JP2003033737A - 超音波洗浄方法およびその装置 - Google Patents
超音波洗浄方法およびその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超音波振動子の振動特性を損なうことなく高
真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗浄方法および
その装置を提供する。 【構成】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方
の操作を行う密閉型の洗浄槽１内の洗浄液中に被洗浄物
Ａを浸漬し、前記洗浄液Ａ中に密閉型の超音波振動子１
６から超音波を放射して被洗浄物Ｂを洗浄するにあた
り、洗浄槽１の気相部１ｂと超音波振動子１６の容器１
７とを連通管１９を用いて連通し、洗浄槽１の気相部１
ｂの圧力が変動しても、連通管１９を通じて超音波振動
子１６の容器１７内の圧力を洗浄槽１内の圧力と常にほ
ぼ同一となるようにしたものである。
真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗浄方法および
その装置を提供する。 【構成】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方
の操作を行う密閉型の洗浄槽１内の洗浄液中に被洗浄物
Ａを浸漬し、前記洗浄液Ａ中に密閉型の超音波振動子１
６から超音波を放射して被洗浄物Ｂを洗浄するにあた
り、洗浄槽１の気相部１ｂと超音波振動子１６の容器１
７とを連通管１９を用いて連通し、洗浄槽１の気相部１
ｂの圧力が変動しても、連通管１９を通じて超音波振動
子１６の容器１７内の圧力を洗浄槽１内の圧力と常にほ
ぼ同一となるようにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波を利用して
各種被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法およびその装置
に関する。
各種被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法およびその装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、切削加工、プレス加工等の機械
加工が行われた金属製品等を洗浄する手段として、超音
波を利用した超音波洗浄が知られている。この超音波洗
浄は、洗浄槽内に収容された水系或いは炭化水素系等の
洗浄液に被洗浄物を浸漬させた状態で、前記洗浄槽の底
部に設けられた超音波振動子から、前記洗浄液中に超音
波を放射し、該超音波により該洗浄液中に生じるキャビ
テーションの作用を利用して被洗浄物の洗浄を行うよう
にしている。
加工が行われた金属製品等を洗浄する手段として、超音
波を利用した超音波洗浄が知られている。この超音波洗
浄は、洗浄槽内に収容された水系或いは炭化水素系等の
洗浄液に被洗浄物を浸漬させた状態で、前記洗浄槽の底
部に設けられた超音波振動子から、前記洗浄液中に超音
波を放射し、該超音波により該洗浄液中に生じるキャビ
テーションの作用を利用して被洗浄物の洗浄を行うよう
にしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、上述のような超
音波洗浄に用いる超音波振動子の容器は密閉構造である
が、内圧および外圧に耐える強度を有していない。その
ため、一般的には高真空下や高圧下では使用できないの
が現状である。
音波洗浄に用いる超音波振動子の容器は密閉構造である
が、内圧および外圧に耐える強度を有していない。その
ため、一般的には高真空下や高圧下では使用できないの
が現状である。
【０００４】超音波振動子の耐圧強度を増すためには、
超音波振動子の容器の板厚等を上げればよいが、それで
は超音波振動子の振動効果が大きく減じられるため、超
音波洗浄としては得策ではない。そのため、従来の超音
波洗浄は、大気圧下かせいぜい若干の低真空下での操作
が使用の主流であった。
超音波振動子の容器の板厚等を上げればよいが、それで
は超音波振動子の振動効果が大きく減じられるため、超
音波洗浄としては得策ではない。そのため、従来の超音
波洗浄は、大気圧下かせいぜい若干の低真空下での操作
が使用の主流であった。
【０００５】そのため、高真空圧下や高圧下で超音波洗
浄効果の向上が期待できる場合でも使用できなかった
し、洗浄プロセスにおいて高真空減圧工程或いは高加圧
工程がある場合には、超音波洗浄をあきらめるかまたは
超音波洗浄工程を別槽にて行わなければならないという
不合理があった。
浄効果の向上が期待できる場合でも使用できなかった
し、洗浄プロセスにおいて高真空減圧工程或いは高加圧
工程がある場合には、超音波洗浄をあきらめるかまたは
超音波洗浄工程を別槽にて行わなければならないという
不合理があった。
【０００６】本発明は、超音波振動子の振動特性を損な
うことなく高真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗
浄方法およびその装置を提供することを目的とする。
うことなく高真空下および高圧下で洗浄できる超音波洗
浄方法およびその装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法に
おいて、前記洗浄槽の気相部と前記超音波振動子の容器
とを連通し、洗浄中に洗浄槽内の圧力と超音波振動子の
容器内の圧力とを常にほぼ同一になるようにしたもので
ある。
め、本発明は、真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法に
おいて、前記洗浄槽の気相部と前記超音波振動子の容器
とを連通し、洗浄中に洗浄槽内の圧力と超音波振動子の
容器内の圧力とを常にほぼ同一になるようにしたもので
ある。
【０００８】また、本発明は、真空減圧操作或いは加圧
操作またはその両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗
浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超
音波振動子から超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超
音波洗浄装置において、前記洗浄槽の気相部と前記超音
波振動子の容器とを連通する連通管を設けたものであ
る。
操作またはその両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗
浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超
音波振動子から超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超
音波洗浄装置において、前記洗浄槽の気相部と前記超音
波振動子の容器とを連通する連通管を設けたものであ
る。
【０００９】また、本発明では、洗浄槽の気相部と超音
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、前記連
通管内で生じた蒸気ドレンを捕集するためのドレン捕集
容器を設けるとよい。
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、前記連
通管内で生じた蒸気ドレンを捕集するためのドレン捕集
容器を設けるとよい。
【００１０】また、本発明では、洗浄槽の気相部と超音
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、蒸気を
冷却凝縮するための空冷式凝縮器と、該空冷式凝縮器で
凝縮した蒸気ドレンを捕集するための密閉式のドレン捕
集容器とを設けるとよい。
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、蒸気を
冷却凝縮するための空冷式凝縮器と、該空冷式凝縮器で
凝縮した蒸気ドレンを捕集するための密閉式のドレン捕
集容器とを設けるとよい。
【００１１】また、本発明では、洗浄槽の気相部と超音
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、蒸気を
冷却凝縮するための水冷式凝縮器と、該水冷式凝縮器で
凝縮した蒸気ドレンを捕集するためのドレン捕集容器と
を設けるとよい。
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、蒸気を
冷却凝縮するための水冷式凝縮器と、該水冷式凝縮器で
凝縮した蒸気ドレンを捕集するためのドレン捕集容器と
を設けるとよい。
【００１２】また、本発明では、洗浄槽の気相部と超音
波振動子の容器とを連通する連通管に、少なくとも連通
管内で蒸気の凝縮が生じない温度まで加熱することがで
きる加熱装置を設けるとよい。
波振動子の容器とを連通する連通管に、少なくとも連通
管内で蒸気の凝縮が生じない温度まで加熱することがで
きる加熱装置を設けるとよい。
【００１３】また、本発明では、洗浄槽の気相部と超音
波振動子の容器とを連通する連通管を真空ポンプに接続
するとともに、連通管に洗浄槽で真空減圧操作或いは加
圧操作を行っていない工程中に洗浄槽を前記真空ポンプ
に対して遮断して超音波振動子の容器内を真空乾燥する
ための洗浄槽仕切弁を設けるとよい。
波振動子の容器とを連通する連通管を真空ポンプに接続
するとともに、連通管に洗浄槽で真空減圧操作或いは加
圧操作を行っていない工程中に洗浄槽を前記真空ポンプ
に対して遮断して超音波振動子の容器内を真空乾燥する
ための洗浄槽仕切弁を設けるとよい。
【００１４】更に、本発明では、洗浄槽の気相部と超音
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、摺動部
に気密部を有するスライダーを嵌合したシリンダーを設
けるとよい。
波振動子の容器とを連通する連通管の経路中に、摺動部
に気密部を有するスライダーを嵌合したシリンダーを設
けるとよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１６】図１は、本発明の超音波洗浄に使用される
超音波洗浄装置を示す概略構成図である。図１におい
て、１は蓋１ａにより密閉可能な洗浄槽で、図示しない
供給管により水系或いは炭化水素系等の洗浄液Ａが供給
可能になっている。洗浄時には、図示するように、一定
量の洗浄液Ａが貯留され、洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収
容された被洗浄物Ｂが浸漬される。
超音波洗浄装置を示す概略構成図である。図１におい
て、１は蓋１ａにより密閉可能な洗浄槽で、図示しない
供給管により水系或いは炭化水素系等の洗浄液Ａが供給
可能になっている。洗浄時には、図示するように、一定
量の洗浄液Ａが貯留され、洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収
容された被洗浄物Ｂが浸漬される。
【００１７】洗浄槽１の気相部１ｂは、真空仕切弁３を
有する第１の配管４により真空ポンプ５に接続されてお
り、真空ポンプ５によって洗浄槽１の気相部１ｂの空気
を吸引排気することにより、洗浄槽１の内部を真空減圧
することができる。
有する第１の配管４により真空ポンプ５に接続されてお
り、真空ポンプ５によって洗浄槽１の気相部１ｂの空気
を吸引排気することにより、洗浄槽１の内部を真空減圧
することができる。
【００１８】また、洗浄槽１の気相部１ｂは、第１の配
管４の途中に接続された加圧弁６を有する第２の配管７
により図示しないコンプレッサー等の加圧手段に接続さ
れており、加圧手段から洗浄槽１の気相部１ｂに圧縮空
気を圧入することにより、洗浄槽１の内部を加圧するこ
とができる。
管４の途中に接続された加圧弁６を有する第２の配管７
により図示しないコンプレッサー等の加圧手段に接続さ
れており、加圧手段から洗浄槽１の気相部１ｂに圧縮空
気を圧入することにより、洗浄槽１の内部を加圧するこ
とができる。
【００１９】第１の配管４には、洗浄槽１内の真空度を
測定する真空計８と、洗浄槽１内の圧力を測定する圧力
計９と、洗浄槽１内を脱気するとともに洗浄槽１内に吸
気するための脱気兼吸気弁１０とが設けてある。
測定する真空計８と、洗浄槽１内の圧力を測定する圧力
計９と、洗浄槽１内を脱気するとともに洗浄槽１内に吸
気するための脱気兼吸気弁１０とが設けてある。
【００２０】また、第１の配管４には、真空ポンプ５の
近傍に真空解除弁１１が設けてられており、真空解除弁
１１によって真空ポンプ５の駆動を停止したときに第１
の配管４内の真空を解除することができる。
近傍に真空解除弁１１が設けてられており、真空解除弁
１１によって真空ポンプ５の駆動を停止したときに第１
の配管４内の真空を解除することができる。
【００２１】洗浄槽１の底は、循環ポンプ１２を有する
第３の配管１３により加熱器１４の入口側に接続される
とともに、加熱器１４の出口側は第４の配管１５により
洗浄槽１の中間周壁に接続されており、循環ポンプ１２
と加熱器１４とによって洗浄槽１の洗浄水Ａを加熱・循
環することができる。
第３の配管１３により加熱器１４の入口側に接続される
とともに、加熱器１４の出口側は第４の配管１５により
洗浄槽１の中間周壁に接続されており、循環ポンプ１２
と加熱器１４とによって洗浄槽１の洗浄水Ａを加熱・循
環することができる。
【００２２】洗浄槽１内の下部には、図示しない超音波
発振器により駆動されて洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に超音
波を放射する超音波振動子１６が設けられている。超音
波振動子１６は、密封型の容器１７内に複数の超音波振
動素子１８を内蔵した構成となっている。
発振器により駆動されて洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に超音
波を放射する超音波振動子１６が設けられている。超音
波振動子１６は、密封型の容器１７内に複数の超音波振
動素子１８を内蔵した構成となっている。
【００２３】超音波振動子１６の容器１７は、連通管１
９により洗浄槽１の気相部１ｂと連通されており、連通
管１９によって超音波振動子１６の容器１７内の圧力は
洗浄槽１の気相部１ｂの圧力とほぼ同一となる。
９により洗浄槽１の気相部１ｂと連通されており、連通
管１９によって超音波振動子１６の容器１７内の圧力は
洗浄槽１の気相部１ｂの圧力とほぼ同一となる。
【００２４】次に、このように構成された超音波洗浄装
置の動作について説明する。
置の動作について説明する。
【００２５】先ず、洗浄槽１に一定量の洗浄液Ａを貯留
し、この洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収容した被洗浄物Ｂ
を浸漬した後、蓋１ａを閉じて洗浄槽１を密閉する。
し、この洗浄液Ａ中に洗浄カゴ２に収容した被洗浄物Ｂ
を浸漬した後、蓋１ａを閉じて洗浄槽１を密閉する。
【００２６】次に、真空ポンプ５或いは加圧手段を駆動
して洗浄槽１の気相部１ｂの空気を吸引排気或いは洗浄
槽１の気相部１ｂに圧縮空気を圧入させ、洗浄槽１の内
部を真空減圧或いは加圧すると同時に、超音波振動子１
６を駆動して超音波を洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に放射さ
せ、超音波により洗浄液Ａ中に生じるキャビテーション
の作用を利用して被洗浄物Ｂの洗浄を行う。この超音波
洗浄中、洗浄槽１の洗浄液Ａを循環ポンプ１２と加熱器
１４とによって加熱・循環させる。
して洗浄槽１の気相部１ｂの空気を吸引排気或いは洗浄
槽１の気相部１ｂに圧縮空気を圧入させ、洗浄槽１の内
部を真空減圧或いは加圧すると同時に、超音波振動子１
６を駆動して超音波を洗浄槽１内の洗浄液Ａ中に放射さ
せ、超音波により洗浄液Ａ中に生じるキャビテーション
の作用を利用して被洗浄物Ｂの洗浄を行う。この超音波
洗浄中、洗浄槽１の洗浄液Ａを循環ポンプ１２と加熱器
１４とによって加熱・循環させる。
【００２７】上記超音波洗浄中、洗浄槽１の気相部１ｂ
の圧力が変動すると、それに同期して連通管１９を通じ
て超音波振動子１６の容器１７の圧力が変動する。これ
により、洗浄槽１の気相部１ｂと圧力と超音波振動子１
６の容器１７の圧力とが常にほぼ同一となり、圧力差に
よる超音波振動子１６の容器１７の損傷が生じなくな
る。この結果、超音波振動子１６の容器１７の板厚等を
上げずに損傷を防止することができ、超音波振動子１６
の振動特性を損なうことなく高真空（例えば２０ｔｏｒ
ｒ程度）下および高圧（例えば１．０Ｍｐａ程度）下で
使用することが可能である。
の圧力が変動すると、それに同期して連通管１９を通じ
て超音波振動子１６の容器１７の圧力が変動する。これ
により、洗浄槽１の気相部１ｂと圧力と超音波振動子１
６の容器１７の圧力とが常にほぼ同一となり、圧力差に
よる超音波振動子１６の容器１７の損傷が生じなくな
る。この結果、超音波振動子１６の容器１７の板厚等を
上げずに損傷を防止することができ、超音波振動子１６
の振動特性を損なうことなく高真空（例えば２０ｔｏｒ
ｒ程度）下および高圧（例えば１．０Ｍｐａ程度）下で
使用することが可能である。
【００２８】本発明によれば、洗浄槽１の気相部１ｂと
超音波振動子１６の容器１７とを連通管１９を用いて連
通することにより、洗浄槽１の気相部１ｂの圧力変動に
かかわらず、洗浄槽１の気相部１ｂの圧力と超音波振動
子１６の容器１７の圧力とを常にかつ瞬時にほぼ同一に
維持できるから、超音波振動子１６の容器１７の損傷を
板厚等を上げることなく防止することができ、超音波振
動子１６の振動特性を損なうことなく高真空下および高
圧下で使用することができる。
超音波振動子１６の容器１７とを連通管１９を用いて連
通することにより、洗浄槽１の気相部１ｂの圧力変動に
かかわらず、洗浄槽１の気相部１ｂの圧力と超音波振動
子１６の容器１７の圧力とを常にかつ瞬時にほぼ同一に
維持できるから、超音波振動子１６の容器１７の損傷を
板厚等を上げることなく防止することができ、超音波振
動子１６の振動特性を損なうことなく高真空下および高
圧下で使用することができる。
【００２９】ところで、上述したように、洗浄槽１の気
相部１ｂと超音波振動子１６の容器１７とを連通管１９
によって連通した場合、真空洗浄か洗浄液Ａの蒸気が殆
ど発生しない低温加圧洗浄といった特殊な洗浄以外は、
洗浄槽１内で発生した蒸気が連通管１９を介して超音波
振動子１６の容器１７に流入してくる可能性があり、こ
の流入した蒸気が超音波振動子１６の容器１７内で凝縮
してドレン化すると、超音波振動素子１８を破損する原
因となる。
相部１ｂと超音波振動子１６の容器１７とを連通管１９
によって連通した場合、真空洗浄か洗浄液Ａの蒸気が殆
ど発生しない低温加圧洗浄といった特殊な洗浄以外は、
洗浄槽１内で発生した蒸気が連通管１９を介して超音波
振動子１６の容器１７に流入してくる可能性があり、こ
の流入した蒸気が超音波振動子１６の容器１７内で凝縮
してドレン化すると、超音波振動素子１８を破損する原
因となる。
【００３０】図２乃至図７は、上述の改善策として提案
された本発明に係る超音波洗装置の各実施形態である。
尚、図２乃至図７に示す各実施形態おいて、図１に示す
実施形態と同一要素には同一符号を付してその説明を省
略する。
された本発明に係る超音波洗装置の各実施形態である。
尚、図２乃至図７に示す各実施形態おいて、図１に示す
実施形態と同一要素には同一符号を付してその説明を省
略する。
【００３１】図２に示す実施形態は、連通管１９の途中
に密閉式のドレン捕集容器２０を設け、連通管１９で凝
縮した蒸気ドレンをドレン捕集容器２０に捕集させるこ
とにより、超音波振動子１６の容器１７への蒸気ドレン
の流入を阻止するようにしたものである。
に密閉式のドレン捕集容器２０を設け、連通管１９で凝
縮した蒸気ドレンをドレン捕集容器２０に捕集させるこ
とにより、超音波振動子１６の容器１７への蒸気ドレン
の流入を阻止するようにしたものである。
【００３２】図３に示す実施形態は、連通管１９の途中
に空冷式凝縮器２１を設けるとともに、その下流側に密
閉式のドレン捕集容器２０を設け、超音波振動子１６の
容器１７に流入する前に蒸気を空冷式凝縮器２１によっ
て冷却凝縮し、その蒸気ドレンをドレン捕集容器２０に
捕集させることにより、超音波振動子１６の容器１７へ
の蒸気ドレンの流入を阻止するようにしたものである。
に空冷式凝縮器２１を設けるとともに、その下流側に密
閉式のドレン捕集容器２０を設け、超音波振動子１６の
容器１７に流入する前に蒸気を空冷式凝縮器２１によっ
て冷却凝縮し、その蒸気ドレンをドレン捕集容器２０に
捕集させることにより、超音波振動子１６の容器１７へ
の蒸気ドレンの流入を阻止するようにしたものである。
【００３３】図４に示す実施形態は、連通管１９の途中
に密閉式のドレン捕集容器２０を設けるとともに、その
下流側に水冷式凝縮器２２を設け、超音波振動子１６の
容器１７に流入する前に蒸気を水冷式凝縮器２２によっ
て冷却凝縮し、その蒸気ドレンをドレン捕集容器２０に
捕集させることにより、超音波振動子１６の容器１７へ
の蒸気ドレンの流入を阻止するようにしたものである。
に密閉式のドレン捕集容器２０を設けるとともに、その
下流側に水冷式凝縮器２２を設け、超音波振動子１６の
容器１７に流入する前に蒸気を水冷式凝縮器２２によっ
て冷却凝縮し、その蒸気ドレンをドレン捕集容器２０に
捕集させることにより、超音波振動子１６の容器１７へ
の蒸気ドレンの流入を阻止するようにしたものである。
【００３４】図５に示す実施形態は、連通管１９の途中
に加熱器２３を設け、加熱器２３によって連通管１９を
当該連通管１９内で蒸気が凝縮しない温度まで加熱して
蒸気の凝縮そのものを防止することにより、超音波振動
子１６の容器１７への蒸気ドレンの流入を阻止するよう
にしたものである。
に加熱器２３を設け、加熱器２３によって連通管１９を
当該連通管１９内で蒸気が凝縮しない温度まで加熱して
蒸気の凝縮そのものを防止することにより、超音波振動
子１６の容器１７への蒸気ドレンの流入を阻止するよう
にしたものである。
【００３５】図６に示す実施形態は、連通管１９を真空
仕切弁２４を有する配管２５により真空ポンプ５に接続
するとともに、連通管１９に洗浄槽１を真空ポンプ５に
対して遮断するための洗浄槽仕切弁２６と、真空ポンプ
５の駆動を停止したときに配管２５内の真空を解除する
ための真空解除弁２７とを設け、洗浄槽１の真空減圧操
作または加圧操作を行っていない洗浄工程中、即ち、洗
浄槽１が大気圧下にある工程中に、真空ポンプ５によっ
て超音波振動子１６の容器１７の空気を吸引排気するこ
とにより、超音波振動子１６の容器１７に流入した蒸気
を吸引排気するとともに、超音波振動子１６の容器１７
に流入した蒸気ドレンを真空乾燥するようにしたもので
ある。
仕切弁２４を有する配管２５により真空ポンプ５に接続
するとともに、連通管１９に洗浄槽１を真空ポンプ５に
対して遮断するための洗浄槽仕切弁２６と、真空ポンプ
５の駆動を停止したときに配管２５内の真空を解除する
ための真空解除弁２７とを設け、洗浄槽１の真空減圧操
作または加圧操作を行っていない洗浄工程中、即ち、洗
浄槽１が大気圧下にある工程中に、真空ポンプ５によっ
て超音波振動子１６の容器１７の空気を吸引排気するこ
とにより、超音波振動子１６の容器１７に流入した蒸気
を吸引排気するとともに、超音波振動子１６の容器１７
に流入した蒸気ドレンを真空乾燥するようにしたもので
ある。
【００３６】図７に示す実施形態は、連通管１９の途中
にドレン捕集容器２０を設けるとともに、その下流側に
摺動部に気密性を有するスライダー２８ａを嵌合したシ
リンダー２８を設け、蒸気ドレンをドレン界捕集容器２
０で捕集するとともに、シリンダー２８のスライダー２
８ａによって蒸気や蒸気ドレンの超音波振動子１６の容
器１７への流入を遮断すると同時に、シリンダー２８の
スライダー２８ａの摺動によって超音波振動子１６の容
器１７の圧力を同期するようにしたものである。
にドレン捕集容器２０を設けるとともに、その下流側に
摺動部に気密性を有するスライダー２８ａを嵌合したシ
リンダー２８を設け、蒸気ドレンをドレン界捕集容器２
０で捕集するとともに、シリンダー２８のスライダー２
８ａによって蒸気や蒸気ドレンの超音波振動子１６の容
器１７への流入を遮断すると同時に、シリンダー２８の
スライダー２８ａの摺動によって超音波振動子１６の容
器１７の圧力を同期するようにしたものである。
【００３７】以上、本発明の実施形態について説明した
が、本発明は、この実施形態に限定されるものではな
い。例えば前記実施形態では、洗浄槽１を真空減圧操作
および加圧操作する場合について述べているが、本発明
は、洗浄槽１を真空減圧操作のみ或いは加圧操作のみ行
う場合にも適用することができる。
が、本発明は、この実施形態に限定されるものではな
い。例えば前記実施形態では、洗浄槽１を真空減圧操作
および加圧操作する場合について述べているが、本発明
は、洗浄槽１を真空減圧操作のみ或いは加圧操作のみ行
う場合にも適用することができる。
【００３８】また、前記実施形態では、洗浄液Ａによる
液洗浄の場合について述べているが、本発明は、蒸気
（ベーパー）による蒸気洗浄の場合にも適用することが
できる。
液洗浄の場合について述べているが、本発明は、蒸気
（ベーパー）による蒸気洗浄の場合にも適用することが
できる。
【００３９】また、前記実施形態では、高真空の度合
は、例えば２０ｔｏｒｒ程度、高圧の度合は、例えば
１.０Ｍｐａ程度と考えているが、本発明は、特に高真
空および高圧の度合は限定するものではない。
は、例えば２０ｔｏｒｒ程度、高圧の度合は、例えば
１.０Ｍｐａ程度と考えているが、本発明は、特に高真
空および高圧の度合は限定するものではない。
【００４０】更に、本発明は、洗浄槽１の形状、寸法等
にこだわるものでない。
にこだわるものでない。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方の操作を行
う密閉の型洗浄槽の洗浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記
洗浄液に密閉型の超音波振動子から超音波を放射して被
洗浄物を洗浄するにあたり、前記洗浄槽の気相部と前記
超音波振動子の容器とを連通するようにしたから、洗浄
中に洗浄槽の気相部の圧力が変動しても、洗浄槽内の圧
力と超音波振動子の容器内の圧力とか常にほぼ同一とな
り、超音波振動子の容器の板厚等を上げずに圧力変動に
よる損傷を防止することができ、超音波振動子の振動特
性を損なうことなく高真空下および高圧下で使用するこ
とが可能である。これにより、超音波洗浄自身としての
洗浄効果を向上することができるとともに、これまで不
可能であった高真空減圧工程或いは行加圧工程を有する
洗浄プロセスにおける超音波洗浄との一体的な組み合わ
せが可能となり、洗浄システムの合理化にも有効であ
る。
真空減圧操作或いは加圧操作またはその両方の操作を行
う密閉の型洗浄槽の洗浄液中に被洗浄物を浸漬し、前記
洗浄液に密閉型の超音波振動子から超音波を放射して被
洗浄物を洗浄するにあたり、前記洗浄槽の気相部と前記
超音波振動子の容器とを連通するようにしたから、洗浄
中に洗浄槽の気相部の圧力が変動しても、洗浄槽内の圧
力と超音波振動子の容器内の圧力とか常にほぼ同一とな
り、超音波振動子の容器の板厚等を上げずに圧力変動に
よる損傷を防止することができ、超音波振動子の振動特
性を損なうことなく高真空下および高圧下で使用するこ
とが可能である。これにより、超音波洗浄自身としての
洗浄効果を向上することができるとともに、これまで不
可能であった高真空減圧工程或いは行加圧工程を有する
洗浄プロセスにおける超音波洗浄との一体的な組み合わ
せが可能となり、洗浄システムの合理化にも有効であ
る。
【００４２】また、本発明によれば、超音波振動子の容
器内への蒸気や蒸気ドレンの流入を阻止、または超音波
振動子の容器内に蒸気や蒸気ドレンが流入しても、超音
波振動子の容器内を真空乾燥することにより、蒸気や蒸
気ドレンによる超音波振動子の損傷を防止することがで
きる。
器内への蒸気や蒸気ドレンの流入を阻止、または超音波
振動子の容器内に蒸気や蒸気ドレンが流入しても、超音
波振動子の容器内を真空乾燥することにより、蒸気や蒸
気ドレンによる超音波振動子の損傷を防止することがで
きる。
【図１】本発明の超音波洗浄に使用される超音波洗浄装
置を示す概略構成図。
置を示す概略構成図。
【図２】本発明に係る超音波洗浄装置の他の実施形態を
示す概略構成図。
示す概略構成図。
【図３】本発明に係る超音波洗浄装置の他の実施形態を
示す概略構成図。
示す概略構成図。
【図４】本発明に係る超音波洗浄装置の他の実施形態を
示す概略構成図。
示す概略構成図。
【図５】本発明に係る超音波洗浄装置の他の実施形態を
示す概略構成図。
示す概略構成図。
【図６】本発明に係る超音波洗浄装置の他の実施形態を
示す概略構成図。
示す概略構成図。
【図７】本発明に係る超音波洗浄装置の他の実施形態を
示す概略構成図。
示す概略構成図。
【符号の説明】
Ａ 洗浄液
Ｂ 被洗浄物
１ 洗浄槽
３ 真空仕切弁
５ 真空ポンプ
６ 加圧弁
１０ 脱気兼吸気弁
１６ 超音波振動子
１７ 容器
１８ 超音波振動素子
１９ 連通管
２０ ドレン捕集容器
２１ 空冷式凝縮器
２２ 水冷式凝縮器
２３ 加熱器
２４ 真空仕切弁
２５ 配管
２６ 洗浄槽仕切弁
２７ 真空解除弁
２８ シリンダー
２８ａ スライダー
Claims (8)
- 【請求項１】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄方法に
おいて、前記洗浄槽の気相部と前記超音波振動子の容器
とを連通し、洗浄中に洗浄槽内の圧力と超音波振動子の
容器内の圧力とを常にほぼ同一になるようにしたことを
特徴とする超音波洗浄方法。 - 【請求項２】 真空減圧操作或いは加圧操作またはその
両方の操作を行う密閉型の洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄
物を浸漬し、前記洗浄液中に密閉型の超音波振動子から
超音波を放射して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置に
おいて、前記洗浄槽の気相部と前記超音波振動子の容器
とを連通する連通管を設けたことを特徴とする超音波洗
浄装置。 - 【請求項３】 洗浄槽の気相部と超音波振動子の容器と
を連通する連通管の経路中に、前記連通管内で生じた蒸
気ドレンを捕集するためのドレン捕集容器を設けたこと
を特徴とする請求項２記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項４】 洗浄槽の気相部と超音波振動子の容器と
を連通する連通管の経路中に、蒸気を冷却凝縮するため
の空冷式凝縮器と、該空冷式凝縮器で凝縮した蒸気ドレ
ンを捕集するための密閉式のドレン捕集容器とを設けた
ことを特徴とする請求項２記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項５】 洗浄槽の気相部と超音波振動子の容器と
を連通する連通管の経路中に、蒸気を冷却凝縮するため
の水冷式凝縮器と、該水冷式凝縮器で凝縮した蒸気ドレ
ンを捕集するためのドレン捕集容器とを設けたことを特
徴とする請求項２記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項６】 洗浄槽の気相部と超音波振動子の容器と
を連通する連通管に、少なくとも連通管内で蒸気の凝縮
が生じない温度まで加熱することができる加熱装置を設
けたことを特徴とする請求項２記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項７】 洗浄槽の気相部と超音波振動子の容器と
を連通する連通管を真空ポンプに接続するとともに、連
通管に洗浄槽で真空減圧操作或いは加圧操作を行ってい
ない工程中に洗浄槽を前記真空ポンプに対して遮断して
超音波振動子の容器内を真空乾燥するための洗浄槽仕切
弁を設けたことを特徴とする請求項２乃至６記載の超音
波洗浄装置。 - 【請求項８】 洗浄槽の気相部と超音波振動子の容器と
を連通する連通管の経路中に、摺動部に気密部を有する
スライダーを嵌合したシリンダーを設けたことを特徴と
する請求項２記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224591A JP2003033737A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224591A JP2003033737A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003033737A true JP2003033737A (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=19057723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001224591A Pending JP2003033737A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 超音波洗浄方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003033737A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7637272B2 (en) | 2005-05-26 | 2009-12-29 | Semes Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning and drying substrates |
| WO2017157003A1 (zh) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 连云港佑源医药设备制造有限公司 | 一种脉动真空清洗消毒机装置及清洗方法 |
| CN115301631A (zh) * | 2022-09-20 | 2022-11-08 | 深圳市科泰超声自动化设备有限公司 | 一种工业零件用的封闭式超声波清洗机 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49141663U (ja) * | 1973-03-30 | 1974-12-06 | ||
| JPH0372626A (ja) * | 1989-05-06 | 1991-03-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の洗浄処理方法および装置 |
| JPH0652980U (ja) * | 1992-10-22 | 1994-07-19 | 佳英 柴野 | 超音波洗浄のための超音波振動子装置 |
| JPH10163152A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Shoes Refresher Kaihatsu Kyodo Kumiai | 超臨界流体洗浄装置における洗浄機構 |
| JP2001133087A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-18 | Daikin Ind Ltd | 配管洗浄装置及び冷媒回収装置 |
| JP2001141360A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Olympus Optical Co Ltd | 真空乾燥機 |
-
2001
- 2001-07-25 JP JP2001224591A patent/JP2003033737A/ja active Pending
Patent Citations (6)
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| CN115301631A (zh) * | 2022-09-20 | 2022-11-08 | 深圳市科泰超声自动化设备有限公司 | 一种工业零件用的封闭式超声波清洗机 |
| CN115301631B (zh) * | 2022-09-20 | 2023-07-14 | 深圳市科泰超声自动化设备有限公司 | 一种工业零件用的封闭式超声波清洗机 |
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