JPH11109645A - 密着式露光装置のマスク密着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】マスクの全面密着まで短時間に完了し、露光の
サイクルタイムの短縮を図れる密着式露光装置のマスク
密着方法を提供することにある。 【解決手段】マスク保持枠６ａ，６ｂに保持されたガラ
スマスク３ａ，３ｂを対向する被露光部材２に密着する
密着式露光装置のマスク密着方法において、前記ガラス
マスク３ａの中央部と被露光部材２との隙間が小さくな
るようにマスク保持枠６ａを弾性変形した後、前記ガラ
スマスク３ａと被露光部材２との間の隙間を真空吸引
し、前記ガラスマスク３ａ，３ｂと前記被露光部材２と
の密着が開始した後、マスク保持枠６ａの弾性変形を解
除することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、被露光部材にマ
スクを密着してマスクのパターンを露光する密着式露光
装置のマスク密着方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】高精細なテレビシャドウマスクやＩＣリ
ードフレーム等を大量生産するための露光装置として、
フープ状に巻回された薄い鋼板等のシート状の被露光部
材を露光部に所定量ずつ送り出しながら順次マスクのパ
ターンを露光する露光装置が知られている。また、この
種の露光装置として、被露光部材の両面に同時に露光す
る両面露光装置も知られている。

【０００３】図７は、従来の両面密着式露光装置の概略
的構成を示すもので、表側と裏側の露光部１ａ，１ｂ
（以下、数字に添えた「ａ」は表側、「ｂ」は裏側を示
すものとする）が被露光部材２を介して対向するように
配置されており、露光時には、これら露光部１ａ，１ｂ
がそれぞれ被露光部材２の方向（Ｚ軸方向）へ移動さ
れ、各露光部１ａ，１ｂに取付けられたガラスマスク３
ａ，３ｂが被露光部材２にそれぞれ密着された状態で露
光が行われる。ガラスマスク３ａ，３ｂは、その外周縁
部が真空引きによってマスク保持枠６ａ，６ｂに着脱自
在に取付けられている。このマスク保持枠６ａ，６ｂは
アライメント機構（図示しない）によりマスク支持機構
に支持されている。ガラスマスク３ａ，３ｂは、例えば
板厚５ｍｍ程度で、サイズは、大型のものでは２４イン
チ×３２インチや４３インチ×３２インチなどのものが
ある。

【０００４】マスク保持枠６ａ，６ｂは、Ｚ軸フレーム
７ａ，７ｂに固着されている。なお、マスク保持枠６
ａ，６ｂ、Ｚ軸フレーム７ａ，７ｂには孔が開口されて
おり、光源部８ａ，８ｂからの照射光をガラスマスク３
ａ，３ｂに照射可能になっている。なお、光源部８ａ，
８ｂもＺ軸方向に移動可能に構成されている。

【０００５】Ｚ軸フレーム７ａ，７ｂの底部は、Ｚ軸直
動軸受９ａ，９ｂを介して両面露光部ベース１０上に固
定されたＺ軸ステージ１１ａ，１１ｂにより支持され、
Ｚ軸駆動部１２ａ，１２ｂにより駆動されてＺ軸ステー
ジ１１ａ，１１ｂ上をＺ軸方向へ移動可能に構成されて
いる。すなわち、Ｚ軸駆動部１２ａ，１２ｂは、Ｚ軸駆
動モータ１３ａ，１３ｂ、このＺ軸駆動モータ１３ａ，
１３ｂの回転軸に連接されたボールねじ１４ａ，１４
ｂ、このボールねじ１４ａ，１４ｂを支持する支柱１５
ａ，１５ｂ、Ｚ軸フレーム７ａ，７ｂに取付けられた駆
動継手１６ａ，１６ｂ及び駆動継手１６ａ，１６ｂに埋
設されてボールねじ１４ａ，１４ｂと螺合されたナット
１７ａ，１７ｂにより構成されている。

【０００６】前記マスク保持枠６ａ，６ｂについて説明
を加えると、図８に示すように、ガラスマスク３ａ，３
ｂの外周縁部を真空吸着するための吸着面１８ａ，１８
ｂを有しており、この吸着面１８ａ，１８ｂには真空吸
引源と連通する複数の真空吸引溝１９ａ，１９ｂがマス
ク保持枠６ａ，６ｂの内周縁に沿って設けられている。
真空吸引溝１９ａ，１９ｂの内周には内周環状パッキン
２０ａ，２０ｂが設けられ、さらに真空吸引溝１９ａ，
１９ｂを取り囲むように偏平環状パッキン２１ａ，２１
ｂが設けられている。

【０００７】また、吸着面１８ａ，１８ｂの外周にはガ
ラスマスク３ａ，３ｂの外周端面と当接してガラスマス
ク３ａ，３ｂを位置決めするための複数個の位置決め駒
２２ａ，２２ｂが配置され、この位置決め駒２２ａ，２
２ｂはボルトによってマスク保持枠６ａ，６ｂに着脱可
能に固定されている。マスク保持枠６ａ，６ｂの外周縁
には環状溝２４ａ，２４ｂが設けられ、この環状溝２４
ａ，２４ｂには密着パッキン２５ａ，２５ｂが収容され
ている。そして、マスク保持枠６ａと６ｂとを接近させ
たとき、密着パッキン２５ａと２５ｂとが密着してガラ
スマスク３ａ，３ｂを含むマスク保持枠６ａ，６ｂ間が
密閉されるようになっている。

【０００８】次に、前述のように構成された両面密着式
露光装置におけるマスク密着方法について説明する。表
側と裏側の露光部１ａ，１ｂにおいて、それぞれＺ軸駆
動モータ１３ａ，１３ｂの回転に連動してボールねじ１
４ａ，１４ｂが回転すると、ボールねじ１４ａ，１４ｂ
とナット１７ａ，１７ｂとの作用により、Ｚ軸フレーム
７ａ，７ｂは駆動継手１６ａ，１６ｂと共にＺ軸方向に
移動され、被露光部材２の両面に図８（ａ）に示すよう
に、ガラスマスク３ａ，３ｂが接近される。

【０００９】そして、密着パッキン２５ａ，２５ｂによ
ってガラスマスク３ａ，３ｂの間隔が数ｍｍに保ってガ
ラスマスク３ａ，３ｂ間の気密を確保する。次に、ガラ
スマスク３ａ，３ｂを含むマスク保持枠６ａ，６ｂ間を
排気すると、図８（ｂ）に示すように、ガラスマスク３
ａ，３ｂの中央部から円弧状に反り、まずガラスマスク
３ａ，３ｂの中央部が被露光部材２を介して互いに接触
し、続いて徐々に接触面が外周に広がり、図８（ｃ）に
示すように、ガラスマスク３ａ，３ｂの全面が接触して
マスク密着が完了する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ようなマスク密着を確実に行わせるためには、ガラスマ
スク３ａ，３ｂの間隔を数ｍｍに保つこと、ガラスマス
ク３ａ，３ｂを含むマスク保持枠６ａ，６ｂ間の気密性
を保つこと、ガラスマスク３ａ，３ｂが適度な硬さで、
最終的に真空圧によって全面が接触することの３つ機能
が要求され、その材料の選定、構造の設計が非常に難し
いという問題があった。

【００１１】また、マスクの密着時間を短縮しようとし
て排気速度を上げると、密着パッキン２５ａ，２５ｂの
へたり速度が速くなり真空吸引部がマスク保持枠６ａ，
６ｂにあるため、マスク保持枠６ａ，６ｂに近いガラス
マスク３ａ，３ｂの外周部から接触が始まり、ガラスマ
スク３ａ，３ｂの中央部の接触が後になって中央部に空
気溜まりが残ってしまいガラスマスク３ａ，３ｂを完全
に密着できないという問題が発生する。また、ガラスマ
スク３ａ，３ｂ相互を密着するための排気圧が高すぎる
と、ガラスマスク３ａ，３ｂをマスク保持枠６ａ，６ｂ
に吸着するための吸着圧に勝り、ガラスマスク３ａ，３
ｂがマスク保持枠６ａ，６ｂから脱落する虞もある。

【００１２】また、前述のような問題を避けるために、
排気速度を次第に上げることが試みされた。例えば、３
段階として、 (1) −１００ｍｍＨｇ程度で２０ｓｅｃ (2) −２００ｍｍＨｇ程度で１０ｓｅｃ (3) 全圧（−７５０ｍｍＨｇ）で３０ｓｅｃ とすることにより、ガラスマスク３ａ，３ｂの中央部か
ら接触が始まり、徐々に接触面が外周に広がり、ガラス
マスク３ａ，３ｂが隙間なく接触するようにしていた。

【００１３】しかしながら、排気速度を次第に上げる方
法は、マスク密着に時間が掛かり、露光のサイクルタイ
ムが長く、能率の低下の原因となっていた。この発明
は、前記事情に着目してなされたもので、その目的とす
るところは、排気速度を上げても互いのマスクの接触が
中央部から始まり、マスクの全面密着まで短時間に完了
し、露光のサイクルタイムの短縮により能率向上を図る
ことができる密着式露光装置のマスク密着方法を提供す
ることにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、請求項１は、マスク保持枠に保持され
たマスクを対向する被露光部材に密着する密着式露光装
置のマスク密着方法において、前記マスクの中央部と前
記被露光部材との隙間が小さくなるように前記マスク保
持枠を弾性変形する第１の工程と、前記マスクと前記被
露光部材との間の隙間を真空吸引する第２の工程と、前
記マスクと前記被露光部材との密着が開始した後、第１
の工程のマスク保持枠の弾性変形を解除する第３の工程
とからなることを特徴とする。

【００１５】マスク保持枠を強制的に弾性的に変形する
ことにより、マスクが円弧状に弾性変形して互いに中央
部から接触が始まり、続いてマスクと被露光部材との間
の隙間を真空吸引することにより、被露光部材を介して
マスクの全面が密着する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の各実施の形態を
図面に基づいて説明するが、従来と同一構成部分は同一
番号を付して説明を省略する。図１〜図３は第１の実施
形態を示し、図１は両面密着式露光装置のガラスマスク
３ａ，３ｂを保持したマスク保持枠６ａ，６ｂの縦断側
面図、図２はマスク保持枠６ａの内面図、図３は同じく
外面図である。

【００１７】図１および図２に示すように、マスク保持
枠６ａ，６ｂのうち一方、本実施形態においては、マス
ク保持枠６ａの偏平環状パッキン２１ａと密着パッキン
２５ａとの間には抜き孔３１Ａ，３１Ｂが設けられてい
る。この抜き孔３１Ａは、マスク保持枠６ａの上側部及
び左右側部に沿う下向きコ字状で、抜き孔３１Ｂは、マ
スク保持枠６ａの下側部及び左右側部に沿う上向きコ字
状であり、マスク保持枠６ａの左右側部の中間部は抜き
孔３１Ａ，３１Ｂのない連結部３２に形成されている。

【００１８】したがって、マスク保持枠６ａの上半分及
び下半分は抜き孔３１Ａ，３１Ｂを境界として外枠部３
３と内枠部３４とからなり、内枠部３４はガラスマスク
３ａと共に図１の矢印ａ方向に弾性変形可能に形成され
ている。

【００１９】さらに、抜き孔３１Ａ，３１Ｂはマスク保
持枠６ａの外面部においてゴムまたは軟質合成樹脂等の
シール膜３５によって閉塞され、マスク保持枠６ａ，６
ｂ間を気密に保持している。また、マスク保持枠６ａ，
６ｂの真空吸引溝１９ａ，１９ｂには真空吸引孔２８が
設けられ、抜き孔３１Ａ，３１Ｂには真空吸引孔２９が
設けられている。これら真空吸引孔２８，２９は真空吸
引源に連通している。そして、真空吸引孔２８はガラス
マスク３ａ，３ｂをマスク保持枠６ａ，６ｂに真空吸着
する際に真空吸引され、真空吸引孔２９はガラスマスク
３ａ，３ｂを密着する際に真空吸引されるようになって
いる。

【００２０】また、マスク保持枠６ａの外面側における
左右の連結部３２の近傍にはマスク保持枠６ａに曲げ荷
重を付与する手段としてのシリンダユニット３６が配置
されている。シリンダユニット３６は上下２個のエアシ
リンダ３７Ａ，３７Ｂを背合せ状態に連結し、マスク保
持枠６ａの左右側部に沿って上下方向に配設され、それ
ぞれのエアシリンダ３７Ａ，３７ｂのピストン３８Ａ，
３８Ｂには上下方向に延長するピストンロッド３９Ａ，
３９Ｂが設けられている。そして、ピストンロッド３９
Ａの先端部はマスク保持枠６ａの内枠部３４の上部に連
結具４０Ａによって連結され、ピストンロッド３９Ｂの
先端部はマスク保持枠６ａの内枠部３４の下部に連結具
４０Ｂによって連結されている。

【００２１】エアシリンダ３７Ａ，３７Ｂの上部室及び
下部室にはそれぞれエアポート４１Ａ，４１Ｂが設けら
れ、これらエアポート４１Ａ，４１Ｂはエア配管４２
Ａ，４２Ｂを介してエア供給源（図示しない）に連結さ
れている。

【００２２】次に、前述のように構成された両面密着式
露光装置におけるマスク密着方法について説明する。従
来と同様に、表側と裏側の露光部１ａ，１ｂにおいて、
それぞれＺ軸駆動モータ１３ａ，１３ｂの回転に連動し
てボールねじ１４ａ，１４ｂが回転すると、ボールねじ
１４ａ，１４ｂとナット１７ａ，１７ｂとの作用によ
り、Ｚ軸フレーム７ａ，７ｂは駆動継手１６ａ，１６ｂ
と共にＺ軸方向に移動され、被露光部材２の両面にガラ
スマスク３ａ，３ｂが接近する。

【００２３】そして、図１（ａ）に示すように、密着パ
ッキン２５ａ，２５ｂによってガラスマスク３ａ，３ｂ
の間隔が数ｍｍに保たれてガラスマスク３ａ，３ｂ間の
気密を確保する。次に、エア供給源からエア配管４２
Ａ，４２Ｂを介してエアシリンダ３７Ａの上部室とエア
シリンダ３７Ｂの下部室にエアを供給すると、ピストン
ロッド３９Ａ，３９Ｂはエアシリンダ３７Ａ，３７Ｂに
引き込まれる。

【００２４】したがって、図１（ｂ）に示すように、ピ
ストンロッド３９Ａ，３９Ｂに連結されたマスク保持枠
６ａの上半分の内枠部３４は下方へ、下半分の内枠部３
４は上方へ引っ張られ、内枠部３４は矢印ａ方向に弾性
変形する。このとき、抜き孔３１Ａ，３１Ｂを塞いでい
たシール膜３５は伸長するため、内枠部３４を軽い力量
で変形できる。このため、ガラスマスク３ａを含むマス
ク保持枠６ａの中央部は、対向するマスク保持枠６ｂに
向かって凸状に円弧状に反り、ガラスマスク３ａの中央
部は被露光部材２を介してガラスマスク３ｂに接触す
る。

【００２５】次に、ガラスマスク３ａ，３ｂを含むマス
ク保持枠６ａ，６ｂ間を排気（例えば、全圧−７５０ｍ
ｍＨｇ）すると、ガラスマスク３ａ，３ｂの接触面が徐
々に外周に広がり、図１（ｃ）に示すように、ガラスマ
スク３ａ，３ｂの全面が被露光部材２を介して徐々に接
触する。

【００２６】ガラスマスク３ａ，３ｂが被露光部材２を
介して接触を開始した後、エアシリンダ３７Ａの上部室
とエアシリンダ３７Ｂの下部室のエアを排気し、必要あ
ればエアシリンダ３７Ａの下部室とエアシリンダ３７Ｂ
の上部室に３７Ｂにエアを供給すると、ピストンロッド
３９Ａ，３９Ｂはエアシリンダ３７Ａ，３７Ｂから突出
し、ピストンロッド３９Ａ，３９Ｂに連結されたマスク
保持枠６ａの上半分の内枠部３４は上方へ、下半分の内
枠部３４は下方へそれぞれ弾性的に復元し、ガラスマス
ク３ａ，３ｂは外周縁部まで密着した状態となる。

【００２７】このようにマスク保持枠６ａの内枠部３４
を強制的に変形させてガラスマスク３ａを円弧状に湾曲
することにより、最初から高い真空圧で引くことがで
き、ガラスマスク３ａの中央部を被露光部材２を介して
ガラスマスク３ｂの中央部に接触させることができ、密
着時間を大幅に短縮できる。本発明者の実験によれば、
従来のマスク密着時間が６０ｓｅｃであったのに対し、
約１／３の２０ｓｅｃ程度でマスク密着が完了した。な
お、本実施形態においては、ガラスマスク３ａ，３ｂを
含むマスク保持枠６ａ，６ｂ間を全圧−７５０ｍｍＨｇ
で排気したが、ガラスマスク３ａ，３ｂに対する衝撃を
避けるために、低圧と高圧の２段階に排気してもよく、
それでもマスク密着時間を従来より大幅に短縮できる。

【００２８】図４（ａ）は第２の実施形態を示し、マス
ク保持枠６ａに曲げ荷重を付与する手段が第１の実施形
態と異なる。マスク保持枠６ａの外面側における左右の
連結部３２の近傍には正逆回転可能な電動機４４が固定
されている。電動機４４の回転軸にはピニオン４５が嵌
着され、このピニオン４５の一側にはラックバー４６Ａ
が、他側にはラックバー４６Ｂが噛合した状態に設けら
れている。このラックバー４６Ａの先端部はマスク保持
枠６ａの内枠部３４の上部に連結具４０Ａによって連結
され、ラックバー４６Ｂの先端部はマスク保持枠６ａの
内枠部３４の下部に連結具４０Ｂによって連結されてい
る。

【００２９】したがって、電動機４４によってピニオン
４５を時計回り回転させると、ラックバー４６Ａが下降
し、ラックバー４６Ｂが上昇し、ラックバー４６Ａ，４
６Ｂに連結されたマスク保持枠６ａの上半分の内枠部３
４は下方へ、下半分の内枠部３４は上方へ引っ張られ、
内枠部３４は矢印ａ方向に弾性変形する。また、電動機
４４によってピニオン４５を反時計回り回転させると、
ラックバー４６Ａが上昇し、ラックバー４６Ｂが下降
し、ラックバー４６Ａ，４６Ｂに連結されたマスク保持
枠６ａの上半分の内枠部３４は上方へ、下半分の内枠部
３４は下方へ押されて内枠部３４は弾性的に復元する。

【００３０】図４（ｂ）は第３の実施形態を示し、マス
ク保持枠６ａに曲げ荷重を付与する手段が第１，２の実
施形態と異なる。マスク保持枠６ａの外面側における左
右の連結部３２の近傍には２個のエアシリンダ４７Ａ，
４７Ｂが逆向きに隣接し、かつマスク保持枠６ａの左右
側部に沿って上下方向に配設されている。エアシリンダ
４７Ａ，４７ｂのピストン４８Ａ，４８Ｂには上下方向
に延長するピストンロッド４９Ａ，４９Ｂが設けられて
いる。そして、ピストンロッド４９Ａの先端部はマスク
保持枠６ａの内枠部３４の上部に連結具４０Ａによって
連結され、ピストンロッド４９Ｂの先端部はマスク保持
枠６ａの内枠部３４の下部に連結具４０Ｂによって連結
されている。

【００３１】したがって、エアシリンダ４７Ａの上部室
とエアシリンダ４７Ｂの下部室にエアを供給すると、ピ
ストンロッド４９Ａ，４９Ｂはエアシリンダ４７Ａ，４
７Ｂに引き込まれ、ピストンロッド４９Ａ，４９Ｂに連
結されたマスク保持枠６ａの上半分の内枠部３４は下方
へ、下半分の内枠部３４は上方へ引っ張られ、内枠部３
４は矢印ａ方向に弾性変形する。

【００３２】また、エアシリンダ４７Ａの上部室とエア
シリンダ４７Ｂの下部室のエアを排気し、必要あればエ
アシリンダ４７Ａの下部室とエアシリンダ４７Ｂの上部
室にエアを供給すると、ピストンロッド４９Ａ，４９Ｂ
はエアシリンダ４７Ａ，４７Ｂから突出し、ピストンロ
ッド４９Ａ，４９Ｂに連結されたマスク保持枠６ａの上
半分の内枠部３４は上方へ、下半分の内枠部３４は下方
へそれぞれ弾性的に復元し、ガラスマスク３ａ，３ｂは
外周縁部まで密着した状態となる。

【００３３】図４（ｃ）は第４の実施形態を示し、マス
ク保持枠６ａに曲げ荷重を付与する手段が第１〜３の実
施形態と異なる。マスク保持枠６ａの外面側における左
右の連結部３２の近傍には２個のボールねじユニット５
１Ａ，５１Ｂが逆向きに隣接し、かつマスク保持枠６ａ
の左右側部に沿って上下方向に配設されている。ボール
ねじユニット５１Ａ，５１Ｂには上下方向に延長するス
クリューロッド５２Ａ，５２Ｂが設けられている。そし
て、スクリューロッド５２Ａの先端部はマスク保持枠６
ａの内枠部３４の上部に連結具４０Ａによって連結さ
れ、スクリューロッド５２Ｂの先端部はマスク保持枠６
ａの内枠部３４の下部に連結具４０Ｂによって連結され
ている。

【００３４】また、ボールねじユニット５１Ａ，５１Ｂ
のナット５４Ａ，５４Ｂの外周には従動スプロケット５
５が一体的に設けられている。さらに、従動スプロケッ
ト５５の隣側には正逆回転可能な電動機５６が配置さ
れ、この回転軸には駆動スプロケット５７が嵌着されて
いる。そして、駆動スプロケット５７，従動スプロケッ
ト５５間にはチェーン５８が掛け渡され、電動機５６に
よってナット５４Ａ，５４Ｂを回転できるようになって
いる。

【００３５】したがって、電動機５６を正転させると、
駆動スプロケット５７の回転がチェーン５８を介して従
動スプロケット５５に伝達され、ナット５４Ａ，５４Ｂ
が同方向に回転する。ナット５４Ａ，５４Ｂの回転によ
ってスクリューロッド５２Ａは下方に移動し、スクリュ
ーロッド５２Ｂは上方に移動し、スクリューロッド５２
Ａ，５２Ｂに連結されたマスク保持枠６ａの上半分の内
枠部３４は下方へ、下半分の内枠部３４は上方へ引っ張
られ、内枠部３４は矢印ａ方向に弾性変形する。

【００３６】また、電動機５６を逆転させると、駆動ス
プロケット５７の回転がチェーン５８を介して従動スプ
ロケット５５に伝達され、ナット５４Ａ，５４Ｂが同方
向に逆転する。ナット５４Ａ，５４Ｂの逆転によってス
クリューロッド５２Ａは上方に移動し、スクリューロッ
ド５２Ｂは下方に移動し、スクリューロッド５２Ａ，５
２Ｂに連結されたマスク保持枠６ａの上半分の内枠部３
４は上方へ、下半分の内枠部３４は下方へそれぞれ弾性
的に復元し、ガラスマスク３ａ，３ｂは外周縁部まで密
着した状態となる。

【００３７】図４（ｄ）は第５の実施形態を示し、マス
ク保持枠６ａに曲げ荷重を付与する手段が第１〜４の実
施形態と異なる。マスク保持枠６ａの外面側における左
右の連結部３２の近傍にはターンバックル６０がマスク
保持枠６ａの左右側部に沿って上下方向に配設されてい
る。ターンバックル６０のナット６１Ａ，６１Ｂには上
下方向に延長するスクリューロッド６２Ａ，６２Ｂが設
けられている。そして、スクリューロッド６２Ａの先端
部はマスク保持枠６ａの内枠部３４の上部に連結具４０
Ａによって連結され、スクリューロッド６２Ｂの先端部
はマスク保持枠６ａの内枠部３４の下部に連結具４０Ｂ
によって連結されている。

【００３８】また、ターンバックル６０のケーシング６
４の外周には従動ギヤ６５が一体的に設けられている。
さらに、従動ギヤ６５の隣側には正逆回転可能な電動機
６６が配置され、この回転軸には駆動ギヤ６７が嵌着さ
れている。そして、駆動ギヤ６７と従動ギヤ６５とは噛
合されており、電動機６６によってケーシング６４を回
転できるようになっている。

【００３９】したがって、電動機６６を正転させると、
駆動ギヤ６７の回転が従動ギヤ６５に伝達され、ケーシ
ング６４が回転する。ケーシング６４の回転によってナ
ット６１Ａと螺合するスクリューロッド６２Ａは下方に
移動し、ナット６１Ｂと螺合するスクリューロッド６２
Ｂは上方に移動し、スクリューロッド６２Ａ，６２Ｂに
連結されたマスク保持枠６ａの上半分の内枠部３４は下
方へ、下半分の内枠部３４は上方へ引っ張られ、内枠部
３４は矢印ａ方向に弾性変形する。

【００４０】また、電動機６６を逆転させると、駆動ギ
ヤ６７の回転が従動ギヤ６５に伝達され、ケーシング６
４が逆転する。ケーシング６４の逆転によってスクリュ
ーロッド６２Ａは上方に移動し、スクリューロッド６２
Ｂは下方に移動し、スクリューロッド６２Ａ，６２Ｂに
連結されたマスク保持枠６ａの上半分の内枠部３４は上
方へ、下半分の内枠部３４は下方へそれぞれ弾性的に復
元し、ガラスマスク３ａ，３ｂは外周縁部まで密着した
状態となる。

【００４１】図５は第６の実施形態を示し、マスク保持
枠６ａに曲げ荷重を付与する手段が第１〜５の実施形態
と異なる。マスク保持枠６ａの外枠部３３の上下部には
ブラケット３３ａによって送りねじ機構６８が上下対称
的に設けられている。これら送りねじ機構６８は正逆回
転可能な電動機６８ａに減速機６８ｂを介して送りねじ
軸６８ｃが設けられており、送りねじ軸６８ｃはブラケ
ット３３ａに固定された軸受６８ｄに回転自在に軸支さ
れた状態でガラスマスク３ａ，３ｂの板面に対して直角
に設けられている。

【００４２】一方、内枠部３４には送りねじ軸６８ｃに
螺合するナット６９が固定されており、送りねじ軸６８
ｃの正逆回転によってナット６９を介して内枠部３４の
上下部が電動機６８ａ側に引き寄せたり、逆に押し出す
ことができるようになっている。

【００４３】したがって、電動機６８ａを正転させる
と、減速機６８ｂを介して送りねじ軸６８ｃが回転し、
この送りねじ軸６８ｃと螺合するナット６９が引き寄せ
られる。このため、ナット６９が固定されたマスク保持
枠６ａの上半分の内枠部３４は下方へ、下半分の内枠部
３４は上方へ引っ張られ、内枠部３４は矢印ａ方向に弾
性変形する。

【００４４】また、電動機６８ａを逆転させると、減速
機６８ｂを介して送りねじ軸６８ｃが逆転し、この送り
ねじ軸６８ｃと螺合するナット６９が押し出され、ナッ
ト６９が固定されたマスク保持枠６ａの上半分の内枠部
３４は上方へ、下半分の内枠部３４は下方へそれぞれ弾
性的に復元し、ガラスマスク３ａ，３ｂは外周縁部まで
密着した状態となる。

【００４５】なお、図５では送りねじ機構６８は上下の
中央部に１組ずつ計２組設けているが、四隅に１組ずつ
設けてもよい。図６は第７の実施形態を示し、ガラスマ
スク３ａ，３ｂをマスク保持枠６ａ，６ｂに位置決めす
る位置決め駒７０を示す。ガラスマスク３ａ，３ｂの外
周縁部には面取りによって斜面７１が形成されており、
位置決め駒７０にはガラスマスク３ａ，３ｂの斜面７１
に対応する斜面の押え面７２が形成されている。このよ
うに構成された位置決め駒７０によれば、固定ねじ７３
によってマスク保持枠６ａ，６ｂに締め付け固定するこ
とにより、ガラスマスク３ａ，３ｂを確実に位置決め固
定でき、ガラスマスク３ａ，３ｂがマスク保持枠６ａ，
６ｂから脱落するのを未然に防止できるので急速吸引に
対応できる。

【００４６】なお、前記各実施形態においては、ガラス
マスク３ａを含むマスク保持枠６ａの上下方向の中間部
を上下に円弧状に湾曲するようにしたが、ガラスマスク
３ａを含むマスク保持枠６ａの幅方向の中間部を左右の
円弧状に湾曲するようにしてもよい。

【００４７】また、互いに対向するガラスマスク３ａ，
３ｂを含むマスク保持枠６ａ，６ｂのうち、一方のガラ
スマスク３ａを含むマスク保持枠６ａを湾曲する場合に
ついて説明したが、互いに対向するガラスマスク３ａ，
３ｂを含むマスク保持枠６ａ，６ｂを同時に湾曲するよ
うにしてもよく、このように構成することにより、それ
ぞれのガラスマスク３ａ，３ｂを含むマスク保持枠６
ａ，６ｂの変形量を少なくできる。

【００４８】さらに、両面露光装置について説明した
が、片面露光装置においても適用できることも勿論であ
る。さらに、前記実施形態では縦型の露光装置について
説明したが、露光綿が水平の場合などにも適用できるこ
とも勿論である。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、マスクの中央部と被露光部材との隙間が小さくなる
ようにマスク保持枠を弾性変形した後、マスクと被露光
部材との間の隙間を真空吸引することにより、排気速度
を上げても互いのマスクの接触が中央部から始まり、マ
スクの全面密着まで短時間に完了し、露光のサイクルタ
イムの短縮を図れることから生産性の向上が図れるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態を示し、ガラスマス
クを保持したマスク保持枠の縦断側面図。

【図２】同実施形態のマスク保持枠の内面図。

【図３】同実施形態のマスク保持枠の外面図。

【図４】（ａ）〜（ｄ）はこの発明の第２〜第５の実施
形態を示し、ガラスマスクを保持したマスク保持枠の縦
断側面図。

【図５】この発明の第６の実施形態を示し、ガラスマス
クを保持したマスク保持枠の縦断側面図。

【図６】この発明の第７の実施形態を示し、位置決め駒
の縦断側面図。

【図７】従来の両面露光装置の側面図。

【図８】同従来のガラスマスクを保持したマスク保持枠
の縦断側面図。

【符号の説明】

２…被露光部材、 ３ａ，３ｂ…ガラスマスク ６ａ，６ｂ…マスク保持枠 ３６…シリンダユニット（マスク保持枠に曲げ荷重を付
与する手段）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスク保持枠に保持されたマスクを対向
   する被露光部材に密着する密着式露光装置のマスク密着
   方法において、 前記マスクの中央部と前記被露光部材との隙間が小さく
   なるように前記マスク保持枠を弾性変形する第１の工程
   と、前記マスクと前記被露光部材との間の隙間を真空吸
   引する第２の工程と、前記マスクと前記被露光部材との
   密着が開始した後、第１の工程のマスク保持枠の弾性変
   形を解除する第３の工程とからなる密着式露光装置のマ
   スク密着方法。