JP4048593B2 - 露光装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ等の製造等に適用される露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、或いは液晶とプラズマを利用したディスプレイ等のいわゆるフラットディスプレイにおいては、相対向する基板、例えばガラス基板の内面に夫々所定パターンの電極、例えばＸＹマトリックス表示であれば行電極群、列電極群が形成されたり、カラーフィルタが形成されたり、更には、プラズマ放電空間を区画するための隔壁が形成される。
【０００３】
之等の電極、カラーフィルタ、隔壁等の形成では、フォトリソグラフィ技術が用いられ、従って、その工程においてフォトレジスト膜を所定パターンに露光するための露光装置が使用される。
【０００４】
従来、フラットパネルディスプレイの製造工程で用いられる露光装置は、露光されるべき基板、例えばフォトレジスト膜を形成したガラス基板及び露光マスクを水平に置き（即ち、基板面及びマスク面が水平となるように配置した、いわゆる平置きにし）、基板及び露光マスクを位置合わせして露光する方式のものである。
【０００５】
露光マスクは、マスク保護用のマスクホルダに常時取付けられており、露光マスクの交換時には、マスクホルダごと人手によって交換するようになされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、フラットパネルディスプレイの大型化に伴い、露光マスクが大型になると、マスクホルダも大型化し、重量的に露光マスクの交換が困難となってきた。
一方、露光マスクのみで交換するような所謂マスク単体方式の場合には、露光マスク搬送時、露光マスクを露光部の位置にセットする時に、露光マスクを破損させる恐れがあった。
【０００７】
本発明は、上述の点に鑑み、露光マスクが大型化しても露光マスクの交換を容易に行い、且つマスク搬送時、露光部へのマスクセット時での露光マスクの破損を防ぐことを可能にした露光装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の露光装置は、移載機によってマスク保持部材を、マスク交換位置と露光部の位置との間で往復移送し、マスク交換位置で移載機上のマスク保持部材に露光マスクを保持し、露光部の位置でマスク保持部材ごと露光マスクを露光部に受け渡すような機構を有し成る。
【０００９】
この構成においては、マスク保持部材がいわゆる「通い箱」のようにマスク交換位置と露光部の位置との間で往復するので、マスク交換時には露光マスクのみを人手でマスク保持部材に保持すればよく、マスク交換は容易となる。
また、移載機によるマスク搬送時、あるいは露光部への露光マスク受け渡し時には露光マスクがマスク保持部材によって保護されているので、露光マスクの破損の恐れは生じない。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に係る露光装置は、露光マスクを着脱可能に保持しうるマスク保持部材と、このマスク保持部材をマスク交換位置と露光部の位置との間で往復移送するための移載機を有し、マスク交換位置で露光マスクを移載機上のマスク保持部材に保持し、露光部の位置でマスク保持部材ごと露光マスクを露光部に受け渡す機構とされて成る。
【００１１】
本発明の上記露光マスク交換機構、即ち、マスク保持部材と移載機とからなる露光マスクの搬送機構は、露光マスク及び露光される基板を直立状態に配して露光処理するいわゆる縦型露光装置、或は露光マスク及び露光される基板を平置き状態に配して露光するいわゆる平置き型露光装置のいずれにも適用できる。
【００１２】
本発明は、縦型露光装置として構成するときには、上記露光装置において、露光マスクの移送時及び露光マスクの露光部への受け渡し時に、露光マスクが直立状態でマスク保持部材に保持するように構成する。
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の露光装置の一実施の形態を説明する。
【００１４】
図１は、本実施の形態に係る露光装置を縦型露光装置に適用した場合の概略構成を示す平面レイアウトである。
この縦型露光装置１は、露光されるべき基板、例えば一面上にフォトレジスト膜を塗布したガラス基板２を平置きの状態で搬入（いわゆる供給）するためのローダ部３と、ガラス基板２を板面が鉛直となるように直立状態にして露光すべき位置に配置する露光ステージ部４と、露光マスク５を同様に板面が鉛直となるように直立状態にして露光すべき位置に配置するマスクステージ部６と、露光光源（いわゆる紫外線光源）７が配置された光源部８と、露光後のガラス基板２を平置きの状態で搬出（いわゆる排出）するためのアンローダ部９を備え、さらに、ガラス基板２を直立状態に保持してローダ部３と露光ステージ部４とアンローダ部９との間を移送するための基板移載機１０及び露光マスク５を直立状態に保持して露光マスク供給位置、もしくは露光マスク交換位置、例えばローダ部３に対応する位置とマスクステージ部６との間を往復移送するためのマスク移載機１３０を備えて成る。
【００１５】
本実施の形態では、後述するように、基板移載機１０とマスク移載機１３０を兼用するように一体化した移載機２００として構成される。
【００１６】
之等ローダ部３、露光ステージ部４、マスクステージ部６、光源部８、アンローダ部９及び移載機２００は、夫々ユニット化されて配設される。
露光ステージ部４では基板位置合わせ機構６１を備え、マスクステージ部６ではマスク位置合わせ機構１２０を備える。この露光ステージ部４及びマスクステージ部６は、後述するように露光部（クリーン格納室）１６０に配される。
【００１７】
ローダ部３とアンローダ部９は、共に同じ機構を有し、互に対称的に配置される。ローダ部３は、露光前のガラス基板２を平置き状態で搬送する平置き搬送コンベア１１と、ガラス基板２を平置き状態から９０゜反転させて直立させるための基板姿勢変換機構２０を有して成る。
アンローダ部９も同様に、露光後のガラス基板２を直立状態から９０°反転させて平置き状態にするための基板姿勢変換機構２０と、ガラス基板２を平置き状態で搬送する平置き搬送コンベア１１を有して成る。
【００１８】
図２及び図３は、ローダ部３の詳細な構成を示す。搬送コンベア１１は、コンベアフレーム１２にガラス基板２を平置き状態で搬送するための搬送用ローラ１３と、ガラス基板２の幅方向を規制するための両側のガイドローラ１４と、ガラス基板２を所定の搬送位置で係止するための位置決めストッパ１５と、上記所定の搬送位置においてガラス基板２がたわむのを防止するための受けローラ１６とを設けて構成される。
【００１９】
ローダ部３の前半では、コンベアフレーム１２の幅方向に差し渡された回動軸１７が搬送方向に複数配置され、各回動軸１７に複数、本例では４つの搬送用ローラ１３が一体に設けられる。ローダ部３の後半、即ち、ガラス基板２の搬送が係止される後半では、コンベアフレーム１２の幅方向の両側にのみ搬送用ローラ１３が設けられ、中央部にガラス基板２の裏面を受ける受けローラ１６が設けられる。ガイドローラ１４は、ローダ部３の前半及び後半の全長にわたって設けられる。
【００２０】
回動軸１７の端部には例えば駆動用ベルト等の駆動手段１８が連結され、駆動手段１８による回動軸１７の回動によって搬送用ローラ１３が回動するようになされる。従って、ローダ部３においては、ガラス基板２が搬送用ローラ１３上に平置き状態で載置され、ガイドローラ１４にてガラス基板２の両側を規制しながら搬送用ローラ１３によって搬送され、ローダ部３の後半位置において、位置決めストッパー１５にて係止される。この状態でガラス基板２は受けローラ１６によってたわみが防止される。
【００２１】
ここで、ガラス基板２の搬送中におけるローラ１３，１４，１６のすべり、位置決めストッパー１５にガラス基板２が当接した時のすべりでローラ（１３，１４，１６）及びガラス基板２に静電気が生じるのを防ぐために、搬送に用いられるローラの全て、即ち搬送用ローラ１３、ガイドローラ１４及び受けローラ１６を導電性部材で形成し、このローラ１３，１４，１６を接地するようにする。
ローラ１３，１４，１６を形成する導電性部材としては、例えば導電性粒子を分散させた導電性樹脂、或は、金属の芯材を導電性樹脂で被覆した部材等を用いることができる。
【００２２】
そして、このローダ部３の後半位置に、平置き状態で搬送されたガラス基板２を板面が鉛直となるようにガラス基板２の姿勢を直立に変換して、基板移載機１０に受け渡すための、基板姿勢変換機構２０が設けられる。
【００２３】
基板姿勢変換機構２０は、図２及び図４に示すように、複数の吸着パッド２２を取付けた吸着パッド取付部材２３と、この吸着パッド取付部材２３を水平状態と鉛直状態とに９０゜反転させるための反転プレート２４とを有して構成される。
即ち、コンベア架台２６上に１対の支持部材２７が固着され、この支持部材２７に、夫々軸２８を中心に水平状態と鉛直状態に９０°反転する反転プレート２４が支持される。各反転プレート２４には、連結ブラケット２９を介して反転用シリンダ３０のピストンロッド３０ａが連結される。反転シリンダ３０の基部はコンベア架台２６上の支持部材３２に、軸３３を中心に回動可能に支持される。
【００２４】
一方、吸着パッド２２を取付けた吸着パッド取付部材２３は、ガラス基板２を吸着支持できるように所定間隔を置いて複数、本例では４つ設けられ、この複数の吸着パッド取付部材２３が２つづつ昇降プレート３４により連結される。夫々の反転プレート２４の先端にはブラケット３６を介してシリンダ３７が取付けられ、この夫々のシリンダ３７のピストンロッド３７ａが夫々の昇降プレート３４に連結される。
【００２５】
吸着パッド２２は、例えば図５に示すように、吸着パッド取付部材２３にナット３９を介して取付けた吸引管４００にスプリング４１１によって上下動可能に取付けられる。このスプリング４１１は、吸着パッド２２にてガラス基板２を受けたとき、ガラス基板２の自重を吸収する。
【００２６】
この基板姿勢変換機構２０は次のように動作する。
ガラス基板２が、その例えばフォトレジスト膜を有する面（即ち露光される面）を上向きにしてローダ部３の所定位置、即ち機構２０に対応する位置に搬送されると、図４に示すように、シリンダ３７によって吸着パッド２２と共に吸着パッド取付部材２３が上昇し、吸着パッド２２でガラス基板２の裏面を支持する。このとき、吸着パッド２２は、搬送コンベア１１から離れた上方位置ａにおいてガラス基板２を受けるので、ガラス基板２は自重で吸着パッド２２に当接することになる。この状態でガラス基板２を吸着パッド２２に真空吸着させる。
【００２７】
次に、反転用シリンダ３０が駆動し、反転プレート２４を軸２８を中心に９０°回動させることによって、吸着パッド２２に吸着されたガラス基板２は、図４に示すように平置き状態から直立状態に姿勢変換される。
その後、ガラス基板２が直立状態において、さらにシリンダ３７によりガラス基板２を前進させ、後述する移載機１０に受け渡す。
【００２８】
ガラス基板２の受け渡し後は、吸着パッド２２の真空吸着を解除し、シリンダ３７を後退させ、さらに反転用シリンダ３０を後退させて反転プレート２４を９０°逆転させて、吸着パッド取付部材２３を元の水平状態に戻す。
【００２９】
アンローダ部９は、ローダ部３と同様に搬送コンベア１１と基板姿勢変換機構２０を有し、ローダ部３と対称的に配置されるだけで構成及び動作はローダ部３と同様（即ち、ローダ部３とは逆動作）であるので、詳細説明は省略する。
【００３０】
基板移載機１０は、図６に示すように、基板４０上に直立するように例えばアルミ押出し材からなるＵ字型の支持体４１が設けられ、支持体４１の下側部にシリンダ４２によって上下動しガラス基板２の下側辺を把持する下側チャック部４３が設けられると共に、支持体４１の両側部に夫々シリンダ４４及び４５によって左右方向に動きガラス基板２の両側辺を把持する左チャック部４６及び右チャック部４７が設けられて成る。
各シリンダ４２、４４及び４５は、夫々シリンダ取付プレート４８，４９及び５０を介して支持体４１に取付けられる。ガラス基板２を把持する各チャック部４３，４６及び４７は、支持体４１のローダ部３側の面に設けられる。
【００３１】
この基板移載機１０は、ローダ部３、露光ステージ部４、マスクステージ部６及びアンローダ部９に渡って配設された１対のガイドレール５２に係合され、例えば駆動モータ等の駆動手段５３（図１参照）を介して移送されるように構成される。すなわち、基板移載機１０の基板４０が１対のガイドレール５２に係合されると共に、基板４０の一部がボールネジ５４に螺合され、駆動手段（例えば駆動モータ）５３によってボールネジ５４が正回転、逆回転することによって、移載機１０がガイドレール５２に案内されながら往復移送されるようになされる。
【００３２】
露光ステージ部４とマスクステージ部６は、互にガイドレール５２を挟んで相対向して配設される。そして、露光ステージ部４には、基板位置合わせ機構６１が備えられ、マスクステージ部６には、マスク位置合わせ機構１２０が備えられる。
【００３３】
基板位置合わせ機構６１は、図１２及び図１３に示すように、基台６２上にマスク位置合わせ機構１２０に対して前進、後退可能に配置されたベース、即ち可動基板６３と、この可動基板６３上にその面内で軸６４を中心に旋回可能に配置された一軸制御の旋回テーブル６５と、旋回テーブル６５上に一対の固定アーム６６を介して板面が鉛直となるように支持され、且つ鉛直方向の軸線を中心に上下方向に旋回可能な露光すべきガラス基板を保持する保持板６７とから構成される。
【００３４】
可動基板６３は、ガイドレール６８に沿って駆動手段６９、例えば駆動用モータ（例えばサーボモータ）又はシリンダー等によって前進、後退できるようになされている。旋回テーブル６５は、可動基板６３上に中心部に可動基板６３と一体の旋回軸６４を係合するようにして、且つ、複数この例では４つの連結部材７５〔７５Ａ，７５Ｂ〕と、１つの駆動用モータ７０とからなる可動手段７１を介して支持される。
【００３５】
連結部材７５は、可動基板６３に対して旋回テーブル６５を支持するもので、駆動用モータ７０に連結される第１の連結部材７５Ａと、駆動用モータ７０に連結されない第２の連結部材７５Ｂの２種で形成される。之等、第１及び第２の連結部材７５Ａ及び７５Ｂは、可動基板６３と旋回テーブル６５間において、その周辺に 例えば等間隔をもって複数個、例えば四隅部に対応して４個設けられる。
【００３６】
即ち、図示の例では、可動基板６３と旋回テーブル６５間の四隅部に対応して１つの第１の連結部材７５Ａと、３つの第２の連結部材７５Ｂとが配置される（図１４参照）。
【００３７】
第１の連結部材７５Ａと第２の連結部材７５Ｂの違いは、図１７及び図１９に示すように駆動用モータと連結する連結ブロック８２の有無であり、その他の構成は同じである。
【００３８】
之等、第１及び第２の連結部材７５Ａ及び７５Ｂの高さは、共に同じ高さになるように形成される。
【００３９】
一方、駆動用モータ７０は、図１２及び図１５に示すように、可動基板６３上に固定して配され、モータ駆動軸９１にカップリング９２を介してボールネジ９３が一体に取付けられ、このボールネジ９３が連結ブロック８２の延長部８２ａに固着されたボールネジ用ナット９４に螺入される。
従って、この駆動用モータ７０を一方向又は逆方向に回転することによって、モータの駆動力がカップリング９２、ボールネジ９３、ボールネジ用ナット９４を介してモータ軸方向の動力として伝わり、連結部材７５Ａ，７５Ｂを介して旋回テーブル６５が旋回軸６４を中心に旋回する。
【００４０】
即ち、第１の連結部材７５Ａは、図１６及び図１７に示すように、ガイドレール７６及び可動ブロック７７からなる第１の直動ガイド部７８と、之に直交するように同様にガイドレール７９及び可動ブロック８０からなる第２の直動ガイド部８１とが、駆動用モータとの連結ブロック８２を介して重ね合わされ、この直動ガイド部８１上に順次連結板８３、軸８４、回転軸受、いわゆる球軸受８５及び上面抑え板８６が重ね合わされて構成される。
【００４１】
ここで、図１６に示すように、第１の直動ガイド部７８のガイドレール７６が可動基板６３に固定され、その可動ブロック７７、連結ブロック８２及び第２の直動ガイド部８１の可動ブロック７９が相互に固着される。さらに、第２の直動ガイド部８１のガイドレール８０上に連結板８３を介して軸８４が一体に取付けられ、この軸８４が球軸受８５を介して旋回テーブル６５の軸孔８７に係合される。上面抑え板８６は、軸８４及び球軸受８５の内輪を抑える。球軸受８５の外輪は下面抑え板８８で抑えられる。
【００４２】
第２の連結部材７５Ｂは、図１８及び図１９に示すように、ガイドレール７６及び可動ブロック７７からなる第１の直動ガイド部７８と、之に直交するように同様にガイドレール８０及び可動ブロック７９からなる第２の直動ガイド部８１とが重ね合わされ、この直動ガイド部８１上に順次連結板８３、軸８４、球軸受８５及び上面抑え板８６が重ね合わされて構成される。
【００４３】
この第２の連結部材７５Ｂも、第１の連結部材７５Ａと同様に、第１の直動ガイド部７８のガイドレール７６が可動基板６３に固定され、その可動ブロック７７及び第２の直動ガイド部８１の可動ブロック７９が互に固着される。さらに、第２の直動ガイド部８１のガイドレール８０上に連結板８３を介して軸８４が一体に取付けられ、この軸８４が球軸受８５を介して旋回テーブル８６の軸孔８７に係合される。そして上面抑え板８６によって軸８４及び球軸受８５の内輪が抑えられ、下面抑え板８８によって球軸受８５の外輪が抑えられる。
【００４４】
一対の固定アーム６６はＬ字状をなし、その一端が旋回テーブル６５に固着され、他端がガラス基板２を保持する保持板６７に旋回軸８９を介して取付けられる。
【００４５】
旋回軸８９は、旋回テーブル６５の板面に平行して設けられ、従って鉛直に配された保持板６７はこの旋回軸８９を中心に上向き又は下向きに旋回するようになされる。
【００４６】
一方、保持板６７の下端には、ガイドレール９６と可動ブロック９７からなる直動ガイド部９８が、そのガイドレール９６を鉛直方向に沿って固定するように取付けられ、可動ブロック９７が球面ジョイント部９９を介して連結ブロック１００に取付けられる。
【００４７】
そして、旋回テーブル６５上に固定して配した駆動用モータ１０１の駆動軸１０２にカップリング１０３を介してボールネジ１０４が一体に取付けられ、このボールネジ１０４が連結ブロック１００に固着されたボールネジ用ナット１０５に螺入される。
【００４８】
この駆動用モータ１０１を正回転、逆回転させることによって、ボールネジ１０４、ナット１０５、連結ブロック１００、球面ジョイント９９及び直動ガイド部９８を介して保持板６７の下端が前進、後退し、結果として保持板６７が旋回軸８９を中心に上下方向に旋回する。
【００４９】
保持板６７は、図２０に示すように、全体が多孔質材よりなる四角形状の吸着プレートで形成され、４つの側辺には、ガラス基板２の側面に当接してガラス基板２を吸着プレートによる保持板６７側に押付けるフック部１１０が設けられる。
このフック部１１０は、両端が反対方向に直角に折曲されたような形状をなし、その一端にガラス基板２の側面に当接する先端テーパ状の当接部１１１が形成されると共に、他端側の折曲部が回動自在に軸１１２に取付けられ、他端にシリンダ１１３が連結されて構成される。
シリンダ１１３を前進させることによりフック部１１０は軸１１２を中心に回動して先端当接部１１１がガラス基板２の側面に当接し、テーパ部を介してガラス基板２を保持板６７側に引き込み、シリンダ１１３を後退させることによってフック部１１０が軸１１２を中心に逆回転して先端当接部１１１がガラス基板２から離れるようになされる。
従って、ガラス基板２は保持板６７による吸着とフック部１１０によって保持される。
【００５０】
ガラス基板２は、基板移載機１０とこの基板位置合わせ機構６１の保持板６７との間で受け渡されるようになされる。ここで、基板移載機１０のチャック部４３，４６，４７と、露光ステージ部４における基板位置合わせ機構６１の保持板６７及びフック部１１０とによって、移載機１０と露光ステージ部４間で露光前又は露光後のガラス基板２を受け渡すための受け渡し機構が構成される。
【００５１】
この基板位置合わせ機構４１は、次のように動作する。
【００５２】
後述するように、保持板６７に基板移載機１０からの露光されるべきガラス基板２を受け渡され保持した後、シリンダー６９により、基台６２上の可動基板６３をマスク５側に所望の位置まで前進させる。
そして、可動基板６３上の駆動用モータ７０を駆動することにより、旋回テーブル６５が旋回軸６４を中心に旋回し、保持板６７を左右方向に旋回させることができる。
また、旋回テーブル６５上の駆動用モータ１０１を駆動することによって保持板６７は旋回軸８９を中心に上下方向に旋回する。
従って、保持板６７に保持された露光すべきガラス基板２を露光マスク５に対して位置合わせすることができる。
【００５３】
この基板位置合わせ機構６１では、可動基板６３と旋回テーブル６５間が直動ガイド部７８，８１、軸８４、球軸受８５を積み重ねてなる第２の連結部材７５Ｂと、直動ガイド部７８，８１、連結ブロック８２、軸８４、球軸受８５で積み重ねてなる第１の連結部材７５Ａにて連結された構成とすることにより、容易に精度の高い旋回テーブル６５を実現できる。
【００５４】
また、旋回させる構造物（即ち旋回テーブル６５、保持板６７等）の荷重を旋回軸６４以外の連結部材７５Ａ及び７５Ｂに分散させることができるので、各部にかかる荷重を低減でき、可動部を小型化することができる。
従って、構造が簡単化、軽量化され、大型化が容易となる。
【００５５】
マスク位置合わせ機構１２０は、図２１及び図２２に示すように、露光光源７からの露光光が透過する開口部１２１を中央に有した例えば四角形状の固定基板１２２と、この固定基板１２２の形状に対応して四角形状をなし、固定基板１２２の板面上に複数の連結部材７５〔７５Ａ，７５Ｂ〕及び鉛直駆動用モータ１２４、水平駆動用モータ１２５からなる可動手段１２６を介して配置された可動テーブル、即ち露光マスク５を保持する１つの可動テーブル１２７とから成る。
【００５６】
可動テーブル１２７には、固定基板１２２の開口部１２１に対応する位置に、同じ形状、大きさの露光光を透過する開口部１２８が形成され、露光マスク５はこの開口部１２８を塞ぐように可動テーブル１２８に保持される。露光マスク５の可動テーブル１２８への保持方法は後述する。
【００５７】
固定基板１２２は、その板面が鉛直となるように固定部材１２９に対し縦に固定される。従って、露光マスク５を保持した可動テーブル１２７も、固定基板１２２の板面に沿うように縦に配置される。
【００５８】
連結部材７５〔７５Ａ，７５Ｂ〕は、前述と同様の構成をとり、固定基板１２２に対して可動テーブル１２７を支持するもので、鉛直駆動用モータ１２４及び水平駆動用モータ１２５に連結される第１の連結部材７５Ａと、之等駆動用モータ１２４，１２５に連結されない第２の連結部材７５Ｂで形成される。之等、第１及び第２の連結部材７５Ａ及び７５Ｂは、固定基板１２２と可動テーブル１２７間において、その周辺に例えば等間隔をもって複数個、例えば８個設けられる。
【００５９】
即ち、第１の連結部材７５Ａは、開口部１２１及び１２８を挟んで相対向する両側辺に夫々１つずつと、下側辺に１つの合計３個設けられる。残りの５個の第２の連結部材７５Ｂは、周辺に設けられる。
【００６０】
鉛直駆動用モータ１２４は、図２１に示すように、夫々固定基板１２２上の両側辺に固定して配され、夫々モータ駆動軸９１にカップリング９２を介してボールネジ９３が一体に取付けられ、このボールネジ９３が連結ブロック８２の延長部８２ａに固着されたボールネジ用ナット９４に螺入される。
従って、この鉛直駆動用モータ１２４を駆動することによって、モータの駆動力がカップリング９２、ボールネジ９３、ボールネジ用ナット９４を介して鉛直方向の動力として伝わり、連結部材７５Ａ，７５Ｂを介して可動テーブル１２７が鉛直方向に移動する。
【００６１】
水平駆動用モータ１２５は、図２１に示すように、固定基板１２２上に下側辺に固定して配される。そして同様に、モータ駆動軸９１にカップリング９２を介してボールネジ９３が一体に取付けられ、このボールネジ９３が連結ブロック８２の延長部８２ａに固着されたボールネジ用ナット９４に螺入される。
【００６２】
従って、この水平駆動用モータ１２５を駆動することによって、モータの駆動力がカップリング９２、ボールネジ９３、ボールネジ用ナット９４を介して水平方向の動力として伝わり、連結部材７５Ａ，７５Ｂを介して可動テーブル１２７が水平方向に移動する。
【００６３】
このマスク位置合わせ機構１は、次のように動作する。
【００６４】
先ず、左右の鉛直駆動用モータ１２４を共に同方向に回転させると、モータ１２４の回転は、ボールネジ９３及びナット９４を介して鉛直方向（即ち上下方向）の動きに変換され、第１及び第２の連結部材７５Ａ及び７５Ｂの夫々の鉛直方向の直動ガイド部〔７８又は８１〕が動作し、露光マスク５を保持した可動テーブル１２７が上下方向に移動調整される。
【００６５】
次に、２つの鉛直駆動用モータ１２４を停止させ、１つの水平駆動用モータ１２５のみを回転させると、第１及び第２の連結部材７５Ａ及び７５Ｂの夫々の水平方向の直動ガイド部〔８１又は７８〕が動作し、露光マスク５を保持した可動テーブル１２７が左右方向に移動調整される。
【００６６】
次に、左右の鉛直駆動用モータ１２４を互に逆向きに駆動させ、例えば図２１において左側の鉛直駆動用モータ１２４を可動テーブル１２７が上向きに移動するような駆動とし、右側の鉛直駆動用モータ１２４を可動テーブル１２７が下向きに移動するような駆動とし、更に、水平駆動用モータ１２５を可動テーブル１２７が左側に移動するような駆動とすると、可動テーブル１２７は、テーブル中心に対して時計方向に回転する。但し、両モータ１２４及び１２５の駆動量は、テーブル中心に対し、テーブルの回転速度が同じとなるようにテーブル中心からの距離に応じた比率にする。
【００６７】
この可動テーブル１２７の回転の際、可動テーブル１２７の連結部材７５Ａ及び７５Ｂは、上側の直動ガイド部８１と軸８４及び球軸受８５を介して可動テーブル１２７に係合しているので、モータ１２４及び１２５の駆動方向と直角方向にテーブル１２７の連結部材７５Ａ，７５Ｂとの係合部が回転可能となり、かつ逃げることができ、上記の回転が可能になる。
即ち、直動ガイド部７８，８１と、球軸受８５との共働でテーブル１２７の回転が可能となる。
【００６８】
従って、モータ１２４及び１２５を選択して駆動することにより、可動テーブル１２７を移動し、露光マスク５の鉛直方向、水平方向及び回転方向の位置合わせを行なうことができる。
【００６９】
このマスク位置合わせ機構１２０では、露光マスク５を位置合わせする可動テーブル１２７が１枚で実現できるため、構造が簡単化、軽量化され、大型化が容易となる。
そして、露光マスク５が直立、即ち縦型に配置されるので、露光時にごみの付着による影響が少ない。
【００７０】
また、露光マスク５が縦型に配置されるので、大型の露光マスク５の場合でも露光マスク５の自重によるたわみの影響が回避され、露光精度が低下することがない。また、たわみを補正する補正機構も不要となる。
【００７１】
大きな開口部１２８を有したまま、可動テーブル１２７をテーブル中心を回転中心として可動できるので、従来のような回転位置合わせの際の水平、鉛直方向の補正が不要になる。このため、可動部の範囲を狭くすることが可能になり、可動部の小型化が容易となる。また複数の連結部材７５Ａ，７５Ｂで荷重を支えるので、荷重が分散され、可動部の小型化が容易となる。
【００７２】
一方、図８に示すように、露光マスク５をマスクステージ部６に配置する場合、或はマスクステージ部６の露光マスク５を他の露光マスクに交換する場合等に用いられるマスク移載機１３０が設けられる。
このマスク移載機１３０は、露光マスク５を着脱可能に保持するためのマスク保持部材１３１を保持して露光マスク５を供給する位置、もしくは露光マスク５を交換する位置（本例ではローダ部側の位置）とマスクステージ部６間を往復動するように構成される。
【００７３】
このマスク移載機１３０は、基板移載機１０とは別個に設置することも可能であるが、本実施の形態では、特に、マスク移載機１３０と基板移載機１０とを兼用させた移載機２００として一体に構成される。即ち、マスク移載機１３０は、図８及び図９に示すように、前述のＵ字型の支持体４１に、後述する露光マスク５を保持するための枠状のマスク保持部材１３１が把持される対の下側チャック部１３４、左チャック部１３５及び右チャック部１３６を設けて構成される。
【００７４】
対の下側チャック部１３４は、夫々シリンダ１３７により上下動するように配され、マスク保持部材１３１の下側辺を把持するものである。左チャック部１３５は、シリンダ１３８により左右方向に動きうるように配され、マスク保持部材１３１の左側辺を把持するものである。右チャック部１３６は、シリンダ１３９により左右方向に動きうるように配され、マスク保持部材１３１の右側辺を把持するものである。各シリンダ１３７，１３８，１３９は、夫々取付プレート１４２，１４３，１４４を介して支持体４１に取付けられる。
【００７５】
さらに、マスク移載機１３０では、図９に示すように、支持体４１と一体の基板４０が移送方向Ａと直交する方向Ｂに延びるガイドレール１４９に係合され、内蔵シリンダ（図示せず）によりガイドレール１４９に沿って支持体４１が方向Ｂに、即ちマスクステージ部６に対して前進、後退できるように構成される。
【００７６】
基板移載機１０とマスク移載機１２０を一体化させた移載機２００では、図７に示すように、支持体４１を共通としてその露光ステージ部４側にチャック部４３，４６，４７を有する基板移載機１０を形成し、マスクステージ部６側にチャック部１３４，１３５，１３６を有するマスク移載機１３０を形成して構成される。
【００７７】
枠状のマスク保持部材１３１は、例えば鋼材等により堅牢に作られ、マスク移載機１３０に対して鉛直状態、即ち直立状態で保持される。マスク保持部材１３１の露光マスク５を保持する面上には、露光マスク５の３ヶ所の側面に当接して露光マスク５を位置決めするための位置決めピン１４６が設けられると共に、マスク保持部材１３１の複数個所、例えば上下２ヶ所づつに露光マスク５をマスク保持部材１３１に保持するための保持手段、例えばトグルクランプ１４７が設けられる。
【００７８】
マスク保持部材１３１は、マスク移載機１３０のチャック部１３４，１３５及び１３６に把持された状態にあり、このマスク保持部材１３１に対して人手によって露光マスク５を位置決めピン１４６に突き当てて位置決めし、その状態でトグルクランプ１４７にて保持するようになされる。
【００７９】
マスク移載機１３０にてマスクステージ部６に移送された露光マスク５は、マスク保持部材１３１ごとマスク位置合わせ機構１２０の可動テーブル１２７に受け渡される。
このため、図１０に示すように、マスク位置合わせ機構１２０の可動テーブル１２７の面には周囲３ヶ所において、マスク保持部材１３１の側面に当接してマスク保持部材１３１の位置決めを行うための位置決めピン１５０が設けられると共に、可動テーブル１２７の複数個所、本例では上下６ヶ所にマスク保持部材１３１を保持するための保持手段、例えば回転と下降を同時に行って保持する例えばロータリクランプ等によるマスクホルダークランプ１５１が設けられる。
【００８０】
マスク保持部材１３１においては、図１０及び図１１に示すようにマスクホルダークランプ１５１に対応する位置に切欠き１３１ａが形成され、この切欠き１３１ａを塞ぐようにマスク保持部材１３１の片面に座板１５３を一体に取付ける。そして、この座板１５３をマスクホルダークランプ１５１と可動テーブル１２７で挟持的に保持することによって露光マスク５を保持したマスク保持部材１３１をマスク位置決め機構１２０側の可動テーブル１２７上に支持するようになす。
【００８１】
ここで、マスク移載機１３０のチャック部１３４，１３５，１３６と、マスクステージ部６におけるマスク位置合わせ機構１２０の可動テーブル６５及びマスクホルダークランプ１５１とによって、移載機１３０とマスクステージ部６間で露光マスク５を受け渡すための受け渡し機構が構成される。
【００８２】
次に、上述の縦型露光装置１の動作を説明する。
先ず、露光マスク５を配置する際は、移載機２００が例えばローダ部９側に待機される。このとき、移載機２００のマスク移載機１３０にはチャック部１３４，１３５及び１３６によって枠状のマスク保持部材１３１が保持された状態にある。マスク保持部材１３１は、いわゆる通い箱の機能をもたせており、マスク移載機１３０に保持されてローダ部３の位置（即ち露光マスク５を供給又は交換する位置）とマスクステージ部６間を往復し、外部に取り出されることはない。
移載機２００がローダ部３に対応する位置に待機された状態で人手によって露光マスク５を、移載機２００のマスク移載機１３０上のマスク保持部材１３１に保持する。即ち、マスク保持部材１３１の一方の面に露光マスク５を位置決めピン１４６を介して位置決めし、その状態でトグルクランプ１４７にて露光マスク５をマスク保持部材１３１に保持する。
【００８３】
次に、駆動手段５３によってボールネジ５４を正回転することによって移載機２００がマスクステージ部５（図８のいわゆる露光位置）に移送される。移載機２００は、このマスクステージ部５の位置に移送されると、内蔵シリンダ（図示せず）が駆動して、移載機２００の支持体４１及び基板４０をガイドレール１４９に沿ってマスクステージ部６側に前進させ露光マスク５を保持したマスク保持部材１３１をマスク位置合わせ機構１２０の可動テーブル１２７に当接する（図９参照）。
【００８４】
マスク保持部材１３１は、可動テーブル１２７上の位置決めピン１５０に突き当てられ位置決めされた後、可動テーブル１２７側のマスクホルダークランプ１５１が駆動してマスク保持部材１３１を可動テーブル１２７に保持する。
【００８５】
次いで、移載機２００のシリンダ１３７，１３８及び１３９が後退しチャック部１３４，１３５及び１３６のマスク保持部材１３１に対する保持が解除される。これにより露光マスク５はマスク保持部材１３１に保持された状態で移載機２００からマスク位置合わせ機構１２０の可動テーブル１２７へ受け渡される。露光マスク５がマスク保持部材１３１ごと可動テーブル１２７へ受け渡された後は、移載機２００はボールネジ５４の逆回転でローダ部３に対応する位置に戻る。
マスク位置合わせ機構１２０では、露光マスク５の位置調整が行われる。
【００８６】
次に、露光されるべき基板、即ち一面にフォトレジスト膜を塗布したガラス基板２が、そのフォトレジスト膜を上向きにして平置き状態でローダ部３に搬入され、搬送コンベア１１にて所定位置まで搬送される。ガラス基板２は、所定位置、即ち、基板姿勢変換機構２０上の位置まで搬送されると、位置決めストッパ１５に当接して停止される。
【００８７】
次いで、シリンダ３７が駆動し、吸着パッド取付部材２２と共に吸着パッド２２が上昇し、ガラス基板２を搬送コンベア１１から上方に離れた位置ａにおいて支持する（図４参照）。ガラス基板２は、自重で各吸着パッド２２に均等に当接し、真空吸引されて基板姿勢変換機構２０に支持される。
【００８８】
次に、反転用シリンダ３０が駆動し、軸２８を中心に反転プレート２４が９０°回動することによって、ガラス基板２は平置き状態から直立状態に変換される（図４参照）。さらに、シリンダ３７が駆動し、吸着パッド２２と共にガラス基板２は移載機２００の基板移載機１０の位置まで前進する。
【００８９】
基板移載機１０では、各シリンダ４２，４４及び４５が駆動し、各チャック部４３，４６及び４７にてガラス基板２の下側辺、左右両側辺を把持してガラス基板２を保持する。この状態で、基板姿勢変換機構２０側の吸着パッド２２の真空吸着が解除され、シリンダ３４が後退し、さらに反転用シリンダ３０が後退して反転プレート２４が逆転され、吸着パッド取付部材２３が水平状態となる元位置に戻され、基体姿勢変換機構２０は待機状態となる。
【００９０】
ガラス基板２を受け渡された移載機２００は、駆動手段５３によるボールネジ５４の正回転でガイドレール５２に案内されながら露光ステージ部４に移送される。移載機２００が露光ステージ部４に到達すると、ガラス基板２のフォトレジスト膜が塗布されていない裏面から基板位置合わせ機構６１の保持板６７が移動してガラス基板２の裏面に当接すると共に、フック部１１０が動作してガラス基板２を保持板６７に密着させる。この状態で吸引動作して多孔質プレートによる保持板６７にガラス基板２を吸着させ、保持板６７にガラス基板２を保持させる（図２３参照）。
【００９１】
その後、移載機２００の基板移載機１０の各シリンダ４２，４４，４５が後退し、ガラス基板２からチャック部４３，４６，４７を解放させる。これによって基板移載機１０から基板位置合わせ機構６１へのガラス基板２の受け渡しが行われる。
【００９２】
次に、移載機２００は、移動せずそのままの位置に置かれる。この状態で基板位置合わせ機構６１の保持板６７がさらに前進し、ガラス基板２が露光マスク５と対向する露光位置に移動される（図２４参照）。露光マスク５に対するガラス基板２の位置合わせは、基板位置合わせ機構６１により行われる。
【００９３】
そして、紫外線光源７によりガラス基板２のフォトレジスト膜を露光マスク５のパターンに露光する。
露光終了後は、逆の動作が行われ、ガラス基板２が基板位置合わせ機構６１から移載機２００の基板移載機１０に受け渡される。
即ち、基板位置合わせ機構６１の保持板６７が後退してガラス基板２を基板移載機１０の位置に持ち来し、チャック部４３，４６，４７でガラス基板２を保持する。保持板６７での真空吸着が解除され、フック部１１０がガラス基板２より離れて保持板６７によるガラス基板２の保持が解除される。これによって、基板位置決め機構６１の保持板６７から基板移載機１０に露光後のガラス基板２が受け渡される。受け渡しが終った後、保持板６７はさらに後退して元位置に戻る。
【００９４】
次いで、露光後のガラス基板２を保持した移載機２００はアンローダ部９へ移送される。アンローダ部９では、基板姿勢変換機構２０がローダ部３と逆の動作をして、直立姿勢のガラス基板２を移載機２００から受け取って後、反転プレート２４の９０°反転によってガラス基板２を水平姿勢にし、搬送コンベア１１上に平置き状態で載置する。露光後のガラス基板２は搬送コンベア１１にて搬送され、次工程に送られる。
移載機２００はローダ部３側に戻り、次の露光されるべきガラス基板２の移送に備える。
【００９５】
一方、露光マスク５を他の露光マスクに交換するときは、移載機２００がマスクステージ部６に移動し、前述の露光マスク５を配置するときは逆の動作を行い、マスクステージ部から移載機２００のマスク移載機１３０にマスク保持部材１３１と共に露光マスク５を受け渡し、露光マスク５を保持したマスク保持部材１３１を移載機２００によってローダ部３側に持ち来す。そして、このマスク交換位置で露光マスク５のみを取り外し、他の露光マスク５を移載機２００におけるマスク移載機１３０上のマスク保持部材１３１に取付けて、再びマスクステージ部６へ移送してマスク位置合わせ機構１２０の可動テーブル１２７上にマスク保持部材１３１ごと受け渡すようになす。
【００９６】
一方、図２５及び図２６に示すように、露光ステージ部４及びマスクステージ部６を含む露光部１６０では、之に隣接して露光部１６０の温度を調節する温度調節クリーンユニット１６１が設けられる。
【００９７】
即ち、露光部１６０の側面に温度調節クリーンユニット１６１が配置され、露光部１６０の上に温度調節クリーンユニット１６１により温度制御された例えば空気の気体を露光部１６０内に送り込む吹き出し口１６２が設けられる。
気体の吹き出し口１６２内には、図示しないが例えばクリーンルームに用いられるＨＥＰＡフィルター等のフィルターを配して、露光部１６０内に埃や塵が侵入しないようにしている。
【００９８】
吹き出し口１６２から供給する温度制御された気体１６３には、通常は空気を用いる。
尚、温度制御された気体として窒素やその他不活性ガスを用いて、レジストの露光以外の反応を防止することも可能である。
【００９９】
そして、図２６に示すように、基板位置合わせ機構６１に保持されたガラス基板２に露光を行うための露光マスク５は、マスク保持部材１３１にセットされ、マスク保持部材１３１ごとマスク位置合わせ機構１２０に固定されて、吹き出し口１６２の真下に配置される。
露光部１６０内の吹き出し口１６２の直下には、整流用の仕切り板１６４が設けられ、吹き出し口１６２からの気体が集中的に露光マスク５に当たるようにしている。
【０１００】
また、マスク位置合わせ機構１２０の後方には、非接触の温度センサ１６５が設けられる。
この温度センサ１６５は、例えば赤外温度センサ等を用いて、露光マスク５の有効領域、即ち光源部８からの紫外線ＵＶが照射されて露光がなされる領域の温度を非接触で直接測定することができるようにする。
そして、温度センサ１６５の測定結果を、温度調節クリーンユニット１６１にフィードバックして温度制御を行うように、図示しないが信号伝達手段や信号処理手段が設けられる。
【０１０１】
この露光部１６０では露光に際して、まず、非接触の温度センサ１６５で露光マスク５の有効領域の温度を測定し、温度調節クリーンユニット１６１へ測定結果をフィードバックする。
測定温度に応じて、温度が設定温度となるように、温度調節された気体（空気）１６３がＨＥＰＡフィルターを通して吹き出し口１６２よりダウンブローされる。
吹き出し口１６２からダウンブローされた気体１６３は、仕切り板１６４で整流され、露光マスク５に向かう。
以上の工程の繰り返しにより、露光マスク５の有効領域温度は一定に保たれる。
【０１０２】
また、ガラス基板２は、露光時においては、露光マスク５の近傍に対向して配置されるため、基板２も露光マスク５と同様に、吹き出し口１６２からの気体１６３による温度制御の範囲内にある。
従って、露光される基板２も、露光マスク５と同様に温度制御がなされる。
【０１０３】
尚、露光部１６０内は、通常室温例えば２５℃に保たれる。
本実施の形態において、温度調節クリーンユニット１６１による温度制御は、好ましくは室温±０．５℃以内の範囲とし、例えば２４．５〜２５．５℃に保たれるようにする。
【０１０４】
この露光部１６０によれば、露光マスク５の有効領域の温度制御を的確に行って、温度変化によるマスクずれ等を防止して精度の良好な露光を行うことができる。
【０１０５】
ところで、特に露光マスク及びガラス基板の主面を鉛直に配置する縦型の構成の露光装置としたときには、従来の温度調整、例えば露光部全体を温度制御する方法では、露光部の匡体から露光マスクまでの距離が長くなるため、露光マスクの有効領域の温度調節を的確に行うことが難しい。
【０１０６】
これに対して、上述のように非接触の温度センサ１６５によって露光マスク５の有効領域の温度を検出した信号を基に温度調節を行うようにすれば、露光マスク５の有効領域の温度制御をより的確に行うことができる。
また、露光部１６０全体を温度管理する必要がないので、温度調節設備及び温度調節の小容量化が可能である。そのため設備費や維持費、消費電力等の低減を図ることができる。
【０１０７】
また、縦型露光装置においては、基板や露光マスクが直立しているために、構造的にダウンブローでは基板や露光マスクに気体が当たりにくい。
【０１０８】
これに対して、本実施の形態では、さらに吹き出し口１６２の近傍に仕切り板１６４を設けることにより、吹き出し口１６４からの気体１６３を整流させて、基板２や露光マスク５に集中的に気体１６３を当てることができ、露光部１６０全体を温度制御するよりも基板２及び露光マスク５の有効領域をより的確に追従性良く温度制御することができる。
【０１０９】
上述の実施の形態に係る縦型露光装置１によれば、ローダ部３、露光ステージ部４、マスクステージ部６、アンローダ部９及び移載機２００を夫々ユニット化し、露光されるべきガラス基板２及び露光マスク５の位置調整のための調整機構、いわゆる位置合わせ機構を夫々分離し、露光ステージ部４に基板位置合わせ機構６１を配置し、マスクステージ部６にマスク位置合わせ機構１２０を配置して構成することにより、夫々の位置合わせ機構６１及び１２０の軽量化を図ることができ、誤差の累積を減らして位置調整の高精度化を図ることができる。
【０１１０】
また、各位置合わせ機構６１及び１２０の構造が簡素になるためメンテナンス性を向上することができる。
また、基板位置合わせ機構６１及びマスク位置合わせ機構１２０の機能分離で夫々の機構の軽量化により使用される駆動モータ等の小型化が可能になる。従って、縦型露光装置１を安価に提供できる。
【０１１１】
ガラス基板２の搬送機構と露光ステージ部４が分離され、即ち、ローダ部３、アンローダ部９、移載機２００と露光ステージ部４とが分離されることにより、露光ステージ部４の軽量化が図られ、露光装置の縦型化が容易に達成することができる。
各部がユニット化され、構造が簡素化されるので、縦型露光装置１のメンテナンス性を向上することができる。
【０１１２】
ローダ部３及びアンローダ部９の夫々に、移載機２００との間で露光前又は露光後のガラス基板２の姿勢を変換するための基板姿勢変換機構２０を設け、ローダ部３及びアンローダ部９ではガラス基板２を平置き状態とし、移載機２００ではガラス基板２を直立状態で移送するように構成するので、縦型露光装置の実現化を可能にし、また露光装置の省スペース化を可能にする。
【０１１３】
移載機２００の基板移載機１０によって、ガラス基板２を直立した姿勢で移送するので、ガラス基板２にごみが付着しにくい。
また、ガラス基板２にたわみが生じにくい。このため、ガラス基板２を大型化した場合でも移送途中の基板破損の心配がなくなる。
【０１１４】
ガラス基板２を直立した姿勢で移送するので、平置き状態で移送するのに比べて移送スペースが小さくでき、省スペース化が図れる。
移載機２００によるガラス基板２の保持は、ガラス基板の３辺をチャック部４３，４６，４７で把持して行われるので、ガラス基板２に触れる部分を最小とすることができ、ごみが付着しにくくなる。
【０１１５】
基板姿勢変換機構２０では、ガラス基板２の例えばフォトレジスト膜を有する処理面（作業面）と反対側の裏面を真空保持して姿勢変換するように構成するので、処理面を汚すことなく姿勢変換することができる。
【０１１６】
ローダ部３及びアンローダ部９の搬送コンベア１１において、そのガラス基板２と接触する搬送用ローラ１３、ガイドローラ１４及び受けローラ１６を導電性部材で形成することにより、摩擦によってローラ１３，１４，１６及びガラス基板２に静電気が帯電するのを防ぐことができ、従って、ガラス基板２、ローラ１３，１４，１６へのごみ、ほこりの付着を防ぐことができる。また火花発生を防ぐことができる。
【０１１７】
移載機２００のマスク移載機１３０においては、枠状のマスク保持部材１３１をマスク移載機１３０に保持した状態でマスク供給（交換）位置とマスクステージ部６間を往復するようにしている。そして、露光マスク５の供給、交換に際しては、マスク保持部材１３１がマスク移載機１３０に保持された状態で露光マスク５のみを人手によってマスク保持部材１３１に取付け、取り外しするようにしている。このため、露光マスクが大型化されても、マスク保持部材１３１の重量が加わらない分、人手によるマスク供給、マスク交換等が容易となる。
【０１１８】
また、露光マスク５の移送時及びマスクステージ部６へのセット時には、マスク保持部材１３１を介してなされるので、露光マスク５は破損しにくいものである。
【０１１９】
露光マスク５もガラス基板２と同様にマスク移載機１２０によって直立状態で移送されるので、大型化されても露光マスクのたわみがなく、ごみ等の付着も生じにくい。
【０１２０】
ガラス基板２を移送する基板移載機１０と、露光マスク５を移送するマスク移載機１３０とを１つの移載機２００にて兼用するように構成することにより、露光装置１の構造の簡素化が図られる。
【０１２１】
従って、本実施の形態の縦型露光装置１においては、高精度の露光を行うことができる。
尚、上述の実施の形態では、露光マスク５のマスク保持部材１３１とマスク移載機１２０とからなるマスク搬送機構を縦型露光装置に適用した場合であるが、その他、このような通い箱としての機能を有するマスク保持部材と、之を保持してマスク供給もしくは交換位置と露光部との間で往復動する移載機とからなるマスク搬送機構は、平置き型露光装置にも適用することができる。
【０１２２】
【発明の効果】
本発明に係る露光装置によれば、露光マスクの交換時には、マスク保持部材が移載機に保持された状態でマスク保持部材より露光マスクのみを人手によって取り外し、別の露光マスクのみを取り付けるようにした構成であるので、露光マスクが大型化されても、マスク保持部材の重量が加わらない分、人手によるマスク交換を容易に行うことができる。
【０１２３】
また、露光マスクの移送時及び露光マスクの露光部への受け渡し時には、露光マスクがマスク保持部材にて保護されているので、露光マスクの破損の心配はない。
【０１２４】
また、露光マスクの移送時及び露光マスクの露光部への受け渡し時に、露光マスクを直立状態でマスク保持部材に保持するように構成したときは、縦型露光装置の実現化を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る露光装置の平面レイアウト図である。
【図２】図１の露光装置のローダ部の平面図である。
【図３】図１の露光装置のローダ部の側面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る露光装置における基板姿勢変換機構の構成図である。
【図５】基板姿勢変換機構における吸着パッドの構成図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る露光装置の基板移載機の構成図である。
【図７】基板移載機とマスク移載機を兼ねるように一体化した移載機の構成図である。
【図８】本発明の一実施の形態に係る露光装置のマスク移載機の構成図である。
【図９】マスク移載機の動作説明図である。
【図１０】露光マスクを保持するマスク保持部材の構成図である。
【図１１】マスク保持部材の要部の断面図である。
【図１２】本発明の一実施の形態に係る露光装置の基板位置合わせ機構の斜視図である。
【図１３】図１２の基板位置合わせ機構の側面図である。
【図１４】図１２の要部の平面図である。
【図１５】図１４の要部の拡大図である。
【図１６】図１５のＡ−ａ線上の断面図である。
【図１７】第１の連結部材の分解斜視図である。
【図１８】図１４のＢ−Ｂ線上の断面図である。
【図１９】第２の連結部材の分解斜視図である。
【図２０】基板位置合わせ機構の保持板の構成図である。
【図２１】本発明の一実施の形態に係る露光装置のマスク位置合わせ機構の平面図である。
【図２２】マスク位置合わせ機構の側面図である。
【図２３】本発明の一実施の形態の露光装置の動作説明に供する説明図である。
【図２４】本発明の一実施の形態の露光装置の動作説明に供する説明図である。
【図２５】本発明の一実施の形態に係る露光装置の全体の模式図である。
【図２６】本発明の一実施の形態に係る露光装置の露光部の構成図である。
【符号の説明】
１‥‥縦型露光装置、２‥‥露光される基板、３‥‥ローダ部、４‥‥露光ステージ、５‥‥露光マスク、６‥‥マスクステージ部、７‥‥紫外線光源、８‥‥光源部、９‥‥アンローダ部、１０‥‥基板移載機、１３０‥‥マスク移載機、１３１‥‥マスク保持部材、２００‥‥移載機、１１‥‥搬送コンベア、１３‥‥搬送用ローラ、１４‥‥ガイドローラ、１６‥‥受けローラ、２０‥‥基板姿勢変換機構、６１‥‥基板位置合わせ機構、１２０‥‥マスク位置合わせ機構

Claims (2)

1. 個別の露光マスクを選択的に着脱可能に保持しうる１個のマスク保持部材と、
   前記マスク保持部材を、前記マスク保持部材に対して前記露光マスクを交換するマスク交換位置と露光部の位置との間で往復移送するための移載機と、
   前記露光マスクを保持した前記マスク保持部材が前記露光部の位置で受け渡されるマスク位置合わせ機構を備え、
   前記マスク保持部材は、枠状をなして前記露光マスクを位置決めし保持する位置決め・保持手段とを有し、
   前記移載機は、前記露光マスクが直立状態で前記マスク保持部材を周辺の複数箇所で着脱可能に保持する保持手段を有したＵ字型の支持体と、前記支持体の露光マスク面と垂直方向への移動、および前記支持体の前記マスク交換位置と露光部の位置との間の移送を可能にする移動手段とを有し、
   前記マスク位置合わせ機構は、露光マスクが臨む開口を有する固定基板と、固定基板上に前記露光マスクが臨む開口を有し、固定基板に対して、面内位置制御機構を介して取付けられ、前記マスク保持部材を保持できる可動テーブルとを有し、
   前記マスク交換位置で前記露光マスクを前記移載機上の前記マスク保持部材に保持し、
   前記露光部の位置で前記マスク保持部材ごと前記露光マスクを前記マスク位置合わせ機構に受け渡されて成る
   ことを特徴とする露光装置。
2. 前記移載機は、前記支持体の露光部と対向する側に前記マスク保持部材を直立状態で保持する第１の保持手段が設けられ、露光部と対向する側とは反対側に露光されるべき基板を直立状態で保持する第２の保持手段が設けられて成る
   ことを特徴とする請求項１記載の露光装置。

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