JP2003023201A - 光学素子およびその製造方法とこれに用いる成形金型とこれを用いた光学機器 - Google Patents
光学素子およびその製造方法とこれに用いる成形金型とこれを用いた光学機器Info
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- JP2003023201A JP2003023201A JP2001204345A JP2001204345A JP2003023201A JP 2003023201 A JP2003023201 A JP 2003023201A JP 2001204345 A JP2001204345 A JP 2001204345A JP 2001204345 A JP2001204345 A JP 2001204345A JP 2003023201 A JP2003023201 A JP 2003023201A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、光通信分野に用いられる光学素子
およびその製造方法とこれに用いる成形金型とこれを用
いた光学機器に関するものであって、光学素子を形成す
る鏡筒と光学レンズとの当接面における気密性を高める
ことを目的とする。 【解決手段】 光学素子３を形成する鏡筒４に設けられ
た貫通孔の表面に表被膜６を設け、この表被膜６を介し
て光学レンズ５を圧接支持する構造とした。
およびその製造方法とこれに用いる成形金型とこれを用
いた光学機器に関するものであって、光学素子を形成す
る鏡筒と光学レンズとの当接面における気密性を高める
ことを目的とする。 【解決手段】 光学素子３を形成する鏡筒４に設けられ
た貫通孔の表面に表被膜６を設け、この表被膜６を介し
て光学レンズ５を圧接支持する構造とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光通信分野に用いら
れる光学素子およびその製造方法とこれに用いる成形金
型とこれを用いた光学機器に関するものである。
れる光学素子およびその製造方法とこれに用いる成形金
型とこれを用いた光学機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般にレーザ光を応用する光学機器は、
レーザ光を射出する半導体チップの先端にレーザ光を平
行光或は収束光にする光学素子が設けられている。
レーザ光を射出する半導体チップの先端にレーザ光を平
行光或は収束光にする光学素子が設けられている。
【０００３】そして、光学素子はレーザ光を光学処理す
るための光学レンズとこの光学レンズを光学機器に取り
付ける筒状の鏡筒から形成され、半導体チップの酸化を
防止するために鏡筒と光学レンズで半導体チップを覆
い、その内部に不活性ガスを充填している。
るための光学レンズとこの光学レンズを光学機器に取り
付ける筒状の鏡筒から形成され、半導体チップの酸化を
防止するために鏡筒と光学レンズで半導体チップを覆
い、その内部に不活性ガスを充填している。
【０００４】従来このような光学素子は、鏡筒となるス
テンレス素体に研削加工を施して貫通孔を形成し、この
貫通孔内にて光学レンズとなるガラス硝材を加熱プレス
成形することで鏡筒と光学レンズとを一体化していた。
テンレス素体に研削加工を施して貫通孔を形成し、この
貫通孔内にて光学レンズとなるガラス硝材を加熱プレス
成形することで鏡筒と光学レンズとを一体化していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、鏡筒に
設けられた貫通孔の内周面には研削加工によって細かな
研削傷が生じるため、加熱プレス成形ではガラス硝材が
この細かな研削傷の細部に至るまで十分に入り込めず、
結果としてこの部分に隙間が生じてしまい、この隙間か
ら不活性ガスが少しずつ漏れてしまうため、長期間に渡
り半導体チップの酸化を防止することが困難なものとな
っていた。
設けられた貫通孔の内周面には研削加工によって細かな
研削傷が生じるため、加熱プレス成形ではガラス硝材が
この細かな研削傷の細部に至るまで十分に入り込めず、
結果としてこの部分に隙間が生じてしまい、この隙間か
ら不活性ガスが少しずつ漏れてしまうため、長期間に渡
り半導体チップの酸化を防止することが困難なものとな
っていた。
【０００６】そこで本発明は鏡筒と光学レンズとの当接
面における気密性を高めた光学素子およびその製造方法
とこれに用いる成形金型とこれを用いた光学機器を提供
することを目的とする。
面における気密性を高めた光学素子およびその製造方法
とこれに用いる成形金型とこれを用いた光学機器を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載の発明は、特に鏡筒に設けら
れた貫通孔の表面に表被膜を設け、この表被膜を介して
光学レンズを圧接支持したことで、この表被膜の弾性が
光学レンズと鏡筒の圧接面におけるパッキンの役割を果
たすことになり、結果としてこの当接面における気密性
を高めることができる。
に本発明の請求項１に記載の発明は、特に鏡筒に設けら
れた貫通孔の表面に表被膜を設け、この表被膜を介して
光学レンズを圧接支持したことで、この表被膜の弾性が
光学レンズと鏡筒の圧接面におけるパッキンの役割を果
たすことになり、結果としてこの当接面における気密性
を高めることができる。
【０００８】請求項２に記載の発明は、特に表被膜の素
材はニッケルを主成分としたことで、無電解メッキ工法
にて被膜することができ、貫通孔の表面に均一に表被膜
を形成することができ、結果として当接面における気密
性をより高めることができる。
材はニッケルを主成分としたことで、無電解メッキ工法
にて被膜することができ、貫通孔の表面に均一に表被膜
を形成することができ、結果として当接面における気密
性をより高めることができる。
【０００９】請求項３に記載の発明は、特に光学レンズ
の表面に反射防止膜を設け、この反射防止膜を形成する
際に、前記光学レンズの外周端部分およびこの周囲に位
置する貫通孔の露出部分にまで連続的に形成したこと
で、この反射防止膜が光学レンズと鏡筒との圧接面の端
部にも形成されるため、その分この当接面における気密
性を高めることができる。
の表面に反射防止膜を設け、この反射防止膜を形成する
際に、前記光学レンズの外周端部分およびこの周囲に位
置する貫通孔の露出部分にまで連続的に形成したこと
で、この反射防止膜が光学レンズと鏡筒との圧接面の端
部にも形成されるため、その分この当接面における気密
性を高めることができる。
【００１０】請求項４に記載の発明は、特に光学レンズ
が当接する貫通孔の内周面において、内方に向けて突出
した突出部を設けるとともに、この突出部の断面形状を
略台形形状とし、それぞれの斜辺の傾斜角を異ならせる
ことで、当接面における気密性をさらに高めることがで
きる。
が当接する貫通孔の内周面において、内方に向けて突出
した突出部を設けるとともに、この突出部の断面形状を
略台形形状とし、それぞれの斜辺の傾斜角を異ならせる
ことで、当接面における気密性をさらに高めることがで
きる。
【００１１】請求項５に記載の発明は、特に一方の傾斜
角を略６０度とし他方の傾斜角を略１５度としたことで
当接面における気密性を効果的に高めることができる。
角を略６０度とし他方の傾斜角を略１５度としたことで
当接面における気密性を効果的に高めることができる。
【００１２】請求項６に記載の発明は、特に鏡筒内に光
学レンズを圧接支持させるにあたり、鏡筒の内周面にメ
ッキ加工を施した後に光学レンズを圧接支持させること
で当接面における気密性をより高めることができる。
学レンズを圧接支持させるにあたり、鏡筒の内周面にメ
ッキ加工を施した後に光学レンズを圧接支持させること
で当接面における気密性をより高めることができる。
【００１３】請求項７に記載の発明は、特にメッキ加工
は無電解メッキ工法を用いたことで、貫通孔の表面に均
一に表被膜を形成することができる。
は無電解メッキ工法を用いたことで、貫通孔の表面に均
一に表被膜を形成することができる。
【００１４】請求項８に記載の発明は、特にメッキ加工
により形成された表被膜の表面にプラズマ照射加工を施
すことで、表被膜の表面処理によって光学レンズと鏡筒
の当接面における気密性を効果的に高めることができ
る。
により形成された表被膜の表面にプラズマ照射加工を施
すことで、表被膜の表面処理によって光学レンズと鏡筒
の当接面における気密性を効果的に高めることができ
る。
【００１５】請求項９に記載の発明は、特に光学素子を
成形する上型の径を鏡筒の貫通孔内に設けられた突出部
の内径と同等もしくはそれ以下に設定したことで、光学
レンズを成形する際に用いられるガラス硝材の余剰部分
が鏡筒の内周面部分に広がりやすくなり、結果として鏡
筒と光学レンズとの当接面積を増加させることができ、
結果として当接面における気密性を高めることができ
る。
成形する上型の径を鏡筒の貫通孔内に設けられた突出部
の内径と同等もしくはそれ以下に設定したことで、光学
レンズを成形する際に用いられるガラス硝材の余剰部分
が鏡筒の内周面部分に広がりやすくなり、結果として鏡
筒と光学レンズとの当接面積を増加させることができ、
結果として当接面における気密性を高めることができ
る。
【００１６】請求項１０に記載の発明は、特に下型の径
を前記貫通孔内に設けられた突出部の内径より同等もし
くはそれ以下に設定したことで、鏡筒と光学レンズとの
当接面における気密性を高めることができる。
を前記貫通孔内に設けられた突出部の内径より同等もし
くはそれ以下に設定したことで、鏡筒と光学レンズとの
当接面における気密性を高めることができる。
【００１７】請求項１１に記載の発明は、特に上型およ
び下型の少なくとも一方の成形面の外周端部分にテーパ
ーを設けたことで、鏡筒と光学レンズとの当接における
気密性を高めることができる。
び下型の少なくとも一方の成形面の外周端部分にテーパ
ーを設けたことで、鏡筒と光学レンズとの当接における
気密性を高めることができる。
【００１８】請求項１２に記載の発明は、特にレーザ装
置と光学素子とを備えた光学機器において、光学素子を
形成する鏡筒に設けられた貫通孔の表面に表被膜を設
け、この表被膜を介して光学レンズを圧接支持する構成
とし、この鏡筒の一端をレーザ装置に取り付けること
で、半導体チップを覆う部分の気密性が向上でき、結果
としてこの半導体チップの酸化を長期にわたり抑制する
ことができる。
置と光学素子とを備えた光学機器において、光学素子を
形成する鏡筒に設けられた貫通孔の表面に表被膜を設
け、この表被膜を介して光学レンズを圧接支持する構成
とし、この鏡筒の一端をレーザ装置に取り付けること
で、半導体チップを覆う部分の気密性が向上でき、結果
としてこの半導体チップの酸化を長期にわたり抑制する
ことができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図を用いて説明する。
いて図を用いて説明する。
【００２０】図１は光通信に用いられる半導体レーザを
用いた光学機器を示すものであり、１はレーザ装置であ
り、先端に半導体チップ２が配置されている。３は光学
素子であり、筒状の鏡筒４内に光学レンズ５が配置され
たもので、鏡筒４の一端がレーザ装置１に取り付けられ
ている。なお、光学レンズ５は半導体チップ２から発散
光として発せられるレーザ光を平行光或いは収束光とす
るためのものとして使用される。
用いた光学機器を示すものであり、１はレーザ装置であ
り、先端に半導体チップ２が配置されている。３は光学
素子であり、筒状の鏡筒４内に光学レンズ５が配置され
たもので、鏡筒４の一端がレーザ装置１に取り付けられ
ている。なお、光学レンズ５は半導体チップ２から発散
光として発せられるレーザ光を平行光或いは収束光とす
るためのものとして使用される。
【００２１】このような光学機器においては、半導体チ
ップ２の酸化を防止するために半導体チップ２の表面を
光学素子３で覆い、その内部空間に不活性ガスを充填す
る。このために光学素子３における鏡筒４の内周面と光
学レンズ５の外周側面の当接部分における気密性が非常
に重要となるのである。
ップ２の酸化を防止するために半導体チップ２の表面を
光学素子３で覆い、その内部空間に不活性ガスを充填す
る。このために光学素子３における鏡筒４の内周面と光
学レンズ５の外周側面の当接部分における気密性が非常
に重要となるのである。
【００２２】そして、この気密性を確保するためにこの
一実施の形態においては、光学レンズ５の外周側面が当
接する部分、すなわち鏡筒４に設けられた貫通孔の内周
面部分に表被膜６を設け、この表被膜６を介して鏡筒４
に対して光学レンズ５を圧接する構造としたのである。
一実施の形態においては、光学レンズ５の外周側面が当
接する部分、すなわち鏡筒４に設けられた貫通孔の内周
面部分に表被膜６を設け、この表被膜６を介して鏡筒４
に対して光学レンズ５を圧接する構造としたのである。
【００２３】これは、前述した半導体チップ２が酸化す
る原因となる鏡筒４と光学レンズ５との当接面において
表被膜６がパッキンの役目を果たし、この当接面におけ
る気密性を高めることができるのである。
る原因となる鏡筒４と光学レンズ５との当接面において
表被膜６がパッキンの役目を果たし、この当接面におけ
る気密性を高めることができるのである。
【００２４】すなわち、光学素子３の成形手法は図２に
示すように、光学レンズ５の下面側を形成する下型８の
成形面に光学レンズ５を形成するガラス硝材９を配置
し、上方から光学レンズ５の上面側を形成する上型７で
加熱プレス成形するというものであり、加熱プレスされ
たガラス硝材９は上型７、下型８および鏡筒４の内周面
で形成される成形空間内で広がり鏡筒４の内周面と当接
する。このときガラス硝材９に対して加えられる圧力は
非常に大きなものであるため、ガラス硝材９よりも遥か
に軟質な材料で形成された表被膜６が鏡筒４の内周面に
生じた研削傷の細部に至るまで侵入し、この部分におい
ていわゆる目地埋め作用が働き結果としてこの当接面に
おける気密性を高めることができるのである。
示すように、光学レンズ５の下面側を形成する下型８の
成形面に光学レンズ５を形成するガラス硝材９を配置
し、上方から光学レンズ５の上面側を形成する上型７で
加熱プレス成形するというものであり、加熱プレスされ
たガラス硝材９は上型７、下型８および鏡筒４の内周面
で形成される成形空間内で広がり鏡筒４の内周面と当接
する。このときガラス硝材９に対して加えられる圧力は
非常に大きなものであるため、ガラス硝材９よりも遥か
に軟質な材料で形成された表被膜６が鏡筒４の内周面に
生じた研削傷の細部に至るまで侵入し、この部分におい
ていわゆる目地埋め作用が働き結果としてこの当接面に
おける気密性を高めることができるのである。
【００２５】また、このような表被膜６を形成するにお
いては、筒状に形成された鏡筒４の内周面に対してメッ
キ処理を行うことで容易に表被膜６を形成することがで
き、さらにメッキ処理を無電解メッキ工法によって実施
することで、特に貫通孔内に突出部１０が設けられたよ
うなものにおいても均一に表被膜６を形成することがで
きるのである。なお、このような無電解メッキが可能で
且つガラスやステンレスよりも遥かに軟質な素材として
はニッケルを用いることが好ましい。
いては、筒状に形成された鏡筒４の内周面に対してメッ
キ処理を行うことで容易に表被膜６を形成することがで
き、さらにメッキ処理を無電解メッキ工法によって実施
することで、特に貫通孔内に突出部１０が設けられたよ
うなものにおいても均一に表被膜６を形成することがで
きるのである。なお、このような無電解メッキが可能で
且つガラスやステンレスよりも遥かに軟質な素材として
はニッケルを用いることが好ましい。
【００２６】さらに、このような光学素子３においては
通常光学レンズ５の表面に反射防止膜１１が設けられる
のであるが、図１に示すようにこの反射防止膜１１を形
成する際に、光学レンズ５の外周端部分およびこの周囲
に位置する貫通孔の露出部分にまで連続的に形成するこ
とで、この反射防止膜１１が光学レンズ５と鏡筒４との
圧接面の端部にも形成され、その分この当接面における
気密性を高めることができるのである。
通常光学レンズ５の表面に反射防止膜１１が設けられる
のであるが、図１に示すようにこの反射防止膜１１を形
成する際に、光学レンズ５の外周端部分およびこの周囲
に位置する貫通孔の露出部分にまで連続的に形成するこ
とで、この反射防止膜１１が光学レンズ５と鏡筒４との
圧接面の端部にも形成され、その分この当接面における
気密性を高めることができるのである。
【００２７】さらにまた、メッキ処理によって形成され
た表被膜６の表面に対して、電離によって生じた荷電粒
子を含む気体いわゆるプラズマを照射することで、表被
膜６の表面が活性化されるため圧接されたガラス硝材９
とのなじみが良くなり、結果としてこの当接面における
気密性を高めることができるのである。
た表被膜６の表面に対して、電離によって生じた荷電粒
子を含む気体いわゆるプラズマを照射することで、表被
膜６の表面が活性化されるため圧接されたガラス硝材９
とのなじみが良くなり、結果としてこの当接面における
気密性を高めることができるのである。
【００２８】次に、この光学素子３においては、光学レ
ンズ５が鏡筒４から脱落することを防止するために、鏡
筒４に設けられた貫通孔の内周面に内方に向けて突出し
た突出部１０が内周面に沿って環状に設けられており、
光学レンズ５はこの突出部１０を外周側面で覆うように
形成されるものであり、この突出部１０の形状によって
光学素子３の気密性に影響がでることが実験によって判
明した。
ンズ５が鏡筒４から脱落することを防止するために、鏡
筒４に設けられた貫通孔の内周面に内方に向けて突出し
た突出部１０が内周面に沿って環状に設けられており、
光学レンズ５はこの突出部１０を外周側面で覆うように
形成されるものであり、この突出部１０の形状によって
光学素子３の気密性に影響がでることが実験によって判
明した。
【００２９】この気密性実験とは、突出部１０の形状に
ついて上下対称となった台形形状（θ１＝θ２（略１
５度））、上下対称となった台形形状（θ１＝θ２
（略６０度））、上下の傾斜角を異ならせた台形形状
（θ１（略６０度）≠θ２（略１５度））、３種類の光
学素子３をそれぞれ１０個ずつ用意しその気密性の良否
を判定するものであり、この結果を（表１）に示す。
ついて上下対称となった台形形状（θ１＝θ２（略１
５度））、上下対称となった台形形状（θ１＝θ２
（略６０度））、上下の傾斜角を異ならせた台形形状
（θ１（略６０度）≠θ２（略１５度））、３種類の光
学素子３をそれぞれ１０個ずつ用意しその気密性の良否
を判定するものであり、この結果を（表１）に示す。
【００３０】
【表１】
【００３１】この（表１）から判るように、この突出部
１０の断面形状を略台形形状とするとともに、それぞれ
の斜辺の傾斜角θ１、θ２を異ならせることで当接面に
おける気密性を安定した状態で高めることができた。
１０の断面形状を略台形形状とするとともに、それぞれ
の斜辺の傾斜角θ１、θ２を異ならせることで当接面に
おける気密性を安定した状態で高めることができた。
【００３２】次にこのような光学素子３を形成する成形
金型についてみれば、前述したように主として光学レン
ズ５の下面側を形成する下型８と光学レンズ５の上面側
を形成する上型７から構成されるもので、図３に示すよ
うに上型７の径を貫通孔内に設けられた突出部１０の内
径と同等もしくはそれ以下となるように設定したこと
で、光学レンズ５を成形する際に用いられるガラス硝材
９の余剰部分が鏡筒４の内周面部分に広がりやすくな
り、結果として鏡筒４と光学レンズ５との当接面積を増
加させることができ、結果として当接面における気密性
を高めることができるのである。
金型についてみれば、前述したように主として光学レン
ズ５の下面側を形成する下型８と光学レンズ５の上面側
を形成する上型７から構成されるもので、図３に示すよ
うに上型７の径を貫通孔内に設けられた突出部１０の内
径と同等もしくはそれ以下となるように設定したこと
で、光学レンズ５を成形する際に用いられるガラス硝材
９の余剰部分が鏡筒４の内周面部分に広がりやすくな
り、結果として鏡筒４と光学レンズ５との当接面積を増
加させることができ、結果として当接面における気密性
を高めることができるのである。
【００３３】また、下型８についても同様に下型８の径
を貫通孔内に設けられた突出部１０の内径と同等もしく
はそれ以下に設定したことで、上型７と併せて実施する
ことで鏡筒４と光学レンズ５との当接面における気密性
をさらに高めることができるのである。
を貫通孔内に設けられた突出部１０の内径と同等もしく
はそれ以下に設定したことで、上型７と併せて実施する
ことで鏡筒４と光学レンズ５との当接面における気密性
をさらに高めることができるのである。
【００３４】さらに、上型７および下型８の少なくとも
一方の成形面の外周端部分にテーパを設けたことで、光
学レンズ５を成形する際に用いられるガラス硝材９の余
剰部分が鏡筒４の内周面部分に広がりやすくなり、結果
として鏡筒４と光学レンズ５との当接面積を増加させる
ことができ、結果として当接面における気密性を高める
ことができるのである。
一方の成形面の外周端部分にテーパを設けたことで、光
学レンズ５を成形する際に用いられるガラス硝材９の余
剰部分が鏡筒４の内周面部分に広がりやすくなり、結果
として鏡筒４と光学レンズ５との当接面積を増加させる
ことができ、結果として当接面における気密性を高める
ことができるのである。
【００３５】なお、ここまでの一実施の形態においては
主として光学素子３の気密性向上について説明したもの
であるが、このように光学素子３の気密性を高めること
で図１に示す半導体チップ２の酸化を抑制することがで
き、結果的に光学機器の長期にわたる使用を可能とでき
るのである。
主として光学素子３の気密性向上について説明したもの
であるが、このように光学素子３の気密性を高めること
で図１に示す半導体チップ２の酸化を抑制することがで
き、結果的に光学機器の長期にわたる使用を可能とでき
るのである。
【００３６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、特に鏡筒
に設けられた貫通孔の表面に表被膜を設け、この表被膜
を介して光学レンズを圧接支持したことで、この表被膜
の弾性が光学レンズと鏡筒の圧接面におけるパッキンの
役割を果たすことになり、結果としてこの当接面におけ
る気密性を高めることができるのである。
に設けられた貫通孔の表面に表被膜を設け、この表被膜
を介して光学レンズを圧接支持したことで、この表被膜
の弾性が光学レンズと鏡筒の圧接面におけるパッキンの
役割を果たすことになり、結果としてこの当接面におけ
る気密性を高めることができるのである。
【図１】本発明の一実施の形態における光学機器を示す
断面図
断面図
【図２】同光学機器に用いられる光学素子の製造方法を
示す断面図
示す断面図
【図３】同光学素子の製造に用いられる成形金型の部分
断面図
断面図
１ レーザ装置
２ 半導体チップ
３ 光学素子
４ 鏡筒
５ 光学レンズ
６ 表被膜
１０ 突出部
１１ 反射防止膜
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
// Ｂ２９Ｌ 11:00 Ｂ２９Ｌ 11:00
Ｆターム(参考） 2H044 AA03 AA20 AB28
4F202 AD32 AF14 AF15 AH74 AJ02
CA09 CB01 CD22
5F073 AB27 BA02 EA29 FA08 FA30
Claims (12)
- 【請求項１】 貫通孔を有する筒状の鏡筒と、前記貫通
孔内に圧接支持された光学レンズとを備え、前記貫通孔
の表面に表被膜を設け、この表被膜を介して前記光学レ
ンズを圧接支持した光学素子。 - 【請求項２】 表被膜の素材はニッケルを主成分とする
請求項１に記載の光学素子。 - 【請求項３】 光学レンズの表面に反射防止膜を設け、
この反射防止膜を形成する際に、前記光学レンズの外周
端部分およびこの周囲に位置する貫通孔の露出部分にま
で連続的に形成した請求項１に記載の光学素子。 - 【請求項４】 光学レンズが当接する貫通孔の内周面に
おいて、内方に向けて突出した突出部を設けるととも
に、この突出部の断面形状を略台形形状とし、それぞれ
の斜辺の傾斜角を異ならせた請求項１に記載の光学素
子。 - 【請求項５】 一方の傾斜角を略６０度とし他方の傾斜
角を略１５度とした請求項４に記載の光学素子。 - 【請求項６】 貫通孔を有する筒状の鏡筒内に光学レン
ズを圧接支持した光学素子の製造方法であって、前記鏡
筒内に前記光学レンズを圧接支持させるにあたり、前記
鏡筒の内周面にメッキ加工を施した後に前記光学レンズ
を圧接支持させる光学素子の製造方法。 - 【請求項７】 メッキ加工は無電解メッキ工法を用いた
請求項６に記載の光学素子の製造方法。 - 【請求項８】 メッキ加工により形成された表被膜の表
面にプラズマ照射加工を施す請求項６に記載の光学素子
の製造方法。 - 【請求項９】 貫通孔の内周面に突出部を有する筒状の
鏡筒内に光学レンズを圧接支持した光学素子の成形金型
であって、この成形金型は前記鏡筒の下側に挿入配置さ
れ前記光学レンズの下面側を成形する下型と、前記鏡筒
の上方から摺動可能に挿入されて前記光学レンズの上面
側を成形する上型とを備え、この上型の径を前記貫通孔
内に設けられた突出部の内径と同等もしくはそれ以下に
設定した成形金型。 - 【請求項１０】 下型の径を前記貫通孔内に設けられた
突出部の内径より同等もしくはそれ以下に設定した請求
項９に記載の成形金型。 - 【請求項１１】 上型および下型の少なくとも一方の成
形面の外周端部分にテーパーを設けた請求項９に記載の
成形金型。 - 【請求項１２】 先端に半導体チップを有するレーザ装
置と、前記半導体チップを密閉するよう前記レーザ装置
の光軸上に配置された光学素子とを備えた光学機器であ
って、前記光学素子は貫通孔を有する筒状の鏡筒と、前
記貫通孔内に圧接支持された光学レンズとからなり、前
記貫通孔の表面に表被膜を設け、この表被膜を介して前
記光学レンズを圧接支持するとともに、前記鏡筒の一端
部分を前記半導体チップを密閉するように前記レーザ装
置に取り付けた光学機器。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001204345A JP2003023201A (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 光学素子およびその製造方法とこれに用いる成形金型とこれを用いた光学機器 |
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|---|---|---|---|
| JP2001204345A JP2003023201A (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 光学素子およびその製造方法とこれに用いる成形金型とこれを用いた光学機器 |
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ID=19040834
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