JP2016015479A - 光学素子 - Google Patents
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Abstract
Description
ガラス基板の成形工程では、所望の光学特性を備えたガラス組成からなるガラス板を用意し、外形寸法が最終形状(つまり、カバーガラス100の形状)と略同一となるように、公知の切断方法にて切断する。切断方法は、ダイヤモンドカッターにて切断線を刻設した後に折り割りする方法や、ダイシング装置にて切断する方法がある。なお、この工程で用いるガラス板は、ラッピングなどの粗研磨によって、最終形状に近い板厚寸法まで加工されたものを用いてもよい。ガラス板が切断されると、洗浄され、ガラス基材101が得られる。
次に、Cr薄膜の形成工程において、ガラス基材101上に、スパッタリング法や真空蒸着法等によって、遮光膜102のベースとなる、膜厚約0.1μmのCr薄膜を形成する。
レジストコート・ベーキング工程では、Cr薄膜の表面に、フォトレジストを塗布し、所定の時間ベーキングを行う。フォトレジストは、紫外又は赤外の波長領域の光によって溶解性が変化するものであればよく、特に材料は制限されない。また、フォトレジストの塗布方法としては、周知のスピンコート法、ディップコート法等を適用することができる。
露光・レジスト現像工程では、先ず、遮光膜102がパターンニングされたフォトマスクを介して、フォトレジストに光を照射する。そして、フォトレジストに応じた現像液を用いて、フォトレジストを現像し、遮光膜102のパターンに応じたレジストパターンを形成する。
パターンニング工程では、Cr剥離剤に浸漬して、レジストパターンが形成されていない部分のCr薄膜をエッチングし、Cr薄膜によって遮光膜102のパターンを形成する。
レジスト剥離工程では、アルコール等のレジスト剥離剤に浸漬して、レジストを剥離する。これによって、ガラス基材101上には、遮光膜102が形成される。
100、100A カバーガラス
101 ガラス基材
101a 入射面
101b 出射面
102、102A 遮光膜
200 固体撮像素子
300 パッケージ
301 開口部
302 縁部
303 内壁
Claims (10)
- 固体撮像素子が内蔵された撮像装置に用いられる光学素子であって、
前記固体撮像素子に向かう光が入射する入射面と、前記光が透過して前記固体撮像素子に向かって出射される出射面とを表裏に備える透明基板と、
前記透明基板の中央部に形成され、前記光の一部を透過する第1の透光部と、
前記入射面及び前記出射面の少なくとも一方の面上に、前記第1の透光部の外周を枠状に取り囲むように形成され、前記光の一部を遮光する遮光部と、
前記遮光部の外周を取り囲むように前記透明基板の縁部に形成され、前記光の一部を透過する第2の透光部と、
を備えることを特徴とする光学素子。 - 前記光学素子は、前記固体撮像素子を収容するパッケージの前面に取り付けられるカバーガラスであり、
前記カバーガラスが前記パッケージに取り付けられたときに、前記パッケージの内壁の延長線が前記遮光部を通る
ことを特徴とする請求項1に記載の光学素子。 - 前記カバーガラスは、前記出射面側において、少なくとも前記第2の透光部が紫外線硬化型接着剤を介して前記パッケージに取り付けられることを特徴とする請求項2に記載の光学素子。
- 前記透明基板は、矩形板状の形状を有し、前記透明基板の第1の方向の長さをHと定義し、該第1の方向と直交する第2の方向の長さをLと定義したときに、前記遮光部は、前記透明基板の中心を通る中心軸を中心とする0.8H×0.8Lの大きさをもつ矩形領域の内側に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記遮光部は、金属又は樹脂の薄膜によって形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記第1の透光部の面積が、前記固体撮像素子の受光面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記透明基板は、近赤外線領域の波長の光を吸収する近赤外線吸収ガラスであることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記近赤外線吸収ガラスは、Cu2+を含有するフツリン酸塩系ガラス、又はCu2+を含有するリン酸塩系ガラスからなることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の光学素子。
- 少なくとも前記第1の透光部を覆う機能膜を更に備えることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記機能膜は、反射防止、赤外線カット、紫外線カットの少なくとも1つ以上の機能を有する光学薄膜であることを特徴とする請求項9に記載の光学素子。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022259849A1 (ja) * | 2021-06-08 | 2022-12-15 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子パッケージおよび電子機器 |
JP7449317B2 (ja) | 2017-05-29 | 2024-03-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105278017A (zh) * | 2014-06-09 | 2016-01-27 | 豪雅冠得股份有限公司 | 光学元件 |
KR102448682B1 (ko) * | 2017-09-25 | 2022-09-29 | 삼성전자주식회사 | 지문인식 패키지 및 그 제조방법 |
CN111524921A (zh) * | 2019-02-03 | 2020-08-11 | 同泰电子科技股份有限公司 | 互补式金属氧化物半导体感光组件、防护玻璃模块及制法 |
KR102344806B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2021-12-29 | 주식회사 센소허브 | 인쇄회로기판을 사용한 이미지 센서 패키지 및 그 제조 방법 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05175474A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-13 | Toshiba Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JPH0566993U (ja) * | 1992-02-15 | 1993-09-03 | 日本電気株式会社 | Ccdイメージセンサ |
JPH0888339A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-04-02 | Fuji Film Micro Device Kk | 固体撮像素子 |
JP2001345391A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-12-14 | Canon Inc | 電子部品及びその製造方法 |
JP2011132077A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Hoya Corp | 近赤外光吸収ガラス、近赤外光吸収フィルターおよび撮像装置 |
JP2013068688A (ja) * | 2011-09-21 | 2013-04-18 | Asahi Glass Co Ltd | 光学フィルタ及びこれを用いた撮像装置 |
WO2014084167A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7192897B2 (en) * | 2002-07-05 | 2007-03-20 | Hoya Corporation | Near-infrared light-absorbing glass, near-infrared light-absorbing element, near-infrared light-absorbing filter, and method of manufacturing near-infrared light-absorbing formed glass article, and copper-containing glass |
KR101483386B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2015-01-14 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 광학 필터와 그의 제조 방법, 및 촬상 장치 |
JP5849719B2 (ja) * | 2012-01-23 | 2016-02-03 | 旭硝子株式会社 | 光吸収体及びこれを用いた撮像装置 |
CN105278017A (zh) * | 2014-06-09 | 2016-01-27 | 豪雅冠得股份有限公司 | 光学元件 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05175474A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-13 | Toshiba Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JPH0566993U (ja) * | 1992-02-15 | 1993-09-03 | 日本電気株式会社 | Ccdイメージセンサ |
JPH0888339A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-04-02 | Fuji Film Micro Device Kk | 固体撮像素子 |
JP2001345391A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-12-14 | Canon Inc | 電子部品及びその製造方法 |
JP2011132077A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Hoya Corp | 近赤外光吸収ガラス、近赤外光吸収フィルターおよび撮像装置 |
JP2013068688A (ja) * | 2011-09-21 | 2013-04-18 | Asahi Glass Co Ltd | 光学フィルタ及びこれを用いた撮像装置 |
WO2014084167A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7449317B2 (ja) | 2017-05-29 | 2024-03-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
WO2022259849A1 (ja) * | 2021-06-08 | 2022-12-15 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子パッケージおよび電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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