KR101961596B1 - 스퍼터 타겟의 제조 방법 및 이를 수용하기 위한 스퍼터 건 - Google Patents

스퍼터 타겟의 제조 방법 및 이를 수용하기 위한 스퍼터 건 Download PDF

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Abstract

스퍼터링에 사용되는 스퍼터 타겟 제조 방법에 연관된다. 보다 상세하게는 하판 위에 금속 팬의 위치를 고정하기 위한 중간링이 체결되는 단계; 상기 중간링의 내부에 금속 팬이 수용되는 단계; 상기 금속 팬의 내부에 분말이 인입되는 단계; 상판이 상기 중간링 위에 배치되는 단계; 및 프레스가 상기 상판과 상기 하판을 압축하여 금속 팬에 담지된 분말성형체를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

스퍼터 타겟의 제조 방법 및 이를 수용하기 위한 스퍼터 건{METHOD FOR MANUFACTURING SPUTTER TARGET AND SPUTTER GUN FOR ACCOMODATING THE SPUTTER TARGET}
스퍼터 타겟을 제조하는 장치 및 방법에 연관된다. 보다 상세하게는 스퍼터 타겟을 제조하기 위한 몰드 및 이를 이용하여 분말 성형체를 포함한 스퍼터 타켓 제조 방법 및 생성된 스퍼터 타겟을 고정하는 스퍼터 건에 연관된다.
스퍼터링(Sputtering)은 진공상태의 용기 안에 아르곤(Ar) 등 기체를 채워 타겟에 고전압을 걸어 방전시키면 이온화된 기체가 타겟 물질에 충돌하게 되고, 이 때 타겟 물질의 이온이 튀어나와 기판에 달라붙어 박막을 형성하는 기술이다.
화학적 증착법에 비하여 스퍼터링은 고융점 세라믹이나 금속 및 합금 등을 쉽게 증착할 수 있는 증착법으로써 증착하고자하는 물질과 동일한 물질의 스퍼터 타겟을 구비하기만하면 어떤 물질도 증착 가능한 장점을 지니고 있다.
다만, 스퍼터링에 사용되는 타겟은 일반적으로 값비싼 공정을 통해서 생성되기 때문에 저비용의 간단한 방법으로 스퍼터 타겟을 생성하는 장치에 대한 개발이 요구된다.
한국 공개특허 10-2007-0008042호 (공개일자 2007년02월12일)는 스퍼터 타겟 제조방법을 제시한다. 상부층, 중간층 및 하부층을 각각 스퍼터하는 단계를 포함하는 타겟 제조방법에 관한 발명이다.
일실시예에 따르면 하판 위에 금속 팬의 위치를 고정하기 위한 중간링이 체결되는 단계; 상기 중간링의 내부에 금속 팬이 수용되는 단계; 상기 금속 팬의 내부에 분말이 인입되는 단계; 상판이 상기 중간링 위에 배치되는 단계; 및 프레스가 상기 상판과 상기 하판을 압축하여 금속 팬에 담지된 분말성형체를 형성하는 단계를 포함하는 스퍼터 타겟 제조 방법이 개시된다.
다른 일실시예에 따르면 상기 상판은, 상기 중간링의 내부로 인입되어 상기 분말 성형체에 접촉하는 돌출부를 더 포함하는 스퍼터 타겟 제조 방법도 가능하다.
또 다른 일실시예에 따르면 상기 중간링은 상기 하판에 체결되는 돌출링을 포함하고, 상기 하판은 상기 돌출링이 인입되는 홈을 포함하는 스퍼터 타겟 제조 방법이 제시된다.
또는 상기 금속 팬은 구리, 스테인리스 스틸 및 상온 열전도도가 1W/mK 이상인 금속 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
일측에 따르면 상판과 하판의 가운데에 배치되며 내부에 금속 팬을 수용하여 상기 금속 팬의 위치를 고정하는 중간링과 상기 금속 팬을 올려놓는 하판과 상기 상판에 의해 압축되는 분말 성형체를 담지하는 금속 팬을, 스퍼터 건에 체결하고 고정하는 클램프 링; 및 상기 스퍼터 타겟과 음극의 일부를 감싸는 양극 실드(anode shield)를 포함하는 스퍼터 건이 제시된다.
일측에 따르면 스퍼터 타겟을 스퍼터 건에 체결하고 고정하는 클램프 링; 및 상기 스퍼터 타겟과 음극의 일부를 감싸는 양극 실드(anode shield)를 포함하고, 상기 스퍼터 타겟은, 테두리부가 돌출되어 내부에 분말 성형체를 수용하는 금속 팬; 및 상판과 하판의 가운데에 배치되며 내부에 금속 팬을 수용하여 상기 금속 팬의 위치를 고정하는 중간링과 상기 금속 팬을 올려놓는 하판과 상기 상판에 의해 압축되는 분말 성형체를 포함하는 스퍼터 건이 개시된다.
다른 일측에 따르면 상기 클램프 링은, 상기 클램프 링의 내부로 돌출되어 상기 스퍼터 타겟을 움직이지 않도록 고정하는 내측 돌출부를 더 포함하는 스퍼터 건도 제시된다.
또 다른 일측에 따르면 상기 클램프 링은, 상기 스퍼터 건의 음극(cathode)과 체결되어 고정하는 나사를 인입하는 적어도 하나 이상의 구멍을 더 포함하는 스퍼터 건을 개시한다.
다른 일측에 따르면 상기 적어도 하나 이상의 구멍은, 상기 스퍼터 타겟의 원자가 방출되는 주 방향과 수직한 방향으로 형성되는 스퍼터 건이 제시된다.
경우에 따라서 상기 적어도 하나 이상의 구멍은, 상기 스퍼터 타겟의 중심을 기준으로 대칭적으로 배치될 수 있다.
일측에 따르면 상기 음극과 상기 양극 실드 사이에 배치되어 절연하는 절연체; 상기 음극의 하단에 배치되는 적어도 하나 이상의 자석; 및 상기 양극 실드와 상기 스퍼터 건을 체결하는 체결부를 더 포함하는 스퍼터 건도 개시된다.
또는 상기 클램프 링은, 상기 스퍼터 건의 음극(cathode)과 체결되는 나선형 홈을 더 포함하는 스퍼터 건도 가능하다.
일실시예에 따르면 스퍼터링에 사용되는 스퍼터 타겟을 제조하는 장치에 있어서, 테두리가 돌출되어 내부에 분말 성형체를 수용하는 금속 팬; 프레스에 의해 상기 금속 팬 내의 분말 성형체를 압축하는 상판; 상기 금속 팬을 올려놓는 하판; 및 상기 상판과 상기 하판의 가운데에 배치되며 내부에 금속 팬을 수용하여 상기 금속 팬의 위치를 고정하는 중간링을 포함하는 스퍼터 타겟 제조 장치가 개시된다.
도 1a는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟을 생성하기 위한 금속 팬을 도시한다.
도 1b는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치에 의해 생성되는 스퍼터 타겟을 도시한다.
도 2는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟을 제조하기 위한 몰드의 구성을 도시한다.
도 3a는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치에 금속 팬이 체결된 모습을 도시한다.
도 3b는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치에 금속 팬이 체결된 단면도를 도시한다.
도 4a는 일실시예에 따른 스퍼터 건에 스퍼터 타겟을 고정하는 클램프 링을 도시한다.
도 4b는 일실시예에 따른 클램프 링에 의해 스퍼터 타겟이 고정되는 모습을 도시한다.
도 5는 일실시예에 따른 홈이 다른 위치에 배치되는 클램프 링을 도시한다.
도 6은 일실시예에 따른 내측에 체결용 나선 홈을 포함하는 클램프 링을 도시한다.
도 7은 일실시예에 따른 스퍼터 타겟이 스퍼터 건에 클램프 링에 의해 고정되는 모습을 도시한다.
도 8은 일실시예에 따른 스퍼터 타겟이 스퍼터 건에 다른 클램프 링에 의해 고정되는 모습을 도시한다.
도 9는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟이 스퍼터 건에 또 다른 클램프 링에 의해 고정되는 모습을 도시한다.
도 10은 일실시예에 따른 스퍼터 건과 스퍼터 타겟을 도시한다.
이하에서, 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 권리범위는 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
아래 설명에서 사용되는 용어는, 연관되는 기술 분야에서 일반적이고 보편적인 것으로 선택되었으나, 기술의 발달 및/또는 변화, 관례, 기술자의 선호 등에 따라 다른 용어가 있을 수 있다. 따라서, 아래 설명에서 사용되는 용어는 기술적 사상을 한정하는 것으로 이해되어서는 안 되며, 실시예들을 설명하기 위한 예시적 용어로 이해되어야 한다.
또한 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 설명 부분에서 상세한 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 아래 설명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가지는 의미와 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 이해되어야 한다.
스퍼터링의 원리
스퍼터 건(Sputter Gun)의 음극(Cathode)에 전원을 공급하면, 스퍼터 건의 위에 배치되는 스퍼터 타겟에 이온이 부딪힌다. 상기 스퍼터 타겟 표면의 원자 및 분자가 튕겨져 나가 기판에 증착된다.
스퍼터 타겟 제조
도 1a는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟을 생성하기 위한 금속 팬(110)을 도시한다. 팬, 접시, 컵 또는 샬레(Schale)와 유사한 형태로 구성되며, 예시적으로 금속 팬이라고 지칭하였으나, 해당 명칭은 사용자의 이해를 돕기 위한 예시적 기재일 뿐, 다른 실시예를 제한하거나 한정하는 것으로 해석되어서는 안될 것이다.
상기 금속 팬(110)은 스퍼터 건의 상부에 배치되어 내부 공간에 스퍼터 타겟을 수용할 수 있다. 구체적으로, 상기 금속 팬은 가장자리가 중심부 보다 높게 형성되어 내부에 스퍼터 타겟을 수용할 수 있는 공간을 포함한다.
또한 상기 금속 팬(110)은 예시적으로 구리로 구성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니며 다른 금속 재질의 팬으로 구현될 수 있다.
도 1b는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치에 의해 생성되는 스퍼터 타겟(100)을 도시한다.
상기 스퍼터 타겟(100)은 금속 팬(110)에 분말 성형체(120)를 포함한다. 상기 스퍼터 타겟(100)을 이용하여 스퍼터링을 수행할 수 있다. 보다 상세하게는, 상기 스퍼터 타겟(100)을 스퍼터 건 위에 올려두고, 음극에 전류를 흘려주면 분말 성형체(120)에 기체 이온이 부딪히고 상기 분말 성형체 물질이 대상 기판에 증착된다.
도 2에서는 도 1에서 설명한 스퍼터 타겟을 생성하기 위한 스퍼터 타겟 제조 장치 또는 몰드(mold)의 구성을 도시한다.
일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치(또는 몰드)는 상판(210), 중간링(220) 및 하판(230)으로 구성될 수 있다.
상판(210)은 프레스에 의해 상기 금속 팬 내의 분말 성형체를 압축할 수 있다. 구체적으로, 상기 상판의 아랫면에는 돌출되는 영역 즉, 돌출부가 있어서 상기 분말 성형체에 접하여 압축할 수 있다. 상기 돌출부의 지름은 금속 팬의 내부 지름보다 약간 작아 상기 돌출부가 금속 팬 내부로 들어올 수 있다. 다만, 상기 금속 팬 내부 지름과 상기 상판 돌출부의 지름 차이는 최소화 되어야 한다.
하판(230)은 상기 금속 팬을 받쳐주는 역할을 한다. 그리고 중간링(220)은 상기 상판과 상기 하판의 가운데에 배치되며 내부에 금속 팬을 수용하여 상기 금속 팬의 위치를 고정한다.
상기 하판(230)은 중간링(220)과 체결될 수 있으며, 상기 중간링(220)과 상기 하판(230)은 고정될 수 있는 돌출 링과 홈을 포함할 수 있다. 예를 들어 상기 중간링(220)의 아랫면에 하판(230)과 체결되어 고정되는 돌출 링을 더 포함할 수 있으며, 상기 하판(230)은 상기 돌출 링이 삽입되는 홈을 더 포함할 수 있다.
또는 상기 하판(230)이 돌출 링을 포함하고, 상기 중간 링(220)에 홈을 포함하도록 구성되는 방법도 가능하다.
일실시예에서는 하판(230)에 홈이 배치되고, 중간 링(220)이 돌출 링을 포함하도록 구성되는 경우를 예시하여 설명하지만 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 하판(230)의 홈은 돌출 링에 대응하는 크기를 가짐으로써 상기 중간 링(220)이 하판에 고정될 수 있도록 한다.
상기 하판(230)과 중간 링(220)이 고정되고, 상기 중간 링(220)은 내부에 빈 공간을 포함하는 형태이므로, 상기 중간 링(220)의 내부에 금속 팬을 수용할 수 있다. 또한 상기 금속 팬의 내부에는 분말 성형체를 수용하게 된다.
도 3a는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치에 금속 팬이 체결된 모습을 도시한다. 구체적으로 상판(310)을 제외하고 나머지 구성들이 결합된 형태를 도시한다.
스퍼터 타겟 제조 장치는 도 2에서 설명한 대로 상판(310), 중간 링(320) 및 하판(330)으로 구성될 수 있다. 상기 중간 링(320)의 내부에 스퍼터 타겟(340)이 배치되는 모습을 도시한다.
하판(330) 위에 중간 링(320)이 체결되어 고정된 상태에서, 금속 팬에 분말 성형체를 포함하는 스퍼터 타겟이 내부에 위치한다. 그리고 상판(310)을 이용하여 상기 분말 성형체를 압축할 수 있다.
상기 상판(310)은 아랫면에 점선으로 표시되는 돌출부를 더 포함하고, 상기 돌출부의 직경은 금속 팬의 내부 직경과 대응하도록 구성되어 상기 금속 팬 내부의 분말 성형체를 적절하게 압축할 수 있다.
일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치를 이용하면 고가의 장비가 없이도 분말 성형체를 이용한 스퍼터 타겟을 제조할 수 있다. 또한 스퍼터 타겟의 주문 및 제작에 시간이 소요되지 않아 스퍼터 물질(분말)을 변경해 가면서 사용자가 쉽게 제작할 수 있는 효과가 있다.
도 3b는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟 제조 장치에 금속 팬이 체결된 단면도를 도시한다. 상판(310)과 중간링(320) 및 하판(330)이 도시되며, 상기 상판(310)의 돌출부에 의해 금속 팬(342) 내부에 인입되는 스퍼터 분말(341)이 압축되는 모습을 도시한다.
스퍼터 타겟과 스퍼터 건의 체결
도 4a는 일실시예에 따른 스퍼터 건에 스퍼터 타겟을 고정하는 클램프 링을 도시한다. 도 1 내지 도 3에서 설명한 스퍼터 타겟을 스퍼터 건에 결합하여 스퍼터링을 수행한다. 따라서 스퍼터 타겟이 스퍼터 건 위에서 움직이지 않도록 적절하게 체결하는 장치를 설명한다.
스퍼터 타겟은 스퍼터 건에 클램프 링을 이용하여 고정한다. 클램프 링은 스퍼터 타겟을 스퍼터 건에 고정하는 링 형태의 구성으로서, 예시적으로 클램프 링이라고 지칭하였으나, 해당 명칭은 사용자의 이해를 돕기 위한 예시적 기재일 뿐, 다른 실시예를 제한하거나 한정하는 것으로 해석되어서는 안될 것이다. 또는 클램프 실린더 등으로 호칭될 수 있고, 그 명칭에 구애되지 않는다.
일실시예에 따른 클램프 링(410)은 나사가 체결되는 구멍(420)을 포함할 수 있다. 상기 구멍(420)에 나사가 체결되어 있는 모습을 도시한다. 상기 클램프 링(410)의 구멍(420)은 복수 개로 구성될 수 있고, 경우에 따라서는 상기 클램프 링(410)의 중심을 기준으로 대칭적으로 배치될 수도 있다.
도 4b는 일실시예에 따른 클램프 링에 의해 스퍼터 타겟이 고정되는 모습을 도시한다.
구체적으로 설명하면, 도 4b는 스퍼터 건 위에 스퍼터 타겟을 올려 놓고 상기 클램프 링(410)으로 고정한 모습을 도시한다. 상기 클램프 링(410)의 내부에는 스퍼터 타겟(430)이 배치되고 상기 클램프 링(410)에 존재하는 구멍(420)에 나사를 연결하여 스퍼터 건과 고정할 수 있다. 상기 클램프 링(410)의 내부 지름은 금속 팬(110)의 내부지름보가 작아서 금속 팬(110)의 돌출부위가 가리워져야 한다. 그러나 분말 성형체(120) 표면은 최대한 크게 노출될 필요가 있다.
도 5는 일실시예에 따른 구멍이 다른 위치에 배치되는 클램프 링을 도시한다. 홈이 클램프 링의 윗면에 위치하는 경우에 나사를 체결하는 도중 사용자의 실수 등으로 인해 분말 성형체 스퍼터 타겟 표면이 손상될 수 있다. 예를 들어 나사가 미끄러져 스퍼터 타겟 표면으로 굴러 들어갈 수 있다. 이 경우 스퍼터 타겟은 분말을 금속 팬에 물리적으로 압축해 둔 상태이므로 나사에 의해 스크래치가 발생하는 등 표면이 손상될 수 있다. 이렇게 되는 경우 스퍼터 타겟을 처음부처 다시 제작하여야 한다.
또한 스퍼터 타겟을 교체할 경우 클램프 링으부터 타겟을 분리하여야 하는데, 분리가 용이하지 않기 때문에 사용자의 실수로 분말 성형체 스퍼터 타겟의 표면을 손상시킬 가능성이 크다.
따라서 이러한 위험을 방지하기 위해 나사 체결용 구멍이 다른 위치에 배치되는 방법을 도 5에서 설명한다.
일실시예에 따른 클램프 링(510)은 옆면에 나사 체결용 구멍(520)을 포함할 수 있다. 즉, 스퍼터 타겟의 원자가 방출되는 방향과 수직인 방향으로 구멍(520)이 형성될 수 있다. 상기 구멍(520)에 나사를 체결하여 스퍼터 건의 음극(Cathode)에 고정할 수 있으며, 도 4에서 표현되는 윗면에 구멍(420)이 배치되는 경우와는 다르게 안정적으로 클램프 링(510)을 스퍼터 건에 체결할 수 있다.
클램프 링(510)을 스퍼터 타겟 위에 씌우고 나사를 체결하는 경우에 윗면에서 나사를 체결하면 위 설명한 위험성이 존재하나, 옆면에서 체결하는 경우에 스퍼터 타겟이 망가지거나 오염될 위험성이 줄어드는 효과가 있다.
도 6은 일실시예에 따른 내측에 체결용 나선 홈을 포함하는 클램프 링을 도시한다. 일실시예에 따른 다른 클램프 링(610)은 내측에 체결용 나선 홈(620)을 포함하도록 구성될 수 있다.
상기 나선 홈(620)은 스퍼터 건의 음극에 체결될 수 있으며, 상기 음극에는 상기 나선 홈(620)에 대응하는 홈을 포함할 수 있다. 상기 나선 홈(620)을 이용하여 음극과 체결함으로써, 도 5의 클램프 링과 마찬가지로 도 4에서 설명한 위험성을 줄일 수 있다.
스퍼터 장치의 단면
도 7 내지 도 9는 스퍼터 타겟과 클램프 링을 포함하는 스퍼터 건의 측면 단면도를 도시한다.
스퍼터 건은 자석, 음극(Cathode), 양극 실드(Anode Shield), 전원선, 냉각수 공급선 및 냉각수 배출선을 포함할 수 있다.
도 7에서 각 구성의 명칭을 먼저 설명한다. 스퍼터 건은 클램프 링(710), 음극(740), 자석(750), 절연체(760), 양극 실드(770), 전력선(780), 냉각수 입구(790) 및 냉각수 출구(791)를 포함할 수 있다. 상기 절연체(760)는 상기 음극(760)과 상기 양극 실드(770) 사이의 전기적으로 절연한다.
도 7은 일실시예에 따른 스퍼터 타겟(730)이 스퍼터 건에 클램프 링(710)에 의해 고정되는 모습을 도시한다. 상기 클램프 링(710)은 윗면에 나사 체결용 구멍을 포함하고, 상기 구멍을 나사(721)가 관통하여 스퍼터 타겟 아래의 음극(740)과 체결된다.
상기 클램프 링(710)은 측면의 단면도에서 볼 때, 스퍼터 타겟(730)이 배치되는 내측 방향으로 돌출되는 영역을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 클램프 링(710)은 음극에 체결되어 상기 스퍼터 타겟(730)을 고정하므로, 상부 내측 방향에 돌출되는 영역을 포함하도록 구성될 수 있다.
도 8은 일실시예에 따른 스퍼터 타겟이 스퍼터 건에 다른 클램프 링에 의해 고정되는 모습을 도시한다. 일실시예에 따른 다른 클램프 링(810)은 도 7의 클램프 링과 마찬가지로 상부 내측의 돌출되는 영역을 포함할 수 있다. 또한 스퍼터 건의 음극과 나사(821)를 이용하여 체결될 수 있다.
다만, 나사(821)를 체결하는 방향이 스퍼터 타겟(830)의 원자가 방출되는 방향과 수직 방향으로서 상기 클램프 링(810)의 옆면에서 나사(821)가 체결될 수 있다. 상기 나사(821)는 클램프 링(810)을 관통하여 스퍼터 건의 음극과 연결하고 고정한다.
도 9는 일실시예에 따른 스퍼터 타겟이 스퍼터 건에 또 다른 클램프 링에 의해 고정되는 모습을 도시한다. 또 다른 일실시예에 따른 클램프 링(910)은 내부에 나선형 홈(921)을 이용하여 스퍼터 건의 음극과 체결될 수 있다.
상기 나선형 홈(921)을 이용하여 음극과 체결되는 경우에는 돌려 끼우는 형태로 결합될 수 있으며, 사용 종료 후에는 반대 방향으로 돌려서 분리할 수 있다. 나선형 홈(921)을 이용하는 경우에 도 8의 옆면 구멍을 갖는 클램프 링(810)과 마찬가지로 스퍼터 타겟(930)이 훼손될 가능성을 줄일 수 있는 효과가 있다.
스퍼터 장치의 전체 구성
도 10은 일실시예에 따른 스퍼터 건과 스퍼터 타겟(1030)을 도시한다. 구체적으로 도 10에서는 스퍼터 건에 스퍼터 타겟(1030)이 체결되는 전체 모습을 도시한다. 일실시예에 따른 스퍼터 장치에서 상기 스퍼터 건은 분말 성형체로 구성된 스퍼터 타겟(1030)을 수용하고 있으므로 스퍼터 건이 챔버의 하부에 장착되어 스퍼터 타겟 표면이 윗쪽을 바라보도록 배치되는 것이 바람직하다.
일실시예에 따른 스퍼터 건은 자석 위에 음극을 배치하고, 상기 음극 위에 스퍼터 타겟(1030)을 놓는다. 상기 스퍼터 타겟(1030)을 고정하기 위해 클램프 링(1010)이 상기 스퍼터 타겟을 감싸며 체결된다. 상기 클램프 링(1010)은 나사를 체결하기 위한 구멍(1020)을 더 포함할 수 있다. 상기 구멍(1020)이 상기 클램프 링(1010)의 측면에 배치되는 경우를 도시한다.
상기 양극 실드(1040)와 클램프 링 및 스퍼터 타겟을 포함한 음극 사이는 0.5 mm내지 3 mm의 간극을 유지하여야 하며 전기적으로 서로 절연되어 있어야 한다. 상기 양극 실드(1040)는 스퍼터 타겟(1030)에서 원자가 방출될 수 있도록 가운데에 구멍이 뚫려 있는 실린더 형태로 구성될 수 있다.
최종적으로 상기 양극 실드(1040)을 스퍼터 타겟(1030)이 체결된 음극에 씌움으로써 스퍼터링의 준비가 완료되고, 스퍼터 건의 음극에 전류를 흘려줌으로써 스퍼터링을 수행할 수 있다.
실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

Claims (12)

  1. 상판과 하판의 가운데에 배치되며 내부에 금속 팬을 수용하여 상기 금속 팬의 위치를 고정하는 중간링;
    상기 금속 팬을 올려놓는 하판; 및
    상기 상판에 의해 압축되는 분말 성형체를 담지하는 금속 팬
    을 스퍼터 타겟으로 수용하는 스퍼터 건.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 상판과 하판의 가운데에 배치되며 내부에 금속 팬을 수용하여 상기 금속 팬의 위치를 고정하는 중간링과 상기 금속 팬을 올려놓는 하판과 상기 상판에 의해 압축되는 분말 성형체를 담지하는 금속 팬을 스퍼터 타겟으로 수용하는 스퍼터 건에 체결하고 고정하는 클램프 링; 및
    상기 스퍼터 타겟과 음극의 일부를 감싸는 양극 실드(anode shield)
    를 포함하고,
    상기 클램프 링은,
    상기 스퍼터 건의 음극(cathode)과 체결되어 고정하는 나사를 인입하고, 상기 스퍼터 타겟의 원자가 방출되는 주 방향과 수직한 방향으로 형성되는 적어도 하나 이상의 구멍을 포함하는 스퍼터 건.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 클램프 링은,
    상기 클램프 링의 내부로 돌출되어 상기 스퍼터 타겟을 움직이지 않도록 고정하는 내측 돌출부
    를 더 포함하는 스퍼터 건
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제6항에 있어서,
    상기 적어도 하나 이상의 구멍은,
    상기 스퍼터 타겟의 중심을 기준으로 대칭적으로 배치되는 스퍼터 건.
  10. 삭제
  11. 제6항에 있어서,
    상기 클램프 링은,
    상기 스퍼터 건의 음극(cathode)과 체결되는 나선형 홈
    을 더 포함하는 스퍼터 건.
  12. 삭제
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