオリゴマー
を重合したポリマーからなるポリマー層、無機化合物薄
膜層を交互に積層した積層体において、ポリマー層がそ
れぞれの面に同数積層されていることを特徴とする透明
ガスバリア材である。

【０００６】次に、請求項２に係る発明は、透明なプラ
スチック樹脂基材の両面に電子線または紫外線重合性モ
ノマーおよび／もしくはオリゴマーを重合したポリマー
からなるポリマー層、無機化合物薄膜層を交互に積層し
た積層体において、ポリマー層と無機化合物薄膜層がそ
れぞれの面に同数積層されていることを特徴とする透明
ガスバリア材である。

【０００７】次に、請求項３に係る発明は、上記請求項
１又は請求項２に係る発明において、前記プラスチック
樹脂基材の両面に基材側から順にポリマー層、無機化合
物薄膜層を交互に積層し、両面の最上層に無機化合物薄
膜層を形成させたことを特徴とする透明ガスバリア材で
ある。

【０００８】次に、請求項４に係る発明は、上記請求項
１又は請求項２に係る発明において、前記プラスチック
樹脂基材の両面に基材側から順に無機化合物薄膜層、ポ
リマー層を交互に積層し、両面の最上層にポリマー層を
形成させたことを特徴とする透明ガスバリア材である。

【０００９】次に、請求項５に係る発明は、上記請求項
１又は請求項２に係る発明において、前記プラスチック
樹脂基材の一方の面に基材側から順にポリマー層、無機
化合物薄膜層を交互に積層し、その最上層に無機化合物
薄膜層を形成させ、他方の面に基材側から順に無機化合
物薄膜層、ポリマー層を交互に積層し、その最上層にポ
リマー層を形成させたことを特徴とする透明ガスバリア
材である。

【００１０】次に、請求項６に係る発明は、上記請求項
１に係る発明において、前記プラスチック樹脂基材の一
方の面に基材側から順にポリマー層、無機化合物薄膜層
を交互に積層し、その最上層に無機化合物薄膜層を形成
させ、他方の面に基材側から順に無機化合物薄膜層、ポ
リマー層を交互に積層し、さらに最上層に無機化合物薄
膜層を積層したことを特徴とする透明ガスバリア材であ
る。

【００１１】次に、請求項７に係る発明は、上記請求項
１乃至請求項６のいずれか１項に係る発明において、前
記ポリマー層がアクリレートまたはメタクリレートから
なることを特徴とする透明ガスバリア材である。

【００１２】次に、請求項８に係る発明は、上記請求項
１乃至請求項６のいずれか１項に係る発明において、前
記ポリマー層がアクリレートとメタクリレートの混合物
からなることを特徴とする透明ガスバリア材である。

【００１３】次に、請求項９に係る発明は、上記請求項
１乃至請求項８のいずれか１項に係る発明において、前
記無機化合物薄膜層が酸化アルミニウム、酸化ケイ素、
酸化マグネシウム、インジウムと錫の酸化物、またはイ
ンジウムとセリウムの酸化物からなることを特徴とする
透明ガスバリア材である。

【００１４】次に、請求項１０に係る発明は、上記請求
項１乃至請求項９のいずれか１項記載の透明ガスバリア
材の製造時に、プラスチック樹脂基材の両面に形成され
たポリマー層の層数の差が1以下となるような順序で、
ポリマー層と無機化合物薄膜層を交互に積層することを
特徴とする透明ガスバリア材の製造方法である。

【００１５】次に、請求項１１に係る発明は、上記請求
項１０に係る発明において、前記ポリマー層および無機
化合物薄膜層を巻取状の透明なプラスチック樹脂基材上
に連続して積層することを特徴とする透明ガスバリア材
の製造方法である。

【００１６】次に、請求項１２に係る発明は、上記請求
項１０又は請求項１１に係る発明において、前記ポリマ
ー層および無機化合物薄膜層を真空中で積層することを
特徴とする透明ガスバリア材の製造方法である。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の透明ガスバリア材及びそ
の製造方法を、実施の形態に沿って以下に説明する。

【００１８】図１（ａ）は透明なプラスチック樹脂基材
２の両面に基材側から順にポリマー層３、無機化合物薄
膜層４が積層された本発明の透明ガスバリア材１であ
り、（ｂ）は透明なプラスチック樹脂基材２の両面に基
材側から順に無機化合物薄膜層４、ポリマー層３が積層
された本発明の透明ガスバリア材１であり、（ｃ）は透
明なプラスチック樹脂基材２の一方の面に基材側から順
にポリマー層３、無機化合物薄膜層４が積層され、他方
の面に基材側から順に無機化合物薄膜層４、ポリマー層
３が積層された本発明の透明ガスバリア材１であり、
（ｄ）は透明なプラスチック樹脂基材２の一方の面に基
材側から順にポリマー層３、無機化合物薄膜層４が積層
され、他方の面に基材側から順に無機化合物薄膜層４、
ポリマー層３、無機化合物薄膜層４が積層された本発明
の透明ガスバリア材１である。

【００１９】前記ポリマー層３、無機化合物薄膜層４は
複数積層させてもよく、最上層はポリマー層３、無機化
合物薄膜層４のどちらでもよい。層構成は両面とも同じ
でも、それぞれの面で異なっていても構わない。

【００２０】前記プラスチック樹脂基材２上にポリマー
層３を形成する時に、アクリレートおよび／もしくはメ
タクリレートの硬化収縮によって内部応力が発生する。
内部応力がプラスチック樹脂基材２の各々の面で同じで
あれば、均等に応力が働き、フィルムのカールを防止す
ることができる。そのため、プラスチック樹脂基材２の
両面にそれぞれ少なくともポリマー層３を同数形成する
必要がある。無機化合物薄膜層４は内部応力に影響を与
えないので、各々の面で異なっていても構わない。

【００２１】前記各層の作用等を説明すると、前記ポリ
マー層３はその上に積層する無機化合物薄膜層４をより
緻密化するために必要な核生成サイトを与えるほか、プ
ラスチック樹脂基材２に含まれる滑剤などの突起上で無
機化合物薄膜層４が割れることを防ぐ効果がある。しか
し、ポリマー層３を形成するアクリレートやメタクリレ
ートは、使用するプラスチック樹脂基材２によっては密
着力や濡れ性に問題が生じることが懸念され、そのよう
な場合はプラスチック樹脂基材２の表面にコロナ処理、
プラズマ処理、フレーム処理、薬品処理、アンカーコー
ト処理などを施してもよい。

【００２２】積層体の最上層をポリマー層３とすると、
その下にある無機化合物薄膜層４が擦れなどによって機
械的損傷を受けることを防止する効果があるが、湿潤な
環境においてはポリマー層３の変質などにより、フィル
ム全体のバリア性が劣化しやすくなる。逆に、積層体の
最上層を無機化合物薄膜層４とすると、その無機化合物
薄膜層４は機械的損傷を受けるが、水蒸気の透過を防ぐ
為、その下にあるポリマー層３の変質によるバリア性の
劣化を防ぐことができる。

【００２３】前記ポリマー層３、無機化合物薄膜層４の
積層順序、全体の層数、最上層の選択は、プラスチック
樹脂基材２の種類、要求されるバリア性能、使用環境な
どによって適宜選択することができる。また、最上層と
なるポリマー層３または無機化合物薄膜層４の上に、さ
らに防汚層、印刷層など他の機能を持つ層を形成しても
よい。

【００２４】前記プラスチック樹脂基材２は、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリビニル
アルコール、ポリアクリレート、ポリウレタン、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポ
リエーテルスルフォン、アイオノマー、セロハン、ナイ
ロンなどの延伸または未延伸のフィルムが使用でき、ガ
スバリア材の使用環境、要求性能、加工性、経済性及び
包装する内容物の種類などを考慮し適宜選択することが
できる。その厚さは、包装適性、可撓性などを考慮し１
０〜２００μｍ程度のものが用いられる。

【００２５】前記ポリマー層３は、アクリレートもしく
はメタクリレート単独、またはアクリレートとメタクリ
レートモノマーおよび／またはオリゴマーの混合樹脂か
らなり、その成分は１種類に限らず、複数のモノマーお
よび／またはオリゴマーの混合物であってもよい。複数
積層させた場合、すべてのポリマー層が同じ組成でなく
ても構わない。

【００２６】前記アクリレートモノマーおよびオリゴマ
ーは、１成分のみで使用する場合は、硬化性を考慮して
２官能以上のアクリレートが望ましい。ただし、ここで
述べるアクリレートには、ウレタンアクリレート、エポ
キシアクリレート、ポリエステルアクリレートなども含
まれる。単官能アクリレートの場合、単独で使用すると
硬化性が不十分であること、タックが残留することが問
題となるが、硬化性、残留タックの影響が現れない限
り、他の２官能以上のアクリレートと混合して使用して
もよい。

【００２７】前記メタクリレートは、一般にポリマーの
ガラス転移点が類似構造のアクリレートポリマーよりも
高く耐熱性に優れている。無機化合物薄膜層４形成時に
ポリマー層３の表面は熱的ダメージを受けるが、耐熱性
に優れたメタクリレートを用いたポリマー層３は熱膨張
変化などの影響が小さく、優れたガスバリア材を得るこ
とができる。しかし、メタクリレートはアクリレートに
比べ電子線もしくは紫外線硬化性に劣り、未硬化モノマ
ーおよびオリゴマーの残留やタックの残留が懸念され
る。硬化性を向上させるために、アクリレートと同様に
２官能以上のメタクリレートを使用することが望ましい
が、硬化性や残留タックの影響がない限り単官能メタク
リレートを含んでいても問題はない。

【００２８】使用する樹脂はアクリレートとメタクリレ
ートの混合物でもよい。硬化性や残留タックの影響、無
機化合物薄膜の製膜後のバリア性などを考慮して、混合
するアクリレートとメタクリレートの種類、混合比率を
決定する。

【００２９】前記アクリレートおよびメタクリレート構
造中に水酸基やカルボキシル基等の極性基を含有する
と、無機化合物薄膜層４の核生成剤として作用し緻密化
することによって、より高度なバリア性を有するガスバ
リア材を得ることができる。しかし、極性基数、極性基
を有するアクリレート含有量が増加すると水蒸気バリア
性が悪化する傾向があるので、適切な極性基数、含有比
率を随時選択する必要がある。

【００３０】前記ポリマー層３の積層方法は、大気中で
積層しても良いし、真空中で積層しても良い。ポリマー
層３として使用する樹脂の塗工前に、塗工面となるプラ
スチック樹脂基材２もしくは無機化合物薄膜層４との密
着力向上を目的として、その塗工面にプラズマやイオン
処理などの前処理を施してもよい。大気中で積層する方
法としては、グラビアコート、スロットコート、カーテ
ンコート、スピンコート、スキージコート、スクリーン
印刷など各種の塗布方法があげられる。ただし、樹脂塗
工を大気中で行う場合、ポリマー層３の製膜中もしくは
製膜後に大気中の塵埃などの異物が巻き込まれる恐れが
あり、これらの異物は無機化合物薄膜層４にキズなどを
与える原因となり、良好なバリア性を有するフィルムを
得ることができない可能性がある。また、液晶表示素子
のプラスチック基板や有機エレクトロルミネッセンス素
子のパッケージフィルムへの用途の場合、視覚的欠陥と
なる可能性がある。

【００３１】従って、より高度なガスバリア性や視覚的
欠陥がないことが要求される場合は、ポリマー層３の形
成は真空中で行うのが望ましい。真空中で積層する方法
としては、有機蒸着法などがあげられるが、そのほかに
真空装置内で基材に直接塗工する方法でも良い。真空中
で積層する方法は、ポリマー層３と無機化合物薄膜層４
とを同一真空装置内で形成する為、ポリマー層３もしく
は無機化合物薄膜層４を形成した後、一度も大気に曝す
ことがないので異物の混入を防ぐことができ、結果とし
て高度なバリア性を有し、視覚的欠陥が無いバリアフィ
ルムを得られる。さらに、ポリマー層３と無機化合物薄
膜層４の形成を別装置で行う場合に比べ製造コストを削
減できるという効果がある。

【００３２】前記ポリマー層３は、モノマーなどの樹脂
を塗工後に電子線もしくは紫外線によって硬化させて形
成する。電子線もしくは紫外線による硬化方法は、熱に
よる硬化に比べ硬化速度が非常に速いという利点を有す
る。紫外線による硬化を行う場合には、樹脂に光重合開
始剤を添加する必要がある。光重合開始剤としては、１
−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等がある。

【００３３】前記無機化合物薄膜層４は、酸素および水
蒸気に対するバリア性に寄与している。本発明では、無
機化合物薄膜層４として酸化アルミニウム、酸化ケイ
素、酸化マグネシウム、インジウムと錫の酸化物、また
はインジウムとセリウムの酸化物のいずれかから選択で
きる。これらの無機酸化物はガスバリア性に優れるだけ
でなく、高い透明性を示すことから透明ガスバリア材の
ガスバリア層に適用される。透明性、着色およびバリア
性能は金属元素と酸素元素の組成比により調節する。

【００３４】前記無機化合物薄膜層４の形成方法は、電
子線加熱や誘導加熱、抵抗加熱を蒸発手段とした真空蒸
着法、スパッタリング法、化学気相成長法、イオンプレ
ーティング法などを用いることができる。

【００３５】前記無機化合物薄膜層４の形成前に、プラ
スチック樹脂基材２もしくはポリマー層３の表面に対し
プラズマやイオン処理などの前処理を施しても良い。無
機化合物薄膜層４の厚さは１０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲
内が好ましい。１０ｎｍ以下では無機化合物薄膜層４で
ポリマー層３を完全に覆うことができず、十分なガスバ
リア性能を得ることができない。３００ｎｍを超えると
巻取り時にかかる曲げ応力によって薄膜が破損しガスバ
リア性が低下する恐れがある。透明性や生産コストを考
慮すると、２０ｎｍ〜４０ｎｍの範囲内が最適である。

【００３６】図２は本発明のガスバリア材を製造する真
空蒸着装置の全体を示した概略説明図であり、ポリマー
層３の硬化方法として電子線硬化法を、無機化合物薄膜
層４の形成方法として電子線加熱による真空蒸着法を適
用している。真空排気系９を接続した真空蒸着装置５内
部を、遮蔽板１９によって無機化合物薄膜層の製膜室６
ａ，６ｂ、ポリマー層の製膜室７ａ，７ｂ、巻取り室８
にそれぞれ隔離する。巻取り室８に、フイルムロール１
０ａ，１０ｂ、冷却ロール１１ａ，１１ｂを設置する。
ただし、基材の搬送は双方向可能とするため、冷却ロー
ル１１aから１１ｂに搬送する方を正方向、冷却ロール
１１ｂから１１aに搬送する方を逆方向とする。冷却ロ
ール１１ａから１１ｂの周辺に各々ポリマー層の有機物
蒸着装置１２ａ，１２ｂ、ポリマー層の電子線照射装置
１４a ，１４ｂ、無機化合物薄膜層の蒸着用電子銃１６
ａ，１６ｂ、坩堝１５ａ，１５ｂ、偏向コイル１７ａ，
１７ｂ、ポリマー層の有機物供給装置１３ａ，１３ｂ、
無機化合物薄膜層の酸素供給装置１８ａ，１８ｂを配置
している。ポリマー層の有機物蒸着装置１２ａ，１２
ｂ、ポリマー層の電子線照射装置１４ａ，１４ｂ、無機
化合物薄膜層の蒸着用電子銃１６ａ，１６ｂはそれぞれ
に真空ポンプを接続し、各プロセスに適した真空度にす
る。

【００３７】以下、正方向に搬送した場合の製膜方法に
ついて説明する。

【００３８】フイルムロール１０aとしてプラスチック
樹脂基材の原反ロールを装着し、冷却ロール１１ａから
１１ｂを介してフイルムロール１０bに至るフイルム搬
送パスを形成する。真空製膜装置５内を真空排気系９に
て排気し、真空度を１Ｐａ以下とする。真空到達後、プ
ラスチック樹脂基材上にポリマー層および無機化合物薄
膜層を形成する。製膜する順番は、積層体の構成によっ
て異なるが、正方向に搬送した場合はポリマー層から形
成される。

【００３９】まず、ポリマー層の有機物供給装置１３a
からアクリレートもしくはメタクリレート、またはアク
リレートとメタクリレートの混合樹脂溶液を供給し、ポ
リマー層の有機物蒸着装置１２ａで蒸発させ、冷却ロー
ル１１aに接し冷却されたプラスチック樹脂基材上に凝
縮させる。ポリマー層の有機物供給装置１３aで混合樹
脂溶液の蒸発速度を制御することにより、ポリマー層の
膜厚を制御できる。この後、ポリマー層の電子線照射装
置１４aにて硬化処理が行われる。本発明では、電子線
硬化、紫外線硬化ともに適用できるが、特に電子線硬化
による方法は、紫外線硬化による方法に比べ硬化速度が
速く、重合開始剤を必要としないという点で優れてい
る。

【００４０】次に、無機化合物薄膜層の蒸着用電子銃１
６ａから電子線を坩堝１５ａ内の蒸着原料に照射し、蒸
着原料を蒸発させる。本発明では、無機化合物薄膜層と
して酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウ
ム、インジウムと錫の酸化物、またはインジウムとセリ
ウムの酸化物を用いることができる。特に酸化アルミニ
ウムの真空蒸着による製膜は、製膜速度が速く生産性に
優れている。酸化アルミニウムの場合、真空蒸着の蒸着
原料として、金属アルミニウム、酸化アルミニウムのい
ずれかを選択することが可能であるが、融点は金属アル
ミニウムの方が低く気化させるために必要なエネルギー
が小さくなる。金属アルミニウムを蒸着原料とした場
合、無機化合物薄膜層の酸素供給装置１８aから酸素を
供給し反応蒸着によって酸化アルミニウム層を形成す
る。供給する酸素の量は、酸化アルミニウム層の厚さ、
酸化度、巻取り速度、真空製膜装置の大きさなどの製膜
条件によって異なる。着色、ガスバリア性を考慮し、金
属アルミニウムの単位時間あたりの蒸発量に対し酸素供
給速度が、酸素／アルミニウム＝０．１５〜０．７５
（モル換算比）になるように設定する。

【００４１】プラスチック樹脂基材の片面にポリマー
層、無機化合物薄膜層を形成後、プラスチック樹脂基材
は巻取り室８を通過してポリマー層の製膜室７ｂおよび
無機化合物薄膜層の製膜室６ｂに達し、基材の他方の面
に同様にポリマー層、無機化合物薄膜層が形成され、積
層されたフイルムロール１０ｂとして巻き取られる。

【００４２】プラスチック樹脂基材に最初に無機化合物
薄膜層から形成する場合は、フイルムロール１０ｂとし
てプラスチック樹脂基材を装着し、逆方向に搬送しなが
ら製膜を始めても、フイルムロール１０ａとしてプラス
チック樹脂基材を装着し無機化合物薄膜層を形成してか
ら逆転し、ポリマー層を形成してもよい。少なくとも片
面にポリマー層を複数積層させる場合は、片面の構成を
すべて積層した後に他面を積層すると、ポリマー層を形
成するモノマーおよび／もしくはオリゴマーの硬化収縮
の影響が顕著に現れてフィルムのカールが大きくなる。
そのため、プラスチック樹脂基材の両面に形成されたポ
リマー層の層数の差が１以下となるように、ポリマー層
および／または無機化合物薄膜層を片面ずつ交互に製膜
する。

【００４３】例えば、プラスチック樹脂基材の両面に基
材側から順にポリマー層、無機化合物薄膜層、ポリマー
層、無機化合物薄膜層を積層させた構成のガスバリア材
を製造する場合、まずフイルムロール１０ａとしてプラ
スチック樹脂基材を装着し走行させ、プラスチック樹脂
基材の第１の面に冷却ロール１１aにてポリマー層、無
機化合物薄膜層を順次形成する。次いで冷却ロール１１
ｂにて第２の面にポリマー層、無機化合物薄膜層を順次
形成する。逆方向に搬送しフイルムロール１０ａとして
巻き取ってから第1の面にポリマー層、無機化合物薄膜
層、さらに第２の面にポリマー層、無機化合物薄膜層を
順次形成する。この例では、１方向への走行でプラスチ
ック樹脂基材の両面にポリマー層が１層ずつ設けられ、
両面のポリマー層数の差は０となる。

【００４４】また、プラスチック樹脂基材の片面にポリ
マー層、無機化合物薄膜層、ポリマー層、無機化合物薄
膜層の順で、他方の面に無機化合物薄膜層、ポリマー
層、無機化合物薄膜層、ポリマー層の順で積層させた構
成のガスバリア材を製造する場合、数通りの製造手順が
考えられる。その一例は、まずフイルムロール１０aと
してプラスチック樹脂基材を装着し走行させ、プラスチ
ック樹脂基材の第1の面に冷却ロール１１aにてポリマー
層、無機化合物薄膜層を順に形成し、冷却ロール１１ｂ
にて第２の面に無機化合物薄膜層を形成する。次いで逆
方向に搬送させながら第２の面にポリマー層を形成す
る。同様の操作を繰り返して第1の面にポリマー層、無
機化合物薄膜層、第２の面に無機化合物薄膜層、ポリマ
ー層を形成する。この例では、１方向への走行でプラス
チック樹脂基材の片面のみにポリマー層が設けられてお
り、両面のポリマー層の層数の差は１であるが、次の走
行では他面にポリマー層が設けられ、層数の差は０とな
る。

【００４５】

【実施例】本発明の透明ガスバリア材を具体的な実施例
を挙げて詳細に説明する。

【００４６】〈ポリマー層３に使用する混合樹脂液の調
整〉トリエチレングリコールジアクリレート（共栄社化
学株式会社製、商品名：３ＥＧ−Ａ）とペンタエリスリ
トールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネー
トウレタンプレポリマー（共栄社化学株式会社製、商品
名：ＵＡ−３０６Ｈ）をモル比で８０／２０の割合で配
合した混合樹脂液を準備した。

【００４７】〈実施例１〉厚さ１００μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフイルム（以下、ＰＥＴフイルムとす
る）を真空製膜装置５のフイルムロール１０ａとして装
着し、真空製膜装置５内を１×１０^-1Ｐａまで減圧し
た。次に、ＰＥＴフィルムを速度０．５ｍ／秒で冷却ロ
ール１１ａに密着させて走行させた。続いて、前記準備
した混合樹脂液を、有機物供給装置１３ａ、有機物蒸着
装置１２ａを用いてＰＥＴフイルム上に蒸着した。さら
に、電子線照射装置１４ａを用いて電子線を照射し硬化
させ、ポリマー層３を形成させた。さらに、無機化合物
薄膜層の蒸着用電子銃に１５ｋＷの電力を供給して電子
線を発生させ、坩堝１５ａに装填した蒸着材料であるア
ルミニウムに照射して蒸発させた。この時アルミニウム
の酸化剤として酸素をアルミニウム蒸発速度に対してモ
ル比で０．４の割合で無機化合物薄膜層の酸素供給装置
１８ａから導入してアルミニウムと反応させ、厚さ２０
ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層４を形成した。引き続い
て、ＰＥＴフイルムの他方の面に有機物供給装置１３
ｂ、有機物蒸着装置１２ｂを用いて上記と同一の混合樹
脂液をＰＥＴフイルム上に蒸着し、電子線照射装置１４
ｂを用いて電子線を照射し硬化させ、ポリマー層３を形
成させた。さらに、前記ポリマー層３の上に上記と同一
の方法で厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層４を形
成し、酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／ＰＥＴフ
イルム／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層の構成の
積層体を作成し、本発明の透明ガスバリア材とした。

【００４８】〈実施例２〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例１の構成の積層体の両面に、さらにポ
リマー層３として前記準備した混合樹脂液を積層し硬化
させ、ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー
層／ＰＥＴフイルム／ポリマー層／酸化アルミニウム薄
膜層／ポリマー層の構成の積層体を作成し、本発明の透
明ガスバリア材とした。

【００４９】〈実施例３〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例２の構成の積層体の両面に、さらに、
無機化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化アルミ
ニウム薄膜層を積層し、酸化アルミニウム薄膜層／ポリ
マー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／ＰＥＴ
フイルム／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリ
マー層／酸化アルミニウム薄膜層の構成の積層体を作成
し、本発明の透明ガスバリア材とした。

【００５０】〈実施例４〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例３の構成の積層体の両面に、さらに、
ポリマー層３として前記準備した混合樹脂液をそれぞれ
積層し硬化させ、ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層
／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／
ＰＥＴフイルム／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層
／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層の
構成の積層体を作成し、本発明の透明ガスバリア材とし
た。

【００５１】〈実施例５〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、ＰＥＴフイルムの両面に、無機化合物薄膜層
４として厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層
し、その上にポリマー層３として、前記準備した混合樹
脂液をそれぞれ積層し硬化させ、ポリマー層／酸化アル
ミニウム薄膜層／ＰＥＴフイルム／酸化アルミニウム薄
膜層／ポリマー層の構成の積層体を作成し、本発明の透
明ガスバリア材とした。

【００５２】〈実施例６〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例５の構成の積層体の両面に、無機化合
物薄膜層４として厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜
層をそれぞれ積層し、酸化アルミニウム薄膜層／ポリマ
ー層／酸化アルミニウム薄膜層／ＰＥＴフイルム／酸化
アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウム薄
膜層の構成の積層体を作成し、本発明の透明ガスバリア
材とした。

【００５３】〈実施例７〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例６の構成の積層体の両面に、ポリマー
層３として前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、
ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸
化アルミニウム薄膜層／ＰＥＴフイルム／酸化アルミニ
ウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポ
リマー層の構成の積層体を作成し、本発明の透明ガスバ
リア材とした。

【００５４】〈実施例８〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例２の構成の積層体の一方の面に、さら
に無機化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化アル
ミニウム薄膜層を積層し、ポリマー層／酸化アルミニウ
ム薄膜層／ポリマー層／ＰＥＴフイルム／ポリマー層／
酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウ
ム薄膜層の構成の積層体を作成し、本発明の透明ガスバ
リア材とした。

【００５５】〈実施例９〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例５の構成の積層体の一方の面に、さら
に無機化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化アル
ミニウム薄膜層を積層し、ポリマー層／酸化アルミニウ
ム薄膜層／ＰＥＴフイルム／酸化アルミニウム薄膜層／
ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層の構成の積層体を
作成し、本発明の透明ガスバリア材とした。

【００５６】〈実施例１０〉真空製膜装置５を用いて同
一の方法で、ＰＥＴフイルムの一方の面に、ポリマー層
３として、前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、
その上に無機化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸
化アルミニウム薄膜層を積層し、フイルムの他方の面
に、無機化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化ア
ルミニウム薄膜層を積層し、その上にポリマー層３とし
て、前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、酸化ア
ルミニウム薄膜層／ポリマー層／ＰＥＴフイルム／酸化
アルミニウム薄膜層／ポリマー層の構成の積層体を作成
し、本発明の透明ガスバリア材とした。

【００５７】〈比較例１〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、ＰＥＴフイルムの一方の面に、ポリマー層３
として、前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、そ
の上に無機化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化
アルミニウム薄膜層を積層し、さらにその上にポリマー
層３として前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、
さらにその上に無機化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎ
ｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層し、ＰＥＴフイルム
／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／
酸化アルミニウム薄膜層の構成の積層体を作成し、比較
用の透明ガスバリア材とした。

【００５８】〈比較例２〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、比較例１の構成の積層体の片面の最上層の酸
化アルミニウム薄膜層の上に、ポリマー層３として、前
記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、ＰＥＴフイル
ム／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層
／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層の構成の積層体
を作成し、比較用の透明ガスバリア材とした。

【００５９】〈比較例３〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、比較例２の構成の積層体の片面の最上層のポ
リマー層の上に、無機化合物薄膜層４として、厚さ２０
ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層し、さらにその上
にポリマー層３として、前記準備した混合樹脂液を積層
し硬化させ、さらにその上に無機化合物薄膜層４とし
て、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層し、
ＰＥＴフイルム／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層
／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／
酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウ
ム薄膜層の構成の積層体を作成し、比較用の透明ガスバ
リア材とした。

【００６０】〈比較例４〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、比較例３の構成の積層体の片面の最上層の酸
化アルミニウム薄膜層の上に、ポリマー層３として、前
記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、ＰＥＴフイル
ム／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層
／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニ
ウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポ
リマー層の構成の積層体を作成し、比較用の透明ガスバ
リア材とした。

【００６１】〈比較例５〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、ＰＥＴフイルムの一方の面に、無機化合物薄
膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層
を積層し、さらにその上にポリマー層３として前記準備
した混合樹脂液を積層し硬化させ、さらにその上に無機
化合物薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウ
ム薄膜層を積層し、さらにその上にポリマー層３として
前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、ＰＥＴフイ
ルム／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アル
ミニウム薄膜層／ポリマー層の構成の積層体を作成し、
比較用の透明ガスバリア材とした。

【００６２】〈比較例６〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、比較例５の構成の積層体の片面の最上層のポ
リマー層の上に、無機化合物薄膜層４として、厚さ２０
ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層し、さらにその上
にポリマー層３として前記準備した混合樹脂液を積層し
硬化させ、さらにその上に無機化合物薄膜層４として、
厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層し、ＰＥ
Ｔフイルム／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸
化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウム
薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層の構成の
積層体を作成し、比較用の透明ガスバリア材とした。

【００６３】〈比較例７〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、比較例６の構成の積層体の片面の最上層の酸
化アルミニウム薄膜層の上に、ポリマー層３として、前
記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、ＰＥＴフイル
ム／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミ
ニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／
ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層の構
成の積層体を作成し、比較用の透明ガスバリア材とし
た。

【００６４】〈比較例８〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、実施例１の構成の積層体の片面の最上層の酸
化アルミニウム薄膜層の上に、ポリマー層３として、前
記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、酸化アルミニ
ウム薄膜層／ポリマー層／ＰＥＴフイルム／ポリマー層
／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層の構成の積層体
を作成し、比較用の透明ガスバリア材とした。

【００６５】〈比較例９〉真空製膜装置５を用いて同一
の方法で、ＰＥＴフイルムの一方の面に、無機化合物薄
膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層
を積層し、フイルムの他方の面に無機化合物薄膜層４と
して、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層
し、その上にポリマー層３として、前記準備した混合樹
脂液を積層し硬化させ、酸化アルミニウム薄膜層／ＰＥ
Ｔフイルム／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層の構
成の積層体を作成し、比較用の透明ガスバリア材とし
た。

【００６６】〈比較例１０〉真空製膜装置５を用いて同
一の方法で、実施例６の構成の積層体の一方の面の最上
層の酸化アルミニウム薄膜層の上に、ポリマー層３とし
て、前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、酸化ア
ルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜
層／ＰＥＴフイルム／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマ
ー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層の構成の積
層体を作成し、比較用の透明ガスバリア材とした。

【００６７】〈比較例１１〉真空製膜装置５を用いて同
一の方法で、実施例１の構成の積層体の一方の面の最上
層の酸化アルミニウム薄膜層の上に、ポリマー層３とし
て、前記準備した混合樹脂液を積層し硬化させ、酸化ア
ルミニウム薄膜層／ポリマー層／ＰＥＴフイルム／ポリ
マー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層／酸化ア
ルミニウム薄膜層の構成の積層体を作成し、比較用の透
明ガスバリア材とした。

【００６８】〈比較例１２〉真空製膜装置５を用いて同
一の方法で、実施例５の構成の積層体の一方の面のの最
上層のポリマー層の上に、無機化合物薄膜層４として、
厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層し、さら
にその上にポリマー層３として前記準備した混合樹脂液
を積層し硬化させ、ポリマー層／酸化アルミニウム薄膜
層／ＰＥＴフイルム／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマ
ー層／酸化アルミニウム薄膜層／ポリマー層の構成の積
層体を作成し、比較用の透明ガスバリア材とした

【００６９】〈比較例１３〉真空製膜装置５を用いて同
一の方法で、ＰＥＴフイルムの一方の面に、無機化合物
薄膜層４として、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜
層を積層し、さらにその上にポリマー層３として前記準
備した混合樹脂液を積層し硬化させ、フイルムの他方の
面に、ポリマー層３として、前記準備した混合樹脂液を
積層し硬化させ、その上に無機化合物薄膜層４として、
厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム薄膜層を積層し、さら
にその上に、ポリマー層３として前記準備した混合樹脂
液を積層し硬化させ、ポリマー層／酸化アルミニウム薄
膜層／ＰＥＴフイルム／ポリマー層／酸化アルミニウム
薄膜層／ポリマー層の構成の積層体を作成し、比較用の
透明ガスバリア材とした

【００７０】〈評価〉実施例１〜１０及び比較例１〜１
３の透明ガスバリア材の酸素透過度、水蒸気透過度及び
フイルムのカール度を以下の方法で測定し、評価した。
その結果を表１に示す。 （１）酸素透過度測定方法 酸素透過度測定装置（Ｍｏｄｅｒｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ社
製、ＭＯＣＯＮ ＯＸＴＲＡＮ １０／５０Ａ）を用い
て、温度３０℃、湿度７０％ＲＨの雰囲気下で測定し
た。 （２）水蒸気透過度測定方法 水蒸気透過度測定装置（Ｍｏｄｅｒｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ
社製、ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ Ｗ６）を用いて、温度４０
℃、湿度９０％ＲＨの雰囲気下で測定した。 （３）フィルムのカール度測定方法 各透明ガスバリア材を１０ｃｍ×１０ｃｍ角にスリット
して試験片とし、水平な台上に凸面を下にして置く。試
験片の四つ角と台との距離を測定し、その算術平均値を
フィルムのカール度として測定した。

【００７１】

【表１】

【００７２】表１の結果から、実施例１〜７はプラスチ
ック樹脂基材の両面に、同数のポリマー層と酸化アルミ
ニウム薄膜層を同じ順番で交互に積層させているので、
酸素透過度及び水蒸気透過度は非常に小さく、良好なガ
スバリア性を示しており、かつ、内部応力が均等になり
カールがほとんど発生していない。実施例８〜９はプラ
スチック樹脂基材の両面にポリマー層と酸化アルミニウ
ム薄膜層を同じ順番で積層させ、各面のポリマー層数を
同じにしているので、内部応力が均一となりカールの小
さいフィルムを得ることが出来た。実施例１０はプラス
チック樹脂基材の両面にポリマー層と酸化アルミニウム
層を異なる順番で積層させ、各面のポリマー層数を同じ
にしているので、同様にカールの小さいフィルムを得る
ことが出来た。一方、比較例１〜７はプラスチック樹脂
基材の片面のみにポリマー層および酸化アルミニウム薄
膜層を積層しているので、積層フイルムのカールは非常
に大きい。比較例８〜１０はプラスチック樹脂基材の両
面にポリマー層と酸化アルミニウム薄膜層を同じ順番で
積層させ、各面の酸化アルミニウム層の数は同じである
が、ポリマー層の数が異なるので、同様に積層フイルム
のカールは大きい。比較例１１〜１２はプラスチック樹
脂基材の両面にポリマー層と酸化アルミニウム薄膜層を
同じ順番で積層させ、各面のポリマー層の数と酸化アル
ミニウム層の数が異なるので、同様に積層フイルムのカ
ールは大きい。比較例１３はプラスチック樹脂基材の両
面にポリマー層と酸化アルミニウム薄膜層を異なる順番
で積層させ、ポリマー層と酸化アルミニウム層の数が異
なるので、内部応力がつりあっていないため、積層フィ
ルムのカールが大きい。

【００７３】

【発明の効果】本発明の透明ガスバリア材及びその製造
方法は、電子線または紫外線重合性モノマーおよび／も
しくはオリゴマーから形成されるポリマー層を、プラス
チック樹脂基材の両面に同数設けることによって、硬化
収縮時に発生する応力が均等になり積層フィルムのカー
ルを抑えられ、且つ透明性に優れ、酸素透過度、水蒸気
透過度共に小さく、高いガスバリア性を有することがで
きる。ポリマー層と無機化合物薄膜層を複数積層させる
ことによって、さらに高度なガスバリア性を持たせるこ
とが可能となる。さらに、そのポリマー層と無機化合物
薄膜層の形成を同一真空製膜装置内で連続的に行うこと
により、生産性がさらに向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は積層体の両面の最上層に無機化合物薄
膜層を設けた一実施例の本発明の透明ガスバリア材の側
断面図であり、（ｂ）は積層体の両面の最上層にポリマ
ー層を設けた他の実施例の本発明の透明ガスバリア材の
側断面図であり、（ｃ）は積層体の一方の面の最上層に
無機化合物薄膜層を設け、他方の面の最上層にポリマー
層を設けた他の実施例の本発明の透明ガスバリア材の側
断面図であり、（ｄ）は（ｃ）の積層体の一方の面の最
上層のポリマー層の上に、さらに無機化合物薄膜層を設
けた他の実施例の本発明の透明ガスバリア材の側断面図
である。

【図２】本発明の透明ガスバリア材を製造する真空製膜
装置の全体を示した概要説明図である。

【符号の説明】

１…透明ガスバリア材 ２…プラスチック樹脂基材 ３…ポリマー層 ４…無機化合物薄膜層 ５…真空製膜装置 ６ａ，６ｂ…無機化合物薄膜層の製膜室 ７ａ，７ｂ…ポリマー層の製膜室 ８…巻取り室 ９…真空排気系 １０ａ，１０ｂ…フイルムロール １１ａ，１１ｂ…冷却ロール １２ａ，１２ｂ…ポリマー層の有機物蒸着装置 １３ａ，１３ｂ…ポリマー層の有機物供給装置 １４ａ，１４ｂ…ポリマー層の電子線照射装置 １５ａ，１５ｂ…坩堝 １６ａ，１６ｂ…無機化合物薄膜層の電子線照射装置 １７ａ，１７ｂ…偏向コイル １８ａ，１８ｂ…無機化合物薄膜層の酸素供給装置 １９…遮蔽板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F100 AA00D AA00E AA17D AA17E AA18D AA18E AA19D AA19E AA20D AA20E AA33D AA33E AB33D AB33E AK01A AK25B AK25C AL05B AL05C BA05 BA07 BA10D BA10E EH66 GB23 GB66 JB14B JB14C JD02 JN01 JN01A 4K029 AA11 AA25 BA43 BA44 BA45 BA46 BB02 BC08 GA03

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明なプラスチック樹脂基材の両面に、電
   子線または紫外線重合性モノマーおよび／もしくはオリ
   ゴマーを重合したポリマーからなるポリマー層、無機化
   合物薄膜層を交互に積層した積層体において、ポリマー
   層がそれぞれの面に同数積層されていることを特徴とす
   る透明ガスバリア材。
2. 【請求項２】透明なプラスチック樹脂基材の両面に、電
   子線または紫外線重合性モノマーおよび／もしくはオリ
   ゴマーを重合したポリマーからなるポリマー層、無機化
   合物薄膜層を交互に積層した積層体において、ポリマー
   層と無機化合物薄膜層がそれぞれの面に同数積層されて
   いることを特徴とする透明ガスバリア材。
3. 【請求項３】前記プラスチック樹脂基材の両面に、基材
   側から順にポリマー層、無機化合物薄膜層を交互に積層
   し、両面の最上層に無機化合物薄膜層を形成させたこと
   を特徴とする請求項１又は請求項２記載の透明ガスバリ
   ア材。
4. 【請求項４】前記プラスチック樹脂基材の両面に、基材
   側から順に無機化合物薄膜層、ポリマー層を交互に積層
   し、両面の最上層にポリマー層を形成させたことを特徴
   とする請求項１又は請求項２記載の透明ガスバリア材。
5. 【請求項５】前記プラスチック樹脂基材の一方の面に、
   基材側から順にポリマー層、無機化合物薄膜層を交互に
   積層し、その最上層に無機化合物薄膜層を形成させ、他
   方の面に基材側から順に無機化合物薄膜層、ポリマー層
   を交互に積層し、その最上層にポリマー層を形成させた
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の透明ガス
   バリア材。
6. 【請求項６】前記プラスチック樹脂基材の一方の面に、
   基材側から順にポリマー層、無機化合物薄膜層を交互に
   積層し、その最上層に無機化合物薄膜層を形成させ、他
   方の面に基材側から順に無機化合物薄膜層、ポリマー層
   を交互に積層し、さらに最上層に無機化合物薄膜層を積
   層したことを特徴とする請求項１記載の透明ガスバリア
   材。
7. 【請求項７】前記ポリマー層がアクリレートまたはメタ
   クリレートからなることを特徴とする請求項１乃至請求
   項６のいずれか１項記載の透明ガスバリア材。
8. 【請求項８】前記ポリマー層がアクリレートとメタクリ
   レートの混合物からなることを特徴とする請求項１乃至
   請求項６のいずれか１項記載の透明ガスバリア材。
9. 【請求項９】前記無機化合物薄膜層が酸化アルミニウ
   ム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、インジウムと錫の
   酸化物、またはインジウムとセリウムの酸化物からなる
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項
   記載の透明ガスバリア材。
10. 【請求項１０】前記請求項１乃至請求項９のいずれか１
    項記載の透明ガスバリア材の製造時に、プラスチック樹
    脂基材の両面に形成されたポリマー層の層数の差が1以
    下となるような順序で、ポリマー層と無機化合物薄膜層
    を交互に積層することを特徴とする透明ガスバリア材の
    製造方法。
11. 【請求項１１】前記ポリマー層および無機化合物薄膜層
    を巻取状の透明なプラスチック樹脂基材上に連続して積
    層することを特徴とする請求項１０記載の透明ガスバリ
    ア材の製造方法。
12. 【請求項１２】前記ポリマー層および無機化合物薄膜層
    を真空中で積層することを特徴とする請求項１０又は請
    求項１１記載の透明ガスバリア材の製造方法。