JP2002509604A

JP2002509604A - マイクロエレクトロニクス相互接続要素のための接触チップ構造及びその製造方法

Info

Publication number: JP2002509604A
Application number: JP54119397A
Authority: JP
Inventors: ハンドロス，イゴー，ワイ; エルドリッジ，ベンジャミン，エヌ; マシュー，ゲータン，エル; ドザイアー，トーマス，エイチ; テイラー，シェルドン，エイ
Original assignee: フォームファクター，インコーポレイテッド
Priority date: 1996-05-17
Filing date: 1997-05-15
Publication date: 2002-03-26
Also published as: EP0839321A1; EP0839321B1; CN1225724A; AU3073797A; EP0839323A1; CN1134667C; EP0898712A2; DE69735101T2; CN1197514A; EP0898712B1; WO1997043653A1; WO1997043656A2; WO1997043656A3; DE69735101T8; CN1272632C; DE69735101D1; EP0839323B1; WO1997043654A1; CN1145802C; CN1194693A

Abstract

(57)【要約】複合相互接続要素、一体構造形相互接続要素、プローブカードのタングステンニードル、膜プローブの接触バンプ、及びその他の相互接続要素に対して後で接合するために、接触チップ構造が犠牲基板上に製造される。チップ構造の間の空間的関係は、リソグラフィによって、非常に近接した公差となるように画定できる。チップ構造のメタラジーは、そのチップ構造がロウ付け、メッキなどにより取着される相互接続要素のメタラジーとは独立のものである。接触チップ構造には、切頭ピラミッド形のようなトポロジー的（小さく精密で突出している非平坦な）接触造作を容易に備えることができ、後に電子部品の端子に対して行われる、電気的な圧力接続が最適化される。弾性接触要素に対して接合することを必要とせずに、使用時にバネ接触要素として機能すべく適合された、細長い接触チップ構造が記述される。一般に、本発明は、比較的「完全」な接触チップ構造（「チップ」）を作成（予備製造）し、それを比較的「不完全」な相互接続要素と接合して、結果的に得られる「チップ付き」の相互接続要素の全体的な性能を改良することを指向している。

Description

【発明の詳細な説明】名称マイクロエレクトロニクス相互接続要素のための接触チップ構造及びその製造方法発明の技術分野本発明はマイクロエレクトロニクス用途のための相互接続（接触）要素に関し、より詳しくは、電子部品の間で圧力による接続を行うのに適した弾性（バネ的な）接触要素である、接触要素に関するものである。関連出願に対する相互参照この特許出願は、1995年５月26日に出願され本出願人の所有する同時係属中の米国特許出願第08/452,255号（以下「親事例」という）と、これに対応する1995 年11月13日出願のPCT出願PCT/US95/14909号の一部継続出願であり、これらの米国特許出願とPCT出願は両方とも、1994年11月15日に出願され本出願人の所有する同時係属中の米国特許出願第08/340,144号と、これに対応する1994年11月16日出願のPCT出願PCT/US94/13373号の一部継続出願であり、これらの米国特許出願とPCT出願は両方とも、1993年11月16日に出願され本出願人の所有する同時係属中の米国特許出願第08/152,812号（現在は1995年12月19日の米国特許第5,476,21 1号）の一部継続出願であり、これらは全てここでの参照によって本明細書に取り込まれる。この特許出願はまた、本出願人の所有する同時係属中の以下の米国特許出願の一部継続出願である。 1995年９月21日出願の08/526,246号（1995年11月13日出願のPCT/US95/14843号） 1995年11月９日出願の08/554,902号（1995年11月13日出願のPCT/US95/14844号） 1995年11月15日出願の08/558,332号（1995年11月15日出願のPCT/US95/14885号） 1996年２月15日出願の08/602,179号（1996年５月28日出願のPCT/US96/08328号） 1996年２月21日出願の60/012,027号（1996年５月24日出願のPCT/US96/08117号） 1996年３月５日出願の60/012,878号（1996年５月28日出願のPCT/US96/08274号） 1996年３月11日出願の60/013,247号（1996年５月28日出願のPCT/US96/08276号）及び 1996年５月17日出願の60/005,189号（1996年５月24日出願のPCT/US96/08107号）これらの出願は全て(リストにある仮特許出願を除き)、上記した親事例の一部継続出願であり、またこれらの出願は全て、ここでの参照によって本明細書に取り込まれる。この特許出願はまた、Eldridge,Grube,Khandros及びMathieuによる、本出願人の所有する同時係属中の以下の米国特許出願の一部継続出願であり、これらもここでの参照によって本明細書に取り込まれる。 1996年７月27日出願の60/020,869号 1996年８月22日出願の60/024,405号 1996年８月26日出願の60/024,555号 1996年11月13日出願の60/030,697号 1996年12月31日出願の60/034,053号 1997年２月18日出願の08/802,504号発明の背景電子部品の間での相互接続は一般に、「比較的永続的」と「容易に取り外し可能」という二つの広いカテゴリーに分類することができる。「比較的永続的」な接続の一例は、ハンダ接合である。二つの電子部品が相互にハンダ付けされたならば、これらの部品を分離するためには、ハンダ除去プロセスを用いなければならない。半導体チップと半導体パッケージの内部リード( 又はリードフレームフィンガの内端)との間にあるようなワイヤボンドは、「比較的永続的」な接続の別の例である。「容易に取り外し可能」な接続の一例は、一つの電子部品の固定ピンが、別の電子部品の弾性のソケット要素に受容されるといったものである。容易に取り外し可能な接続の別のタイプは、それ自体が弾性、即ちバネ的な、或いはバネ的な媒体内又は媒体上に設けられる、相互接続要素である。こうしたバネ接触要素の一例は、プローブカード部品のタングステンニードルである。かかるバネ接触要素は、典型的には、それが設けられた部品と、テスト中の半導体デバイス（DUT）の如き別の部品の端子との間で、一時的な圧力接続を行うことを意図したものである。タングステンニードルについての問題点としては、そのチップ（先端）を研削して適切な形状にするのが困難であること、それらが長く持たないこと、そしてそれらが頻繁な再加工を必要とすることがある。一般に、電子部品（例えば電子部品の端子）に対する信頼性のある圧力接触を行うためには、ある所定の最小限の接触力が望ましい。例えば、端子表面にフィルムが付着していたり、表面に腐食又は酸化生成物が存在することのある電子部品の端子に対して、信頼できる電気的接触を確実に行うためには、約15グラム（接触当たり最低で２グラム又はそれ未満、多くて150グラム又は超を含む）の接触（負荷）力が望ましい。適切な最小限の接触力を確立し、維持することに加えて、関心事となる別の要因は、電子部品の端子に対して圧力接続を行うバネ接触要素の端部の形状（表面テクスチャを含む）及びメタラジー（metallurgy、冶金学的性質）である。プローブ要素としてのタングステンニードルの例に戻ってみると、接触端部のメタラジーは明らかに、この相互接続要素のメタラジー（即ちタングステン）によって限定されており、これらのタングステンニードルの直径が小さくなればなるほど、その接触端部において所望の形状を確立し又は制御することは比例的に難しくなる。ある所定の場合には、接触要素それ自体は弾性ではなく、弾性部材によって支持される。膜プローブはこうした状況の例となるものであり、そこでは複数の微小バンプが弾性膜上に配置される。この場合にも、この相互接続要素の製造に必要とされる技術によって、こうした相互接続要素の接触部分の形状及びメタラジーについての設計上の選択肢は限定される。細長いバネ接触要素の一例が、親事例（PCT/US95/14909）に開示されており、そこでは、独立したワイヤステム（細長い要素）を電子部品の端子上に設け、ワイヤステムを整形し、ワイヤステムを剥離して独立させ、この独立させたワイヤステムをオーバコートして、結果物である独立したバネ要素に対して所望の弾性を付与することにより、弾性接触構造（バネ要素）を「複合」相互接続要素として製造することが記載されている。オーバコート材料はまた、ワイヤステムが設けられる端子に隣接する表面を覆って連続的に拡がり、得られる複合相互接続要素を端子に対して堅固に係留するのに備えている。これらの細長い、複合的な弾性相互接続要素は本発明に有利なものであるが、本発明はこれらに限定されるものではない。発明の簡単な説明（概要）本発明の目的は、特にマイクロエレクトロニクス部品を相互接続するのに用いるための、相互接続要素の製造のための改良された技術を提供することである。本発明の別の目的は、電子部品の端子と圧力接続を行うのに適した、弾性接触構造（相互接続要素）を提供することである。本発明の別の目的は、予備製造された接触チップ構造を既存の接触要素に接合するための技術を提供することである。本発明の別の目的は、接合対象となる相互接続要素とは別個に製造することのできる、接触チップ構造を提供することである。本発明によれば、接触チップ構造は犠牲基板上に予備製造され、次いで他の（既存の）相互接続要素に対して接合され、その後犠牲基板が除去される(得られた「チップ付き」の相互接続要素から分離される)。上記の相互接続要素は、細長くても細長くなくてもよく、また弾性（バネ）接触要素であってもなくてもよい。上記の相互接続要素は「複合」又は「一体構造」であることができ、またプローブカードのタングステンニードルや膜プローブのバンプ要素を含むことができる。本発明の一つの特徴によれば、接触チップ構造は、相互接続要素に対して、ロウ付け又はメッキによって接合される。代替的に、接触チップ構造は、導電性接着剤（例えば銀を充填したエポキシ）その他によって、相互接続要素に接合することができる。本発明の一つの特徴によれば、接触チップ構造についての、種々のメタラジーとトポロジー（接触造作）が記述される。本発明の一つの側面によれば、ミクロ機械加工技術や「機械的」技術を含む、在来の半導体プロセス技術（例えばフォトリソグラフィ、堆積）を用いて、複数の接触チップ構造が、予め規定された空間的関係を相互に有するようにして、極めて厳密な公差でもって犠牲基板上に容易に製造される。接触チップ構造が犠牲基板上に存在している限り、これらの公差及び空間的関係は十分に保持される。接触チップ構造が相互接続要素に接合された後、これらの公差は相互接続要素によって保持される。一般に本発明は、相互に比較的精密な位置関係を有する複数の接触チップ構造を、相互に比較的大まかな（粗い）関係をもって配置されうる、対応する複数の相互接続要素へと接合することにより、電気的接触構造の構築を容易なものとする。好ましくは、各々の接触チップ構造は、その本体部分上にトポロジー的（位相幾何形状的）な接触造作部分を有し、これが他のトポロジー的接触造作のそれぞれに対して比較的精密な関係で配置されており、チップ構造の本体部分は相互にそれほど精密に配置される必要はない。これらのトポロジー的な接触造作は、接触チップ構造が予備製造された犠牲基板をエッチングすることによって多大な位置的精密さをもって容易に形成され、かくしてそれらはミクロ機械加工などの在来の半導体製造技術を用いて、ピラミッド形、切頭ピラミッド形その他の形態（形状）を有するようにされる。本発明の一つの特徴によれば、種々の犠牲基板、並びに予備製造された接触構造をそれらが存在している犠牲基板から分離するための方法が記述される。例えば、犠牲基板はシリコンウエハーであることができ、これはミクロ機械加工技術を用いて、造作を有する窪みを有するように処理され、本発明の接触チップ構造は、こうした窪み及び造作内へと一つ又はより多くの導電性金属層を堆積することによってそこに製造される。本発明は、接触チップ構造を予備製造することを可能にし、この構造は表面テクスチャ（粗さ及び形状、ジオメトリ(幾何学的形状)、トポロジー）及びメタラジーを有し、またその寸法は、それが接合される相互接続要素の材料やその製造に付随する考慮事項によって限定されない。複数の接触チップ構造が予備製造された犠牲基板は、接触チップ構造を自分の相互接続要素に対して接合することを望む者に対し、それ自体単独で最終製品として販売するのに適したものである。本発明の一つの重要な特徴は、大きさ及び間隔を制御するために、例えばマスキング、リソグラフィ及び堆積といった公知の半導体製造プロセスを用いることにより、複数の接触チップ構造が犠牲基板上に、極めて精密な公差で容易に製造されることである。本発明の一つの側面によれば、細長い接触チップ構造が製造され、これは既存の相互接続要素に対して接合することなしに、それ自体単独でバネ接触要素として機能するよう用いるのに適したものである。バネ接触要素として機能するこれらの細長い接触チップ構造は、平坦なものであることができ、その基端部において電子部品表面上の導電性ペデスタルに対して接合され、かくして細長い接触チップ構造と電子部品表面との間には空間が存在し、細長い接触チップ構造の接触端部がこの空間内部へと偏向することができるようになる。バネ接触要素として機能するこうした細長い接触チップ構造はまた、その基端部が中央の本体部分から一方向にオフセット（片寄り）されており、またその接触端部が中央の本体部分から反対方向にオフセットされているという、三次元的なものでありうる。本発明の細長い接触チップ構造は、基端部相互間において接触端部におけるよりも大きな（より粗い）ピッチを得るように、互い違いの配向（例えば左−右− 左−右）を有することができる。本発明の細長い接触チップ構造は、基端部相互間において接触端部におけるよりも大きな（より粗い）ピッチを得るように、交番する長さ（例えば短−長−短 −長）を有することができる。基端部と接触端部との間で細長い接触チップ構造の幅及び／又は厚みにテーパを付けることもまた開示される。細長い接触チップ構造が、その接触端部に加えられる接触力に応じて発生する力を適応させる（調節する）技術も開示される。本発明は、比較的「完全」（非常に均一であり、厳密な公差で複製可能）な接触チップ構造を製造し、それを比較的「不完全」な相互接続要素と「結び付ける」技術を提供する。相互接続要素の製造に付随する制約のために、チップのジオメトリ及びメタラジー、並びに相互接続要素の全体的な空間的均一性に関しては、何らかのトレードオフが要求されることが多い。そして再処理することができない場合には、相互接続要素は交換されねばならない。本発明は、リソグラフ的に精密な均一性をもって、チップのメタラジー、ジオメトリ及びトポロジーを、チップが接合される相互接続要素のそれらから解放することにより、こうした制約を解消するものである。本発明の他の目的、特徴及び利点は、本発明についての以下の説明に徴すれば、より明らかとなるものである。図面の簡単な説明さて以下では本発明の好ましい実施例を詳細に参照するが、その例は添付図面に図示されている。本発明はこれらの好ましい実施例の文脈で説明されるが、本発明の思想及び範囲をこれらの特定の実施例に限定することは意図していないことが理解されねばならない。ここに示される側面図においては、図示の明確さのために、側面が部分的にのみ断面で示され、また部分的に斜視図で示されることがある。ここに示される図面においては、図示の明確さのために、ある種のエレメントの大きさが誇張して（図中の他のエレメントに関して縮尺通りではなく）示されることがある。図1Aは、本発明の一般化された実施例の部分的に展開された斜視図であり、本発明による予備製造された接触チップ構造（102）と、それらが接合される相互接続要素（106）とを示している。図1Bは、本発明により図1Aの相互接続要素（106）にロウ付けにより接合された、図1Aの接触チップ構造（102）の側部断面図である。図1Cは、本発明により図1Aの相互接続要素（106）にメッキにより接合された、図1Aの接触チップ構造（102）を部分的に斜視図で示す側部断面図である。図1Dは、本発明により図1Aの相互接続要素（106）にロウ付けにより接合された、図1Aの接触チップ構造（102）の(図1Bと比較される)、犠牲基板（104）が除去された後の側部断面図である。図2Aは、本発明により、相互接続要素のための接触チップ構造を製造するための一つの技術を示す断面図である。図2Bは、本発明による、図2Aの技術におけるさらなる工程を示す断面図である。図2Cは、本発明による、既存の相互接続要素（252）に接合されている図2Bの接触チップ構造（220）を、部分的に断面で示す側面図である。図2Dは、本発明により、犠牲基板（202）の除去の後に、図2Bの接触チップ構造（220）が接合された図2Cの相互接続要素（252）を接合する、さらなる（最終）工程を部分的に断面で示す側面図である。図3Aは、本発明の接触チップ構造が、本発明によるあるタイプの細長い相互接続要素に固定された実施例の、側部断面図である。図3Bは、本発明の接触チップ構造が、本発明によるあるタイプの細長い相互接続要素に固定された別の実施例の、側部断面図である。図3Cは、本発明の接触チップ構造が、本発明によるあるタイプの細長い相互接続要素に固定された別の実施例の、側部断面図である。図4Aは、本発明により、多層接触チップ構造を製造するための一つの技術を示す側部断面図である。図4Bは、本発明により、犠牲基板（424）上に接触チップ構造（440）を形成する一つの技術と、犠牲基板を分離する一つの技術を示す側部断面図である。図5Aは、本発明により犠牲基板上に複数の接触チップ構造を製造する最初のステップを示す斜視図である。図5Bは、本発明により犠牲基板上に接触チップ構造を製造する別のステップを示す、図5Aの5B-5B線に沿って取った側部断面図である。図5Cは、本発明により犠牲基板上に接触チップ構造を製造する別のステップを示す側部断面図である。図5Dは、本発明による、犠牲基板上に製造された接触チップ構造を示す側部断面図である。図5Eは、本発明による、相互接続要素に接合された接触チップ構造の斜視図である。図5Fは、本発明による、別の相互接続要素に接合された接触チップ構造を示す側部断面図である。図6Aは、本発明により接触チップ構造の製造のための犠牲基板を準備する一つの技術を示す斜視図である。図6Bは、本発明による、相互接続要素（点線で示す）の端部に接合された接触チップ構造（620）の斜視図である。図7A-7Cは、本発明により犠牲基板上に細長い接触チップ構造を製造するためのプロセスにおけるステップを示す断面図である。図7Dは、本発明による、犠牲基板上に形成された細長い接触チップ構造の斜視図である。図7Eは、本発明による、犠牲基板上に形成された複数の細長い接触チップ構造の斜視図である。図7Fは、本発明による、電子部品（734）に対して細長い接触チップ構造（720 ）を設けるための一つの技術を示す側部断面図である。図８は、本発明による、交番する長さを有する複数の細長い接触チップ構造の製造を示す実施例の斜視図である。図9Aは、本発明による、弾性相互接続要素（バネ接触要素）として用いるのに適した、細長い接触チップ構造を示す断面図である。図9Bは、本発明による、図9Aのバネ接触要素の平面図である。図9Cは、本発明による、バネ接触要素の代替的な実施例の断面図である。図9Dは、図9Cのバネ接触要素の一部の拡大断面図である。図9Eは、本発明による、バネ接触要素の代替的な実施例の断面図である。図10A-10Dは、本発明による、細長い接触チップ構造（バネ接触要素）の機械的特性を調節するための代替的な技術を示す側部断面図である。図11A及び11Bは、本発明による代替的なバネ接触要素の斜視図である。発明の詳細な説明本発明は一般に、接触チップ構造を予備製造し、その後これらを既存の相互接続要素に接合して、以下の利点の一つ又はより多くを得ることを指向したものである。（a）本発明の接触チップ構造には、電子部品の端子のメタラジーに特に適合した、明確な表面テクスチャ、粗さ及び形状（ジオメトリ、トポロジー）を容易に備えることができる。この電子部品の端子には最終的に、接触チップ構造が接合された相互接続要素のチップが接触し、接触チップ構造が接合される相互接続要素の表面テクスチャとは無関係に、各種の用途について電子部品の特定の端子と「チップ付き」の相互接続要素が行う圧力接続を最適なものとする。（b）本発明の接触チップ構造は、それが接合される相互接続要素のメタラジーと異なるものから全く別個に製造することを含めて、何らかの適切なメタラジーでもって容易に製造される。（c）本発明の接触チップ構造は、それが接合される相互接続要素に付随する公差の限界とは事実上無関係に、複数の接触チップ構造の平坦性に関し、また複数の接触チップ構造のそれぞれの間の間隔に関して、極めて精密な公差で容易に製造される。（d）本発明の接触チップ構造は、それが接合される相互接続要素の対応する寸法（例えば断面直径）と無関係で、またそれより大きな臨界寸法（例えば直径）を有して、容易に製造される。細長い及び／又は弾性相互接続要素の如き、既存の相互接続要素は、それに接合される本発明の接触チップ構造を有することにより利点を得るものである。「一般化された」実施例図1Aは、本発明の一般化された実施例100を示しており、そこでは複数の（多数のうち４つが図示されている）接触チップ構造102が、後述する仕方により、支持（犠牲）基板104上に予備製造されている。対応する複数の（多数のうち４つが図示されている）相互接続要素106（これらの細長い相互接続要素は末端とチップしか示していない）は、それらの自由端106aを接触チップ構造102に（或いはその逆）接合する準備段階において示されている。細長い相互接続要素106 の自由端106aは、これらの細長い相互接続要素106の反対側の端部（図示せず）から隔たっており(遠位)、こうした反対側の端部は通常は、半導体デバイス、多層基板、半導体パッケージ等の如き電子部品（図示せず）の表面から延伸する。支持（犠牲）基板104は、その上に存在する予備製造された接触チップ構造102 と共に、細長い相互接続要素106の製造プロセスに先立って、全く別個のプロセスにより独立して製造される。図1Bは、接触チップ構造102を細長い相互接続要素106へとロウ付けにより接合する、次のステップを示す側面図である。得られたロウ付けすみ肉108が図示されている。接触チップ構造102は依然として、相互に予め規定された空間的関係をもって、犠牲基板104上に存在している。図1Bはまた、細長い相互接続要素に対して導電性接着剤（例えば銀が充填されたエポキシ）等により接合された接触チップ構造102についても例示的なものである。図1Cは、少なくとも接触チップ構造102とこれに隣接する細長い相互接続要素1 06の端部部分を、メッキの如きによりニッケルなどのメタラジー110でオーバコートすることにより、接触チップ構造102を細長い相互接続要素106へと接合する、代替的な次のステップを示す側面図である。具体的に図示されてはいないが、オーバコート材料110は、細長い相互接続要素106の全長にわたって延伸（被覆）することができることが理解されねばならない。図1Dは、図1B又は1Cの何れかに示したステップに続くステップを示す側面図であり、そこでは接触チップ構造102を細長い相互接続要素106に接合した後に、支持（犠牲）基板104が除去される。犠牲基板を除去する技術については後述する。結果物である「チップ付き」の相互接続要素106（ここで用いる「チップ付き」の相互接続要素とは、接合された別個の接触チップ構造を有することになった相互接続要素である）が、図1Bに関して説明した仕方でロウ付けされた（108）接触チップ構造102を有するものとして示されている。このようにして、接触チップ構造102は相互接続要素106とは異なる（より精密な）公差間隔を有することができ、相互接続要素106と異なるメタラジーを有することができ、他の場合には相互接続要素106については達成することのできないトポロジー（後述）を有することができる。接触チップ構造102及び犠牲基板104の材料、並びに接触チップ構造102を予備製造し、接触チップ構造102を相互接続要素106に接合した後に犠牲基板を除去するのに適した技術について、以下で詳細に説明する。例示的な全般的方法、及び結果物である「チップ付き」相互接続要素上述したように、接触チップ構造を（犠牲基板上に）予備製造し、次いで接触チップ構造と別個に製造された相互接続要素に対して接触チップ構造を接合することにより、多くの利点が得られる。図2A-2Dは、犠牲基板上に接触チップ構造を予備製造し、接触チップ構造を典型的な細長い相互接続要素に接合し、そして犠牲基板を除去する一つの技術を例示しており、全体としては前述したPCT/US95/14844号の図8A-8Eに対応するものである。図2Aは、犠牲基板202上に接触チップ構造を製造する技術200を示している。この例において、犠牲基板としては、上部（図面で見て）表面を有するシリコン基板（ウエハー）202が用いられている。シリコン基板202の上部表面にチタンの層 204が堆積され(例えばスパッタリングにより)、この層は適切には約250Åの厚みを有する(１Å＝0.1nm＝10^-10m)。チタン層204の上にはアルミニウムの層206が堆積され(例えばスパッタリングにより)、適切には約20,000Åの厚みを有する。チタン層204は任意選択的なものであり、アルミニウム層206のための接着層として作用する。アルミニウム層206の上には銅の層208が堆積され(例えばスパッタリングにより)、適切には約5,000Åの厚みを有する。銅層208の上にはマスキング材料（例えばフォトレジスト）の層210が堆積され、約２ミルの厚みを有する。マスキング層210は、何らかの適切な仕方で処理されて、フォトレジスト層210を貫通して下側の銅層208へと延びる複数の（多数のうち３つが図示されている）孔（開口）212を有するようにされる。例えば、各々の孔212は直径が６ミルであることができ、孔212は10ミルのピッチ（中心−中心）で配置することができる。犠牲基板202はこのようにして、犠牲基板202上の「リソグラフィにより画定された」位置において、孔212の内部に複数の接触チップ構造を製造する準備が整う。典型的な接触チップ構造は、以下のようにして形成することができる。銅層208上で、孔212の内部に、メッキの如きによってニッケルの層214が堆積され、適切には約1.0-1.5ミルの厚みを有する。任意選択的に、ニッケルの堆積に先立って、ロジウムの如き貴金属の薄い層（図示せず）を銅層208上に堆積することができる。次に、メッキの如きにより、ニッケル層214上に金の層216が堆積される。このニッケルと金（及び任意選択的にロジウム）の多層構造は、予備製造された接触チップ構造（図2Bで220）として作用する。次に図2Bに示されているように、フォトレジスト210が剥ぎ取られ(何らかの適切な溶媒を用いて)、銅層208の上部に置かれた複数の予備製造されたチップ構造 220が残される。次いで、銅層208の露出された（即ち接触チップ構造220で覆われていない）部分に高速エッチング処理が施され、それによってアルミニウム層 206が露出される。アルミニウムは殆どのハンダ及びロウ付け材料に関して実質的に濡れ性でないから、以下で明らかとなるように、アルミニウムは後続のステップにおいて有用なものである。フォトレジストが追加の孔（図示しないが212に匹敵するもの）を備えるようにパターニングし、その中に、実際の接触チップ構造220を製造するのに用いたのと同じプロセスステップでもって、「模造」接触チップ構造222を製造することができるようにするのが好ましいことは、言及しておくべきであろう。これらの模造接触チップ構造222は、メッキされている表面にわたって急激な勾配（非一様性）が現れるのを低減することにより、周知の了解されている仕方でもって、前述したメッキステップ（214,216）を一様化するよう作用する。こうした構造222は一般に、メッキ分野では「ローバー」と呼ばれる。このようにして、複数の接触チップ構造220が犠牲基板202上に首尾良く予備製造され、その後に対応する複数の相互接続要素と接合されるのを待つ状態になる。任意選択的に、接触チップ構造の予備製造の一部として(或いは接触チップ構造を相互接続要素に接合する直前に)、ハンダ又はロウ付けペースト（「接合材料」）224が、接触チップ構造220の上部（図面で見て）表面上に堆積される。（模造接触チップ構造222の上部には、ペーストを堆積させる必要はない。）このことは、技術的に既知のようにして、ステンレススチールのスクリーン又はステンシルを用いたり、ハンダペーストを自動施与するなど、何らかの適切な仕方で実行される。一般的なペースト（接合材料）224は、例えば１ミルの球体（ボール）として現れる金−錫合金（フラックス材料中）を含有するものである。接触チップ構造220は今や、例えば、限定的にではないが前述の親事例（PCT/U S95/14909号）の複合相互接続要素にような、相互接続要素の端部（チップ）に対して接合（例えばロウ付け）される準備が整った。接触チップ構造220は、犠牲基板202上に製造されて存在している状態で、以下で詳細に説明するように、その後それ自体単独でもって、既存の広範な種々の相互接続要素に対して接合することが可能な製品を構成するものである。上部に存在する接触チップ構造を備えた犠牲基板は今や、電子部品であることのできる典型的な基板254から延びる、典型的な細長い相互接続要素252のチップ（自由端）に対して当接するように持ってこられる。図2Cに示すように、接触チップ構造220（図示の明確さのために、図2Dに鑑みて、二つの接触チップ構造のみが示されている）は、標準的なフリップチップ技術（例えばスプリットプリズム）を用いて、相互接続要素252のチップ（末端）と整列され、このアセンブリはロウ付け炉（図示せず）を通過されて接合材料224がリフローされ、それにより予備製造された接触チップ構造220は、相互接続要素252の端部に対して永続的に接合（例えばロウ付け）される。このリフロープロセスの間、濡れ性でない露出されたアルミニウム層206は、ハンダ（即ちロウ）が接触チップ構造220の間を流れることを防止する。即ち、隣接する接触チップ構造の間にハンダのブリッジが形成されることを防止する。アルミニウム層206のこの抗濡れ機能に加えて、アルミニウム層206はまた、分離機構を提供するようにも作用する。適切なエッチング液を用いると、アルミニウムは優先的に（アセンブリの他の材料に対して）エッチング除去され、シリコンの犠牲基板202は簡単に「ひょいと」外れ、結果物として図2Dに示すように、各々に予備製造されたチップ構造220を有する「チップ付き」の相互接続要素252 を備えた基板又は電子部品254が得られる。（接合材料224はリフローして、相互接続要素252の端部にある「すみ肉」225となっていることに注意されたい。）このプロセスのある最終ステップにおいては、残留している銅208がエッチング除去され、他の電子部品（図示せず）の端子（図示せず）に対する信頼性のある電気的圧力接続を行うべく露出される、ニッケル（又は前述したようにロジウム）を備えた接触チップ構造220が残される。ロウ付け（ハンダ付け）ペースト224が省略され、その代わりに、接触チップ構造220を実装するのに先立って、相互接続要素252上に金と錫の交番する層が共融比率でメッキされることは、本発明の範囲内にある。同様の手法でもって、相互接続要素252との接合に先立って、接触チップ構造220上に共融接合層をメッキすることもできる。接触チップ構造220は、同一平面上にあり且つ一様な厚みを有するようにして、容易に製造されるものであるから、結果物である「チップ付き」の相互接続要素（図2D）は、実質的に同一平面にあるチップ（即ち接触チップ構造の露出された表面）を有することになる。相互接続要素（例えば252）が実装される電子部品（例えば254）は、ASIC、マイクロプロセッサ、プローブカードアセンブリの部品（例えば空間変形（spacet ransformer）部品）などであることができる。実施例ここに開示された技術は、予備製造された接触チップ構造を相互接続要素に接合（例えばロウ付け）するために用いることができ、相互接続要素は弾性又は非弾性の何れかであり、また細長いか又は細長くなく、そしてさらに複合相互接続要素（親事例PCT/US95/14909号に開示されている如く）であるか又は一体構造の相互接続要素である等といったものであるが、これらは本発明の範囲内にある。接触チップ構造が接合される相互接続要素は、電子部品（限定されるものではないが、前述したPCT/US95/14844号に開示された如き、プローブカードアセンブリの空間変形部品等である）の如き基板に対して実装される（そこから延伸する）ことができ、或いは基板に実装されてはいないが他の何らかの手段によって相互に予め規定された空間位置関係で保持された、複数の相互接続要素であることができる。図3A,3B及び3Cは、かかる典型的な用途の幾つかを示すものであり、そこでは本発明の予備製造された接触チップ構造（例えば220）が、種々のタイプの「既存の」（別個に製造された）相互接続要素に対して接合されている。これらの図においては、図示の明確化のために、ロウ付けは省略されている。実施例１端部が基板に実装されていない複数の細長い相互接続要素の一例は、IBM（商標名）のCobra（商標名）プローブであり、これは図3Aに示されている（様式化されて）ように、二つの堅固な固定された平坦構造体304と306の間で相互にほぼ平行に延びる、複数の（多数のうち４つが図示されている）細長い相互接続要素 302を有している。各々の相互接続要素302の二つの端部は、二つの堅固な固定の平坦構造体のそれぞれを通って露出されており、ある電子部品（図示せず）の端子（図示せず）と別の電子部品（図示せず）の端子（図示せず）との間で圧力接続を行うようになっている。図3Aの例示は実際上は概略的なものであり、機械的な組立図であることを意図したものではない。細長い相互接続要素302は屈折していることができ、全体として座屈ビームとして機能する。予備製造された接触チップ構造、例えば上述した図2Bに示すチップ構造220は、図3Aに示す如き相互接続要素302の一端（図示せず）又は両端（図示の如き）に対して、（図示しないが、上述したロウ付け又はメッキの如きにより）容易に接合され、その後犠牲基板（例えば202）が除去される(図示せず)。例えば、チップ構造220が相互接続要素の一端のみに接合される場合には、それらは相互接続要素の同じ（例えば図で見て上部の）端部に接合されることが好ましい。このことは、本発明の重要な利点を示している。接触チップ構造220のメタラジー、大きさ及びトポロジーは、それが接合される細長い相互接続要素302の物理的性質とは全く無関係であり、またこうした複数の相互接続要素を有用な装置に対して組み付ける際に随伴される、どのようなプロセス的な制限とも無関係である。本発明は、有効であるためにはチップ（先端）を注意深く整形することが必要とされる、Cobraタイプの相互接続要素に関連する問題点を克服するものである。実施例２図3Bは、従来技術のプローブカード（図示せず）における一般的な細長いタングステンニードル312の端部に接合（図示しないが、上述したロウ付け又はメッキの如きにより）された、複数の接触チップ構造220の一つを示している。これは、本発明の一つの重要な特徴を典型的に示している。既存のプローブカードのタングステンニードルに対して所望とするチップ形状を付与することは、特にニードルの大きさが小さくなればなるほど(例えば直径１ミル)、一般的に困難である。予備製造された接触チップ構造220をタングステンニードル312の端部に接合することにより、こうした問題点は恐らく回避され、それによって、タングステンニードルよりも（直径、又は「足跡」が）大きな接触表面（即ち接触チップ構造の表面）をもたらしながら、さらにより小さな（例えば直径が）タングステンニードルを使用することができるようになる。本発明はまた例えば、タングステンニードルのチップ（端部）の形状と正確な位置を制御するについての困難性をも克服するものである。本発明は、タングステンニードルの端部を研削して適切な形状と寿命を有するようにすることを含めて、タングステンニードルのプローブ要素に関する種々の問題点を克服する。ある種の相互接続要素の場合には、接触チップ構造を接合する相互接続要素の表面を適当なメッキプロセスの如きにより処理し、その相互接続要素の表面がロウ付け（又はメッキ）に対して受容性となるようにすることが望ましい。例えば、接触チップ構造（例えば220）を接合する前に、プローブカードインサートのタングステンニードル（例えば312）を、金、ニッケル、ニッケル−パラジウムなどによりメッキするものである。実施例３接触チップ構造が接合される相互接続要素は、多くの場合は細長いものであり、また上記した二つの実施例におけるように、恐らくは本来的に弾性である。しかしながら、接触チップ構造が接合される相互接続要素が、細長くもなく、また本来的に弾性でもない場合も、本発明の範囲内にある。図3Cは、従来技術において公知のタイプの膜プローブの一部を示している。ここでは複数の（多数のうち２つが図示されている）非弾性バンプからなる相互接続要素（接触バンプ）322が、可撓性の膜324の表面上に存在している。図示されているように、本発明の接触チップ構造、例えばチップ構造220が、相互接続要素322に対して接合（図示しないが、上述したロウ付け又はメッキの如きにより）されている。ここでの説明の便宜上、丸まっているバンプ322は、「チップ」又は「端部」をその頂点（図で見て上端）に有するものとする。接触チップ構造220をこうした膜プローブの相互接続要素に対して接合することができる能力は、接触チップ構造と接触バンプそれ自体の製造について、全く異なるプロセスとメタラジーを用いることを可能にする。本発明は、一般には再加工不能な、膜プローブの半球形の接触バンプに付随する問題点を解決する。以下でより詳細に説明するように、本発明はまた、チップ付きの相互接続要素の圧力接触表面において、事実上制約のない、所望とする表面テクスチャを達成することを可能にする。接触チップ構造のメタラジーこれまでに、本発明の接触チップ構造についての種々のメタラジー(金属処方) を記述してきた。結果物である「チップ付き」の相互接続要素が用いられる、最終的な用途に適したどのようなメタラジーも、本発明の範囲内にある。図4Aに示されているように、相互接続要素について有用な（例えば好ましい）接触チップ構造は、犠牲基板400として薄いアルミニウム（箔）を用いて、以下の手法によって犠牲基板内（又は上）に形成することができる。・箔の構造的一体性を高めるために、プラスチックシートの如き一時的なバック層402を、箔400のために準備する(このバック層402はまた、メッキバリア／マスクとしても働くことができる)。・フォトレジスト404の薄い（約３ミル）層で箔400の表面（図で見て上部）をパターニングし、接触チップ構造を形成することが望まれる位置に開口（212と比較される）を残す(又は作成する)。・硬い金の薄い（約100マイクロインチ(μ")）層406を、フォトレジスト404の開口内で、箔400上に堆積（メッキの如きにより）させる。・非常に薄い（約5-10マイクロインチ）銅408の層（「ストライク」）を、硬い金の層の上に堆積（メッキの如きにより）させる(こうした銅ストライクは幾分任意選択的なものであり、基本的には先行する金の層406の続いてのメッキを助けるために備えられることが理解されねばならない)。・比較的厚い（約２ミル）のニッケル層410を、銅ストライク上に堆積（メッキの如きにより）させる。・薄い（約100マイクロインチ）の軟らかい金の層412を、ニッケル上に堆積(メッキの如きにより)させる。この結果、多層接触チップ構造420（220と比較される）が得られ、これは相互接続要素（図示せず）の端部に対して容易に接合される。接触チップ構造420は、その基本的な層として、電子部品（図示せず）に接触するための（例えば圧力接触を行うための）硬い金の表面406と、強度を与えるニッケル層410と、相互接続要素に対して容易に結合される（接合可能である）軟らかい金の層412とを有する。犠牲基板上にあるマスク材料の開口内部へと、接触チップ構造のための材料( 例えば214,216,406,408,410,412)を堆積させることに関しては、犠牲基板それ自体(例えば400)、或いはその上に配置される一つ又はより多くのブランケット層（例えば206，208）が、開口を相互に電気的に接続するよう作用し、それによって電気メッキプロセスの使用が容易になることに注意すべきである。犠牲基板の剥離上述したように、犠牲基板としては「プレーン」(即ちアクティブなデバイスがその上に何も存在しない)なシリコンウエハーを用いることができ、その上に本発明の接触チップ構造を製造することができる。典型的なメタラジーについては上述した通りであり、そこにおいて適当な化学的選択性エッチングプロセスを用いることにより、接触チップ構造は犠牲基板から剥離される。化学的なエッチング液ではなく、熱と関係させて適切なメタラジーを用いて犠牲基板を剥離させることができるが、これは本発明の範囲内にある。例えばこれは図4Bに示されている如きものである。ステップ１接触チップ構造上にトポロジー的な造作を有することが望まれる位置（幾つかのもののうち、一つが図示されている）において、シリコン（犠牲）基板424にピット（一つ以上設けられるもののうち、一つだけが示されている）422がエッチングされる。以下で述べるように、シリコンのエッチングは自己制限的なものであることができる。ステップ２パターン付けされたマスク層426（例えばフォトレジスト）を、シリコン（犠牲）基板424の表面上に適用する。マスク層に設けられる開日428は、接触チップ構造が製造される位置にある。ステップ３マスク層426の開口428内において、基板上に、タングステン（又はチタン−タングステン）の如き材料（以下で明らかなように、非性の）からなる薄い層430 を堆積（スパッタリングの如きにより）させる。ステップ４マスク層426の開口428内において、メッキ可能な鉛（又はインジウム）の如き非濡らし性材料の薄い層432を、薄いタングステン層上に堆積（スパッタリングの如きにより）させる。ステップ５前述した手法（例えば図4Aに関して）により、マスクの開口内に、一つ又はより多くの層を有する接触チップ構造440(220,420と比較される)を製造する。ステップ６前述したようにして、接触チップ構造440を相互接続要素（図示せず）上へとリフロー（熱を用いて）させる。タングステン430は鉛に関して濡れ性ではないから、リフローの間に、鉛（材料432）は溶融して球になる。これにより、犠牲基板424からの接触チップ構造440の剥離が行われる。任意選択的に、非濡れ性の材料（例えばタングステン）からなる第二の層を、層432上に適用することができる。この材料は、除去されない限り(例えばエッチングにより)、結果物である接触チップ構造の一部となる。幾つかの場合には、鉛は球にはならず(例えば鉛はニッケルを濡らす傾向がある)、その場合に望ましいのは、鉛、次いでタングステン、次いで鉛といったような付加的な層を設けて、犠牲基板からの接触チップ構造の適切な剥離を確実なものとすることである。任意選択的に、加熱された場合に球となる材料（例えば鉛、インジウム）からなる別の層を、非濡れ性材料（例えばタングステン）からなる第二の層の上に適用することができる。最終的に得られる接触チップ構造の表面上に残存する何らかの鉛は、容易に除去されるものであり、またその場に残すこともできる。代替的に、製造される接触チップ構造420の、球となる材料からなる第二の層と、第一の層（例えばロジウム）との間に、「バリア」材料の層を配置することができる。この「バリア」材料は、タングステン、窒化シリコン、モリブデン、その他であることができる。チップのトポロジー（表面トポロジー）これまでは主として、平坦な接触表面を有する接触チップ構造(例えば102,220 ,420)について記述してきた。圧力接触の適用例の多くについては、球形の、或いは非常に小さな表面積の接触チップが、電子部品の名目的には平坦な表面からなる端子に対して押しやられることが好ましい。他の適用例においては、接触チップ構造の表面は好ましくは、ピラミッド形、切頭ピラミッド形、円錐形、くさび形その他の形態（形状）の突起を有するようにされる。図5Aは、シリコンウエハーである犠牲基板502上に、ピラミッド形又は切頭ピラミッド形の接触造作を有する、細長い接触チップ構造を形成するための技術50 0における、最初のステップを示している。フォトレジストの如きマスク材料の層504が、シリコン基板502の表面上に適用され、シリコン基板502の表面にまで延びる複数（多数のうちの二つが図示されている）の開口506を有するようにパターニングされる。開口506は好ましくは正方形であり、一辺がの値が約1-4ミル、例えば2.5ミルである。しかしながら、これらの開口は長方形であることもでき、或いは他の幾何学的形状を有することもできる。次に、図5Bに示されているように、シリコン基板502はエッチングされて、同様のピラミッド形の複数の窪み508（多数のうちの一つが示されている）が、シリコン中に形成される。（100）シリコンについては、エッチングは54.74°で結晶面に沿って進行するから、シリコンのこうしたエッチングは、自己制限的なものとなる傾向がある。換言すれば、窪みは開口506の大きさと、シリコン基板502 の性質によって規定（決定）される深さまで延びる。例えば、一辺が2.5ミルの正方形の開口の場合は、窪みの深さは約２ミルである。最終的にはこれらの窪み 508は、シリコン基板上に結果的に得られる接触チップ構造上に一体に形成された、接触造作となる。これは好ましくはフォトリソグラフィプロセスであり、従って開口506及び造作508の大きさや間隔は極めて精密であって、公差はミクロン（10^-6メートル）単位である。次に図5Cに示されているように、マスク材料504が除去され、フォトレジストの如き新たなマスク層514（504と比較される）が、シリコン基板502の表面上に適用され、シリコン基板502の表面にまで延びる複数の（多数あるうちの一つが示されている）開口516（506と比較される）を持つようにパターニングされる。これらの開口516は開口506よりも大きく、またそれらと整列される(各々の開口5 16が窪み508を囲む)。典型的な開口516は、適切には約７ミル（図面の紙の横方向に）×8-30ミル（図面の紙の紙面から垂直方向内方に）の大きさの長方形である。最終的に、これらの開口と窪み516は導電性材料で充填されて、犠牲基板502 上に予備製造されている接触チップ構造の本体を形成する。これもまたフォトリソグラフィプロセスであるのが好ましいが、これらの開口516の大きさと間隔は、前述の開口506ほど精密である必要はなく、また一般に１ミル（0.001インチ）までのオーダの公差が許容可能である。次に図5Cに示されているように、複数（多数のうちの一つが示されている）の多層接触チップ構造520（220，420と比較される）が開口516内に構築され、その各々は表面から突出するピラミッド形の造作530を有する。この例では、多層構築は適切には、・まず上述したような剥離機構522（例えば鉛／タングステン／鉛の多層）を堆積（適用）し、・次いでロジウム又はタングステン（又はルテニウム、又はイリジウム、又は硬いニッケル若しくはコバルト若しくはこれらの合金、又はタングステンカーバイド）の、0.1-1.0ミル厚程度の比較的薄い層524を堆積し、・次いでニッケル、コバルト、又はこれらの合金の、比較的厚い層526を堆積し、・最後に、容易にロウ付けされる軟らかい金の、比較的薄い層528を堆積することによる。このようにして、表面から突出する、ピラミッド形の接触造作530の突起を各々に有する、複数の細長い接触チップ構造520が形成される。電子部品（図示せず）の端子（図示せず）と実際の接触を行うことが意図されているのは、この突出する接触造作である。図5D,5E及び5Fに示されているように、このピラミッド形の接触造作530は、適切にはライン524に沿って研磨（融除）され、ピラミッド形造作は切頭されたピラミッド形造作として構成される。真に尖っている端部形状よりも、この比較的小さな平坦な端部形状（例えば一辺が１ミルの10分の幾つかの正方形）は、電子部品（図示せず）の端子（図示せず）と信頼性のある圧力接触を行うについて十分に「シャープ」であり、プローブテスト（probing）のために本発明のチップ付き相互接続要素を用いる用途において予想される場合（例えばシリコンデバイスウエハー）の如く、多数の電子部品に対して圧力接続を繰り返して（例えば数千回）行うについても、真に尖った造作よりも摩耗性が良好である。接触造作530の突端を研磨することの別の利点は、多層構築物の第二の層を露出させて、電子部品（図示せず）の端子（図示せず）と接触させることができることである。例えばこの層は、ロジウムのような、優れた電気的特性を備えた材料からなることができる。或いはこの層は、チタン−タングステンのような、優れた摩耗特性を備えた材料からなることができる。図5Eは、細長い相互接続要素540（302と比較される）の端部に接合された、本発明の細長い接触チップ構造520を示している。図5Fは、膜プローブ324の接触バンプ322に接合された、本発明の細長い接触チップ構造520を示している(図3Cと比較される)。これらの典型的な用途において、突出するトポロジーの接触造作5 30を有する接触チップ構造520は、・別個のメタラジー、・別個の接触トポロジー(トポグラフィ)、・厳密に制御された位置的公差、及び・所望ならば、ある程度のピッチの展開をもたらす。有効なピッチの展開に関しては、図5Fにおいて、接触造作530の間の間隔が、接触バンプ322の間隔よりも広い（図示のように）又は狭い（図示せず）ように、接触チップ構造が配置可能であることを看取できる。一般に使用時において、「チップ付き」の相互接続要素は第一の電子部品に対して実装され、ピラミッド形の頂上（図5E及び5Fで見て上部）部分が、第二の電子部品（図示せず）の端子（図示せず）に対する電気的な接続を行う。上述したように、接触チップ構造（例えば520）を、その表面上にトポロジー的な接触造作（例えば530）を備えて予備製造することにより、行われる圧力接続について極めて高い位置的精密さを達成することができ、その場合に接触チップ構造の本体部分や、それが接合される相互接続要素には、同じような精密さは必要とされない。比喩として、ゴルフコースを描いて（頭の中に）みる。カップ（穴）はグリーン上に精密に配置されている。プレーヤーはグリーン上のある場所（どこか）に立っている。精密に位置決めされ、極めて精密な寸法（即ち１インチの数分の幾つかまで）を有するカップは、トポロジー的な接触造作（例えば 530）と類似している。粗い公差（即ちフィート又はヤード単位）でカップの周囲に拡がるグリーンは、接触チップ構造（例えば520）の本体部分に類似する。グリーン上のある場所（即ちどこか）に立っているプレーヤーは(プレーヤーの足が相互接続要素の端部)、接触チップ構造が接合される相互接続要素（例えば5 40）に類似している。換言すれば、トポロジー的な接触造作は、相対的に非常にずぼらな可能性のある、相互接続要素の端部の位置決めに対して、非常な精密さをもたらすものである。かくして、粗く位置決めされた複数の接触チップ構造の各々に対して、複数の接触チップ構造の他のもののトポロジー的接触造作に関して精密に位置決めされた接触造作を備えさせることにより、電子部品の端子に対する、精密に位置決めされた接続を行うことができる。代替的なチップトポロジー図6A及び6Bは、接触チップ構造にトポロジー的な接触造作を備える実施例を示している。この例において、犠牲基板602は、複数（多数のうちの一つが示されている）の開口606を有するマスク層604を有している。この犠牲基板（この例において、犠牲基板はアルミニウムである）の表面は、尖った工具を基板表面に対して下方に（図の紙面に向けて）押しつけることによって、接触チップの製造のために「準備」され、その結果、犠牲基板602の表面には、一つ又はより多くの、２又は３、好ましくは４つの（図示の如く）ディンプル（窪み）608が形成される。接触チップ構造が製造される（前述したようにして）後続の処理ステップにおいて、これらの窪み608はそれら自身を「反映」して、結果的に得られる接触チップ構造620（102,220,420と比較される）の主本体から突出する、一つ又はより多くの（図示では４つ）の「ディンプル」接触造作618となる。既知のように、３脚の椅子は４脚の椅子よりも安定である。従って正確に３つの突出する造作61 8を有することが好ましいように思えるかも知れないが、好ましくは等しい間隔で（正方形の角ごとのように）配置された４つの突出する造作618を有することにより、接触チップ構造620が電子部品（図示せず）の対応する平坦表面の端子（図示せず）に対して押しやられた場合に、接触チップ構造620が前後に「揺れ」(即ち対角線上で向かい合った２つの造作618上で)て、端子上の酸化物などを貫通することが、事実上保証される。これにより、「チップ付き」の相互接続要素と、端子との間で、信頼性のある電気的な圧力接続を行うことができる。これは、ある種の用途において圧力接続を行うために望ましいことである。代替的なチップのメタラジーこれまでに、多層チップ構造を製造することの望ましさと、チップの種々のメタラジーについて説明してきた。チップのメタラジーが次の如くであることは、本発明の範囲内にある。即ちシリコンの犠牲基板から出発して、ステップ１まずアルミニウムの層を堆積させ、ステップ２次いでクロムの層を堆積させ、ステップ３次いで銅の層を堆積させ、そしてステップ４次いで金の層を堆積させることである。結果として得られる接触チップ構造は、相互接続要素に対するロウ付け（その他）を容易にするための、アルミニウムの接触表面（ステップ1）と、金の表面（ステップ4）とを有することになる。アルミニウムの接触表面は、LCDパネルに対して圧力接続、好ましくは前述のチップ構造を備えた相互接続要素を有する電子部品をLCDパネルに対して保持するための外的な手段（例えばバネクリップなど）を用いてソケット化可能な接続を行うについて、理想的なものである。この実施例、及び本書に記載する他の実施例の、多層接触チップ構造の視覚化を助けるものとして、図2A及び4Aに対して注意を喚起する。細長い接触チップ構造上記においては、犠牲基板が、（a）後で細長い相互接続要素（限定するものではないが、複合相互接続要素の如き）や、他のタイプの相互接続要素（膜プローブのバンプ要素の如き）のチップ（端部）に取着（接合）するために、接触チップ構造を予備製造し、及び（b）後で電子部品の端子に対して「チップ付き」相互接続要素として実装するために、相互接続要素を直接に造り込むことのできる接触チップ構造を予備製造するために、どのようにして使用されるかについて説明した。以下においては、接触チップ構造が、他の既存の相互接続要素に対して接合することを必要とせずに、どのようにしてそれ自体で相互接続要素として機能することができるかについて説明する。以下で詳細に説明するように、それ自体単独でバネ接触要素として機能することのできる接触チップ構造は、一般に細長いものであり、またやはり「接触チップ構造」と呼ばれるものである。図7A-7Fは、使用時に片持ち梁（メッキされた片持ちビーム）式のバネ接触要素として機能する接触チップ構造を製造し、これを電子部品の端子に実装するための技術700を示している。こうした技術は特に、半導体デバイス、プローブカードアセンブリの空間変形基板等の如き電子部品に対してバネ接触要素を最終的に実装するについて、十分に適したものである。図7Aは、シリコンウエハーの如き犠牲基板を示しており、その一方の表面には、複数（多数のうちの一つが示されている）のトレンチ704がエッチングされている。このトレンチ704は、犠牲基板702上に製造される接触チップ構造のための表面テクスチャの「テンプレート(型)」について例示的なものである。（前述したトポロジー的な接触チップ構造と比較される。）トレンチ704のレイアウト（間隔及び配置）は、最終的に（使用時に）接触を行う（例えばプローブする）半導体チップ（図示せず）のボンディングパッドのレイアウトから導かれる（模写する、即ち「反映」する）ことができる。例えば、トレンチ704は列をなして、犠牲基板の中央に一列縦隊で配置することができる。例えば多くのメモリチップは、中央にボンディングパッドの列を備えて製造される。図7Bは、硬い「フィールド」層706が、トレンチ704の中を含めて、犠牲基板702の表面上に堆積されていることを示している。フィールド層が、タングステンシリシド、タングステン、又はダイヤモンドのように、メッキされにくい材料からなる場合には、メッキ可能な材料の如きからなる別の層708を、任意選択的にフィールド層706上に堆積可能である。（以下の説明から明らかになるように、除去することが困難な場合には、層706は選択的堆積（例えばマスクを介してのパターニング）により適用されて、こうした除去が回避される。）図7Cに示された次のステップでは、フォトレジストの如きマスク材料710が適用されて、メッキされた片持ち梁式のチップ構造を製造するための、複数の開口が画定される。マスク層710にある開口は、トレンチ704の周囲に拡がる。次に、バネ合金材料（ニッケル及びその合金の如き）の比較的厚い（例えば1-3ミル）層712が、任意選択的に堆積（メッキの如きにより）され、バネ合金の結合、ハンダ付け又はロウ付けが容易でない場合には、ロウ付けやハンダ付けされ易い材料の層714が、その上に堆積される。このバネ合金層712は、メッキ、スパッタリング又はCVDの如き、何らかの適切な手段によって堆積される。次に、図7D及び7Eにより示されているように、マスク材料710が、マスク材料7 10の下側にある部分の層（706及び708）と共に剥ぎ取られ(除去され)、その結果、複数（多数のうちの一つを図示している）の細長い接触チップ構造720が、犠牲基板702上に製造されることになる。細長い接触チップ構造720の各々は、内端部722(対応するトレンチ704の一つを直接に覆っている)、外端部724、及び内端部722と外端部724の間の中間部726を有している。図7Eにおいて最も良く見られるように、片持ち梁式のチップ構造720は、互い違い（左−右−左−右と配置）であることができる。かくして、それらの内端部 722は全て一列に整列される（例えば、半導体デバイスのボンディングパッドの中央列に対応して）が、それらの外端部724は、交互に逆向きに配向されている。こうして、接触チップ構造720の外端部724の間隔は、内端部722よりも大きな（より粗い）ピッチ（間隔）となっている。本発明の片持ち梁式のチップ構造720の別の特徴は、図7Eにおいて最も良く見られるように、内（接触）端部722における最狭から外（基）端部724における最広へと、中間部726がテーパをなし得ることである。この特徴は、プローブカードアセンブリの空間変形器又は半導体チップのボンディングパッドの如き電子部品の端子に対して、外端部724が固定的に設けられた場合に、内端部722を規定された量だけ制御可能に片寄らせることに備えるものである。一般に、片寄らせは、接触チップ構造の内（接触）端部又はその付近に局在化される。図7Fは、図7A-7Eの技術700により製造された片持ち梁チップ構造720を、電子部品734の対応する端子（多数のうちの一つが示されている）732から延びる（例えば自立している）堅い「ペデスタル」730に対して実装することを示している。一般に、ペデスタル730の機能は単に、接触チップ構造720を部品734の表面よりも上方に、ｚ軸に沿って持ち上げ、かくして電子部品（図示せず）の端子（図示せず）に対して圧力接続を行う場合に、接触端部722が偏倚する（図で見て下方に）ための余地があるようにすることである。ペデスタル730それ自体が弾性である場合も本発明の範囲内にあり、その場合には特定の用途（使用）について所望とされるところにより、細長い接触チップ構造720も弾性又は非弾性とすることができる。図示されているように、予備製造された細長いチップ構造720は、その外（基）端部724により、ペデスタル730の端部（図示の如く上部）に対して、ロウ付け又はハンダ付けの如き何らかの適切な手法によって実装される。ここで、外端部が、片持ち梁チップ構造720の最も幅広い部分となっていることの別の利点が明らかである。細長い接触チップ構造の大きな外端部は、すみ肉構造736によって示されているように、こうしたハンダ付け又はロウ付けを行うための、比較的大きな表面積をもたらし、細長い接触チップ構造の外（基）端部をペデスタルに対して確実に接合する機会を与える。ペデスタル730はどのような自立型の相互接続要素であることもでき、これも本発明の範囲内にある。こうしたものに含まれるものとしては、複合相互接続要素があり、特に膜プローブの接触バンプ（その場合、電子部品734は膜プローブである）や、在来のプローブカードのタングステンニードルが含まれるが、これらに限定されるものではない。図7Fで最も良く見られるように、細長い接触チップ構造720の接触端部722には、隆起した造作740が備えられている。これは使用時に、電子部品（図示せず）の端子（図示せず）に対して、実際の圧力接続を行う。この造作740の形状と大きさは、トレンチ704（図7A参照）の形状と大きさによって制御される。どのような片持ちビーム構成においても、片持ち梁の一端が「固定」され、他端が「可動」であることが好ましい。この手法により、曲げモーメントは容易に計算される。従って明らかに、ペデスタル730はできる限り堅固であることが好ましい。膜ブローブ上の接触バンプに接合されている細長い接触チップ構造720 の場合には、殆どの弾性及び／又はコンプライアンス（従順性）は、膜734それ自体によって与えられる。ある特定の用途においては、ペデスタル730が「複合相互接続要素」(前述したPCT/US95/14909号を参照)として具体化されることが望ましく、こうした要素は、細長い接触チップ構造の接触端部が、それに対して行われる圧力接続に応じて、全体的に偏倚することに寄与する。接触チップ構造についてのピッチ展開の実行前述の例（図7E参照）では、接触チップ構造720は交番する配向を有するように配置され(左−右−左−右)、かくしてそれらの内（接触）端部は第一のピッチとなり、それらの外（基）端部は第一のピッチよりも大きな第二のピッチとなる。「ピッチの展開」効果は、接触チップ構造を、長さが交番するように製造することによって達成可能である。図８は、接触チップ構造についてピッチ展開を実行するための、別の技術800 を示している(接触チップ構造が実装される空間変形部品により実行可能なピッチの展開に加えて、或いはこれに対抗するものとして)。この例800においては、複数（多数のうちの５つが示されている）の細長い接触チップ構造820...a820e（集合的に820とする。720と比較される）が、犠牲基板802(702と比較される)上に形成されている。各々の接触チップ構造820は、内（接触）端部822（822a...822e）と、外（基）端部824（824a...824e）とを有している。この図において、内端部822は「R」と符号の付けられたラインに沿って整列されており、また接触チップ構造820は全て、同じ方向（図で見て右へ）に配置（配向、延伸）されていることを看取可能である。本発明によれば、細長い接触チップ構造820は、交互に異なる長さを有し、長 −短−長−短−長といったように交番する仕方で配置され、かくしてそれらの外（基）端部824a...824eは、その内（接触）端部822...a822eよりも大きなピッチを有するようになる。使用時に、細長い接触チップ構造820はそれらの基端部824により、上述したどのような適切な仕方においてでも、電子部品の端子に対して容易に実装される。別の細長い接触チップ構造以上においては、細長い片持ち梁式の接触チップ構造（例えば720，820）を、マスキング、エッチング及びメッキといった在来の半導体製造プロセス（マイクロ機械加工を含む）を用いて、どのようにして犠牲基板上に製造可能であるかについて、また結果物である細長い片持ち梁式の接触チップ構造に対して、どのようにして平坦でない（平面内にない）「隆起した」造作（例えば740）を備えさせることができるかについて説明した。換言すれば、以下で明らかになるように、結果物である細長い片持ち梁式の接触チップ構造の形状は、３つの軸（x，y，z ）の全てにおいて容易に制御可能である。図9A-9Eは、細長い片持ち梁式の接触チップ構造についての代替的な実施例を示しており、前述の、1996年12月31日に出願された米国仮特許出願第60/034,053 号の図1A-1Eに対応するものである。図9A及び9Bは、細長い接触チップ構造（バネ接触要素）900を示しており、これは前述したPCT/US95/14844号の空間変形部品など（しかしこれに限定されない）の電子部品に対して、自立構造として取着するのに適したものである。この構造900は細長く、二つの端部902及び904を有し、またこれら二つの端部の間の全体的な長手方向の長さは「L」である。例として、この長さ「L」は、40 -500ミル又は40-250ミルの如く、10-1000ミルの範囲内にあり、好ましくは60-10 0ミルである。以下の説明から明らかになるように、使用時にこの構造は、「L」よりも小さな有効長「L1」を有し、構造900はこの有効長にわたって、それに加えられる力に応じて撓むことができる。端部902は「基部」であ、接触要素900はそこにおいて電子部品（図示せず）に対して実装される。端部904は「自由端」(チップ)であり、別の電子部品（例えば図示しない、テスト中のデバイス）と圧力接続を行う。構造900は、全高「H」を有する。例示すれば、この高さ「H」は4-40ミルの範囲内にあり、好ましくは5-12ミル（1ミル＝0.001インチ）である。図9Aにおいて最も良く見えるように、構造900は「段をなして」いる。基部902 は第一の高さにあり、チップ904は別の高さにあり、そして中間（中央）部分906 は第一の高さと第二の高さの間の、第三の高さにある。従って、構造900は、図において「d1」及び「d2」と符号の付けられた、二つの「孤立した」高さを有する。換言すれば、バネ接触要素900は、接触端部904から中央本体部分906への段上がりと、中央本体部分906から基端部902へのさらなる段上がりという、二つの「段」を有している。使用時に、接触端部904と中央部分906の間の「垂直」(図9Aで見て)距離である孤立高さ「d1」は、電子部品（図示せず）の端子（図示せず）と圧力接触を行うのに応じて偏倚した場合に、この構造が電子部品（図示せず）の表面と衝突するのを防止する機能を営む。使用時に、基端部902と中央部分906の間の「垂直」（図9Aで見て）距離である孤立高さ「d2」は、ビームが、細長い接触チップ構造900が実装された基板表面（電子部品を含む）と接触することなしに、所望とする全行程にわたって撓むことを可能にする機能を営む。例として、孤立高さ「d1」及び「d2」についての寸法は、・「d1」は3-15ミルの範囲、好ましくは約７ミル±１ミルであり、及び・「d2」は0-15ミルの範囲、好ましくは約７ミル±１ミルである。「d2」が０ミルの場合には、この構造は、中央部分906と基部902の間が実質的に平坦（図示の段がない）となる。図9Bにおいて最も良く見られるように、構造900には、その基端部902において、明確な「接合造作」910が備えられる。この接合造作は、タブ、又は任意選択的にスタッドであり、このプローブ構造を基板との組立に際して基板（例えば空間変形部分又は半導体デバイス）に対してロウ付けするのを容易にするために用いられる。代替的に、構造900が実装されるこの部品又は基板には、基部902が実装されたスタッド（ペデスタル、703と比較される）その他を備えることができる。使用時に、構造900は片持ちビームとして機能することを意図したものであり、そして好ましくは、図9Bで「α」と符号を付けた、少なくとも一つのテーパ角が備えられる。例として、基端部902における構造900の幅「w1」は、3-20ミル、好ましくは8-12ミルの範囲内にあり、またチップ端部904における構造900の幅「w2 」は、1-10ミル、好ましくは2-8ミルの範囲内にあり、そしてテーパ角「α」は好ましくは、2-6度の範囲内にある。基端部902からチップ端部904への構造900の狭まり（テーパ）は、構造900の基端部902が固定（不動化）され、力がチップ90 4に加えられた場合に、構造900の制御された撓みと、より均一な応力分散（集中に対して）を可能にする。この構造の幅（従ってテーパ角「α」）は、周知のリソグラフィ技術を用いて、容易に制御される。構造900のチップ端部904には、例えばピラミッドのジオメトリ形態でもって、トポロジー造作908が備えられるのが好ましく、それにより電子部品（図示せず）の端子に対して圧力接続を行うことが助長される。図9A及び9Bに示されているように、バネ接触要素900は三次元的であり、x,y及びz軸方向に延伸する。その長さ「L」はy軸に沿い、その幅（「w1」及び「w2」）はx 軸に沿い、その厚み（「t1」及び「t2」）と高さ（「H」）はz軸に沿っている。バネ接触要素900が電子部品に実装される場合、これはその電子部品に対し、バネ接触要素の長さと幅が電子部品の表面と平行で、その高さが電子部品の表面に垂直であるようにして実装される。図9Cは、バネ接触構造950を示しているが、これは殆どの点において、図9A及び9Bの構造900に類似している。この構造は細長く、基端部952（902と比較される）と接触端部954（904と比較される）を有し、トポロジー造作958（908と比較される）が接触端部954に配置されている。図9Cに示されている基本的な相違は、構造950に第二の、z軸に沿ったテーパ角「β」を備えることができる点にある。例えば、図9Cにおいて最も良く見られるように、基端部952における構造950の厚み「t1」は、1-10ミル、好ましくは2-5ミルの範囲内にあり、接触端部954における構造950の厚み「t2」は1-10ミル、好ましくは1-5ミルの範囲内にあり、そしてテーパ角「β」は好ましくは、2-6度の範囲内にある。角度「β」(図9C)は、厚みの分布を制御するための、種々の方法を用いて生成することができる。例えば、構造950がメッキによって形成されるものとすると、適切なメッキシールドを、浴に取り込むことができる。構造950がメッキ以外により形成される場合は、結果物として得られる構造の厚みの空間的分布を制御するための、適切な既知のプロセスが用いられる。例えば、構造950のサンドブラスティング又は電子放電機械加工（EDM）が行われる。かくして、基端部（902,952）からその接触端部（904,954）にかけて、複合（二重）テーパを有する、細長い接触チップ構造を形成することができる。これは、細長い接触チップ構造が実装される基板又は部品のx-y平面に対して平行な、テーパ角「α」を有することができる。またこれはテーパ角「β」を有することもできるが、このことは、構造の厚みが小さくなる（z軸）ことを表している。テーパは両方とも、構造（900,950）の断面積を、基端部（902,950）におけるより大きなものから、接触端部（904，954）におけるより小さなものへと減少させることを表している。構造が幅におけるテーパを有しておらず、その場合にテーパ角「α」がゼロであるような構造も、本発明の範囲内にある。また、テーパ角「α」が2-6度よりも大きく、例えば最大30度程度であるものも、本発明の範囲内にある。構造が厚みのテーパを有しておらず、その場合にテーパ角「β」がゼロであるような構造も、本発明の範囲内にある。また、テーパ角「βが2-6度よりも大きく、例えば最大30度程度であるものも、本発明の範囲内にある。構造が厚みにのみテーパを有し、幅については有しておらず、或いは幅のテーパのみで厚みについては有していないことも、本発明の範囲内にある。接触構造900及び950は基本的に、好ましくは全体的に、金属製であり、また前述したように多数構造として形成（製造）されていることができる。図9Dは、接触構造950（ここに図示された他の接触構造の接触端部に対しても等しく適用可能）の端部部分954の拡大図を示している。この拡大図において、接触造作954は、適切には非常に目立つものであることが看取される。この造作は、バネ接触要素の接触端部の下側（図面で見て）表面から0.25-5ミル、好ましくは3ミルの範囲で距離「d3」だけ突出し、また適切には、ピラミッド、くさび形、半球形その他のジオメトリ形状であることができる。得られるバネ接触要素は全高「H」を有し、これは「d1」、「d2」(及び「d3」)の和に、中央本体部分の厚みを加えたものである。かくして以上において、二つの電子部品の間で接続を行うのに適した、典型的なバネ接触要素が説明された。これは一般的にはその基端部により、二つの電子部品の一方に対して実装され、その接触端部において二つの電子部品の他方に対する圧力接続を達成するものであり、以下の寸法（特記しない限りミル単位）を有する。寸法範囲好適範囲 L 10-1000 60-100 H 4-40 5-12 d1 3-15 7±1 d2 0-15 7±1 d3 0.25-5 3 w1 3-20 8-12 w2 1-10 2-8 t1 1-10 2-5 t2 1-10 1-5 α 0-30° 2-6° β 0-30° 2-6° これらから、以下の一般的な関係が明らかである。即ち、「L」は大体、「H」の少なくとも５倍であり、「d1」は「H」の小部分程度、つまり「H」の大きさの５分の１から２分の１の如きであり、「w2」は大体、「w1」の寸法の２分の１であり、また「H」の小部分程度、つまり「H」の大きさの10分の１から２分の１の如きであり、そして「t2」は大体、「t1」の寸法の２分のｌである。図9Eは本発明の代替実施例を示しており、そこでは接触端部に一体形成型の隆起した接触造作（908,958）を備えさせる代わりに、別個の接触チップ構造972（ 220と比較される）を、細長い接触チップ構造970（900，950と比較される）の接触端部974に接合することができる。このことは接触チップ構造972が、細長い接触チップ構造（バネ接触要素）970とは異なるメタラジーを有するようになる可能性をもたらす。例えば、バネ接触要素970のメタラジーは、その機械的（例えば弾性、バネ性）特性と、電気を伝達するためのその一般的な能力を適切に目標とすることができ、一方でこれに設けられる接触チップ構造972のメタラジーは適宜、接触する電子部品（図示せず）の端子（図示せず）と優れた電気的接続を行うこと、及び必要ならば優れた耐摩耗性を有することを目的とすることができる。材料とプロセス本明細書に記述した接触チップ構造の一つ又はより多くの層について適切な材料には、限定的にではないが、次のものが含まれる。ニッケル及びその合金; 銅、コバルト、鉄、及びそれらの合金; 金（特に硬い金）及び銀、これらは両方とも優れた電流搬送能力と、良好な接触抵抗特性を示す; プラチナ族の元素; 貴金属; 半貴金属及びそれらの合金、特にパラジウム族の元素及びそれらの合金;及びタングステン、モリブデン、及び他の耐火性金属並びにそれらの合金。ハンダ状の仕上げが望ましい場合には、錫、鉛、ビスマス、インジウム及びこれらの合金を用いることもできる。これらの金属を堆積させる（例えば犠牲基板上のマスク層の開口内に）ために適当なプロセスには、限定的なものではないが、以下のものが含まれる。即ち水溶液から材料を堆積させることに関する各種のプロセス;電解メッキ;無電解メッキ;化学蒸着（CVD）;物理蒸着（PVD）;液体又は固体の前駆体の分解を誘起することを通じて材料の堆積を生じさせるプロセスその他であり、材料を堆積させるためのこれらの技術は全て、一般に周知のものである。一般的に好ましい技術は、電解メッキである。「K」の調節（一様化）異なる長さを有する複数の細長い接触チップ構造（材料や断面積といった他のパラメータは全て等しい）は、その自由（接触）端部に加えられる接触力に対して、異なる抵抗を示す。一般に、所与の電子部品に実装された、細長い接触チップ構造の全てについて、バネ定数「K」が一様であることが望ましい。図10A-10Dは、電子部品1010，1030，1050，1070に実装された細長い接触チップ構造1000,1020,1040,1060と、複数の、他の場合には一様ではない細長い接触チップ構造の抵抗「K」を一様となるように調節するための技術を示すものであり、前述の、1996年12月31日に出願された米国仮特許出願第60/034,053号の図7A -7Dに対応するものである。細長い接触チップ構造1000,1020,1040,1060は、前述した細長い接触チップ構造の何れかに類似したものであり、中央本体部分1006,1026,1046,1066から一方向にオフセットした基端部1002,1022,1042,1062と、中央本体部分から反対方向にオフセットしたチップ部分1004，1024，1044，1064とを有する。図9A及び9Cの細長い接触チップ構造900及び950のそれぞれと比較されたい。図10Aは、バネ定数を調節するための第一の技術を示している。この例において、バネ接触要素1000(これまでに説明した細長い接触チップ構造の何れかと比較される）は、その基端部1002において、電子部品1010の端子に実装されている。電子部品1010の表面には、トレンチ1012が形成され、バネ接触構造1000の接触端部1004の下側からその本体部分1006に沿って、バネ接触要素1000の基端部1002 に向けて、位置（点）「P」まで延びている。この位置「P」は接触端部1004から、予め規定された固定距離、例えば60ミルのところに位置している。接触端部1004 に対して力が下方に加えられた場合、バネ接触要素1000は、点「P」にあるトレンチ1012のエッジ（即ち部品1010の表面）に本体部分1006が接触するまで曲がる（偏倚する）ことが意図されている。その時点で、バネ接触要素1000は、最も外側の部分（点「P」から端部1004まで）のみが、さらに偏倚することが許される。バネ接触要素の最も外側の部分は、「有効な」制御された長さ「L1」を有し、この長さは「L1」よりも大きな全長「L」を有する、如何なる数のバネ接触要素1 000についても、容易に同じものとすることができる。このようにして、加えられた接触力に対する反動（「K」)を、種々の長さのバネ接触要素の間で、一様なものとすることができる(点「P」がバネ接触要素の中央本体部分内のどこかにある限り)。図10Bは、バネ定数を調節するための別の技術を示している。この例では、バネ接触要素1020は、その基端部1022によって電子部品1030（1010と比較される）に対して実装されている。電子部品1030の表面上には、バネ接触要素1020の基端部1022と、電子部品1030の表面と、バネ接触要素1020の中央本体部分1026（1006 と比較される）との間の個所に、構造体1032（1012と比較される）が形成されており、本体部分1026（1006と比較される）に沿って、バネ接触要素1020の接触端部1024（1004と比較される）に向けて、位置（点）「P」まで延びている。この位置「P」は接触端部1024から、予め規定された固定距離、例えば前述した（図10A に関して）所定距離のところに位置している。この構造体1032は適切には、ガラス又は予備切断されたセラミックリングの如き、何らかの硬い材料からなるビードであり、電子部品1030の表面上に配置される。接触端部1024に対して力が下方に加えられた場合、バネ接触要素1020の最も外側の部分（点「P」から端部1024 まで）のみが、偏倚することが許される。上述した実施例（1000）の場合のように、このようにして、種々の長さを有するバネ接触要素の間で、加えられた接触力に対する反動を一様とすることができる。図10Cは、バネ定数を調節するための、さらに別の技術を示している。この例において、バネ接触要素1040(1000及び1020と比較される)はその基端部1042により、電子部品1050に実装されている。先の実施例の構造体1032と類似の仕方で、電子部品1050の表面上には、カプセル化構造体1052が形成されている。しかしながらこの場合、構造体1052はバネ接触要素1040の基端部1042を完全にカプセル化しており、その本体部分1046に沿って、またその接触端部1044に向けて、位置（点）「P」まで延びている。この位置「P」は接触端部1044から、予め規定された固定距離、例えば前述した（図10Bに関して）所定距離のところに位置している。バネ接触要素1040の最も外側の部分は、「有効」長さ「L1」を有している。上記の実施例の場合と同様に、接触端部1044に対して力が下方に加えられた場合、バネ接触要素1040の最も外側の部分（点「P」から端部1044まで）のみが、偏倚することが許される。上述した実施例の場合のように、種々の長さを有するバネ接触要素の間で、加えられた接触力に対する反動を一様とすることができる。図10Dは、バネ定数を調節するための、さらに別の技術を示している。この例において、バネ接触要素1060（1000，1020，1040と比較される）はその基端部10 62により、電子部品1070（1050と比較される）に実装されている。この例では、本体部分1066には位置（点）「P」において、「こぶ」1072が形成されている。この位置「P」は接触端部1064から、予め規定された固定距離、例えば前述した（図10Cに関して）所定距離のところに位置している。バネ接触要素1060の最も外側の部分は、「有効」長さ「L1」を有している。上記の実施例の場合と同様に、接触端部1064に対して力が下方に加えられた場合、バネ接触要素1060の最も外側の部分（点「P」から端部1064まで）のみが、偏倚することが許される。（こぶ1 072の大きさと形状は、こぶ1072が部品1070の表面と接触する前に接触構造1060 の全体が僅かに偏倚し、その後にバネ接触要素1060の最も外側の部分だけが偏倚を継続するようにすることができる。）上述した実施例の場合のように、種々の長さを有するバネ接触要素の間で、加えられた接触力に対する反動を一様とすることができる。異なる全長（「L」）を有する接触要素の間においてバネ定数を「一様化」するために、他の技術を用いることも可能であり、それらも本発明の範囲内にある。例えば、バネ接触要素の幅及び／又は「α」テーパが相互に異なるように特定的に調節して、この所望とする結果を得ることができる。三次元の細長い接触チップ構造以上においては、電子部品の端子に対して直接に実装し、或いはその上に製造するのに適した、多くの細長い接触チップ構造について記述してきた。またこれらは、その接触端部が別の電子部品の端子と圧力接続を行うべく位置するように、電子部品から「三次元的」に延伸することが可能なものである。図11A及び11Bは、それ自体独立してバネ接触要素として機能するのに適した、細長い接触チップ構造の別の実施例を示している。図11A及び11Bは、前述の、19 96年12月31日に出願された米国仮特許出願第60/034,053号の図8A-8Bと対比されるものである。図11Aは、接触要素の中央本体部分1106（906と比較される）が真っ直ぐでないことを除いては(顕著な相違)、これまでに記述した技術に従って製造されているバネ接触要素1100を示している。この本体部分は依然として平面（例えばx-y平面）に存在するものであるが、y軸を進む間にx軸に沿って「方向転換」しているものとして示されている。この場合基端部1102（902と比較される）は、接触端部1104(904と比較される)又は接触端部1004に配置された接触造作1108（908と比較される）とは、異なるx軸を有することになる。図11Bは、中央本体部分1156と接触端部1154（1104と比較される）の間の段に加えて、中央本体部分1156（1106と比較される）と基端部1152（1102と比較される）との間にz軸方向の段があることを除き、多くの点で図11Aのバネ接触要素11 00に類似した、別のバネ接触要素1150を示している。このバネ接触要素1150は、その接触端部1154に接触造作1158（1108と比較される）を備えて示されている。本発明は、図面及び上記の説明において詳細に図示し、記述してきたが、これらは例示であって、限定的なものではないと考えられるべきである。以上においては、好ましい実施例のみが図示され、記述されてきたのであり、本発明の思想に含まれる全ての変更及び修正は、保護を望まれているものであると理解されよう。疑いもなく、これまでに記載した「主題」の多くの他の「変形」が、本発明が最も良く適合する技術分野において通常の技術を有する者には想起されるものであり、そうした変形は、ここに開示された本発明の範囲内にあることが意図されている。例えば、結果物である細長い接触チップ構造やバネ接触要素は、それらが犠牲基板上に存在している間に、或いはそれらが別の基板又は電子部品に実装された後に、熱処理してそれらの機械的特性を向上させることができる。また、接触チップ構造を相互接続要素に接合したり、バネ接触要素を部品に対して実装（例えばロウ付けにより）したりする際の、何らかの付随的な熱を有利に用いて、相互接続要素又はバネ接触要素のそれぞれの材料を「熱処理」することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号６０／０２０，８６９ (32)優先日平成８年６月27日(1996．6．27) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号６０／０２４，４０５ (32)優先日平成８年８月22日(1996．8．22) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号６０／０２４，５５５ (32)優先日平成８年８月26日(1996．8．26) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号６０／０３０，６９７ (32)優先日平成８年11月13日(1996．11．13) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号６０／０３２，６６６ (32)優先日平成８年12月13日(1996．12．13) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号６０／０３４，０５３ (32)優先日平成８年12月31日(1996．12．31) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号０８／７８４，８６２ (32)優先日平成９年１月15日(1997．1．15) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号０８／７８８，７４０ (32)優先日平成９年１月24日(1997．1．24) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号０８／８０２，０５４ (32)優先日平成９年２月18日(1997．2．18) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号０８／８１９，４６４ (32)優先日平成９年３月17日(1997．3．17) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (31)優先権主張番号０８／８５２，１５２ (32)優先日平成９年５月６日(1997．5．6) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者マシュー，ゲータン，エルアメリカ合衆国カリフォルニア州94550 リヴモアー，オレンジ・ウェイ・659 (72)発明者ドザイアー，トーマス，エイチアメリカ合衆国カリフォルニア州94550 リヴモアー，アーレーン・ウェイ・5801 (72)発明者テイラー，シェルドン，エイアメリカ合衆国カリフォルニア州94040, マウンテン・ビュー，クエルナバカ・サーキュロ・1384 【要約の続き】いる。

Claims

【特許請求の範囲】 1. 相互接続要素の製造方法であって、前記相互接続要素が電子部品の端子に対して接続するための端部を有するものにおいて、犠牲基板上に接触チップ構造を予備製造し、接触チップ構造を相互接続要素の端部に接合し、及び接触チップ構造を相互接続要素の端部に接合した後に、犠牲基板を除去し、予備製造された接触チップ構造が端部に接合されてなるチップ付き相互接続要素を得ることからなる方法。 2. 相互接続要素が細長いものである、請求項１の方法。 3. 相互接続要素が複合相互接続要素である、請求項１の方法。 4. 相互接続要素が一体構造の相互接続要素である、請求項１の方法。 5. 相互接続要素がタングステンニードルである、請求項１の方法。 6. 相互接続要素が膜プローブの接触バンプである、請求項１の方法。 7. 使用時に接触チップ構造が対応する電子部品の端子と行う電気的圧力接続を強化するトポロジー的接触造作を、接触チップ構造の表面に備えることをさらに含む、請求項１の方法。 8. トポロジー的接触造作がピラミッド形である、請求項７の方法。 9. トポロジー的接触造作が切頭ピラミッド形である、請求項７の方法。 10. トポロジー的接触造作が一つ又はより多くのディンプルの形状である、請求項７の方法。 11. 接触チップ構造が相互接続要素に対して、ロウ付けにより接合される、請求項１の方法。 12. 接触チップ構造が相互接続要素に対して、メッキにより接合される、請求項１の方法。 13. 接触チップ構造が相互接続要素に対して、導電性接着剤により接合される、請求項１の方法。 14. 接触チップ構造が、リソグラフィプロセスを用いて犠牲基板上に形成される、請求項１の方法。 15. 相互接続要素が、電子部品の表面から延びる導電性ペデスタルである、請求項１の方法。 16. 接触チップ構造が細長いものである、請求項15の方法。 17. 接触チップ構造を犠牲基板上に、細長い接触チップ構造として製造し、各々の細長い接触チップ構造が一方の端部と他方の端部を有することをさらに含む、請求項１の方法。 18. 細長い接触チップ構造を、それらの一方の端部が同一線上にあるように製造することをさらに含む、請求項17の方法。 19. 細長い接触チップ構造が交番して配向されている、請求項17の方法。 20. 細長い接触チップ構造が交番する長さを有する、請求項17の方法。 21. 犠牲基板がエッチングにより除去される、請求項１の方法。 22. 犠牲基板が加熱により除去される、請求項１の方法。 23. 接触チップ構造が、犠牲基板上にマスク層を用意し、マスク層に開口を形成し、開口内に少なくとも一層の金属材料を堆積することによって形成される、請求項１の方法。 24. 金属材料が、ニッケル及びその合金; 銅、コバルト、鉄、及びそれらの合金; 金（特に硬い金）及び銀; プラチナ族の元素; 貴金属; 半貴金属及びそれらの合金、特にパラジウム族の元素及びそれらの合金; タングステン、モリブデン、及び他の耐火性金属並びにそれらの合金;及び錫、鉛、ビスマス、インジウム及びこれらの合金からなる群より選択される、請求項23の方法。 25. 接触チップ構造が細長く、その一端から他端への第一の方向にテーパ付けされている、請求項１の方法。 26. 接触チップ構造が、その一端から他端への第一の方向に直交する別の方向にテーパ付けされている、請求項25の方法。 27. 接触チップ構造が細長く、基板表面に隣接する一端から、基板表面から離隔した他端へと三次元的に延びる、請求項１の方法。 28. 相互接続要素が電子部品上に存在している、請求項27の方法。 29. 接触チップ構造が犠牲基板上に存在している間に、相互接続要素が接触チップ構造上に製造される、請求項１の方法。 30. 相互接続要素が、二つの堅固な固定平坦構造体の間でほぼ相互に平行に延びる細長い相互接続要素であり、各々の細長い相互接続要素の二つの端部の各々が、二つの堅固な固定平坦構造体のそれぞれを貫通して延び、及び接触チップ構造が細長い相互接続要素の同じ側にある少なくとも一方の端部に接合される、請求項１の方法。 31. 複数の接触チップ構造の各々に対して接触造作を付与し、この接触造作が、複数の接触チップ構造の他のもののトポロジー的接触造作に関して精密に位置決めされる、請求項１の方法。 32. 相互に比較的大まかな（粗い）関係で配置された複数の相互接続要素と、相互接続要素のそれぞれに対する接合により固定された複数の接触チップ構造とからなり、接触チップ構造が相互に比較的精密な位置関係で配置されている、電気的接触構造。 33. 各々の接触チップ構造が、他の接触チップ構造に対して比較的粗い関係で配置された本体部分を有し、及び各々の接触チップ構造がその本体部分上にトポロジー的接触造作部分を有し、これが他のトポロジー的接触造作に対して比較的精密な関係で配置されている、請求項32の電気的接触構造。 34. トポロジー的接触造作部分がピラミッド形である、請求項33の電気的接触構造。 35. トポロジー的接触造作部分が切頭ピラミッド形である、請求項33の電気的接触構造。 36. トポロジー的接触造作部分が一つ又はより多くのディンプルの形状である、請求項33の電気的接触構造。 37. 接合がロウ付けである、請求項32の電気的接触構造。 38. 接合がメッキである、請求項32の電気的接触構造。 39. 接合が導電性接着剤である、請求項32の電気的接触構造。 40. 二つの電子部品を相互接続するための方法であって、二つの電子部品の一方の表面から延びる相互接続要素に対し、予備製造された接触チップ構造を接合し、及び二つの電子部品の他方の対応する端子に対し、接触チップ構造を押しつけることからなる方法。 41. 二つの電子部品の一方が半導体デバイスである、請求項40の方法。 42. 半導体デバイスがASICである、請求項41の方法。 43. 半導体デバイスがマイクロプロセッサである、請求項41の方法。 44. 二つの電子部品の一方の半導体デバイスがプローブカードアセンブリの部品である、請求項40の方法。 45. 二つの電子部品の一方がプローブカードアセンブリの空間変形部品である、請求項40の方法。 46. 二つの電子部品の他方が半導体デバイスである、請求項40の方法。 47. 二つの電子部品の他方が半導体ウエハー上に存在する半導体デバイスである、請求項40の方法。 48. 半導体デバイスがメモリデバイスである、請求項47の方法。 49. 犠牲基板上に複数の接触チップ構造を形成するための方法であって、 A．複数の接触チップ構造が製造される犠牲基板を用意し、 B．犠牲基板の表面上に剥離機構を形成し、複数の接触チップ構造が製造される複数の位置を画定することにより、犠牲基板を準備し、及び C．準備された犠牲基板上の複数の位置に、複数の接触チップ構造を製造することからなる方法。 50. 剥離機構は、加熱及び化学的エッチングからなる群より選択されたプロセスにより、犠牲基板から接触チップ構造を剥離すべく使用するために適合されている、請求項49の方法。 51. 犠牲基板は、複数の位置の各々に精密に配置されたトポロジー的造作を備えて準備される、請求項49の方法。 52. 接触チップ構造が多重層を有し、第一の層が優れた接触抵抗を示すよう選択された材料からなり、最後の層が接合性を示すよう選択された材料からなり、中間層が構造的一体性を示す材料からなる、請求項49の方法。 53. A．犠牲基板がシリコン基板であり、 B．シリコン基板が、シリコン基板表面上にアルミニウム層を堆積し、アルミニウム層の上に銅層を堆積し、銅層の上にマスク材料層を堆積し、及び複数の位置に複数の開口を有するようにマスク層を処理し、前記開口がマスク層を貫通して下側の銅層まで延伸するようにすることによって準備され、 C．準備されたシリコン基板上に複数の接触チップ構造が、開口内で銅層の上にニッケル層を堆積し、及びニッケル層上に金層を堆積することによって製造される、請求項49の方法。 54. アルミニウム層が約20,000Åの厚みを有し、銅層が約5,000Åの厚みを有し、マスク層が約２ミルの厚みを有し、ニッケル層が約1.0-1.5ミルの厚みを有する、請求項53の方法。 55. アルミニウム層の堆積の前に、シリコン基板の表面上にチタン層を堆積することをさらに含む、請求項53の方法。 56. ニッケル層の堆積の前に、銅層上に貴金属層を堆積することをさらに含む、請求項53の方法。 57. A．犠牲基板がアルミニウムであり、 B．アルミニウム基板が、アルミニウム基板の表面上にマスク材料層を堆積し、及び複数の位置に複数の開口を有するようにマスク層を処理し、前記開口がマスク層を貫通して下側のアルミニウム層まで延伸するようにすることによって準備され、 C．準備されたアルミニウム基板上に複数の接触チップ構造が、開口内でアルミニウム基板上に硬い金の薄層を堆積し、硬い金の層上に比較的厚いニッケル層を堆積し、及びニッケル層上に軟らかい金の層を堆積することによって製造される、請求項49の方法。 58. 硬い金の層が約100マイクロインチの厚みを有し、ニッケル層が約２ミルの厚みを有し、及び軟らかい金の層が約100マイクロインチの厚みを有する、請求項57の方法。 59. ニッケル層の堆積前に、硬い金の層の上に非常に薄い銅のストライクを堆積することをさらに含む、請求項57の方法。 60. アルミニウム基板にバックシートを備えることをさらに含む、請求項57の方法。 61. A．犠牲基板がシリコン基板であり、及び B．シリコン基板が、製造される接触チップ構造上にトポロジー的造作を有することが望ましい特定位置において、シリコン基板にピットをエッチングし、マスク層を適用し、マスク層をパターニングして、接触チップ構造が製造される位置に開口を有するようにすることによって準備される、請求項49 の方法。 62. 剥離機構が基板の表面上に堆積された非濡れ性の材料と、非濡れ性の材料の上に堆積された非濡らし性材料からなる、請求項49の方法。 63. 非濡れ性の材料からなる第二の層を、非濡らし性材料の層の上に堆積することをさらに含む、請求項62の方法。 64. 非濡らし性材料からなる第二の層を、非濡れ性材料の第二の層の上に堆積することをさらに含む、請求項63の方法。 65. 非濡らし性材料からなる第二の層の上にバリア層を堆積することをさらに含む、請求項64の方法。 66. A．犠牲基板がシリコン基板であり、 C．準備されたシリコン基板上に複数の接触チップ構造が、アルミニウム層を堆積し、次いでクロム層を堆積し、次いで銅層を堆積し、さらに金層を堆積することによって製造される、請求項49の方法。 67. 使用時に相互接続要素の端部に接合するよう適合された接触チップ構造であって、犠牲基板上の所定位置において、犠牲基板上に製造されて存在する複数の接触チップ構造からなり、使用時に、接触チップ構造が対応する複数の相互接続要素に接合された後、犠牲基板が接触チップ構造から分離されることを特徴とする、接触チップ構造。 68. 使用時に電子部品の端子に対して接続を行うよう適合された、予備製造された接触チップ構造であって、犠牲基板上に形成された複数の金属構造からなり、該金属構造が、使用時に相互接続要素に接合され、相互接続要素と電子部品の端子との間における電気的接続を行うよう適合されていることからなる、予備製造された接触チップ構造。 69. 金属構造が多層金属構造であり、犠牲基板が金属シートであり、金属がアルミニウムであり、犠牲基板がシリコンウエハーであり、犠牲基板がアルミニウム、銅、及びシリコンからなる群より選択された材料である、請求項68の予備製造された接触チップ構造。 70. 金属構造が、ニッケル及びその合金; 銅、コバルト、鉄、及びそれらの合金; 金（特に硬い金）及び銀、これらは両方とも優れた電流搬送能力と、良好な接触抵抗特性を示す; プラチナ族の元素; 貴金属; 半貴金属及びそれらの合金、特にパラジウム族の元素及びそれらの合金; タングステン、モリブデン、及び他の耐火性金属並びにそれらの合金;及び錫、鉛、ビスマス、インジウム及びこれらの合金からなる群より選択される材料の、一つ又はより多くの層からなる、請求項68 の予備製造された接触チップ構造。 71. 各々の金属構造がその表面上にトポロジーを有し、及びトポロジーを有する表面が、使用時に電子部品の端子と圧力接続を行う表面である、請求項68の予備製造された接触チップ構造。