JP2003015308A

JP2003015308A - 露光装置

Info

Publication number: JP2003015308A
Application number: JP2001195829A
Authority: JP
Inventors: Koji Suzuki; 鈴木　　孝治
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2001-06-28
Filing date: 2001-06-28
Publication date: 2003-01-17
Anticipated expiration: 2021-06-28
Also published as: JP4910252B2

Abstract

(57)【要約】【目的】大サイズのフォトマスクを支持枠に装着した
状態で、フォトマスクの絵柄が形成されていない裏面側
から露光して、フォトマスクの絵柄を、加工用基材の表
面部に配設された感光性材料に潜像として露光形成する
ためのフォトリソグラフィー用の露光装置で、大サイズ
のフォトマスクの支持枠への取り付け、取り外しの際
に、従来に比べ、作業者の負担が少なくなり、作業中に
ゴミがフォトマスクにつき易くない、露光装置を提供す
る。【構成】フォトマスクを交換する際に用いる、使用済
のフォトマスクを、略鉛直方向に立てた状態で、フォト
マスク受け渡し位置で、前記支持枠から略水平移動で受
け取り、保持し、これを所定の位置まで排出するフォト
マスク排出部と、次に使用するフォトマスクを前準備
し、使用時にこれをフォトマスク受け取り位置まで移動
し、且つ、略鉛直方向に立てた状態でそのまま略水平移
動で前記支持枠に載せることができるフォトマスク供給
部とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大型のフォトマス
クを支持枠に装着した状態で、フォトマスクの絵柄が形
成されていない裏面側から露光して、フォトマスクの絵
柄を、加工用基材の表面部に配設された感光性材料に潜
像として露光形成するためのフォトリソグラフィー用の
露光装置に関し、特に、フォトマスクの交換を容易にし
た露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、カラーＴＶ（ブラウン管）用のシ
ャドウマスクは、使用量の増大に伴い量産化が進み、且
つ、その使用目的によっては、高精細化、大型化等が求
められている。このようなシャドウマスクは、一般に
は、帯状の金属板材を素材として用い、フォトエッチン
グ法によりエッチング加工を行なう一貫ラインで生産さ
れている。簡単には、帯状の金属板材を連続ないし間欠
的に移動させながら、通常は、製版工程を施し、その両
面に耐エッチング性のレジスト像を形成し、これをエッ
チングマスクとして、帯状の金属板材をエッチングする
エッチング工程を行い、各シャドウマスクの製品部の外
周部が帯状の金属板材に保持されるようにして、且つ、
帯状の金属板材にシャドウマスクを面付けした状態にし
て、外形加工されていた。そして、その後、各シャドウ
マスク毎に分離するトリミング工程を施して、目的とす
る製品であるシャドウマスクを得ていた。

【０００３】上記シャドウマスク製造ラインにおける製
版工程では、その両面に感光性のレジスト膜が塗布形成
された帯状の金属板材を、ほぼ張った状態で間欠的に移
動させながら、停止の際に、帯状の金属板材の両面の感
光性のレジスト膜に、大サイズのガラス乾板にて形成さ
れたフォトマスク、一対を、互いに対向して位置合せ
し、それぞれ、帯状の金属板材の両面から密着させ、こ
の状態で、それぞれ、各フォトマスク介して金属板材の
両面の感光性のレジスト膜を露光して、潜像を形成する
露光方法が採られていた。そして、露光後、現像して、
耐エッチング性のレジスト像を形成していた。

【０００４】上記製版工程における露光は、大サイズの
フォトマスクを支持枠に装着した状態で、フォトマスク
の絵柄が形成されていない裏面側から露光する方式のフ
ォトリソグラフィー用の露光装置を用いるものである。
ここで用いられる大サイズのフォトマスクは、通常、幅
２４インチ×高さ３２インチで、これより大サイズのも
のも最近では使用されるようになってきた。従来、この
露光に用いられる大サイズのフォトマスクの支持枠への
取り付け、取り外しは、フォトマスク入れ台車を用い、
人手により行われていた。即ち、フォトマスクを取り外
す場合は、フォトマスク入れ台車を支持枠の近くまで移
動してきて、人手により支持枠からフォトマスク入れ台
車に運び入れ、フォトマスクを取り付ける場合は、フォ
トマスク入れ台車を支持枠の近くまで移動してきて、人
手によりフォトマスク入れ台車からフォトマスクを取り
出しこれを支持枠に取り付けていた。そして、フォトマ
スク入れ台車は、通常は、露光のじゃまにならない位置
に置かれていた。このため、大サイズの重いフォトマス
クを人手で持つことが多く、作業者の負担が大きく問題
となっていた。また、作業中にゴミがフォトマスクにつ
き易く、これが製品不良発生の原因にもなっていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように、上記シャ
ドウマスクの製版工程における露光のように、大サイズ
のフォトマスクを支持枠に装着した状態で、フォトマス
クの絵柄が形成されていない裏面側から露光する方式の
フォトリソグラフィー用の露光装置を用いる場合、従
来、用いられる大サイズのフォトマスクの支持枠への取
り付け、取り外しは、フォトマスク入れ台車を用い、人
手により行われていたため、作業者の負担が大きいとい
う問題や、作業中にゴミがフォトマスクにつき易く、こ
れが製品不良発生の原因になるという問題があり、この
対応が求められていた。本発明は、これに対応するもの
で、具体的には、大サイズのフォトマスクを支持枠に装
着した状態で、フォトマスクの絵柄が形成されていない
裏面側から露光して、フォトマスクの絵柄を、加工用基
材の表面部に配設された感光性材料に潜像として露光形
成するためのフォトリソグラフィー用の露光装置で、大
サイズのフォトマスクの支持枠への取り付け、取り外し
の際に、従来に比べ、作業者の負担が少なくなり、作業
中にゴミがフォトマスクにつき易くない、露光装置を提
供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の露光装置は、
大サイズのフォトマスクを支持枠に装着した状態で、フ
ォトマスクの絵柄が形成されていない裏面側から露光し
て、フォトマスクの絵柄を、加工用基材の表面部に配設
された感光性材料に潜像として露光形成するためのフォ
トリソグラフィー用の露光装置であって、フォトマスク
を交換する際に用いる、使用済のフォトマスクを、略鉛
直方向に立てた状態で、フォトマスク受け渡し位置で、
前記支持枠から略水平移動で受け取り、保持し、これを
所定の位置まで排出するフォトマスク排出部と、次に使
用するフォトマスクを前準備し、使用時にこれをフォト
マスク受け取り位置まで移動し、且つ、略鉛直方向に立
てた状態でそのまま略水平移動で前記支持枠に載せるこ
とができるフォトマスク供給部とを備えたもので、前記
フォトマスク排出部およびフォトマスク供給部は、いず
れも、フォトマスクを保持する保持台と、該保持台がフ
ォトマスク受け渡し位置ないしフォトマスク受け取り位
置にセットされる位置と支持枠から離れた所定の位置と
の間、保持台を移動する移動手段とを、備えていること
を特徴とするものである。そして、上記において、露光
装置は、加工用基材の表裏面に配設された感光性材料、
それぞれに、支持枠に保持されたフォトマスクを用いて
フォトマスクの裏面側から略同時に露光して、潜像を形
成する両面露光装置であり、加工用基材のそれぞれの面
側に、支持枠、光源部、フォトマスク排出部、フォトマ
スク供給部を備えていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、フォトマスク排出部および
フォトマスク供給部の保持台を、支持枠のフォトマスク
使用場所と、同一平面上、同一高さまで移動できる機構
を持ち、且つ、支持枠および前記フォトマスク排出部お
よびフォトマスク供給部の保持台にフォトマスクの平面
鉛直方向、上下方向の動きを規制するガイドを有し、フ
ォトマスクが保持台と支持枠間で略鉛直方向に立った状
態で略水平方向にスライドできるようにしたことを特徴
とするものである。尚、ここでは、「大サイズのフォト
マスク」とは、人手により運ぶのが負担になるほどのサ
イズのフォトマスクで、通常は幅２４インチ×高さ３２
インチ以上のサイズのフォトマスクを言う。

【０００７】

【作用】本発明の露光装置は、このような構成にするこ
とにより、大サイズのフォトマスクの支持枠への取り付
け、取り外しの際に、従来に比べ、作業者の負担が少な
くなり、作業中にゴミがフォトマスクにつき易くない、
露光装置の提供を可能とするものである。同時に、フォ
トマスク交換を外段取りで効率的に準備できるものとし
ている。フォトエッチング加工して作製されるシャドウ
マスクの製版工程に用いられる場合には、特に有効であ
る。通常、シャドウマスクの製版工程に用いられる露光
装置は、加工用基材の表裏面に配設された感光性材料
に、それぞれ、支持枠に保持されたフォトマスクを用い
て、その裏面から略同時に露光して、潜像を形成する両
面露光装置で、加工用基材のそれぞれの面側に、支持
枠、光源部、フォトマスク排出部、フォトマスク供給部
を備えており、この露光装置を更に複数並べた状態で、
露光が行われるのが一般的である。勿論、本発明の露光
装置は、リードフレームのフォトエッチング加工の際の
製版工程における露光にも適用できる。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の例を挙げて
説明する。図１（ａ）は本発明の露光装置の実施の形態
の１例の概略図で、図１（ｂ）は図１（ａ）に示すフォ
トマスク供給部をＡ１方向から見た図で、図１（ｃ）は
図１（ｂ）のＡ２方向から見た回転コロ部とフォトマス
クの回転コロ部によるガイドを説明するための図、図２
（ａ），図２（ｂ）は、それぞれ本例の変形例の概略図
である。尚、図１（ａ）において、支持枠部は要部のみ
を示したもので、実際には、真空配管、圧空配管やその
制御部が備わっている。図１〜図２中、１１０、１１５
は支持枠部、１１１、１１６はガイドピン、１２０、１
２５は光源、１３０、１３５はフォトマスク供給部、１
３１、１３６は保持台、１３２、１３７はガイドレー
ル、１３１Ａ、１３６Ａは保持台位置、１４０、１４５
はフォトマスク排出部、１４１、１４６は保持台、１４
２、１４７はガイドレール、１４１Ａ、１４６Ａは保持
台位置、１６０は加工用基材、１７０は感光性材料、１
８０、１８５はフォトマスク、２１０は下支持部、２１
５は止め部、２１６は回転軸部、２２０は支持柱、２２
５は取っ手、２３０は上支持部、２４０は支柱、２４
１、２４２は支柱受け、２５０は支持台、２５５はレー
ル受け、２６０はガイドレール（図１（ａ）の１３２に
相当）、２７０は回転コロ部、２７１は溝、２８０はフ
ォトマスク、３１０はフォトマスク、３１０Ａはフォト
マスク位置、３２０は保持台、３２０Ａは保持台位置、
３２５は回転軸部、３３０はフォトマスク、３３０Ａは
フォトマスク位置、３４０は保持台、３４０Ａは保持台
位置、３４５は回転軸部、４１０、４２０はフォトマス
ク、４１０Ａ，４２０Ａはフォトマスク位置、４４０は
ガイドレール、４５０は支持枠部である。

【０００９】本発明の露光装置の実施の形態の１例を図
１に基づいて説明する。本例の露光装置は、加工用基材
１６０の表裏面に配設された感光性材料１７０、それぞ
れに、支持枠１１０、１１５に保持されたフォトマスク
１８０、１８５を用いてフォトマスクの絵柄が形成され
ていない裏面側から略同時に露光して、前記表裏面に配
設された感光性材料に、それぞれ、潜像を形成するフォ
トリソグラフィー用の両面露光装置であり、加工用基材
１６０の一方の面側に、支持枠１１０、光源部１２０、
フォトマスク供給部１３０、フォトマスク排出部１４０
を備え、且つ、加工用基材１６０の他方の面側に、支持
枠１１５、光源部１２５、フォトマスク供給部１３５、
フォトマスク排出部１４５を備えている。そして、前記
各フォトマスク供給部１３０、１３５および前記各フォ
トマスク排出部１４０、１４５は、いずれも、フォトマ
スクを立った状態で保持する保持台１３１、１３６、１
４１、１４６と、保持台をフォトマスクセット位置まで
移動する移動手段であるガイドレール１３２、１３７、
１４２、１４７とを備えている。

【００１０】支持枠部１１０、１１５は、それぞれフォ
トマスク１８０、１８５の絵柄形成層側とは反対側の面
の周辺全体を、真空引きするもので、枠部には真空引き
孔部（図示していない）に続く溝が全周にわたり設けら
れ、この溝にてフォトマスクの周辺全体が真空引きされ
る。支持枠部１１０、１１５は、フォトマスク交換を行
なうために、それぞれ、フォトマスク交換時の位置と露
光時の位置の間である、図１（ａ）の点線両矢印の間を
ガイドレール（図示していない）により移動できるよう
になっている。図１（ａ）は、フォトマスク交換を行な
うため加工用基材１６０から離れるように支持枠部を移
動した状態のものである。支持枠部１１０、１１５と
は、露光時には、加工用基材１６０の感光性材料１７０
にその支持するフォトマスクを密着させるもので、この
際、両支持枠により形成される領域は真空引きされる。
尚、通常、支持枠部の母材としてはステンレス材や樹脂
材等が用いられる。光源１２０、１２５としては、Ｘｅ
ランプやメタルハライドランプ、水銀灯等が用いられ
る。

【００１１】加工用基材１６０は、帯状に連続した金属
シートで、その表裏には感光性材料が塗膜されており、
張った状態で露光は行われる。感光性材料としては、カ
ゼイン系、ＰＶＡ系等、各種用いられる。また、製品が
シャドウマスクの場合には、低炭素鋼や鉄ーニッケル合
金（例えばアンバー材、３６％ニッケル−鉄合金）が用
いられ、製品がリードフレームの場合には、銅材あるい
は鉄ーニッケル合金（例えば４２合金、４２％ニッケル
−鉄合金）等が用いられる。また、フォトマスク１８
０、１８５としては、通常、幅２４インチ×高さ３２イ
ンチサイズあるいはこれ以上のサイズの銀塩乾板に絵柄
を形成したものが用いられ、フォトマスクサイズに合せ
た支持枠部、光源が準備される。

【００１２】ここで、本例の露光装置のフォトマスクの
取り付け、取りはずしの動作を簡単に説明しておく。フ
ォトマスク排出部１４０は、支持枠部１１０から離れた
Ｐ２位置からガイドレール１４２沿い、フォトマスクを
載せていない保持台１４１を所定の位置Ｐ２１まで移動
し、ここで、向きを９０度支持枠１１０側に変え、この
状態で、支持枠１１０のフォトマスクをガイドピン１１
１等に沿い、略水平移動により受け取る。保持台位置１
４１Ａは、フォトマスクを取り外しする際の保持台１４
１の位置で、これが保持台１４１のフォトマスク受け取
り位置である。また、フォトマスク供給部１３０は、支
持枠部１１０から離れたＰ１位置でフォトマスクを保持
台１３１に載せ、ここからガイドレール１３２沿い、保
持台１３１を所定の位置Ｐ１１まで移動し、ここで
尚、Ｐ１、Ｐ２は、フォトマスクの取り付け、取りはず
しができる所定の位置である。保持台位置１３１Ａは、
フォトマスクを取り付ける際の保持台１３１の位置で、
これが保持台１３１のフォトマスク受け渡し位置であ
る。同様に、フォトマスク排出部１４５は、支持枠部１
１５から離れたＰ４位置からガイドレール１４７沿い、
フォトマスクを載せていない保持台１４６を所定の位置
Ｐ４１まで移動し、ここで、向きを９０度支持枠１１５
側に変え、この状態で、支持枠１１５のフォトマスクを
ガイドピン１１６等に沿い、略水平移動により受け取
る。保持台位置１４６Ａは、フォトマスクを取り外しす
る際の保持台１４６の位置で、これが保持台１４６のフ
ォトマスク受け取り位置である。また、フォトマスク供
給部１３５は、支持枠部１１５から離れたＰ３位置でフ
ォトマスクを保持台１３６に載せ、ここからガイドレー
ル１３７沿い、保持台１３６を所定の位置Ｐ３１まで移
動し、ここで、向きを９０度支持枠１１５側に変え、こ
の状態で、支持枠１１５のフォトマスクをガイドピン１
１６等に沿い、略水平移動移動し、支持枠１１５側にフ
ォトマスクを供給する。保持台位置１３６Ａは、フォト
マスクを取り付ける際の保持台１３６の位置で、これが
保持台１３６のフォトマスク受け渡し位置である。

【００１３】次に、保持台１３１とガイドレール１３２
からなるフォトマスク供給部１３０を図１（ｂ）に基づ
いて説明する。尚、フォトマスク供給部１３５、フォト
マスク排出部１４０、１４５の構成も基本的にフォトマ
スク供給部１３０の構成と同じで、これを以ってその説
明に代える。また、図１（ｂ）中、ガイドレール２６０
（図１（ａ）の１３２に相当）以外が保持台１３１であ
る。下支持部２１０、上支持部２３０にそれぞれ設けた
溝（図２（ｃ）の２７１に相当）付きの回転コロ部２７
０の溝部に挟まれるようにしてフォトマスク２８０はそ
の上下を保持され、側面部は止め部２１５によりその動
きを制限される構造で、下支持部２１０、上支持部２３
０、支持柱２２０は、支柱受け２４１により支柱２４０
に回転可能に支持されている。支柱２４０は支柱受け２
４２を介して、支持台２５０に固定されている。そし
て、支持台２５０とこれに支持されたもの全体が、支持
台２５０下部に取り付けられたレール受け２５５によ
り、ガイドレール２６０（図１（ａ）の１３２に相当）
上を移動できる。本例では、取っ手２２５により、人手
で移動される。尚、ガイドレール上の移動を止め静止状
態にしておくためのストッパーを設けてあるが、図１
（ｂ）では省略して示している。

【００１４】先に述べたように、保持台１３１は、図１
（ｂ）のフォトマスク２８０を載せた状態で、ガイドレ
ール２６０（図１（ａ）の１３２に相当）上を移動し、
図１（ａ）のＰ１１位置で、向きを９０度支持枠１１０
側に変え、この状態で、支持枠１１０のフォトマスクを
ガイドピン１１１等に沿い、略水平移動移動し、支持枠
１１０側にフォトマスク取り付けて、支持枠１１０にフ
ォトマスクを供給するが、フォトマスクを取り付ける際
には、支持枠部１１０側の止め部２１５を回転軸２１６
により回転させ、フォトマスクの支持枠部１１０側への
移動ができるものとする。

【００１５】ここでは、図示していないが、フォトマス
ク供給部１３０の保持台１３１を、支持枠１１０のフォ
トマスク交換位置にあわせ、これと同一平面上、同一高
さまで移動できる機構を持ち、支持枠１１０およびフォ
トマスク供給部１３０の保持台１３１にフォトマスクの
平面鉛直方向、上下方向の動きを規制するガイドを有す
る。これにより、フォトマスクが保持台１３１と支持枠
１１０間で略鉛直方向にたった状態で略水平方向にスラ
イドできる。

【００１６】フォトマスク供給部１３０、１３５、フォ
トマスク排出部１４０、１４５の台の変形例として、図
２（ａ）に示す第１の変形例、図２（ｂ）に示す第２の
変形例を挙げ、簡単に説明しておく。図２（ａ）に示す
第１の変形例は、保持台３２０、３４０をそれぞれ、回
転軸部３２５、３４５を中心として３２０Ａ，３４０Ａ
の位置まで、回転移動し、保持台３２０から支持枠部３
５０へ、あるいは支持枠部３５０から保持台３４０へフ
ォトマスクを移動させるものである。保持部３２０、３
４０としては、図１（ｂ）に示す構造のもので、回転軸
部３２５、３４５を中心として回転できるようにしたも
のを挙げることができる。

【００１７】図２（ｂ）に示す第２の変形例は、保持台
４１０、４２０をそれぞれ、支持枠部４５０上に設けら
れたガイドドレール４４０に沿い、吊り下げ、支持枠部
４５０の前面まで（位置４１０Ａ（４２０Ａ））移動で
きるようにしたものである。

【００１８】フォトマスク供給部１３０、１３５、フォ
トマスク排出部１４０、１４５の台の変形例として、こ
れらに限定はされない。例えば、ガイドレール１３２上
の保持台１３１の移動を自動にしても良いし、場合によ
っては、市販のらくらくハンド（小さなクレーンのよう
なもの）のような動力補助装置を用い保持台１３１を移
動させても良い。

【００１９】尚、図１に示すフォトマスク供給部１３
０、１３５、フォトマスク排出部１４０、１４５は、図
２（ａ）に示すものに比べ、保持台へのフォトマスクの
取り付けや取り外しを支持枠部１１０から遠い位置で行
なうことができ、その製作コストも図２（ｂ）に示すも
のに比べ低くて済み、より実用的である。

【００２０】

【発明の効果】本発明は、上記のように、大サイズのフ
ォトマスクを支持枠に装着した状態で、フォトマスクの
絵柄が形成されていない裏面側から露光して、フォトマ
スクの絵柄を、加工用基材の表面部に配設された感光性
材料に潜像として露光形成するためのフォトリソグラフ
ィー用の露光装置で、大サイズのフォトマスクの支持枠
への取り付け、取り外しの際に、従来に比べ、作業者の
負担が少なくなり、作業中にゴミがフォトマスクにつき
易くなく、且つ、外段取りで効率的にフォトマスク交換
作業の準備ができる露光装置の提供を可能にした。特
に、これにより、フォトエッチング加工して作製される
シャドウマスクの製版工程に用いられる露光装置におけ
るフォトマスク交換作業をより量産に対応できるものと
した。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）は本発明の露光装置の実施の形態の
１例の概略図で、図１（ｂ）は図１（ａ）に示すフォト
マスク供給部をＡ１方向から見た図で、図１（ｃ）は図
１（ｂ）のＡ２方向から見た回転コロ部とフォトマスク
の回転コロ部によるガイドを説明するための図である。

【図２】図２（ａ），図２（ｂ）は、それぞれ本例の変
形例の概略図である。

【符号の説明】

１１０、１１５支持枠部１１１、１１６ガイドピン１２０、１２５光源１３０、１３５フォトマスク供給部１３１、１３６保持台１３２、１３７ガイドレール１３１Ａ、１３６Ａ保持台位置１４０、１４５フォトマスク排出部１４１、１４６保持台１４２、１４７ガイドレール１４１Ａ、１４６Ａ保持台位置１６０加工用基材１７０感光性材料１８０、１８５フォトマスク２１０下支持部２１５止め部２１６回転軸部２２０支持柱２２５取っ手２３０上支持部２４０支柱２４１、２４２支柱受け２５０支持台２５５レール受け２６０ガイドレール（図１（ａ）の
１３２に相当）２７０回転コロ部２７１溝２８０フォトマスク３１０フォトマスク３１０Ａフォトマスク位置３２０保持台３２０Ａ保持台位置３２５回転軸部３３０フォトマスク３３０Ａフォトマスク位置３４０保持台３４０Ａ保持台位置３４５回転軸部４１０、４２０フォトマスク４１０Ａ，４２０Ａフォトマスク位置４４０ガイドレール４５０支持枠部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】大サイズのフォトマスクを支持枠に装着
した状態で、フォトマスクの絵柄が形成されていない裏
面側から露光して、フォトマスクの絵柄を、加工用基材
の表面部に配設された感光性材料に潜像として露光形成
するためのフォトリソグラフィー用の露光装置であっ
て、フォトマスクを交換する際に用いる、使用済のフォ
トマスクを、略鉛直方向に立てた状態で、フォトマスク
受け渡し位置で、前記支持枠から略水平移動で受け取
り、保持し、これを所定の位置まで排出するフォトマス
ク排出部と、次に使用するフォトマスクを前準備し、使
用時にこれをフォトマスク受け取り位置まで移動し、且
つ、略鉛直方向に立てた状態でそのまま略水平移動で前
記支持枠に載せることができるフォトマスク供給部とを
備えたもので、前記フォトマスク排出部およびフォトマ
スク供給部は、いずれも、フォトマスクを保持する保持
台と、該保持台がフォトマスク受け渡し位置ないしフォ
トマスク受け取り位置にセットされる位置と支持枠から
離れた所定の位置との間、保持台を移動する移動手段と
を、備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】請求項１において、露光装置は、加工用
基材の表裏面に配設された感光性材料、それぞれに、支
持枠に保持されたフォトマスクを用いてフォトマスクの
裏面側から略同時に露光して、潜像を形成する両面露光
装置であり、加工用基材のそれぞれの面側に、支持枠、
光源部、フォトマスク排出部、フォトマスク供給部を備
えていることを特徴とする露光装置。
【請求項３】請求項１ないし２において、フォトマス
ク排出部およびフォトマスク供給部の保持台を、支持枠
のフォトマスク使用場所と、同一平面上、同一高さまで
移動できる機構を持ち、且つ、支持枠および前記フォト
マスク排出部およびフォトマスク供給部の保持台にフォ
トマスクの平面鉛直方向、上下方向の動きを規制するガ
イドを有し、フォトマスクが保持台と支持枠間で略鉛直
方向に立った状態で略水平方向にスライドできるように
したことを特徴とする露光装置。