JP2002365109A - 超音波流量計 - Google Patents

超音波流量計

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JP2002365109A
JP2002365109A JP2001175737A JP2001175737A JP2002365109A JP 2002365109 A JP2002365109 A JP 2002365109A JP 2001175737 A JP2001175737 A JP 2001175737A JP 2001175737 A JP2001175737 A JP 2001175737A JP 2002365109 A JP2002365109 A JP 2002365109A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 長時間のピーク値ホールド回路をなくす。受
信波検知部の比較器の数を少なくする。アナログ回路を
受信波検知時にだけ働かせて消費電流を減らす。 【解決手段】 受信波検知部を、受波器からの信号を増
幅する増幅度可変の増幅器と、2つの基準電圧レベルを
有する比較器、ゼロクロス検知用比較器等で構成する。
増幅後の受信波が、(a)図のようにその第3波が20
0mVと500mVの基準電圧を一気に越えると、そのゼロ
クロス点で受信波検知信号を出す。このときの到達時間
に近いゼロクロスポイントで以降は受信波検知信号を出
す。第3波が500mVに達しないときは、受信波検知信
号は出ない。そして増幅器の増幅度を変えて超音波の送
受信をやり直す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は超音波流量計に関す
る。
【0002】
【従来の技術】測定原理の一例として、図7に示すよう
に、流体中に距離Lを離して流管3の上流と下流に配置
した1組の超音波送受波器の一方の送受波器1から他方
の送受波器2への順方向伝播時間t1 は、静止流体中の
超音波の音速をC、流体の流れの速さをVとすると、 t1 =L/(C+V) となる。
【0003】また、送受波器2から送受波器1への逆方
向伝播時間t2 は、 t2 =L/(C−V) となる。伝播時間t1 とt2 とから流速Vを、 V=(L/2){(1/t1 )−(1/t2 )} として求めていた。
【0004】上述の測定原理において、超音波が受信側
の送受波器に到達する時期、つまり到達時点を特定する
受信検知の方法として、特定波のゼロクロス点を検知す
るようにしたものがある。図8は発信のタイミングを示
す発信駆動信号と受信波を示している。実際の受信波は
非常に小さく、先ず増幅される。同図の受信波は増幅後
の波形を示している。
【0005】aが到達時点で、徐々に振幅が大きくな
る。その後最大振幅となり徐々に小さくなる。ところが
到達時点aはノイズに隠れて検知できない。そこで、次
のような方法が行われている。
【0006】ノイズより十分大きな基準電圧レベルとし
てのしきい値VTHを決め、このレベルに最初に達した
波、例えば同図の第3波がb点でしきい値に達した後ゼ
ロレベルを通るゼロクロスポイントcを検知して受信検
知とする方法である。
【0007】しきい値VTHは常に何番目かのある特定の
波(例えば第3波)のゼロクロスポイントを検知するよ
うに定めてあり、実際の伝播時間tは、a点からc点ま
での時間τを予め求めて記憶しておき、測定した時間t
+τに相当する値から時間τを減算することにより求め
ている。
【0008】送信から受信までの順方向伝播時間や逆方
向伝播時間を求めるのに、単純に測定した到達時間t+
τから時間τを減ずるのではなく、伝播時間計測の精度
を向上するために、受信すると同時に次の送信を同じ方
向に行うことを複数回(n−1回)繰り返すことによ
り、一方向、例えば順方向の送受信をn回連続して繰り
返して、最初(第1回目)の順方向送信から最後(第n
回目)の受信までの時間、つまり到達時間のn倍をまと
めて測定し、次に他方向、例えば逆方向への送受信を同
様にしてn回連続して繰り返して、最初の逆方向送信か
ら最後の受信までの時間、つまり到達時間のn倍をまと
めて測定し、これらの各方向の複数回の送受信で得た測
定値からnτを減じ、各方向の伝播時間を計算して流速
更に流量を求める超音波流量計も公知である。
【0009】ところが、受信波の大きさは測定する気体
の圧力や、或いは超音波送受波器を構成する振動子の個
々の特性によって異なる。その結果、個々のしきい値V
THの調整はもちろん、場合によっては流量計の設置場所
毎に現地でしきい値VTHや、受信側の送受波器で得た信
号を増幅する増幅器の増幅率の調整が必要となる。
【0010】そこで、自動的に最適なしきい値VTHにで
きるいくつかの方法が模索されている。その1つは、ピ
ーク値ホールド回路やオートマチックゲインコントロー
ル回路(AGC)を用いて受信波のピーク値が常に一定
の大きさになるよう増幅器のゲイン(前記増幅率)を調
整して、狙った波をしきい値VTHで捉えるようにするこ
とで、受信波の方をしきい値VTHに合わせる方法であ
る。もう1つは、直前の受信波のピーク値をホールド
し、そのピーク値の電圧に一定値を掛けた値をしきい値
THとして使う方法である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】これらの方法は、消費
電流の大きいアナログ回路部が大掛かりになってコスト
高になる。また、ある特定電圧を一定時間ホールドして
いる必要があるとか、或いはしきい値VTHを決めるため
に、測定とは別の超音波の送受信を行う必要があるた
め、低消費電流にすることが難しいなどの欠点があっ
た。
【0012】特にピーク値等のホールド回路は低消費電
力化の妨げとなる。1対の送受波器間の距離が200m
m程度の気体流量計では伝播時間tが0.5ms程度で
あるが、繰り返し送受信を行う複数回(n回)が100
回程度になるとntが50msにもなり、この長い時間
の間、一定の電圧をホールドするのに大きな電力を消費
するからである。
【0013】低消費電流化に対処するために、一方が他
方の一定倍の関係を持つ基準レベルのペアを複数組持
ち、どれかのペアを一気に越えることを条件に特定の波
を検知するようにした超音波流量計を、本願発明の発明
者は、先に特願平9−138136号(特開平10−3
32452号)と特願平11−87450号(特開20
00−283812)で提案したが、受信波検知部に使
用する比較器の数が多くなって、コスト高になるという
問題点があった。
【0014】そこで本発明は、受信波検知部に必要な比
較器の数を少なくして低コストを実現する超音波流量計
を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1の発明は、送信側としても受信側としても
働く超音波送受波器を少なくとも1対設け、流体の流れ
の中を上流から下流の順方向及び下流から上流の逆方向
に超音波の送受信を行い、超音波の各方向の到達時間よ
り流速さらに流量を求める超音波流量計において受信波
は増幅度が変更できる増幅器でまず増幅されるようにな
っていて、電圧の異なる2つの基準電圧レベルが用意さ
れていて、低い方の電圧の基準レベルを最初に越えた増
幅後の受信波のある波が、更にそのまま他方の高い方の
電圧の基準レベルも一気に越えたとき、その波のゼロク
ロスポイントを到達ポイントとし、このような条件に適
合する波がないときは前記増幅器の増幅度を変更して超
音波の送受信をやり直すようにした超音波流量計であ
る。
【0016】受信波は、その先頭から第1波、第2波、
第3波、第4波、第5波、第6波、第7波と次第にその
ピークが大きくなる。このピークの電圧の大きくなる度
合いは最初ほど大きくだんだん小さくなる傾向がある。
つまり、ピークの大きさを比較すると、第1波側なら、
第3波/第1波が最大で第5波/第3波、第7波/第5
波と段々小さくなる。第2波側なら第4波/第2波が最
大で第6波/第4波、第8波/第6波と小さくなる。
【0017】なお、第3波/第1波と表現した比率は厳
密には第3波のピーク値と第1波のピーク値との比率で
ある(第3波のピーク/第1波のピーク)を簡略化して
表現したもので、他の比率についても同様に簡略化した
表現で示している。
【0018】上記各比率は流体の圧力等で全体の振幅が
変化してもほとんど変化しないことが実験等で確認され
ている。特に第3波/第1波および第4波/第2波は3
以上であり、他の比率が2以下であるのに比べ十分大き
いため区別が容易である。
【0019】仮に、2つの基準電圧レベル(基準レベル
とも呼ぶ)が100mVと250mVのように一方が他方の
2.5倍になるように用意されていて、増幅後の受信波
のある波が(第3波と最初は分かっていない波が)10
0mVを初めて越え、なおかつ一気に250mVも越えたと
き、この波のピークは前の波のピークの2.5倍以上あ
ることがわかる。この条件を満たすのは第3波だけであ
る。よって、その時点でそれが第3波と検知でき、その
ゼロクロス点を受信検知点とすることができる。
【0020】第3波が、2つの基準電圧レベルに対し前
記条件を満たす位置にない場合は、どの波もその条件を
満たすことはない。その場合、増幅器の増幅率を変更し
て第1回目の送信からやり直す、これを繰り返し第3波
が2つの基準電圧レベルに対し前記条件を満たしたとき
が最適増幅度である。
【0021】通常、受信波の大きさは急激に変化するこ
とはないため、前記の増幅度を最初に使うことで、ほと
んどの場合第3波を捉えることができ、増幅度調整のた
めの消費電流の増加はほとんどない。
【0022】また、増幅度で2つの基準レベルに合わせ
るようにしたため、基準電圧を沢山持つ必要もなく、し
たがって比較器の数も少なくて済むため、コスト的にも
消費電流的にも有利である。
【0023】この場合では第1波側を正とし、正側に基
準電圧レベルを設置して第3波を捉えるようにしたが、
負側に基準レベルを設置して第4波を捉えるようにする
こともできるし、受信波の極性を逆にして正側で第4波
を、或いは負側で第3波を捉えるようにすることもでき
る。
【0024】請求項2記載の第2の発明は、送信側とし
ても受信側としても働く超音波送受波器を少なくとも1
対設け、流体の流れの中を上流から下流の順方向及び下
流から上流の逆方向に超音波の送受信を行い、その各方
向の到達時間より流速さらに流量を求める超音波流量計
で、かつ、各方向毎に先ず一方の送受波器を送信側とし
て送信し、他方の受信側送受波器の信号を入力とする受
信波検知部が受信波を検知すると再び送信側送受波器を
駆動して送信し、これを複数回繰り返すように構成し、
各方向毎に第1回目の送信から複数回目の受信までの時
間、つまり到達時間の複数倍をまとめて測定し、その結
果から到達時間を求める超音波流量計において、受信波
は増幅度が変更できる増幅器でまず増幅されるようにな
っていて、電圧の異なる2つの基準電圧レベルが用意さ
れていて、第1回目の送受信の受信時に、低い方の電圧
の基準レベルを最初に越えた増幅後の受信波のある波
が、更にそのまま他方の高い方の電圧の基準レベルも一
気に越えたとき、条件に適合したとして、その波のゼロ
クロスポイントを到達ポイントとし、第2回目以降の受
信時は前回の送信から受信検知までの時間から一定時間
を減じた時間がその回の送信から経過した時以降の最初
のゼロクロスポイントを受信検知ポイントとし、前記第
1回目の受信時、前記条件に適合する波がないときは前
記増幅器の増幅度を変更して超音波の送受信をやり直す
ようにした超音波流量計である。
【0025】本発明では、受信波検知回路にピーク値ホ
ールド回路を使う必要がなく、受信時に一瞬機能させれ
ばよい比較回路のみで構成できるため低消費電流化が容
易である。
【0026】また、前述のように、1回の送受の到達時
間tは極めて短い時間である。したがって、連続した送
受信での到達時間の差はほとんどないと考えてよい。
【0027】よって、第1回目の送信からその受信まで
の到達時間がt11であった場合、第2回目の受信波が
到達するのは第1回目の受信と共に行われる第2の送信
後、およそt11たったところである。したがって、そ
の点に最も近いゼロクロスポイントを受信検知点として
よい。
【0028】第3回目の送受信に関しても同様で、第2
回目の送受信の到達時間t12を用いて第3回目の受信
点を予想すればよい。以下同じである(図5参照)。
【0029】これによれば、第2回目の受信以降はゼロ
レベルとの比較のみで複数の基準レベルとの比較は行わ
なくてよい。よって、基準レベルとの比較部を機能させ
る必要がないため、更に低消費電流化が可能である。具
体的には、直前の送受信の到達時間t1mに対し、その
受信と同時に行う送信からt1m−α経過後の最初のゼ
ロクロスポイントを受信点(到達ポイント)とする。α
は超音波の半周期に設定する(図6参照)。
【0030】
【発明の実施の形態】次に本発明の好ましい実施の形態
を図面の実施例に従って説明する。図面の実施例は請求
項2の発明に対応する。図1は全体のブロック図であ
る。
【0031】送受波器1,2は超音波振動子で送信にも
受信にも使用できる。両送受波器は流体中を上流から下
流及び下流から上流への超音波の送受信を行う。受信波
検知部4は受信側の送受波器、例えば2が接続され受信
波を検知すると受信波検知信号を出力する。送波器駆動
部5はコントロール部6より第1送信指令信号を受ける
と送信側の送受波器1をまず駆動し、その後は受信波検
知部4より受信波検知信号を受ける度に駆動する。ただ
しカウンタ7より第n受信波検知信号を受けるとそれ以
後は新たに第1送信指令信号を受けるまでは駆動を停止
する。
【0032】本実施例では無意味なn+1回目の駆動を
行ってしまうようになっているが、受信側で無視するの
で問題はない。
【0033】カウンタ7は受信検知部4からの受信波検
知信号をカウントし、n番目の受信波検知信号を出力す
る。このカウンタ7はコントロール部6よりの第1送信
指令信号でリセットされるようになっている。
【0034】カウンタ8は第1送信指令信号から第n受
信波検知信号までの時間、即ち前記到達時間のn倍をま
とめて測定する。その時間(カウント値)はコントロー
ル部6が読み取る。この例では第1送信指令信号でカウ
ント値がゼロクリアされ、カウントを開始するように構
成されている。
【0035】コントロール部6は一定間隔で送受切替信
号を反転させることにより2つの送受波器1,2の役割
の切り替えを行う。各切り替え後、毎回、切り替えによ
るノイズ等がおさまる時間をおいて、第1送信指令信号
を出力する。そして、第n受信波検知信号が入力される
と、カウント8の測定値(カウント値)を読み取り、直
前に行った逆向きでの測定値とを用いて、その間の流速
・流量を演算する。
【0036】また、コントロール部6へは受信波検知部
4よりの受信波検知信号が入力されていて、第1送信指
令信号送出後、一定時間たっても受信波検知信号が入力
されないときは、増幅器の増幅度が不適当で受信に失敗
したとして、増幅度を変更して第1送信指令信号の出力
から送受信をやり直すように構成されている。
【0037】図2は受信波検知部4に内蔵されている増
幅器を示す。図1の切替スイッチ10を介して受信側の
送受波器から入力される信号Vinは増幅度可変の増幅器
11で構成される。オペアンプ12に接続されたフィー
ドバック抵抗R20〜R27をアナログスイッチ13で
選択的に接続することで増幅度を変える。アナログスイ
ッチ13はラインS10,S11,S12に印加される
コントロール部6からの増幅度選択信号で8個のうちの
1つのスイッチが選択的に閉じる。図示の場合、フィー
ドバック抵抗R24と直列のスイッチが閉じているた
め、増幅器11の増幅度はR24/R1である。なお、
フィードバック抵抗R20〜R27の抵抗値は、R20
<R21<R22<…R27と順に大きく定めてある。
こうして、増幅器11の増幅度をコントロール部6で設
定するように構成してある。
【0038】図3は、受信波検知部4の増幅部11に接
続される後段の電気回路である。増幅器11で増幅され
た受信波VOUT は、第1の比較器14及び第2の比較器
15のプラス入力に印加される。各比較器14,15の
マイナス入力には、それぞれレベルが200mVと500
mVの各基準電圧が入力されている。また受信波V
OUTは、ゼロクロス検知用の比較器16のマイナス入力
に入力され、プラス入力のゼロレベルと比較される。
【0039】比較器14の出力はOR回路17を介して
バイナリカウンタ18のCK入力に入力されてカウント
される。このOR回路17のもう1つの入力にはバイナ
リカウンタ18のQ2出力が入力されていて、バイナリ
カウンタのカウント値が“2”となると、つまりQ2が
“High”になると、それ以上カウントしないようになっ
ている。
【0040】バイナリカウンタ18のQ1出力と比較器
15の出力のANDはスイッチSWを介してRSFF23のR
入力に入力されている。上記ANDが“High”になるの
は、Q1出力が“High”で(つまり、バイナリカウンタ
18のカウント値が“1”で)、比較器15の出力が
“High”になるときであり、それは、ある波が200mV
と500mVを一気越えしたとき、つまり第3波を捉えた
ときである。第3波を捉えるとRSFF23の出力Qは一旦
“Low”となり、S入力であるゼロクロス検知用比較
器16の出力が受信波のゼロクロスを検知し“High”と
なるとともに再び“High”になる。そのエッジを検知し
た信号が受信波検知信号となっている(図4(a))。
500mVを最初に越える波の直前の波が200mVより大
きかった場合、比較部のバイナリカウンタ18の値が
“2”となる。つまりバイナリカウンタ18のQ1が
“Low”となり出力信号は出ない(“High”とならな
い)(図4(b))。
【0041】第1送信指令信号が入力されたとき、RSFF
22はリセットされてそのQ出力は“Low”となり、ス
イッチSWは図示の状態にあってAND回路19の出力を
選択している。従って、AND回路19の出力が“High”
となると、この信号はスイッチSWを介してRSFF23の
R入力に入力されて、その出力Qが“Low”となる。更
に、受信波がゼロクロスしたところで、ゼロクロス検知
用比較器16より出力される信号がRSFF23のS入力に
入力されて、その出力Qは“High”となり、立上りエッ
ジ検知され受信波検知信号として出力される。この信号
はRSFF22のS入力となっていてRSFF22の出力Qは
“High”となり、スイッチSWが切り替わり、RSFF23
のR入力へはデジタル比較器24のA=B出力が入力さ
れるようになる。
【0042】また、前記受信波検知信号は記憶器25の
ラッチ入力となっていて、この瞬間のカウンタ値t1m
を記憶する(図8参照)。更に、受信波検知信号はOR
ゲート26を介してカウンタ27をリセットするように
構成されていて(ラッチ後リセットする)、到達時間を
記憶器25が記憶するとリセットされ、次の到達時間の
測定に移るようになっている。
【0043】減算器28は記憶器25で記憶された値
(カウント記憶値)がC入力として入力されていて、も
う一方にαが入力されている。そして、C−α(t1m
−α)がデジタル比較器24のB入力に出力されてい
る。またカウンタ27の出力がA入力としてデジタル比
較器24に入力されていて、そのABの入力が等しくな
ると、A=B出力が“High”となる。
【0044】カウンタ27のカウントが進み、t1m−
αと等しくなると、A=B出力が“High”となりRSFF2
3の出力Qは“Low”となり次のゼロクロスを待つ状態
になる。そして実際にゼロクロスするときに、ゼロクロ
ス検知用比較器16の出力によりRSFF23の出力Qが
“High”となり再び受信波検知信号が出力される。ここ
で、再びt1(m+1)が記憶される。以下は同じであ
る。
【0045】αは超音波の約半周期分の時間とした。
【0046】発信器29はこの半周期分を検知できる周
波数でもよく、また精度もそれほど要求されない。ま
た、カウンタ8用の基準クロック或いはその分周したも
のも使用可能である。
【0047】また、RSFF22の出力Qは比較部OFF信
号として使われていて、比較器14,15はRSFF22の
出力Qが“High”となりスイッチSWが切り替わり非選
択状態になると電源供給が止められ、機能を停止し電力
消費を押さえるように構成されている。このようにし
て、2回目の受信以降は基準電圧レベルとの比較器を使
わずに第3波を捉え続けるようになっている。
【0048】前述のように、200mVと500mVを一気
に越える波がない場合は、受信波検知信号は出力されな
い。コントロール部6は一定時間以内に受信波検知信号
が入力されないときは増幅度を変更して、第1送信指令
信号の出力からやり直すように構成されている。
【0049】図4に増幅度が適切で第3波を捉えること
ができた場合(a)と、増幅度が不適切で第3波を捉え
ることができなかった場合(b)のタイミングを示す。
【0050】バイナリカウンタ18の出力Q1は、20
0mVを越える波があったとき、最初の1回だけ“High”
になり、2回目からは“Low”となる。その信号と比較
器15の出力のANDが切替スイッチSWを介してRSFF2
3のR入力に入力されている。
【0051】比較器15の出力は波が500mVを越えた
とき“High”となる。よって1回目に200mVを越えた
波がそのまま500mVも越えたときのみRSFF23のR入
力に“High”が入力され、RSFF23の出力Qは“Low”
となり、その後S入力であるゼロクロス検知用比較器1
6の出力が“High”になると再びRSFF23の出力は“Hi
gh”となり、その立ち上がりエッジを検知した信号が受
信波検知信号となる。つまり、200mVを最初に越えた
波がそのまま一気に500mVも越えたとき、その波のゼ
ロクロスポイントで受信波検知信号が出力される。
【0052】一旦、受信波検知信号が出力されるとRSFF
22の出力Qは反転して“Low”となり、切替スイッチ
SWは図3の状態から切り替わり、デジタル比較器24
の出力がRSFF23のR入力となる。
【0053】
【発明の効果】本発明の超音波流量計は上述のように構
成されているので、特別に調整をしなくても流体の圧力
変動等に起因する受信波の大きさの変動に追従して良好
に作動する。
【0054】また、アナログ回路が増幅器と比較器のみ
で、比較器の数も少なく、しかも受信時のみ機能させれ
ば良いため、消費電流を少なくでき、電源としての電池
の容量を小さくすることができるため、流量計のコスト
を低くできる。
【0055】更に又、ノイズ等で受信波が一時的に歪ん
でも、間違って違う波を捉えてしまう虞れがなく、確実
な測定が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例のブロック図。
【図2】本発明の実施例の増幅器の電気回路図。
【図3】本発明の実施例の受信波検知部の主要部の電気
回路図。
【図4】本発明の実施例のタイミング図。
【図5】本発明の実施例の作用を説明する信号波形図。
【図6】本発明の実施例の作用を説明する受信波形図。
【図7】超音波流量計の作動原理を説明する図。
【図8】超音波流量計の駆動信号と受信波形を示す図。
【符号の説明】
1,2 超音波送受波器 4 受信波検知部 5 送波器駆動部 6 コントロール部 11 増幅器 14,15 比較器 16 ゼロクロス検知用比較器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 送信側としても受信側としても働く超音
    波送受波器を少なくとも1対設け、流体の流れの中を上
    流から下流の順方向及び下流から上流の逆方向に超音波
    の送受信を行い、超音波の各方向の到達時間より流速さ
    らに流量を求める超音波流量計において 受信波は増幅度が変更できる増幅器でまず増幅されるよ
    うになっていて、 電圧の異なる2つの基準電圧レベルが用意されていて、
    低い方の電圧の基準レベルを最初に越えた増幅後の受信
    波のある波が、更にそのまま他方の高い方の電圧の基準
    レベルも一気に越えたとき、その波のゼロクロスポイン
    トを到達ポイントとし、 このような条件に適合する波がないときは前記増幅器の
    増幅度を変更して超音波の送受信をやり直すようにした
    超音波流量計。
  2. 【請求項2】 送信側としても受信側としても働く超音
    波送受波器を少なくとも1対設け、流体の流れの中を上
    流から下流の順方向及び下流から上流の逆方向に超音波
    の送受信を行い、その各方向の到達時間より流速さらに
    流量を求める超音波流量計で、かつ、各方向毎に先ず一
    方の送受波器を送信側として送信し、他方の受信側送受
    波器の信号を入力とする受信波検知部が受信波を検知す
    ると再び送信側送受波器を駆動して送信し、これを複数
    回繰り返すように構成し、各方向毎に第1回目の送信か
    ら複数回目の受信までの時間、つまり到達時間の複数倍
    をまとめて測定し、その結果から到達時間を求める超音
    波流量計において、 受信波は増幅度が変更できる増幅器でまず増幅されるよ
    うになっていて、 電圧の異なる2つの基準電圧レベルが用意されていて、
    第1回目の送受信の受信時に、低い方の電圧の基準レベ
    ルを最初に越えた増幅後の受信波のある波が、更にその
    まま他方の高い方の電圧の基準レベルも一気に越えたと
    き、条件に適合したとして、その波のゼロクロスポイン
    トを到達ポイントとし、 第2回目以降の受信時は前回の送信から受信検知までの
    時間から一定時間を減じた時間がその回の送信から経過
    した時以降の最初のゼロクロスポイントを受信検知ポイ
    ントとし、 前記第1回目の受信時、前記条件に適合する波がないと
    きは前記増幅器の増幅度を変更して超音波の送受信をや
    り直すようにした超音波流量計。
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