JP2003007872A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents

半導体装置およびその製造方法

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JP2003007872A JP2001194519A JP2001194519A JP2003007872A JP 2003007872 A JP2003007872 A JP 2003007872A JP 2001194519 A JP2001194519 A JP 2001194519A JP 2001194519 A JP2001194519 A JP 2001194519A JP 2003007872 A JP2003007872 A JP 2003007872A
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nitrogen
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 信頼性の高い半導体装置を提供する。 【解決手段】 半導体装置は、シリコン基板1と、シリ
コン基板1の第1の表面1fにゲート絶縁膜21を介在
させて形成された、側壁22sを有するフローティング
ゲート電極22と、側壁22s上と第1の表面1fの一
部分上に形成された第1および第2の側壁絶縁層23お
よび24と、第2の表面1s近傍のシリコン基板1の部
分から第1および第2の側壁絶縁層23および24とシ
リコン基板1との界面近傍のシリコン基板1の分まで延
在するように形成された窒素含有層12とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置およ
びその製造方法に関し、特に、トレンチによりトランジ
スタ同士が分離される半導体装置とその製造方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、複数のトランジスタがトレンチに
より分離されるような半導体装置が広く知られている。
このような半導体装置は、たとえば“A Shallow-Trench
-Isolation Flash Memory Technology with a Source-B
ias Programming Method”IEDM, pp177-180, 1996に開
示されている。
【0003】図11は、上記文献に記載された、従来の
半導体装置の断面図である。図11を参照して、従来の
半導体装置では、シリコン基板101上にトレンチ10
1hが複数個形成されている。トレンチ101hはシリ
コン基板101の表面101sにより規定されている。
表面101sには、酸化物層111が形成されている。
表面101s上にはシリコン酸化膜112が形成されて
いる。シリコン酸化膜112に接触するようにポリシリ
コン膜119が充填されており、ポリシリコン膜119
の表面に酸化物層117が形成されている。
【0004】隣り合うトレンチ101hの間にはゲート
絶縁膜121を介在させてシリコン基板101上にフロ
ーティングゲート電極122が形成されている。フロー
ティングゲート電極122は、下部導電層122aと、
上部導電層122bとにより構成される。
【0005】シリコン酸化膜123は、下部導電層12
2aの側壁と、ゲート絶縁膜121とに接触するように
構成される。シリコン酸化膜123上に側壁絶縁層12
4が形成されている。側壁絶縁層124は、シリコン窒
化膜からなる。
【0006】隣り合うフローティングゲート電極122
が、その間に介在するトレンチ101hにより分離され
ている。
【0007】フローティングゲート電極122上に誘電
体膜125を介在させてコントロールゲート電極131
が形成されている。コントロールゲート電極131は、
紙面の右から左側へ延びるように形成されている。
【0008】次に、図11で示す半導体装置の製造方法
について説明する。図12〜図15は、図11で示す半
導体装置の製造方法を説明するために示す断面図であ
る。図12を参照して、シリコン基板101の表面にゲ
ート絶縁膜121を形成する。ゲート絶縁膜121上に
ポリシリコン膜を形成し、その上にシリコン酸化膜を形
成し、その上にシリコン窒化膜を形成する。シリコン窒
化膜上にパターニングされたレジストパターンを形成
し、レジストパターンに従ってシリコン窒化膜、シリコ
ン酸化膜およびポリシリコン膜をエッチングする。これ
によりシリコン窒化膜127、シリコン酸化膜128お
よび下部導電層122aを形成する。シリコン窒化膜1
27および下部導電層122aをマスクとしてシリコン
基板101に不純物イオンを注入することによりソース
およびドレイン領域としての不純物領域116を形成す
る。
【0009】図13を参照して、シリコン基板101表
面にシリコン酸化膜123およびシリコン窒化膜を堆積
する。これらを全面エッチバックして、側壁絶縁層12
4とシリコン酸化膜123とを形成する。シリコン窒化
膜127と側壁絶縁層124とをマスクとしてシリコン
基板101を全面エッチバックすることによりトレンチ
101hを形成する。トレンチ101hの表面を酸化し
て酸化物層111を形成する。
【0010】図14を参照して、CVD(chemical vap
or deposition)によりシリコン酸化膜112を形成す
る。その上にポリシリコン膜119を堆積する。これら
を全面エッチバックすることにより、シリコン窒化膜1
27を露出させる。
【0011】図15を参照して、ポリシリコン膜119
の表面を酸化して酸化物層117を形成する。さらにシ
リコン窒化膜127を除去する。
【0012】図11を参照して、下部導電層122aの
表面を洗浄した後、ポリシリコン膜を形成する。ポリシ
リコン膜をエッチングすることにより上部導電層122
bを形成する。上部導電層122b上にシリコン酸化
膜、シリコン窒化膜およびシリコン酸化膜からなるON
O(oxide nitride oxide)膜により構成される誘電体
膜125を形成する。誘電体膜125上にコントロール
ゲート電極131を形成することにより図11で示す半
導体装置が完成する。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】上述のような従来の半
導体装置で生じる問題について、以下図面を参照して説
明する。
【0014】図16は、従来の半導体装置で生じるある
問題点を説明するための断面図である。図16を参照し
て、従来の工程において、酸化物層117を製造する際
には、シリコン基板101は酸化性雰囲気に晒される。
このとき、酸素ガスがシリコン酸化膜112および酸化
物層111を透過してシリコン基板101に達する。こ
れにより、シリコン基板101のうち、表面101sに
接触する部分が酸化されて酸化物層135が生じる。酸
化物層135が生じると、その部分の体積はシリコンに
比べて大きくなるため、新たに酸化物層135が生じた
部分の近傍には結晶欠陥が発生する。このような結晶欠
陥がフローティングゲート電極122の下のチャネル部
分に発生すると、結晶欠陥に不純物領域116内のヒ素
が捕獲され、実質的なチャネル長が短くなる。このよう
なトランジスタの隣り合う不純物領域間に電位差を加え
ると、ソースとドレイン間のパンチスルーにより常時電
流が流れてしまう。すると、選択したメモリセルトラン
ジスタが誤動作し、半導体装置の信頼性が低下するとい
う問題があった。また、ONO膜である誘電体膜125
の酸化膜を形成する場合でも同様の問題が生じる。
【0015】図17は、従来の半導体装置で生じる別の
問題点を説明するための断面図である。図17を参照し
て、通常、ソースおよびドレイン間では、矢印142で
示す方向に電子が移動する。しかしながら、ソースから
ドレインへ移動する電子のうちのいくらかは、矢印14
3で示す方向に移動してゲート絶縁膜121中のトラッ
プ準位に捕獲される、いわゆるホットエレクトロン現象
が生じる。これにより、トランジスタのしきい値電圧が
変動し、半導体装置の信頼性が低下するという問題があ
った。
【0016】そこで、この発明は上述のような問題点を
解決するためになされたものであり、信頼性の高い半導
体装置を提供することを目的とするものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】この発明に従った半導体
装置は、半導体基板と、ゲート電極と、側壁絶縁層と、
窒素含有層とを備える。半導体基板は、第1の表面と、
この第1の表面に連なって溝を規定する第2の表面とを
有する。ゲート電極は、半導体基板の第1の表面にゲー
ト絶縁膜を介在させて形成され、側壁を有する。側壁絶
縁層は、側壁上と第1の表面の一部分上とに形成され
る。窒素含有層は、第2の表面近傍の半導体基板の部分
から、側壁絶縁層と半導体基板との界面近傍の半導体基
板の部分まで延在するように形成される。窒素含有層中
の窒素濃度は、ゲート電極下の半導体基板の第1の表面
での窒素濃度よりも大きい。
【0018】このように構成された半導体装置では、窒
素含有層は、溝を規定する第2の表面近傍の半導体基板
の部分から側壁絶縁層と半導体基板との界面近傍の半導
体基板の部分まで延在する。この部分では、半導体基板
に窒素が含まれているため、半導体基板が酸化されるの
を防止することができる。そのため、半導体基板の体積
が大きくなるのを防ぐことができ、結晶欠陥の発生を未
然に防止することができる。その結果、パンチスルー現
象などを防止でき、信頼性の高い半導体装置を提供する
ことができる。また、側壁絶縁層と半導体基板との界面
近傍の半導体基板の部分に窒素含有層が形成されている
ため、この付近に形成される絶縁層中のトラップ準位密
度が減少する。そのため、電子が捕獲されるのを抑制で
き、信頼性の高い半導体装置を得ることができる。さら
に、窒素含有層中の窒素濃度はゲート電極下の半導体基
板の第1の表面での窒素濃度よりも大きいため、ゲート
電極下のチャネル領域では窒素濃度が小さい。その結
果、しきい値が変動するのを防止することができる、信
頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【0019】また好ましくは、半導体装置は、側壁絶縁
層の下の半導体基板の部分に形成された不純物領域をさ
らに備える。この場合、不純物領域間でのパンチスルー
を防止することができ、信頼性の高い半導体装置を提供
することができる。
【0020】また好ましくは、半導体装置は、溝に充填
された埋込絶縁層をさらに備える。また好ましくは、半
導体装置は、ゲート電極上に誘電体膜を介在させて形成
されたコントロールゲート電極をさらに備える。この場
合、信頼性の高い不揮発性の半導体記憶装置を提供する
ことができる。
【0021】また好ましくは、ゲート電極は、ゲート絶
縁膜に接触するように形成された下部導電層と、下部導
電層上に形成されてコントロールゲート電極と向かい合
う上部導電層とを含み、上部導電層の幅は、下部導電層
の幅よりも大きい。この場合、上部導電層の幅が下部導
電層の幅よりも大きいため、上部導電層とコントロール
ゲート電極とが向かい合う面積を増加させることができ
る。その結果、コントロールゲート電極と上部導電層と
の間の容量が大きくなり、コントロールゲート電極に印
加する電圧を少なくしても動作することが可能な不揮発
性の半導体記憶装置を提供することができる。
【0022】また好ましくは、半導体装置は、第2の表
面に形成された酸化物層をさらに備える。この場合、第
2の表面に酸化物層が形成されているため、第2の表面
での界面準位の発生を防止することができる。
【0023】また好ましくは、窒素含有層と第2の表面
との間に酸化物層が形成されている。
【0024】この発明に従った半導体装置の製造方法
は、半導体基板の第1の表面上にゲート絶縁膜を介在さ
せて側壁を有するゲート電極を形成する工程と、ゲート
電極の側壁上と第1の表面の一部分上とに側壁絶縁層を
形成する工程と、ゲート電極と側壁絶縁層とをマスクと
して半導体基板をエッチングすることにより、第2の表
面により規定される溝を半導体基板に形成する工程と、
窒素または窒素化合物を含む雰囲気に半導体基板を保つ
ことにより、第2の表面近傍の半導体基板の部分から、
側壁絶縁層と半導体基板との界面近傍の半導体基板の部
分まで延在する窒素含有層を形成する工程とを備える。
【0025】このような工程を備えた半導体装置の製造
方法に従えば、溝を規定する第2の表面近傍の半導体基
板の部分から側壁絶縁層と半導体基板との界面近傍の半
導体基板の部分まで延在するように窒素含有層を形成す
る。この部分では、半導体基板に窒素が含まれているた
め、半導体基板が酸化されるのを防止することができ
る。そのため、半導体基板の体積が大きくなるのを防ぐ
ことができ、結晶欠陥の発生を未然に防止することがで
きる。その結果、パンチスルー現象などを防止でき、信
頼性の高い半導体装置を提供することができる。また、
側壁絶縁層と半導体基板との界面近傍の半導体基板の部
分に窒素含有層を形成するため、この付近に形成される
絶縁層中のトラップ準位密度が減少する。そのため、電
子が捕獲されるのを抑制でき、信頼性の高い半導体装置
を得ることができる。さらに、窒素含有層中の窒素濃度
はゲート電極下の半導体基板の第1の表面での窒素濃度
よりも大きいため、ゲート電極下のチャネル領域では窒
素濃度が小さい。その結果、しきい値が変動するのを防
止することができる、信頼性の高い半導体装置を提供す
ることができる。
【0026】また好ましくは、半導体装置の製造方法
は、窒素含有層を形成する前に、第2の表面を酸化して
酸化物層を形成する工程をさらに備える。この場合、酸
化物層を形成することにより第2の表面での界面準位の
発生を防止することができる。
【0027】また好ましくは、半導体装置の製造方法
は、ゲート電極を形成した後、側壁絶縁層を形成する前
に、ゲート電極をマスクとして半導体基板に不純物を注
入することにより、ゲート電極の両側の半導体基板の部
分に不純物領域を形成する工程をさらに備える。この場
合、不純物領域間でのパンチスルー現象を防止すること
ができ、信頼性の高い半導体装置を提供することができ
る。
【0028】また好ましくは、半導体装置の製造方法
は、窒素含有層を形成した後、溝を充填する埋込絶縁層
を形成する工程をさらに備える。
【0029】また、窒素を含む雰囲気に半導体基板を保
つことは、半導体基板を一酸化窒素雰囲気中に保つこと
を含む。この場合、一酸化窒素により、側壁絶縁膜中の
結晶欠陥をさらに減少させることができる。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面を参照して説明する。
【0031】(実施の形態1)図1は、この発明の実施
の形態1に従った半導体装置の断面図である。図1を参
照して、この発明の実施の形態1に従った半導体装置
は、不揮発性半導体記憶装置としてのEEPROM(el
ectrically erasable programmable read-only memor
y)、具体的には、フラッシュメモリであり、第1の表
面1fと、この第1の表面1fに連なって溝としてのト
レンチ1hを規定する第2の表面1sとを有する半導体
基板としてのシリコン基板1と、シリコン基板1の第1
の表面1fにゲート絶縁膜21を介在させて形成され
た、側壁22sを有するゲート電極としてのフローティ
ングゲート電極22と、側壁22sと第1の表面1fの
一部分上に形成された側壁絶縁層としての第1の側壁絶
縁層23および第2の側壁絶縁層24と、第2の表面1
s近傍のシリコン基板1の部分から、第1および第2の
側壁絶縁層23および24とシリコン基板1との界面近
傍のシリコン基板1の部分まで延在するように形成され
た窒素含有層12とを備える。窒素含有層12中の窒素
濃度は、フローティングゲート電極22下のシリコン基
板1の第1の表面1fでの窒素濃度よりも大きい。
【0032】また、半導体装置は、第1および第2の側
壁絶縁層23および24下のシリコン基板1の部分に形
成された不純物領域としての低濃度不純物領域16およ
び高濃度不純物領域17をさらに備える。また半導体装
置は、トレンチ1hに形成された埋込絶縁層19をさら
に備える。
【0033】また、半導体装置は、フローティングゲー
ト電極22上に誘電体膜25を介在させて形成されたコ
ントロールゲート電極31をさらに備える。
【0034】フローティングゲート電極22は、ゲート
絶縁膜21に接触するように形成された下部導電層と、
下部導電層22a上に形成されてコントロールゲート電
極31と向かい合う上部導電層22bとを含む。上部導
電層22bの幅はW1は、下部導電層22aの幅W2よ
りも大きい。
【0035】半導体装置は、第2の表面1sに形成され
た酸化物層11をさらに備える。窒素含有層12と第2
の表面1sとの間に酸化物層11が形成されている。
【0036】シリコン基板1の第1の表面1fは、ほぼ
平坦な形状であり、この第1の表面1fに連なるよう
に、溝を規定する第2の表面1sが形成されている。第
2の表面1sは、第1の表面1fから、シリコン基板1
の内部へ潜り込むように延びる。
【0037】トレンチ1hは、第2の表面1sにより規
定される。トレンチ1hは、紙面の手前から奥へ延びる
ように形成されており、その深さおよび幅は適宜設定す
ることができる。
【0038】第2の表面1sを規定するシリコン基板1
には、シリコン基板1が酸化されて酸化物層11が形成
されている。酸化物層11と接触するように、窒素含有
層12が形成されている。窒素含有層12では、酸化物
層11に比べて、窒素の含有率が大きくなっている。す
なわち、窒素含有層12から酸化物層11に近づくにつ
れて、窒素の含有量は少なくなる。これに対して、窒素
含有層12から酸化物層11に近づくにつれて、酸素の
含有量は大きくなる。窒素含有層12は、第2の表面1
s近傍だけでなく、第1の表面1f近傍にも形成されて
いる。窒素含有層12は、フローティングゲート電極2
2を構成する下部導電層22aの真下の部分以外に形成
されている。なお、窒素含有層12と酸化物層11の界
面近傍では、シリコン酸窒化膜が形成されている。
【0039】第1の表面1fには、シリコン酸化膜から
なるゲート絶縁膜21が形成されている。ゲート絶縁膜
21上に、フローティングゲート電極22を構成する下
部導電層22aが形成されている。下部導電層22a
は、導電性の材料、たとえばドープトポリシリコンによ
り構成される。下部導電層22aは側壁22sを有し、
側壁22sに直接接触するように第1の側壁絶縁層23
が形成されている。第1の側壁絶縁層23に接触するよ
うに第2の側壁絶縁層24が形成されている。
【0040】ゲート絶縁膜21下には、しきい値を調整
するためのチャネルドープ領域15が形成されている。
チャネルドープ領域15では、p型の不純物としてボロ
ンが注入されている。
【0041】チャネルドープ領域15の両側で、第1の
側壁絶縁層23の下には、一対の低濃度不純物領域16
が互いに距離を隔てて形成されている。低濃度不純物領
域16では、n型の不純物としてのヒ素が注入されてい
る。低濃度不純物領域16の両側で第2の側壁絶縁層2
4の下では、互いに距離を隔てて1対の高濃度不純物領
域17が形成されている。高濃度不純物領域17では、
n型の不純物としてのヒ素が注入されている。高濃度不
純物領域17中のヒ素の濃度は、低濃度不純物領域16
中のヒ素の濃度よりも大きい。
【0042】トレンチ1hを埋込み、かつ第2の側壁絶
縁層24に接触するようにシリコン酸化膜からなる埋込
絶縁層19が形成されている。埋込絶縁層19は、隣り
合うメモリセルトランジスタ40の間を電気的に分離す
る。
【0043】下部導電層22aと、第1および第2の側
壁絶縁層23および24の上には、上部導電層22bが
形成されている。上部導電層22bは、たとえばドープ
トポリシリコンのような導電性の材料からなる。上部導
電層22bは、コントロールゲート電極31との対向面
積を増加させて容量を増大させるために、その幅W1が
下部導電層22aの幅W2より広くなっている。
【0044】誘電体膜25は、上部導電層22b上に接
触するように形成されている。誘電体膜25は、シリコ
ン酸化膜、シリコン窒化膜およびシリコン酸化膜からな
る3層構造であり、いわゆるONO膜である。
【0045】コントロールゲート電極31が、誘電体膜
25上に形成されている。コントロールゲート電極31
は、トレンチ1hの延びる方向と直交する方向、すなわ
ち、紙面の右側から左側へ延びる。コントロールゲート
電極31は、いわゆるワード線である。
【0046】シリコン酸化膜32および33がコントロ
ールゲート電極31上に形成されている。シリコン酸化
膜32および33は層間絶縁膜である。シリコン酸化膜
33には、平坦性を高めるために、ボロンとリンが添加
されている。シリコン酸化膜33上にアルミニウム合金
からなる配線層34が形成されている。
【0047】図2は、窒素含有層での窒素濃度を示すグ
ラフである。図2を参照して、A−A線上での窒素濃度
は、窒素含有層12上で相対的に高く、その他の部分で
は相対的に低い。すなわち、窒素含有層12中の窒素濃
度は、フローティングゲート電極22の下部導電層22
aに向かい合うシリコン基板1の第1の表面1fでの窒
素濃度よりも大きい。つまり、窒素含有層12中の窒素
濃度は、チャネルドープ領域15の窒素濃度、酸化物層
11中の窒素濃度および埋込絶縁層19中の窒素濃度よ
りも大きい。
【0048】次に、図1で示す半導体装置の製造方法に
ついて説明する。図3〜図10は、図1で示す半導体装
置の製造方法を説明するための断面図である。図3を参
照して、まず、p型のシリコン基板1の(001)面が
第1の表面1fであり、この第1の表面1fに熱酸化法
を用いて厚みが10nmのシリコン酸化膜21aを形成
する。次に、メモリセルトランジスタ40が形成される
部分に注入エネルギが20keVで注入量が1×1013
cm-2でボロンイオンを注入し、チャネルドープ領域1
5を形成する。
【0049】図4を参照して、シリコン酸化膜21aを
フッ酸溶液で除去した後、熱酸化法を用いて厚みが10
nmのシリコン酸化膜により構成されるゲート絶縁膜2
1をシリコン基板1の第1の表面1fに成長させる。続
いて、減圧CVD法を用いて厚みが100nmでリンが
ドープされたドープトポリシリコン膜を形成する。次
に、減圧CVD法で厚みが200nmのシリコン窒化膜
を堆積する。シリコン窒化膜上にレジストパターン28
を形成し、レジストパターン28をマスクとしてシリコ
ン窒化膜をエッチングすることにより、幅の狭いシリコ
ン窒化膜27を形成する。レジストパターン28を除去
した後、シリコン窒化膜27をマスクとしてドープトポ
リシリコンをパターニングして下部導電層22aを形成
する。下部導電層22aは、側壁22sを有する。
【0050】下部導電層22aおよびシリコン窒化膜2
7をマスクとして注入エネルギ40keVで、注入量5
×1013cm-2でヒ素をシリコン基板1の第1の表面1
fに注入する。これにより、メモリセルトランジスタの
低濃度不純物領域16を形成する。
【0051】図5を参照して、減圧CVD法で、厚みが
150nmのシリコン酸化膜を堆積する。このシリコン
酸化膜を全面エッチバックすることにより、サイドウォ
ールとしての第1の側壁絶縁層23を形成する。シリコ
ン窒化膜27と第1の側壁絶縁層23とをマスクとして
シリコン基板1の第1の表面1fに注入エネルギが40
keV、注入量が4×1015cm-2の条件でヒ素を注入
する。これにより、メモリセルトランジスタの高濃度不
純物領域17を形成する。
【0052】図6を参照して、減圧CVD法で厚みが1
50nmシリコン酸化膜を第1の側壁絶縁層23上に堆
積する。このシリコン酸化膜をエッチバックすること
で、サイドウォールとしての第2の側壁絶縁層24を形
成する。シリコン窒化膜27、ならびに第1および第2
の側壁絶縁層23および24をマスクとしてシリコン基
板101の表面をエッチングする。これにより、第2の
表面1sにより規定される、深さが400nmのトレン
チ1hを形成する。トレンチ1hの第2の表面1sを熱
酸化することにより、厚みが10nmの酸化物層11を
形成する。
【0053】温度900℃で、一酸化窒素(NO)ガス
が15体積%、窒素(N2)ガスが85体積%の雰囲気
にシリコン基板1を保つことにより、第2の表面1s
と、第1の表面1fの一部分に窒素含有層12を形成す
る。このとき、窒素は、たとえば酸化物層11を透過し
てシリコン基板1に達するため、酸化物層11の内側に
窒素含有層12が形成される。また、第1および第2の
側壁絶縁層23および24を構成するシリコン酸化膜を
窒素が透過して第1および第2の側壁絶縁層23および
24の下に位置にシリコン基板1の部分に窒素が到達す
る。これにより、この部分に窒素含有層12が形成され
る。これに対して、下部導電層22aを構成するドープ
トポリシリコン中を窒素はあまり透過しないため、下部
導電層22a下には、窒素含有層12は形成されない。
【0054】図7を参照して、CVD法により、厚みが
800nmのシリコン酸化膜からなる埋込絶縁層19を
堆積する。これにより、トレンチ1hを充填する。CM
P(chemical-mechanical polishing)によって厚いシ
リコン酸化膜の表面を研磨し、フッ酸(HF)溶液を用
いてシリコン酸化膜を所定量だけエッチングし、シリコ
ン窒化膜27の表面を露出させる。
【0055】図8を参照して、熱リン酸を用いてシリコ
ン窒化膜27を除去する。フッ酸溶液によってシリコン
酸化膜により構成される埋込絶縁層19の一部分をエッ
チングする。
【0056】図9を参照して、減圧CVD法により、厚
みが200nmで、リンがドープされたドープトポリシ
リコン膜を下部導電層22a、第1および第2の側壁絶
縁層23および24ならびに埋込絶縁層19上に堆積す
る。ドープトポリシリコン膜上にレジストパターンを形
成し、レジストパターンをマスクとしてドープトポリシ
リコン膜をエッチングすることにより、上部導電層22
bを形成する。その後レジストパターンを除去する。
【0057】図10を参照して、減圧CVD法で厚みが
5nmのシリコン酸化膜、厚みが10nmのシリコン窒
化膜および厚みが5nmのシリコン酸化膜からなる誘電
体膜(ONO膜)25を形成する。減圧CVD法で厚み
が200nmでリンがドープされたドープトポリシリコ
ンと厚みが220nmのシリコン酸化膜32を堆積す
る。レジストパターンをシリコン酸化膜32上に形成
し、レジストパターンに従ってシリコン酸化膜32をエ
ッチングし、レジストパターンを除去する。エッチング
でパターニングされたシリコン酸化膜32をマスクとし
てドープトポリシリコンをエッチングすることにより、
コントロールゲート電極(ワード線)31を形成する。
シリコン酸化膜32をマスクとして、上部導電層22b
および下部導電層22aをエッチングする。
【0058】図1を参照して、CVD法を用いて厚みが
500nmのシリコン酸化膜33をシリコン酸化膜32
上に堆積する。このシリコン酸化膜33は、いわゆるボ
ロンリンガラスである。酸素雰囲気中で温度850℃で
30分間熱処理を行なって、シリコン酸化膜33を焼き
固めた後、フォトリソグラフィによって、シリコン酸化
膜33上に所定のレジストパターンを形成する。レジス
トパターンをマスクとしてシリコン酸化膜33をエッチ
ングし、コンタクトホール(図示せず)を形成した後、
スパッタリング法を用いて、アルミニウム−シリコン−
銅(Al−Si−Cu)合金膜を形成する。合金膜上に
所定のレジストパターンを形成し、レジストパターンに
従ってアルミニウム−シリコン−銅合金膜をエッチング
することにより、配線層34を形成する。このようにし
て図1に示す半導体装置が完成する。
【0059】このような不揮発性の半導体記憶装置で
は、フローティングゲート電極22に電子が注入されて
いるか、または電子が放出されているかにより、情報が
メモリセルトランジスタ40に記憶される。フローティ
ングゲート電極22に電子が注入されている状態では、
メモリセルトランジスタ40のしきい値電圧は、ある高
い値Vthpとなり、この状態を書込状態と呼ぶ。蓄積
された電子は、そのままでは半永久的に消えないため、
記憶された情報も半永久的に保持される。
【0060】フローティングゲート電極22から電子が
放出されている状態では、メモリセルトランジスタ40
のしきい値電圧は、ある低い値Vtheとなり、この状
態を消去状態と呼ぶ。このような2つの状態を検出する
ことにより、メモリセルトランジスタ40に記憶されて
いるデータを読取ることができる。
【0061】書込時には、コントロールゲート電極31
に高電圧Vpp(通常20V程度)を印加する。高濃度
不純物領域17とシリコン基板1とを接地電位とする。
これにより、フローティングゲート電極22下のチャネ
ル領域に電子が発生し、ゲート絶縁膜21によるエネル
ギ障壁をトンネリングして、電子がフローティングゲー
ト電極22に注入される。その結果、メモリセルトラン
ジスタ40のしきい値電圧が上昇する。
【0062】消去時には、コントロールゲート電極31
に、高電圧Vpp(通常−20V程度)印加し、高濃度
不純物領域17およびシリコン基板1を接地電位とす
る。それにより、トンネル現象により、フローティング
ゲート電極22からシリコン基板1へ電子が放出され
る。その結果、メモリセルトランジスタ40のしきい値
電圧が低下する。
【0063】選択したメモリセルトランジスタ40の読
出動作の際には、コントロールゲート電極31に、たと
えば3.3V(Vcg=3.3V)、ドレイン(高濃度
不純物領域17の一方)に3.3Vの電圧を印加する。
ソース領域(高濃度不純物領域17の他方)とシリコン
基板1とを接地電位とする。今、Vthe<3.3V<
Vthpとすると、書込状態では、メモリセルトランジ
スタ40のソースおよびドレイン間に電流が流れず、消
去状態では、ソースおよびドレイン間に電流が流れる。
【0064】読出の際に、非選択のメモリセルトランジ
スタ40では、コントロールゲート電極31を接地(V
cg=0V)とし、ドレイン領域(高濃度不純物領域1
7の一方)に、電圧3.3Vを印加し、ソース領域(高
濃度不純物領域17の他方)とシリコン基板1とを接地
電位とする。0V<Vthe<Vthpとすると、Vc
g=0Vでは、メモリセルトランジスタ40のソースお
よびドレイン間に電流が流れない。
【0065】メモリセルトランジスタ40のうち選択し
たメモリセルトランジスタ40で消去状態のものだけが
ソースおよびドレイン間に電流が流れる。これによっ
て、各メモリセルの情報が検出される。
【0066】本発明に係る半導体装置では、トレンチ1
hの第2の表面1s近傍に窒素濃度が高い窒素含有層1
2が形成される。そのため、窒素含有層12を形成した
後の酸化工程では、酸素が窒素含有層12を透過しない
ため、シリコン基板1の酸化を防止することができる。
そのため、シリコン基板1が膨張せず、シリコン基板1
内部に応力が発生しない。これにより、シリコン基板1
で結晶欠陥が発生することを防止することができ、メモ
リセルトランジスタ40のチャネル長が短くなるを防止
することができる。その結果、ソースドレイン間でのパ
ンチスルーを防止でき、信頼性の高い半導体装置を提供
することができる。
【0067】さらに、第1および第2の側壁絶縁層23
および24と、シリコン基板1との界面が窒化されて窒
素含有層12が形成されるため、この部分でのトラップ
準位の密度が減少する。そのため、この界面で電子が捕
獲されるのを防止することができ、しきい値電圧の変動
が少ないメモリセルトランジスタ40を提供することが
できる。
【0068】さらに、フローティングゲート電極22下
のチャネル領域には、窒素が多く注入されることがない
ため、しきい値の変動を防止するとともに、チャネルド
ープ領域15のボロンを不活性化することを防止するこ
とができる。
【0069】以上、この発明の実施の形態について説明
したが、ここで示した実施の形態はさまざまに変形する
ことが可能である。まず、窒素含有層12の製造方法と
しては、上述の、一酸化窒素ガスと窒素ガスとの混合ガ
スを用いる方法だけでなく、一酸化窒素の代わりに、ア
ンモニアガス(NH3)または酸化二窒素(N2O)を用
いてもよい。また、熱窒化法以外に、N2、NOまたは
NH3プラズマを用いた窒化法を採用してもよい。
【0070】さらに、窒素含有層12の厚みは必要に応
じて適宜変更することができる。また、フローティング
ゲート電極22は、下部導電層22aと上部導電層22
bの2層構造としたが、これに限られるものではなく、
単一層でフローティングゲート電極22を構成してもよ
い。また、この発明は、上述の不揮発性の半導体記憶装
置だけでなく、DRAM(dynamic random access memo
ry)またはSRAM(static random access memory)
などに適用することも可能である。
【0071】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【0072】
【発明の効果】この発明に従えば、信頼性の高い半導体
装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1に従った半導体装置
の断面図である。
【図2】 A−A線での窒素濃度の分布を示すグラフで
ある。
【図3】 図1で示す半導体装置の製造方法の第1工程
を示す断面図である。
【図4】 図1で示す半導体装置の製造方法の第2工程
を示す断面図である。
【図5】 図1で示す半導体装置の製造方法の第3工程
を示す断面図である。
【図6】 図1で示す半導体装置の製造方法の第4工程
を示す断面図である。
【図7】 図1で示す半導体装置の製造方法の第5工程
を示す断面図である。
【図8】 図1で示す半導体装置の製造方法の第6工程
を示す断面図である。
【図9】 図1で示す半導体装置の製造方法の第7工程
を示す断面図である。
【図10】 図1で示す半導体装置の製造方法の第8工
程を示す断面図である。
【図11】 従来の半導体装置の断面図である。
【図12】 図11で示す半導体装置の製造方法の第1
工程を示す断面図である。
【図13】 図11で示す半導体装置の製造方法の第2
工程を示す断面図である。
【図14】 図11で示す半導体装置の製造方法の第3
工程を示す断面図である。
【図15】 図11で示す半導体装置の製造方法の第4
工程を示す断面図である。
【図16】 従来の半導体装置で生じるある問題点を説
明するための断面図である。
【図17】 従来の半導体装置で生じる別の問題点を説
明するための断面図である。
【符号の説明】
1 シリコン基板、1f 第1の表面、1h トレン
チ、1s 第2の表面、11 酸化物層、12 窒素含
有層、16 低濃度不純物領域、17 高濃度不純物領
域、21 ゲート絶縁膜、22 フローティングゲート
電極、22a 下部導電層、22b 上部導電層、23
第1の側壁絶縁層、24 第2の側壁絶縁層、25
誘電体膜、31 コントロールゲート電極。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 29/788 29/792 Fターム(参考) 4M104 AA01 BB01 BB02 BB40 CC05 DD04 DD16 DD19 DD43 EE03 EE14 EE15 EE17 GG16 HH20 5F032 AA35 AA44 AA45 AA54 CA17 CA23 DA03 DA24 DA30 DA33 DA43 DA53 5F083 EP04 EP05 EP27 EP55 EP63 EP68 ER03 ER09 ER19 ER22 ER30 GA11 JA32 JA36 JA56 NA01 PR05 PR10 5F101 BA07 BA12 BA22 BA29 BA34 BA36 BB02 BC02 BD07 BD34 BD35 BE07 BH06

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の表面と、この第1の表面に連なっ
    て溝を規定する第2の表面とを有する半導体基板と、 前記半導体基板の前記第1の表面にゲート絶縁膜を介在
    させて形成された、側壁を有するゲート電極と、 前記側壁上と前記第1の表面の一部分上とに形成された
    側壁絶縁層と、 前記第2の表面近傍の前記半導体基板の部分から、前記
    側壁絶縁層と前記半導体基板との界面近傍の前記半導体
    基板の部分まで延在するように形成された窒素含有層と
    を備え、 前記窒素含有層中の窒素濃度は、前記ゲート電極下の前
    記半導体基板の第1の表面での窒素濃度よりも大きい、
    半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記側壁絶縁層の下の前記半導体基板の
    部分に形成された不純物領域をさらに備えた、請求項1
    に記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記溝に充填された埋込絶縁層をさらに
    備えた、請求項1または2に記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記ゲート電極上に誘電体膜を介在させ
    て形成されたコントロールゲート電極をさらに備えた、
    請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜に
    接触するように形成された下部導電層と、前記下部導電
    層上に形成されて前記コントロールゲート電極と向かい
    合う上部導電層とを含み、前記上部導電層の幅は、前記
    下部導電層の幅よりも大きい、請求項4に記載の半導体
    装置。
  6. 【請求項6】 前記第2の表面に形成された酸化物層を
    さらに備えた、請求項1から5のいずれか1項に記載の
    半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記窒素含有層と前記第2の表面との間
    に前記酸化物層が形成される、請求項6に記載の半導体
    装置。
  8. 【請求項8】 半導体基板の第1の表面上にゲート絶縁
    膜を介在させて側壁を有するゲート電極を形成する工程
    と、 前記ゲート電極の側壁上と前記第1の表面の一部分上と
    に側壁絶縁層を形成する工程と、 前記ゲート電極と前記側壁絶縁層とをマスクとして前記
    半導体基板をエッチングすることにより、第2の表面に
    より規定される溝を前記半導体基板に形成する工程と、 窒素または窒素化合物を含む雰囲気に前記半導体基板を
    保つことにより、前記第2の表面近傍の前記半導体基板
    の部分から、前記側壁絶縁層と前記半導体基板との界面
    近傍の前記半導体基板の部分まで延在する窒素含有層を
    形成する工程とを備えた、半導体装置の製造方法。
  9. 【請求項9】 前記窒素含有層を形成する前に、前記第
    2の表面を酸化して酸化物層を形成する工程をさらに備
    えた、請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 前記ゲート電極を形成した後前記側壁
    絶縁層を形成する前に前記ゲート電極をマスクとして前
    記半導体基板に不純物を注入することにより、前記ゲー
    ト電極の両側の前記半導体基板の部分に不純物領域を形
    成する工程をさらに備えた、請求項8または9に記載の
    半導体装置の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記窒素含有層を形成した後、前記溝
    を充填する埋込絶縁層を形成する工程をさらに備えた、
    請求項8から10のいずれか1項に記載に半導体装置の
    製造方法。
  12. 【請求項12】 窒素を含む雰囲気に前記半導体基板を
    保つことは、前記半導体基板を一酸化窒素雰囲気中に保
    つことを含む、請求項8から11のいずれか1項に記載
    に半導体装置の製造方法。
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