JPH05175474A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
固体撮像装置及びその製造方法Info
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- JPH05175474A JPH05175474A JP3345445A JP34544591A JPH05175474A JP H05175474 A JPH05175474 A JP H05175474A JP 3345445 A JP3345445 A JP 3345445A JP 34544591 A JP34544591 A JP 34544591A JP H05175474 A JPH05175474 A JP H05175474A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 外囲器１内に撮像素子２が配設され、外囲器
１の開口部には透光性キャップ４が取付けられる。この
取付けは紫外線硬化型接着剤により行われ、外囲器１と
キャップ４との接合面にはその紫外線硬化型接着剤の接
合部５が形成される構造となる。製法的には、まず外囲
器１のキャップ４接合面に紫外線硬化型接着剤を塗布
し、次いでその接合面に透光性キャップ４を載置した状
態で接着剤に紫外線を照射する。これにより接着剤を硬
化させ外囲器１と透光性キャップ４とを一体化させる。 【効果】 紫外線硬化型接着剤はその硬化時間が１分程
度で済み、キャップ４の取付けを短時間処理で行える。
また、接着剤の硬化にあたり熱処理を要せず、被処理撮
像装置を冷やす工程が不要な点からも、透光性キャップ
４の取付け時間を短縮でき、しかも冷却用スペースが不
要である。よって、生産ラインで処理の停滞を発生させ
ず、生産性向上及び生産ラインの小スペース化を図れ
る。
１の開口部には透光性キャップ４が取付けられる。この
取付けは紫外線硬化型接着剤により行われ、外囲器１と
キャップ４との接合面にはその紫外線硬化型接着剤の接
合部５が形成される構造となる。製法的には、まず外囲
器１のキャップ４接合面に紫外線硬化型接着剤を塗布
し、次いでその接合面に透光性キャップ４を載置した状
態で接着剤に紫外線を照射する。これにより接着剤を硬
化させ外囲器１と透光性キャップ４とを一体化させる。 【効果】 紫外線硬化型接着剤はその硬化時間が１分程
度で済み、キャップ４の取付けを短時間処理で行える。
また、接着剤の硬化にあたり熱処理を要せず、被処理撮
像装置を冷やす工程が不要な点からも、透光性キャップ
４の取付け時間を短縮でき、しかも冷却用スペースが不
要である。よって、生産ラインで処理の停滞を発生させ
ず、生産性向上及び生産ラインの小スペース化を図れ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固体撮像装置に関し、特
にその外囲器に対する透光性キャップの取付け技術に係
わる。
にその外囲器に対する透光性キャップの取付け技術に係
わる。
【０００２】
【従来の技術】従来、固体撮像装置にあっては、固体撮
像素子はその保護のために外囲器内に配置され、この外
囲器における固体撮像素子への被撮像外来光の入射開口
部には透光性キャップが取付けられる構造となってい
る。
像素子はその保護のために外囲器内に配置され、この外
囲器における固体撮像素子への被撮像外来光の入射開口
部には透光性キャップが取付けられる構造となってい
る。
【０００３】当初、この透光性キャップの外囲器への取
付けは、中央が開口した金属板フレームの開口部に透光
板を取付けたものを透光性キャップとして用意し、この
透光性キャップの金属フレーム部に設けられる接合面と
外囲器における接合面との間にフリットガラス等の低融
点ガラスを挟み、これを約３５０°Ｃほどに加熱して、
透光性キャップを外囲器に固定するようにして行ってい
た。あるいは、金属フレーム及び外囲器の各接合面にメ
タライズ部を形成しておき、このメタライズ部を溶接す
るシームウェルド処理を施して透光性キャップを外囲器
に固定することも行われていた。しかし、前者の方法は
外囲器内に配されている固体撮像素子を約３５０°Ｃと
いう高温の下に晒すこととなるため、近年におけるカラ
ーフィルタ付撮像素子の場合、温度だけ言えば絶えられ
るのはせいぜい１５０°Ｃ程度であり、採用することが
できない。そこで後者の方法を使用することが考えられ
るが、この方法でも、接合のための前処理に多くのプロ
セスを要することとなるため、量産には向かず、ダスト
の度合いが高くなるため、やはり採用しにくい。また、
前者の方法、後者の方法は共に透光性キャップに金属フ
レームを持たせる複雑な構造ないしは形状が要求され、
透光性キャップ自体が高価なものとなる。
付けは、中央が開口した金属板フレームの開口部に透光
板を取付けたものを透光性キャップとして用意し、この
透光性キャップの金属フレーム部に設けられる接合面と
外囲器における接合面との間にフリットガラス等の低融
点ガラスを挟み、これを約３５０°Ｃほどに加熱して、
透光性キャップを外囲器に固定するようにして行ってい
た。あるいは、金属フレーム及び外囲器の各接合面にメ
タライズ部を形成しておき、このメタライズ部を溶接す
るシームウェルド処理を施して透光性キャップを外囲器
に固定することも行われていた。しかし、前者の方法は
外囲器内に配されている固体撮像素子を約３５０°Ｃと
いう高温の下に晒すこととなるため、近年におけるカラ
ーフィルタ付撮像素子の場合、温度だけ言えば絶えられ
るのはせいぜい１５０°Ｃ程度であり、採用することが
できない。そこで後者の方法を使用することが考えられ
るが、この方法でも、接合のための前処理に多くのプロ
セスを要することとなるため、量産には向かず、ダスト
の度合いが高くなるため、やはり採用しにくい。また、
前者の方法、後者の方法は共に透光性キャップに金属フ
レームを持たせる複雑な構造ないしは形状が要求され、
透光性キャップ自体が高価なものとなる。
【０００４】そこで、今まで説明して来たような問題を
生ずることのない、以下に説明する熱硬化型接着剤を使
用した手法が開発された。すなわち、まず、外囲器ある
いは透光性キャップの接合箇所にその熱硬化型接着剤を
塗布し、その状態でオーブン槽等において１５０°Ｃの
恒温下に１．５〜２時間程度置くことにより熱硬化型接
着剤を固形化し、外囲器に対して透光性キャップを固定
するものである。
生ずることのない、以下に説明する熱硬化型接着剤を使
用した手法が開発された。すなわち、まず、外囲器ある
いは透光性キャップの接合箇所にその熱硬化型接着剤を
塗布し、その状態でオーブン槽等において１５０°Ｃの
恒温下に１．５〜２時間程度置くことにより熱硬化型接
着剤を固形化し、外囲器に対して透光性キャップを固定
するものである。
【０００５】この方法によれば、熱処理が伴うものの、
カラーフィルタ付撮像素子の耐性でも、一応は耐えられ
る程度のものであり、しかも透光性キャップや外囲器に
接合のための前処理を特に必要としないことから、ダス
ト増大の問題もなく、近年ではこの手法が最もポピュラ
ーなものとされている。
カラーフィルタ付撮像素子の耐性でも、一応は耐えられ
る程度のものであり、しかも透光性キャップや外囲器に
接合のための前処理を特に必要としないことから、ダス
ト増大の問題もなく、近年ではこの手法が最もポピュラ
ーなものとされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、熱硬化
型接着剤の硬化時間に上記の如く多大の時間（通常１．
５〜２時間）を要するため、生産性が悪かった。硬化時
間が長くかかることから、複数個（一般に５０個）の個
体をまとめて処理するバッチ処理を採用してはいるもの
の、生産ラインという一連の流れ作業に鑑みれば、バッ
チ処理の間は処理が停滞することとなるため、結局のと
ころ生産性は余り良くならない。
型接着剤の硬化時間に上記の如く多大の時間（通常１．
５〜２時間）を要するため、生産性が悪かった。硬化時
間が長くかかることから、複数個（一般に５０個）の個
体をまとめて処理するバッチ処理を採用してはいるもの
の、生産ラインという一連の流れ作業に鑑みれば、バッ
チ処理の間は処理が停滞することとなるため、結局のと
ころ生産性は余り良くならない。
【０００７】また、この被処理固体撮像装置の恒温槽か
らの取出し後における冷却のための作業スペースを多く
要するという問題もある。
らの取出し後における冷却のための作業スペースを多く
要するという問題もある。
【０００８】更に、カラーフィルタでも耐えられる程度
の熱処理ではあるが、限界に近く、やはりカラーフィル
タ付撮像装置には不向きと言わざるを得ない。
の熱処理ではあるが、限界に近く、やはりカラーフィル
タ付撮像装置には不向きと言わざるを得ない。
【０００９】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、外囲器
への透光性キャップの取付けを短時間で且つ熱処理を伴
うことなく行うことができる固体撮像装置及びその製造
方法を提供することにある。
みてなされたもので、その目的とするところは、外囲器
への透光性キャップの取付けを短時間で且つ熱処理を伴
うことなく行うことができる固体撮像装置及びその製造
方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明の
固体撮像装置は、外囲器と、この外囲器内に配設された
固体撮像素子と、上記外囲器に取付けられ且つその外部
からの被撮像光を固体撮像素子に入射させる透光性キャ
ップと、この透光性キャップを外囲器に固定させる紫外
線硬化型接着剤により形成された接合部とを備えてい
る。
固体撮像装置は、外囲器と、この外囲器内に配設された
固体撮像素子と、上記外囲器に取付けられ且つその外部
からの被撮像光を固体撮像素子に入射させる透光性キャ
ップと、この透光性キャップを外囲器に固定させる紫外
線硬化型接着剤により形成された接合部とを備えてい
る。
【００１１】請求項２記載の本発明の固体撮像装置は、
紫外線硬化型接着剤はエポキシ系樹脂を主成分とする接
着剤であることを特徴とする。
紫外線硬化型接着剤はエポキシ系樹脂を主成分とする接
着剤であることを特徴とする。
【００１２】請求項３記載の本発明の固体撮像装置は、
透光性キャップの表裏面のうち少なくとも一方に設けら
れ且つ光の反射を防止する無反射部を備えていることを
特徴とする。
透光性キャップの表裏面のうち少なくとも一方に設けら
れ且つ光の反射を防止する無反射部を備えていることを
特徴とする。
【００１３】請求項４記載の本発明の固体撮像装置は、
無反射部の非設面を接合部における透光性キャップ側接
合面として備えていることを特徴とする。
無反射部の非設面を接合部における透光性キャップ側接
合面として備えていることを特徴とする。
【００１４】請求項５記載の本発明の固体撮像装置は、
透光性キャップの表裏面のうち少なくとも一方に設けら
れ且つ固体撮像素子の少なくとも一部を入射光線に対し
て隠敝する遮光部を備えていることを特徴とする。
透光性キャップの表裏面のうち少なくとも一方に設けら
れ且つ固体撮像素子の少なくとも一部を入射光線に対し
て隠敝する遮光部を備えていることを特徴とする。
【００１５】請求項６記載の本発明の固体撮像装置は、
上記遮光部の非設面を接合部における透光性キャップ側
接合面として備えていることを特徴とする。
上記遮光部の非設面を接合部における透光性キャップ側
接合面として備えていることを特徴とする。
【００１６】請求項７記載の本発明の固体撮像装置は、
紫外線硬化型接着剤に硝子ビーズが内在されていること
を特徴とする。
紫外線硬化型接着剤に硝子ビーズが内在されていること
を特徴とする。
【００１７】請求項８記載の本発明の固体撮像装置は、
外囲器のキャップ接合面に紫外線硬化型接着剤を塗布す
る工程と、キャップ接合面に透光性キャップを載置した
状態で上記紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射すること
により紫外線硬化型接着剤を硬化させて外囲器と透光性
キャップとを一体化させる工程とを含んでいることを特
徴とする。
外囲器のキャップ接合面に紫外線硬化型接着剤を塗布す
る工程と、キャップ接合面に透光性キャップを載置した
状態で上記紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射すること
により紫外線硬化型接着剤を硬化させて外囲器と透光性
キャップとを一体化させる工程とを含んでいることを特
徴とする。
【００１８】請求項９記載の本発明の固体撮像装置は、
紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射するにあたり外囲器
内に配置された固体撮像素子の少なくとも一部に対する
紫外線遮光部を配することを特徴としている。
紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射するにあたり外囲器
内に配置された固体撮像素子の少なくとも一部に対する
紫外線遮光部を配することを特徴としている。
【００１９】
【作用】本発明によれば、透光性キャップを外囲器に固
定させるための接着剤として紫外線硬化型接着剤を使用
する構造となっており、この紫外線硬化型接着剤はその
硬化時間が１分程度で済むものであるから、透光性キャ
ップの取付けを短時間処理で行うことができる。
定させるための接着剤として紫外線硬化型接着剤を使用
する構造となっており、この紫外線硬化型接着剤はその
硬化時間が１分程度で済むものであるから、透光性キャ
ップの取付けを短時間処理で行うことができる。
【００２０】また、紫外線硬化型接着剤の硬化にあたっ
ては熱処理を要せず、よって、硬化処理後、被処理撮像
装置を冷やす工程を必要としないため、この点からも透
光性キャップの取付け時間を短縮することができるとと
もに、冷却用のスペースを必要としないこととなる。
ては熱処理を要せず、よって、硬化処理後、被処理撮像
装置を冷やす工程を必要としないため、この点からも透
光性キャップの取付け時間を短縮することができるとと
もに、冷却用のスペースを必要としないこととなる。
【００２１】したがって、生産ラインにおける処理の停
滞を発生させることがなく、生産性の向上を図ることが
できるとともに、生産ラインの小スペース化を図ること
ができる。
滞を発生させることがなく、生産性の向上を図ることが
できるとともに、生産ラインの小スペース化を図ること
ができる。
【００２２】熱処理を伴わないことから更にカラーフィ
ルタ付撮像装置の耐熱特性を考慮することなく透光性キ
ャップの取付けを行うことができる。
ルタ付撮像装置の耐熱特性を考慮することなく透光性キ
ャップの取付けを行うことができる。
【００２３】特に、請求項４記載の本発明の固体撮像装
置によれば、透光性キャップに光の反射を防止する無反
射部を有し、この無反射部の非設面を接合部における透
光性キャップ側接合面として備えていることから、無反
射部として紫外線を通しにくいものを使用したとしても
接着剤硬化処理を良好に行うことができる。
置によれば、透光性キャップに光の反射を防止する無反
射部を有し、この無反射部の非設面を接合部における透
光性キャップ側接合面として備えていることから、無反
射部として紫外線を通しにくいものを使用したとしても
接着剤硬化処理を良好に行うことができる。
【００２４】また、特に、請求項６記載の本発明の固体
撮像装置によれば、透光性キャップに、固体撮像素子の
少なくとも一部を入射光線に対して隠敝する遮光部を備
え、この遮光部の非設面を接合部における透光性キャッ
プ側接合面として備えていることから、撮像素子のフレ
ア防止を図ることができると同時に外囲器への透光性キ
ャップの接着を良好に行うことができる。
撮像装置によれば、透光性キャップに、固体撮像素子の
少なくとも一部を入射光線に対して隠敝する遮光部を備
え、この遮光部の非設面を接合部における透光性キャッ
プ側接合面として備えていることから、撮像素子のフレ
ア防止を図ることができると同時に外囲器への透光性キ
ャップの接着を良好に行うことができる。
【００２５】さらに、請求項７記載の本発明の固体撮像
装置によれば、接着剤に硝子ビーズが内在されることか
ら、接着剤の使用量を少なめにして良好な接着状態を得
ることができ、透光性キャップの湾曲緩和や外囲器内部
の気密性向上を図ることができる。
装置によれば、接着剤に硝子ビーズが内在されることか
ら、接着剤の使用量を少なめにして良好な接着状態を得
ることができ、透光性キャップの湾曲緩和や外囲器内部
の気密性向上を図ることができる。
【００２６】請求項９記載の本発明の固体撮像装置の製
造法によれば、透光性キャップの方に紫外線遮光部を有
していなくとも撮像素子を紫外線から確実に保護するこ
とができる。
造法によれば、透光性キャップの方に紫外線遮光部を有
していなくとも撮像素子を紫外線から確実に保護するこ
とができる。
【００２７】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。
つつ説明する。
【００２８】図１は本発明の第１実施例、特に同図
（ａ）は固体撮像装置、（ｂ）はその製造に使用する紫
外線照射装置の構造を示すものである。
（ａ）は固体撮像装置、（ｂ）はその製造に使用する紫
外線照射装置の構造を示すものである。
【００２９】まず、図１（ａ）において、１は外囲器で
あり、この外囲器１は、その下端に底部１Ａを有し、上
端には被撮像外来光導入用の開口部１Ｂが形成されてお
り、内周は、開口部から底部にむけて段状に縮小し、２
つの段部１Ｃ，１Ｄが形成されている。
あり、この外囲器１は、その下端に底部１Ａを有し、上
端には被撮像外来光導入用の開口部１Ｂが形成されてお
り、内周は、開口部から底部にむけて段状に縮小し、２
つの段部１Ｃ，１Ｄが形成されている。
【００３０】外囲器１内において底部１Ａ上には固体撮
像素子２がエポキシ系のマウント剤により載置固定され
ている。１Ｅは外部リードであり、この外部リード１Ｅ
に接続された外囲器１の内部配線電極は段部１Ｄ上に存
在し、その段部１Ｄ上の電極と固体撮像素子２の電極と
の間にＡｕ、Ａｌ等よりなる細線３が接続され、固体撮
像素子２と外部リード１Ｅとが電気的に接続されてい
る。
像素子２がエポキシ系のマウント剤により載置固定され
ている。１Ｅは外部リードであり、この外部リード１Ｅ
に接続された外囲器１の内部配線電極は段部１Ｄ上に存
在し、その段部１Ｄ上の電極と固体撮像素子２の電極と
の間にＡｕ、Ａｌ等よりなる細線３が接続され、固体撮
像素子２と外部リード１Ｅとが電気的に接続されてい
る。
【００３１】開口部１Ｂには外囲器１と熱膨張係数がほ
ぼ等しい光学ガラスからなる透光性キャップ４が嵌入さ
れ、段部１Ｃ上に接着剤で接合されることにより載置固
定されている。５はその接合部である。この接合部５は
エポキシ系樹脂を主成分とする紫外線硬化型接着剤（例
えば、長瀬チバ株式会社製ＸＮＲ５４９３等）を硬化さ
せたものである。
ぼ等しい光学ガラスからなる透光性キャップ４が嵌入さ
れ、段部１Ｃ上に接着剤で接合されることにより載置固
定されている。５はその接合部である。この接合部５は
エポキシ系樹脂を主成分とする紫外線硬化型接着剤（例
えば、長瀬チバ株式会社製ＸＮＲ５４９３等）を硬化さ
せたものである。
【００３２】このように、透光性キャップ４を外囲器１
に固定させるための接着剤として紫外線硬化型接着剤を
使用する構造となっており、この紫外線硬化型接着剤は
その硬化時間が１分程度で済むもので、透光性キャップ
４の取付けを短時間処理で行うことができる。
に固定させるための接着剤として紫外線硬化型接着剤を
使用する構造となっており、この紫外線硬化型接着剤は
その硬化時間が１分程度で済むもので、透光性キャップ
４の取付けを短時間処理で行うことができる。
【００３３】また、紫外線硬化型接着剤の硬化にあたっ
ては熱処理を要せず、よって、硬化処理後、被処理撮像
装置を冷やす工程を必要としないため、この点からも透
光性キャップ４の取付け時間を短縮することができると
ともに、熱硬化性接着剤を使用したときのような冷却用
のスペースを必要としないこととなる。
ては熱処理を要せず、よって、硬化処理後、被処理撮像
装置を冷やす工程を必要としないため、この点からも透
光性キャップ４の取付け時間を短縮することができると
ともに、熱硬化性接着剤を使用したときのような冷却用
のスペースを必要としないこととなる。
【００３４】したがって、生産ラインにおける処理の停
滞を発生させることがなく、生産性の向上を図ることが
できるとともに、生産ラインの小スペース化を図ること
ができる。
滞を発生させることがなく、生産性の向上を図ることが
できるとともに、生産ラインの小スペース化を図ること
ができる。
【００３５】そして、熱処理を伴わないことから更に有
機物カラーフィルタ付撮像装置の耐熱特性を考慮するこ
となく透光性キャップ４の取付けを行うことができる。
機物カラーフィルタ付撮像装置の耐熱特性を考慮するこ
となく透光性キャップ４の取付けを行うことができる。
【００３６】次に、図１（ｂ）において、本発明の撮像
装置製造にあたり使用する紫外線照射装置は、ダクト６
と高圧水銀ランプ７と光線反射部材８とシャッタ部材９
とダイクロイックフィルタ１０と紫外線透過板１１と遮
光支持部材１２とを備えている。
装置製造にあたり使用する紫外線照射装置は、ダクト６
と高圧水銀ランプ７と光線反射部材８とシャッタ部材９
とダイクロイックフィルタ１０と紫外線透過板１１と遮
光支持部材１２とを備えている。
【００３７】ダクト６は概略方形型筒状の外側構成部材
１３と同じく方形型筒状の内側構成部材１４とから大略
構成され、この内側構成部材１４は外側構成部材１３内
に同一軸心上に遊挿され、両者１３，１４間及び内側構
成部材１４内にエアダクトが形成されている。外側構成
部材１３は胴体部１３１とエア導入管部１３２と投光開
口部１３３とを備え、エア導入管部１３２は胴体部１３
１の一端に接続され、投光開口部１３３は胴体部１３１
の他端に形成されている。ダイクロイックフィルタ１０
は、この投光開口部１３３を閉塞する状態で胴体部１３
１の内側に取付けられている。その取付けは接着剤ある
いはビス止め等で行う。内側構成部材１４は胴体部１４
１とエア排出管部１４２と投光開口部１４３とを有し、
エア排出管部１４２はエア導入管部１３２と同じ側の胴
体部１４１の一端に接続され、投光開口部１４３は、胴
体部１４１の他端であって片方の投光開口部１３３と同
一軸線上に間隔を置いて対峙するように形成されてい
る。これにより、エア導入管部１３２からのエアａは外
側胴体部１３１と内側胴体部１４１との間に形成されて
いる通路を通り、その後、内側胴体部１４１内へ回り込
んで、この内側胴体部１４１内を通り、最終的にエア排
出管１４２から外部へ排出されるようになっている。
１３と同じく方形型筒状の内側構成部材１４とから大略
構成され、この内側構成部材１４は外側構成部材１３内
に同一軸心上に遊挿され、両者１３，１４間及び内側構
成部材１４内にエアダクトが形成されている。外側構成
部材１３は胴体部１３１とエア導入管部１３２と投光開
口部１３３とを備え、エア導入管部１３２は胴体部１３
１の一端に接続され、投光開口部１３３は胴体部１３１
の他端に形成されている。ダイクロイックフィルタ１０
は、この投光開口部１３３を閉塞する状態で胴体部１３
１の内側に取付けられている。その取付けは接着剤ある
いはビス止め等で行う。内側構成部材１４は胴体部１４
１とエア排出管部１４２と投光開口部１４３とを有し、
エア排出管部１４２はエア導入管部１３２と同じ側の胴
体部１４１の一端に接続され、投光開口部１４３は、胴
体部１４１の他端であって片方の投光開口部１３３と同
一軸線上に間隔を置いて対峙するように形成されてい
る。これにより、エア導入管部１３２からのエアａは外
側胴体部１３１と内側胴体部１４１との間に形成されて
いる通路を通り、その後、内側胴体部１４１内へ回り込
んで、この内側胴体部１４１内を通り、最終的にエア排
出管１４２から外部へ排出されるようになっている。
【００３８】水銀ランプ７は、このエアａの通り路の一
つである内側胴体部１４１内のほぼ中心部に配設されて
おり、このエアａによってその過熱が防止されるように
なっている。
つである内側胴体部１４１内のほぼ中心部に配設されて
おり、このエアａによってその過熱が防止されるように
なっている。
【００３９】光線反射部材８は、断面が放物線を描くよ
うな形状を有し、その凹面側をランプ７側とし、かつ、
このランプ７を境にして投光開口部１３３，１４３の在
る側とは反対側からこのランプ７に被冠されるように隔
置され、ランプ７により反射部材８側へ放射する光を投
光開口部１３３，１４３側へ反射させる役割を果たすも
のである。
うな形状を有し、その凹面側をランプ７側とし、かつ、
このランプ７を境にして投光開口部１３３，１４３の在
る側とは反対側からこのランプ７に被冠されるように隔
置され、ランプ７により反射部材８側へ放射する光を投
光開口部１３３，１４３側へ反射させる役割を果たすも
のである。
【００４０】シャッタ９はランプ７から投光開口部１３
３への光路を開閉可能に設けられ、遮光・投光を制御す
るものとされている。
３への光路を開閉可能に設けられ、遮光・投光を制御す
るものとされている。
【００４１】ダイクロイックフィルタ１０はランプ７か
らの光線から紫外線域の光線のみ通過させる機能を有
し、これによりランプ７からの光から紫外線ｕのみ取出
され、赤外線等による熱をカットするようになってい
る。
らの光線から紫外線域の光線のみ通過させる機能を有
し、これによりランプ７からの光から紫外線ｕのみ取出
され、赤外線等による熱をカットするようになってい
る。
【００４２】紫外線透過板１１は石英板等の紫外線を良
好に透過させる材質のものであり、遮光支持部材１２
は、紫外線を通さず且つ透光性キャップ４上に載せたと
きにこれを傷付けないソフトな弾性物質（例えばシリコ
ン・ラバ等の材料）により短尺棒状に形成されており、
その一端が紫外線透過板１１の中央部にシリコン系接着
剤等により取付けられ、他端は紫外線硬化型接着剤の硬
化処理中に透光性キャップ４上への載置面とされる。
好に透過させる材質のものであり、遮光支持部材１２
は、紫外線を通さず且つ透光性キャップ４上に載せたと
きにこれを傷付けないソフトな弾性物質（例えばシリコ
ン・ラバ等の材料）により短尺棒状に形成されており、
その一端が紫外線透過板１１の中央部にシリコン系接着
剤等により取付けられ、他端は紫外線硬化型接着剤の硬
化処理中に透光性キャップ４上への載置面とされる。
【００４３】以下に、このような構成を有する紫外線照
射装置を使用した本発明に係わる固体撮像装置の製造方
法における外囲器１への透光性キャップ４の取付けプロ
セスについて説明する。
射装置を使用した本発明に係わる固体撮像装置の製造方
法における外囲器１への透光性キャップ４の取付けプロ
セスについて説明する。
【００４４】まず、紫外線硬化型接着剤を、外囲器１の
段部１Ｃ及び透光性キャップ４のうち少なくとも一方
に、印刷して塗布するか、あるいは接着剤を針状のノズ
ルより射出させるディスペンス法により塗布する。
段部１Ｃ及び透光性キャップ４のうち少なくとも一方
に、印刷して塗布するか、あるいは接着剤を針状のノズ
ルより射出させるディスペンス法により塗布する。
【００４５】次いで、透光性キャップ４を外囲器１の段
部１Ｃ上に載置する。この載置作業は、透光性キャップ
４をピンセットにより摘んで段部１Ｃ上に載せる人手に
よる方法、真空チャック等を用いた自動機による方法の
他、周知の各種手段を採用することができる。
部１Ｃ上に載置する。この載置作業は、透光性キャップ
４をピンセットにより摘んで段部１Ｃ上に載せる人手に
よる方法、真空チャック等を用いた自動機による方法の
他、周知の各種手段を採用することができる。
【００４６】その後、図１（ｂ）に示すように、上記紫
外線照射装置の投光開口部１３３，１４３と透光性キャ
ップ４とを対向させるようにして被処理撮像装置を紫外
線照射装置に対しセットする。また、紫外線透過板１１
と遮光支持部材１２とのアッセンブリを透光性キャップ
４上に載せ、この状態で紫外線透過板１１側は位置決め
し、撮像装置の外部リード１Ｅ側から矢印ｐで示すよう
に圧力をかけ、接着剤の拡張を促進させ、いわゆるぬれ
性を向上させるようにする。その圧力が約１〜５［ｋｇ
／ｃｍ2 ］で良好なぬれ性が得られる。
外線照射装置の投光開口部１３３，１４３と透光性キャ
ップ４とを対向させるようにして被処理撮像装置を紫外
線照射装置に対しセットする。また、紫外線透過板１１
と遮光支持部材１２とのアッセンブリを透光性キャップ
４上に載せ、この状態で紫外線透過板１１側は位置決め
し、撮像装置の外部リード１Ｅ側から矢印ｐで示すよう
に圧力をかけ、接着剤の拡張を促進させ、いわゆるぬれ
性を向上させるようにする。その圧力が約１〜５［ｋｇ
／ｃｍ2 ］で良好なぬれ性が得られる。
【００４７】その状態で、シャッタ９を開き、ランプ７
からの紫外線ｕを被処理撮像装置に対して照射する。な
お、ランプ７は予めウォーミングアップしておき、安定
した光線が得られるようにしておき、シャッタ９の開け
閉めにより投光およびその遮断を制御する。よって、シ
ャッタ９を開けば、ランプ７から直接照射される光と反
射部８からの反射光との合成光がダイクロイックフィル
タ１０を通し、紫外線ｕとして接着剤に照射されること
となる。その照射時間は例えば約１分位とし、その時間
経過後、シャッタ９を閉める。これで、紫外線硬化型接
着剤を十分固めることができる。
からの紫外線ｕを被処理撮像装置に対して照射する。な
お、ランプ７は予めウォーミングアップしておき、安定
した光線が得られるようにしておき、シャッタ９の開け
閉めにより投光およびその遮断を制御する。よって、シ
ャッタ９を開けば、ランプ７から直接照射される光と反
射部８からの反射光との合成光がダイクロイックフィル
タ１０を通し、紫外線ｕとして接着剤に照射されること
となる。その照射時間は例えば約１分位とし、その時間
経過後、シャッタ９を閉める。これで、紫外線硬化型接
着剤を十分固めることができる。
【００４８】このとき、インラインでの適応性を考え、
適当な個数をまとめて処理することができる。例えば、
そのまとめる数を１２個とすると、１個あたり５秒の処
理時間となる。この５秒という時間が生産ライン上で処
理の停滞を招かない都合のよい数字であれば、１２個を
まとめて処理すれば良い、という意味である。
適当な個数をまとめて処理することができる。例えば、
そのまとめる数を１２個とすると、１個あたり５秒の処
理時間となる。この５秒という時間が生産ライン上で処
理の停滞を招かない都合のよい数字であれば、１２個を
まとめて処理すれば良い、という意味である。
【００４９】また、紫外線硬化型接着剤に紫外線ｕを照
射するにあたり外囲器１内に配置された固体撮像素子２
に対する遮光支持部材１２を配するため、透光性キャッ
プ４の方に紫外線遮光部を有していなくとも撮像素子２
を紫外線ｕから確実に保護することができる。これによ
り、紫外線による害として確認されている撮像素子２上
の白きず、暗電圧増加等の電気的特性の変動を招くこと
がない。
射するにあたり外囲器１内に配置された固体撮像素子２
に対する遮光支持部材１２を配するため、透光性キャッ
プ４の方に紫外線遮光部を有していなくとも撮像素子２
を紫外線ｕから確実に保護することができる。これによ
り、紫外線による害として確認されている撮像素子２上
の白きず、暗電圧増加等の電気的特性の変動を招くこと
がない。
【００５０】図２は本発明の第２実施例に係る固体撮像
装置の構造を示すものである。
装置の構造を示すものである。
【００５１】この図に示すものは、透光性キャップ４の
表面に反射防止膜１５、同裏面に反射防止膜１６が被着
されている。これら反射防止膜１５，１６は被撮像光を
透光性キャップ４の表裏面における反射による減衰を極
力なくすようにするためのもので、透光性キャップ４の
周縁部における接合部５が存在する領域を外した中央の
領域にのみ設けられている。これにより、接合部５を形
成する紫外線硬化型接着剤に紫外線ｕをパワー効率よく
照射することができる。すなわち、反射防止膜１５，１
６はその膜構成にもよるが、上述した目的達成のため、
可視光領域（波長：４００〜６００ｎｍ）で透過率を高
くしているものは、逆に紫外線領域（２００〜４００ｎ
ｍ）においてその透過率が１０％以下に低下する。よっ
て、反射防止膜１５，１６を透光性キャップ４における
接着剤硬化用紫外線の照射域まで設けると、反射防止膜
１５，１６により紫外線が減衰を受け、効率が悪い。そ
こで、本実施例では、透光性キャップ４における紫外線
照射域を外すようにして反射防止膜１５，１６が設けら
れ、紫外線ｕをパワー効率よく照射することができるこ
ととなるのである。
表面に反射防止膜１５、同裏面に反射防止膜１６が被着
されている。これら反射防止膜１５，１６は被撮像光を
透光性キャップ４の表裏面における反射による減衰を極
力なくすようにするためのもので、透光性キャップ４の
周縁部における接合部５が存在する領域を外した中央の
領域にのみ設けられている。これにより、接合部５を形
成する紫外線硬化型接着剤に紫外線ｕをパワー効率よく
照射することができる。すなわち、反射防止膜１５，１
６はその膜構成にもよるが、上述した目的達成のため、
可視光領域（波長：４００〜６００ｎｍ）で透過率を高
くしているものは、逆に紫外線領域（２００〜４００ｎ
ｍ）においてその透過率が１０％以下に低下する。よっ
て、反射防止膜１５，１６を透光性キャップ４における
接着剤硬化用紫外線の照射域まで設けると、反射防止膜
１５，１６により紫外線が減衰を受け、効率が悪い。そ
こで、本実施例では、透光性キャップ４における紫外線
照射域を外すようにして反射防止膜１５，１６が設けら
れ、紫外線ｕをパワー効率よく照射することができるこ
ととなるのである。
【００５２】なお、反射防止膜については本発明の発明
者により既に特許出願（特願平１−９８８０１号）がな
されるとともに、既に出願公開（特開平２−２７８８７
１号）もなされている。
者により既に特許出願（特願平１−９８８０１号）がな
されるとともに、既に出願公開（特開平２−２７８８７
１号）もなされている。
【００５３】製法的には、本実施例の場合、透光性キャ
ップ４にその取付け前において予め反射防止膜１５，１
６を設けておくことを除き、上記第１実施例と同様であ
る。
ップ４にその取付け前において予め反射防止膜１５，１
６を設けておくことを除き、上記第１実施例と同様であ
る。
【００５４】図３は本発明の第３実施例に係る固体撮像
装置の構造を示すもので、特に同図（ａ）は全体の縦断
面、（ｂ）は透光性キャップ４の裏面平面図を示してい
る。
装置の構造を示すもので、特に同図（ａ）は全体の縦断
面、（ｂ）は透光性キャップ４の裏面平面図を示してい
る。
【００５５】この図に示すものは、透光性キャップ４の
裏面に遮光膜１７が設けられている。この遮光膜１７
は、薄膜形成法（例えばＣＶＤ法）あるいは厚膜形成法
（例えば）スクリーン印刷法）等により、透光性キャッ
プ４における撮像素子２への直射光路となる領域、及び
接着剤硬化用紫外線ｕの照射領域を除いた領域に形成さ
れている。これにより、撮像素子２のフレア防止を図る
ことができる。すなわち、撮像素子２への入射光は直射
光以外にも、外囲器１内で乱反射して撮像素子２に回り
込む光（以下、迷光という。）も合成されることが考え
られる。すると、撮像素子２におけるそのような光が入
射した箇所だけ異常に電荷が増加し、画面上ではこれに
対応する箇所だけ異常に明るくなり、被写体を忠実に再
生することができない。そこで、遮光膜１７は、透光性
キャップ４におけるその迷光の原因となる光の入射領域
を隠敝したものである。
裏面に遮光膜１７が設けられている。この遮光膜１７
は、薄膜形成法（例えばＣＶＤ法）あるいは厚膜形成法
（例えば）スクリーン印刷法）等により、透光性キャッ
プ４における撮像素子２への直射光路となる領域、及び
接着剤硬化用紫外線ｕの照射領域を除いた領域に形成さ
れている。これにより、撮像素子２のフレア防止を図る
ことができる。すなわち、撮像素子２への入射光は直射
光以外にも、外囲器１内で乱反射して撮像素子２に回り
込む光（以下、迷光という。）も合成されることが考え
られる。すると、撮像素子２におけるそのような光が入
射した箇所だけ異常に電荷が増加し、画面上ではこれに
対応する箇所だけ異常に明るくなり、被写体を忠実に再
生することができない。そこで、遮光膜１７は、透光性
キャップ４におけるその迷光の原因となる光の入射領域
を隠敝したものである。
【００５６】図４は本発明の第４実施例に係る固体撮像
装置の要部の構造を拡大して示したものである。
装置の要部の構造を拡大して示したものである。
【００５７】この図に示すものは、紫外線硬化型接着剤
からなる接合部５の中に０．５〜１０μｍ前後の硝子ビ
ーズ１８が混入されていることを特徴としている。この
場合、硝子ビーズ１８を接着剤中に紫外線照射前におい
て予め混入させておく。
からなる接合部５の中に０．５〜１０μｍ前後の硝子ビ
ーズ１８が混入されていることを特徴としている。この
場合、硝子ビーズ１８を接着剤中に紫外線照射前におい
て予め混入させておく。
【００５８】これにより、透光性キャップ４の湾曲緩和
や外囲器１内部の気密性向上を図ることができる。
や外囲器１内部の気密性向上を図ることができる。
【００５９】すなわち、外囲器１の接合面は一般に図に
示す如く凹凸が生じ波打つような状態となっていて、平
ではない。そこで、接着剤によりその凹所を埋めて平滑
化を図ることが考えられる。この場合、凹所の埋合わせ
に十分な量の接着剤を使用することとなる。しかし、そ
のようにすると、接着剤硬化時に発生する歪み応力によ
り透光性キャップ４が湾曲しやすくなる。また、接着剤
の固形化物内にはどうしても気泡が生じ易いため、接着
剤の量が多いということは、その気泡の量も多くなり、
外囲器１内の外部からの気密性が損なわれることとな
る。よって、接着剤の使用量はできるだけ少なくした
い。
示す如く凹凸が生じ波打つような状態となっていて、平
ではない。そこで、接着剤によりその凹所を埋めて平滑
化を図ることが考えられる。この場合、凹所の埋合わせ
に十分な量の接着剤を使用することとなる。しかし、そ
のようにすると、接着剤硬化時に発生する歪み応力によ
り透光性キャップ４が湾曲しやすくなる。また、接着剤
の固形化物内にはどうしても気泡が生じ易いため、接着
剤の量が多いということは、その気泡の量も多くなり、
外囲器１内の外部からの気密性が損なわれることとな
る。よって、接着剤の使用量はできるだけ少なくした
い。
【００６０】そこで、本実施例のように、接着剤の中に
透光性キャップ４と同じ硝子性であり熱膨張係数がほぼ
等しい硝子ビーズ１８を混入させ、この硝子ビーズ１８
により外囲器１接合面の凹所を埋め、この接合面を平滑
化するようにしたものである。これにより、接着剤の使
用量が少なめであるにもかかわらず、良好な接着状態を
得ることができ、透光性キャップ４の湾曲緩和や外囲器
１内部の気密性向上を図ることができるのである。
透光性キャップ４と同じ硝子性であり熱膨張係数がほぼ
等しい硝子ビーズ１８を混入させ、この硝子ビーズ１８
により外囲器１接合面の凹所を埋め、この接合面を平滑
化するようにしたものである。これにより、接着剤の使
用量が少なめであるにもかかわらず、良好な接着状態を
得ることができ、透光性キャップ４の湾曲緩和や外囲器
１内部の気密性向上を図ることができるのである。
【００６１】なお、硝子ビーズ１８の混入により、硬化
用紫外線の減衰が懸念されるが、硝子ビーズ１８として
粒の小さいものを使用することで、その不具合は回避す
ることができる。
用紫外線の減衰が懸念されるが、硝子ビーズ１８として
粒の小さいものを使用することで、その不具合は回避す
ることができる。
【００６２】以上、本発明の実施例について説明したが
本発明は上記実施例に限定されるものではない。
本発明は上記実施例に限定されるものではない。
【００６３】例えば、上記実施例では何れも透光性キャ
ップ４が外囲器１内に挿入され、透光性キャップ４の側
方に外囲器１の内壁が存在し、この内壁により透光性キ
ャップ４の位置ずれを防止することができる構成となっ
ている。
ップ４が外囲器１内に挿入され、透光性キャップ４の側
方に外囲器１の内壁が存在し、この内壁により透光性キ
ャップ４の位置ずれを防止することができる構成となっ
ている。
【００６４】しかし、必ずしもそのような構造を取らな
くとも良く、ただ単に外囲器１上に載せる形態、つまり
外囲器１の上面が接合面となっているものであっても、
本発明は成立する。
くとも良く、ただ単に外囲器１上に載せる形態、つまり
外囲器１の上面が接合面となっているものであっても、
本発明は成立する。
【００６５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、透
光性キャップを外囲器に固定させるための接着剤として
紫外線硬化型接着剤を使用する構造となっており、この
紫外線硬化型接着剤はその硬化時間が１分程度で済むも
のであるから、透光性キャップの取付けを短時間処理で
行うことができる。
光性キャップを外囲器に固定させるための接着剤として
紫外線硬化型接着剤を使用する構造となっており、この
紫外線硬化型接着剤はその硬化時間が１分程度で済むも
のであるから、透光性キャップの取付けを短時間処理で
行うことができる。
【００６６】また、紫外線硬化型接着剤の硬化にあたっ
ては熱処理を要せず、よって、硬化処理後、被処理撮像
装置を冷やす工程を必要としないため、この点からも透
光性キャップの取付け時間を短縮することができるとと
もに、冷却用のスペースを必要としないこととなる。
ては熱処理を要せず、よって、硬化処理後、被処理撮像
装置を冷やす工程を必要としないため、この点からも透
光性キャップの取付け時間を短縮することができるとと
もに、冷却用のスペースを必要としないこととなる。
【００６７】したがって、生産ラインにおける処理の停
滞を発生させることがなく、生産性の向上を図ることが
できるとともに、生産ラインの小スペース化を図ること
ができる。
滞を発生させることがなく、生産性の向上を図ることが
できるとともに、生産ラインの小スペース化を図ること
ができる。
【００６８】熱処理を伴わないことから更にカラーフィ
ルタ付撮像装置の耐熱特性を考慮することなく透光性キ
ャップの取付けを行うことができる。
ルタ付撮像装置の耐熱特性を考慮することなく透光性キ
ャップの取付けを行うことができる。
【００６９】特に、請求項４記載の本発明の固体撮像装
置によれば、透光性キャップに光の反射を防止する無反
射部を有し、この無反射部の非設面を接合部における透
光性キャップ側接合面として備えていることから、無反
射部として紫外線を通しにくいものを使用したとしても
接着剤硬化処理を良好に行うことができる。
置によれば、透光性キャップに光の反射を防止する無反
射部を有し、この無反射部の非設面を接合部における透
光性キャップ側接合面として備えていることから、無反
射部として紫外線を通しにくいものを使用したとしても
接着剤硬化処理を良好に行うことができる。
【００７０】また、特に、請求項６記載の本発明の固体
撮像装置によれば、透光性キャップに、固体撮像素子の
少なくとも一部を入射光線に対して隠敝する遮光部を備
え、この遮光部の非設面を接合部における透光性キャッ
プ側接合面として備えていることから、撮像素子のフレ
ア防止を図ることができると同時に外囲器への透光性キ
ャップの接着を良好に行うことができる。
撮像装置によれば、透光性キャップに、固体撮像素子の
少なくとも一部を入射光線に対して隠敝する遮光部を備
え、この遮光部の非設面を接合部における透光性キャッ
プ側接合面として備えていることから、撮像素子のフレ
ア防止を図ることができると同時に外囲器への透光性キ
ャップの接着を良好に行うことができる。
【００７１】さらに、請求項７記載の本発明の固体撮像
装置によれば、接着剤に硝子ビーズが内在されることか
ら、接着剤の使用量を少なめにして良好な接着状態を得
ることができ、透光性キャップの湾曲緩和や外囲器内部
の気密性向上を図ることができる。
装置によれば、接着剤に硝子ビーズが内在されることか
ら、接着剤の使用量を少なめにして良好な接着状態を得
ることができ、透光性キャップの湾曲緩和や外囲器内部
の気密性向上を図ることができる。
【００７２】請求項９記載の本発明の固体撮像装置の製
造法によれば、透光性キャップの方に紫外線遮光部を有
していなくとも撮像素子を紫外線から確実に保護するこ
とができる。
造法によれば、透光性キャップの方に紫外線遮光部を有
していなくとも撮像素子を紫外線から確実に保護するこ
とができる。
【図１】本発明の第１実施例に係る固体撮像装置の断面
構造（ａ）及びその製造に使用される紫外線照射装置の
断面構造を示す構造説明図。
構造（ａ）及びその製造に使用される紫外線照射装置の
断面構造を示す構造説明図。
【図２】本発明の第２実施例に係る固体撮像装置の断面
構造を示す構造説明図。
構造を示す構造説明図。
【図３】本発明の第３実施例に係る固体撮像装置の断面
構造（ａ）及びその透光性キャップの裏面構造（ｂ）を
示す構造説明図。
構造（ａ）及びその透光性キャップの裏面構造（ｂ）を
示す構造説明図。
【図４】本発明の第４実施例に係る固体撮像装置の要部
断面構造を示す構造説明図。
断面構造を示す構造説明図。
１ 外囲器 ２ 固体撮像素子 ４ 透光性キャップ ５ 紫外線硬化型接着剤接合部 ７ 紫外線照射用ランプ １０ ダイクロイック光学フィルタ １１ 紫外線透過板 １２ 遮光支持部材 １５，１６ 反射防止膜 １７ 遮光膜 １８ 硝子ビーズ ｕ 紫外線
Claims (9)
- 【請求項１】外囲器と、 該外囲器内に配設された固体撮像素子と、 前記外囲器に取付けられ且つ該外囲器外部からの被撮像
光を前記固体撮像素子に入射させる透光性キャップと、 前記透光性キャップを前記外囲器に固定させる紫外線硬
化型接着剤により形成された接合部とを備えている固体
撮像装置。 - 【請求項２】紫外線硬化型接着剤はエポキシ系樹脂を主
成分とする接着剤であることを特徴とする請求項１記載
の固体撮像装置。 - 【請求項３】透光性キャップの表裏面のうち少なくとも
一方に設けられ且つ光の反射を防止する無反射部を備え
ている請求項１記載の固体撮像装置。 - 【請求項４】無反射部の非設面を接合部における透光性
キャップ側接合面として備えている請求項３記載の固体
撮像装置。 - 【請求項５】透光性キャップの表裏面のうち少なくとも
一方に設けられ且つ固体撮像素子の少なくとも一部を入
射光線に対して隠敝する遮光部を備えている請求項１記
載の固体撮像装置。 - 【請求項６】遮光部の非設面を接合部における透光性キ
ャップ側接合面として備えている請求項５記載の固体撮
像装置。 - 【請求項７】紫外線硬化型接着剤に硝子ビーズが内在さ
れていることを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか
１項記載の固体撮像装置。 - 【請求項８】外囲器のキャップ接合面に紫外線硬化型接
着剤を塗布する工程と、 前記キャップ接合面に透光性キャップを載置した状態で
前記紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射することにより
該紫外線硬化型接着剤を硬化させ前記外囲器と前記透光
性キャップとを一体化させる工程とを含んでいる請求項
１〜７のうちいずれか１項記載の固体撮像装置の製造方
法。 - 【請求項９】紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射するに
あたり外囲器内に配置された固体撮像素子の少なくとも
一部に対する紫外線遮光部を配することを特徴とする請
求項８記載の固体撮像素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3345445A JP3034370B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3345445A JP3034370B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05175474A true JPH05175474A (ja) | 1993-07-13 |
| JP3034370B2 JP3034370B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=18376642
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3345445A Expired - Fee Related JP3034370B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3034370B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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