JP2003075066A

JP2003075066A - ワーク乾燥装置

Info

Publication number: JP2003075066A
Application number: JP2001269436A
Authority: JP
Inventors: Haruhiro Tokida; 晴弘常田; Masaki Nakamura; 優樹中村
Original assignee: Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2001-09-05
Filing date: 2001-09-05
Publication date: 2003-03-12

Abstract

(57)【要約】【課題】ワークの他部材との接触部分における錆など
の発生を防止する。【解決手段】ワーク乾燥装置は、クリーンであり且つ
乾燥に適した状態の気体３を洗浄後のワーク２に噴き付
けてワーク２を非接触で保持しつつ乾燥させるベルヌー
イチャック１を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク乾燥装置に
関する。さらに詳述すると、本発明は、非接触でワーク
を保持する非接触式チャックを用いたワーク乾燥装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ワーク（例えばモータ等の精密機
械の部品）の洗浄・乾燥システムでは、複数個のワーク
が配置される図１２に示す洗浄・乾燥用のトレイ１００
が用いられ、バッチ処理的に行われる。洗浄・乾燥シス
テムの工程を図１３に示す。先ず、複数個のワークが配
置されたトレイを溶媒中に浸して超音波洗浄を行い（ス
テップ１０１）、次に水によりリンス（濯ぎ）を行い
（ステップ１０２）、次にエアーブローにより水を切り
（ステップ１０３）、次に減圧させた７０℃程度の環境
下で真空乾燥させ（ステップ１０４）、最後に乾燥炉
（６０℃程度）に１〜２時間程度置いて完全に乾燥させ
る（ステップ１０５）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワークの洗浄・乾燥システムでは、乾燥時において次の
ような問題がある。即ち、ワークのトレイ１００と接触
している部分が乾燥し難く、ウォータマーク（しみ）や
錆などが発生する原因となる。また、ワークのトレイ１
００と接触している部分に摩擦による傷が発生してしま
う場合がある。また、このときに破片や削り屑が発生
し、ごみ発生の原因ともなる。また、乾燥用の熱風など
により、ワークが帯電した場合、ワークにごみが引き付
けられてしまう。

【０００４】また、トレイ１００を用いたバッチ処理で
は、トレイ１００の位置（例えば中央部や端部など）に
よって、ワークの洗浄・乾燥精度にばらつきがでてしま
う。

【０００５】そこで本発明は、ワークの乾燥遅れによる
ウォータマーク（しみ）や錆などの発生を防止し、ワー
クの傷の発生を防止できるワーク乾燥装置を提供するこ
とを目的とする。さらに本発明は、ワークの帯電を防止
できるワーク乾燥装置を提供することを目的とする。さ
らに本発明は、ワークの洗浄・乾燥精度のばらつきを防
止できるワーク乾燥装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項１記載のワーク乾燥装置は、クリーンであり
且つ乾燥に適した状態の気体を洗浄後のワークに噴き付
けて該ワークを非接触で保持しつつ乾燥させる非接触式
チャックを備えるようにしている。

【０００７】したがって、洗浄後のワークは、非接触式
チャックから噴き付けられるクリーンであり且つ乾燥に
適した状態の気体によって、非接触で保持されるととも
に乾燥される。即ちワークは、何れの部材とも非接触の
状態で乾燥されるから、他部材と接触することに起因す
るウォータマークや錆などが発生することはない。ま
た、非接触であるから、ワークに傷が発生することもな
い。さらに、ワークを個別に非接触式チャックを用いて
保持し乾燥することで、ワークの洗浄・乾燥精度がばら
つくことがなく、常に安定した精度が得られる。

【０００８】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載のワーク乾燥装置において、ワークに対向する非接触
式チャックの保持面は、ワークの曲面形状に応じた曲面
形状に形成されるものとしている。したがって、円筒な
どの曲面形状を有するワークを非接触でチャックするこ
とができる。

【０００９】また、請求項３記載の発明は、請求項１ま
たは２記載のワーク乾燥装置において、クリーンであり
且つ乾燥に適した状態の気体を噴出するノズルを更に備
え、このノズルにおける気体を噴出する力は、非接触式
チャックにおけるワークを保持する力よりも小さいもの
としている。したがって、ノズルから噴出される気体に
より、ワークが非接触式チャックから脱落してしまうこ
とを防止しつつ、ワークの乾燥を完全に行える。

【００１０】また、請求項４記載の発明は、請求項１か
ら３のいずれかに記載のワーク乾燥装置において、非接
触式チャックに、ワークの脱落・飛び出し防止用手段を
設けるようにしている。したがって、非接触式チャック
から噴出される気体又はノズルから噴出される気体によ
って、ワークが多少移動することがあっても、ワークの
脱落・飛び出しを防止できる。

【００１１】また、請求項５記載の発明は、請求項１か
ら４のいずれかに記載のワーク乾燥装置において、イオ
ン発生器を備えて、非接触式チャックとノズルとの両方
または一方に供給する気体をイオン化するようにしてい
る。したがって、帯電したワークにイオン化した気体を
噴き付けることで、静電気を除去することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
実施形態に基づいて詳細に説明する。

【００１３】図１から図３に本発明のワーク乾燥装置の
実施の一形態を示す。このワーク乾燥装置は、クリーン
であり且つ乾燥に適した状態の気体３を洗浄後のワーク
２に噴き付けてワーク２を非接触で保持しつつ乾燥させ
る非接触式チャックとしてのベルヌーイチャック１を備
えている。

【００１４】ベルヌーイチャック１は、気体流速の二乗
に逆比例して静圧が下がるという、いわゆるベルヌーイ
の定理を応用し、気体３をワーク２に対して噴出して静
圧の変化による吸引力によって非接触でワーク２をチャ
ックするものである。なお、図１中の二点鎖線の矢印は
ベルヌーイチャック１の内部に設けられた気体３の流路
の一例を示し、図２は図１中のＩ−Ｉ線で切断した断面
図を示す。なお、非接触でワーク２をチャックできるの
であればベルヌーイチャック１の構造が特に限定される
ものではなく、既知の又は新規の構造を用いて良い。ま
た、本明細書にいうベルヌーイチャック１には、例えば
ベルヌーイ効果の他にエゼクタ効果を利用してワーク２
を非接触でチャックするフロートチャック（ソーラリサ
ーチ研究所の登録商標）などのベルヌーイチャック１の
基本原理を応用したものも含むものとする。

【００１５】ベルヌーイチャック１に利用する気体３は
例えばエアー（空気）である（以下、エアー３と表記す
る）。ただし、ワーク２の保持・乾燥に適したものであ
れば、他の気体を用いても良いのは勿論である。また、
ベルヌーイチャック１にエアー３を送り込む送風機（図
示省略）には、フィルター（図示省略）が設けられてい
て、所望のクリーン度を有するエアー３をベルヌーイチ
ャック１に送り込み、ワーク２に噴き付けるようにして
いる。

【００１６】また、ベルヌーイチャック１に利用するエ
アー３は、乾燥に適した状態のものとし、例えば５０℃
以上の温風（熱風）であることが好ましい。エアー３を
高温にすることで乾燥時間を大幅に短縮できる。本実施
形態では、８０℃程度に熱したエアー３を用いている。
なお、エアー３の温度は必ずしも特定の範囲に限定され
るものではなく、ワーク２の大きさ、エアー３の流速、
周囲の湿度等を考慮の上、乾燥に適したものであれば良
い。

【００１７】また、例えば本実施形態では、図２に示す
ように、ワーク２に対向するベルヌーイチャック１の保
持面１ａは、ワーク２の曲面形状に応じた曲面形状に形
成されている。これにより、曲面形状のワーク２を非接
触でチャックすることができるようにしている。例えば
本実施形態のワーク２は円筒形状であり、ベルヌーイチ
ャック１の保持面１ａは、ワーク２との間に形成される
エアー３の流路の断面積が一定となるように曲面形状に
形成されている。

【００１８】また、本実施形態のワーク乾燥装置は、ク
リーンであり且つワーク２の乾燥に適した状態の気体を
噴出するノズル４を更に備えている。気体は例えばエア
ー３であり、フィルターを用いて所望のクリーン度を得
るようにし、また１００℃程度に熱したものとしてい
る。ここで、ノズル４におけるエアー３を噴出する力
は、ベルヌーイチャック１におけるワーク２を保持する
力よりも小さいものに設定している。したがって、ノズ
ル４によるエアーブローで、ベルヌーイチャック１から
ワーク２が脱落してしまうことがないようにしつつ、ワ
ーク２の乾燥を完全に行うことができるようにしてい
る。なお、ノズル４によるエアーブローに際して、アー
ム型ロボットなどを用いて所定経路でノズル４を移動さ
せるようにしても良く、または人手によってノズル４を
動かすようにしても良い。

【００１９】また、本実施形態のベルヌーイチャック１
には、ワーク２の脱落・飛び出し防止用手段として安全
網５が設けられている。安全網５は、ベルヌーイチャッ
ク１やノズル４から噴出されるエアー３によって、ワー
ク２がベルヌーイチャック１に保持される位置（以下、
単にワーク２の保持位置と呼ぶ。）から大きく移動しな
いように規制して、ワーク２がベルヌーイチャック１か
ら脱落したり飛び出したりすることを防止している。

【００２０】安全網５は、例えば釣り糸に用いられる合
成繊維（例えばナイロンモノフィラメント等）を用いる
ことが好ましい。釣り糸であれば、軽量で、且つワーク
２との接触面積を小さくできるし、またベルヌーイチャ
ック１の空気流を乱す障害にもならない。しかも、引っ
張りに対する強度にも優れている。また、釣り糸を適度
な弾性力を有するようにベルヌーイチャック１に張設す
ることで、ワーク２が安全網５に接触した場合にワーク
２を元の保持位置に復帰させることができる。更に、導
電性の良い材料（例えばカーボンを含有した材料）で構
成された釣り糸を用いることがより好ましい。この場
合、安全網５は除電効果をも有することになり、ワーク
２の帯電を防止して、ワーク２にごみが付着することを
防止できる。なお、安全網５を設ける位置は、ワーク２
の形状やベルヌーイチャック１の形状などに適合したも
のであれば良く、特に限定されないが、例えば本実施形
態では、円筒形状ワーク２の長手方向両端近傍に対応す
る位置に設けるようにしている。

【００２１】また、本実施形態のワーク乾燥装置では、
イオン発生器（イオナイザ、図示省略）を備えていて、
ベルヌーイチャック１及びノズル４に供給するエアー３
をイオン化できるようにもしている。これにより、ワー
ク２が帯電した場合、適宜イオン化したエアー３をワー
ク２に噴き付けることで、乾燥し且つ静電気を除去する
ことができる。なお、ベルヌーイチャック１とノズル４
との両方にイオン化したエアー３を供給するものには限
らず、いずれか一方に供給しても良い。また、ワーク２
の静電気を除去する方法としては、イオン化したエアー
３を用いるものに限定されず、例えばノズル４により別
方向からエアー３をワーク２に噴き付けることで、静電
気を除去するようにしても良い。

【００２２】以上のように構成されるワーク乾燥装置を
用いたワーク２の洗浄・乾燥の工程の一例を図３に示
す。先ず、ワーク２を溶媒中に浸して超音波洗浄を行い
（ステップ１）、次に水によりリンス（濯ぎ）を行い
（ステップ２）、次にエアーブローにより水を切る（ス
テップ３）。水切りが終了したワーク２をベルヌーイチ
ャック１により非接触で保持する（ステップ４）。ここ
でベルヌーイチャック１からワーク２に噴き付けられる
エアー３は、フィルタを通したクリーンエアーであり、
しかもワーク２の乾燥に適した温風（８０℃程度）であ
る。また、ワーク２は円筒形状であるから、ベルヌーイ
チャック１から噴出されたエアー３はワーク２の裏側に
も回りこんで流れる。したがって、ワーク２はベルヌー
イチャック１に非接触で保持されながら良好に乾燥され
る。更にワーク２の周囲からノズル４により高温（１０
０℃程度）のクリーンなエアー３が噴き付けられること
で、ワーク２をむらなく完全に乾燥することができる。
乾燥が完了したら、ベルヌーイチャック１に供給するエ
アー３をストップさせて、ワーク２を取り外す。

【００２３】なお、ノズル４におけるエアー３を噴出す
る力は、ベルヌーイチャック１におけるワーク２を保持
する力よりも小さいものに設定しているので、ノズル４
のエアーブローにより、ベルヌーイチャック１からワー
ク２が脱落してしまうことはない。また、ベルヌーイチ
ャック１やノズル４のエアーブローによって、万が一ワ
ーク２が保持位置から若干ずれた場合でも、ワーク２が
安全網５に接触することで、ワーク２は保持位置に復帰
する。また、ワーク２が帯電するような場合には、ベル
ヌーイチャック１やノズル４からイオン化されたエアー
３をワーク２に噴き付けることで、ワーク２の静電気が
除去される。

【００２４】以上のように本発明のワーク乾燥装置によ
れば、ワーク２は、乾燥時においてベルヌーイチャック
１を始め何れの部材とも非接触であるから、他部材と接
触することに起因するウォータマーク（しみ）や錆など
が発生することはない。また、非接触であるから、ワー
ク２に傷が発生することもない。さらに、ワーク２を個
別にベルヌーイチャック１を用いて保持し乾燥している
ので、ワーク２の洗浄・乾燥精度がばらつくことがな
く、常に安定した精度が得られる。

【００２５】さらに、ワーク２に対向するベルヌーイチ
ャック１の保持面１ａは、ワーク２の曲面形状に応じた
曲面形状に形成されているので、ワーク２が円筒形状な
どであっても非接触でチャックすることが可能である。

【００２６】さらに、クリーンであり且つ乾燥に適した
状態のエアー３を噴出するノズル４を備えるとともに、
ノズル４におけるエアー３を噴出する力を、ベルヌーイ
チャック１におけるワーク２を保持する力よりも小さく
設定することで、ノズル４によるエアーブローで、ワー
ク２がベルヌーイチャック１から脱落してしまうことを
防止しつつ、ワーク２の乾燥を完全に行える。

【００２７】さらに、ベルヌーイチャック１に釣り糸に
よる安全網５を設置することで、万が一ワーク２がずれ
ることがあった場合にも、限りなく小さな接触でワーク
２を所定の保持位置に復帰させることができる。さら
に、導電性の良い材料で構成された釣り糸を用いること
で、安全網５は除電効果をも有することになり、ワーク
２の帯電を防止して、ワーク２にごみが付着することを
防止できる。

【００２８】さらに、イオン発生器を備えて、ベルヌー
イチャック１とノズル４との両方または一方に供給する
エアー３をイオン化することで、より確実にワーク２の
帯電を防止して、ワーク２にごみが付着することを防止
できる。

【００２９】なお、上述の実施形態は本発明の好適な実
施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能
である。

【００３０】例えば、ベルヌーイチャック１のみで十分
にワーク２を乾燥できる場合は、ノズル４を省略しても
良い。また、ベルヌーイチャック１でワーク２を保持す
る際に、水切りを行うようにして、図３中ステップ３の
エアーブローによる水切りを省略するようにしても良
い。

【００３１】また、例えば上述の実施形態では、図１中
の上方からベルヌーイチャック１でワーク２を保持して
いたが、必ずしもこの例に限定されず、例えば図１０に
示すように下方からベルヌーイチャック１でワーク２を
保持するようにしても良い。

【００３２】また、ベルヌーイチャック１に保持された
ワーク２を軸中心に回転させるように（図１０中矢印Ｃ
参照）、ノズル４を利用してワーク２にエアー３を当て
るようにしても良い。ワーク２が軸中心に回転すること
で、満遍なくベルヌーイチャック１及びノズル４から噴
出されるエアー３がワーク２に噴き付けられ、ワーク２
をより確実にむらなく乾燥することができる。

【００３３】また、ワーク２の形状は特に限定されず、
ベルヌーイチャック１の形状もワーク２を非接触で保持
できるものであれば特に限定されるものではない。例え
ば、図４に示すように、円板状のワーク２に対し、ワー
ク２の平面を非接触で吸着するべく、平面上の保持面を
有するベルヌーイチャック１を用いても良い。さらに、
図５に示すようにベルヌーイチャック１の保持面周囲に
フランジ部６を設けて、このフランジ部６に釣り糸で構
成した安全網５を設けるようにしても良い。

【００３４】また、例えば図６及び図８に示すように、
ワーク２の曲面形状に応じて保持面を曲面形状にしたベ
ルヌーイチャック１を、複数個（図の例では２個）使用
するようにしても良い。このように、複数個のベルヌー
イチャック１を組み合わせて使用することにより、ワー
ク２が円筒形状などであっても確実に非接触で保持する
ことができる。さらに、図７及び図９に示すように、図
６及び図８に示したベルヌーイチャック１に安全網５を
設けるようにしても良い。また、複数個のベルヌーイチ
ャック１を組み合わせて使用して、同時に複数個のワー
ク２を保持し乾燥するようにしても良い。

【００３５】さらに、クリーンであり且つ乾燥に適した
状態の気体３を洗浄後のワーク２に噴き付けて該ワーク
２を非接触で保持しつつ乾燥させる手段は、必ずしもベ
ルヌーイチャック１を用いたものに限らず、非接触式チ
ャックであれば良い。例えば、図１１に示すような空気
浮上式チャックを用いてワーク２の搬送路に斜面７を設
けて、斜面７に沿って図１１中下方から上方に向かって
気体３を吹き付けるようにする（図１１中の二点鎖線の
矢印参照）。なお、気体は、例えばエアー３とし、クリ
ーンで且つ乾燥に適した状態（８０℃程度の温風）とす
る。当該エアー３の流量及び流速は、例えば図１１中矢
印Ａで示すように斜面７の上方から下方に向けてワーク
２を移動させた場合に、ワーク２がエアー３の流れによ
って浮遊して斜面７に接触すること無く、且つ、ワーク
２が斜面７を移動する間にワーク２が完全に乾燥するよ
うなスピードで、ワーク２が斜面７を下っていくように
設定する。これにより、洗浄後のワーク２を斜面７の上
方から下方に向けて移動させることで、ワーク２を乾燥
させることができる。この場合も、ワーク２は乾燥時に
おいて何れの部材とも非接触であるから、ウォータマー
ク（しみ）や錆などが発生することはない。また、非接
触であるから、ワーク２に傷が発生することもない。ま
た、ワーク２を個別に乾燥できるので、ワーク２の洗浄
・乾燥精度がばらつくことがなく、常に安定した精度が
得られる。又、図１４に示す構造の空気浮上式チャック
１’であっても良い。この空気浮上式チャック１’は、
例えばワーク２の略半分が非接触で収容できる空間を有
し、当該空間の底面付近からクリーンかつ乾燥に適した
気体３をワーク２に噴きつけてワーク２を非接触で保持
するとともに乾燥するようにしている。尚、図１１に示
す斜面７を用いる構造を図１５に示すような構造にし、
ベルヌーイチャック１”を用いるようにしても良い。気
体３は空気以外でもよく、例えば、窒素ガス、不活性ガ
ス等を用いても良い。

【００３６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１記載のワーク乾燥装置によれば、クリーンであり且つ
乾燥に適した状態の気体を洗浄後のワークに噴き付けて
該ワークを非接触で保持しつつ乾燥させる非接触式チャ
ックを備えるようにしているので、ワークは、乾燥時に
おいて何れの部材とも非接触となり、他部材と接触する
ことに起因するウォータマークや錆などが発生すること
がない。また、非接触であるから、ワークに傷が発生す
ることもない。さらに、ワークを個別に非接触式チャッ
クを用いて保持し乾燥することで、ワークの洗浄・乾燥
精度がばらつくことがなく、常に安定した洗浄・乾燥が
行える。

【００３７】さらに、請求項２記載のワーク乾燥装置に
よれば、ワークに対向する非接触式チャックの保持面
は、ワークの曲面形状に応じた曲面形状に形成されるも
のとしているので、非接触式チャックは円筒などの曲面
形状を有するワークを非接触でチャックすることができ
る。

【００３８】また、請求項３記載のワーク乾燥装置によ
れば、クリーンであり且つ乾燥に適した状態の気体を噴
出するノズルを更に備え、このノズルにおける気体を噴
出する力は、非接触式チャックにおけるワークを保持す
る力よりも小さいものとしているので、ノズルから噴出
される気体により、ワークが非接触式チャックから脱落
してしまうことを防止しつつ、ワークの乾燥を完全に行
うことができる。

【００３９】さらに、請求項４記載のワーク乾燥装置に
よれば、非接触式チャックに、ワークの脱落・飛び出し
防止用手段を設けるようにしているので、非接触式チャ
ックから噴出される気体又はノズルから噴出される気体
によって、ワークが多少移動することがあっても、ワー
クの脱落・飛び出しを防止することができる。

【００４０】また、請求項５記載のワーク乾燥装置によ
れば、イオン発生器を備えて、非接触式チャックとノズ
ルとの両方または一方に供給する気体をイオン化するよ
うにしているので、帯電したワークにイオン化した気体
を噴き付けることで、静電気を除去することができ、ワ
ークにごみが付着することを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のワーク乾燥装置の実施の一形態を示す
概略斜視図である。

【図２】図１中のＩ−Ｉ線で切断した概略横断面図であ
る。

【図３】本発明のワーク乾燥装置を用いたワークの洗浄
・乾燥の工程の一例を示す概略フローチャートである。

【図４】本発明のワーク乾燥装置の他の実施形態を示す
概略斜視図である。

【図５】本発明のワーク乾燥装置の更に他の実施形態を
示す概略斜視図である。

【図６】本発明のワーク乾燥装置の更に他の実施形態を
示す概略斜視図である。

【図７】本発明のワーク乾燥装置の更に他の実施形態を
示す概略斜視図である。

【図８】本発明のワーク乾燥装置の更に他の実施形態を
示す概略斜視図である。

【図９】本発明のワーク乾燥装置の更に他の実施形態を
示す概略斜視図である。

【図１０】本発明のワーク乾燥装置の更に他の実施形態
を示す概略斜視図である。

【図１１】本発明のワーク乾燥装置の更に他の実施形態
を示す概略斜視図である。

【図１２】従来のワークの洗浄・乾燥システムで用いる
洗浄・乾燥用のトレイを示す概略斜視図である。

【図１３】従来のワークの洗浄・乾燥の工程を示す概略
フローチャートである。

【図１４】本発明のワーク乾燥装置の他の実施形態を示
し、（Ａ）は概略平面図を、（Ｂ）は概略側面図を示
す。

【図１５】本発明のワーク乾燥装置の他の実施形態を示
し、（Ａ）は概略側面図を、（Ｂ）は概略正面図を示
す。

【符号の説明】

１ベルヌーイチャック（非接触式チャック）２ワーク３エアー（気体）４ノズル５安全網（脱落・飛び出し防止用手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3L113 AA01 AB02 AB09 AC30 AC45 AC48 AC64 AC74 AC90 BA34 DA11 DA24

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーンであり且つ乾燥に適した状態の
気体を洗浄後のワークに噴き付けて該ワークを非接触で
保持しつつ乾燥させる非接触式チャックを備えたことを
特徴とするワーク乾燥装置。
【請求項２】前記ワークに対向する前記非接触式チャ
ックの保持面は、前記ワークの曲面形状に応じた曲面形
状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のワ
ーク乾燥装置。
【請求項３】クリーンであり且つ乾燥に適した状態の
気体を噴出するノズルを更に備え、前記ノズルにおける
気体を噴出する力は、前記非接触式チャックにおける前
記ワークを保持する力よりも小さいことを特徴とする請
求項１または２記載のワーク乾燥装置。
【請求項４】前記非接触式チャックには、前記ワーク
の脱落・飛び出し防止用手段が設けられてなることを特
徴とする請求項１から３のいずれかに記載のワーク乾燥
装置。
【請求項５】イオン発生器を備えて、前記非接触式チ
ャックと前記ノズルとの両方または一方に供給する気体
をイオン化したことを特徴とする請求項１から４のいず
れかに記載のワーク乾燥装置。