JP2003033736A - 超音波洗浄方法およびその装置 - Google Patents
超音波洗浄方法およびその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超音波振動子の振動特性を損なうことなく高
真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗浄方法および
その装置を提供する。 【構成】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方
の操作を行う密閉型の洗浄槽１内の洗浄液中に被洗浄物
Ａを浸漬し、前記洗浄液Ａ中に密閉型の超音波振動子１
５から超音波を放射して被洗浄物Ｂを洗浄するにあた
り、洗浄槽１内の圧力と超音波振動子容器１６内の圧力
とを各々検知し、洗浄中に生じる洗浄槽１内の圧力の変
動に応じて超音波振動子容器１６内の圧力を加減するこ
とで、洗浄槽１内の圧力と超音波振動子容器１６内の圧
力との差が任意に設定した値以上にならないように制御
するようにしたものである。
真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗浄方法および
その装置を提供する。 【構成】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方
の操作を行う密閉型の洗浄槽１内の洗浄液中に被洗浄物
Ａを浸漬し、前記洗浄液Ａ中に密閉型の超音波振動子１
５から超音波を放射して被洗浄物Ｂを洗浄するにあた
り、洗浄槽１内の圧力と超音波振動子容器１６内の圧力
とを各々検知し、洗浄中に生じる洗浄槽１内の圧力の変
動に応じて超音波振動子容器１６内の圧力を加減するこ
とで、洗浄槽１内の圧力と超音波振動子容器１６内の圧
力との差が任意に設定した値以上にならないように制御
するようにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波を利用して
各種被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法およびその装置
に関する。
各種被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法およびその装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、切削加工、プレス加工等の機械
加工が行われた金属製品等を洗浄する手段として、超音
波を利用した超音波洗浄が知られている。この超音波洗
浄は、洗浄槽内に収容された水系或いは炭化水素系等の
洗浄液に被洗浄物を浸漬させた状態で、前記洗浄槽の底
部に設けられた超音波振動子から、前記洗浄液中に超音
波を放射し、該超音波により該洗浄液中に生じるキャビ
テーションの作用を利用して被洗浄物の洗浄を行うよう
にしている。
加工が行われた金属製品等を洗浄する手段として、超音
波を利用した超音波洗浄が知られている。この超音波洗
浄は、洗浄槽内に収容された水系或いは炭化水素系等の
洗浄液に被洗浄物を浸漬させた状態で、前記洗浄槽の底
部に設けられた超音波振動子から、前記洗浄液中に超音
波を放射し、該超音波により該洗浄液中に生じるキャビ
テーションの作用を利用して被洗浄物の洗浄を行うよう
にしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、上述のような超
音波洗浄に用いる超音波振動子の容器は密閉構造である
が、内圧および外圧に耐える強度を有していない。その
ため、一般的には高真空下や高圧下では使用できないの
が現状である。
音波洗浄に用いる超音波振動子の容器は密閉構造である
が、内圧および外圧に耐える強度を有していない。その
ため、一般的には高真空下や高圧下では使用できないの
が現状である。
【０００４】超音波振動子の耐圧強度を増すためには、
超音波振動子の容器の板厚等を上げればよいが、それで
は超音波振動子の振動効果が大きく減じられるため、超
音波洗浄としては得策ではない。従って、従来の超音波
洗浄は、大気圧下かせいぜい若干の低真空下での操作が
使用の主流であった。
超音波振動子の容器の板厚等を上げればよいが、それで
は超音波振動子の振動効果が大きく減じられるため、超
音波洗浄としては得策ではない。従って、従来の超音波
洗浄は、大気圧下かせいぜい若干の低真空下での操作が
使用の主流であった。
【０００５】そのため、高真空圧下や高圧下で超音波洗
浄効果の向上が期待できる場合でも使用できなかった
し、洗浄プロセスにおいて高真空減圧工程或いは高加圧
工程がある場合には、超音波洗浄をあきらめるかまたは
超音波洗浄工程を別槽にて行わなければならないという
不合理があった。
浄効果の向上が期待できる場合でも使用できなかった
し、洗浄プロセスにおいて高真空減圧工程或いは高加圧
工程がある場合には、超音波洗浄をあきらめるかまたは
超音波洗浄工程を別槽にて行わなければならないという
不合理があった。
【０００６】本発明は、超音波振動子の振動特性を損な
うことなく高真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗
浄方法およびその装置を提供することを目的とする。
うことなく高真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗
浄方法およびその装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法に
おいて、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力と
を各々検知し、超音波洗浄中に生じる洗浄槽内の圧力の
変動に応じて超音波振動子容器内の圧力を加減すること
で、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力との差
が任意に設定した値以上にならないように制御するよう
にしたものである。
め、本発明は、真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法に
おいて、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力と
を各々検知し、超音波洗浄中に生じる洗浄槽内の圧力の
変動に応じて超音波振動子容器内の圧力を加減すること
で、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力との差
が任意に設定した値以上にならないように制御するよう
にしたものである。
【０００８】また、本発明は、真空減圧操作或いは加圧
操作またはその両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗
浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超
音波振動子から超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超
音波洗浄装置において、前記洗浄槽内の圧力を検知する
圧力センサーと、前記超音波振動子容器内の圧力を検知
する圧力センサーと、前記両圧力センサーからの検知信
号を受けて、超音波洗浄中に生じる洗浄槽内の圧力の変
動に応じて超音波振動子容器内の圧力を加減すること
で、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力との差
が任意に設定した値以上にならないように制御する差圧
コントローラーとを具備したものである。
操作またはその両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗
浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超
音波振動子から超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超
音波洗浄装置において、前記洗浄槽内の圧力を検知する
圧力センサーと、前記超音波振動子容器内の圧力を検知
する圧力センサーと、前記両圧力センサーからの検知信
号を受けて、超音波洗浄中に生じる洗浄槽内の圧力の変
動に応じて超音波振動子容器内の圧力を加減すること
で、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力との差
が任意に設定した値以上にならないように制御する差圧
コントローラーとを具備したものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１０】図１は、本発明の超音波洗浄に使用される
超音波洗浄装置を示す概略構成図である。図１におい
て、１は蓋１ａにより密閉可能な洗浄槽で、図示しない
供給管により水系或いは炭化水素系等の洗浄液Ａが供給
可能になっている。洗浄時には、図示するように、一定
量の洗浄液Ａが貯留され、洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収
容された被洗浄物Ｂが浸漬される。
超音波洗浄装置を示す概略構成図である。図１におい
て、１は蓋１ａにより密閉可能な洗浄槽で、図示しない
供給管により水系或いは炭化水素系等の洗浄液Ａが供給
可能になっている。洗浄時には、図示するように、一定
量の洗浄液Ａが貯留され、洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収
容された被洗浄物Ｂが浸漬される。
【００１１】洗浄槽１内の上部空間は、第１の真空仕切
弁３を有する第１の配管４により真空ポンプ５に接続さ
れており、真空ポンプ５によって洗浄槽１内の上部空間
の空気を吸引排気することにより、洗浄槽１の内部を減
圧して真空状態にすることができる。
弁３を有する第１の配管４により真空ポンプ５に接続さ
れており、真空ポンプ５によって洗浄槽１内の上部空間
の空気を吸引排気することにより、洗浄槽１の内部を減
圧して真空状態にすることができる。
【００１２】また、洗浄槽１内の上部空間は、第１の配
管４の途中に接続された第１の加圧弁６を有する第２の
配管７により図示しないコンプレッサー等の加圧手段に
接続されており、加圧手段から洗浄槽１内の上部空間に
圧縮空気を圧入することにより、洗浄槽１の内部を加圧
することができる。
管４の途中に接続された第１の加圧弁６を有する第２の
配管７により図示しないコンプレッサー等の加圧手段に
接続されており、加圧手段から洗浄槽１内の上部空間に
圧縮空気を圧入することにより、洗浄槽１の内部を加圧
することができる。
【００１３】第１の配管４には、洗浄槽１内の真空度を
測定する第１の真空計８と、洗浄槽１内の圧力を測定す
る第１の圧力計９と、洗浄槽１内を脱気するとともに洗
浄槽１内に吸気するための第１の脱気兼吸気弁１０とが
設けてある。
測定する第１の真空計８と、洗浄槽１内の圧力を測定す
る第１の圧力計９と、洗浄槽１内を脱気するとともに洗
浄槽１内に吸気するための第１の脱気兼吸気弁１０とが
設けてある。
【００１４】洗浄槽１の底は、循環ポンプ１１を有する
第３の配管１２により加熱器１３の入口側に接続される
とともに、加熱器１３の出口側は第４の配管１４により
洗浄槽１の中間周壁に接続されており、循環ポンプ１１
と加熱器１３とによって洗浄槽１の洗浄水Ａを循環しな
がら加熱することができる。
第３の配管１２により加熱器１３の入口側に接続される
とともに、加熱器１３の出口側は第４の配管１４により
洗浄槽１の中間周壁に接続されており、循環ポンプ１１
と加熱器１３とによって洗浄槽１の洗浄水Ａを循環しな
がら加熱することができる。
【００１５】洗浄槽１内の下部には、図示しない超音波
発振器により駆動されて洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に超音
波を放射する超音波振動子１５が設けられている。超音
波振動子１５は、密封型の容器１６内に複数の超音波振
動素子１７を内蔵した構成となっている。
発振器により駆動されて洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に超音
波を放射する超音波振動子１５が設けられている。超音
波振動子１５は、密封型の容器１６内に複数の超音波振
動素子１７を内蔵した構成となっている。
【００１６】超音波振動子１５は、第２の真空仕切弁１
８を有する第５の配管１９により第１の配管４を介して
真空ポンプ５に接続されており、真空ポンプ４によって
超音波振動子１５の容器１６内の空気を吸引排気するこ
とにより、超音波振動子１５の内部を減圧することがで
きる。
８を有する第５の配管１９により第１の配管４を介して
真空ポンプ５に接続されており、真空ポンプ４によって
超音波振動子１５の容器１６内の空気を吸引排気するこ
とにより、超音波振動子１５の内部を減圧することがで
きる。
【００１７】また、超音波振動子１５は、第５の配管１
９の途中に接続された第２の加圧弁２０を有する第６の
配管２１により図示しないコンプレッサー等の加圧手段
に接続されており、加圧手段から超音波振動子１５の容
器１６内に圧縮空気を圧入することにより、超音波振動
子１５の内部を加圧することができる。
９の途中に接続された第２の加圧弁２０を有する第６の
配管２１により図示しないコンプレッサー等の加圧手段
に接続されており、加圧手段から超音波振動子１５の容
器１６内に圧縮空気を圧入することにより、超音波振動
子１５の内部を加圧することができる。
【００１８】第５の配管１９には、超音波振動子１５内
の真空度を測定する第２の真空計２２と、超音波振動子
１５内の圧力を測定する第２の圧力計２３と、超音波振
動子１５内を脱気するとともに超音波振動子１５内に吸
気するための第２の脱気兼吸気弁２４とが設けてある。
の真空度を測定する第２の真空計２２と、超音波振動子
１５内の圧力を測定する第２の圧力計２３と、超音波振
動子１５内を脱気するとともに超音波振動子１５内に吸
気するための第２の脱気兼吸気弁２４とが設けてある。
【００１９】第１の配管４の真空ポンプ５近傍には真空
解除弁２５が設けてられており、真空解除弁２５によっ
て真空ポンプ５の駆動を停止したときに第１の配管４お
よび第５の配管１９内の真空を解除することができる。
解除弁２５が設けてられており、真空解除弁２５によっ
て真空ポンプ５の駆動を停止したときに第１の配管４お
よび第５の配管１９内の真空を解除することができる。
【００２０】洗浄層１内の上部空間には、洗浄槽１内の
圧力を検知する第１の圧力センサー２６が設けられてお
り、また、第５の配管１９には超音波振動１５内の圧力
を検知する第２の圧力センサー２７が設けられている。
両圧力センサー２６，２７は、差圧コントローラー２８
に接続されている。
圧力を検知する第１の圧力センサー２６が設けられてお
り、また、第５の配管１９には超音波振動１５内の圧力
を検知する第２の圧力センサー２７が設けられている。
両圧力センサー２６，２７は、差圧コントローラー２８
に接続されている。
【００２１】差圧コントローラー２８は、図２に示すフ
ローチャートに対応した「差圧制御プログラム」の実行
を行うものである。即ち、差圧コントローラー２８は、
第１の圧力センサー２６により洗浄槽１内の圧力を検知
するとともに、第２の圧力センサー２７により超音波振
動子１５内の圧力を検知し、洗浄槽１内の圧力変動に応
じて第２の真空仕切弁１８、第２の加圧弁２０および第
２の脱気兼吸気弁２４を適宜開閉して超音波振動子１５
内の圧力を加減することにより、洗浄槽１内の圧力と超
音波振動子１５内の圧力との差が任意に設定した値以上
にならないように制御することができる。
ローチャートに対応した「差圧制御プログラム」の実行
を行うものである。即ち、差圧コントローラー２８は、
第１の圧力センサー２６により洗浄槽１内の圧力を検知
するとともに、第２の圧力センサー２７により超音波振
動子１５内の圧力を検知し、洗浄槽１内の圧力変動に応
じて第２の真空仕切弁１８、第２の加圧弁２０および第
２の脱気兼吸気弁２４を適宜開閉して超音波振動子１５
内の圧力を加減することにより、洗浄槽１内の圧力と超
音波振動子１５内の圧力との差が任意に設定した値以上
にならないように制御することができる。
【００２２】次に、このように構成された超音波洗浄装
置の動作について説明する。
置の動作について説明する。
【００２３】先ず、洗浄槽１に一定量の洗浄液Ａを貯留
し、この洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収容した被洗浄物Ｂ
を浸漬した後、蓋１ａを閉じて洗浄槽１を密閉する。
し、この洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収容した被洗浄物Ｂ
を浸漬した後、蓋１ａを閉じて洗浄槽１を密閉する。
【００２４】次に、真空ポンプ５或いは加圧手段を駆動
して洗浄槽１内の上部空間の空気を吸引排気或いは洗浄
槽１内の上部空間に圧縮空気を圧入させ、洗浄槽１の内
部を真空減圧或いは加圧すると同時に、超音波振動子１
５を駆動して超音波を洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に放射さ
せ、超音波により洗浄液Ａ中に生じるキャビテーション
の作用を利用して被洗浄物Ｂの洗浄を行う。
して洗浄槽１内の上部空間の空気を吸引排気或いは洗浄
槽１内の上部空間に圧縮空気を圧入させ、洗浄槽１の内
部を真空減圧或いは加圧すると同時に、超音波振動子１
５を駆動して超音波を洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に放射さ
せ、超音波により洗浄液Ａ中に生じるキャビテーション
の作用を利用して被洗浄物Ｂの洗浄を行う。
【００２５】上記超音波洗浄中、洗浄槽１内および超音
波振動子１５内の圧力を第１の圧力センサー２６および
第２の圧力センサー２７により検知すると同時に、第１
の圧力センサー２６および第２の圧力センサー２７から
の検知信号を受けて差圧コントローラー２８により洗浄
槽１内の圧力変動に応じて第２の真空仕切弁１８、第２
の加圧弁２０および第２の脱気兼吸気弁２４を適宜開閉
して超音波振動子１５内の圧力を加減し、洗浄槽１内と
超音波振動子１５内との圧力差を予め設定した許容圧力
差を超えないように制御させる。この結果、洗浄槽１内
の圧力と超音波振動子１５内の圧力とが常に釣り合うた
め、圧力差による超音波振動子１５の容器１６の損傷が
生じなくなる。これにより、超音波振動子１５の容器１
６の板厚等を上げずに損傷を防止することができ、超音
波振動子１５の振動特性を損なうことなく高真空（例え
ば２０ｔｏｒｒ程度）下および高圧（例えば１．０Ｍｐ
ａ程度）下で使用することが可能である。
波振動子１５内の圧力を第１の圧力センサー２６および
第２の圧力センサー２７により検知すると同時に、第１
の圧力センサー２６および第２の圧力センサー２７から
の検知信号を受けて差圧コントローラー２８により洗浄
槽１内の圧力変動に応じて第２の真空仕切弁１８、第２
の加圧弁２０および第２の脱気兼吸気弁２４を適宜開閉
して超音波振動子１５内の圧力を加減し、洗浄槽１内と
超音波振動子１５内との圧力差を予め設定した許容圧力
差を超えないように制御させる。この結果、洗浄槽１内
の圧力と超音波振動子１５内の圧力とが常に釣り合うた
め、圧力差による超音波振動子１５の容器１６の損傷が
生じなくなる。これにより、超音波振動子１５の容器１
６の板厚等を上げずに損傷を防止することができ、超音
波振動子１５の振動特性を損なうことなく高真空（例え
ば２０ｔｏｒｒ程度）下および高圧（例えば１．０Ｍｐ
ａ程度）下で使用することが可能である。
【００２６】本発明によれば、超音波洗浄中、洗浄槽１
内の圧力変動に応じて超音波振動子１５内の圧力を加減
し、洗浄槽１内の圧力と超音波振動子１５内の圧力とを
常に釣り合わせるから、超音波振動子１５の容器１６の
板厚等を上げずに圧力差による損傷を防止することがで
き、超音波振動子１５の振動特性を損なうことなく高真
空下および高圧下で使用することができる。
内の圧力変動に応じて超音波振動子１５内の圧力を加減
し、洗浄槽１内の圧力と超音波振動子１５内の圧力とを
常に釣り合わせるから、超音波振動子１５の容器１６の
板厚等を上げずに圧力差による損傷を防止することがで
き、超音波振動子１５の振動特性を損なうことなく高真
空下および高圧下で使用することができる。
【００２７】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明は、この実施形態に限定されるものではな
い。例えば前記第実施形態では、洗浄槽１を真空減圧操
作および加圧操作する場合について述べているが、本発
明は、洗浄槽１を真空減圧操作のみ或いは加圧操作のみ
行う場合にも適用することができる。
たが、本発明は、この実施形態に限定されるものではな
い。例えば前記第実施形態では、洗浄槽１を真空減圧操
作および加圧操作する場合について述べているが、本発
明は、洗浄槽１を真空減圧操作のみ或いは加圧操作のみ
行う場合にも適用することができる。
【００２８】また、前記実施形態では、洗浄液Ａによる
液洗浄の場合について述べているが、本発明は、蒸気
（ベーパー）による蒸気洗浄の場合にも適用することが
できる。
液洗浄の場合について述べているが、本発明は、蒸気
（ベーパー）による蒸気洗浄の場合にも適用することが
できる。
【００２９】また、前記実施形態では、高真空の度合
は、例えば２０ｔｏｒｒ程度、高圧の度合は、例えば
１.０１Ｍｐａ程度と考えているが、本発明は、特に高
真空および高圧の度合は限定するものではない。
は、例えば２０ｔｏｒｒ程度、高圧の度合は、例えば
１.０１Ｍｐａ程度と考えているが、本発明は、特に高
真空および高圧の度合は限定するものではない。
【００３０】更に、本発明は、洗浄槽１の形状、寸法等
にこだわるものでない。
にこだわるものでない。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方の操作を行
う密閉の型洗浄槽の洗浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記
洗浄液に密閉型の超音波振動子から超音波を放射して被
洗浄物を洗浄するにあたり、洗浄槽内の圧力と超音波振
動子容器内の圧力とを各々検知し、洗浄中に生じる洗浄
槽内の圧力の変動に応じて超音波振動子容器内の圧力を
加減することで、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内
の圧力との差が任意に設定した値以上にならないように
制御するようにしたから、洗浄中、洗浄槽内の圧力と超
音波振動子容器内の圧力とが釣り合い、超音波振動子容
器の板厚等を上げずに圧力差による損傷を防止すること
ができ、超音波振動子の振動特性を損なうことなく高真
空下および高圧下で使用することが可能である。これに
より、超音波洗浄自身としての洗浄効果を向上すること
ができるとともに、これまで不可能であった高真空減圧
工程或いは行加圧工程を有する洗浄プロセスにおける超
音波洗浄との一体的な組み合わせが可能となり、洗浄シ
ステムの合理化にも有効である。
真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方の操作を行
う密閉の型洗浄槽の洗浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記
洗浄液に密閉型の超音波振動子から超音波を放射して被
洗浄物を洗浄するにあたり、洗浄槽内の圧力と超音波振
動子容器内の圧力とを各々検知し、洗浄中に生じる洗浄
槽内の圧力の変動に応じて超音波振動子容器内の圧力を
加減することで、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内
の圧力との差が任意に設定した値以上にならないように
制御するようにしたから、洗浄中、洗浄槽内の圧力と超
音波振動子容器内の圧力とが釣り合い、超音波振動子容
器の板厚等を上げずに圧力差による損傷を防止すること
ができ、超音波振動子の振動特性を損なうことなく高真
空下および高圧下で使用することが可能である。これに
より、超音波洗浄自身としての洗浄効果を向上すること
ができるとともに、これまで不可能であった高真空減圧
工程或いは行加圧工程を有する洗浄プロセスにおける超
音波洗浄との一体的な組み合わせが可能となり、洗浄シ
ステムの合理化にも有効である。
【図１】本発明の超音波洗浄に使用される超音波洗浄装
置を示す概略構成図。
置を示す概略構成図。
【図２】差圧コントローラーの差圧プログラムを示すフ
ローチャート。
ローチャート。
Ａ 洗浄液
Ｂ 被洗浄物
１ 洗浄槽
３ 第１の真空仕切弁
５ 真空ポンプ
６ 加圧弁
８ 第１の真空計
９ 第１の圧力計
１０ 第１の脱気兼吸気弁
１１ 循環ポンプ
１３ 加熱器
１５ 超音波振動子
１６ 容器
１７ 超音波振動素子
１８ 第２の真空仕切弁
２０ 加圧弁
２２ 第２の真空計
２３ 第２の圧力計
２４ 第２の脱気兼吸気弁
２５ 真空解除弁
２６ 第１の圧力センサー
２７ 第２の圧力センサー
２８ 差圧コントローラー
Claims (2)
- 【請求項１】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法に
おいて、洗浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力と
を各々検知し、洗浄中に生じる洗浄槽内の圧力の変動に
応じて超音波振動子容器内の圧力を加減することで、洗
浄槽内の圧力と超音波振動子容器内の圧力との差が任意
に設定した値以上にならないように制御するようにした
ことを特徴とする超音波洗浄方法。 - 【請求項２】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置に
おいて、前記洗浄槽内の圧力を検知する圧力センサー
と、前記超音波振動子容器内の圧力を検知する圧力セン
サーと、前記両圧力センサーからの検知信号を受けて、
洗浄中に生じる洗浄槽内の圧力の変動に応じて超音波振
動子容器内の圧力を加減することで、洗浄槽内の圧力と
超音波振動子容器内の圧力との差が任意に設定した値以
上にならないように制御する差圧コントローラーとを具
備したことを特徴とする超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224576A JP2003033736A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224576A JP2003033736A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003033736A true JP2003033736A (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=19057709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001224576A Pending JP2003033736A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003033736A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016073896A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | アクトファイブ株式会社 | 超音波洗浄装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02303584A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-17 | Furuno Electric Co Ltd | 超音波洗浄方法及びその装置 |
| JPH0652980U (ja) * | 1992-10-22 | 1994-07-19 | 佳英 柴野 | 超音波洗浄のための超音波振動子装置 |
-
2001
- 2001-07-25 JP JP2001224576A patent/JP2003033736A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02303584A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-17 | Furuno Electric Co Ltd | 超音波洗浄方法及びその装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016073896A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | アクトファイブ株式会社 | 超音波洗浄装置 |
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