DE10231929B4

DE10231929B4 - Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung und piezoelektrisches Betätigungsglied, das unter Verwendung derselben gebildet ist

Info

Publication number: DE10231929B4
Application number: DE10231929A
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Nakatani
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-07-25
Filing date: 2002-07-15
Publication date: 2010-04-29
Anticipated expiration: 2022-07-16
Also published as: JP2003037306A; US20030020371A1; US6747398B2; DE10231929A1

Abstract

Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung (6₁, 6₂, 6₃), die folgende Merkmale aufweist:
ein piezoelektrisches Substrat (7), das vier Seitenoberflächen und zwei Hauptoberflächen aufweist;
eine Mehrzahl von längeren Innenelektroden (9);
eine Mehrzahl von kürzeren Innenelektroden (8), wobei
die längeren Innenelektroden (9) länger sind als die kürzeren Innenelektroden (8),
die längeren Innenelektroden (9) und die kürzeren Innenelektroden (8) so angeordnet sind, daß sich die längeren Innenelektroden von einer ersten Seitenoberfläche (7c) des piezoelektrischen Substrats (7) hin zu einer zweiten Seitenoberfläche (7b) des piezoelektrischen Substrats (7), die zusammen mit der ersten Seitenoberfläche (7c) ein Paar von sich gegenüberliegenden Seitenoberflächen des piezoelektrischen Substrats (7) bildet, erstrecken und sich die kürzeren Innenelektroden (8) von der zweiten Seitenoberfläche (7b) des piezoelektrischen Substrats (7) hin zu der ersten Seitenoberfläche (7c) des piezoelektrischen Substrats (7) erstrecken, so dass aktive Abschnitte (10), die an Stellen angeordnet sind, an denn sich die gestapelten längeren Innenelektroden (9) und entsprechenden...

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung und ein piezoelektrisches Betätigungsglied, das eine derartige piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung umfaßt.
Allgemein wird bei einem Druckkopf eines Tintenstrahldruckers oft ein piezoelektrisches Betätigungsglied verwendet, das einen piezoelektrischen Effekt nutzt. Wie in 8 gezeigt ist, weist ein piezoelektrisches Betätigungsglied 1_o eine piezoelektrische Eigenschaft auf, die bewirkt, daß es in einer sogenannten d31-Richtung, das heißt in einer Richtung, die zu der Dickenrichtung einer piezoelektrischen Vorrichtung senkrecht ist, verschoben wird. Ein Abschnitt der unteren Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 1_o wird an ein Fixierungssubstrat 2 angeklebt, und eine Druckerzeugungskammer 3 wird in Kontakt mit dem Endabschnitt des piezoelektrischen Betätigungsglieds 1_o , der nicht an dem Fixierungssubstrat 2 angeklebt ist, angeordnet. Ein Ende einer flexiblen gedruckten Signaleingabe-Schaltungsplatine (hiernach als „FPC” bezeichnet) 4 ist mit der oberen Oberfläche des piezoelektrischen Betätigungsglieds 1_o verbunden. Wenn ein Signal von der FPC 4 eingegeben wird, wird dementsprechend das piezoelektrische-Betätigungsglied 1_o in einer Richtung verschoben, die zu der Dickenrichtung desselben senkrecht ist, was bewirkt, daß ein Druck auf Tinte in der Druckerzeugungskammer 3 ausgeübt wird, so daß die Tinte außerhalb der Druckerzeugungskammer 3 abgegeben wird.
Die in 9 und 10 gezeigte Struktur ist als eine Struktur einer piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o be kannt, die in einem piezoelektrischen Betätigungsglied 1_o enthalten ist. (Siehe beispielsweise die ungeprüfte japanische Patentanmeldung JP 11-10875 A .)
Genauer gesagt umfaßt die bekannte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6_o ein rechtwinkliges piezoelektrisches Substrat 7. Kurze Innenelektroden 8 und lange Innenelektroden 9, die unterschiedliche Längen aufweisen, sind so angeordnet, daß sich die kurzen Innenelektroden 8 von einer Seitenoberfläche 7b hin zu einer gegenüberliegenden Seitenoberfläche 7c erstrecken, und daß sich die langen Innenelektroden von der Seitenoberfläche 7c zu der gegenüberliegenden Seitenoberfläche 7b erstrecken. Ferner sind die kurzen Innenelektroden 8 und die langen Innenelektroden 9 abwechselnd in dem piezoelektrischen Substrat 7 gestapelt. Die Seitenoberflächen 7b und 7c liegen einander in der Richtung einer kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats 7 gegenüber. Mit anderen Worten weisen die Elektroden 8 und 9 in der Richtung einer langen Seite (Längsseite) des piezoelektrischen Substrats 7 Längen auf, die im wesentlichen gleich der Gesamtbreite des piezoelektrischen Substrats 7 sind. Andererseits sind die kurzen Innenelektroden 8 in der Richtung einer kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats 7 kürzer als die langen Innenelektroden 9. Aktive Abschnitte 10, die in einer zu der Laminierungsrichtung senkrechten Richtung verschoben sind, sind an den Abschnitten angeordnet, bei denen sich die Elektroden 8 und die entsprechenden Elektroden 9 überlappen. Wie in 10 gezeigt ist, sind die aktiven Abschnitte 10 deshalb zu der linksseitigen Oberfläche 7b der beiden Seitenoberflächen 7b und 7c, die einander in der Richtung einer kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats 7 gegenüberliegen, benachbart und weisen Formen auf, die in der horizontalen Richtung asymmetrisch sind.
Jede der kurzen Innenelektroden 8 befindet sich in einem ausgefahrenen Zustand an der Seitenoberfläche 7b des piezoelektrischen Substrats 7, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte 10 befindet, und jede der langen Innenelektroden 9 befindet sich in einem ausgefahrenen Zustand an der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7, die von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist. Eine erste Außenelektrode 13_o bzw. eine zweite Außenelektrode 14_o sind mit den ausgefahrenen kurzen Innenelektroden 8 bzw. den ausgefahrenen langen Innenelektroden 9 elektrisch verbunden.
Die erste Außenelektrode 13_o erstreckt sich von der Seitenoberfläche 7b des piezoelektrischen Substrats 7, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte 10 befindet, hin zu der Seitenoberfläche 7c und entfernt von den aktiven Abschnitten 10, indem sie sich auf eine Hauptoberfläche 7a erstreckt und endet, bevor sie die Seitenoberfläche 7c erreicht. Andererseits erstreckt sich die zweite Außenelektrode 14_o von der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7 und entfernt von den aktiven Abschnitten 10 hin zu einer Stelle, die einem Endabschnitt der ersten Außenelektrode 13_o mit einem vorbestimmten Abstand d von demselben gegenüberliegt, indem sie sich auf die Hauptoberfläche 7a erstreckt. Der gewisse Abstand d zwischen der ersten und der zweiten Außenelektrode 13_o und 14_o ist vorgesehen, weil es notwendig ist, sie elektrisch zu isolieren.
Wie später beschrieben wird, müssen beim Bilden des piezoelektrischen Betätigungsglieds 1_o unter Verwendung der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o elektrische Leiter auf der FPC 4 mit der ersten und der zweiten Außenelektrode 13_o und 14_o elektrisch verbunden sein. Deshalb ist ein Bereich, der sich eine vorbestimmte Entfernung L₄ von der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7 und entfernt von den aktiven Abschnitten 10 erstreckt, als ein vorbestimmter Lötabschnitt 16_o bereitgestellt, der zum Löten benötigt wird.
Eine derartige piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6_o und das piezoelektrische Betätigungsglied 1_o , das die pie zoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6_o umfaßt, werden beispielsweise auf folgende Weise gebildet.
Um die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6_o zu bilden, sind drei Typen von Grünschichten 31, 32 und 33 vorgesehen, wie in 11 gezeigt ist. Mit anderen Worten sind die Grünschichten 31 vorgesehen, die auf denselben angeordnete elektrisch leitfähige Strukturen 41 aufweisen, welche die kurzen Innenelektroden 8 definieren. Die Grünschichten 32, die auf denselben angeordnete elektrisch leitfähige Strukturen 42 aufweisen, welche die langen Innenelektroden 9 definieren, und die Grünschichten 33, die keine auf denselben gebildete elektrisch leitfähige Strukturen aufweisen, sind ebenfalls vorgesehen. Diese Grünschichten 31, 32 und 33 werden erzeugt, indem piezoelektrische Materialien, beispielsweise PZT-Materialien, zu in der Draufsicht rechtwinkligen Formen gebildet werden. Die elektrisch leitfähigen Strukturen 41 und 42 werden durch ein Siebdrucken einer elektrisch leitfähigen Paste, deren Hauptkomponente beispielsweise Silber (Ag) ist, gebildet.
Nachdem eine vorbestimmte Anzahl sowohl der Grünschichten 31 als auch der Grünschichten 32, die die entsprechenden auf denselben gebildeten elektrisch leitfähigen Strukturen 41 und 42 aufweisen, abwechselnd und nacheinander aufeinander platziert wurden, werden die Grünschichten 33 auf dem obersten und dem untersten Abschnitt des sich ergebenden geschichteten Aufbaus angeordnet. Daraufhin werden alle diese Schichten 31, 32 und 33 entlang der Laminierungsrichtung durch Pressen miteinander verbunden und gebacken. Nach dem Backen werden die erste und die zweite Außenelektrode 13_o und 14_o durch Verdampfung gebildet. Durch ein Polarisieren des piezoelektrischen Substrats 7 wird daraufhin die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6_o erzeugt, die die aktiven Abschnitte 10 an den Abschnitten, wo die kurzen Innenelektroden 8 und die entsprechenden langen Innenelektroden 9 gestapelt sind, umfaßt.
Unter Verwendung der auf die oben beschriebene Weise gebildeten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o wird als nächstes das piezoelektrische Betätigungsglied 1_o gebildet, wie in 12 gezeigt ist. Als erstes wird die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6_o mit einem Haftmittel an das Fixierungssubstrat 2 angeklebt, so daß ihre aktiven Abschnitte 10 das Fixierungssubstrat 2 nicht überlappen.
Unter Verwendung einer Vereinzelungssäge werden Schnitte vorbestimmter Größen bei vorbestimmen Abständen entlang der Längsrichtung der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o von der Seitenoberfläche 7b hin zu der Seitenoberfläche 7c gebildet, um Schlitze 21 zu bilden. Folglich werden zwischen den Schlitzen 21 bewegliche Abschnitte 22_o gebildet, die separat angesteuert werden können. Ferner werden anschließend an die entsprechenden Schlitze 21 Schnitte in der ersten Außenelektrode 13_o gebildet, um flache Rillen 23 zu bilden, so daß die erste Außenelektrode 13_o von jedem beweglichen Abschnitt 22_o elektrisch isoliert ist.
Als nächstes wird die FPC 4 auf den vorbestimmten Lötabschnitt 16_o aufgelötet, so daß die elektrischen Leiter auf der FPC 4 mit jedem der Abschnitte der geteilten ersten Außenelektrode 13_o und mit der zweiten Außenelektrode 14_o elektrisch verbunden sind. Beispielsweise sind signaleingangsseitige elektrische Leiter auf der FPC 4 mit den entsprechenden Abschnitten der geteilten ersten Außenelektrode 13_o verbunden, und ein massenseitiger elektrischer Leiter ist mit der zweiten Außenelektrode 14_o verbunden. Die Druckerzeugungskammern 3 sind separat an den entsprechenden beweglichen Abschnitten 22_o des piezoelektrischen Betätigungsglieds 1_o angeordnet. Durch ein getrenntes Eingeben von Signalen in jeden der Abschnitte der geteilten ersten Außenelektrode 13_o werden dementsprechend die beweglichen Abschnitte 22_o separat angesteuert, so daß eine Tinte von jeder der Druckerzeugungskammern 3 separat abgegeben wird.
Wie oben erwähnt wurde, ist es bei der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o , die in dem piezoelektrische Betätigungsglied 1_o enthalten ist, notwendig, die FPC 4 mit beiden Elektroden 13_o und 14_o elektrisch zu verbinden, während sich die Endabschnitte der ersten und der zweiten Außenelektrode 13_o und 14_o an der Hauptoberfläche 7a bei der vorbestimmten Entfernung d zueinander gegenüberliegen. Bei der bekannten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 60 ist deshalb eine relativ große Länge L₄, die sich von der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7 und entfernt von den aktiven Abschnitten 10 erstreckt, als der vorbestimmte Lötabschnitt 16_o erforderlich. Folglich ist der vorbestimmte Lötabschnitt 16_o in der Nähe der aktiven Abschnitte 10 angeordnet.
Beim Herstellen des piezoelektrischen Betätigungsglieds 10 befindet sich die FPC-Lötstelle in der Nähe der aktiven Abschnitte 10, wenn die FPC 4 auf den vorbestimmten Lötabschnitt 16_o aufgelötet wird, so daß nicht nur eine gleichmäßige Expansion und Kontraktion jedes der beweglichen Abschnitte 22_o verhindert wird, sondern sich auch die folgenden Probleme aufgrund einer Übertragung von Schwingungen, die durch die Verschiebung der beweglichen Abschnitte 22_o zu anderen Abschnitten durch die FPC 4 entstehen, ergeben.
Wenn, im einzelnen, ein Signal Vp, das eine angelegte Spannungswellenform, wie beispielsweise diejenige, die durch eine Wellenform a dargestellt wird, über einen Zeitraum t₁ bis t₂ in einen vorbestimmten beweglichen Abschnitt 22_o eingegeben wird, wird die Schwingung innerhalb eines kurzen Zeitraums gedämpft, wie durch Wellenform b gezeigt ist, falls die FPC-4-Lötstelle ausreichend von dem aktiven Abschnitt 10 getrennt ist. Im Gegensatz dazu wird die Schwingungsdämpfungszeit länger, wie durch Wellenform c gezeigt ist, wenn sich die FPC-Lötstelle nahe bei dem aktiven Abschnitt 10 befindet. Infolgedessen wird eine Tintenabgabe unstabil, wodurch eine verringerte Bildqualität bewirkt wird.
Wenn sich die Lötstelle nahe bei dem aktiven Abschnitt 10 befindet, verliert der aktive Abschnitt 10 zudem seine Polarisierungseigenschaft, da er durch eine während des Lötens erzeugte Wärme beeinträchtigt wird, wodurch beispielsweise das Problem verursacht wird, daß der aktive Abschnitt 10 unfähig wird, auf piezoelektrische Weise zu arbeiten.
Um diese Probleme zu lösen, kann der vorbestimmte Lötabschnitt 16_o weiter von den Positionen der aktiven Abschnitte 10 wegbewegt werden, indem beispielsweise eine Entfernung L₅ von der Seitenoberfläche 7b des piezoelektrischen Substrats 7, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte 10 befindet, zu dem vorbestimmten Lötabschnitt 16_o in der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o groß gestaltet wird. Wenn dies geschieht, wird jedoch eine Gesamtlänge L₃ des piezoelektrischen Substrats 7 in der Richtung einer kurzen Seite desselben groß, so daß es nicht nur unmöglich ist, die Größe der gesamten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o zu verringern, sondern so daß beispielsweise auch die Kosten der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6_o steigen. Somit ist es nicht ratsam, die Gesamtlänge L₃ groß zu gestalten.
Die JP 11-10875 A offenbart einen piezoelektrischen Transducer, der eine erste und zweite interne Elektrode aufweist. Die erste interne Elektrode erstreckt sich von einer ersten Stirnfläche zu einer zweiten gegenüberliegenden Stirnfläche. Die zweite kürzere Elektrode erstreckt sich von der zweiten Stirnfläche zu der ersten Stirnfläche. Auf einer Hauptoberfläche und der zweiten Stirnfläche ist eine Segmentelektrode angeordnet, die mit der zweiten internen Elektrode verbunden ist. Ferner erstreckt sich eine Sammelelektrode auf der ersten Stirnfläche sowie teilweise auf der ersten Hauptfläche und einer der ersten Hauptfläche gegenüberliegenden zweiten Hauptfläche, wobei die Segmentelektrode und die Sammelelektrode auf der ersten Hauptflä che einander gegenüberliegen und durch einen Abstand voneinander beabstandet sind.
Die US 6,140,749 A zeigt eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung mit einem piezoelektrischen Körper, der erste und zweite interne Elektroden aufweist. Die ersten internen Elektroden sind an einer ersten Seitenoberfläche freigelegt, und die zweiten internen Elektroden sind an einer zweiten Seiteoberfläche, die der ersten Seitenoberfläche gegenüberliegt, freigelegt. Die ersten internen Elektroden sind mit einer ersten externen Elektrode verbunden, die auf der Seitenoberfläche, auf der die ersten internen Elektroden freigelegt sind, angeordnet ist. Die zweiten internen Elektroden sind ferner mit einer zweiten externen Elektrode über eine dritte Elektrode verbunden, die an einer Seitenoberfläche angeordnet ist, auf der die zweiten Elektroden freigelegt sind. Ferner sind Intern-Verbindungs-Elektroden vorgesehen, die mit den zweiten internen Elektroden verbunden sind.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung und ein piezoelektrisches Betätigungsglied mit reduzierter Größe zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.
Um die oben beschriebenen Probleme zu überwinden, schaffen bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung, deren Größe stark verringert ist und die infolge dessen, daß es ermöglicht wird, bei der Herstellung eines piezoelektrischen Betätigungsglieds eine ausreichende Entfernung zwischen ei nem aktiven Abschnitt und einer Lötstelle bereitzustellen, eine ausgezeichnete piezoelektrische Eigenschaft aufweist. Ferner schaffen andere bevorzugte Ausführungsbeispiele ein piezoelektrisches Betätigungsglied, das eine solche neuartige piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung enthält.
Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfaßt eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung ein im wesentlichen rechtwinkliges piezoelektrisches Substrat, lange Innenelektroden und kurze Innenelektroden. Die langen Innenelektroden und die kurzen Innenelektroden weisen unterschiedliche Längen auf und sind so angeordnet, daß sich die langen Innenelektroden und die kurzen Innenelektroden von einem Paar von sich gegenüberliegenden Seitenoberflächen des piezoelektrischen Substrats hin zu den entsprechenden Seitenoberflächen des piezoelektrischen Substrats erstrecken, die denjenigen Seitenflächen gegenüberliegen, von denen sich die langen Innenelektroden und die kurzen Innenelektroden erstrecken. Ferner sind die langen Innenelektroden und die kurzen Innenelektroden derart angeordnet, daß die kurzen Innenelektroden und die langen Innenelektroden in dem piezoelektrischen Substrat abwechselnd gestapelt sind. Ferner umfaßt die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung aktive Abschnitte, die an Abschnitten angeordnet sind, bei denen die langen Innenelektroden und die entsprechenden kurzen Innenelektroden gestapelt sind, und die in einer Richtung verschoben sind, die zu einer Richtung, in der die langen Innenelektroden und die entsprechenden kurzen Innenelektroden gestapelt sind, im wesentlichen senkrecht ist, eine erste Außenelektrode, die mit den kurzen Innenelektroden an der ausgefahrenen Seitenoberfläche elektrisch verbunden ist und eine zweite Außenelektrode, die mit den langen Innenelektroden an der ausgefahrenen Seitenoberfläche elektrisch verbunden ist. Die erste Außenelektrode und die zweite Außenelektrode sind separat auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats gebildet. Ferner erstreckt sich die erste Außenelektrode von der Seitenoberfläche des piezoelektrischen Sub strats, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte befindet, auf eine Hauptoberfläche und erstreckt sich bis zu einer Stelle, die zu der Seitenoberfläche, die von den aktiven Abschnitten, bei denen die langen Innenelektroden ausgefahren sind, entfernt ist, benachbart ist. Die zweite Außenelektrode erstreckt sich auf die Hauptoberfläche, um links und rechts von Stellen an der ersten Außenelektrode angeordnet zu sein, die zu der Seitenoberfläche des piezoelektrischen Substrats, die von den aktiven Abschnitten entfernt ist, benachbart sind.
Die zweite Außenelektrode kann angeordnet sein, um sich von der von den aktiven Abschnitten entfernten Seitenoberfläche des piezoelektrischen Substrats auf die Hauptoberfläche zu erstrecken. Alternativ kann die zweite Außenelektrode angeordnet sein, um sich von einer Seitenoberfläche des piezoelektrischen Substrats, die zu der Seitenoberfläche des piezoelektrischen Substrats, die von den aktiven Abschnitten entfernt ist, im wesentlichen senkrecht ist, auf die Hauptoberfläche zu erstrecken.
Gemäß bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung ist die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung der vorliegenden Erfindung im Gegensatz zu einer bekannten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung, bei der die Endoberflächen der ersten und der zweiten Außenelektrode einander zugewandt sind und einander gegenüberliegen, so aufgebaut, daß die zweite Außenelektrode sowohl auf der linken als auch auf der rechten Seite von Stellen bei der ersten Außenelektrode angeordnet ist, die zu der von den aktiven Abschnitten entfernten Seitenoberfläche benachbart sind. Somit ist es möglich, jede der ersten und der zweiten Außenelektrode benachbart zu der Seitenoberfläche des piezoelektrischen Substrats und entfernt von den aktiven Abschnitten anzuordnen. Deshalb muß die Stelle, an der die FPC gelötet werden soll, nicht mehr sehr weit von der Seitenoberfläche des piezoelektrischen Substrats, die von den aktiven Abschnitten entfernt ist, angeordnet sein, so daß die Stelle, an der die FPC gelötet werden soll, ausreichend von den Aktivabschnittbildungsstellen getrennt sein kann. Wenn die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung bevorzugter Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung mit einer bekannten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung verglichen wird, kann folglich die Gesamtlänge des piezoelektrischen Substrats in der Richtung einer kurzen Seite desselben kürzer gestaltet werden. Zudem kann die gesamte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung bevorzugter Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung viel kleiner gestaltet werden als eine bekannte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist ein piezoelektrisches Betätigungsglied vorgesehen, bei dem durch ein Bilden von Schlitzen, die sich von der Seitenoberfläche, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte befindet, hin zu der derselben gegenüberliegenden Seitenoberfläche der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung eines der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung mit einem vorbestimmten Abstand entlang einer Richtung erstrecken, die zu der Erstreckungsrichtung der Schlitze im wesentlichen senkrecht ist, separat ansteuerbare bewegliche Abschnitte zwischen den entsprechenden Schlitzen vorgesehen sind und ein elektrischer Leiter auf einer flexiblen gedruckten Schaltungsplatine mit der durch die Schlitze geteilten ersten Außenelektrode und der zweiten Außenelektrode verbunden ist.
Da die FPC-Lötstelle von den aktiven Abschnitten entfernt angeordnet ist, expandieren und kontrahieren die beweglichen Abschnitte bei dem piezoelektrischen Betätigungsglied gleichmäßig, und eine Übertragung von Schwingungen, die durch eine Verschiebung der beweglichen Abschnitte erzeugt werden, zu anderen Abschnitten durch die FPC wird zuverlässig verhindert. Daher wird eine Schwingung innerhalb eines kurzen Zeitraums gedämpft, so daß eine Tinte auf stabile Weise abgegeben wird, wodurch eine ausgezeichnete Bildqualität geliefert wird. Da der Lötabschnitt von den aktiven Abschnitten entfernt angeordnet ist, besteht ferner keine Möglichkeit, daß die Polarisierungseigenschaften der aktiven Abschnitte durch eine während eines Lötens erzeugte Wärme verschlechtert werden, so daß stabile piezoelektrische Eigenschaften geliefert werden.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1 eine perspektivische Ansicht der gesamten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung eines ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
2 eine Schnittansicht, die entlang der Linie A-A der 1 genommen ist;
3 eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Betätigungsglieds, in dem die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung enthalten ist;
4 eine perspektivische Ansicht der gesamten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung eines zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
5 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht, die einen Prozeß zum Herstellen der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
6 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht, die einen weiteren Prozeß zum Herstellen einer piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung gemäß bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
7 eine vertikale Schnittansicht der durch den in
6 gezeigten Herstellungsprozeß gebildeten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung;
8 eine Schnittansicht, die ein piezoelektrisches Betätigungsglied im Gebrauch zeigt;
9 eine perspektivische Ansicht des gesamten bekannten piezoelektrischen Betätigungsglieds im Gebrauch;
10 eine Schnittansicht, die entlang der Linie B-B der 8 genommen ist;
11 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht, die einen Prozeß zum Herstellen der bekannten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung veranschaulicht;
12 eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Betätigungsglieds, in dem die bekannte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung enthalten ist.
13 ein Zeitdiagramm, das Schwingungsdämpfungscharakteristika, wenn ein vorbestimmtes Ansteuersignal auf einen beweglichen Abschnitt des piezoelektrischen Betätigungsglieds angelegt wird, zeigt.
1 ist eine perspektivische Ansicht der gesamten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung eines ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. 2 ist eine Schnittansicht, die entlang der Linie A-A der 1 genommen ist. Elemente, die denen der in den 9 und 10 gezeigten bekannten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung entsprechen, sind mit denselben Bezugszeichen bezeichnet.
Im einzelnen umfaßt eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6₁ gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel ein im wesentlichen rechtwinkliges piezoelektrisches Substrat 7. Kurze Innenelektroden 8 und lange Innenelektroden 9, die unterschiedliche Längen aufweisen, sind so angeordnet, daß sich die kurzen Innenelektroden 8 und die langen Innenelektroden 9 von einem Paar von gegenüberliegenden Seitenoberflächen 7b und 7c hin zu den Seitenoberflächen erstrecken, die den Seitenoberflächen, von denen sich die kurzen Innenelektroden 8 und die langen Innenelektroden 9 erstrecken, gegenüberliegen. Ferner sind die kurzen Innenelektroden 8 und die langen Innenelektroden 9 angeordnet, um in dem piezoelektrischen Substrat 7 abwechselnd gestapelt zu sein. Die Seitenoberflächen 7b und 7c liegen einander in der Richtung einer kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats 7 gegenüber. Aktive Abschnitte 10, die in einer Richtung, die zu der Laminierungsrichtung im wesentlichen senkrecht ist, verschoben sind, sind an den Abschnitten angeordnet, an denen sich die Elektroden 8 und die entsprechenden Elektroden 9 überlappen. Diese strukturellen Merkmale sind dieselben wie diejenigen des in 9 und 10 gezeigten bekannten piezoelektrischen Betätigungsglieds 6_o .
Ein Merkmal des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels besteht darin, daß eine erste Außenelektrode 13₁ mit den kurzen Innenelektroden 8, die zu der Seitenoberfläche 7b des piezoelektrischen Substrats 7, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte 10 befindet, hin ausgefahren sind, elektrisch verbunden ist und daß ein Paar einer linken und einer rechten zweiten Außenelektrode 14₁ und 14₁ mit den langen Innenelektroden 9, die zu der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7, die von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist, hin ausgefahren sind, elektrisch verbunden sind. Die erste Außenelektrode 13₁ erstreckt sich von der Seitenoberfläche 7b des piezoelektrischen Substrats 7, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte 10 befindet, hin zu einer Stelle, die zu der Seitenoberfläche 7c, welche von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist, benachbart ist, indem sie sich auf eine Hauptoberfläche 7a erstreckt. Andererseits sind die zweiten Außenelektroden 14₁ und 14₁ angeordnet, um sich von der Seitenoberfläche 7c auf die Hauptoberfläche 7a zu erstrecken, um auf der linken und der rechten Seite von Stellen an der ersten Außenelektrode 13₁ angeordnet zu sein, die zu der Seitenoberfläche 7c, die von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist, benachbart sind.
Da das Paar von zweiten Außenelektroden 14₁ und 14₁ auf der linken und rechten Seite von Stellen an der ersten Außenelektrode 13₁ angeordnet ist, die zu der Seitenoberfläche 7c, die von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist, benachbart sind, ist es dementsprechend bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel möglich, die erste Außenelektrode 13₁ und die zweiten Außenelektroden 14₁ und 14₁ benachbart zu der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7, die von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist, anzuordnen. Deshalb muß für einen vorbestimmten Lötabschnitt 16₁ , an den eine FPC 4 gelötet wird, wenn ein piezoelektrisches Betätigungsglied 1₁ hergestellt wird, ein Bereich gebildet werden, der sich lediglich eine geringe Entfernung L₁ von der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7, die von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist, so daß es im Gegensatz zu der Vorrichtung des Standes der Technik nicht notwendig ist, diesen Bereich so zu gestalten, daß er sich eine große Entfernung von der Seitenoberfläche 7c erstreckt. Mit anderen Worten ist vorzugsweise die Bedingung L₁ << L₄ erfüllt. Bei der Vorrichtung des Standes der Technik muß L₄ beispielsweise ca. 2,6 mm betragen, bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist L₁ jedoch ein ausreichender Wert, wenn es gleich etwa 1,0 mm ist. Deshalb kann die Länge des vorbestimmten Lötabschnitts 16₁ in der Richtung der kurzen Seite desselben beträchtlich kleiner ausgeführt sein. Auch wenn eine Gesamtlänge L₀ des piezoelektrischen Substrats 7 in der Richtung einer kurzen Seite geringer ist als die Gesamtlänge L₃ des piezoelektrischen Substrats 7 des Beispiels der bekannten Technik (L₀ < L₃), ist es somit trotzdem möglich, den vorbestimmten Lötabschnitt 16₁ von Stellen der aktiven Abschnitte 10 ausreichend zu trennen. Folglich ist es möglich, die gesamte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung der vorliegenden Erfindung kleiner zu gestalten als die gesamte bekannte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung.
Die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6₁ wird vorzugsweise im Grunde durch dieselben Verfahren wie jene, die herkömmlicherweise durchgeführt werden, wie in 11 gezeigt ist, hergestellt. Unter Verwendung der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6₁ wird das piezoelektrische Betätigungsglied 1₁ vorzugsweise durch dieselben Verfahren wie diejenigen, die herkömmlicherweise durchgeführt werden, hergestellt.
Dementsprechend, wie in 3 gezeigt ist, wird das piezoelektrische Betätigungsglied 1₁ durch ein Bilden von Schnitten in den aktiven Abschnitten 10 entlang der Längsrichtung der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6₁ bei vorbestimmten Abständen von der Seitenoberfläche 7b, die sich in der Nähe der aktiven Abschnitte 10 befindet, hin zu der Seitenoberfläche 7c, die der Seitenoberfläche 7b gegenüberliegt, um sich erstreckende Schlitze 21 zu bilden, erzeugt. Zwischen den entsprechenden Schlitzen 21 sind bewegliche Abschnitte 22, die separat angesteuert werden können, gebildet. Anschließend an die entsprechenden Schlitze 21 werden flache Rillen 23 gebildet. Elektrische Leiter auf der FPC 4 werden an den vorbestimmten Lötabschnitt 16₁ angelötet, um die elektrischen Leiter auf der FPC 4 mit Abschnitten der geteilten ersten Außenelektrode 13₁ und mit den zweiten Außenelektroden 14₁ elektrisch zu verbinden. An den entsprechenden beweglichen Abschnitten 22₁ des piezoelektrischen Betätigungsglieds 1₁ sind Druckerzeugungskammern 3 separat angeordnet.
Bei dem piezoelektrischen Betätigungsglied 1₁ , das diesen Aufbau aufweist, befindet sich die FPC-Lötstelle in einem Bereich, der in einer geringen Entfernung L₁ von der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7, die von den aktiven Abschnitten 10 entfernt ist, und somit in einer ausreichenden Entfernung von den aktiven Abschnitten 10 platziert ist. Somit expandieren und kontrahieren die beweglichen Abschnitte 22₁ gleichmäßig, und eine Übertragung einer Schwingung, die durch eine Verschiebung der beweglichen Abschnitte 22₁ hervorgerufen wird, auf andere Abschnitte durch die FPC 4 wird eingeschränkt. Daher wird eine Schwingung innerhalb eines kurzen Zeitraums gedämpft, so daß eine Tinte auf stabile Weise abgegeben wird, wodurch eine hervorragende Bildqualität geschaffen wird. Da der Lötabschnitt von den aktiven Abschnitten entfernt angeordnet ist, besteht ferner keine Möglichkeit, daß die Polarisierungseigenschaften der aktiven Abschnitte durch eine während eines Lötens erzeugte Wärme verschlechtert werden, so daß stabile piezoelektrische Eigenschaften geliefert werden.
Obwohl die erste Außenelektrode 13₁ bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel von jedem beweglichen Abschnitt 22₁ elektrisch isoliert ist, indem die flachen Rillen 23 bezüglich der ersten Außenelektrode 13₁ gebildet werden, ist es möglich, die erste Außenelektrode 13₁ zu einer Konfiguration zu bilden, die es ihr ermöglicht, mit einem vorbestimmten Abstand entlang der Längsrichtung des piezoelektrischen Substrats 7 elektrisch isoliert zu sein, indem bei der Bildung der ersten Außenelektrode 13₁ zuvor eine Maskierung durchgeführt wird.
Bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel sind signaleingangsseitige elektrische Leiter auf der FPC 4 bzw. ein massenseitiger elektrischer Leiter mit der ersten Außenelektrode 13₁ bzw. den zweiten Außenelektroden 14₁ verbunden. Jedoch können der massenseitige elektrische Leiter auf der FPC 4 bzw. die signaleingangsseitigen elektrischen Leiter mit der ersten Außenelektrode 13₁ bzw. den zweiten Außenelektroden 14₁ verbunden sein, ohne funktionelle Probleme zu verursachen.
4 ist eine perspektivische Ansicht der gesamten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung eines zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. 5 ist eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht, die ein Verfahren zum Erzeugen der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. Elemente, die denen des in den 1 und 2 gezeigten ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels entsprechen, sind durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet.
Ein Merkmal einer piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6₂ des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels besteht darin, daß sich ein Paar von zweiten Außenelektroden 14₂ von entsprechenden kurzseitigen Seitenoberflächen 7d und 7e, (die zu einer Seitenoberfläche 7c eines piezoelektrischen Substrats 7, die von aktiven Abschnitten entfernt ist, im wesentlichen senkrecht sind) auf eine Hauptoberfläche 7a erstreckt und daß die Abschnitte der zweiten Außenelektroden 14₂ , die sich auf die Hauptoberfläche 7a erstrecken, sowohl auf der linken als auch auf der rechten Seite von Stellen an einer ersten Außenelektrode 13₂ angeordnet sind, die zu der Seitenoberfläche 7c, die von den aktiven Abschnitten entfernt ist, benachbart sind.
Die anderen strukturellen Merkmale sind vorzugsweise dieselben wie die des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels, weshalb sie im folgenden nicht ausführlich beschrieben werden.
Die piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6₂ des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels wird wie in 5 gezeigt erzeugt. Es werden drei Typen von Grünschichten bereitgestellt, die Grünschichten 36, welche auf denselben angeordnete elektrisch leitfähige Strukturen 46 aufweisen, die kurze Innenelektroden 8 definieren, Grünschichten 37, die auf denselben angeordnete elektrisch leitfähige Strukturen 47 aufweisen, die lange Innenelektroden 9 definieren, und Grünschichten 38, die keine auf denselben angeordnete elektrisch leitfähige Strukturen aufweisen, umfassen. Anschließend werden Verfahren durchgeführt, die im Grunde dieselben sind wie diejenigen, die bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel verwendet werden. Die elektrisch leitfähigen Strukturen 47, die die langen Innenelektroden 9 werden, erreichen jedoch eine der langen Seiten der Grünschicht 37, so daß sie mit den zweiten Außenelektroden 14₂ verbunden werden können. Ferner erstrecken sich Abschnitte der elektrisch leitfähigen Strukturen 47 entlang der kurzen Seiten der Grünschicht 37, um sich erstreckende Abschnitte 47a zu definieren. Auch hier werden, wenn das piezoelektrische Betätigungsglied unter Verwendung der auf diese Weise erzeugten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6₂ erzeugt wird, dieselben Verfahren wie diejenigen des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels durchgeführt, so daß diese im folgenden nicht ausführlich beschrieben werden.
Wie bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die erste Außenelektrode 13₂ und die zweiten Außenelektroden 14₂ bei der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 62 des zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels zu der Seitenoberfläche 7c des piezoelektrischen Substrats 7, die von den aktiven Abschnitten entfernt ist, benachbart, so daß es möglich ist, einen vorbestimmten Lötabschnitt 16₂ von den Positionen der aktiven Abschnitte ausreichend zu trennen. Daher ist es möglich, die gesamte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6₂ kleiner als eine bekannte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung zu gestalten. Wenn das piezoelektrische Betätigungsglied unter Verwendung der piezo elektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6₂ erzeugt wird, ist die Lötstelle ferner ausreichend von den aktiven Abschnitten 10 getrennt, so daß eine Tinte auf stabile Weise abgegeben wird, wodurch eine hervorragende Bildqualität bereitgestellt wird, und es besteht keine Möglichkeit, daß die Polarisierungseigenschaften der aktiven Abschnitte 10 durch eine während eines Lötens erzeugte Wärme verschlechtert werden, so daß stabile piezoelektrische Eigenschaften erreicht werden.
Bei dem ersten und dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel werden die gewünschten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtungen 6₁ und 6₂ vorzugsweise durch Herstellen von drei Typen von Grünschichten 31, 32 und 33 bzw. 36, 37 und 38 und durch ein Backen des sich ergebenden geschichteten Aufbaus, nachdem die entsprechenden Grünschichten abwechselnd und nacheinander aufeinander platziert wurden, erzeugt. Jedoch kann eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung auch auf folgende Weise erzeugt werden.
Wie in 6 gezeigt ist, wird im einzelnen eine Mehrzahl eines Typs von Grünschichten 39, die auf denselben angeordnete elektrisch leitfähige Strukturen 49 derselben Form aufweisen, hergestellt.
Die Grünschichten 39 werden derart aufeinander gestapelt, daß sie in der horizontalen Richtung abwechselnd voneinander verschoben sind, und der sich ergebende geschichtete Aufbau wird einem Backvorgang unterzogen. Danach wird durch ein Schneiden entlang gestrichelter Linien, die in 6 gezeigt sind, eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6₃ erzeugt. Wie in 7 gezeigt ist, verbleiben Kanten 11 und 12 bei der durch dieses Verfahren erzeugten piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6₃ dementsprechend nach dem Schneiden zusätzlich zu den kurzen Innenelektroden 8 und den langen Innenelektroden 9 in einem piezoelektrischen Substrat 7. In bezug auf die Eigenschaft der piezoelektrischen Mehrschicht-Vorrichtung 6₃ ist dies jedoch kein Pro blem. Anstatt eines Aufeinanderplazierens der Grünschichten 39, die die elektrisch leitfähigen Strukturen 49 derselben Formen aufweisen, so daß sie in der horizontalen Richtung abwechselnd voneinander verschoben sind, können auf den Grünschichten 39 elektrisch leitfähige Strukturen 49 gebildet sein, wobei die Druckpositionen voneinander verschoben sind, und anschließend können die Grünschichten 39 aufeinander platziert werden, ohne sie voneinander zu verschieben, um auf ähnliche Weise eine piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung wie die in 7 gezeigte piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung 6₃ zu erzeugen.

Claims

Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung (6₁ , 6₂ , 6₃ ), die folgende Merkmale aufweist: ein piezoelektrisches Substrat (7), das vier Seitenoberflächen und zwei Hauptoberflächen aufweist; eine Mehrzahl von längeren Innenelektroden (9); eine Mehrzahl von kürzeren Innenelektroden (8), wobei die längeren Innenelektroden (9) länger sind als die kürzeren Innenelektroden (8), die längeren Innenelektroden (9) und die kürzeren Innenelektroden (8) so angeordnet sind, daß sich die längeren Innenelektroden von einer ersten Seitenoberfläche (7c) des piezoelektrischen Substrats (7) hin zu einer zweiten Seitenoberfläche (7b) des piezoelektrischen Substrats (7), die zusammen mit der ersten Seitenoberfläche (7c) ein Paar von sich gegenüberliegenden Seitenoberflächen des piezoelektrischen Substrats (7) bildet, erstrecken und sich die kürzeren Innenelektroden (8) von der zweiten Seitenoberfläche (7b) des piezoelektrischen Substrats (7) hin zu der ersten Seitenoberfläche (7c) des piezoelektrischen Substrats (7) erstrecken, so dass aktive Abschnitte (10), die an Stellen angeordnet sind, an denn sich die gestapelten längeren Innenelektroden (9) und entsprechenden kürzeren Innenelektroden (8) überlappen, zu der zweiten Seitenoberfläche (7b) benachbart und von der ersten Seitenoberfläche (7c) entfernt sind, und die längeren Innenelektroden (9) und die kürzeren Innenelektroden (8) angeordnet sind, daß die kürzeren Innenelektroden (8) und die längeren Innenelekt roden (9) in dem piezoelektrischen Substrat (7) abwechselnd gestapelt sind; eine erste Außenelektrode (13₁ , 13₂ ), die mit den kürzeren Innenelektroden (8) elektrisch verbunden ist; und eine zweite Außenelektrode (14₁ , 14₂ ), die mit den längeren Innenelektroden (9) elektrisch verbunden ist; wobei die erste Außenelektrode (13₁, 13₂ ) und die zweite Außenelektrode (14₁, 14₂ ) auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats (7) separat angeordnet sind; und wobei sich die erste Außenelektrode (13₁, 13₂ ) von der zweiten Seitenoberfläche (7b) des piezoelektrischen Substrats (7) auf eine Hauptoberfläche des piezoelektrischen Substrats (7) erstreckt und einen Endabschnitt aufweist, mit dem die erste Außenelektrode (13₁, 13₂ ) auf der Hauptoberfläche an einer Stelle endet, die zu der ersten Seitenoberfläche (7c) benachbart ist, und wobei sich die zweite Außenelektrode (14₁, 14₂ ) von einer der Seitenoberflächen des piezoelektrischen Substrats (7) auf die Hauptoberfläche und dort bis zu einer Stelle erstreckt, die mit einem vorbestimmten Abstand dem Endanschnitt der ersten Außenelektrode (13₁, 13₂ ) gegenüberliegt, so dass die erste und zweite Außenelektrode voneinander elektrisch isoliert sind.
Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung (6₁ , 6₂ , 6₃ ) gemäß Anspruch 1, bei der sich die zweite Außenelektrode (14₁ , 14₂ ) von der ersten Seitenoberfläche (7c) des piezoelektrischen Substrats (7) auf die Hauptoberfläche (7a) erstreckt
Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung (6₁ , 6₂ , 6₃ ) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die zweite Außenelektrode (14₁, 14₂ ) so angeordnet ist, dass sich die selbe von einer der Seitenoberflächen des piezoelektrischen Substrats (7), die senkrecht zu der ersten Seitenoberfläche (7c) des piezoelektrischen Substrats ist auf die Hauptoberfläche (7a) erstreckt.
Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung (6₁ , 6₂ , 6₃ ) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der das Piezoelektrische Substrat (7) in einer Richtung, die zu der Hauptoberfläche des piezoelektrischen Substrats parallel ist, schwingt.
Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung (6₁ , 6₂ , 6₃ ) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der die aktiven Abschnitte (10) in einer Richtung, die parallel zu der Hauptoberfläche des piezoelektrischen Substrats (7) ist, schwingen.
Piezoelektrisches Betätigungsglied (1₁ , 1₂ , 1₃ ) mit einer Mehrschicht-Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, das ferner folgende Merkmale aufweist: Schlitze, die sich von der zweiten Seitenoberfläche (7b) zu der ersten Seitenoberfläche (7c) erstrecken, wobei die Schlitze mit einem vorbestimmten Abstand entlang einer Richtung, die zu der Erstreckungsrichtung der Schlitze senkrecht ist, gebildet sind, so dass dieselben zwischen den entsprechenden Schlitzen separat ansteuerbare bewegliche Abschnitte bereitstellen; und einen elektrischen Leiter auf einer flexiblen gedruckten Schaltungsplatine, der mit der ersten Außenelektrode, die durch die Schlitze geteilt ist, und mit der zweiten Außenelektrode verbunden ist.