JP2002368269A - 窒化物半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
窒化物半導体素子及びその製造方法Info
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Abstract
改善する窒化物半導体素子を提供する。 【解決手段】 3族窒化物半導体からなる活性層6と、
活性層に隣接し、活性層のバンドギャップより大なるバ
ンドギャップを有する材料からなる障壁層7と、活性層
において貫通転位を囲む位置に形成された孔部に障壁層
と同一材料を装填することにより形成される埋め込み部
51と、を有する窒化物半導体素子であって、埋め込み
部の底部において隣接する2つの半導体層のうち少なく
とも一方が、1E16/cc〜1E17/ccの不純物
濃度を有する。
Description
る半導体素子(以下、単に素子とも記述する)及びその
製造方法に関する。
に短波長半導体レーザ素子用の材料として窒化ガリウム
(GaN)系化合物を用いた研究が多く行われている。
GaN系半導体レーザ素子は、基板結晶上に3族窒化物
半導体(AlxGa1-x)1-yInyN(0≦x≦1,0≦
y≦1)のような半導体結晶膜を順次積層して作製され
る。この結晶膜の作製には、一般に有機金属気相成長法
(以下、MOCVD法と称する。)が用いられる。該方
法において、3族原料のトリメチルガリウム(以下、T
MGと称する。)や5族原料のアンモニア(NH3)等
の原料ガスを反応炉内に導き、900〜1000℃の温
度で反応させて基板上に化合物結晶を堆積させるのであ
る。原料ガスの成分比を変化させて順次積層すること
で、異なった化合物からなる多層膜構造が達成される。
ような欠陥が多く存在すると、発光素子としての発光特
性が大きく劣化してしまう。この欠陥は、いわゆる貫通
転位と呼ばれているもので、結晶膜の成長方向へ膜中を
貫通して延在する線状の結晶欠陥である。こうした貫通
転位部分は、キャリアの非発光性再結合中心として働く
ため、貫通転位を多く含む膜からなる半導体発光素子の
発光効率は低い。このような欠陥は、基板とその上に成
膜される層との界面における結晶のミスフィット歪みを
起因として発生する。そこで、界面ミスフィットの影響
を減少させるべく、基板材料にはその上に成膜される結
晶に近い結晶構造、格子定数及び熱膨張率を有する材料
を選択することが行われる。
がないため、エピタキシャル成長用の基板として主にサ
ファイアが用いられている。この場合、格子不整合(サ
ファイアとGaNの間に14%程度)に起因した貫通転
位が発生し、最も良い条件を選択してもその貫通転位密
度は1E8/cm2以上となってしまうことが避けられ
ない。ELO(Epitaxially Lateral Over-growth)など
の技術を用いれば転位密度の大幅な低減が達成できる
が、製造コストが大幅に上昇してしまうため、発光ダイ
オードなどに適用することは実用的でない。
従来技術として特開2000−232238号公報に開
示されたものがある。この技術においては、素子の作製
においてウエハ上の各層をエピタキシャル成長させるに
当り、活性層までの成膜を完了した時点で、貫通転位周
りに孔部すなわち凹部を存在させて、活性層より大なる
バンドギャップをもった材料で凹部埋め込み部を活性層
に形成してから、素子の上部構造部を成膜している。こ
の方法を用いると、丁度、貫通転位が存在する部分にキ
ャリアが注入されないため、素子の発光効率を改善でき
る。
イア基板などの異種基板上に成長して作製した接合素子
の場合、GaAsなどを用いて作製した素子と比較し
て、逆電圧印加時のリーク電流が大きいという特徴があ
る。これは、上記したように、成長膜中の貫通転位密度
が高いからである。
の順方向注入時における貫通転位による発光効率の低下
は避けられ発光特性が改善されるが、逆電圧印加時のリ
ーク電流不良が改善されないという問題点を知見した。
逆電圧印加時のリーク電流の増加は、素子の歩留まりの
向上の妨げになる。例えば、発光ダイオードの仕様に
は、逆電圧印加時のリーク電流値が所定以下である旨の
項目があり、一例を挙げると、5V印加時に10μA未
満といったものである。
る逆電圧印加時の電流電圧特性が悪い即ち、リーク電流
が多いという問題点に鑑みなされたもので、基板上に成
膜される結晶膜中を貫通するような欠陥の発生を許容
し、良好な電流電圧特性を有する窒化物半導体素子及び
その製造方法を提供することを目的とする。
子は、3族窒化物半導体からなる活性層と、前記活性層
に隣接し、前記活性層のバンドギャップより大なるバン
ドギャップを有する材料からなる障壁層と、前記活性層
において貫通転位を囲む位置に形成された孔部に前記障
壁層と同一材料を装填することにより形成される埋め込
み部と、を有する窒化物半導体素子であって、前記埋め
込み部の底部において隣接する2つの半導体層のうち少
なくとも一方が、1E16/cc〜1E17/ccの不
純物濃度を有することを特徴とする。
記活性層は単一又は多重量子井戸構造を有することを特
徴とする。本発明の窒化物半導体素子においては、前記
障壁層は前記孔部を埋め、その表面が平坦な面で構成さ
れていることを特徴とする。本発明の窒化物半導体素子
においては、前記埋め込み部は、錐体形状若しくは切頭
錐体形状又はこれらが連結した形状を有することを特徴
とする。
記3族窒化物半導体は(AlxGa1 -x)1-yInyN(0
≦x≦1,0≦y≦1)であることを特徴とする。本発
明の窒化物半導体素子製造方法は、3族窒化物半導体か
らなる活性層と、前記活性層に隣接し前記活性層のバン
ドギャップより大なるバンドギャップを有する材料から
なる障壁層と、前記活性層において貫通転位を囲む位置
に形成された孔部に前記障壁層と同一材料を装填するこ
とにより形成される埋め込み部と、を有する窒化物半導
体素子の製造方法であって、基板上に成膜された複数の
半導体層上に3族窒化物半導体の3族窒化物半導体の活
性層を形成する活性層形成工程と、前記孔部を前記活性
層に形成するピット形成工程と、前記活性層上に前記障
壁層の材料を積層し、前記孔部の側面を界面とする前記
貫通転位の周囲に拡がる埋め込み部を形成する埋込部形
成工程と、を含み、前記活性層形成工程前における、前
記埋め込み部の底部において隣接する2つの前記半導体
層の成膜工程のうちの少なくとも一方において、不純物
添加濃度を1E16/cc〜1E17/ccに設定する
ことを特徴とする。
ては、前記ピット形成工程は、前記活性層形成工程前
に、600〜850℃の温度で前記半導体層を形成する
工程を含むことを特徴とする。本発明の窒化物半導体素
子製造方法においては、前記ピット形成工程は、前記活
性層形成工程後に、前記活性層をエッチングする工程を
含むことを特徴とする。
ては、前記活性層をエッチングする工程において、貫通
転位に沿って食刻の一部が前記半導体層に到達する時点
でエッチングを終了することを特徴とする。
族窒化物からなるpn接合を有する発光ダイオードにつ
いての実施例を図面を用いて説明する。図1は実施例の
発光ダイオードを示す。この素子は、サファイア基板1
上に順に積層された、GaN(又はAlN)層2、n型
GaN層3、n型Al0.1Ga0 .9N層4、n型GaN層
5、InGaNを主たる構成要素とする活性層6、p型
Al0.2Ga0.8N層7、及びp型GaN層8からなる。
この素子は、p型GaN層8に接続されたp側電極1
3、及びn型GaN層3に接続されたn側電極14を備
えている。この素子は電極を除きSiO2の絶縁膜11
で被覆保護されている。この半導体素子では、活性層6
において電子と正孔を再結合させることによって発光す
る。p型Al0.2Ga0.8N層7は注入されたキャリア
(特に電子)の閉じ込めを強化する障壁層である。p型
GaN層8はコンタクト層である。n型GaN層5はピ
ット発生層である。n型Al0.1Ga0.9N層4は第1の
低不純物濃度層である。また、ピット発生層5は第2の
低不純物濃度層でもある。n型GaN層3は電流の流路
として設けられている下地層であり、基板であるサファ
イアに全く導電性がないために設けられている。また、
GaN(又はAlN)層2は低温成膜されたいわゆるバ
ッファ層であり、GaNにとっての異種物質であるサフ
ァイア基板1上に平滑膜を作製するために形成されてい
る。
いて、ピット発生層5からコンタクト層8へ伸びる貫通
転位15を囲みその周囲に拡がる界面50により画定さ
れる障壁層7と同一材料からなる埋め込み部51を備え
ている。埋め込み部51の底部において隣接する2つの
半導体層4,5(第1及び第2の低不純物濃度層)のう
ちの少なくとも一方は、1E16/cc〜1E17/c
cの低い不純物添加濃度を有する。すなわち、活性層6
内に設けられた埋め込み部51すなわち孔部は、孔部の
底部すなわち逆錐状孔部の頂点Pが低不純物濃度のピッ
ト発生層5内に位置するように設けられている。ピット
発生層5の低不純物濃度層の下部には、n型不純物が添
加され高い導電性を有する(AlxGa1-x)1-yInyN
(0≦x≦1,0≦y≦1)が設けられている。
した場合、図2に示すn型のピット発生層5から注入さ
れた電子はIn組成の高い(すなわちバンドギャップの
小さい)活性層6に注入される。また、p型GaNコン
タクト層8から注入される正孔も、同様の理由により活
性層6に集められる。この時、貫通転位15の周囲が、
InGaNからなるIn組成の高い活性層6と比較して
もバンドギャップが大きいAlGaN埋め込み部51に
被われているため、電子16も正孔17もこのAlGa
N埋め込み部51に阻まれて貫通転位15に到達するこ
とができない。よって、埋め込み部51によって非発光
性再結合中心として働く貫通転位部分にキャリアが達し
ないために、素子の発光効率は埋め込み部51がないも
のに比して高くなる。
む埋め込み部51の頂点P近傍の低不純物濃度層が逆電
圧印加時のリーク電流の抑制効果をもたらす。一般に、
窒化物半導体の発光ダイオードの効率を高めるために
は、活性層又はその隣接層をn型ドーピングすることに
より、無バイアス時のキャリア濃度を高めることが有効
である。しかし、n型ドーピング濃度が高過ぎると空乏
層が薄くなり空乏層にかかる電界強度が大きくので、高
密度の貫通転位が存在する場合、これを伝わるリーク電
流量が多くなる。一方、本発明によれば、図2に示すよ
うに、逆電圧印加時のリーク電流経路である貫通転位周
りからn型ドーピング濃度領域を埋め込み部51により
除去している。よって、活性層自体のn型ドーピング濃
度を高めることが可能となるとともに、貫通転位近傍の
空乏層厚さを低不純物濃度層のパラメータにより制御で
きるようになる。
に、逆電圧印加時のリーク電流経路である貫通転位周り
からn型ドーピング濃度領域を埋め込み部51により除
去しているので、活性層6及びピット発生層5間に高い
ドーピング濃度のn型ドーピング層5aを設けることも
できる。図1に示した素子構造は、サファイアA面基板
上に素子の層構造をMOCVDにより成膜する以下の作
製工程にて、製造される。実施例としては活性層に自然
位(in-situ)で貫通転位部に孔部を開ける方法を採用す
る。すなわち、特定の成膜条件下で、結晶成長すると貫
通転位上での成長が抑制されることを利用する。
D成長炉に装填し、1050℃の温度において300T
orrの圧力の水素気流中で10分間保持し、サファイ
ア基板1の表面の熱クリーニングを行なう。この後、サ
ファイア基板1をその温度が400℃になるまで降温
し、水素ガスをキャリアガスとして用い、窒素原料であ
るアンモニア(NH3)とAl原料であるトリメチルア
ルミニウム(TMA)を成長炉内に導入し、AlNから
なるバッファ層2を50nmの厚さに堆積させる。
流したまま、バッファ層2が成膜されたサファイア基板
1の温度を再び1050℃に昇温し、トリメチルガリウ
ム(TMG)を導入してn型GaN下地層3を積層す
る。この時、n型GaN下地層3中のSi濃度が2E1
8/ccとなるように、n型不純物であるSiの原料と
してメチルシラン(Me−SiH3)を成長雰囲気ガス
に添加する。
時点で、メチルシランの供給量を1/20に減少し、第
1の低不純物濃度層としてn型AlGaN層4を0.1
μm成膜する。第1の低不純物濃度層であるn型AlG
aN層4の成長が完了した時点で、NH3以外の原料ガ
スの供給を停止するとともに、ウエハを600〜850
℃の温度範囲で下げ、例えば温度770℃になった時点
でキャリアガスを水素から窒素に切り替える。ガス流の
状態が安定した時点で、再びTMCとメチルシランを導
入し、第2の低不純物濃度層としてSiドープn型In
GaN層5を400Å成膜する。この第2の低不純物濃
度層のn型InGaN層5は、ピット発生層として働
く。この工程で、結晶成長しない部分の初期段階を作り
込む。なお、ピット発生層5はInGaNに限らず、G
aN、AlGaNなど活性層を構成する材料のバンドギ
ャップ以上の大きさを持つ材料でもよい。また、アンド
ープのものでもよい。成長温度を下げることによってピ
ットの発生が促されるが、成長温度を850℃程度以下
で成長させないと十分に促進できない。また、成長温度
600℃以下ではピットは発生するが、基本的な膜質が
悪化するため好ましくない。また、貫通転位の部分に結
晶成長をしない部分を確実に発生させるためには、ピッ
ト発生層5の膜厚は、100Å以上必要であり、さら
に、望ましくは、200Å程度まであるほうがよい。こ
のようにして、次工程における貫通転位上での結晶成長
が抑制されピットに起因する孔部が生じる。
た時点でTMG及びMe−SiH3の供給を停止して降
温を開始し、基板温度を750℃とする。基板温度が7
50℃となった時点でキャリアガスを水素から窒素に切
換え、ガス流の状態が安定した時点でTMG、トリメチ
ルインジウム(TMI)及びMe−SiH3を導入して
In組成の高い活性層6を成長する。
Nの平坦化を良好に進行させるためには、1000℃以
上の成膜温度が必要になる。この成膜温度への昇温過程
の間に、すでに成長が完了しているInGaN活性層6
の成分の蒸発が生じ、活性層6が劣化してしまう傾向が
ある。そこで、InGaN活性層6の成膜が完了した時
点で、低温AlGaN障壁層71の成長を行う。この低
温AlGaN障壁層71はAlGaN障壁層7の一部を
なす膜であり、低温AlGaN障壁層71の成膜は雰囲
気ガス内のGaNと比較してAlNの方がはるかに高温
安定性が高い性質を利用するものである。AlN組成比
0.2程度の低温AlGaN障壁層71を極くわずかの
膜厚で積層しておくことで、上記のGaN成分の蒸発現
象を有効に阻止できる。低温AlGaN障壁層71の膜
厚は、数分子層程度すなわち20Å程度以上であること
が望ましい。この膜厚を厚くしすぎると、p型層からの
正孔の注入を阻害するため100Å未満であることが望
ましい。活性層6の成膜後に続いて基板温度を変更せず
に、ただちに低温AlGaN障壁層71を成長させる。
低温AlGaN障壁層71は低温で成長するため、ピッ
ト部はほとんど埋め込まれない。
を流しつつ、基板温度を再び1050℃に昇温し、TM
G,TMAとp型不純物であるMgの原料としてエチル
−シクロペンタジエニルマグネシウム(Et−Cp2M
g)を導入してp型AlGaN層の障壁層7を低温Al
GaN障壁層71上に0.02μm積層する。p型Al
GaNの障壁層7を成膜した時点の断面では、1050
℃という高温であることと、表面が平坦化し易いという
AlGaNの性質のため、複数のピット(凹部)がp型
AlGaNで埋められる。よって、一旦平滑化がなされ
た後は、障壁層7上の成膜すべき各層は平坦に成膜され
得る。埋め込み部51が錐体形状若しくは切頭錐体形状
の形成されるが、ピット形状に応じてこれらが連結した
形状ともなる。
N障壁層71のAlN組成比は、AlGaN障壁層7の
AlN組成比より小さい。すなわち、低温AlGaN障
壁層71のAlN組成比が、AlGaN障壁層7のAl
N組成比より大きくなると、p型5から注入される正孔
が、よりAlN組成比の小さい(すなわちバンドキャッ
プの小さい)AlGaN障壁層7からなる埋め込み部5
1に注入され易くなってしまうからである。
をAlGaN障壁層7のものより小さくすることで、n
型層から注入された電子16と同様に、p型層側から注
入される正孔は埋め込み部51に阻止されて貫通転位1
5に到達できなくなる。したがって、活性層成長後、活
性層の成長温度と略同一の温度で低温AlGaN障壁層
71を形成し、昇温後に第2のAlGaN障壁層7を形
成する。また、低温AlGaN障壁層71のAlN組成
比より、第2のAlGaN障壁層7のAlN組成比を大
きくする。
にp型GaNコンタクト層8を0.1μm成長する。そ
の後、TMG,Et−Cp2Mgの供給を停止し、降温
を開始し、基板温度が400℃になった時点でNH3の
供給も停止し、基板温度が室温になった時点でウエハを
反応炉より取り出す。ウエハを熱処理炉に設置し、処理
温度は800℃、時間は20分、雰囲気は大気圧の窒素
でp型発現処理を行なう。
テラスとn側電極用の電流経路構造を形成する。一般的
なフォトリソグラフィ、反応性イオンエッチング(RI
E)を用いて、p型膜を含む不要な部分をウエハから除
去し、部分的にn型GaN下地膜3を露出させる。エッ
チングマスクを除去後、SiO2保護膜をスパッタリン
グなどの方法によって堆積させ、このSiO2膜に対
し、p型テラス部にp側電極用窓部を、n層露出部分に
n側電極用窓部を形成する。
i(チタン)を50nm、続いてAl(アルミニウム)
を200nm蒸着し、n側電極14を形成する。p型G
aN層が露出している部分には、Ni(ニッケル)を5
0nm、Au(金)を200nm蒸着してp側電極13
を形成する。このようにして作製されたウエハを劈開
し、図1に示す発光素子を作製した。その後、各素子へ
逆電圧を印加して電圧電流特性の測定を行なった。
たLED素子の逆電圧電流リーク特性を示す図である。
図4は、比較対象用に作製した従来例のLED素子の逆
電圧電流リーク特性図である。この比較用素子は、前述
のウエハ成膜工程において、第1の低不純物濃度層4を
成膜せず、GaN下地層の膜厚さを0.1μm厚くし、
かつピット発生層5(第2の低不純物濃度層)における
Si濃度をGaN下地層と同一に設定した以外は図3の
ものと同一の構造を有している。図3及び図4から明ら
かなように、本発明に基づく実施例の素子ではリーク電
流が激減している。本発明では、ピット発生層のSiド
ーピング量を、従来より大幅に下げ、1E17/ccと
低く設定している。この結果、逆錐状孔部の頂点近傍に
形成される空乏層の特にn層側の厚さが大幅に増大す
る。また、ピット発生層5下部にも第1の低不純物濃度
層4を設けているので、たとえピット発生層の最下端で
ピットが発生しても、空乏層は第1の低不純物濃度層4
内に形成される。従って、逆電圧印加時の空乏層中の電
界が効果的に低減され、リーク電流が低減されるのであ
る。本発明の効果を十分なものとするには、第1及び第
2の低不純物濃度層中の不純物濃度を1E17/cc以
下とすることが好ましい。但し、極端に低く設定する
と、順方向動作時の電圧が上昇する傾向があるため1E
16/cc未満とすることは好ましくない。また、十分
な効果を上げるためには、第1の低不純物濃度層4の厚
さが0.05μm以上あることが好ましいが、0.2μ
mを大幅に越えるほど厚く設定をすると、順方向動作時
の電圧が上昇してしまう。
厚さを増大させることで、リーク電流の低減を得るもの
である。一方、逆錐状孔部の頂点のp型側、すなわちp
型AlGaN障壁層におけるMgドーピング量を低減し
ても空乏層の厚さを増大させることができ、リーク電流
が低減される。しかしながらこの方法は前述の実施例ほ
ど好ましい結果が得られない。順方向電流注入時(つま
り通常動作時)の発光特性が犠牲になってしまうのであ
る。p型AlGaN障壁層の主な働きは、n型層から活
性層に注入された電子がp層側へ溢れ出す(オーバーフ
ローと呼ぶ)を阻止することであるが、Mgドーピング
量を低減するとこのp型AlGaN障壁層のフェルミ準
位がバンドギャップの中央寄りに移動し、その結果、電
子に対する実効障壁高さが減少してしまうからである。
また、p型AlGaN障壁層の働きの一つは、逆錐状孔
部を平坦に埋め込むことであるが、Mgドーピング量を
大幅に低減すると、この作用もまた阻害される傾向があ
るからである。
発光素子に適用できる。この場合も、実施例の場合と同
様に顕著な効果が得られる。上記実施例では活性層に自
然位(in-situ)で貫通転位部に孔部を開ける方法を用い
たが、他の実施例としては活性層形成後にエッチングに
より貫通転位部周囲に孔部を開ける方法を採用すること
もできる。すなわち、成長途中のウエハをエピタキシャ
ル成長装置の外部に取り出して上記のエッチングを行な
うこともできる。
(発光ダイオード)の場合について述べたが、本発明は
多層膜構造を有する半導体レーザ素子の作製に用いても
同様の効果を上げることができる。
プより大なるバンドギャップを有する埋め込み部が貫通
転位を囲み貫通転位近傍にキャリアが拡散しないので、
素子の発光特性が向上するとともに、逆電圧印加時のリ
ーク電流を低減できる。
大断面図。
流特性を示すグラフ。
グラフ。
を示す概略拡大断面図。
Claims (9)
- 【請求項1】 3族窒化物半導体からなる活性層と、前
記活性層に隣接し、前記活性層のバンドギャップより大
なるバンドギャップを有する材料からなる障壁層と、前
記活性層において貫通転位を囲む位置に形成された孔部
に前記障壁層と同一材料を装填することにより形成され
る埋め込み部と、を有する窒化物半導体素子であって、 前記埋め込み部の底部において隣接する2つの半導体層
のうち少なくとも一方が、1E16/cc〜1E17/
ccの不純物濃度を有することを特徴とする窒化物半導
体素子。 - 【請求項2】 前記活性層は単一又は多重量子井戸構造
を有することを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体
素子。 - 【請求項3】 前記障壁層は前記孔部を埋め、その表面
が平坦な面で構成されていることを特徴とする請求項1
又は2記載の窒化物半導体素子。 - 【請求項4】 前記埋め込み部は、錐体形状若しくは切
頭錐体形状又はこれらが連結した形状を有することを特
徴とする請求項1〜3のいずれか1記載の窒化物半導体
素子。 - 【請求項5】 前記3族窒化物半導体は(AlxG
a1-x)1-yInyN(0≦x≦1,0≦y≦1)である
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1記載の窒化
物半導体素子。 - 【請求項6】 3族窒化物半導体からなる活性層と、前
記活性層に隣接し前記活性層のバンドギャップより大な
るバンドギャップを有する材料からなる障壁層と、前記
活性層において貫通転位を囲む位置に形成された孔部に
前記障壁層と同一材料を装填することにより形成される
埋め込み部と、を有する窒化物半導体素子の製造方法で
あって、 基板上に成膜された複数の半導体層上に3族窒化物半導
体の活性層を形成する活性層形成工程と、 前記孔部を前記活性層に形成するピット形成工程と、 前記活性層上に前記障壁層の材料を積層し、前記孔部の
側面を界面とする前記貫通転位の周囲に拡がる埋め込み
部を形成する埋込部形成工程と、を含み、 前記活性層形成工程前における、前記埋め込み部の底部
において隣接する2つの前記半導体層の成膜工程のうち
の少なくとも一方において、不純物添加濃度を1E16
/cc〜1E17/ccに設定することを特徴とする窒
化物半導体素子の製造方法。 - 【請求項7】 前記ピット形成工程は、前記活性層形成
工程前に、600〜850℃の温度で前記半導体層を形
成する工程を含むことを特徴とする請求項6記載の窒化
物半導体素子の製造方法。 - 【請求項8】 前記ピット形成工程は、前記活性層形成
工程後に、前記活性層をエッチングする工程を含むこと
を特徴とする請求項6記載の窒化物半導体素子の製造方
法。 - 【請求項9】 前記活性層をエッチングする工程におい
て、貫通転位に沿って食刻の一部が前記半導体層に到達
する時点でエッチングを終了することを特徴とする請求
項8記載の窒化物半導体素子の製造方法。
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