JP2003035811A - 転写フィルムの供給方法、転写方法及び転写フィルム供給用のカートリッジ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は転写フィルムの切断が不要で、転写
フィルムの露出量も小さくて済み、かつ転写フィルムの
供給の都合から生じる転写装置の設計の制約を抑えるこ
とができる転写フィルムの供給方法を提供する。 【解決手段】 複数回の転写に対応可能な長さの転写フ
ィルム１１を収容する供給部１２ａとそのフィルム１１
を回収する回収部１２ｂとを備えたカートリッジ１２を
用意する。供給部１２ａと回収部１２ｂとの間に一回の
転写に必要な長さの転写フィルム１１を繰り出すととも
に、その繰り出した転写フィルム１１が転写装置１のス
テージ４上の基板１０と重なるようにしてカートリッジ
１２をステージ４に搭載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
のカラーフィルタの基板上に熱溶融型の着色剤層が形成
された転写フィルムを供給する場合等に好適な転写フィ
ルムの供給方法、その供給方法を利用した転写方法、及
び転写フィルムの供給用のカートリッジに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの
基板に着色層を形成する方法としてレーザ転写法が提案
されている（例えば特開平１０−２０６６２５号公報、
特開平７−１０４１１３号公報参照）。レーザ転写法
は、フィルム状の基材に予め熱溶融型の着色剤を塗布し
て転写フィルムを形成し、その転写フィルムとカラーフ
ィルタの基板とを重ね合わせた状態で転写フィルムにレ
ーザビームを当てて着色剤を溶融させることにより、基
板に所望のパターンで着色剤を転写する方法である。

【０００３】上記のレーザ転写法においては、転写装置
のステージに載置された基板に対して、これを覆うよう
に転写フィルムを供給する必要がある。従来の供給方法
では、転写フィルムのロールから一回の転写に必要な長
さの転写フィルムを引き出してこれをロールから切断
し、得られた一枚の転写フィルムをステージ上に移送
し、基板上へ転写フィルムを展開している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の供給方法では転
写フィルムを基板サイズに合わせて切断する工程が必要
であり、作業工数が増加してコスト及び時間が嵩む。切
断面から塵が発生し、その塵が転写フィルムや基板に付
着して転写に悪影響を与えるおそれもある。

【０００５】こうした不都合を解消するため、転写装置
にそのレーザ照射部を挟むようにして一対のロールを装
着し、転写が行われる毎に一方のロールから他方のロー
ルへと転写フィルムを所定長ずつ移し替えることによ
り、多数枚の基板上に連続的に転写フィルムを供給する
連続供給方式が検討された。このような方法によれば転
写フィルムを切断する必要がないので発塵の問題は生じ
ない。

【０００６】しかし、上記の連続供給方式では、一対の
ロールをそれらの間に転写フィルムが巻き掛けられた状
態で交換することを可能とするためにレーザ照射部を片
持ち構造にする必要が生じる等、転写装置の設計上の制
約が大きくなる。レーザ照射部の前後に基板よりも長い
距離に亘って転写フィルムを露出させる必要があり、転
写フィルムへ異物が付着するおそれが高まる。

【０００７】そこで、本発明は転写フィルムの切断が不
要で、転写フィルムの露出量も小さくて済み、かつ転写
フィルムの供給の都合から生じる転写装置の設計の制約
を抑えることができる転写フィルムの供給方法、並びに
その供給方法を利用した転写方法及びその供給方法に適
したカートリッジを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の供給方法は、転
写装置（１）のステージ（４）に載置される転写対象の
基板（１０）上に転写フィルム（１１）を供給する方法
であって、複数回の転写に対応可能な長さの転写フィル
ムを収容する供給部（１２ａ）とそのフィルムを回収す
る回収部（１２ｂ）とを備えたカートリッジ（１２）を
用意し、前記供給部と前記回収部との間に一回の転写に
必要な長さの転写フィルムを繰り出すとともに、その繰
り出した転写フィルムが前記ステージ上の前記基板と重
なるようにして前記カートリッジを前記ステージに搭載
することにより、上述した課題を解決する。

【０００９】本発明の供給方法によれば、各回の転写に
先立ってカートリッジの供給部から必要な長さの転写フ
ィルムを繰り出して基板に重ねることができ、使用済み
の転写フィルムは回収部に回収することができる。これ
により、転写フィルムを切断する必要がなくなり、切断
面からの発塵の問題が生じない。カートリッジをステー
ジに搭載するようにしたので、転写フィルムの露出量は
最小限で足りる。ステージを転写部（例えばレーザ照射
部直下の領域）の外へ移動させて基板の載せ替えを行う
位置にてカートリッジの搭載及び取り外しを行うことが
できるので、転写フィルムの供給機構の構成が転写部の
設計に与える影響を抑えることができ、その結果、転写
部の設計自由度が高まる。

【００１０】本発明の供給方法において、一回の転写に
必要な長さの転写フィルムを繰り出す処理は前記カート
リッジを前記ステージに搭載する前に行ってもよいし、
カートリッジをステージに搭載した後に行ってもよい。

【００１１】複数のカートリッジを用意し、いずれか一
のカートリッジがステージに搭載されている間に、ステ
ージから取り外されて待機中のカートリッジの前記供給
部と前記回収部との間に次回の転写に必要な長さの転写
フィルムを繰り出すようにしてもよい。この場合には、
いずれかのカートリッジがステージに搭載されて転写が
行われている間に、待機中のカートリッジの供給部から
次回の転写に備えて転写フィルムが繰り出される。従っ
て、転写フィルムを繰り出す作業に起因して転写処理の
効率が低下するおそれがない。

【００１２】前記待機中のカートリッジの前記供給部と
前記回収部との間に繰り出されている転写フィルムを、
そのカートリッジが前記ステージへ搭載される前にクリ
ーニングしてもよい。この場合には、転写フィルムへの
異物の付着に起因する転写不良の発生を未然に防止でき
る。待機中のカートリッジに対してクリーニングが行わ
れるので、転写処理の効率が損なわれるおそれもない。

【００１３】前記待機中のカートリッジの前記供給部と
前記回収部との間に繰り出されている転写フィルムを、
そのカートリッジが前記ステージへ搭載される前に検査
するようにしてもよい。この場合には、転写フィルムの
欠陥に起因する転写不良の発生を未然に防止できる。待
機中のカートリッジの転写フィルムに対して欠陥検査が
行われるので、転写処理の効率が損なわれるおそれもな
い。

【００１４】前記検査にて前記転写フィルムに欠陥が検
出された場合、その欠陥部分が前記基板と重なる範囲か
ら外れるように前記供給部から前記回収部へと前記転写
フィルムを送出するようにしてもよい。この場合には、
転写フィルム上にて検出された欠陥部分が回収部へ送ら
れることにより、その欠陥部分の使用を確実に防止でき
る。

【００１５】前記欠陥部分の検出に伴って新たに繰り出
された転写フィルムに対してクリーニング及び検査を行
い、前記転写フィルムと重なる範囲から前記欠陥部分が
検出されなくなるまで前記転写フィルムの送出、クリー
ニング及び検査を繰り返すようにしてもよい。この場合
にはステージ上の基板に対して常に欠陥のない転写フィ
ルムを供給することができる。

【００１６】本発明の供給方法において、前記供給部及
び前記回収部のそれぞれにロール（１４，１５）を配置
し、前記供給部のロールから引き出された転写フィルム
を前記回収部のロールに巻き取るようにしてもよい。こ
のようにすれば、転写フィルムの供給及び回収を簡単な
構造で行うことができ、カートリッジの軽量化、小型化
に資することができる。

【００１７】本発明の転写方法は、上述した供給方法に
より前記カートリッジ（１２）を前記ステージ（４）に
載置した後に、前記基板（１０）に重ねられた前記転写
フィルム（１１）に前記転写装置（１）のレーザ照射部
（６）からレーザビームを照射して前記転写フィルム上
の被転写物質を前記基板に転写することを特徴とする。
この転写方法によれば、本発明の供給方法の上述した利
点を活かして効率よく高品質で転写を行うことができ
る。

【００１８】本発明の転写フィルム供給用カートリッジ
は、転写対象の基板（１０）が載置される転写装置
（１）のステージ（４）に搭載可能であり、複数回の転
写に対応可能な長さの転写フィルム（１１）を収容する
供給部（１２ａ）と、そのフィルムを回収する回収部
（１２ｂ）とを備え、前記供給部と前記回収部との間に
は前記基板に対して前記転写フィルムを重ねるための繰
り出し部（１２ｃ）が設けられていることを特徴とす
る。

【００１９】このカートリッジによれば、一回の転写に
必要な長さの転写フィルムを供給部から繰り出し部に繰
り出すとともに、その繰り出された転写フィルムが基板
と重ねるようにしてカートリッジをステージに搭載する
ことにより本発明の供給方法を実現することができる。

【００２０】本発明のカートリッジを、レーザビームの
照射によって転写を行う転写装置に適用する場合には、
前記繰り出し部の転写フィルムに対してレーザビームを
導入するための開口部と、前記繰り出し部の転写フィル
ムを前記基板に重ねるための開口部とを設けることが望
ましい。

【００２１】本発明のカートリッジにおいては、前記供
給部及び前記回収部のそれぞれにロール（１４，１５）
が配置され、前記供給部のロールから引き出された転写
フィルムが前記繰り出し部を経て前記回収部のロールに
巻き取られるようにしてもよい。この場合には長尺の転
写フィルムの収容と、転写に使用するフィルムの繰り出
しと、使用済の転写フィルムの回収とを簡単な構造で実
現でき、カートリッジを小型かつ軽量に構成することが
できる。

【００２２】なお、上記の説明では、本発明の理解を容
易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記
したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるも
のではない。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図６を参照して本発
明の一実施形態を説明する。図６は液晶ディスプレイの
カラーフィルタのガラス基板に着色層を形成する転写装
置１の全体構成を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側
面図である。転写装置１は、ベッド２と、門型のコラム
３と、ステージ４とを有している。ステージ４は直線案
内装置５を介してベッド２に取り付けられて水平面内の
所定の軸方向（図６（ａ）に矢印で示す方向。）に沿っ
て段取り位置Ｐ１とコラム３の直下の転写位置Ｐ２との
間を移動可能である。段取り位置Ｐ１では基板１０の載
せ替え等の段取り作業が行われる。

【００２４】コラム３にはレーザ照射部６が取り付けら
れている。レーザ照射部６は転写位置Ｐ２に送られたス
テージ４に向かってレーザビームを照射する。レーザ照
射部６は、水平面内でステージ４の移動方向と直交する
方向にレーザビームを走査する機能を有している。転写
装置１は、レーザ照射部６におけるレーザビームの走査
とステージ４の移動との組み合わせによってステージ４
上の任意の位置にレーザビームを照射可能である。な
お、ステージ４は一枚の基板１０を搭載するに適した大
きさに設計されている。

【００２５】図１は、本発明の方法により上記の転写装
置１のステージ４に載置された一枚の基板１０の上に転
写フィルム１１を供給する例を示している。この例にお
いては、転写フィルム１１がカートリッジ１２に収容さ
れており、そのカートリッジ１２がそのままステージ４
に搭載されて基板１０上に転写フィルム１１が供給され
る。図２にも示したように、カートリッジ１２は互いに
平行に配置された一対の板状のフレーム１３，１３を有
している。フレーム１３，１３の一端側には供給ロール
１４が取り付けられ、フレーム１３の他端側には巻取ロ
ール１５が取り付けられている。各ロール１４，１５は
互いに平行な軸線の回りに回転自在である。

【００２６】各ロール１４，１５の間には、ステージ４
に載置される基板１０の長さよりも長いスペース１６が
確保されている。転写フィルム１１に対するレーザビー
ムの照射と転写フィルム１１から基板１０へのパターン
の転写とを可能とするためにスペース１６の上下は開放
されている。つまり、レーザビームの導入用の開口部
と、転写フィルム１１と基板１０とを密着させるための
開口部とがカートリッジ１２の上下に設けられている。

【００２７】カートリッジ１２の使用開始前の初期状態
において、供給ロール１４には多数枚（例えば１００〜
４００枚）の基板１０の転写に対応可能な長さの転写フ
ィルム１１が巻き付けられている。これによりフレーム
１３の一端側に転写フィルム１１の供給部１２ａが構成
される。供給ロール１４から引き出された転写フィルム
１１はカートリッジ１２の下端に沿って真っ直ぐに伸ば
された上で巻取ロール１５に巻き取られている。これに
よりフレーム１３の他端側に転写フィルム１１の回収部
１２ｂが構成される。そして、供給部１２ａと回収部１
２ｂとの間に転写フィルム１１の繰り出し部１２ｃが構
成される。

【００２８】繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写
フィルム１１の長さは基板１０よりも長い。また、転写
フィルム１１の幅は基板１０の幅よりも大きい。このた
め、転写装置１の段取り位置Ｐ１にて、ステージ４に基
板１０を載置し、その上から繰り出し部１２ｃを下にし
てカートリッジ１２をステージ４に載せることにより、
基板１０を繰り出し部１２ｃの転写フィルム１１にて完
全に覆うことができる。カートリッジ１２を載せままス
テージ４を転写位置Ｐ２に移動させてレーザ照射部６か
ら転写フィルム１１にレーザビームを照射することによ
り、基板１０に転写フィルム１１上の着色剤等の被転写
物質を基板１０に転写することができる。

【００２９】なお、カートリッジ１２の全長はステージ
４の全長より大きくてもよいし、小さくてもよい。但
し、ステージ４の負荷を軽減するため、カートリッジ１
２は可能な限り小型かつ軽量に構成することが望まし
い。

【００３０】ステージ４に載置された基板１０とカート
リッジ１２の繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写
フィルム１１との密着性を高めるため、カートリッジ１
２には馴染みロール１８が設けられている。馴染みロー
ル１８は供給ロール１４及び巻取ロール１５と比較して
十分に小径である。馴染みロール１８はロール１４，１
５の間を回転しながら往復移動可能な状態でフレーム１
３，１３に取り付けられている。例えば各フレーム１３
に転写フィルム１１の送り方向に伸びる溝を形成し、そ
れらに馴染みロール１８の回転軸の両端部を嵌め合わせ
ることにより、馴染みロール１８をその往復運動と回転
運動とを許容しつつフレーム１３，１３にて支持するこ
とができる。

【００３１】なお、図１に示すように、ステージ４に載
置される基板１０（図１に想像線で示す。）の両側には
吸着孔１９…１９が列をなして形成されている。これら
の吸着孔１９は不図示の吸引手段と連結されている。各
吸着孔１９から空気を吸い込むことにより転写フィルム
１１を基板１０と密着した状態でステージ４上に保持す
ることができる。

【００３２】次に、図３〜図５を参照して上記の供給方
法を液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの着色層の形
成に使用する場合の実施形態を説明する。

【００３３】図３は、一台の転写装置１にて液晶ディス
プレイのカラーフィルタ用基板に着色層を形成する場合
の例を示している。一般に、カラーフィルタの基板１０
にはＲ，Ｇ，Ｂの３原色にそれぞれ対応した３種類の着
色層を形成する必要がある。これに対して、転写フィル
ム１１には基板１０に形成すべき３原色の着色層のうち
いずれか１色の着色層に対応した熱溶融型の着色剤が予
め定着される。このような場合には、一台の転写装置１
に対応して、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色につきそれぞれ１つ以上
のカートリッジ１２…１２を予め用意する。用意された
カートリッジ１２は所定の検査・供給部２１に集めてお
く。そして、用意されたカートリッジ１２のうち、転写
に使用するいずれか一つのカートリッジ１２を検査・供
給部２１からステージ４に供給する。転写後はカートリ
ッジ１２を転写装置１から検査・供給部２１に回収し、
別の色のカートリッジ１２を転写装置１へ供給する。こ
うした処理を各色について繰り返して基板１０に３色の
着色層を形成する。

【００３４】図４は検査・供給部２１にて行われる処理
を示している。検査・供給部２１では、転写に使用され
ていない待機中のカートリッジ１２に対して、フィルム
送出処理（ａ）、クリーニング処理（ｂ）及び検査処理
（ｃ）が行われる。

【００３５】フィルム送出処理では、巻取ロール１５が
所定の巻取方向（図４（ａ）に矢印で示す。）に駆動さ
れることにより、次回の転写に備えて供給ロール１４か
ら巻取ロール１５に一回の転写に必要な長さだけ転写フ
ィルム１１が送出される。これにより、転写装置１に供
給されるカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃには、レ
ーザビームが照射されていない使用前の転写フィルム１
１が繰り出されることになる。

【００３６】クリーニング処理では、繰り出し部１２ｃ
に繰り出されている転写フィルム１１に対してクリーニ
ングが行われる。例えば転写フィルム１１を挟むように
してノズル２２，２２が配置され、各ノズル２２からク
リーニング用の気体（例えば二酸化炭素）が送り出され
るとともにノズル２２が転写フィルム１１に沿って送ら
れて転写フィルム１１上の異物が吹き飛ばされる。但
し、クリーニング処理においては、気体を利用した方法
に限らず、各種のクリーニング方法を利用してよい。

【００３７】検査処理では、繰り出し部１２ｃに繰り出
されている転写フィルム１１の欠陥の有無が検査され
る。その検査は、例えば検査カメラ２３によって繰り出
し部１２ｃの転写フィルム１１を撮影し、得られた画像
を解析して欠陥の有無を判別することにより行われる。
但し、画像処理を用いた欠陥検査に限らず、各種の欠陥
検出方法を利用してよいことは勿論である。ここでいう
欠陥とは、転写フィルム１１上に形成された着色層の傷
やムラ、転写フィルム１１への異物の付着等、基板１０
への着色層の転写品質を劣化させることが懸念される各
種の事象をいう。

【００３８】検査処理において欠陥が検出された場合に
は、再び転写フィルム１１の送出処理が行われる。この
ときの転写フィルム１１の送出量は、検出された欠陥が
繰り出し部１２ｃから外れる程度でよい。例えば画像処
理において欠陥の位置が特定できる場合には、その位置
に基づいて欠陥部分が繰り出し部１２ｃから回収部１２
ｂに移動するまでに必要な転写フィルム１１の移動量を
算出し、その算出された移動量だけ供給部１２ａから回
収部１２ｂへと転写フィルム１１を送り出せばよい。但
し、欠陥の位置に拘わりなく常に一回の転写で必要な長
さだけ転写フィルム１１を送出するようにしてもよい。

【００３９】欠陥の検出に伴って転写フィルム１１が再
度送出された後は、再びクリーニング処理及び検査処理
が行われる。検査処理にて再び欠陥が検出されたときは
送出処理がさらに行われる。こうした一連の処理は欠陥
が検出されなくなるまで繰り返される。これにより、ス
テージ４に載置されるカートリッジ１２の繰り出し部１
２ｃには、欠陥のない転写フィルム１１が常に繰り出さ
れる。従って、転写フィルム１１の欠陥に起因する転写
不良の発生が未然に防がれる。

【００４０】上述した検査・供給部２１の各処理は転写
装置１に他のカートリッジ１２が搭載されて転写が行わ
れている間に並行して行うことができる。従って、転写
の効率が低下するおそれもない。

【００４１】図５はステージ４にカートリッジ１２を搭
載した後の処理を示している。カートリッジ１２をステ
ージ４に搭載した後は、まず図５（ａ）に示すように馴
染みロール１８を基板１０の一端側から他端側へ向かっ
て移動させて転写フィルム１１を基板１０に密着させ
る。このとき、馴染みロール１８の移動に追従するよう
に、吸着孔１９からの吸引力が作用する領域を基板１０
の一端側から他端側に向かって拡大すれば転写フィルム
１１と基板１０とをより確実に密着できて好ましい。ま
た、馴染みロール１８の移動開始時には終点側で転写フ
ィルム１１を持ち上げておき、馴染みロール１８が終点
に近付くほど転写フィルム１１を基板１０に向かって降
ろすとよい。

【００４２】転写フィルム１１を基板１０に密着させた
後は、図５（ｂ）に示すようにレーザ照射部６からレー
ザビームを照射して着色層の転写を開始する。転写終了
後はカートリッジ１２をステージ４から取り外し、別の
色のカートリッジ１２を検査・供給部２１からステージ
４に供給して同様手順で転写を行う。ステージ４に対し
てＲ，Ｇ，Ｂの３色のカートリッジ１２を交互に載せ代
えて３回の転写を行うことにより一枚の基板１０に対す
る着色層の形成が完了する。

【００４３】本発明は上述した実施形態に限定されるこ
となく種々の形態にて実施してよい。例えば、ステージ
４に２枚以上の基板１０を搭載し、それらの基板１０を
単一のカートリッジ１２の転写フィルム１１で覆うこと
により、一回の転写で複数枚の基板１０に着色層を形成
してもよい。

【００４４】上記の実施形態ではＲ，Ｇ，Ｂの３原色に
対応した３種類の転写フィルムをそれぞれ別々のカート
リッジ１２に収容し、それらを交互にステージ４に載せ
代えながら転写を繰り返すようにしたが、単一種類の被
転写物質、例えば基板１０にブラックストライプを形成
するための材料を転写フィルム１１から基板１０に転写
する場合にも本発明は利用できる。この場合には同一種
類の転写フィルムを複数のカートリッジ１２に収容し、
それらのカートリッジ１２をステージ４に対して交互に
載せ代えればよい。

【００４５】供給ロール１４から巻取ロール１５へ転写
フィルム１１を送出する際の各ロール１４，１５の駆動
は作業者が手動にて行うようにしてもよいが、量産時に
はモータ等の駆動源により巻取ロール１５を回転駆動す
ることが望ましい。その場合、ステージ４の負荷を軽減
するために駆動装置は可能な限りカートリッジ１２外に
配置し、ステージ４へカートリッジ１２を搭載する際に
はそれらの駆動装置をカートリッジ１２から切り離せる
ようにすることが望ましい。例えば巻取ロール１５の回
転軸の軸端部を、検査・供給部２１に設置された駆動装
置の駆動軸に対して軸継手や歯車列等の連結手段を介し
て連結及びその解除ができるようにすればよい。

【００４６】カートリッジ１２にはその繰り出し部１２
ｃに繰り出された転写フィルム１１の弛みを防止する手
段を設けることが望ましい。例えば、供給ロール１４に
対しては、コイルばね等の付勢手段を利用して転写フィ
ルム１１の引き出し時の回転方向と逆方向に回転力を付
与するとともに、巻取ロール１５に対してはその回転を
阻止する制動機構か、又は転写フィルム１１の巻取方向
と逆方向への回転を制限する逆転防止機構（例えばラチ
ェット機構）を付設すればよい。

【００４７】本発明のカートリッジ１２は上記の実施形
態に限定されることなく種々の構成で実施してよい。フ
ィルムの供給部１２ａ及び回収部１２ｂはそれぞれロー
ル以外の手段により長尺のフィルムを保持するものでも
よい。例えば、回収部１２ｂは使用済みフィルムを折り
畳んで回収するように構成してもよい。

【００４８】本発明は液晶ディスプレイのカラーフィル
タ用の基板に限らず、各種の基板に転写フィルムを重ね
て供給する場合に利用できる。

【００４９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の供給方
法によれば、各回の転写に先立ってカートリッジの供給
部から必要な長さの転写フィルムを繰り出して基板に重
ねることができ、使用済みの転写フィルムは回収部に回
収することができる。これにより、転写フィルムを切断
する必要がなくなり、切断面からの発塵の問題が生じな
い。カートリッジをステージに搭載するようにしたの
で、転写フィルムの露出量は最小限で足りる。ステージ
を転写部（例えばレーザ照射部直下の領域）の外へ移動
させて基板の載せ替えを行う位置にてカートリッジの搭
載及び取り外しを行うことができるので、転写フィルム
の供給機構の構成が転写部の設計に与える影響を抑える
ことができ、その結果、転写部の設計自由度が高まる。
特に、複数のカートリッジを用意し、それらを交互にス
テージに載せ替えるとともに、待機中のカートリッジに
対して、次回の転写に使用する転写フィルムの送出や転
写フィルムのクリーニング、検査を行うようにすれば、
転写処理の効率を損なうことなく、転写処理に必要な種
々の準備を行うことができて好都合である。また、本発
明の転写方法及びカートリッジによれば、本発明の供給
方法を利用して高効率で品質の高い転写処理を実現する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法により転写装置のステージに載置
された一枚の基板上に転写フィルムを供給する実施形態
を示す斜視図。

【図２】ステージ上に載置されたカートリッジをその上
方からみた状態を示す図。

【図３】転写装置とカートリッジの検査・供給部との関
係を示す図。

【図４】検査・供給部にて待機中のカートリッジに対し
て行われる各種の処理を示す図。

【図５】転写装置のステージにカートリッジを載置した
後の処理を示す図。

【図６】転写装置の一例を示す図。

【符号の説明】

１ 転写装置 ４ ステージ ６ レーザ照射部 １０ 基板 １１ 転写フィルム １２ カートリッジ １２ａ 供給部 １２ｂ 回収部 １２ｃ 繰り出し部 １３ フレーム １４ 供給ロール １５ 巻取ロール １６ スペース １８ 馴染みロール １９ 吸着孔 ２１ 検査・供給部 ２２ ノズル ２３ 検査カメラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 謙作 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 高橋 達見 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA11 BA43 BB02 BB42 3F064 AA04 BA05 EB02

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 転写装置のステージに載置される転写対
   象の基板上に転写フィルムを供給する方法であって、複
   数回の転写に対応可能な長さの転写フィルムを収容する
   供給部とそのフィルムを回収する回収部とを備えたカー
   トリッジを用意し、前記供給部と前記回収部との間に一
   回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出すととも
   に、その繰り出した転写フィルムが前記ステージ上の前
   記基板と重なるようにして前記カートリッジを前記ステ
   ージに搭載することを特徴とする転写フィルムの供給方
   法。
2. 【請求項２】 前記カートリッジを複数用意し、いずれ
   か一のカートリッジが前記ステージに搭載されている間
   に、前記ステージから取り外されて待機中のカートリッ
   ジの前記供給部と前記回収部との間に次回の転写に必要
   な長さの転写フィルムを繰り出すことを特徴とする請求
   項１に記載の転写フィルムの供給方法。
3. 【請求項３】 前記待機中のカートリッジの前記供給部
   と前記回収部との間に繰り出されている転写フィルム
   を、そのカートリッジが前記ステージへ搭載される前に
   クリーニングすることを特徴とする請求項２に記載の転
   写フィルムの供給方法。
4. 【請求項４】 前記待機中のカートリッジの前記供給部
   と前記回収部との間に繰り出されている転写フィルム
   を、そのカートリッジが前記ステージへ搭載される前に
   検査することを特徴とする請求項２又は３に記載の転写
   フィルムの供給方法。
5. 【請求項５】 前記検査にて前記転写フィルムに欠陥が
   検出された場合、その欠陥部分が前記基板と重なる範囲
   から外れるように前記供給部から前記回収部へと前記転
   写フィルムを送出することを特徴とする請求項４に記載
   の転写フィルムの供給方法。
6. 【請求項６】 前記欠陥部分の検出に伴って新たに繰り
   出された転写フィルムに対してクリーニング及び検査を
   行い、前記転写フィルムと重なる範囲から前記欠陥部分
   が検出されなくなるまで前記転写フィルムの送出、クリ
   ーニング及び検査を繰り返すことを特徴とする請求項５
   に記載の転写フィルムの供給方法。
7. 【請求項７】 前記供給部及び前記回収部のそれぞれに
   ロールを配置し、前記供給部のロールから引き出された
   転写フィルムを前記回収部のロールに巻き取るようにし
   たことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の転
   写フィルムの供給方法。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかの供給方法によ
   り前記カートリッジを前記ステージに載置した後に、前
   記基板に重ねられた前記転写フィルムに前記転写装置の
   レーザ照射部からレーザビームを照射して前記転写フィ
   ルム上の被転写物質を前記基板に転写することを特徴と
   する転写方法。
9. 【請求項９】 転写対象の基板が載置される転写装置の
   ステージに搭載可能であり、複数回の転写に対応可能な
   長さの転写フィルムを収容する供給部と、そのフィルム
   を回収する回収部とを備え、前記供給部と前記回収部と
   の間には前記基板に対して前記転写フィルムを重ねるた
   めの繰り出し部が設けられていることを特徴とする転写
   フィルム供給用のカートリッジ。
10. 【請求項１０】 前記繰り出し部の転写フィルムに対し
    てレーザビームを導入するための開口部と、前記繰り出
    し部の転写フィルムを前記基板に重ねるための開口部と
    を有していることを特徴とする請求項９に記載のカート
    リッジ。
11. 【請求項１１】 前記供給部及び前記回収部のそれぞれ
    にロールが配置され、前記供給部のロールから引き出さ
    れた転写フィルムが前記繰り出し部を経て前記回収部の
    ロールに巻き取られていることを特徴とする請求項９又
    は１０に記載のカートリッジ。