JP2003037306A - 積層型圧電体素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電体素子およびこれを用いた圧電アクチュエータInfo
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 素子の小型化を図り、圧電アクチュエータの
活性部から半田付け箇所まで十分な距離を確保できる積
層型圧電体素子を提供する。 【解決手段】 圧電基板７の対向する一対の側面７ｂ，
７ｃからそれぞれ対向する側面に向けて互いに長さが異
なる短尺側内部電極８と長尺側内部電極９とが圧電基板
７内で交互に積層配置され、両内部電極８，９の積層部
分には活性部１０が形成され、圧電基板７の対向する両
側面７ｂ，７ｃの内、活性部近傍側の側面７ｂには短尺
側内部電極８に接続の第１外部電極１３1が、活性部遠
方側の側面７ｃには長尺側内部電極９に接続の第２外部
電極１４1が電気的に接続される。第１外部電極１３
1は、圧電基板７の活性部近傍側の側面７ｂから主表面
７ａと側面７ｃに隣接する位置まで延設される。第２外
部電極１４1は、第１外部電極１３1の側面７ｃに隣接す
る位置で主表面７ａに回り込んで形成されている。
活性部から半田付け箇所まで十分な距離を確保できる積
層型圧電体素子を提供する。 【解決手段】 圧電基板７の対向する一対の側面７ｂ，
７ｃからそれぞれ対向する側面に向けて互いに長さが異
なる短尺側内部電極８と長尺側内部電極９とが圧電基板
７内で交互に積層配置され、両内部電極８，９の積層部
分には活性部１０が形成され、圧電基板７の対向する両
側面７ｂ，７ｃの内、活性部近傍側の側面７ｂには短尺
側内部電極８に接続の第１外部電極１３1が、活性部遠
方側の側面７ｃには長尺側内部電極９に接続の第２外部
電極１４1が電気的に接続される。第１外部電極１３
1は、圧電基板７の活性部近傍側の側面７ｂから主表面
７ａと側面７ｃに隣接する位置まで延設される。第２外
部電極１４1は、第１外部電極１３1の側面７ｃに隣接す
る位置で主表面７ａに回り込んで形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層型圧電体素
子、およびこれを用いた圧電アクチュエータに関する。
子、およびこれを用いた圧電アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、インクジェット方式のプリンタ
のプリンタヘッドとして、圧電効果を利用した圧電アク
チュエータが使用される場合がある。このような圧電ア
クチュエータ１0は、図８に示すように、圧電体素子の
厚み方向と直交する方向、いわゆるｄ３１方向に変位す
る圧電特性を有している。そして、圧電アクチュエータ
１0の底面の一部が固定基板２に接着され、また、非固
定側の端部に圧力発生室３が当接して配置されている。
また、圧電アクチュエータ１の上面には、信号入力用の
フレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣという）４の
一端が接続されている。これにより、ＦＰＣ４から信号
を入力すると、圧電アクチュエータ１0がその厚み方向
と直交する方向に変位して圧力発生室３内のインクを加
圧することでインクが外部に吐出される。
のプリンタヘッドとして、圧電効果を利用した圧電アク
チュエータが使用される場合がある。このような圧電ア
クチュエータ１0は、図８に示すように、圧電体素子の
厚み方向と直交する方向、いわゆるｄ３１方向に変位す
る圧電特性を有している。そして、圧電アクチュエータ
１0の底面の一部が固定基板２に接着され、また、非固
定側の端部に圧力発生室３が当接して配置されている。
また、圧電アクチュエータ１の上面には、信号入力用の
フレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣという）４の
一端が接続されている。これにより、ＦＰＣ４から信号
を入力すると、圧電アクチュエータ１0がその厚み方向
と直交する方向に変位して圧力発生室３内のインクを加
圧することでインクが外部に吐出される。
【０００３】従来、このような圧電アクチュエータ１0
を構成するために使用される積層型圧電体素子６0とし
て、図９および図１０に示す構成のものが知られている
（たとえば、特開平１１−１０８７５号公報参照）。
を構成するために使用される積層型圧電体素子６0とし
て、図９および図１０に示す構成のものが知られている
（たとえば、特開平１１−１０８７５号公報参照）。
【０００４】すなわち、従来の積層型圧電体素子６
0は、直方体状の圧電基板７を備え、この圧電基板７の
短手方向の互いに対向する各側面７ｂ，７ｃからそれぞ
れ対向面に向けて互いに長さの異なる短尺側内部電極８
と長尺側内部電極９とが圧電基板７内において交互に積
層配置されるように延設されている。すなわち、各電極
８，９は、圧電基板７の長手方向については共に圧電基
板７の略全幅にわたる長さを有し、また、圧電基板７の
短手方向については、短尺側内部電極８の寸法が長尺側
内部電極９の寸法よりも短くなっている。そして、両電
極８，９が互いに重複する部分には、当該積層方向に直
交する方向に変位する活性部１０が形成されている。し
たがって、図８に示すように、圧電基板７の短手方向に
おいて互いに対向する両側面７ｂ，７ｃの内、図中左側
の側面７ｂに活性部１０が隣接していて左右で非対称な
形状になっている。
0は、直方体状の圧電基板７を備え、この圧電基板７の
短手方向の互いに対向する各側面７ｂ，７ｃからそれぞ
れ対向面に向けて互いに長さの異なる短尺側内部電極８
と長尺側内部電極９とが圧電基板７内において交互に積
層配置されるように延設されている。すなわち、各電極
８，９は、圧電基板７の長手方向については共に圧電基
板７の略全幅にわたる長さを有し、また、圧電基板７の
短手方向については、短尺側内部電極８の寸法が長尺側
内部電極９の寸法よりも短くなっている。そして、両電
極８，９が互いに重複する部分には、当該積層方向に直
交する方向に変位する活性部１０が形成されている。し
たがって、図８に示すように、圧電基板７の短手方向に
おいて互いに対向する両側面７ｂ，７ｃの内、図中左側
の側面７ｂに活性部１０が隣接していて左右で非対称な
形状になっている。
【０００５】そして、圧電基板７の活性部近傍側の側面
７ｂには各短尺側内部電極８が、また、活性部遠方側の
側面７ｃには長尺側内部電極９がそれぞれ引き出された
状態になっており、各々引き出された短尺側内部電極８
には第１外部電極１３0が、長尺側内部電極９には第２
外部電極１４0がそれぞれ電気的に接続されている。
７ｂには各短尺側内部電極８が、また、活性部遠方側の
側面７ｃには長尺側内部電極９がそれぞれ引き出された
状態になっており、各々引き出された短尺側内部電極８
には第１外部電極１３0が、長尺側内部電極９には第２
外部電極１４0がそれぞれ電気的に接続されている。
【０００６】さらに、上記の第１外部電極１３0は、圧
電基板７の活性部近傍側の側面７ｂから主表面７ａ上を
回り込んで活性部遠方側の側面７ｃに向けてその途中位
置まで延設されている。一方、第２外部電極１４0は、
圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃから主表面７ａ上
を回り込んで第１の外部電極１３0の端部と所定の間隔
ｄを存して対向する位置まで延設されている。なお、第
１、第２の各外部電極１３0，１４0との間に一定の間隔
ｄを設けるのは、両者１３0，１４0を電気的に分離する
必要があるためである。
電基板７の活性部近傍側の側面７ｂから主表面７ａ上を
回り込んで活性部遠方側の側面７ｃに向けてその途中位
置まで延設されている。一方、第２外部電極１４0は、
圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃから主表面７ａ上
を回り込んで第１の外部電極１３0の端部と所定の間隔
ｄを存して対向する位置まで延設されている。なお、第
１、第２の各外部電極１３0，１４0との間に一定の間隔
ｄを設けるのは、両者１３0，１４0を電気的に分離する
必要があるためである。
【０００７】そして、後述するように、この積層型圧電
体素子６を用いて圧電アクチュエータ１0を構成する場
合に、第１、第２の各外部電極１３0，１４0に対してＦ
ＰＣ４の導体を電気的に接続する必要があり、そのた
め、圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃから所定距離
Ｌ4だけ入り込んだ領域がＦＰＣ４を半田付けするため
に必要な半田付け予定部１６0として確保されている。
体素子６を用いて圧電アクチュエータ１0を構成する場
合に、第１、第２の各外部電極１３0，１４0に対してＦ
ＰＣ４の導体を電気的に接続する必要があり、そのた
め、圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃから所定距離
Ｌ4だけ入り込んだ領域がＦＰＣ４を半田付けするため
に必要な半田付け予定部１６0として確保されている。
【０００８】このような積層型圧電体素子６0、および
これを用いた圧電アクチュエータ１0は、たとえば、次
のようにして製作される。まず、積層型圧電体素子６0
を製作するには、図１１に示すように、３種類のグリー
ンシート３１，３２，３３を用意する。つまり、短尺側
内部電極８となる導電パターン４１が形成されたグリー
ンシート３１と、長尺側内部電極９となる導電パターン
４２が形成されたグリーンシート３２と、何らの導体パ
ターンも形成されていない無地のグリーンシート３３と
を用意する。なお、これらのグリーンシート３１，３
２，３３は、ＰＺＴなどの圧電体原料を用いて平面視矩
形状に形成して作製される。また、導電パターン４１，
４２はＡｇなどを主成分とする導電性ペーストをスクリ
ーン印刷することによって形成される。
これを用いた圧電アクチュエータ１0は、たとえば、次
のようにして製作される。まず、積層型圧電体素子６0
を製作するには、図１１に示すように、３種類のグリー
ンシート３１，３２，３３を用意する。つまり、短尺側
内部電極８となる導電パターン４１が形成されたグリー
ンシート３１と、長尺側内部電極９となる導電パターン
４２が形成されたグリーンシート３２と、何らの導体パ
ターンも形成されていない無地のグリーンシート３３と
を用意する。なお、これらのグリーンシート３１，３
２，３３は、ＰＺＴなどの圧電体原料を用いて平面視矩
形状に形成して作製される。また、導電パターン４１，
４２はＡｇなどを主成分とする導電性ペーストをスクリ
ーン印刷することによって形成される。
【０００９】そして、各上記の導電パターン４１，４２
が形成された各グリーンシート３１，３２を順次交互に
所定枚数ずつ積層してから、最上部と最下部に無地のグ
リーンシート３３を配置した後、これらを積層方向に沿
って一括的に圧着してこれを焼成する。次いで、蒸着等
によって第１、第２の各外部電極１３0，１４0を形成
し、続いて、圧電基板７を分極することにより、短尺側
内部電極８と長尺側内部電極９との積層部分に活性部１
０を有する積層型圧電体素子６0が得られる。
が形成された各グリーンシート３１，３２を順次交互に
所定枚数ずつ積層してから、最上部と最下部に無地のグ
リーンシート３３を配置した後、これらを積層方向に沿
って一括的に圧着してこれを焼成する。次いで、蒸着等
によって第１、第２の各外部電極１３0，１４0を形成
し、続いて、圧電基板７を分極することにより、短尺側
内部電極８と長尺側内部電極９との積層部分に活性部１
０を有する積層型圧電体素子６0が得られる。
【００１０】次に、このようにして得られた積層型圧電
体素子６0を用いて圧電アクチュエータ１0を製作するに
は、図１２に示すように、まず、この積層型圧電体素子
６0の活性部１０の形成部分が固定基板２の上に重なら
ないようにして固定基板２に接着剤等を用いて固定す
る。
体素子６0を用いて圧電アクチュエータ１0を製作するに
は、図１２に示すように、まず、この積層型圧電体素子
６0の活性部１０の形成部分が固定基板２の上に重なら
ないようにして固定基板２に接着剤等を用いて固定す
る。
【００１１】続いて、ダイシングソーなどを用いて、積
層型圧電体素子６0の長手方向に沿って所定のピッチで
もって、一方の側面７ｂから他方の側面７ｃに向けて所
定寸法だけ切り込みを入れて活性部１０を切断したスリ
ット２１を形成する。これにより、各スリット２１間に
独立駆動が可能な可動部２２0が構成される。さらに、
第１外部電極１３0には各々のスリット２１に連なる切
り込みを入れて浅溝２３を形成し、各可動部２２0ごと
に第１外部電極１３0を電気的に分離する。
層型圧電体素子６0の長手方向に沿って所定のピッチで
もって、一方の側面７ｂから他方の側面７ｃに向けて所
定寸法だけ切り込みを入れて活性部１０を切断したスリ
ット２１を形成する。これにより、各スリット２１間に
独立駆動が可能な可動部２２0が構成される。さらに、
第１外部電極１３0には各々のスリット２１に連なる切
り込みを入れて浅溝２３を形成し、各可動部２２0ごと
に第１外部電極１３0を電気的に分離する。
【００１２】引き続いて、前述の半田付け予定部１６0
に対してＦＰＣ４を半田付けして、各々分離された第１
外部電極１３0および第２外部電極１４0に対してＦＰＣ
４の導体を電気的に接続する。たとえば、ＦＰＣ４の信
号入力側導体を各々分離された第１外部電極１３0に、
接地側導体を第２外部電極１４0にそれぞれ接続する。
また、この圧電アクチュエータ１の各々の可動部２２に
対して個別に圧力発生室３を配置する。これにより、各
々分離された第１外部電極１３0に対して個別に信号を
入力することにより、可動部２２0が独立駆動されて各
圧力発生室３のインクが個別に吐出される。
に対してＦＰＣ４を半田付けして、各々分離された第１
外部電極１３0および第２外部電極１４0に対してＦＰＣ
４の導体を電気的に接続する。たとえば、ＦＰＣ４の信
号入力側導体を各々分離された第１外部電極１３0に、
接地側導体を第２外部電極１４0にそれぞれ接続する。
また、この圧電アクチュエータ１の各々の可動部２２に
対して個別に圧力発生室３を配置する。これにより、各
々分離された第１外部電極１３0に対して個別に信号を
入力することにより、可動部２２0が独立駆動されて各
圧力発生室３のインクが個別に吐出される。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うに、従来の圧電アクチュエータ１0の製作に用いられ
る積層型圧電体素子６0は、第１、第２の各外部電極１
３0，１４0の主表面７ａ上の各端部を所定間隔ｄを存し
て対向させた状態で、両電極１３0，１４0にＦＰＣ４を
電気的に接続する必要がある。このため、従来の積層型
圧電体素子６0では、半田付け予定部１６0として圧電基
板７の活性部遠方側の側面７ｃから比較的大きく入り込
んだ長さＬ4が必要になる。その結果、半田付け予定部
１６0は活性部１０に近付くことになる。
うに、従来の圧電アクチュエータ１0の製作に用いられ
る積層型圧電体素子６0は、第１、第２の各外部電極１
３0，１４0の主表面７ａ上の各端部を所定間隔ｄを存し
て対向させた状態で、両電極１３0，１４0にＦＰＣ４を
電気的に接続する必要がある。このため、従来の積層型
圧電体素子６0では、半田付け予定部１６0として圧電基
板７の活性部遠方側の側面７ｃから比較的大きく入り込
んだ長さＬ4が必要になる。その結果、半田付け予定部
１６0は活性部１０に近付くことになる。
【００１４】そして、圧電アクチュエータ１0の製作時
に、この半田付け予定部１６0にＦＰＣ４を半田付けし
たときには、ＦＰＣ４の半田付け箇所が活性部１０に近
付いているため、各可動部２２0の円滑な伸縮動作が阻
害されるばかりか、可動部２２0の変位に伴う振動がＦ
ＰＣ４を介して他の部分に伝播して、次のような不都合
を生じる。
に、この半田付け予定部１６0にＦＰＣ４を半田付けし
たときには、ＦＰＣ４の半田付け箇所が活性部１０に近
付いているため、各可動部２２0の円滑な伸縮動作が阻
害されるばかりか、可動部２２0の変位に伴う振動がＦ
ＰＣ４を介して他の部分に伝播して、次のような不都合
を生じる。
【００１５】すなわち、いま、図１３（ａ）に示すよう
な印加電圧波形をもつ信号Ｖｐをｔ 1〜ｔ2の期間にわた
ってある所定の可動部２２0に対して入力した場合、Ｆ
ＰＣ４の半田付け箇所が活性部１０から十分に離れてい
る場合には、同図（ｂ）に示すように、短時間の内に振
動は減衰する。これに対して、ＦＰＣ４の半田付け箇所
が活性部１０に近いと、同図（ｃ）に示すように、振動
減衰時間が長くなり、その結果、インクの吐出が不安定
となって画質の低下を引き起こす。
な印加電圧波形をもつ信号Ｖｐをｔ 1〜ｔ2の期間にわた
ってある所定の可動部２２0に対して入力した場合、Ｆ
ＰＣ４の半田付け箇所が活性部１０から十分に離れてい
る場合には、同図（ｂ）に示すように、短時間の内に振
動は減衰する。これに対して、ＦＰＣ４の半田付け箇所
が活性部１０に近いと、同図（ｃ）に示すように、振動
減衰時間が長くなり、その結果、インクの吐出が不安定
となって画質の低下を引き起こす。
【００１６】さらに、半田付け箇所が活性部１０に近い
と、半田付けする際の熱影響によって活性部１０の分極
特性が喪失して、圧電的に機能しなくなるなどの問題を
生じる。
と、半田付けする際の熱影響によって活性部１０の分極
特性が喪失して、圧電的に機能しなくなるなどの問題を
生じる。
【００１７】その対策として、たとえば、積層型圧電体
素子６0において、圧電基板７の活性部近傍側の側面７
ｂから半田付け予定部１６0に至るまでの距離Ｌ5を長く
設定することにより、半田付け予定部１６0を活性部１
０の形成箇所から遠ざけるようにすることが考えられ
る。しかし、このようにすると、圧電基板７の短手方向
の全長Ｌ3が長くなって圧電アクチュエータ１0全体の小
型化が図れないばかりか、積層型圧電体素子６0のコス
トアップを招来するなどの不具合を生じるため得策でな
い。
素子６0において、圧電基板７の活性部近傍側の側面７
ｂから半田付け予定部１６0に至るまでの距離Ｌ5を長く
設定することにより、半田付け予定部１６0を活性部１
０の形成箇所から遠ざけるようにすることが考えられ
る。しかし、このようにすると、圧電基板７の短手方向
の全長Ｌ3が長くなって圧電アクチュエータ１0全体の小
型化が図れないばかりか、積層型圧電体素子６0のコス
トアップを招来するなどの不具合を生じるため得策でな
い。
【００１８】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、素子の小型化を図りつつ、圧電アクチ
ュエータを構成した場合の活性部から半田付け箇所まで
の距離を十分に確保できるようにして、良好な圧電特性
を有する積層型圧電体素子およびこの素子を用いた圧電
アクチュエータを提供することを目的とする。
なされたもので、素子の小型化を図りつつ、圧電アクチ
ュエータを構成した場合の活性部から半田付け箇所まで
の距離を十分に確保できるようにして、良好な圧電特性
を有する積層型圧電体素子およびこの素子を用いた圧電
アクチュエータを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、直方体状の圧電基板を備え、この圧電
基板の互いに対向する一対の側面からそれぞれ対向する
側面に向けて互いの長さが異なる長尺側内部電極と短尺
側内部電極とが圧電基板内で交互に積層配置されるよう
に延設されるとともに、前記両内部電極同士の積層部分
には当該積層方向に直交する方向に変位する活性部が形
成されており、かつ、前記圧電基板の表面には、前記短
尺側内部電極が前記側面に引き出された部分と電気的に
接続される第１の外部電極と、前記長尺側内部電極が前
記側面に引き出された部分と電気的に接続される第２の
外部電極とがそれぞれ個別に形成されている積層型圧電
体素子において、次のようにしている。
達成するために、直方体状の圧電基板を備え、この圧電
基板の互いに対向する一対の側面からそれぞれ対向する
側面に向けて互いの長さが異なる長尺側内部電極と短尺
側内部電極とが圧電基板内で交互に積層配置されるよう
に延設されるとともに、前記両内部電極同士の積層部分
には当該積層方向に直交する方向に変位する活性部が形
成されており、かつ、前記圧電基板の表面には、前記短
尺側内部電極が前記側面に引き出された部分と電気的に
接続される第１の外部電極と、前記長尺側内部電極が前
記側面に引き出された部分と電気的に接続される第２の
外部電極とがそれぞれ個別に形成されている積層型圧電
体素子において、次のようにしている。
【００２０】すなわち、請求項１記載に係る本発明の積
層型圧電体素子は、第１外部電極が、前記圧電基板の前
記活性部近傍側の側面から主表面を回り込んで前記長尺
側内部電極が引き出される活性部遠方側の側面に隣接す
る位置まで延設される一方、前記第２外部電極は、前記
第１外部電極の活性部遠方側の側面に隣接する箇所を左
右から挟むように主表面に回り込んで形成されているこ
とを特徴としている。
層型圧電体素子は、第１外部電極が、前記圧電基板の前
記活性部近傍側の側面から主表面を回り込んで前記長尺
側内部電極が引き出される活性部遠方側の側面に隣接す
る位置まで延設される一方、前記第２外部電極は、前記
第１外部電極の活性部遠方側の側面に隣接する箇所を左
右から挟むように主表面に回り込んで形成されているこ
とを特徴としている。
【００２１】この場合、第２外部電極は、請求項２記載
のように、前記圧電基板の前記活性部遠方側の側面から
主表面に回り込むように形成することができる。また、
請求項３記載のように、前記圧電基板の前記活性部遠方
側の側面と直交する側面から主表面に回り込むように形
成することもできる。
のように、前記圧電基板の前記活性部遠方側の側面から
主表面に回り込むように形成することができる。また、
請求項３記載のように、前記圧電基板の前記活性部遠方
側の側面と直交する側面から主表面に回り込むように形
成することもできる。
【００２２】この請求項１ないし請求項３記載の発明に
よれば、従来のように第１、第２の外部電極の端面を互
いに突き合わせ対向させた構成とせずに、第１外部電極
の活性部遠方側の側面に隣接する箇所を第２の外部電極
によって左右から挟むように配置しているので、第１、
第２の各外部電極を共に圧電基板の活性部遠方側の側面
に隣接させることができる。このため、ＦＰＣを半田付
けすべき箇所は、圧電基板の活性部遠方側の側面からあ
まり奥に入り込ませる必要がなくなり、半田付けすべき
箇所を活性部の形成箇所から十分に離すことができる。
その結果、従来よりも圧電基板の短手方向の全長を短く
でき、素子全体を小型化することが可能になる。
よれば、従来のように第１、第２の外部電極の端面を互
いに突き合わせ対向させた構成とせずに、第１外部電極
の活性部遠方側の側面に隣接する箇所を第２の外部電極
によって左右から挟むように配置しているので、第１、
第２の各外部電極を共に圧電基板の活性部遠方側の側面
に隣接させることができる。このため、ＦＰＣを半田付
けすべき箇所は、圧電基板の活性部遠方側の側面からあ
まり奥に入り込ませる必要がなくなり、半田付けすべき
箇所を活性部の形成箇所から十分に離すことができる。
その結果、従来よりも圧電基板の短手方向の全長を短く
でき、素子全体を小型化することが可能になる。
【００２３】また、請求項４記載に係る本発明の圧電ア
クチュエータは、請求項１ないし請求項３のいずれかの
積層型圧電体素子の活性部近傍側の側面からこれに対向
する側面に向けて延びるスリットをこれと直交する方向
に沿って所定のピッチで形成することにより、各スリッ
ト間に独立駆動が可能な可動部が設けられるとともに、
前記スリットで分離された第１外部電極および前記第２
外部電極に対してＦＰＣの導体が接続されていることを
特徴としている。
クチュエータは、請求項１ないし請求項３のいずれかの
積層型圧電体素子の活性部近傍側の側面からこれに対向
する側面に向けて延びるスリットをこれと直交する方向
に沿って所定のピッチで形成することにより、各スリッ
ト間に独立駆動が可能な可動部が設けられるとともに、
前記スリットで分離された第１外部電極および前記第２
外部電極に対してＦＰＣの導体が接続されていることを
特徴としている。
【００２４】この圧電アクチュエータは、ＦＰＣの半田
付け箇所が活性部から離れているので、可動部の円滑な
伸縮動作が確保されるとともに、可動部の変位に伴う振
動がＦＰＣを介して他の部分に伝播することが抑制され
る。このため、短時間の内に振動が減衰されてインクの
吐出が安定し良好な画質が確保される。しかも、半田付
け部分が活性部から離れているので、半田付けの際の熱
の影響によって活性部の分極特性が劣化する恐れも無
く、安定した圧電特性が得られる。
付け箇所が活性部から離れているので、可動部の円滑な
伸縮動作が確保されるとともに、可動部の変位に伴う振
動がＦＰＣを介して他の部分に伝播することが抑制され
る。このため、短時間の内に振動が減衰されてインクの
吐出が安定し良好な画質が確保される。しかも、半田付
け部分が活性部から離れているので、半田付けの際の熱
の影響によって活性部の分極特性が劣化する恐れも無
く、安定した圧電特性が得られる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。 ［実施の形態１］図１は本発明の実施の形態１に係る積
層型圧電体素子の全体を示す斜視図、図２は図１のＡ−
Ａ線に沿う断面図であり、図９および図１０に示した従
来技術に対応する構成部分には同一の符号を付す。
て、図面を参照して詳細に説明する。 ［実施の形態１］図１は本発明の実施の形態１に係る積
層型圧電体素子の全体を示す斜視図、図２は図１のＡ−
Ａ線に沿う断面図であり、図９および図１０に示した従
来技術に対応する構成部分には同一の符号を付す。
【００２６】この実施の形態１における積層型圧電体素
子６1は、直方体状の圧電基板７を備え、この圧電基板
７の短手方向の互いに対向する各側面７ｂ，７ｃからそ
れぞれ対向面に向けて互いに長さの異なる短尺側内部電
極８と長尺側内部電極９とが圧電基板７内において交互
に積層配置されるように延設されている。そして、両電
極８，９が互いに重複する部分には、当該積層方向に直
交する方向に変位する活性部１０が形成されている。こ
れらの構成は、図９および図１０に示した従来技術の場
合と同様である。
子６1は、直方体状の圧電基板７を備え、この圧電基板
７の短手方向の互いに対向する各側面７ｂ，７ｃからそ
れぞれ対向面に向けて互いに長さの異なる短尺側内部電
極８と長尺側内部電極９とが圧電基板７内において交互
に積層配置されるように延設されている。そして、両電
極８，９が互いに重複する部分には、当該積層方向に直
交する方向に変位する活性部１０が形成されている。こ
れらの構成は、図９および図１０に示した従来技術の場
合と同様である。
【００２７】この実施の形態１の特徴として、圧電基板
７の活性部近傍側の側面７ｂに引き出された短尺側内部
電極８には第１外部電極１３1が、圧電基板７の活性部
遠方側の側面７ｃに引き出された長尺側内部電極９には
左右一対の第２外部電極１４ 1がそれぞれ電気的に接続
されている。そして、第１外部電極１３1は、圧電基板
７の活性部近傍側の側面７ｂから主表面７ａ上を回り込
んで活性部遠方側の側面７ｃに隣接する位置まで延設さ
れている。一方、各々の第２外部電極１４1は、第１外
部電極１３1の活性部遠方側の側面７ｃに隣接する箇所
を左右から挟むように、当該側面７ｃから主表面７ａ上
に回り込んで形成されている。
７の活性部近傍側の側面７ｂに引き出された短尺側内部
電極８には第１外部電極１３1が、圧電基板７の活性部
遠方側の側面７ｃに引き出された長尺側内部電極９には
左右一対の第２外部電極１４ 1がそれぞれ電気的に接続
されている。そして、第１外部電極１３1は、圧電基板
７の活性部近傍側の側面７ｂから主表面７ａ上を回り込
んで活性部遠方側の側面７ｃに隣接する位置まで延設さ
れている。一方、各々の第２外部電極１４1は、第１外
部電極１３1の活性部遠方側の側面７ｃに隣接する箇所
を左右から挟むように、当該側面７ｃから主表面７ａ上
に回り込んで形成されている。
【００２８】このように、この実施の形態１では、第１
外部電極１３1の活性部遠方側の側面７ｃに隣接する箇
所を一対の第２外部電極１４1によって左右から挟むよ
うに配置しているので、第１、第２の各外部電極１
３1，１４1を共に圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃ
に隣接させることができる。このため、圧電アクチュエ
ータ１1を構成した場合にＦＰＣ４を半田付することに
なる半田付け予定部１６1は、圧電基板７の活性部遠方
側の側面７ｃから僅かな距離Ｌ1だけ入り込んだ領域を
確保すればよく、従来のようにあまり奥に入り込ませる
必要がない。つまり、Ｌ1＜＜Ｌ4となる。たとえば、従
来では、Ｌ4＝２．６ｍｍ必要であったものが、この実
施の形態１では、Ｌ1＝１．０ｍｍあればよく、半田付
け予定部１６1の短手方向の長さを大幅に短くすること
ができる。したがって、圧電基板７の短手方向の全長Ｌ
0を従来のものよりも短かく形成した場合（Ｌ0＜Ｌ3）
でも、半田付け予定部１６1を活性部１０の形成箇所か
ら十分に離すことができる。その結果、従来よりも素子
全体を小型化することが可能になる。
外部電極１３1の活性部遠方側の側面７ｃに隣接する箇
所を一対の第２外部電極１４1によって左右から挟むよ
うに配置しているので、第１、第２の各外部電極１
３1，１４1を共に圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃ
に隣接させることができる。このため、圧電アクチュエ
ータ１1を構成した場合にＦＰＣ４を半田付することに
なる半田付け予定部１６1は、圧電基板７の活性部遠方
側の側面７ｃから僅かな距離Ｌ1だけ入り込んだ領域を
確保すればよく、従来のようにあまり奥に入り込ませる
必要がない。つまり、Ｌ1＜＜Ｌ4となる。たとえば、従
来では、Ｌ4＝２．６ｍｍ必要であったものが、この実
施の形態１では、Ｌ1＝１．０ｍｍあればよく、半田付
け予定部１６1の短手方向の長さを大幅に短くすること
ができる。したがって、圧電基板７の短手方向の全長Ｌ
0を従来のものよりも短かく形成した場合（Ｌ0＜Ｌ3）
でも、半田付け予定部１６1を活性部１０の形成箇所か
ら十分に離すことができる。その結果、従来よりも素子
全体を小型化することが可能になる。
【００２９】このような積層型圧電体素子６1の製作
は、基本的に図１１に示した従来の場合と同様の手順に
より行なわれる。また、この積層型圧電体素子６1を用
いて圧電アクチュエータ１を製作する場合も、従来と同
様な手順により行われる。
は、基本的に図１１に示した従来の場合と同様の手順に
より行なわれる。また、この積層型圧電体素子６1を用
いて圧電アクチュエータ１を製作する場合も、従来と同
様な手順により行われる。
【００３０】したがって、このようにして製作された圧
電アクチュエータ１1は、図３に示すように、その長手
方向に沿って所定のピッチでもって、活性部近傍側の側
面７ｂからこれに対向する他方の側面７ｃに向けて活性
部１０を切断して延びるスリット２１が形成されてお
り、各スリット２１間に独立駆動が可能な可動部２２1
がそれぞれ設けられている。また、各スリット２１に連
なる位置には浅溝２３が形成されている。そして、半田
付け予定部１６1にＦＰＣ４が半田付けされて、各々分
離された第１外部電極１３1および第２外部電極１４1に
対してＦＰＣ４の導体が電気的に接続されている。さら
に、圧電アクチュエータ１1の各々の可動部２２1に対し
て個別に圧力発生室３が配置される。
電アクチュエータ１1は、図３に示すように、その長手
方向に沿って所定のピッチでもって、活性部近傍側の側
面７ｂからこれに対向する他方の側面７ｃに向けて活性
部１０を切断して延びるスリット２１が形成されてお
り、各スリット２１間に独立駆動が可能な可動部２２1
がそれぞれ設けられている。また、各スリット２１に連
なる位置には浅溝２３が形成されている。そして、半田
付け予定部１６1にＦＰＣ４が半田付けされて、各々分
離された第１外部電極１３1および第２外部電極１４1に
対してＦＰＣ４の導体が電気的に接続されている。さら
に、圧電アクチュエータ１1の各々の可動部２２1に対し
て個別に圧力発生室３が配置される。
【００３１】この構成の圧電アクチュエータ１1におい
て、ＦＰＣ４の半田付け箇所は、圧電基板７の活性部遠
方側の側面７ｃから僅かな距離Ｌ1だけ入り込んだ領域
内に収まり、活性部１０から十分離れているので、可動
部２２1の円滑な伸縮動作が確保されるとともに、可動
部２２1の変位に伴う振動がＦＰＣ４を介して他の部分
に伝播することが抑制される。したがって、短時間の内
に振動が減衰されるためにインクの吐出が安定し良好な
画質が確保される。しかも、半田付け部分が活性部１０
から離れているので、半田付けの際の熱の影響によって
活性部１０の分極特性が劣化する恐れも無く、安定した
圧電特性が得られる。
て、ＦＰＣ４の半田付け箇所は、圧電基板７の活性部遠
方側の側面７ｃから僅かな距離Ｌ1だけ入り込んだ領域
内に収まり、活性部１０から十分離れているので、可動
部２２1の円滑な伸縮動作が確保されるとともに、可動
部２２1の変位に伴う振動がＦＰＣ４を介して他の部分
に伝播することが抑制される。したがって、短時間の内
に振動が減衰されるためにインクの吐出が安定し良好な
画質が確保される。しかも、半田付け部分が活性部１０
から離れているので、半田付けの際の熱の影響によって
活性部１０の分極特性が劣化する恐れも無く、安定した
圧電特性が得られる。
【００３２】なお、上記の実施の形態１では、第１外部
電極１３1に対して浅溝２３を形成することで、各可動
部２２1ごとに第１外部電極１３1を電気的に分離するよ
うにているが、第１外部電極１３1の形成時に予めマス
クを施すことで、第１外部電極１３1が圧電基板７の長
手方向に沿って所定ピッチで電気的に分離された形状の
ものを製作することも可能である。
電極１３1に対して浅溝２３を形成することで、各可動
部２２1ごとに第１外部電極１３1を電気的に分離するよ
うにているが、第１外部電極１３1の形成時に予めマス
クを施すことで、第１外部電極１３1が圧電基板７の長
手方向に沿って所定ピッチで電気的に分離された形状の
ものを製作することも可能である。
【００３３】また、この実施の形態１では、ＦＰＣ４の
信号入力側導体を第１外部電極１３ 1に、接地側導体を
第２外部電極１４1にそれぞれ接続するようしている
が、その逆に、ＦＰＣ４の接地側導体を第１外部電極１
３1に、信号入力側導体を第２外部電極１４1にそれぞれ
接続しても機能上は何ら問題はない。
信号入力側導体を第１外部電極１３ 1に、接地側導体を
第２外部電極１４1にそれぞれ接続するようしている
が、その逆に、ＦＰＣ４の接地側導体を第１外部電極１
３1に、信号入力側導体を第２外部電極１４1にそれぞれ
接続しても機能上は何ら問題はない。
【００３４】［実施の形態２］図４は本発明の実施の形
態２に係る積層型圧電体素子の全体を示す斜視図、図５
はこの実施の形態２の積層型圧電体素子の製作過程の説
明に供する分解斜視図であり、図１および図２に示した
実施の形態１に対応する構成部分には同一の符号を付
す。
態２に係る積層型圧電体素子の全体を示す斜視図、図５
はこの実施の形態２の積層型圧電体素子の製作過程の説
明に供する分解斜視図であり、図１および図２に示した
実施の形態１に対応する構成部分には同一の符号を付
す。
【００３５】この実施の形態２の積層型圧電体素子６2
の特徴は、圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃに直交
する短辺側の各側面７ｄ，７ｅから一対の第２外部電極
１４ 2がそれぞれ立ち上げられて主表面７ａ上に回り込
んでおり、その回り込んだ部分で第１外部電極１３2の
活性部遠方側の側面７ｃに隣接する部分を左右から挟む
ように形成されていることである。その他の構成は、実
施の形態１の場合と同様であるから、ここでは詳しい説
明は省略する。
の特徴は、圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃに直交
する短辺側の各側面７ｄ，７ｅから一対の第２外部電極
１４ 2がそれぞれ立ち上げられて主表面７ａ上に回り込
んでおり、その回り込んだ部分で第１外部電極１３2の
活性部遠方側の側面７ｃに隣接する部分を左右から挟む
ように形成されていることである。その他の構成は、実
施の形態１の場合と同様であるから、ここでは詳しい説
明は省略する。
【００３６】この実施の形態２の積層型圧電体素子６2
を製作する場合においても、図５に示すように、短尺側
内部電極８となる導電パターン４６が形成されたグリー
ンシート３６と、長尺側内部電極９となる導電パターン
４７が形成されたグリーンシート３７と、何らの導体パ
ターンも形成されていない無地のグリーンシート３８と
３種類のものを用意して、実施の形態１の場合と基本的
に同じ手順によって行われる。ただし、長尺側内部電極
９となる導電パターン４７は、第２外部電極１４2との
接続が可能なように、グリーンシート３７の一方の長辺
まで到達するとともに、短辺側にも一部が引き出されて
延出部４７ａが形成されている。このようにして得られ
た積層型圧電体素子６2を用いて圧電アクチュエータを
製作する場合も、実施の形態１の場合と同様な手順によ
って行われるため、ここでは詳しい説明は省略する。
を製作する場合においても、図５に示すように、短尺側
内部電極８となる導電パターン４６が形成されたグリー
ンシート３６と、長尺側内部電極９となる導電パターン
４７が形成されたグリーンシート３７と、何らの導体パ
ターンも形成されていない無地のグリーンシート３８と
３種類のものを用意して、実施の形態１の場合と基本的
に同じ手順によって行われる。ただし、長尺側内部電極
９となる導電パターン４７は、第２外部電極１４2との
接続が可能なように、グリーンシート３７の一方の長辺
まで到達するとともに、短辺側にも一部が引き出されて
延出部４７ａが形成されている。このようにして得られ
た積層型圧電体素子６2を用いて圧電アクチュエータを
製作する場合も、実施の形態１の場合と同様な手順によ
って行われるため、ここでは詳しい説明は省略する。
【００３７】この実施の形態２の積層型圧電体素子６2
は、実施の形態１の場合と同様、第１、第２外部電極１
３2，１４2を共に圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃ
に隣接させることができるので、半田付け予定部１６2
を活性部１０の形成箇所から十分に離すことができる。
このため、従来よりも素子全体を小型化することが可能
であり、しかも、この積層型圧電体素子６2を用いて圧
電アクチュエータを製作したときには、半田付け箇所が
活性部１０から十分離れているので、インクの吐出が安
定して良好な画質が確保されるとともに、半田付けの際
の熱の影響によって活性部１０の分極特性が劣化する恐
れも無く、安定した圧電特性が得られる。
は、実施の形態１の場合と同様、第１、第２外部電極１
３2，１４2を共に圧電基板７の活性部遠方側の側面７ｃ
に隣接させることができるので、半田付け予定部１６2
を活性部１０の形成箇所から十分に離すことができる。
このため、従来よりも素子全体を小型化することが可能
であり、しかも、この積層型圧電体素子６2を用いて圧
電アクチュエータを製作したときには、半田付け箇所が
活性部１０から十分離れているので、インクの吐出が安
定して良好な画質が確保されるとともに、半田付けの際
の熱の影響によって活性部１０の分極特性が劣化する恐
れも無く、安定した圧電特性が得られる。
【００３８】なお、上記の実施の形態１，２では、３種
類のグリーンシート３１，３２，３３、または３６，３
７，３８を用意して、これらを順次交互に積層した後、
焼成することで所期の積層型圧電体素子６1，６2を製作
しているが、次のような方法によっても製作することが
できる。
類のグリーンシート３１，３２，３３、または３６，３
７，３８を用意して、これらを順次交互に積層した後、
焼成することで所期の積層型圧電体素子６1，６2を製作
しているが、次のような方法によっても製作することが
できる。
【００３９】すなわち、図６に示すように、同一形状の
導電パターン４９が形成された一種類のグリーンシート
３９を複数枚用意し、このグリーンシート３９を交互に
左右に位置ずれさせて積層して焼成した後、図中、破線
で示す位置で切断することにより積層型圧電体素子６3
を製作する。したがって、この製作方法で得られる積層
型圧電体素子６3は、図７に示すように、圧電基板７内
に短尺側内部電極８と長尺側内部電極９以外に、切れ端
１１，１２が残存することになるが、積層型圧電体素子
６3の特性上は何ら問題はない。なお、同一形状の導電
パターン４９が形成されたグリーンシート３９を交互に
左右に位置ずれさせて積層する代わりに、グリーンシー
ト３９に導電パターン４９を印刷位置をずらせて形成
し、各グリーンシート３９は、互いに位置ずれしないよ
うに重ね合わせても同様に図７に示すような積層型圧電
体素子６3が得られる。
導電パターン４９が形成された一種類のグリーンシート
３９を複数枚用意し、このグリーンシート３９を交互に
左右に位置ずれさせて積層して焼成した後、図中、破線
で示す位置で切断することにより積層型圧電体素子６3
を製作する。したがって、この製作方法で得られる積層
型圧電体素子６3は、図７に示すように、圧電基板７内
に短尺側内部電極８と長尺側内部電極９以外に、切れ端
１１，１２が残存することになるが、積層型圧電体素子
６3の特性上は何ら問題はない。なお、同一形状の導電
パターン４９が形成されたグリーンシート３９を交互に
左右に位置ずれさせて積層する代わりに、グリーンシー
ト３９に導電パターン４９を印刷位置をずらせて形成
し、各グリーンシート３９は、互いに位置ずれしないよ
うに重ね合わせても同様に図７に示すような積層型圧電
体素子６3が得られる。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、次の効果を奏する。
（１） 請求項１ないし請求項３記載の発明に係る積層
型圧電体素子は、従来のように第１、第２の外部電極の
端面を互いに突き合わせ対向させた構成とせずに、第１
外部電極の活性部遠方側の側面に隣接する箇所を第２の
外部電極によって左右から挟むようにしているので、第
１、第２の外部電極を共に圧電基板の活性部遠方側の側
面に隣接させることができる。このため、ＦＰＣを半田
付けすべき箇所は、圧電基板の活性部遠方側の側面から
あまり奥に入り込ませる必要がなくなり、半田付けすべ
き箇所を活性部の形成箇所から十分に離すことができ
る。その結果、従来よりも圧電基板の短手方向の全長を
短くでき、素子全体を小型化することが可能になる。
型圧電体素子は、従来のように第１、第２の外部電極の
端面を互いに突き合わせ対向させた構成とせずに、第１
外部電極の活性部遠方側の側面に隣接する箇所を第２の
外部電極によって左右から挟むようにしているので、第
１、第２の外部電極を共に圧電基板の活性部遠方側の側
面に隣接させることができる。このため、ＦＰＣを半田
付けすべき箇所は、圧電基板の活性部遠方側の側面から
あまり奥に入り込ませる必要がなくなり、半田付けすべ
き箇所を活性部の形成箇所から十分に離すことができ
る。その結果、従来よりも圧電基板の短手方向の全長を
短くでき、素子全体を小型化することが可能になる。
【００４１】（２） 請求項４記載の発明に係る圧電ア
クチュエータは、ＦＰＣの半田付け箇所が活性部から離
れるようになるので、可動部の円滑な伸縮動作が確保さ
れるとともに、可動部の変位に伴う振動がＦＰＣを介し
て他の部分に伝播することが抑制される。このため、短
時間の内に振動が減衰されてインクの吐出が安定し良好
な画質が確保される。しかも、半田付け部分が活性部か
ら離れているため、半田付けの際の熱影響によって活性
部の分極特性が劣化する恐れも無く、安定した圧電特性
が得られる。
クチュエータは、ＦＰＣの半田付け箇所が活性部から離
れるようになるので、可動部の円滑な伸縮動作が確保さ
れるとともに、可動部の変位に伴う振動がＦＰＣを介し
て他の部分に伝播することが抑制される。このため、短
時間の内に振動が減衰されてインクの吐出が安定し良好
な画質が確保される。しかも、半田付け部分が活性部か
ら離れているため、半田付けの際の熱影響によって活性
部の分極特性が劣化する恐れも無く、安定した圧電特性
が得られる。
【図１】本発明の実施の形態１に係る積層型圧電体素子
の全体を示す斜視図である。
の全体を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１の積層型圧電体素子を使
用した圧電アクチュエータの斜視図である。
用した圧電アクチュエータの斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る積層型圧電体素子
の全体を示す斜視図である。
の全体を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２の積層型圧電体素子の製
作過程の説明に供する分解斜視図である。
作過程の説明に供する分解斜視図である。
【図６】本発明の積層型圧電体素子のその他の製作過程
の説明に供する分解斜視図である。
の説明に供する分解斜視図である。
【図７】図６に示す製作過程を経て得られる積層型圧電
体素子の縦断面図である。
体素子の縦断面図である。
【図８】圧電アクチュエータの使用状態を示す断面図で
ある。
ある。
【図９】従来の積層型圧電体素子の全体を示す斜視図で
ある。
ある。
【図１０】図８のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１１】従来の積層型圧電体素子の製作過程の説明に
供する分解斜視図である。
供する分解斜視図である。
【図１２】従来の積層型圧電体素子を使用した圧電アク
チュエータの斜視図である。
チュエータの斜視図である。
【図１３】圧電アクチュエータの可動部に対して所定の
駆動信号を印加した場合の振動減衰特性を示すタイミン
グチャートである。
駆動信号を印加した場合の振動減衰特性を示すタイミン
グチャートである。
１1，１0 圧電アクチュエータ
４ フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）
６1，６2，６3，６0 積層型圧電体素子
７ 圧電基板
８ 短尺側内部電極
９ 長尺側内部電極
１０ 活性部
１３1，１３2，１３0 第１外部電極
１４1，１４2，１４0 第２外部電極
１６1，１６0 半田付け予定部
２１ スリット
２２1，２２0 可動部
Claims (4)
- 【請求項１】 直方体状の圧電基板を備え、この圧電基
板の互いに対向する一対の側面からそれぞれ対向する側
面に向けて互いの長さが異なる長尺側内部電極と短尺側
内部電極とが圧電基板内で交互に積層配置されるように
延設されるとともに、前記両内部電極同士の積層部分に
は当該積層方向に直交する方向に変位する活性部が形成
されており、かつ、前記圧電基板の表面には、前記短尺
側内部電極が前記側面に引き出された部分と電気的に接
続される第１の外部電極と、前記長尺側内部電極が前記
側面に引き出された部分と電気的に接続される第２の外
部電極とがそれぞれ個別に形成されている積層型圧電体
素子において、 前記第１外部電極は、前記圧電基板の前記活性部近傍側
の側面から主表面を回り込んで前記長尺側内部電極が引
き出される活性部遠方側の側面に隣接する位置まで延設
される一方、前記第２外部電極は、前記第１外部電極の
活性部遠方側の側面に隣接する箇所を左右から挟むよう
に主表面に回り込んで形成されていることを特徴とする
積層型圧電体素子。 - 【請求項２】 前記第２外部電極は、前記圧電基板の前
記活性部遠方側の側面から主表面に回り込むように形成
されていることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電
体素子。 - 【請求項３】 前記第２外部電極は、前記圧電基板の前
記活性部遠方側の側面と直交する側面から主表面に回り
込むように形成されていることを特徴とする請求項１記
載の積層型圧電体素子。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかの積
層型圧電体素子の活性部近傍側の側面からこれに対向す
る側面に向けて延びるスリットをこれに直交する方向に
沿って所定のピッチで形成することにより、各スリット
間に独立駆動が可能な可動部が設けられるとともに、前
記スリットで分離された第１外部電極および前記第２外
部電極に対してフレキシブルプリント基板の導体が接続
されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224510A JP2003037306A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 積層型圧電体素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ |
| US10/179,236 US6747398B2 (en) | 2001-07-25 | 2002-06-26 | Multilayer piezoelectric device and piezoelectric actuator formed using the same |
| DE10231929A DE10231929B4 (de) | 2001-07-25 | 2002-07-15 | Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung und piezoelektrisches Betätigungsglied, das unter Verwendung derselben gebildet ist |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224510A JP2003037306A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 積層型圧電体素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003037306A true JP2003037306A (ja) | 2003-02-07 |
Family
ID=19057656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001224510A Pending JP2003037306A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 積層型圧電体素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6747398B2 (ja) |
| JP (1) | JP2003037306A (ja) |
| DE (1) | DE10231929B4 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008173867A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4235804B2 (ja) * | 2003-03-04 | 2009-03-11 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子形成部材、圧電素子形成ユニット及び圧電素子ユニット並びに液体噴射ヘッド |
| JP4670225B2 (ja) * | 2003-04-04 | 2011-04-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子形成部材およびその製造方法ならびにそれを用いた圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッド |
| DE10338486B3 (de) * | 2003-08-21 | 2005-04-28 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Kontaktierung eines piezoelektrischen Aktors und Polarisierung des piezoelektrischen Aktors |
| US20080132187A1 (en) * | 2006-12-04 | 2008-06-05 | Hanebeck Hanns-Christian Leemo | Personal multi-media playing device |
| US7917853B2 (en) * | 2007-03-21 | 2011-03-29 | At&T Intellectual Property I, L.P. | System and method of presenting media content |
| US20090322513A1 (en) * | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Franklin Dun-Jen Hwang | Medical emergency alert system and method |
| JP5472218B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2014-04-16 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電素子 |
| DE102012023521A1 (de) | 2012-07-19 | 2014-01-23 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente | Aktuatorvorrichtung |
| JP6481035B2 (ja) * | 2014-12-01 | 2019-03-13 | ピーアイ セラミック ゲーエムベーハーＰｉ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｇｍｂｈ | アクチュエータ装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996000151A1 (fr) * | 1994-06-23 | 1996-01-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Actionneur piezo-electrique pour tete d'impression a jet d'encre et son procede de fabrication |
| US5793149A (en) * | 1995-07-26 | 1998-08-11 | Francotyp-Postalia Ag & Co. | Arrangement for plate-shaped piezoactuators and method for the manufacture thereof |
| JP3456515B2 (ja) | 1997-06-26 | 2003-10-14 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニットの製造方法 |
| JP3729997B2 (ja) * | 1997-11-06 | 2005-12-21 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法 |
| JP3178414B2 (ja) * | 1998-05-21 | 2001-06-18 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電体及び圧電アクチュエータ |
| US6417600B2 (en) * | 1998-09-17 | 2002-07-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| US6398350B2 (en) * | 2000-02-08 | 2002-06-04 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, liquid jet head, manufacturing method of piezoelectric vibrator unit, and manufacturing method of liquid jet head |
| JP3852308B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2006-11-29 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電体素子及びその製造方法、並びに、圧電アクチュエータ |
-
2001
- 2001-07-25 JP JP2001224510A patent/JP2003037306A/ja active Pending
-
2002
- 2002-06-26 US US10/179,236 patent/US6747398B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-15 DE DE10231929A patent/DE10231929B4/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008173867A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10231929B4 (de) | 2010-04-29 |
| US6747398B2 (en) | 2004-06-08 |
| US20030020371A1 (en) | 2003-01-30 |
| DE10231929A1 (de) | 2003-03-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040802 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
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