JPH01238668A - 両面焼付機における版の整合方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、それぞれが多数面焼付けられた表面及び裏
面用の１対の原稿版を、１対のマスター版を用いて同時
に焼付ける両面焼付機に関し、特に、ンヤドウマスク又
はリードフレーム等の製造に使用される原稿版を焼付け
る両面焼付機における版の整合方法に関する。

［従来の技術］ 近時、受像管の大型化及び画質の高品質化の傾向に伴い
、シャドウマスクのパターンを更に高精度化することが
要求されている。シャドウマスクパターンの多数の微細
孔は、電子ビームの通過精度を高めるために、素材両面
を同時エツチングすることにより蛍光面側より電子銃側
のほうが狭くなるように形成される。すなわち、遮光部
の大きさか異なる微細パターンを有するマスター版を表
面用及び裏面用として個々につくり、マスター版をオリ
ジナルとして表面用及び裏面用の原稿版（実用版）をそ
れぞれ焼付け、これら１対の実用版を原稿としてシャド
ウマスクを大量生産する。

両面エツチングにおいては表裏面のパターンを正確に一
致させる必要があり、近時、表裏面原稿のパターン位置
合せ精度についてますます高いものが要求されている。

特に、大型受像管用のシャドウマスクにおいては、表裏
面原稿の位置ずれの許容差を数ミクロン以下にする必要
がある。

ところで、オリジナルとなるマスター版は、その製造に
あたり多大な労力と時間を要し、高価なものであるので
、表面用及び裏面用をそれぞれ一面ずつのみ作製する。

そして、−面のみ描画されたマスター版を使用して多面
描画技術により、−枚に複数パターンを焼付けて多面の
実用版とする。

この多面実用版を原稿に用いることにより、−面版を使
用する場合よりも生産性を高め、製品歩留の向上を図る
。

従来の多面描画技術における表裏面用マスター版の整合
方法は、作業者か両マスター版の位置合せマークをそれ
ぞれ顕微鏡観察することにより実施していた。

［発明か解決しようとする課題］ しかしながら、従来の整合方法においては、作業に長時
間を要するので、大型の多面原稿版を低コストで製造す
ることができない。また、作業者の個人差に起因して位
置合せ精度かばらつくために、品質の安定化を図ること
かできない。更に、実際の露光場所と異なる場所にて両
マスター版を整合するので、運搬取付は中に版の整合精
度が低下するという不都合がある。

この発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって
、表裏面用のマスター版を高精度に位置合せすることか
できる両面焼付機における版の整合方法を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る両面焼付機における版の整合方法は、表
面用及び裏面用の１対のマスター版の位置合せマークを
相互に重ね合せて１対の原稿版をそれぞれ焼付ける両面
焼付機における版の整合方法において、一方のマスター
版のマークを録画する工程と、この記録画像を呼出して
他方のマスター版のマークの実像と比較する工程と、少
なくとも一方のマスター版の位置を変えてマークの実像
を記録画像に重ね合せる工程と、を有することを特徴と
する。この場合に、１対のビデオカメラにより二箇所の
マークを録画することが好ましい。

［作用］ この発明に係る両面焼付機における版の整合方法におい
ては、録画されたマークの像を呼出し、これを他方のマ
スター版のマークの実像と比較しつつアライメント手段
によりマスター版の位置を修正し、虚像に実像を重ね合
せ、表面用及び裏面用のマスター版のパターンを一致さ
せる。

［実施例］ 以下、添付の図面を参照してこの発明の実施例について
具体的に説明する。

第２図に示すように、両面焼付機１０は、原稿版となる
べきワーク５０を保持搬送するためのワーク搬送部１１
及びマスター版２を相互に整合させるための本体部２７
により構成されている。ワーク搬送部１１の梁１４が１
対の支柱１２に掛は渡され、粱１４に平行にガイドバー
１６が設けられている。ホルダ１８が、１対のスライダ
２０によりガイドバー１６に沿って摺動するように吊り
下げられている。一方のスライダ２０はナツト２２を有
しており、このナツト２２がスクリュウ２４に螺合し、
駆動モータ２６によりスクリュウ２４が回転するとホル
ダ１８が待機位置から本体部２７のほうへ水平移動する
ようになっている。

モータ２６はリミットスイッチを有しており、ホルダ１
８を所定位置に正確に停止させるようになっている。ま
た、待機位置にて１対のワーク５０がホルダ１８の両面
にそれぞれ取付けられるようになっている。

第３図に示すように、搬送部１１のワーク搬送路は本体
部２７の中央を通過する構造を採り、ワーク５０か１対
のマスター版２ａ、２ｂの間に位置するようになってい
る。

本体部２７は、ホルダ１８の待機位置から離れた支柱１
２の近傍に設けられている。本体部２７のベツド２８か
制振装置（図示せず）を介して床上に固定され、ベツド
２８より上方に振動が伝わり難くシている。ベツド２８
の上には、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸並びにＣ軸周の駆動手段か
それぞれ設けられている。本体ベツド２８０１対の凸状
ガイド２９か、Ｚ軸周ヘッド３０の凹状スライダ３１に
それぞれ嵌合され、ベツド下部の駆動モータ３２により
ベツド３０かＸ軸方向（水平面内で粱１４に直交する方
向）にスライドするようになっている。更に、Ｚ軸用ベ
ツド３０の１対の凸状ガイド３３か、Ｘ軸周ベット３４
の凹状スライダ３５にそれぞれ嵌合され、駆動モータ３
６によりベツド３４かＸ軸方向（水平面内て梁１４に平
行な方向）にスライドするようになっている。また、更
に、Ｘ軸周ベツド３４の上に二組のスタンド３８が載置
され、駆動モータ３９によりスタンド３８かＹ軸方向（
垂直方向）にスライドするようになっている。額縁状の
ホルダ４２か各組のスタンド３８の間にそれぞれ設けら
れ、それぞれかマスター版を保持して表面用と裏面用と
を対面させるようになっている。

もう一方のホルダ４２ｂは、これを取囲むサドルに複数
のネジで固定され、サドル上部の孔に本体側のピンが挿
入されており、ピンを中心として揺動するように支持さ
れている。すなわち、Ｃ軸駆動用装置（図示せず）によ
りサドル側面下部が抑圧又は牽引されると、ホルダ４２
ｂがその面内で揺動・傾斜するようになっている。この
場合に、ホルダ４２ｂの最大傾斜角度は５°程度に設定
することか好ましい。

第４図に示すように、他方のホルダ４２ａは、これを取
囲むサドル８０に複数のネジ８１で固定されている。こ
のサドル８０は、前述のＸ軸駆動機構及びＹ軸駆動機構
の上に載置されている。２台の固体撮像素子カメラ４４
か、アーム４３及び軸４５を介してサドル８０の上部及
び下部にそれぞれ設けられている。これらのカメラ４４
はビデオ情報処理システムに組込まれており、カメラで
撮影された画像がＣＰＵ　（中央処理装置）のメモリ部
に一部スドアされ、この記憶画像がメモリ部から随時呼
出されるようになっている。つまり、記憶画像を呼出す
と、カメラ視野において実際に見えている像（実像）と
記憶画像（虚像）とが二重に映し出されるようになって
いる。また、２台のカメラ４４は、それぞれがＸ軸方向
に移動可能にアーム４３により支持され、所定の焦点深
度を維持した状態でカメラ自体がＸ軸方向に移動するこ
とにより焦点位置が移動するようになっている。

更に、このビデオ情報処理システムとＸ軸、Ｙ軸。

Ｃ軸駆動装置とはコントローラ（図示せず）により接続
されており、システムで処理されたデータに基づきＸ軸
、Ｙ軸、Ｃ軸駆動装置の動作が制御されるようになって
いる。

第１図に示すように、本体部２７を両側から挟むように
１組のカメラ４４及びスポット光源４６かそれぞれ配設
され、光源４６によりマスター版２ａ、２ｂのマークに
スポット光を照射し、マークをカメラ４４で撮影・記録
するようになっている。この場合に、光源４６のスポッ
ト径は１０ｍｍ程度である。更に、１組の光源４８ａ、
４８ｂか本体部２７の両側に配設され、マスター版２ａ
。

２ｂを介してワーク５Ｑａ、５０ｂの感光面が露光され
るようになっている。

第５図に示すように、マスター服用のホルダ４２は、窓
６１を有する額縁状をなし、マスター版２に光か照射さ
れるようになっている。ホルダ４２は、真空ポンプ（図
示せず）に連通ずる排気管６２を有している。管６２の
開口６３は、マスター版２がホルダ４２に密着する部分
に形成されている。更に、シールゴム６４がマスター版
２の取付は部を取囲むように設けられている。第６図に
示すように、マスター版２は、原版作画機により有効面
３に所定のパターンが形成されたものであり、有効面短
辺の外側にそれぞれレジスターマーク４が付されている
。なお、マスター版２は、幅が約４００■、長さか約７
００ｎｖ　ｓ厚さか約５〜６ｍｎ１のガラスでつくられ
ており、その片面にのみパターン及びマークか付されて
いる。

第７図に示すように、ワーク用のホルダ１８は、左右対
称に形成された二つの部材６５ａ、６５ｂを張合わせた
ものである。ホルダ１８は、不透明な材料、例えば、金
属板でつくられている。部材６５ａ、６５ｂの内部には
多数の分岐通路６７がそれぞれ形成されている。通路６
７は、真空ポンプ（図示せず）に連通ずる排気管６６に
連通ずる−　１〇　− 一方、ワ−り５０ａ、５０ｂの取付は面の全面にほぼ一
様に分散開口している。

次に、第１図及び第８図を参照しつつこの実施例の動作
について説明する。

マスター版２ａ、２ｂのそれぞれを、その有効面か内側
になるように、ホルダ４２ａ、４２ｂに真空密着により
取付ける。ホルダ４２ａ、４２ｂをＺ軸方向に移動し、
有効面を相互に密着させる。

各光源４６からマスター版の上部及び下部にスポット光
を照射し、スポット光源側のマスター版のレジスターマ
ーり４ｂにカメラ４４の焦点を合せて撮影し、それぞれ
の像をＣＰＵ　（図示せず）のメモリ部にストアする。

次いで、それぞれのカメラ４４をマスター版２ａ、２ｂ
の面間距離したけ後退させ、焦点をカメラ側のマスター
版のマーり４ａに合せる。そして、ＣＰＵのメモリ部か
ら記憶画像を呼出し、カメラ視野にてマーク４ａの実像
とマーり４ｂの虚像とを同時にモニターしつつ実像か虚
像に重なり合うようにンミュレーションによりデータ処
理する。このシミュレーンヨンデ−タに基づき、先ずＣ
軸駆動装置によりホルダ４２ａを揺動させ、マスター版
２ａに対するマスター版２ｂの傾き（相対角度のずれ）
を修正する。

次いで、Ｘ軸周及びＹ軸用のモータ３６，３９を駆動し
てマスター版２ａのマークの位置を調整する。これによ
り両マスター版２ａ、２ｂのマークが合致する。両者の
整合が完了すると、カメラ４４及び光源４６を露光用光
源４８ａ、４８ｂの影響を受けない待機位置へ移動する
。次いで、Ｚ軸駆動により両マスター版２ａ、２ｂを相
互に引き離し、ワーク５０ａ、５０ｂをマスター版相互
間の所定の位置に搬入する。なお、ワーク５０ａ。

５０ｂは、待機位置にて予めホルダ１８に真空密着され
ている。また、ワ−り５０ａ、５０ｂの片面には感光材
が塗布されている。Ｚ軸駆動により両マスター版２ａ、
２ｂをワーク５０ａ、５０ｂにそれぞれ密着させる。次
いで、露光による影響を防止するために、遮光暗幕及び
遮光テープ等（図示せず）でワーク５０ａ、５０ｂを覆
い、窓６１を除く領域を遮光する。そして、光源４８ａ
。

４８ｂにより光を照射し、ワーク５０ａ、５０ｂの感光
面に所定時間だけ露光する。露光完了後、Ｚ軸駆動によ
り両マスター版２ａ、２ｂをワ−り５０ａ、５０ｂから
引き離し、ワーク５０ａ。

５０ｂを所定距離移動し、’７−り５０ａ、５０ｂの未
露光領域をマスター版相互間に位置させる。

次いで、前回と同様に露光する。その後これを現像する
ことにより、第９図に示すように、ワ−り５０か、同一
パターンの有効面５１．５２を有する多面の原稿版とな
る。

上記実施例によれば、２台の固体撮像素子カメラ及び各
軸駆動装置を使用するので、表面用及び裏面用のマスタ
ー版のパターンを高精度に整合することができる。

また、上記実施例によれば、マスター版及びワークをそ
れぞれ真空密着するので、取扱いが簡便であると共に、
迅速かつ確実に両面焼付けすることができる。

なお、上記実施例では、２台のビデオカメラを使用した
か、これに限られることなくカメラの代わりに視感セン
サを用いることも可能である。

また、上記実施例では、ワークを水平方向にのみ移動さ
せて多面の原稿版を製造する場合について説明したが、
これに限られることなくワークを垂直方向にも移動させ
てもよく、水平及び垂直方向にワークを移動させること
により上下左右にパターンが配列された多面の原稿版を
作製することも可能である。

［発明の効果］ この発明によれば、表面用及び裏面用マスター版のパタ
ーンを迅速に整合することができるので、大型の多面原
稿版を短時間で作製することができる。このため、製造
コストの低減を図ることができる。また、データ処理す
ることによりマスター版の各軸ごとのそれぞれの補正量
を正確に把握することができるので、アライメント動作
を確実にすることができ、表裏面用のマスター版相互を
高精度に整合することができる。また、従来のように作
業者の熟練度に影響されることなく整合することができ
ると共に、露光場所にて両者を整合することかできるの
で、品質向上を図ることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例に係る両面焼付機における版
の整合方法か使用された両面焼付機を側方から見た模式
図、第２図は両面焼付機の正面図、第３図は両面焼付機
の平面図、第４図は両面焼付機のカメラ側のマスター版
を示す正面図、第５図はマスター服用のホルダを示す縦
断面図、第６図はマスター版の平面模式図、第７図はワ
ーク用のホルダを示す縦断面図、第８図はカメラを用い
て表面用及び裏面用のマスター版を整合させる場合につ
いて説明する模式図、第９図は焼付けられた多面の原稿
版を示す平面模式図である。 ２、マスター版、１０１両面焼付機、１６．カイトバー
、１８．ワーク用ホルダ、２２．ナツト、２４；スクリ
ュウ、２６，３２，３６，３９゜４０、モータ、２８，
３０，３４；ベツド、３８゜スタンド、４２．マスタ御
飯用ホルダ、４４；カメラ、４６，４８；光源、５０．
ワーク（原稿版）。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 ■　　　　　　　　　　　　　　　”＼＾） 第８

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面用及び裏面用の１対のマスター版の位置合せ
   マークを相互に重ね合せて１対の原稿版をそれぞれ焼付
   ける両面焼付機における版の整合方法において、一方の
   マスター版のマークを録画する工程と、この記録画像を
   呼出して他方のマスター版のマークの実像と比較する工
   程と、少なくとも一方のマスター版の位置を変えてマー
   クの実像を記録画像に重ね合せる工程と、を有すること
   を特徴とする両面焼付機における版の整合方法。
2. （２）１対のビデオカメラにより二箇所のマークを録画
   することを特徴とする請求項１記載の両面焼付機におけ
   る版の整合方法。