JP3786544B2 - 窒化物半導体素子の製造方法及びかかる方法により製造された素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、III族窒化物半導体素子(以下、素子とも記述する)の製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】
窒化ガリウム系化合物半導体は、近年短波長光半導体素子用、特に短波長半導体レーザ用の材料として精力的に研究開発が行われている。半導体レーザなどの素子の製造は、基板結晶の上に半導体の単結晶膜を積層することによって行われる。レーザなどの発光素子の特性は、単結晶膜中の結晶欠陥の密度により大きく左右される。こうした観点から、基板に用いる材料としては、その上にエピタキシャル成長させる半導体結晶と同一の結晶構造、格子定数、熱膨張係数などの物性定数を有する材料が望ましく、エピタキシャル膜と同一の、例えば窒化ガリウム(以下、GaNと称す)の単結晶が理想である。しかしながら、GaNの大きな結晶を作製することは極めて困難であり、いわゆるウェハとして使用できるような大きさのGaN単結晶インゴットは、過去に作製された例がない。そこで、基板としては、サファイア基板が用いられている。
【0003】
GaN単結晶膜を作製するにあたり、最も一般的に用いられているのは、有機金属気相成長法(以下、MOCVDと略す)であり、原料としては、一般的に、III族原料としてトリメチルガリウム(以下、TMGと略す)、V族原料としてはアンモニア(以下、NH3と称す)が用いられている。
この方法により、GaN半導体を成膜する場合、結晶成長温度はおよそ900〜1100℃となる。こうした高温下では、ヒ化ガリウム(GaAs)等の半導体結晶は不安定で、基板として使用できない。このため、諸物性は、GaNとは異なるものの、主として前述のような高温下でも安定であるとの理由により、単結晶サファイアが基板として用いられている。
【0004】
しかし、サファイアの格子定数は14%程度GaNとは異なっているために、サファイア基板に直接GaNを成長させたのでは、発光素子としての使用に耐え得るような高品質の単結晶膜は得られない。そこで、GaN単結晶膜の結晶欠陥を抑制するために、サファイア基板上に低温(400〜600℃)で窒化アルミニウム(AlN)またはGaNからなる低温バッファ層を一旦形成し、その後温度を上げて、GaNのエピタキシャル成長を行う方法が開発された。こうした2段階成長によって、比較的平滑な単結晶膜が安定して得られるようになった。
【0005】
しかし、上記方法にて作製したGaNの膜には、1×108〜1×1010(1/cm2)というGaAsに比べると1万から10万倍という極めて高密度の欠陥が存在することが確認されている。この欠陥は、いわゆる貫通転位と呼ばれるもので、結晶膜中を上下に貫通する線状の結晶欠陥であり、こうした転位はキャリアの非発光性再結合中心として働くため、転位密度が高くなるほど半導体結晶の発光効率は低下する。
【0006】
一般に、GaNは、GaAs等の従来の光半導体と比較して、転位により発光効率が低下しにくい特性を有しているが、上述のように高密度の転位が存在すると発光効率は低下する。
この貫通転位の密度は、エピタキシャル成長時の条件で変化するが、特に成長圧力に依存し、文献Jpn. J. Appl. Phys. Vol.37 (1998) pp.4460-4466に記載されるように、成長圧力は高い方が貫通転位が減少することが分かっている。それゆえ、サファイア基板上のエピタキシャル成長は、常圧(760torr)付近で行うことが多い。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
サファイア基板上にGaNまたはAlNの低温バッファ層を形成し、この上に高温(1000℃程度)でGaN結晶を成長させた場合、成長の初期は、結晶核が三次元的に島状に成長し、続いて島の合体が生じて二次元的成長に移行することが知られている。従って、GaNのエピタキシャル膜においては、「ピット」と呼ばれる六角錘状の孔が生じることがある。ピットが存在すると、その上及び近傍には良好なデバイスを形成することは困難である。すなわち、エピタキシャルウェハにおいてピット密度が高いと、デバイスの製造歩留まりの低下につながる。
【0008】
このピット密度も成長圧力に強く依存し、成長圧力が高いとピット密度が増加することが分かっている。従って、上述のように、貫通密度とピット密度との関係は相反するので、転位密度を下げるために成長圧力を高くすると、ピット密度が増加してしまい、同様にデバイスの製造歩留まりの低下につながることが問題である。
【0009】
本発明の目的は、上記問題点に鑑みて、GaN層における転位密度を少なくしながらもピットの生成を抑制する窒化物半導体素子及びその製造方法を提供するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の窒化物半導体素子の製造方法は、有機金属化学気相成長法によって、III族窒化物半導体(InxGa(1-x-y)AlyN(0≦x≦1, 0≦y≦1))を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子の製造方法であって、前記サファイア基板上に低温バッファ層を第1の温度の下でかつ第1の圧力の下で形成する工程と、ドーパント成分を含まない第1の混合ガスを供給して前記低温バッファ層の上に、表面に空隙を有する第1の窒化ガリウム層を前記第1の温度よりも高い第2の温度の下でかつ前記第1の圧力よりも高い第2の圧力の下で形成する第1の成膜工程と、ドーパント成分を含む第2の混合ガスを供給して前記第1の窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めて平坦化しつつ前記第1の窒化ガリウム層の上に第2の窒化ガリウム層を前記第2の圧力よりも低い第3の圧力の下で形成する第2の成膜工程と、を含み、前記第2の窒化ガリウム層はMg,Be,CaおよびZnのうち少なくとも1つをドーパントとして含む、ことを特徴とするものである。
【0011】
本発明の窒化物半導体素子は、III族窒化物半導体(InxGa(1-x-y)AlyN(0≦x≦1, 0≦y≦1))を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子であって、前記サファイア基板上に第1の温度の下でかつ第1の圧力の下で形成された低温バッファ層と、ドーパント成分を含まずに前記低温バッファ層上に前記第1の温度よりも高い第2の温度の下でかつ前記第1の圧力よりも高い第2の圧力の下で形成された、表面に空隙を有する第1の所定膜厚の第1の窒化ガリウム層と、前記第1の窒化ガリウム層上に形成されておりかつMg,Be,CaおよびZnのうち少なくとも1つをドーパントとして含む第2の所定膜厚の第2の窒化ガリウム層と、を含み、前記第2の窒化ガリウム層は前記第1の窒化ガリウム層の表面に形成された空隙を埋めて平坦化しつつ前記第2の圧力よりも低い第3の圧力の下で形成されていることを特徴とするものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、好ましい実施例に基づき図面を参照しながら説明する。
図1に示すように、本発明の窒化物半導体素子は、サファイアからなる基板1の上に窒化物半導体単結晶膜を積層させた多層構造体からなる。サファイア基板1上には、AlNやGaN等からなる低温バッファ層2が、サファイア基板1に形成されている。低温バッファ層2の上には、島状構造を採るドーパントを含まないGaN結晶層、すなわちノンドープGaN結晶層3が第1のGaN層として形成されている。第1のGaN層の上にドーパントを含む第2のGaN層4が形成される。第2のGaN層4は、第1のGaN層3の島状構造の空隙を埋めて第1のGaN層3の表面を平坦にしつつ積層されている。そして、第2のGaN層4の上に再びノンドープGaN結晶膜5が第3のGaN層として形成される。さらにその上には、結晶層6が形成される。本実施例においては、かかる結晶層6は、Siドープのn型GaNである。さらにn型クラッド層7、活性層8、p型クラッド9、p型コンタクト層10がこの上に順次配され、p型コンタクト層10及び第4の結晶層6上にそれぞれp型電極11及びn型電極12を配して半導体発光素子が作製される。
【0013】
以下、本発明による窒化物半導体素子の製造方法を、図2及び図3を参照して説明する。
サファイア基板1を成膜用MOCVD成長炉に装填し、1050℃の温度において300torrの圧力の水素気流中で10分間保持し、サファイア基板1の表面の熱クリーニングを行う。この後、サファイア基板1の温度が400℃になるまで降温せしめ、窒素原料であるNH3と、Al原料であるTMA(トリメチルアルミニウム)を成長炉に導入し、AlNからなる低温バッファ層2を50nmの厚さに積層させる(ステップS1)。
【0014】
続いてTMAの供給を止めて、NH3のみを流したまま、成長圧力を300torrから600torrに変更する。さらにバッファ層2が成膜されたサファイア基板1の温度を再び1050℃に昇温し、TMG(トリメチルガリウム)を第1の混合ガスとして導入してノンドープGaN層3の積層を開始する(ステップS2)。最初に、GaN結晶の核が低温バッファ層2上に生成され、核は自身を中心にして3次元的な成長を開始して島状構造を採りながら成長を継続する。
【0015】
ノンドープGaN層3を設定膜厚0.5μm程度成長させたところで、TMGの供給を停止し、圧力を再度300torrに変更する。尚、設定膜厚とは、膜が一様な膜厚で成長すると仮定した場合の膜厚のことである。
次に、MgをドーパントとするためにEt-Cp2Mg(エチル-ビスシクロペンタジエニルマグネシウム)を導入してTMG及びNH3とともに第2の混合ガスとして供給して、第2のGaN層としてのGaN:Mg層4の積層を開始する(ステップS3)。この時、Et-Cp2Mgの流量は、Mgの原子濃度が1×1018〜5×1020(1/cc)となるように設定する。この時のMgの濃度は、GaN:Mg層が2次元的成長を促進するように選択される。GaN:Mg層4は、設定膜厚として0.5μm成長させる。
【0016】
尚、GaN:Mg層4の膜厚は、本実施例においては0.5μmとしたが、これに限らず、ノンドープGaN層3の表面に形成されたピットを埋めるとともに、積層されるGaN:Mg層4のそのものの表面が平坦になる膜厚であれば良い。
次に、Et-Cp2Mgの供給のみを停止し、ノンドープGaN層5の成長を1〜10分程度行う(ステップS4)。その後、Me-SiH3(メチルシラン)を導入し、GaN:Si層6を2μm成長させる(ステップS5)。この時のMe-SiH3の流量は、Siの原子濃度が1×1017(1/cc)となるように設定する。
【0017】
GaN:Si層6の成長が完了したところで、TMG,Me-SiH3の供給を停止して降温を開始し、基板温度が400℃以下になったところでNH3の供給も停止し、基板温度が室温になったところで反応炉より取り出す。尚、これを後述する比較のための試料(1)とする。
更に、n型クラッド層7、活性層8、p型クラッド9、p型コンタクト層10をGaN:Si層6の上に順次積層し、p型コンタクト層10及び第4の結晶層6上にそれぞれp型電極11及びn型電極12を形成して(ステップS6)半導体素子が作製される。
【0018】
尚、比較対象用として、第1のGaN層3の成長後、圧力は600torrのままGaN:Si層6を2μm成長させた試料(2)を作製した。また、第1のGaN層3及びGaN:Si層6をすべて圧力300torrで成長させた試料(3)も作製した。試料(2)、(3)とも、試料(1)と比較すると第2のGaN層4及びノンドープGaN層5が無いだけで、膜厚、ドーピングレベルなどの条件は同じである。
【0019】
こうして得られた各試料の表面のピット密度、ホール移動度、EPD、すなわち転位密度の評価を行った。その結果を表1に示す。
【0020】
【表1】
【0021】
表1から、ホール移動度は、EPDと相関があり、ホール移動度が高くなるとEPDは低下することが分かる。また、試料(1)及び試料(2)のEPDが、試料(3)よりも低いことが分かる。ピット密度は、試料(1)及び試料(3)が低く、試料(2)は高い。更に、試料(1)の断面を走査顕微鏡(SEM)で観察して、第1のGaN層3に存在するピットが、第2のGaN層4により埋められてピットの上方では膜が平坦化されていることを確認した。このようにして、転位密度を抑制しつつ初期のGaN膜に生じたピットがGaN層を厚み方向に貫通することを抑制することができる。
【0022】
また、第1のGaN層3の膜厚としては、ノンドープGaN層の成長形態が、初期の3次元的成長形態から2次元的成長形態に移行し始めるまでの膜厚が、第2のGaN層の2次元的成長に対して適切である。従って、第1のGaN層3の膜厚としては、結晶核の合体が始まる0.2μmを下限とし、島状構造の間隙を埋めるのに必要な、すなわち平坦化に要する時間が短いほうが好ましいという観点から、4μmを上限とする。また、第1のGaN層3の膜厚が増加すると、表面に形成されるピットの深さもより深いものが形成される場合があるので、その上に積層されるGaN:Mg層4も、かかるピットを埋めるために膜厚が増大する傾向がある。
【0023】
また、ノンドープGaN層5は、次に積層させるGaN:Si層6へのMgの混入を防ぐために、GaN:Mg層4とGaN:Si層6との間に形成するものである。この理由を次に説明する。すなわち、Mgは、Et-Cp2Mgの供給を停止しても、しばらくの間反応炉や配管内に残留すること(この現象は、Mgのメモリ効果と呼ばれる)がある。従って、GaN:Mg層4の次にGaN:Si層6を成長させると、Et-Cp2Mgの供給を止めてGaN:Si層6の成長に移行するまでの時間に残留したMgが表面に堆積するので、GaN:Si層6の成長を開始した際に再び3次元的成長を起こし、逆にピットを増加させてしまうことがあるからである。しかしながら、Mgのメモリ効果は常に発現するものではなく、MOCVD炉やGaN:Si層6の成長条件によっては、Et-Cp2Mgの供給停止直後においてメモリ効果が発現しないことがある。故に、かかる場合はノンドープGaN層5の積層を省略することができる。
【0024】
さらに、GaN:Si層6のSiの原子濃度は、本実施例の1×1017(1/cc)に限らず、サファイア基板上の3族窒化物半導体素子として一般的なN+層のレベル(Si濃度;1×1018〜1×1019(1/cm3))に設定することもできる。一般に、GaN系結晶においては、成長初期段階で特に(1-101)面及びその近傍の高次数の面が優性になって三次元成長が進行する。三次元的に島状成長した各島が衝突し合体し始めると、高次数の面が(1-101)面ともう1つの安定面である(0001)面とに淘汰されていく。この(0001)面の成長速度は、遅いことが知られているが、これは(0001)面に到達したGa原子が表面をマイグレーションして、(1-101)面で取り込まれるために生じる結果と考えることができる。このようにして、(1-101)面がより速く成長し、(0001)面が残るために、膜は次第に平坦化されていく。成長圧力が低いときのように、原料の拡散が速く、核が均一に成長し、一様な島が高密度に生成される場合は、上述の二次元的成長移行機構が速やかに働き平坦化が達成される。但し、貫通転位等の結晶欠陥は、異なる初期核から生成した成長面が衝突する際に生じるので、島密度が高く合体が速い成長モードは転位密度が高くなる傾向がある。
【0025】
一方、成長圧力が高い場合は、初期核間で選択的成長により競合が起こり、大きな島が比較的低密度に生成されるため、転位密度は低くなる。しかしながら、島同士の合体が遅いため、大きく且つ深い(1-101)面で構成されるピットが生じやすい。故に、ピット内部では、拡散による原料の供給そのものが希薄になるため、ピットは消えず、膜の成長が進行するに従い粗大化する傾向がある。
【0026】
ところが、三次元的成長が二次元的成長に移行する際に、Mgが存在すると、(0001)面においてGa原子のマイグレーションはさらに助成されて、(1-101)面及びその近傍面の成長速度の比がさらに大きくなり、三次元的成長から二次元的成長への移行が促進される。
従って、Mgは、Ga原子位置でGaと置換されるアクセプタ性の不純物と考えられるので、Mgと同様にGa原子位置において置換可能なアクセプタ性の不純物であるII族元素である、Be,Ca,Znを、Mgに代えて不純物、すなわちドーパントとしてGaN層を成長させても良い。
【0027】
また、第2のGaN層の成長時の圧力を、第1のGaN層の成長圧力よりも下げることが平坦化に有効であることも実験にて確認されている。
このように、ノンドープの第1のGaN層を低温バッファ層の上に積層して貫通転位の発生を抑制し、次に、ドーパントを混入させて第2のGaN膜を積層することにより、第2のGaN層は、その成長過程において第1のGaN層の表面の空隙を埋めながら成長することができる。従って、第1のGaN層と第2のGaN層とからなるGaN層において、生成されるピットの数を低減せしめるとともに、膜の表面が平坦化され、更に内部に生じる貫通転位を減らすことができる。故に、上記GaN膜からなるIII族窒化物半導体素子の特性を向上せしめることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による窒化物半導体素子を示す断面図である。
【図2】図1に示す窒化物半導体素子の一部拡大断面図である。
【図3】本発明による窒化物半導体素子の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 基板
3 第1のGaN層
4 第2のGaN層
Claims (12)
- 有機金属化学気相成長法によって、III族窒化物半導体(InxGa(1-x-y)AlyN(0≦x≦1, 0≦y≦1))を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子の製造方法であって、
前記サファイア基板上に低温バッファ層を第1の温度の下でかつ第1の圧力の下で形成する工程と、
ドーパント成分を含まない第1の混合ガスを供給して前記低温バッファ層の上に、表面に空隙を有する第1の窒化ガリウム層を前記第1の温度よりも高い第2の温度の下でかつ前記第1の圧力よりも高い第2の圧力の下で形成する第1の成膜工程と、
ドーパント成分を含む第2の混合ガスを供給して前記第1の窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めて平坦化しつつ前記第1の窒化ガリウム層の上に第2の窒化ガリウム層を前記第2の圧力よりも低い第3の圧力の下で形成する第2の成膜工程と、を含み、
前記第2の窒化ガリウム層はMg,Be,CaおよびZnのうち少なくとも1つをドーパントとして含む、ことを特徴とする窒化物半導体素子の製造方法。 - 前記第1の窒化ガリウム層の表面にある空隙は六角錘状の孔であることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 前記六角錘状の孔は(1−101)面を有することを特徴とする請求項2記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 前記第2の窒化ガリウム層の上にドーパント成分を含まない混合ガスを供給して第3の窒化ガリウム層を形成する第3の成膜工程を更に含むことを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 前記第2の窒化ガリウムの膜厚は、前記第1窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めつつ形成される前記第2の窒化ガリウムの表面を平坦にするのに十分な厚みであることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 前記第1の窒化ガリウム層の膜厚は、0.2μmから4μmまでの設定膜厚であることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- III 族窒化物半導体(In x Ga (1-x-y) Al y N( 0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1 ))を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子であって、
前記サファイア基板上に第1の温度の下でかつ第1の圧力の下で形成された低温バッファ層と、
ドーパント成分を含まずに前記低温バッファ層上に前記第1の温度よりも高い第2の温度の下でかつ前記第1の圧力よりも高い第2の圧力の下で形成された、表面に空隙を有する第1の所定膜厚の第1の窒化ガリウム層と、
前記第1の窒化ガリウム層上に形成されておりかつMg,Be,CaおよびZnのうち少なくとも1つをドーパントとして含む第2の所定膜厚の第2の窒化ガリウム層と、を含み、
前記第2の窒化ガリウム層は前記第1の窒化ガリウム層の表面に形成された前記空隙を埋めて平坦化しつつ前記第2の圧力よりも低い第3の圧力の下で形成されていることを特徴とする窒化物半導体素子。 - 前記第1の窒化ガリウム層の表面に形成された空隙は六角錘状の孔であることを特徴とする請求項7記載の窒化物半導体素子。
- 前記六角錘状の孔は(1−101)面を有することを特徴とする請求項8記載の窒化物半導体素子。
- ドーパント成分を含まずに前記第2の窒化ガリウム層上に形成される第3の窒化ガリウム層を更に含むことを特徴とする請求項7記載の窒化物半導体素子。
- 前記第2の窒化ガリウムの膜厚は、前記第1窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めつつ形成される前記第2の窒化ガリウムの表面を平坦にするのに十分な厚みであることを特徴とする請求項7記載の窒化物半導体素子。
- 前記第1の窒化ガリウム層の所定膜厚は、0.2μmから4μmまでの設定膜厚であることを特徴とする請求項7記載の窒化物半導体素子。
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EP1245701A3 (en) * | 2001-03-28 | 2009-03-04 | Ngk Insulators, Ltd. | A method of fabricating a Group III nitride film |
US20040169192A1 (en) * | 2001-06-04 | 2004-09-02 | Hisaki Kato | Method for producing group III nitride compounds semiconductor |
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DE10135189A1 (de) * | 2001-07-19 | 2003-02-20 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Lichtemittierende Vorrichtung auf Basis eines Galliumnitrid-basierten Verbindungshalbleiters und Verfahren zu deren Herstellung |
US20030047746A1 (en) * | 2001-09-10 | 2003-03-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | GaN substrate formed over GaN layer having discretely formed minute holes produced by use of discretely arranged growth suppression mask elements |
US20070280872A1 (en) * | 2001-09-19 | 2007-12-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of growing gallium nitride crystal and gallium nitride substrate |
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US7105865B2 (en) * | 2001-09-19 | 2006-09-12 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | AlxInyGa1−x−yN mixture crystal substrate |
US20080006201A1 (en) * | 2001-09-19 | 2008-01-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of growing gallium nitride crystal |
US7303630B2 (en) * | 2003-11-05 | 2007-12-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of growing GaN crystal, method of producing single crystal GaN substrate, and single crystal GaN substrate |
JP3690326B2 (ja) | 2001-10-12 | 2005-08-31 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物系化合物半導体の製造方法 |
JP2003282447A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 半導体素子用基板の製造方法および半導体素子用基板ならびに半導体素子 |
CN100454486C (zh) * | 2002-07-11 | 2009-01-21 | 爱尔兰国家大学科克学院 | 减少半导体材料中的缺陷的方法及其产品 |
US6841001B2 (en) * | 2002-07-19 | 2005-01-11 | Cree, Inc. | Strain compensated semiconductor structures and methods of fabricating strain compensated semiconductor structures |
TW587346B (en) * | 2003-03-28 | 2004-05-11 | United Epitaxy Co Ltd | Optoelectronic device made by semiconductor compound |
EP1471582A1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Substrate for semiconductor light-emitting element, semiconductor light-emitting element and its fabrication |
KR101034055B1 (ko) | 2003-07-18 | 2011-05-12 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 다이오드 및 그 제조방법 |
KR100744933B1 (ko) * | 2003-10-13 | 2007-08-01 | 삼성전기주식회사 | 실리콘 기판 상에 형성된 질화물 반도체 및 그 제조 방법 |
JP3833674B2 (ja) * | 2004-06-08 | 2006-10-18 | 松下電器産業株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子 |
WO2005124879A1 (en) * | 2004-06-18 | 2005-12-29 | Showa Denko K.K. | Group iii nitride semiconductor light emitting device |
CN100403559C (zh) * | 2004-06-21 | 2008-07-16 | 晶元光电股份有限公司 | 一种氮化物发光组件的三元氮化物缓冲层及其制造方法 |
US7646027B2 (en) | 2005-05-06 | 2010-01-12 | Showa Denko K.K. | Group III nitride semiconductor stacked structure |
JP2007165409A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 |
US7781779B2 (en) * | 2007-05-08 | 2010-08-24 | Luminus Devices, Inc. | Light emitting devices including wavelength converting material |
KR101283233B1 (ko) * | 2007-06-25 | 2013-07-11 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자 및 그 제조방법 |
CN102037575B (zh) * | 2008-03-27 | 2013-04-10 | 宋俊午 | 发光元件及其制造方法 |
DE102009060749B4 (de) * | 2009-12-30 | 2021-12-30 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optoelektronischer Halbleiterchip |
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CN104221170B (zh) * | 2012-03-19 | 2017-02-22 | 首尔伟傲世有限公司 | 用于分离外延层与生长基板的方法及使用其的半导体器件 |
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KR102140741B1 (ko) * | 2014-02-18 | 2020-08-03 | 엘지전자 주식회사 | 무분극 이종 기판 및 그 제조방법, 이를 이용한 질화물 반도체 발광 소자 |
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