JP2002186919A - 減圧超音波洗浄装置 - Google Patents
減圧超音波洗浄装置Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 減圧超音波洗浄装置において、洗浄槽と振動
子ケース内の圧力差がなくなるように調整して洗浄し、
振動子の破損を防止する。 【解決手段】 洗浄槽１１に第一の圧力センサ２６を装
着し、振動子ケース２２に第二の圧力センサを装着し、
洗浄槽１１、振動子ケース２２をそれぞれ第一、第二の
電磁弁１４、２４を介して減圧ポンプ１８に接続する。
第一、第二の圧力センサ２６，２７で洗浄槽と振動子ケ
ースの内圧を検出しながら減圧ポンプ１８、第一、第二
の電磁弁１４、２４を作動させることにより洗浄槽１１
と振動子ケース２２内の圧力を同一にする。
子ケース内の圧力差がなくなるように調整して洗浄し、
振動子の破損を防止する。 【解決手段】 洗浄槽１１に第一の圧力センサ２６を装
着し、振動子ケース２２に第二の圧力センサを装着し、
洗浄槽１１、振動子ケース２２をそれぞれ第一、第二の
電磁弁１４、２４を介して減圧ポンプ１８に接続する。
第一、第二の圧力センサ２６，２７で洗浄槽と振動子ケ
ースの内圧を検出しながら減圧ポンプ１８、第一、第二
の電磁弁１４、２４を作動させることにより洗浄槽１１
と振動子ケース２２内の圧力を同一にする。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、洗浄槽と振動子ケ
ース内の圧力を圧力センサで検出して同一になるように
調整して洗浄する減圧超音波洗浄装置に関するものであ
る。
ース内の圧力を圧力センサで検出して同一になるように
調整して洗浄する減圧超音波洗浄装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、被洗浄物及び洗浄液を入れた洗浄
槽内の空気を抜くことによって、洗浄槽内を減圧し、そ
れによって、洗浄液中に含まれる空気を抜く（脱泡現
象）ことにより、洗浄槽に装着した振動子から照射され
た超音波によって洗浄槽内の洗浄液が被洗浄物の隅々ま
で行き届くために洗浄効果が向上する減圧超音波洗浄機
が提案されているが、この超音波洗浄装置では、洗浄槽
内を減圧すると、洗浄槽の底部に装着した振動板が洗浄
槽と外圧の圧力差によって湾曲し、振動子が破壊した
り、振動板からの振動子の接着剥がれが生じ、故障の原
因になるという欠点があった。
槽内の空気を抜くことによって、洗浄槽内を減圧し、そ
れによって、洗浄液中に含まれる空気を抜く（脱泡現
象）ことにより、洗浄槽に装着した振動子から照射され
た超音波によって洗浄槽内の洗浄液が被洗浄物の隅々ま
で行き届くために洗浄効果が向上する減圧超音波洗浄機
が提案されているが、この超音波洗浄装置では、洗浄槽
内を減圧すると、洗浄槽の底部に装着した振動板が洗浄
槽と外圧の圧力差によって湾曲し、振動子が破壊した
り、振動板からの振動子の接着剥がれが生じ、故障の原
因になるという欠点があった。
【０００３】この欠点を解消するために、従来の減圧超
音波洗浄機（特開平２０００−３３３４９号公報参照）
は、図５に示すように、被洗浄物及び洗浄液２を入れた
洗浄槽１に接続パイプ３が接続され、この接続パイプ３
にバルブ４を介して減圧ポンプ５が接続され、又、洗浄
槽１の底部にパッキン６を介して振動板７が装着され、
この振動板７に振動子８が装着され、この振動子８は振
動子ケース９によって密閉され、この振動子カバー９は
接続パイプ１０によって接続パイプ３に接続されてい
る。
音波洗浄機（特開平２０００−３３３４９号公報参照）
は、図５に示すように、被洗浄物及び洗浄液２を入れた
洗浄槽１に接続パイプ３が接続され、この接続パイプ３
にバルブ４を介して減圧ポンプ５が接続され、又、洗浄
槽１の底部にパッキン６を介して振動板７が装着され、
この振動板７に振動子８が装着され、この振動子８は振
動子ケース９によって密閉され、この振動子カバー９は
接続パイプ１０によって接続パイプ３に接続されてい
る。
【０００４】又、他の従来例としては、図６に示すよう
に、被洗浄物及び洗浄液２を入れた洗浄槽１に接続パイ
プ３が接続され、この接続パイプ３にバルブ４を介して
減圧ポンプ５が接続され、又、洗浄槽１内に振動子８が
装着された振動子ケース９が装着され、この振動子ケー
ス９は接続パイプ１０によって接続パイプ３に接続され
ている。
に、被洗浄物及び洗浄液２を入れた洗浄槽１に接続パイ
プ３が接続され、この接続パイプ３にバルブ４を介して
減圧ポンプ５が接続され、又、洗浄槽１内に振動子８が
装着された振動子ケース９が装着され、この振動子ケー
ス９は接続パイプ１０によって接続パイプ３に接続され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな減圧超音波洗浄装置では、減圧ポンプ５で洗浄槽１
と振動子８が装着されている振動子ケース９内の空気を
同時に抜くと、洗浄槽１の大きさと振動子ケース９の大
きさが異なるため、振動子ケース９の内圧が洗浄槽１の
内圧より早く低くなるため、その時に、振動板が洗浄槽
１と振動子ケース９の圧力差によって湾曲し、振動子が
破壊したり、振動板からの振動子の接着剥がれが生じる
という問題があり、両者の圧力差がなくなるように調節
することは非常に難しいという問題がった。
うな減圧超音波洗浄装置では、減圧ポンプ５で洗浄槽１
と振動子８が装着されている振動子ケース９内の空気を
同時に抜くと、洗浄槽１の大きさと振動子ケース９の大
きさが異なるため、振動子ケース９の内圧が洗浄槽１の
内圧より早く低くなるため、その時に、振動板が洗浄槽
１と振動子ケース９の圧力差によって湾曲し、振動子が
破壊したり、振動板からの振動子の接着剥がれが生じる
という問題があり、両者の圧力差がなくなるように調節
することは非常に難しいという問題がった。
【０００６】
【課題を解決しようとする手段】本発明は、被洗浄物を
入れて洗浄する洗浄槽に空気を減圧する減圧ポンプを接
続して前記洗浄槽内を減圧し、前記洗浄槽内の前記被洗
浄物に超音波振動子から超音波を照射して洗浄するよう
にした超音波洗浄装置において、前記洗浄槽に第１の電
磁弁を介して前記減圧ポンプに接続し、前記超音波振動
子を振動子ケースに封入して前記洗浄槽内に装着し、前
記振動子ケースを第２の電磁弁を介して前記減圧ポンプ
に接続し、前記洗浄槽に第１の圧力センサを装着し、前
記振動子ケースに第２の圧力センサを装着し、前記第
１、第２の圧力センサの出力を差圧比較器に入力し、該
差圧比較器の出力を前記第１、第２の電磁弁を駆動する
電磁弁駆動装置に接続してなり、前記洗浄槽内の圧力と
前記振動子ケースの圧力を前記第１、第２のセンサで検
出して前記第１、第２の電磁弁を作動することにより、
前記洗浄槽と前記振動子ケース内の圧力を同一にするで
あり、又、前記第２の圧力センサを装着した前記振動子
ケースを前記洗浄槽の底部に振動板を介して装着しても
よいし、さらに、被洗浄物を入れて洗浄する洗浄槽に空
気を減圧する第１の減圧ポンプを接続して前記洗浄槽内
を減圧し、前記洗浄槽内の前記被洗浄物に超音波振動子
から超音波を照射して洗浄するようにした超音波洗浄装
置において、前記洗浄槽に第１の電磁弁を介して前記第
１の減圧ポンプに接続し、前記超音波振動子を振動子ケ
ースに封入して前記洗浄槽内に装着し、前記振動子ケー
スを第２の電磁弁を介して第２の減圧ポンプに接続し、
前記洗浄槽に第１の圧力センサを装着し、前記振動子ケ
ースに第２の圧力センサを装着し、前記第１、第２の圧
力センサの出力を差圧比較器に入力し、該差圧比較器の
出力を前記第１、第２の電磁弁を駆動する電磁弁駆動装
置に接続してなり、前記洗浄槽内の圧力と前記振動子ケ
ースの圧力を前記第１、第２のセンサで検出して前記第
１、第２の電磁弁を作動することにより、前記洗浄槽と
前記振動子ケース内の圧力を同一にするものであり、
又、前記第２の圧力センサを装着した前記振動子ケース
を前記洗浄槽の底部に振動板を介して装着してもよい。
入れて洗浄する洗浄槽に空気を減圧する減圧ポンプを接
続して前記洗浄槽内を減圧し、前記洗浄槽内の前記被洗
浄物に超音波振動子から超音波を照射して洗浄するよう
にした超音波洗浄装置において、前記洗浄槽に第１の電
磁弁を介して前記減圧ポンプに接続し、前記超音波振動
子を振動子ケースに封入して前記洗浄槽内に装着し、前
記振動子ケースを第２の電磁弁を介して前記減圧ポンプ
に接続し、前記洗浄槽に第１の圧力センサを装着し、前
記振動子ケースに第２の圧力センサを装着し、前記第
１、第２の圧力センサの出力を差圧比較器に入力し、該
差圧比較器の出力を前記第１、第２の電磁弁を駆動する
電磁弁駆動装置に接続してなり、前記洗浄槽内の圧力と
前記振動子ケースの圧力を前記第１、第２のセンサで検
出して前記第１、第２の電磁弁を作動することにより、
前記洗浄槽と前記振動子ケース内の圧力を同一にするで
あり、又、前記第２の圧力センサを装着した前記振動子
ケースを前記洗浄槽の底部に振動板を介して装着しても
よいし、さらに、被洗浄物を入れて洗浄する洗浄槽に空
気を減圧する第１の減圧ポンプを接続して前記洗浄槽内
を減圧し、前記洗浄槽内の前記被洗浄物に超音波振動子
から超音波を照射して洗浄するようにした超音波洗浄装
置において、前記洗浄槽に第１の電磁弁を介して前記第
１の減圧ポンプに接続し、前記超音波振動子を振動子ケ
ースに封入して前記洗浄槽内に装着し、前記振動子ケー
スを第２の電磁弁を介して第２の減圧ポンプに接続し、
前記洗浄槽に第１の圧力センサを装着し、前記振動子ケ
ースに第２の圧力センサを装着し、前記第１、第２の圧
力センサの出力を差圧比較器に入力し、該差圧比較器の
出力を前記第１、第２の電磁弁を駆動する電磁弁駆動装
置に接続してなり、前記洗浄槽内の圧力と前記振動子ケ
ースの圧力を前記第１、第２のセンサで検出して前記第
１、第２の電磁弁を作動することにより、前記洗浄槽と
前記振動子ケース内の圧力を同一にするものであり、
又、前記第２の圧力センサを装着した前記振動子ケース
を前記洗浄槽の底部に振動板を介して装着してもよい。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明では、洗浄槽及び振動子ケ
ースをそれぞれ第１、第２の電磁弁を介して減圧ポンプ
に接続し、振動子ケースに接続した第２の電磁弁によっ
て減圧ポンプで抜かれる空気の量を少なくすることによ
り、洗浄槽と振動子ケースの容量が異なった洗浄槽と振
動子ケースの空気を同時に抜いても、洗浄槽と振動子ケ
ースの内圧を同一にすることが容易であり、又、第１、
第２の圧力センサで洗浄槽と振動子ケースの内圧を検出
しながら減圧ポンプを動作するので、洗浄槽と振動子ケ
ースの内圧を同一にすることが容易であり、さらに、洗
浄槽に第１の減圧ポンプを接続し、振動子ケースに第２
のポンプを接続することにより、第１、第２の減圧ポン
プの吸引力を変えることにより、洗浄槽と振動子ケース
の内圧を同一にすることが容易となる。
ースをそれぞれ第１、第２の電磁弁を介して減圧ポンプ
に接続し、振動子ケースに接続した第２の電磁弁によっ
て減圧ポンプで抜かれる空気の量を少なくすることによ
り、洗浄槽と振動子ケースの容量が異なった洗浄槽と振
動子ケースの空気を同時に抜いても、洗浄槽と振動子ケ
ースの内圧を同一にすることが容易であり、又、第１、
第２の圧力センサで洗浄槽と振動子ケースの内圧を検出
しながら減圧ポンプを動作するので、洗浄槽と振動子ケ
ースの内圧を同一にすることが容易であり、さらに、洗
浄槽に第１の減圧ポンプを接続し、振動子ケースに第２
のポンプを接続することにより、第１、第２の減圧ポン
プの吸引力を変えることにより、洗浄槽と振動子ケース
の内圧を同一にすることが容易となる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の実施例の減圧超音波洗浄装置
の構成図で、洗浄槽１１に被洗浄物と洗浄液１２が入れ
られ、洗浄槽１１に接続パイプ１３を介して第１の電磁
弁１４が接続され、第１の電磁弁１４は接続パイプ１５
を介してバルブ１６に接続され、バルブ１６は接続パイ
プ１７を介して減圧ポンプ１８に接続され、又、洗浄槽
１１の底部にパッキン１９を介して振動板２０が装着さ
れ、この振動板２０に振動子２１が装着され、振動子２
１は振動子ケース２２によって密閉され、振動子ケース
２２は接続パイプ２３を介して第２の電磁弁２４に接続
され、第２の電磁弁２４は接続パイプ２５を介して接続
パイプ１５に接続されている。
の構成図で、洗浄槽１１に被洗浄物と洗浄液１２が入れ
られ、洗浄槽１１に接続パイプ１３を介して第１の電磁
弁１４が接続され、第１の電磁弁１４は接続パイプ１５
を介してバルブ１６に接続され、バルブ１６は接続パイ
プ１７を介して減圧ポンプ１８に接続され、又、洗浄槽
１１の底部にパッキン１９を介して振動板２０が装着さ
れ、この振動板２０に振動子２１が装着され、振動子２
１は振動子ケース２２によって密閉され、振動子ケース
２２は接続パイプ２３を介して第２の電磁弁２４に接続
され、第２の電磁弁２４は接続パイプ２５を介して接続
パイプ１５に接続されている。
【０００９】そして、洗浄槽１１に第１の圧力センサ２
６が装着され、又、振動子ケース２２に第２の圧力セン
サ２７が装着され、第１、第２の圧力センサ２６、２７
の出力は差圧比較器２８に入力され、差圧比較器２８の
出力は電磁弁駆動装置２９に接続され、電磁弁駆動装置
２９の出力は第１、第２の電磁弁１４、２４に接続され
ている。
６が装着され、又、振動子ケース２２に第２の圧力セン
サ２７が装着され、第１、第２の圧力センサ２６、２７
の出力は差圧比較器２８に入力され、差圧比較器２８の
出力は電磁弁駆動装置２９に接続され、電磁弁駆動装置
２９の出力は第１、第２の電磁弁１４、２４に接続され
ている。
【００１０】このように構成した本実施例の減圧超音波
洗浄装置では、第１の電磁弁１４は容量の大きい洗浄槽
１１の空気を吸引するために、大きく開けられ、又、第
２の電磁弁２４は容量の小さい振動子ケース２２内の空
気を吸引するために、小さく開けられているので、第
１、第２の圧力センサ２６、２７でそれぞれ洗浄槽１１
及び振動子ケース２２内の圧力を検出しながら減圧ポン
プ１８で吸引され、従って、洗浄槽１１及び振動子ケー
ス２２内の圧力差が大きくなることなく、洗浄槽１１及
び振動子ケース２２内を減圧できるので、洗浄槽１１内
と振動子ケース２２内の圧力が自動的に均一になり、振
動子２１を取り付けた振動板２０が圧力差によって湾曲
したり、歪を生じたりすることがなく、振動子２１の破
壊や故障を防止することができる。
洗浄装置では、第１の電磁弁１４は容量の大きい洗浄槽
１１の空気を吸引するために、大きく開けられ、又、第
２の電磁弁２４は容量の小さい振動子ケース２２内の空
気を吸引するために、小さく開けられているので、第
１、第２の圧力センサ２６、２７でそれぞれ洗浄槽１１
及び振動子ケース２２内の圧力を検出しながら減圧ポン
プ１８で吸引され、従って、洗浄槽１１及び振動子ケー
ス２２内の圧力差が大きくなることなく、洗浄槽１１及
び振動子ケース２２内を減圧できるので、洗浄槽１１内
と振動子ケース２２内の圧力が自動的に均一になり、振
動子２１を取り付けた振動板２０が圧力差によって湾曲
したり、歪を生じたりすることがなく、振動子２１の破
壊や故障を防止することができる。
【００１１】図２は本発明の他の実施例の減圧超音波洗
浄装置の構成図で、１１は洗浄槽、１２は洗浄液、１３
は接続パイプ、１４は第１の電磁弁、１５は接続パイ
プ、１６はバルブ、１７は接続パイプ、１８は減圧ポン
プ、２１は振動子、２２は振動子ケース、２３は接続パ
イプ、２４は第２の電磁弁、２５は接続パイプ、２６は
第１の圧力センサ、２７は第２の圧力センサ、２８は差
圧比較器、２９は電磁弁駆動装置であり、これらの構成
は上記実施例と同じであるので、説明は省略するが、本
実施例では、振動子２０を装着した振動子ケース２１は
洗浄槽１１内に装着されている。
浄装置の構成図で、１１は洗浄槽、１２は洗浄液、１３
は接続パイプ、１４は第１の電磁弁、１５は接続パイ
プ、１６はバルブ、１７は接続パイプ、１８は減圧ポン
プ、２１は振動子、２２は振動子ケース、２３は接続パ
イプ、２４は第２の電磁弁、２５は接続パイプ、２６は
第１の圧力センサ、２７は第２の圧力センサ、２８は差
圧比較器、２９は電磁弁駆動装置であり、これらの構成
は上記実施例と同じであるので、説明は省略するが、本
実施例では、振動子２０を装着した振動子ケース２１は
洗浄槽１１内に装着されている。
【００１２】このように構成した本実施例の減圧超音波
洗浄装置においても、上記実施例と同じ効果を得ること
ができる。
洗浄装置においても、上記実施例と同じ効果を得ること
ができる。
【００１３】図３は本発明の他の実施例の減圧超音波洗
浄装置の構成図で、１１は洗浄槽、１２は洗浄液、１３
は接続パイプ、１４は第１の電磁弁、１５は接続パイ
プ、１６はバルブ、１７は接続パイプ、１８は第１の減
圧ポンプ、１９はパッキン、２０は振動板、２１は振動
子、２２は振動子ケース、２３は接続パイプ、２４は第
２の電磁弁であり、これらの構成は上記実施例と同じで
あるので、説明は省略するが、本実施例では、接続パイ
プ２５にバルブ３０が接続され、バルブ３０に接続パイ
プ３１を介して第２の減圧ポンプ３２が接続されてい
る。
浄装置の構成図で、１１は洗浄槽、１２は洗浄液、１３
は接続パイプ、１４は第１の電磁弁、１５は接続パイ
プ、１６はバルブ、１７は接続パイプ、１８は第１の減
圧ポンプ、１９はパッキン、２０は振動板、２１は振動
子、２２は振動子ケース、２３は接続パイプ、２４は第
２の電磁弁であり、これらの構成は上記実施例と同じで
あるので、説明は省略するが、本実施例では、接続パイ
プ２５にバルブ３０が接続され、バルブ３０に接続パイ
プ３１を介して第２の減圧ポンプ３２が接続されてい
る。
【００１４】このように構成した本実施例では、第１の
減圧ポンプ１８の吸引力を大きくし、第２の減圧ポンプ
３２の吸引力を小さくすることにより、第１、第２の圧
力センサ２６、２７でそれぞれ洗浄槽１１及び振動子ケ
ース２２内の圧力を検出しながら第１の減圧ポンプ１８
で洗浄槽１１内の空気を吸引し、第２の減圧ポンプ３２
で振動子ケース２２内の空気を吸引するので、洗浄槽１
１及び振動子ケース２２内の圧力差が大きくなることな
く、洗浄槽１１及び振動子ケース２２内を減圧でき、洗
浄槽１１内と振動子ケース２２内の圧力が自動的に均一
になり、振動子２１を取り付けた振動板２０が圧力差に
よって湾曲したり、歪を生じたりすることがなく、振動
子２１の破壊や故障を防止することができる。
減圧ポンプ１８の吸引力を大きくし、第２の減圧ポンプ
３２の吸引力を小さくすることにより、第１、第２の圧
力センサ２６、２７でそれぞれ洗浄槽１１及び振動子ケ
ース２２内の圧力を検出しながら第１の減圧ポンプ１８
で洗浄槽１１内の空気を吸引し、第２の減圧ポンプ３２
で振動子ケース２２内の空気を吸引するので、洗浄槽１
１及び振動子ケース２２内の圧力差が大きくなることな
く、洗浄槽１１及び振動子ケース２２内を減圧でき、洗
浄槽１１内と振動子ケース２２内の圧力が自動的に均一
になり、振動子２１を取り付けた振動板２０が圧力差に
よって湾曲したり、歪を生じたりすることがなく、振動
子２１の破壊や故障を防止することができる。
【００１５】図４は本発明の他の実施例の減圧超音波洗
浄装置の構成図で、１１は洗浄槽、１２は洗浄液、１３
は接続パイプ、１４は第１の電磁弁、１５は接続パイ
プ、１６はバルブ、１７は接続パイプ、１８は第１の減
圧ポンプ、２１は振動子、２２は振動子ケース、２３は
接続パイプ、２４は第２の電磁弁であり、これらの構成
は上記実施例と同じであるので、説明は省略するが、本
実施例では、振動子ケース２２が洗浄槽１１内に装着さ
れている。
浄装置の構成図で、１１は洗浄槽、１２は洗浄液、１３
は接続パイプ、１４は第１の電磁弁、１５は接続パイ
プ、１６はバルブ、１７は接続パイプ、１８は第１の減
圧ポンプ、２１は振動子、２２は振動子ケース、２３は
接続パイプ、２４は第２の電磁弁であり、これらの構成
は上記実施例と同じであるので、説明は省略するが、本
実施例では、振動子ケース２２が洗浄槽１１内に装着さ
れている。
【００１６】このように構成した本実施例の減圧超音波
洗浄装置においても、上記実施例と同様の効果を得るこ
とができる。
洗浄装置においても、上記実施例と同様の効果を得るこ
とができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の減圧超音
波洗浄装置では、振動子ケースに接続した第２の電磁弁
によって減圧ポンプで抜かれる空気の量を少なくするこ
とにより、洗浄槽と振動子ケースの容量が異なった洗浄
槽と振動子ケースの空気を同時に抜いても、洗浄槽と振
動子ケースの内圧を同一にすることが容易であり、又、
第１、第２の圧力センサで洗浄槽と振動子ケースの内圧
を検出しながら減圧ポンプを動作するので、洗浄槽と振
動子ケースの内圧を同一にすることが容易であり、さら
に、洗浄槽に第１の減圧ポンプを接続し、振動子ケース
に第２のポンプを接続し、第１、第２の減圧ポンプの吸
引力を変えることにより、洗浄槽と振動子ケースの内圧
を同一にすることが容易となるという利点がある。
波洗浄装置では、振動子ケースに接続した第２の電磁弁
によって減圧ポンプで抜かれる空気の量を少なくするこ
とにより、洗浄槽と振動子ケースの容量が異なった洗浄
槽と振動子ケースの空気を同時に抜いても、洗浄槽と振
動子ケースの内圧を同一にすることが容易であり、又、
第１、第２の圧力センサで洗浄槽と振動子ケースの内圧
を検出しながら減圧ポンプを動作するので、洗浄槽と振
動子ケースの内圧を同一にすることが容易であり、さら
に、洗浄槽に第１の減圧ポンプを接続し、振動子ケース
に第２のポンプを接続し、第１、第２の減圧ポンプの吸
引力を変えることにより、洗浄槽と振動子ケースの内圧
を同一にすることが容易となるという利点がある。
【図１】本発明の実施例の減圧超音波洗浄装置の構成図
である。
である。
【図２】本発明の他の実施例の減圧超音波洗浄装置の構
成図である。
成図である。
【図３】本発明のさらに他の実施例の減圧超音波洗浄装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図４】本発明の他の実施例の超音波洗浄装置の他の構
成図である。
成図である。
【図５】従来例の減圧超音波洗浄装置の構成図である。
【図６】従来例の他の減圧超音波洗浄装置の構成図であ
る。
る。
１１ 洗浄槽 １２ 洗浄液 １３、１５ 接続パイプ １４ 第１の電磁弁 １６ バルブ １７ 接続パイプ １８ 第１の減圧ポンプ １９ パッキン ２０ 振動板 ２１ 振動子 ２２ 振動子ケース ２３ 接続パイプ ２４ 第２の電磁弁 ２５ 接続パイプ ２６ 第１の圧力センサ ２７ 第２の圧力センサ ２８ 差圧比較器 ２９ 電磁弁駆動装置 ３０ バルブ ３１ 接続パイプ ３２ 第２の減圧ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村松 喜和 愛知県豊橋市大岩町字小山塚20番地 本多 電子株式会社内 Ｆターム(参考） 3B201 AA46 AB01 BB02 BB83 BB92 CD11
Claims (4)
- 【請求項１】 被洗浄物を入れて洗浄する洗浄槽に空気
を減圧する減圧ポンプを接続して前記洗浄槽内を減圧
し、前記洗浄槽内の前記被洗浄物に超音波振動子から超
音波を照射して洗浄するようにした超音波洗浄装置にお
いて、前記洗浄槽に第１の電磁弁を介して前記減圧ポン
プに接続し、前記超音波振動子を振動子ケースに封入し
て前記洗浄槽内に装着し、前記振動子ケースを第２の電
磁弁を介して前記減圧ポンプに接続し、前記洗浄槽に第
１の圧力センサを装着し、前記振動子ケースに第２の圧
力センサを装着し、前記第１、第２の圧力センサの出力
を差圧比較器に入力し、該差圧比較器の出力を前記第
１、第２の電磁弁を駆動する電磁弁駆動装置に接続して
なり、前記洗浄槽内の圧力と前記振動子ケースの圧力を
前記第１、第２のセンサで検出して前記第１、第２の電
磁弁を作動することにより、前記洗浄槽と前記振動子ケ
ース内の圧力を同一にすることを特徴とする減圧超音波
洗浄装置。 - 【請求項２】 前記第２の圧力センサを装着した前記振
動子ケースを前記洗浄槽の底部に振動板を介して装着す
ることを特徴とする請求項１記載の減圧超音波洗浄装
置。 - 【請求項３】 被洗浄物を入れて洗浄する洗浄槽に空気
を減圧する第１の減圧ポンプを接続して前記洗浄槽内を
減圧し、前記洗浄槽内の前記被洗浄物に超音波振動子か
ら超音波を照射して洗浄するようにした超音波洗浄装置
において、前記洗浄槽に第１の電磁弁を介して前記第１
の減圧ポンプに接続し、前記超音波振動子を振動子ケー
スに封入して前記洗浄槽内に装着し、前記振動子ケース
を第２の電磁弁を介して第２の減圧ポンプに接続し、前
記洗浄槽に第１の圧力センサを装着し、前記振動子ケー
スに第２の圧力センサを装着し、前記第１、第２の圧力
センサの出力を差圧比較器に入力し、該差圧比較器の出
力を前記第１、第２の電磁弁を駆動する電磁弁駆動装置
に接続してなり、前記洗浄槽内の圧力と前記振動子ケー
スの圧力を前記第１、第２のセンサで検出して前記第
１、第２の電磁弁を作動することにより、前記洗浄槽と
前記振動子ケース内の圧力を同一にすることを特徴とす
る減圧超音波洗浄装置。 - 【請求項４】 前記第２の圧力センサを装着した前記振
動子ケースを前記洗浄槽の底部に振動板を介して装着す
ることを特徴とする請求項３記載の減圧超音波洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000386364A JP2002186919A (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | 減圧超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000386364A JP2002186919A (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | 減圧超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002186919A true JP2002186919A (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=18853473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000386364A Pending JP2002186919A (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | 減圧超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002186919A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106076968A (zh) * | 2016-08-10 | 2016-11-09 | 合肥海瑞弗机房设备有限公司 | 一种远红外线加湿自动清洗机 |
| CN110052448A (zh) * | 2019-05-23 | 2019-07-26 | 河北工业大学 | 一种超声波清洗机 |
-
2000
- 2000-12-20 JP JP2000386364A patent/JP2002186919A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106076968A (zh) * | 2016-08-10 | 2016-11-09 | 合肥海瑞弗机房设备有限公司 | 一种远红外线加湿自动清洗机 |
| CN110052448A (zh) * | 2019-05-23 | 2019-07-26 | 河北工业大学 | 一种超声波清洗机 |
| CN110052448B (zh) * | 2019-05-23 | 2023-10-27 | 河北工业大学 | 一种超声波清洗机 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071018 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091201 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091211 |
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