JP2003003257A5 - - Google Patents
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- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 33
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 31
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189342A JP4562318B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 成形型およびその成形型を用いたスパッタリングターゲットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189342A JP4562318B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 成形型およびその成形型を用いたスパッタリングターゲットの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003003257A JP2003003257A (ja) | 2003-01-08 |
| JP2003003257A5 true JP2003003257A5 (https=) | 2005-05-12 |
| JP4562318B2 JP4562318B2 (ja) | 2010-10-13 |
Family
ID=19028283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001189342A Expired - Fee Related JP4562318B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 成形型およびその成形型を用いたスパッタリングターゲットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4562318B2 (https=) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005324987A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Ito成型体、これを用いたitoスパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
| JP2006193797A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲット用の成形体を製造するための成形型およびスパッタリングターゲットの製造方法 |
| JP4665526B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2011-04-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化インジウムを含有するスパッタリングターゲットの製造方法 |
| JP4734936B2 (ja) * | 2005-01-25 | 2011-07-27 | 東ソー株式会社 | Ito造粒粉末及びito焼結体並びにその製造方法 |
| WO2006082760A1 (ja) | 2005-02-01 | 2006-08-10 | Tosoh Corporation | 焼結体、スパッタリングターゲット及び成形型並びにそれを用いた焼結体の製造方法 |
| JP5778372B2 (ja) * | 2005-02-01 | 2015-09-16 | 東ソー株式会社 | 焼結体、スパッタリングターゲット及び成形型並びに焼結体の製造方法 |
| JP4894293B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2012-03-14 | 東ソー株式会社 | 導電性セラミックス焼結体及びスパッタリングターゲット並びにその製造方法 |
| KR100787635B1 (ko) * | 2007-01-22 | 2007-12-21 | 삼성코닝 주식회사 | 산화인듐주석 타겟, 이의 제조 방법 및 이로부터 제조된산화인듐주석 투명 전극 |
| JP2015030858A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 株式会社アルバック | スパッタリングターゲットの製造方法 |
| KR101673976B1 (ko) | 2015-03-06 | 2016-11-08 | (주)씨이케이 | 냉간 정수압 성형용 복합몰드를 이용한 대형 알루미나 판재 제조방법 |
| KR101961596B1 (ko) * | 2018-09-06 | 2019-03-25 | 군산대학교산학협력단 | 스퍼터 타겟의 제조 방법 및 이를 수용하기 위한 스퍼터 건 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0790526B2 (ja) * | 1988-03-04 | 1995-10-04 | 日機装株式会社 | 等方圧成形方法 |
| JPH0390299A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Isuzu Motors Ltd | 静水圧プレス機用ゴム型 |
| JP3044254B2 (ja) * | 1989-11-06 | 2000-05-22 | 東ソー株式会社 | 酸化物焼結体及びその製造法並に用途 |
| JPH03151196A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-27 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | 容器生成形体の製造法 |
| JP2913054B2 (ja) * | 1989-11-10 | 1999-06-28 | 東ソー株式会社 | 円筒形状のitoターゲットの製造法 |
| JPH04257402A (ja) * | 1991-02-12 | 1992-09-11 | Nkk Corp | 粉末成形体の圧密方法 |
| JPH05209264A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-08-20 | Hitachi Metals Ltd | Ito導電膜用ターゲット材の製造方法 |
| JP3869072B2 (ja) * | 1997-05-16 | 2007-01-17 | 幸三 石崎 | 圧粉体の成形方法 |
| JPH11245217A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 有底セラミックス管成形体の成形型及び有底セラミックス管成形体の製造方法 |
| JP3993721B2 (ja) * | 1999-06-09 | 2007-10-17 | 東ソー株式会社 | スパッタリングターゲット |
-
2001
- 2001-06-22 JP JP2001189342A patent/JP4562318B2/ja not_active Expired - Fee Related
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