JP2002363123A - 光活性化合物および感光性樹脂組成物 - Google Patents
光活性化合物および感光性樹脂組成物Info
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Abstract
ても高感度であり、高解像度でパターンを形成するのに
有用な光活性化合物を得る。 【解決手段】 光活性化合物は、下記式(1)で表さ
れ、感光剤と組み合わせて使用される。 A−[(J)m−(X−Pro)]n (1) (式中、Aは、炭化水素基及び複素環基から選択された
少なくとも一種の疎水性基で構成された疎水性ユニット
を示し、Jは連結基を示し、X−Proは光照射に起因
して脱離可能な保護基Proで保護された親水性基を示
す。mは0又は1、nは1以上の整数である) 前記保護基Proは、光照射により、感光剤(特に酸発
生剤)と関連して脱離可能であってもよく、疎水性保護
基であってもよい。親水性基は、ヒドロキシル基、カル
ボキシル基などであってもよい。
Description
せて用いられ、紫外線や遠紫外線(エキシマーレーザー
なども含む)などの光線を用いて半導体集積回路などの
微細パターンを形成するのに有用な光活性化合物、及び
この化合物で構成された感光性樹脂組成物とそのパター
ン形成方法に関する。
SIの開発に伴い、より高度な微細加工技術が求められ
ており、従来の高圧水銀灯のg線(波長436nm)や
i線(波長365nm)に代わって、より短波長の光
源、例えば、KrFエキシマーレーザー(波長248n
m)、ArFエキシマーレーザー(波長193nm)及
びF2エキシマーレーザー(波長157nm)などが利
用されている。
に、レジストに対して解像度の向上(サブミクロンある
いはクォーターミクロン以下のパターン形成)、ドライ
現像プロセスにおける耐エッチング特性の向上なども要
求されている。
ト材料、例えば、ノボラック樹脂/ジアゾナフトキノン
型ポジ型レジストは、ノボラック樹脂の光吸収に起因し
て、KrFエキシマーレーザーやArFエキシマーレー
ザーを用いても、感度および解像力が大きく低下する。
ジストとして、I. Sondi and E. Matijevic, Resist Te
cnology and Processing XVII, Francis M. Houlihan,
Editor, Proceedings of SPIE Vol. 3999(2000)の第6
27〜637頁には、SiO2ナノ粒子(シリカゾル)
を含有するp−ヒドロキシスチレン−t−ブチルアクリ
レートコポリマーで構成されたフィルムが開示され、こ
のようなSiO2ナノ粒子を含むレジストが高い解像度
を示すこと、及び透明なSiO2ナノ粒子を用いたレジ
ストシステムが、157nmなどの波長に対して有用で
あることなどが記載されている。しかし、このような方
法では、露光部と未露光部との溶解速度の差を大きくで
きず、解像度を十分に改善できない。
は、感光剤との組合せにおいて、レジストの感度及び解
像度を改善するために有用な光活性化合物、それを用い
た感光性樹脂組成物及びパターン形成方法を提供するこ
とにある。
しても高感度であり、高解像度の微細パターンを形成す
るのに有用な光活性化合物、それを用いた感光性樹脂組
成物及びパターン形成方法を提供することにある。
光部とにおいて、現像液に対する溶解度差を大きくする
のに有用な光活性化合物、それを用いた感光性樹脂組成
物及びパターン形成方法を提供することにある。
を達成するため鋭意検討した結果、光照射に起因した脱
保護により親水化可能な光活性化合物を感光剤と組み合
わせて用いると、KrFエキシマーレーザーなどのより
短波長の光源に対してもレジストの感度及び解像度を簡
便に改善できることを見いだし、本発明を完成した。
式(1)で表され、感光剤と組み合わせて用いられる。
少なくとも一種の疎水性基で構成された疎水性ユニット
を示し、Jは連結基を示し、X−Proは光照射に起因
して脱離可能な保護基Proで保護された親水性基を示
す。mは0又は1、nは1以上の整数である) 前記保護基Proは、光照射により、感光剤と関連して
脱離可能であってもよい。また、保護基Proは、疎水
性保護基であってもよく、この疎水性保護基の脱離によ
り、ヒドロキシル基又はカルボキシル基を生成可能であ
ってもよい。前記保護基Proは、(i)アルコキシアル
キル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、オキサシ
クロアルキル基、架橋環式脂環族基、アルキルシリル基
などのヒドロキシル基に対する保護基であってもよく、
(ii)アルキル基、橋架環式脂環族炭化水素基、オキサシ
クロアルキル基、ラクトン環基、カルバモイル基又はN
−置換カルバモイル基などのカルボキシル基に対する保
護基であってもよい。前記式(1)における疎水性ユニ
ットAは、脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基、芳香
族炭化水素基などで構成してもよい。
アルケニレン基、アルキニレン基、シクロアルキレン
基、アリーレン基、オキシアルキレン基、アルキレンオ
キシ基、ポリ(オキシアルキレン)基、エーテル基、チ
オエーテル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、オ
キシカルボニル基、アミド基、ウレタン基、尿素基など
であってもよい。なお、nは1〜10程度である。
の化合物、例えば、下記式(3b) で表される化合物が含
まれる。
水素環又は複素環を示し、R1は同一又は異なって、ハ
ロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカ
ルボニル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキ
ル基、又はケイ素含有基を示し、rは0又は1以上の整
数を示す。J、m、X、Pro、nは前記に同じ) 前記Z1は、例えば、C4-40脂環族炭化水素、C6-40芳
香族炭化水素であってもよく、R1は、同一又は異なっ
て、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、シクロ
アルキル基、ケイ素含有基などであってもよく、rは、
例えば、0〜4程度であってもよい。連結基Jは、アル
キレン基、アルケニレン基、アルキニレン基などであっ
てもよく、mは0又は1、nは1〜6程度である。
る化合物も含まれる。
て、炭化水素環又は複素環を示し、A3は、アルキレン
基、アルケニレン基、アルキニレン基、シクロアルキレ
ン基、アリーレン基、オキシアルキレン基、アルキレン
オキシ基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル
基、カルボニルオキシ基、オキシカルボニル基、アミド
基、ウレタン基、尿素基、スルホニル基から選択された
連結基を示し、s及びuは同一又は異なって0又は1で
ある。J1a及びJ1bは同一又は異なってA3と異なる連
結基を示し、R1a及びR1bは同一又は異なってハロゲン
原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニ
ル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、
又はケイ素含有基を示し、n1及びn2はそれぞれ独立
して0又は1以上の整数であり、n1+n2≧1であ
る。r、m、X、Proは前記に同じ)
結合、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン
基、オキシアルキレン基、アルキレンオキシ基、エーテ
ル基、チオエーテル基、カルボニル基、カルボニルオキ
シ基、オキシカルボニル基、アミド基、ウレタン基、尿
素基又はスルホニル基であるとき、uは0であってもよ
く、連結基A3が、シクロアルキレン基又はアリーレン
基であるとき、uは1であってもよい。また、連結基A
3が、シクロアルキレン基又はアリーレン基であると
き、連結基J1a及びJ1bは直接結合又はアルキレン基で
あってもよい。さらに、連結基A3が、シクロアルキレ
ン基又はアリーレン基であるとき、連結基J1 a及びJ1b
は、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、ア
リール基から選択された置換基を有していてもよいアル
キレン基であってもよい。前記式において、Z2-(J1a)
u-(A3)s-(J1b)u-Z3で表される疎水性ユニットは、
(a)ビフェノール類、(b)ビス(ヒドロキシアリー
ル)C1-10アルカン類、(c)ビス(ヒドロキシアリー
ル)シクロアルカン類、(d)A3がカルボニル基、酸
素原子、エステル基、アルキレンオキシ基、オキシアル
キレン基、アミド基又はスルホニル基であるビスフェノ
ール類、(e)A3がベンゼン環であり、J1a及びJ1b
がアルキレン基であるビスフェノール類及び(h)フル
オレン骨格を有するビスフェノール類から選択された化
合物に対応する疎水性ユニットであってもよく、n1+
n2=1〜10であってもよい。
と感光剤とで構成されている感光性樹脂組成物も包含す
る。前記感光性樹脂組成物は、水又はアルカリ現像可能
であってもよく、ポジ型感光性樹脂組成物であってもよ
い。ベース樹脂は、酸の作用により親水性基を生成可能
な樹脂で構成してもよく、感光剤は光酸発生剤で構成し
てもよい。前記ベース樹脂は、例えば、ヒドロキシル基
及びカルボキシル基から選択され、かつ酸の作用により
脱離可能な保護基で保護可能な親水性基を有する単量体
の単独又は共重合体で構成してもよい。前記組成物にお
いて、光活性化合物と感光剤との割合(重量比)は、例
えば、前者/後者=0.01/1〜100/1程度の範
囲から選択できる。また、感光剤の使用量は、ベース樹
脂100重量部に対して0.1〜50重量部程度であっ
てもよく、光活性化合物の使用量は、ベース樹脂100
重量部に対して1〜1000重量部程度であってもよ
い。また、本発明には、前記感光性樹脂組成物(特にポ
ジ型感光性樹脂組成物)を基板に塗布し、露光した後、
加熱処理し、さらに現像してパターンを形成する方法も
含まれる。
化合物は、下記式(1)で表され、感光剤と組み合わせて
用いられる。
少なくとも一種の疎水性基で構成された疎水性ユニット
を示し、Jは連結基を示し、X−Proは光照射に起因
して脱離可能な保護基Proで保護された親水性基を示
す。mは0又は1、nは1以上の整数(例えば、1〜1
0、好ましくは1〜8程度)である)
有する限り、単独又は共重合体、多量体(ダイマー、ト
リマー、オリゴマーなど)であってもよく、この多量体
は、例えば、下記式(2)で表すことができる。
素基及び複素環基から選択された少なくとも一種の疎水
性基で構成された疎水性ユニットを示し、A2は共重合
ユニットであり、前記Aに同じく、炭化水素基及び複素
環基から選択された少なくとも一種の疎水性基で構成さ
れた疎水性ユニットを示し、前記A1及びA2は、同一又
は異なっていてもよい。pは1以上の整数、及びqは0
以上の整数であり、p/q=30/70〜100/0で
ある。J、X、Pro、m及びnは前記に同じ)
好ましくは1〜50、さらに好ましくは1〜20程度で
ある。p/qは、好ましくはp/q=50/50〜10
0/0、さらに好ましくは70/30〜100/0程度
である。また、p+qは、2〜100、好ましくは2〜
50、さらに好ましくは2〜20程度である。
で表されるモノマー、及び前記式(2)で表されるダイ
マー(p=2、q=0の場合)、トリマー、又はオリゴ
マーなどである。
1及びA2で表される炭化水素基には、脂肪族炭化水素
基、脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基などが含まれ
る。前記脂肪族炭化水素基(一価、二価基又は多価基)
に対応する脂肪族炭化水素としては、アルカン(例え
ば、ブタン、ヘキサンなどのC1-30アルカン(例えば、
C 1-10アルカン)、好ましくはC2-20アルカン(例え
ば、C2-6アルカン)など)、アルケン(エテンなどの
C2-30アルケン(例えば、C2-6アルケン)など)、ア
ルキン(エチンなどのC2-30アルキン(例えば、C2-6
アルキン)など)などが挙げられる。
基及び芳香族炭化水素基から選択された少なくとも一種
の炭化水素環基(又は疎水性基)で構成されている。脂
環式炭化水素基や芳香族炭化水素基は、単環式炭化水素
基であってもよく、縮合環式炭化水素基であってもよ
い。脂環式炭化水素基に対応する脂環族炭化水素として
は、C4-40脂環族炭化水素、例えば、シクロペンタン、
シクロヘキサン、シクロオクタンなどのC4-16シクロア
ルカン(例えばC5-10シクロアルカン、好ましくはC
5-8シクロアルカン)、シクロヘキセンなどのC5-16シ
クロアルケン(例えばC5-10シクロアルケン、好ましく
はC5-8シクロアルケン)などの単環式炭化水素;ビ又
はトリシクロアルカン(ノルボルナン、アダマンタン、
デカリンなどのC6-40ビ又はトリシクロアルカン、例え
ばC6-16ビ又はトリシクロアルカン)、ビ又はトリシク
ロアルケン(ノルボルネンなどのC6-40ビ又はトリシク
ロアルケン、例えばC6-16ビ又はトリシクロアルケン)
などの架橋環式炭化水素などが挙げられる。芳香族炭化
水素基に対応する芳香族炭化水素としては、ベンゼン、
ナフタレン、アントラセン、フェナンスレン、ピレン、
ターフェニレンなどのC 6-40芳香族炭化水素(特にベン
ゼン又はナフタレンなどのC6-16芳香族炭化水素)、ビ
スフェノール類(ビフェノール、ビスフェノールA,A
D,E,F,M,P,S,Zなど)やポリフェノール類
に対応する芳香族炭化水素(例えば、C12 -40芳香族炭
化水素)、フルオレン骨格を有するフェノール類に対応
する芳香族炭化水素(例えば、C12-40芳香族炭化水
素)などが例示できる。上記ビスフェノール類やポリフ
ェノール類については、例えば、本州化学工業(株)発
行「第7版 二核フェノールズ」「第5版 多核フェノー
ルズ」、旭有機材工業(株)2000年1月17日発行
「第1版 フェノール誘導体カタログ」に記載の「メチ
ロール化合物」「ホルミル含有化合物」「対称ビスフェ
ノール類」「非対称ビスフェノール類」「対称ビス多価
フェノール類A」「対称ビス多価フェノール類B」「メ
タン型トリスフェノール類A」「メタン型トリスフェノ
ール類B」「直鎖状トリスフェノール類」「直鎖状テト
ラキスフェノール類」「放射状テトラキスフェノール
類」「直鎖状五核体化合物」「直鎖状六核体化合物」
「放射状六核体化合物」「枝分かれ六核体化合物」「ト
リメチロールフェノールからの四核体化合物」「異種フ
ェノールからなる放射状四核体化合物」などを参照でき
る。また、フルオレン骨格を有するフェノール類につい
ては、例えば、本州化学工業(株)発行「第7版 二核
フェノールズ」などを参照できる。なお、前記脂環族炭
化水素には、上記芳香族炭化水素を部分的又は完全に水
素添加した炭化水素類も含まれる。
複素環基に対応する複素環としては、酸素原子、窒素原
子及びイオウ原子から選択された少なくとも1つのヘテ
ロ原子を含む複素環(特に、5又は6員複素環など)、
例えば、オキサシクロヘキサン環、ピラン環などの5又
は6員飽和又は不飽和酸素含有環;ピロール環、ピリジ
ン環などの5又は6員飽和又は不飽和窒素含有環;チア
シクロヘキサン環、チアピラン環などの5又は6員飽和
又は不飽和イオウ原子含有環などが例示できる。複素間
は、5又は6員複素環と炭化水素環(ベンゼン環など)
との縮合複素環であってもよい。
疎水性基で構成すればよく、前記疎水性基単独で構成し
てもよく、直接又は連結基を介して互いに結合した複数
の疎水性基で構成してもよい。
よい。置換基としては、ハロゲン原子(フッ素、塩素、
臭素、ヨウ素原子)、アルキル基[メチル、エチル、プ
ロピル、イソプロピル、ブチル、s−ブチル、t−ブチ
ル、ヘキシル、オクチル、デシル、ラウリル基などのC
1-18アルキル基(好ましくはC1-10アルキル基、特にC
1-6アルキル基など)など]、シクロアルキル基[シク
ロペンチル、シクロヘキシル、シクロへプチル基などの
C4-10アルキル基(好ましくはC5-8アルキル基など)
など]、ヒドロキシル基、ヒドロキシアルキル基[ヒド
ロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシ
プロピル基、ヒドロキシブチル基などのヒドロキシC
1-6アルキル基など]、アルコキシ基[メトキシ、エト
キシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ブトキシ、t−ブ
トキシ、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基などのC
1-18アルコキシ基(好ましくはC1-10アルコキシ基、特
にC 1-6アルコキシ基など)など]、カルボキシル基、
アルコキシカルボニル基[メトキシカルボニル、エトキ
シカルボニル、プロポキシカルボニル、ブトキシカルボ
ニル、t−ブトキシカルボニル、ヘキシルオキシカルボ
ニル、オクチルオキシカルボニル基などのC1-18アルコ
キシ−カルボニル基(好ましくはC1-10アルコキシ−カ
ルボニル基、特にC1-6アルコキシ−カルボニル基)な
ど]、シクロアルキル基[シクロヘキシル、シクロオク
チル基などのC5-12シクロアルキル基(好ましくはC
5-10シクロアルキル基、特にC5-8シクロアルキル
基)]、アリール基[フェニル、ナフチル基などのC
6-14アリール基(好ましくはC6-10アリール基)]、ア
ラルキル基[ベンジル、フェネチル基などのC6-14アリ
ール−C1- 6アルキル基(好ましくはC6-10アリール−
C1-4アルキル基など)]、アシル基[ホルミル基、ア
セチル基、プロピオニル基、ブチリル基などのC1-6ア
ルキルカルボニル基、ベンゾイル基、トルイル基などの
C6-10アリール−カルボニル基など]、アルキルシリル
基などのケイ素含有基[メチルシリル、ジメチルシリ
ル、トリメチルシリル、エチルシリル、ジエチルシリ
ル、トリエチルシリル、プロピルシリル、ブチルシリ
ル、t−ブチルシリル、ヘキシルシリル基などのC1-18
アルキルシリル基(好ましくはC1-10アルキルシリル
基、さらに好ましくはトリC1-6アルキルシリル基、特
にトリC1-4アルキルシリル基など)、C1-18アルキル
シリルC1-4アルキル基(例えば、トリC1-6アルキルシ
リルC1-4アルキル基)、C1-18アルキルシリルC2-4ア
ルケニル基(例えば、トリC1-6アルキルシリルC2-4ア
ルケニル基)、C1-18アルキルシリルC2-4アルキニル
基(例えば、C 1-6アルキルシリルC2-4アルキニル基)
など]、ニトロ基、シアノ基などが挙げられる。置換基
は、アルキルアミノ基であってもよく、このアルキルア
ミノ基としては、例えば、アルキル部分が前記アルキル
基に対応するN−アルキルアミノ基(N−C1-18アルキ
ルアミノ基、好ましくはN−C1-10アルキルアミノ基、
特にN−C1-6アルキルアミノ基など)及びN,N−ジ
アルキルアミノ基(N,N−ジC1-18アルキルアミノ
基、好ましくはN,N−ジC1-10アルキルアミノ基、特
にN,N−ジC1-6アルキルアミノ基など)などが挙げ
られる。
て、親水性基(親水性基の残基)Xに結合していてもよ
い。前記式(1)及び(2)において、連結基Jは、例えば、
アルキレン基[メチレン、エチレン、ジメチルメチレ
ン、ジ(トリフルオロメチル)メチレン、プロピレン、
トリメチレン、テトラメチレン、t−ブチレンなどの直
鎖又は分岐鎖状アルキレン基(C1-6アルキレン基な
ど)]、アルケニレン基[ビニレン、イソプロペニレ
ン、プロペニレンなどのC2-4アルケニレン基など]、
アルキニレン基[エチニレン基などのC2-4アルキニレ
ン基など]、シクロアルキレン基[シクロヘキシレン基
などのC4-8シクロアルキレン基など]、アリーレン基
[フェニレンなどのC6-10アリーレン基など]であって
もよい。さらに、連結基Jは、オキシアルキレン基、ア
ルキレンオキシ基、ポリ(オキシアルキレン)基、エー
テル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基
(カルボニルオキシ基(-C(=O)O-)、オキシカルボニル
基(-OC(=O)-))、アミド基、ウレタン基、尿素基など
であってもよい。
は分岐鎖状アルキレン基(C1-6アルキレン基な
ど)]、アルケニレン基[ビニレンなどのC2-4アルケ
ニレン基など]、アルキニレン基[エチニレン基などの
C2-4アルキニレン基など]、シクロアルキレン基[シ
クロヘキシレン基などのC4-8シクロアルキレン基な
ど]、アリーレン基[フェニレンなどのC6-10アリーレ
ン基など]などである。
対応する親水性基(以下、基Xを単に親水性基という場
合がある)としては、アミノ基、N−置換アミノ基
(N,N−ジC1-4アルキルアミノ基など)などに加え
て、ヒドロキシル基、カルボキシル基、及びこれらの親
水性基に対応するイオウ含有誘導体基(メルカプト基、
チオカルボキシル基、ジチオカルボキシル基など)など
の水又はアルカリ可溶性基などが例示できる。特にヒド
ロキシル基(フェノール性ヒドロキシル基など)及びカ
ルボキシル基が好ましい。
ば、メチル、エチル、プロピル、イソブチル基、t−ブ
チル基、2−シクロヘキシル−2−プロピル基、ヘキシ
ル基などの置換基を有していてもよいC1-12アルキル基
(好ましくはC1-10アルキル基、さらに好ましくはC
1-6アルキル基);クロロメチル基、フルオロメチル
基、トリクロロメチル基、トリフルオロメチル基、ペン
タフルオロプロピル基などのハロC1-4アルキル基(好
ましくはハロC1-4アルキル基、さらに好ましくはフル
オロC1-4アルキル基);シクロヘキシル基、1−メチ
ルシクロヘキシル基などの置換基を有していてもよいC
5-8シクロアルキル基(例えば、C5-6シクロアルキル
基);置換基を有していてもよいデカリニル基又は水添
ナフチル基(例えば、1−デカリニル基、2−デカリニ
ル基、2−メチル−2−デカリニル基など)、置換基を
有していてもよいアダマンチル基(例えば、1−アダマ
ンチル基、2−アダマンチル基、1−メチル−2−アダ
マンチル基、2−メチル−2−アダマンチル基など)、
置換基を有していてもよいノルボルニル基(例えば、1
−ノルボルニル基、2−ノルボルニル基、2−メチル−
2−ノルボルニル基など)、置換基を有していてもよい
ボルニル基(例えば、2−ボルニル基など)などの置換
基を有していてもよい2乃至4環式C3-30炭化水素環基
(架橋環式脂環族炭化水素基(例えば、ビ乃至テトラシ
クロアルキル基など));ナフチル基(例えば、2−ナ
フチル基など)、水添ナフチル基(例えば、1,4−ジ
ヒドロ−2−ナフチル基など)などの縮合多環式炭化水
素基;2,4−ジニトロフェニル基などのアリール基
(例えば、ニトロ基置換フェニル基など);ベンジル
基、2,6−ジクロロベンジル基、2−ニトロベンジル
基、トリフェニルメチル基などのアラルキル基(例え
ば、置換基を有していてもよいモノ乃至トリC6-10アリ
ール−C1- 4アルキル基など);テトラヒドロフラニル
基、テトラヒドロピラニル基などのオキサシクロアルキ
ル基(例えば、5〜8員オキサシクロアルキル基な
ど);アルコキシアルキル基(例えば、1−メトキシエ
チル基、1−エトキシエチル基、1−エトキシプロピル
基、1−メトキシ−イソプロピル基などのC1-6アルコ
キシ−C1-6アルキル基、好ましくはC1-4アルコキシ−
C1-4アルキル基)などのアセタール系保護基;アルキ
ルカルボニル基(ホルミル、アセチル、プロピオニル、
イソプロピオニル、ブチリル、t−ブチリル、バレリ
ル、イソバレリルなどのC1-10アルキル−カルボニル
基、好ましくはC1-8アルキル−カルボニル基、さらに
好ましくはC1-6アルキル−カルボニル基、特にC1-4ア
ルキル−カルボニル基)、シクロアルキルカルボニル基
(シクロヘキシルカルボニル基などのC5- 8シクロアル
キル−カルボニル基、好ましくはC5-6シクロアルキル
−カルボニル基)、アリールカルボニル基(ベンゾイル
基などのC6-10アリール−カルボニル基など)などのア
シル基;t−ブトキシカルボニル(t−BOC)基など
のC1- 6アルコキシ−カルボニル基(例えば、C1-4アル
コキシ−カルボニル基など);ベンジルオキシカルボニ
ル基などのアラルキルオキシカルボニル基(例えば、C
6-10アリール−C1-4アルキルオキシ−カルボニル基な
ど)、トリメチルシリル基などのアルキルシリル基(例
えば、C1-6アルキルシリル、特にトリC1-4アルキルシ
リル基)などが挙げられる。
例えば、メチル、エチル、2−シクロヘキシル−2−プ
ロピル基、ブチル基、t−ブチル基、ヘキシル基などの
置換基を有していてもよいC1-12アルキル基(好ましく
はC1-10アルキル基、さらに好ましくはC1-6アルキル
基);シクロヘキシル基、1−メチルシクロヘキシル基
などの置換基を有していてもよいC3-8シクロアルキル
基;置換基を有していてもよいデカリニル基(例えば、
1−デカリニル基、2−デカリニル基、2−メチル−2
−デカリニル基など)、置換基を有していてもよいアダ
マンチル基(例えば、1−アダマンチル基、2−アダマ
ンチル基、1−メチル−2−アダマンチル基、2−メチ
ル−2−アダマンチル基など)、置換基を有していても
よいノルボルニル基(例えば、1−ノルボルニル基、2
−ノルボルニル基、2−メチル−2−ノルボルニル基な
ど)、置換基を有していてもよいボルニル基(例えば、
2−ボルニル基など)などの置換基を有していてもよい
2乃至4環式C3-30炭化水素環基(橋架環式脂環族炭化
水素基);2,4−ジニトロフェニル基などのアリール
基(例えば、ニトロ基置換フェニル基など);ベンジル
基、2,6−ジクロロベンジル基、2−ニトロベンジル
基、トリフェニルメチル基などのアラルキル基(例え
ば、置換基を有していてもよいモノ乃至トリC6-10アリ
ール−C1-4アルキル基など);置換基を有していても
よいテトラヒドロフラニル基(例えば、テトラヒドロフ
ラン−3−イル基、3−メチルテトラヒドロフラン−3
−イル基など)、置換基を有していてもよいテトラヒド
ロピラニル基(例えば、テトラヒドロピラン−3−イル
基、3−メチルテトラヒドロピラン−3−イル基など)
などの置換基を有していてもよいオキサシクロアルキル
基(例えば、5〜8員オキサシクロアルキル基など);
置換基を有していてもよいγ−ブチロラクトン環基(例
えば、テトラヒドロ−2−フラノン−4−イル基、4−
メチルテトラヒドロ−2−フラノン−4−イル基な
ど)、置換基を有していてもよいδ−バレロラクトン環
基(例えば、テトラヒドロ−2−ピロン−4−イル基、
4−メチルテトラヒドロ−2−ピロン−4−イル基な
ど)などの置換基を有していてもよいラクトン環基;置
換基(アルキル基、アリール基など)を有していてもよ
いカルバモイル基[カルバモイル基;N−メチルカルバ
モイル、N−エチルカルバモイル基などのN−C1-6ア
ルキル−カルバモイル基(好ましくはN−C1-4アルキ
ル−カルバモイル基);フェニルカルバモイル基などの
C6-10アリールカルバモイル基など];ジメチルホスフ
ィノチオイル基などのジC1-4アルキルホスフィノチオ
イル基;ジフェニルホスフィノチオイル基などのジC
6-10アリールホスフィノチオイル基などが含まれる。
する疎水性保護基が好ましい。例えば、ヒドロキシル基
の保護基としては、アシル基(特にt−ブチルカルボニ
ル基、2,2−ジメチルプロピオニル基などのC1-6ア
ルキル−カルボニル基)、アルコキシカルボニル基(t
−BOC基などのC1-6アルコキシカルボニル基)、5
又は6員オキサシクロアルキル基(テトラヒドロピラニ
ル基など)、置換基を有していてもよいビ又はトリシク
ロアルキル基(2−ノルボルニル基、2−メチル−2−
ノルボルニル基などの置換基を有していてもよいノルボ
ルニル基、2−アダマンチル基、2−メチル−2−アダ
マンチル基などの置換基を有していてもよいアダマンチ
ル基など)、アルコキシアルキル基(1−メトキシエチ
ル基、1−エトキシエチル基、1−エトキシプロピル
基、1−メトキシ−イソプロピル基などのC1-6アルコ
キシ−C1-6アルキル基(特にC1-4アルコキシ−C1-4
アルキル基)など)、C1-4アルキルシリル基などが好
ましい。カルボキシル基の保護基としては、アルキル基
(t−ブチル基などのC1-4アルキル基)、置換基を有
していてもよいビ又はトリシクロアルキル基(橋架環式
脂環族炭化水素基、例えば、2−ノルボルニル基、2−
メチル−2−ノルボルニル基などの置換基を有していて
もよいノルボルニル基、2−アダマンチル基、2−メチ
ル−2−アダマンチル基などの置換基を有していてもよ
いアダマンチル基など)、置換基を有していてもよい5
又は6員オキサシクロアルキル基、置換基を有していて
もよいラクトン環基、カルバモイル基又はN−置換カル
バモイル基などが好ましい。
基X(保護基で保護された親水性基−X−Pro)を有
していればよく、複数の親水性基X(又は−X−Pr
o)を有していてもよい。すなわち、前記式(1)及び
(2)のユニットにおけるnは、1以上の整数であれば
よく、通常、前記疎水性ユニットの構造に応じて、1〜
10、好ましくは1〜8(例えば、1〜4)、さらに好
ましくは1〜7(例えば、1〜3)程度の範囲から選択
できる。
キシル基などを有する化合物を例に挙げて、ユニット
(A−X)に対応する化合物を以下に例示する。
脂肪族アルコール(ヘキサノール、オクタノールなどの
C6-10アルカノールなど)、芳香族ヒドロキシ化合物
[フェノール、アルキルフェノール(ヒドロキシトルエ
ン、ヒドロキシキシレン、エチルフェノール、プロピル
フェノール、イソプロピルフェノール、n−ブチルフェ
ノール、s−ブチルフェノール、t−ブチルフェノー
ル、ヘキシルフェノール、オクチルフェノール、ノニル
フェノールなどのC1-12アルキル−フェノールなど)な
どのフェノール類、ナフトールなどのC6-10アリールア
ルコール類(特にフェノール類);ベンジルアルコー
ル、フェネチルアルコールなどのアラルキルアルコール
類(C6-10アリール−C1-4アルカノールなど)な
ど]、脂環族アルコール[単環式脂環族アルコール(シ
クロヘキサノールなどのC5-8シクロアルカノール;シ
クロヘキセニルアルコールなどのC5-8シクロアルケノ
ール;シクロヘキシルメタノールなどのC5-8シクロア
ルキルC1-4アルカノールなど)、架橋環式脂環族アル
コール(ノルボルニルアルコール、アダマンチルアルコ
ールなどのビ又はトリシクロアルカノールなど)な
ど]、複素環式アルコール[ヒドロキシピリジンなど5
又は6員不飽和複素環式アルコール;ヒドロキシオキサ
シクロヘキサンなどの5又は6員飽和複素環式アルコー
ル(特にヒドロキシオキサシクロアルカン)など]など
が挙げられる。ヒドロキシル基を有する化合物には、前
記ビスフェノール類やポリフェノール類、フルオレン骨
格を有するフェノール類なども含まれる。
脂肪族カルボン酸(酪酸、吉草酸、ピバル酸、ラウリン
酸などのC4-12脂肪族カルボン酸、特にC6-12脂肪族カ
ルボン酸など)、芳香族カルボン酸(安息香酸、ナフタ
レンカルボン酸などのC6-10アリール−カルボン酸;シ
クロヘキシル安息香酸などのC5-6シクロアルキル−C
6-10アリール−カルボン酸;カルボキシ安息香酸フェニ
ル、フェニルカルボニルオキシ安息香酸などのカルボキ
シル基を有するC6-10アリール−カルボン酸のC6-10ア
リールエステル;ピリジル安息香酸、ピリミジニル安息
香酸、ピリダジニル安息香酸、ピリジルエチニル安息香
酸などの複素環基を有するC6-10アリール−カルボン
酸;ビフェニルカルボン酸;カルボキシフェニルエチニ
ルベンゼンなど)、脂環族カルボン酸(カルボキシシク
ロヘキサン、フェニルシクロヘキサンカルボン酸などの
カルボキシC5-6シクロアルカンなど)、複素環式カル
ボン酸(ピリジンカルボン酸など)などが例示できる。
もよいが、少なくとも環状ユニット(特に脂環族炭化水
素ユニット、芳香族炭化水素ユニット)を含むと耐ドラ
イエッチング性を向上でき、脂環族炭化水素ユニットを
含むと、感度及び解像度などを向上できる。このような
環状ユニットを含む疎水性ユニットは、例えば、下記式
(3a)〜(8a)で表わすことができる。また、前記式(3a)〜
(8a)で表される疎水性ユニットを有する光活性化合物
は、例えば、下記式(3b)〜(8b)で表すことができる。
て、炭化水素環又は複素環を示し、R1は同一又は異な
って、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アル
コキシカルボニル基、シクロアルキル基、アリール基、
アラルキル基、又はケイ素含有基を示し、rは0又は1
以上の整数を示す。J、m、X、Pro、nは前記に同
じ)
Aの項で例示の脂環族及び芳香族炭化水素(C4-40脂環
族炭化水素、C6-40芳香族炭化水素)が挙げられ、シク
ロアルカン環(シクロヘキサン環などのC4-8シクロア
ルカン環)、芳香族炭化水素環(ベンゼン環、ナフタレ
ン環などのC6-10アレーン環など)が好ましい。複素環
としては、前記Aの項で例示の複素環が挙げられ、非芳
香族性複素環(ピロリン環、ピペリジン環、ピペラジン
環などの非芳香族性窒素含有複素環など)、芳香族性複
素環(ピロール環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミ
ジン環、ピラジン環などの芳香族性窒素含有複素環な
ど)などが好ましい。
し、前記置換基の項で例示のハロゲン原子、アルキル
基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、シクロア
ルキル基、アリール基、アラルキル基、又はケイ素含有
基が挙げられる。R1は、通常、同一又は異なって、ハ
ロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキ
ル基、又はケイ素含有基である。R1などの疎水性ユニ
ットの置換基が、シクロアルキル基、アリール基、フッ
素原子、ケイ素含有基などの場合には、耐ドライエッチ
ング性をさらに改善することもできる。rは0又は1以
上の整数(例えば1〜6、好ましくは1〜4)を示す。
連結基Jは、通常、アルキレン基、アルケニレン基、又
はアルキニレン基であり、mは0又は1である。
通常、1〜10(好ましくは1〜6、さらに好ましくは
1〜4,特に1〜3)程度である。
ば、一価フェノール類[フェノール類、アルキルフェノ
ール類(クレゾール類、ヒドロキシキシレン類などのC
1-12アルキル−フェノール類)、ハロゲン化フェノール
類(4−ブロモフェノール、4−クロロフェノール、テ
トラフルオロフェノールなど)、アルコキシフェノール
類(C1-12アルコキシ−フェノール類)、ニトロフェノ
ール類、ナフトール類、アルキルナフトール類(C1-12
アルキル−ナフトール類)、ハロゲン化ナフトール類、
アルコキシナフトール類など]、二価フェノール類[カ
テコール、レゾルシン、ヒドロキノン、ハロゲン化二価
フェノール類(2,4−ジフルオロヒドロキノン、2,
3,5,6−テトラフルオロヒドロキノンなど)、ナフ
タレンジオール類など]、三価フェノール類[ビロガロ
ール、フロログルシン、ナフタレントリオール類な
ど]、これらのフェノール類に対応する脂環式アルコー
ル類などが例示できる。アルコール式(3a)に対応する化
合物には、前記架橋環式脂環族アルコール、アラルキル
アルコール類、複素環式アルコールも含まれる。さら
に、式(3a)に対応する化合物には、上記ヒドロキシル基
含有化合物に対応するカルボキシル基含有化合物も含ま
れる。
アルキル基を有する化合物、例えば、モノヒドロキシメ
チル−フェノール類(4−ヒドロキシメチル−2,5−
ジメチルフェノール、2−シクロヘキシル−4−ヒドロ
キシメチル−5−メチルフェノール、2−t-ブチル−
4−ヒドロキシメチル−5−メチルフェノールなどのヒ
ドロキシメチル基を有するC1-10アルキルフェノール
類)、複数のヒドロキシメチル基を有するフェノール類
(2,6−ジヒドロキシメチル−4−メチルフェノー
ル、2,4−ジヒドロキシメチル−6−メチルフェノー
ル、2,6−ジヒドロキシメチル−3,4−ジメチルフ
ェノール、4−t−ブチル−2,6−ジヒドロキシメチ
ルフェノール、4−シクロヘキシル−2,6−ジヒドロ
キシメチルフェノール、4,6−ジヒドロキシメチル−
2−イソプロピルフェノールなどの複数のヒドロキシメ
チル基を有するC1-10アルキルフェノール類)も含まれ
る。
異なって、炭化水素環又は複素環を示し、A3は、アル
キレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、シクロア
ルキレン基、アリーレン基、オキシアルキレン基、アル
キレンオキシ基、エーテル基、チオエーテル基、カルボ
ニル基、エステル基(カルボニルオキシ基、オキシカル
ボニル基)、アミド基、ウレタン基、尿素基、スルホニ
ル基から選択された連結基を示し、s及びuは同一又は
異なって0又は1である。J1a及びJ1bは同一又は異な
ってA3と異なる連結基を示し、R1a及びR1bは同一又
は異なってハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、
アルコキシカルボニル基、シクロアルキル基、アリール
基、アラルキル基、又はケイ素含有基を示し、n1及び
n2はそれぞれ独立して0又は1以上の整数であり、n
1+n2≧1である。r、m、X、Proは前記に同
じ)
の炭化水素環(C4-40脂環族炭化水素環又はC6-40芳香
族炭化水素環)又は複素環(特に、シクロヘキサン環な
どのC4-8シクロアルカン環、ベンゼン環などのC6-10
アレーン環)が例示できる。連結基A3は前記例示の連
結基Jと同様であってもよい。連結基A3としてのアル
キレン基としては、メチレン、エチレン、ジメチルメチ
レン、ジ(トリフルオロメチル)メチレン、イソプロピ
レン、t−ブチレンなどの直鎖又は分岐鎖状アルキレン
基(C1-6アルキレン基など)などが挙げられる。アル
ケニレン基としては、ビニレンなどのC2-4アルケニレ
ン基などが挙げられ、アルキニレン基としては、エチニ
レン基などのC2-4アルキニレン基などが挙げられる。
シクロアルキレン基には、例えば、シクロヘキシレン基
などのC4-8シクロアルキレン基などが挙げられる。ア
リーレン基としては、フェニレン、ナフチレン基などの
C6- 10アリーレン基などが挙げられ、フルオレン−9,
9−ジイル基などの縮合炭化水素環基も含まれる。オキ
シアルキレン基やアルキレンオキシ基としては、前記ア
ルキレン基に対応する直鎖状又は分岐鎖状オキシアルキ
レン基(オキシC1-6アルキレン基など)や直鎖状又は
分岐鎖状アルキレンオキシ基(C1-6アルキレンオキシ
基など)などが挙げられる。連結基A3(特にアルキレン
基)は前記例示の置換基、例えば、フッ素原子などのハ
ロゲン原子、アルキル基(C1-6アルキル基など)、シ
クロアルキル基(C5-8シクロアルキル基など)、アリ
ール基(フェニル基など)などの置換基を有していても
よい。また、これらの置換基は、さらに置換基を有して
いてもよく、例えば、置換基を有するシクロアルキル
基、置換基を有するアリール基(例えば、ヒドロキシフ
ェニル基、アルキルフェニル基、アルコキシフェニル
基、ハロフェニル基など)などであってもよく、アルキ
ルフェニル基は、トリル基、キシリル基、t−ブチルフ
ェニル基などであってもよく、アルコキシフェニル基
は、メトキシフェニル基、エトキシフェニル基、t−ブ
トキシフェニル基などであってもよく、ハロフェニル基
は、ブロモフェニル基、クロロフェニル基、フルオロフ
ェニル基などであってもよい。連結基A3のアルキレン
基に置換したアリール基(特にフェニル基)は、通常、
ヒドロキシル基を有していない場合が多い。
る限り、前記連結基A3と同様の連結基、例えば、メチ
レン、エチレン、ジメチルメチレン、ジ(トリフルオロ
メチル)メチレン、イソプロピレン、t−ブチレンなど
の直鎖又は分岐鎖状アルキレン基(C1-6アルキレン基
など)などが挙げられる。連結基J1a及びJ1bは置換基
(前記R1と同様の置換基)、例えば、ハロゲン原子、
アルキル基(C1-6アルキル基など)、シクロアルキル
基(C5-8シクロアルキル基など)、アリール基(フェ
ニル基など)を有していてもよい。また、これらの置換
基(アルキル基、シクロアルキル基、アリール基)は、
さらに置換基を有していてもよい。例えば、置換基を有
するアルキル基(炭化水素環にヒドロキシル基、アルキ
ル基、ハロゲン原子などから選択された少なくとも一種
の置換基を有していてもよいアリールアルキル基又はシ
クロアルキルアルキル基、例えば、フェニルC1-6アル
キル基、ヒドロキシフェニルC1-6アルキル基、アルキ
ルフェニルC1-6アルキル基、アルキルヒドロキシフェ
ニルC1-6アルキル基、ハロフェニルC1-6アルキル基な
ど)、置換基を有するシクロアルキル基(ヒドロキシル
基、アルキル基、ハロゲン原子などから選択された少な
くとも一種の置換基を有していてもよいシクロアルキル
基、例えば、ヒドロキシシクロアルキル基、アルキルシ
クロヘキシル基、アルキルヒドロキシシクロヘキシル基
など)、置換基を有するアリール基(ヒドロキシル基、
アルキル基、ハロゲン原子などから選択された少なくと
も一種の置換基を有していてもよいアリール基、例え
ば、ヒドロキシフェニル基、アルキルフェニル基、アル
キルフェノール基など)などであってもよく、アルキル
フェニル基は、トリル基、キシリル基、t−ブチルフェ
ニル基などであってもよく、アルキルフェノール基は、
メチルヒドロキシフェニル基、ジメチルヒドロキシフェ
ニル基、t−ブチルヒドロキシフェニル基などであって
もよい。
わち、環Z2及びZ3は直接結合してもよく)、s=1及
びm=0であってもよく、s=0及びm=1、s=1及
びm=1であってもよい。
同様の置換基が例示できる。置換基R1の数rは、それ
ぞれの環Z2及びZ3について、前記式(3a)と同様に0又
は1〜6(例えば、1〜4)程度であってもよい。
ン基、アルケニレン基、アルキニレン基、オキシアルキ
レン基、アルキレンオキシ基、エーテル基、チオエーテ
ル基、カルボニル基、エステル基(カルボニルオキシ
基、オキシカルボニル基)、アミド基、ウレタン基、尿
素基、スルホニル基であるとき、通常、u=0であり、
連結基A3が、シクロアルキレン基、アリーレン基であ
るとき、通常、u=1である。また、連結基A3が、シ
クロアルキレン基、アリーレン基であるとき、通常、J
1a及びJ1bは直接結合又はアルキレン基である。
n2=1〜10(好ましくは1〜6(例えば1〜4)、
さらに好ましくは2〜6(例えば、2〜4))程度であ
る。
(A3)s-(J1b)u-Z3で表される疎水性ユニットを有する
化合物)としては、例えば、次のような化合物が例示で
きる。
ス(3−メチル−4−ヒドロキシ)ビフェニル、ビス
(2,3,5−トリメチル−4−ヒドロキシ)ビフェニ
ル、ビス(3,5−ジ−t−ブチル−2−ヒドロキシ)
ビフェニル、ビス(3−アリル−4−ヒドロキシ)ビフ
ェニル、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシ)ビフェ
ニル、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシ)ビ
フェニル、3−ベンゾイミダゾリル−4,4’−ジヒド
ロキシビフェニル、ビス(3−ベンゾイミダゾリル−4
−ヒドロキシ)ビフェニル、3,3′,5,5′−テト
ラメチル−4,4′−ジヒドロキシビフェニル、3,
3′,5,5′−テトラ−t−ブチル−4,4′−ジヒ
ドロキシビフェニルなど。
ン類:(b-1)ビス(ヒドロキシアリール)メタン類、例
えば、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス
(2−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロ
キシ−3−メチルフェニル)メタン、ビス(2−ヒドロ
キシ−3−メチルフェニル)メタン、ビス(3−エチル
−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロ
キシ−2−メチルフェニル)メタン、ビス(2−ヒドロ
キシ−5−メチルフェニル)メタン、ビス(2−ヒドロ
キシ−5−イソプロピルフェニル)メタン、ビス(4−
ヒドロキシ−2,3−ジメチルフェニル)メタン、ビス
(2−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)メタ
ン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニ
ル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチル
フェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジ
−イソブチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ
−3,5−ジ−t−ブチルフェニル)メタン、ビス(4
−ヒドロキシ−2,6−ジメチルフェニル)メタン、ビ
ス(4−ヒドロキシ−2,3,5−トリメチルフェニ
ル)メタン、ビス(4−フェニル−2−ヒドロキシフェ
ニル)メタン、ビス(3−シクロヘキシル−2−ヒドロ
キシフェニル)メタン、ビス(2−メチル−3−シクロ
ヘキシル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス
(4,5−ジヒドロキシ−2−メチルフェニル)メタ
ン、ビス(3−アリル−4−ヒドロキシフェニル)メタ
ン、2’,4−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,
4’,5−トリヒドロキシ−2−メチルジフェニルメタ
ン、2’,4−ジヒドロキシ−3,5−ジメチルジフェ
ニルメタン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシ−
3’,5’−ジメチルジフェニルメタン、2,3,4,
4’−テトラヒドロキシ−2’,3’,5’−トリメチ
ルジフェニルメタン、2,3,4,4’−テトラヒドロ
キシジフェニルメタン、2,4,4’−トリヒドロキシ
−3’,5’−ジメチルジフェニルメタン、2,4,
4’−トリヒドロキシ−3,3’,5’−トリメチルジ
フェニルメタン、4,4’,5−トリヒドロキシ−2,
3’,5’−トリメチルジフェニルメタン、2,3,
4,4’−テトラヒドロキシ−3’,5’−ジメチルジ
フェニルメタンなど;
ル)メタン類、例えば、1−フェニル−1,1−ビス
(4−ヒドロキシフェニル)メタン、1−フェニル−
1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)
メタン、1−フェニル−1,1−ビス(3−シクロヘキ
シル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、1−ビフェニ
ル−1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニ
ル)メタン、1−(4−メチルフェニル)−1,1−ビ
ス(4−ヒドロキシ−2,3,5−トリメチルフェニ
ル)メタン、1−(4−メチルフェニル)−1,1−ビ
ス(4−ヒドロキシ−2,3,6−トリメチルフェニ
ル)メタン、1−(4−イソプロピルフェニル)−1,
1−ビス(4−ヒドロキシ−2,3,5−トリメチルフ
ェニル)メタン、1−(2−メトキシフェニル)−1,
1−ビス(4−ヒドロキシ−2,3,6−トリメチルフ
ェニル)メタン、1−(4−メトキシフェニル)−1,
1−ビス(4−ヒドロキシ−2,3,6−トリメチルフ
ェニル)メタン、1−(4−メトキシフェニル)−1,
1−ビス(4−ヒドロキシ−2,3,5−トリメチルフ
ェニル)メタン、1−(4−フルオロフェニル)−1,
1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)メ
タン、1,1−ジフェニル−1,1−ビス(4−ヒドロ
キシフェニル)メタン、ビス(4,5−ジヒドロキシ−
2−メチルフェニル)フェニルメタン、ビス(5−クロ
ロ−2,4−ジヒドロキシフェニル)フェニルメタン、
ビス(5−クロロ−2,4−ジヒドロキシフェニル)−
4−エチルフェニルメタン、ビス(5−クロロ−2,4
−ジヒドロキシフェニル)−4−t−ブチルフェニルメ
タン、ビス(4,5−ジヒドロキシ−2−t−ブチルフ
ェニル)フェニルメタンなど;
類、例えば、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)
エタン、1,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エタ
ン、1,2−ビス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒド
ロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキ
シ−3,5−ジメチルフェニル)エタン、1,1−ビス
(2−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル)エタン、
1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチ
ルフェニル)エタン、1,1−ビス(2−ヒドロキシ−
5−メチルフェニル)エタン、1,1−ビス(2−メチ
ル−5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシフェニル)エ
タン、1,1−ビス(3−アリル−4−ヒドロキシフェ
ニル)エタン、1,1−ビス(5−クロロ−2,4−ジ
ヒドロキシフェニル)エタンなど;
ル)エタン類、例えば、1−フェニル−1,1−ビス
(4−ヒドロキシフェニル)エタン、1−フェニル−
1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)
エタン、1−フェニル−1,1−ビス(4−ヒドロキシ
−3−イソプロピルフェニル)エタン、1−フェニル−
1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3−t−ブチルフェニ
ル)エタン、1−(4−ニトロフェニル)−1,1−ビ
ス(4−ヒドロキシフェニル)エタンなど;
ン類、例えば、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)プロパン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(3−メチル−4−ヒドロ
キシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,5−ジメ
チル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビ
ス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(3,5−ジメチル−2−
ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−ア
リル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビ
ス(3−アリル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(3−(1−メチルエチ
ル)−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビ
ス(3−(1−メチルプロピル)−4−ヒドロキシフェ
ニル)プロパン、2,2−ビス(3−(1,1−ジメチ
ルエチル)−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、1,
1−ビス(3−シクロヘキシル−4−ヒドロキシフェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(3−シクロヘキシル−4
−ヒドロキシフェニル)プロパン、t−ブチル化ビスフ
ェノールA、2,2−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロ
キシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキ
シフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス
(3−ニトロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2
−(4−ヒドロキシフェニル)−2−(2−ヒドロキシ
フェニル)プロパン、2−(4−ヒドロキシフェニル)
−2−(3−ヒドロキシフェニル)プロパン、2−(4
−ヒドロキシフェニル)−2−(2,4−ジヒドロキシ
フェニル)プロパン、2−(4−ヒドロキシフェニル)
−2−(2,4−ジヒドロキシ−3−メチルフェニル)
プロパン、2−(4−ヒドロキシフェニル)−2−
(2,5−ジヒドロキシフェニル)プロパン、2−(4
−ヒドロキシフェニル)−2−(3−シクロヘキシル−
4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2−(4−ヒドロ
キシフェニル)−2−(5−シクロヘキシル−4−ヒド
ロキシ−2−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス
(2,4−ジヒドロキシ−3−メチルフェニル)プロパ
ン、1,1−ビス(5−クロロ−2,4−ジヒドロキシ
フェニル)プロパンなど;
アルカン類、例えば、1,1−ビス(4−ヒドロキシフ
ェニル)ブタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)ブタン、2,2−ビス(3−シクロヘキシル−4−
ヒドロキシフェニル)ブタン、1,1−ビス(5−シク
ロヘキシル−4−ヒドロキシ−2−メチルフェニル)ブ
タン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−2−
メチルプロパン、1,1−ビス(2−メチル−4−ヒド
ロキシ−5−シクロヘキシルフェニル)−2−メチルプ
ロパン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロ
キシフェニル)−2−メチルプロパン、1,1−ビス
(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)ブタン、1,
1−ビス(5−クロロ−2,4−ジヒドロキシフェニ
ル)ブタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)
ペンタン、3,3−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ペ
ンタン、3,3−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフ
ェニル)ペンタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3
−メチルフェニル)−4,4−ジメチルブタン、2,2
−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ヘキサン、1,1−
ビス(4−ヒドロキシフェニル)オクタン、2,2−ビ
ス(4−ヒドロキシフェニル)オクタン、1,1−ビス
(4−ヒドロキシフェニル)デカンなど。
アルカン類:1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)
シクロペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3−
メチルフェニル)シクロペンタン、1,1−ビス(4−
ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)シクロペンタ
ン、1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3−イソプロピル
フェニル)シクロペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロ
キシ−3−t−ブチルフェニル)シクロペンタン、1,
1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−4−メチル
シクロヘキサン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)−4−イソプロピルシクロヘキサン、1,1−ビス
(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)−4−イソプ
ロピルシクロヘキサン、1,1−ビス(4−ヒドロキシ
フェニル)−4−ブチルシクロヘキサン、1,1−ビス
(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)シクロヘキサ
ン、1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3−t−ブチルフ
ェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(4−ヒドロキ
シ−3,5−ジメチルフェニル)シクロヘキサン、1,
1−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニ
ル)−4−イソプロピルシクロヘキサン、1,1−ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)−3,
3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3
−フェニル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサ
ン、1,1−ビス(3−シクロヘキシル−4−ヒドロキ
シフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−アリ
ル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサンなど。
(例えば、4,4′−ジヒドロキシジフェニルケトン、
(2,3,4−トリヒドロキシ−フェニル)(4′−ヒ
ドロキシ−フェニル)ケトンなどのジヒドロキシアリー
ルケトン類)、A3が酸素原子である化合物(例えば、
4,4′−ジヒドロキシジフェニルエーテルなど)、A
3がスルホニル基である化合物(例えば、4,4′−ジ
ヒドロキシジフェニルスルホンなど)、エステル基、ア
ルキレンオキシ基、オキシアルキレン基、アミド基など
を有するビスフェノール類など;
J1bがアルキレン基であるビスフェノール類(ビス
[(ヒドロキシアリール)アルキル]アレーン類)、例
えば、例えば、1,4−ビス(2,4−ジヒドロキシベ
ンジル)ベンゼン、1,3−ビス[1−(2,4−ジヒ
ドロキシフェニル)イソプロピル]ベンゼン、1,3−
ビス[1−(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)イ
ソプロピル]ベンゼン、1,3−ビス[1−(5−メチ
ル−2−ヒドロキシフェニル)イソプロピル]ベンゼ
ン、1,3−ビス[1−(3−メチル−4−ヒドロキシ
フェニル)イソプロピル]ベンゼン、1,3−ビス[1
−(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)イソ
プロピル]ベンゼン、1,3−ビス[1−(2,3,5
−トリメチル−4−ヒドロキシフェニル)イソプロピ
ル]ベンゼン、1,4−ビス[1−(2,3,5−トリ
メチル−4−ヒドロキシフェニル)イソプロピル]ベン
ゼン、1,3−ビス[1−(2−メチル−5−シクロヘ
キシル−4−ヒドロキシフェニル)イソプロピル]ベン
ゼン、1,4−ビス[1−(2−メチル−5−シクロヘ
キシル−4−ヒドロキシフェニル)イソプロピル]ベン
ゼン、1,3−ビス[1−(3,4−ジヒドロキシフェ
ニル)イソプロピル]ベンゼン、1,3−ビス[1−
(3,4,5−トリヒドロキシフェニル)イソプロピ
ル]ベンゼン、1,3−ビス[1−(3−メチル−2,
4−ジヒドロキシフェニル)イソプロピル]ベンゼン、
1,3−ビス[1−(3−クロロ−2,6−ジヒドロキ
シフェニル)イソプロピル]ベンゼン、1,4−ビス
[1−(2,4−ジヒドロキシフェニル)イソプロピ
ル]ベンゼン、1,4−ビス[1−(3−メチル−2,
4−ジヒドロキシフェニル)イソプロピル]ベンゼン、
1,4−ビス[(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフ
ェニル)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(2,3,
5−トリメチル−4−ヒドロキシフェニル)メチル]ベ
ンゼン、4,4’−ビス(2,4−ジヒドロキシベンジ
ル)ビフェニルなど;
基を有する化合物、例えば、ビス(4−ヒドロキシ−3
−ヒドロキシメチル−5−メチルフェニル)メタン、ビ
ス(4−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−2,5−
ジメチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−5
−ヒドロキシメチル−2,3−ジメチルフェニル)メタ
ン、ビス(2−ヒドロキシ−3−ヒドロキシメチル−
4,5−ジメチルフェニル)メタン、ビス(3−ホルミ
ル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒド
ロキシ−2,5−ジメチルフェニル)ホルミルメタン、
1,1−ビス(4,5−ジヒドロキシ−2−メチルフェ
ニル)−1−(4−ホルミルフェニル)メタン、2,2
−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジヒドロキシメチル
フェニル)プロパンなどのヒドロキシメチル基及び/又
はホルミル基を有するビス又はトリス(ヒドロキシアリ
ール)アルカン類など;
有する化合物[1−(フラン−2−イル)−1,1−ビ
ス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)メタ
ン、1,3−ジヒドロ−3,3−ビス(4−ヒドロキシ
フェニル)−2H−インドール−2−オン、1,3−ジ
ヒドロ−3,3−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフ
ェニル)−2H−インドール−2−オン、4−(3,4
−ジヒドロ−7−ヒドロキシ−2,4,4−トリメチル
−2H−1−ベンゾピラン−2−イル)−1,3−ベン
ゼンジオール]、シリル基を有する化合物[4,4′−
(ジメチルシリレン)ビスフェノールなど]、橋架け環
を有する化合物[ジシクロペンタジエニルビス(4−メ
チルフェノール)など]、スピロ環を有する化合物[4
−[1−[4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−メチ
ル−シクロヘキシル]−1−メチルエチル]フェノー
ル、4−[1−[4−(4−ヒドロキシ−3−メチルフ
ェニル)−4−メチルシクロヘキシル]−1−メチルエ
チル]−2−メチルフェノール、4−[1−[4−(4
−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)−4−メチ
ルシクロヘキシル]−1−メチルエチル]−2,6−ジ
メチルフェノール、(1,1′−ビシクロヘキセン−
3,3′−イル)−4,4′−ビス(2,5−ジメチル
フェノール)など]など。
レン骨格)を有するビスフェノール類:9,9−ビス
(ヒドロキシフェニル)フルオレン類、例えば、9,9
−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9
−ビス(2−メチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオ
レン、9,9−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェ
ニル)フルオレン、9,9−ビス(2−ヒドロキシ−5
−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(2,5
−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、
9,9−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェ
ニル)フルオレン、9,9−ビス(2,6−ジメチル−
4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス
(3−イソプロピル−4−ヒドロキシフェニル)フルオ
レン、9,9−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシ
フェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−t−ブチル
−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス
(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)フルオレ
ン、9,9−ビス(3−アリル−4−ヒドロキシフェニ
ル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシビフェ
ニル)フルオレンなど。
なって炭化水素環又は複素環を示し、R1c、R1d及びR
1eは同一又は異なってハロゲン原子、アルキル基、アル
コキシ基、アルコキシカルボニル基、シクロアルキル
基、アリール基、アラルキル基、又はケイ素含有基を示
し、n3、n4及びn5はそれぞれ0又は1以上の整数
を示し、n3+n4+n5≧1である。r、J、m、
X、Proは前記に同じ)
と同様の炭化水素環又は複素環(特に、シクロヘキサン
環などのC4-8シクロアルカン環、ベンゼン環などのC
6-10アレーン環)が例示できる。置換基R1c、R1d及び
R1eとしては、前記R1と同様の置換基が例示でき、各
環Z4〜Z6における置換基R1c、R1d及びR1eの係数r
は前記と同様である。
n4+n5=1〜10(好ましくは1〜9(例えば3〜
9)、さらに好ましくは2〜6(例えば、3〜6))程
度である。
ロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキ
シ基などから選択された少なくとも一種の置換基が置換
していてもよいトリス(4−ヒドロキシアリール)アル
カン類(メタン類メタン型トリスフェノール類)、例え
ば、トリス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、アルキ
ル基を有するトリスフェノール類[ビス(4−ヒドロキ
シ−3−メチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメ
タン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニ
ル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(4−ヒド
ロキシ−2,6−ジメチルフェニル)−4−ヒドロキシ
フェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,3,6−
トリメチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタ
ン、ビス(4,5−ジヒドロキシ−2−メチルフェニ
ル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(4−ヒド
ロキシフェニル)−3−ヒドロキシフェニルメタン、ビ
ス(4−ヒドロキシ−2−メチルフェニル)−2−ヒド
ロキシフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)−3,4−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニ
ルメタン、ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニ
ル)−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニ
ルメタン、ビス(4,5−ジヒドロキシ−2−メチルフ
ェニル)−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフ
ェニルメタンなど]、シクロアルキル基を有するトリス
フェノール類[ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロ
キシ−2−メチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニル
メタン、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−
2−メチルフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン
など]、ハロゲン原子を有するトリスフェノール類[ビ
ス(5−クロロ−2,4−ジヒドロキシフェニル)−4
−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−クロロ−2,
4−ジヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニル
メタンなど]、アルコキシ基を有するトリスフェノール
類[ビス(4−ヒドロキシフェニル)−4−ヒドロキシ
−3−メトキシフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシ
−3−メチルフェニル)−4−ヒドロキシ−3−メトキ
シフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシ−3−メチル
フェニル)−2−ヒドロキシ−6−メトキシフェニルメ
タン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニ
ル)−2−ヒドロキシ−6−メトキシフェニルメタンな
ど]などが例示できる。
なって炭化水素環又は複素環を示し、J2a及びJ2bは同
一又は異なって連結基を示し、R1f、R1g及びR1hは同
一又は異なってハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ
基、アルコキシカルボニル基、シクロアルキル基、アリ
ール基、アラルキル基、又はケイ素含有基を示し、tは
1〜5の整数を示し、n6、n7及びn8はそれぞれ0
又は1以上の整数であり、n6+n7×t+n8≧1で
ある。r、u、J、m、X、Proは前記に同じ)
と同様の炭化水素環又は複素環(特に、シクロヘキサン
環などのC4-8シクロアルカン環、ベンゼン環などのC
6-10アレーン環)が例示できる。連結基J2a及びJ
2bは、前記式(4a)の連結基A3や、連結基J1や連結基J
1a及びJ1bと同様の連結基が例示でき、例えば、直鎖又
は分岐鎖状アルキレン基(C1-6アルキレン基など)、
アルケニレン基(C2-4アルケニレン基など)、シクロ
アルキレン基(C4-8シクロアルキレン基など)、アリ
ーレン基(フェニレン、ナフチレン基などのC6-10アリ
ーレン基、フルオレン−9,9−ジイル基などの縮合炭
化水素環基)、カルボニル基、スルホニル基などであっ
てもよい。連結基J2a及びJ2bは、前記R1と同様の置
換基、例えば、ハロゲン原子、アルキル基(C1-6アル
キル基など)、シクロアルキル基(C5 -8シクロアルキ
ル基など)、アリール基(フェニル基など)を有してい
てもよい。また、これらの置換基(アルキル基、シクロ
アルキル基、アリール基)は、さらに連結基J1a及びJ
1bと同様に置換基を有していてもよい。例えば、置換基
を有するアルキル基(炭化水素環にヒドロキシル基、ア
ルキル基、ハロゲン原子などから選択された少なくとも
一種の置換基を有していてもよいアリールアルキル基又
はシクロアルキルアルキル基、例えば、フェニルC1-6
アルキル基、ヒドロキシフェニルC1-6アルキル基、ア
ルキルフェニルC1-6アルキル基、アルキルヒドロキシ
フェニルC1-6アルキル基、ハロフェニルC1-6アルキル
基など)、置換基を有するシクロアルキル基(ヒドロキ
シル基、アルキル基、ハロゲン原子などから選択された
少なくとも一種の置換基を有していてもよいシクロアル
キル基、例えば、例えば、ヒドロキシシクロアルキル
基、アルキルシクロヘキシル基、アルキルヒドロキシシ
クロヘキシル基など)、置換基を有するアリール基(ヒ
ドロキシル基、アルキル基、ハロゲン原子などから選択
された少なくとも一種の置換基を有していてもよいアリ
ール基、例えば、ヒドロキシフェニル基、アルキルフェ
ニル基、アルキルフェノール基など)などであってもよ
く、アルキルフェニル基は、トリル基、キシリル基、t
−ブチルフェニル基などであってもよく、アルキルフェ
ノール基は、メチルヒドロキシフェニル基、ジメチルヒ
ドロキシフェニル基、t−ブチルヒドロキシフェニル基
などであってもよい。
岐鎖状アルキレン基(C1-6アルキレン基など);置換
基を有していてもよいシクロアルキル基(ヒドロキシシ
クロアルキル基など)や置換基を有していてもよいアリ
ール基(アルキルフェニル基、アルコキシフェニル基、
ハロフェニル基など)で置換された直鎖又は分岐鎖状ア
ルキレン基(C1-6アルキレン基など)である。
3)程度である。u及びmは0又は1であり、通常、u
=1である。置換基R1f、R1g及びR1hとしては、前記
R1と同様の置換基が例示できる。rは、各環Z7〜Z9
について、それぞれ、前記式(3a)と同様である。
n7×t+n8=3〜10(例えば3〜8)、好ましく
は3〜7(例えば、3〜6)程度である。
ば、次のような化合物が例示できる。
2a及びJ2bを介してフェノール単位が結合し、かつ環に
ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコ
キシ基などから選択された少なくとも一種の置換基が置
換していてもよいトリスフェノール類(例えば、ビス
(ヒドロキシベンジル)−ヒドロキシベンゼン類)、例
えば、1,5−ビス(4−ヒドロキシベンジル)−2,
4−ジヒドロキシベンゼン、アルキル基を有するトリス
フェノール類[2,4−ビス(4−ヒドロキシベンジ
ル)−6−メチルフェノール、2,4−ビス(4−ヒド
ロキシ−3−メチルベンジル)−6−メチルフェノー
ル、2,4−ビス(4−ヒドロキシ−2−メチルベンジ
ル)−6−メチルフェノール、2,4−ビス(4−ヒド
ロキシ−3,5−ジメチルベンジル)−6−メチルフェ
ノール、2,4−ビス(2,4−ジヒドロキシベンジ
ル)−6−メチルフェノール、2,6−ビス(4−ヒド
ロキシベンジル)−4−メチルフェノール、2,6−ビ
ス(4−ヒドロキシ−2−メチルベンジル)−4−メチ
ルフェノール、2,6−ビス(4−ヒドロキシ−2,5
−ジメチルベンジル)−4−メチルフェノール、2,6
−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルベンジル)
−6−メチルフェノール、2,4−ビス(4−ヒドロキ
シベンジル)−6−エチルフェノール、2,4−ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルベンジル)−6−
エチルフェノール、2,6−ビス(4−ヒドロキシベン
ジル)−4−t−ブチルフェノール、2,6−ビス(4
−ヒドロキシ−3−メチルベンジル)−4−t−ブチル
フェノール、2,6−ビス(2,4−ジヒドロキシベン
ジル)−4−メチルフェノール、2,6−ビス(2,
3,4−トリヒドロキシベンジル)−4−メチルフェノ
ール、2,6−ビス(2,4−ジヒドロキシベンジル)
−4−t−ブチルフェノール、2,6−ビス(4−ヒド
ロキシベンジル)−3,4−ジメチルフェノール、2,
4−ビス(2,4−ジヒドロキシベンジル)−6−イソ
プロピルフェノール、2,6−ビス(2,4−ジヒドロ
キシベンジル)−4−アミルフェノール、1,5−ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルベンジル)−2,
4−ジヒドロキシ−3−メチルベンゼンなど]、シクロ
アルキル基を有するトリスフェノール類[2,4−ビス
(4−ヒドロキシベンジル)−6−シクロヘキシルフェ
ノール、2,4−ビス(2,4−ジヒドロキシベンジ
ル)−6−シクロヘキシルフェノール、2,6−ビス
(4−ヒドロキシベンジル)−4−シクロヘキシルフェ
ノール、2,6−ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメ
チルベンジル)−4−シクロヘキシルフェノール、2,
6−ビス(2,4−ジヒドロキシベンジル)−4−シク
ロヘキシルフェノールなど]、アリル基含有トリスフェ
ノール類[2,4−ビス(3−アリル−4−ヒドロキシ
ベンジル)−6−メチルフェノールなど]、ハロゲン含
有トリスフェノール類[2,6−ビス(5−クロロ−
2,4−ジヒドロキシベンジル)−4−メチルフェノー
ルなど]など;
基J2a及びJ2bを介してフェノール単位が結合し、かつ
環にハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、ア
ルコキシ基などから選択された少なくとも一種の置換基
が置換していてもよいテトラキスフェノール類(例え
ば、ビス[ヒドロキシ−(ヒドロキシベンジル)−フェ
ニル]アルカン類)、例えば、ビス[4−ヒドロキシ−
3−(4−ヒドロキシベンジル)−5−メチルフェニ
ル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロ
キシ−3−メチルベンジル)−5−メチルフェニル]メ
タン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(2−ヒドロキシ−
3,5−ジメチルベンジル)−5−メチルフェニル]メ
タン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−
2,5−ジメチルベンジル)−5−メチルフェニル]メ
タン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−
3,5−ジメチルベンジル)−5−メチルフェニル]メ
タン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−
2,6−ジメチルベンジル)−5−メチルフェニル]メ
タン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−
2,3,6−トリメチルベンジル)−5−メチルフェニ
ル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(5−シクロ
ヘキシル−4−ヒドロキシ−2−メチルベンジル)−5
−メチルフェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−3
−(3−シクロヘキシル−4−ヒドロキシベンジル)−
5−メチルフェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−
3−(5−t−ブチル−2−ヒドロキシベンジル)−5
−メチルフェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−3
−(2,4−ジヒドロキシベンジル)−5−メチルフェ
ニル]メタン、ビス[2−ヒドロキシ−3−(4−ヒド
ロキシベンジル)−5−メチルフェニル]メタン、ビス
[2−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−2−メチル
ベンジル)−5−メチルフェニル]メタン、ビス[2−
ヒドロキシ−3−(2,4−ジヒドロキシベンジル)−
5−メチルフェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−
5−(4−ヒドロキシベンジル)−2,3−ジメチルフ
ェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−5−(2−ヒ
ドロキシ−5−メチルベンジル)−2,3−ジメチルフ
ェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−5−(4−ヒ
ドロキシ−2−メチルベンジル)−2,3−ジメチルフ
ェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−5−(2,4
−ジヒドロキシベンジル)−2,3−ジメチルフェニ
ル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロ
キシベンジル)−2,5−ジメチルフェニル]メタン、
ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−3−メ
チルベンジル)−2,5−ジメチルフェニル]メタン、
ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−2−メ
チルベンジル)−2,5−ジメチルフェニル]メタン、
ビス[4−ヒドロキシ−3−(2,4−ジヒドロキシベ
ンジル)−2,5−ジメチルフェニル]メタン、2,2
−ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシベンジ
ル)−5−メチルフェニル]プロパン、2,2−ビス
[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−2−メチル
ベンジル)−5−メチルフェニル]プロパン、2,2−
ビス[4−ヒドロキシ−3−(2−ヒドロキシ−5−メ
チルベンジル)−5−メチルフェニル]プロパン、2,
2−ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−
3,5−ジメチルベンジル)−5−メチルフェニル]プ
ロパン;1,1−ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒ
ドロキシベンジル)−5−メチルフェニル]シクロヘキ
サン、1,1−ビス[4−ヒドロキシ−3−(2−ヒド
ロキシ−5−メチルベンジル)−5−メチルフェニル]
シクロヘキサン;ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒ
ドロキシベンジル)−5−メチルフェニル]スルホン;
2,2−ビス[3−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−
5−(4−ヒドロキシベンジル)フェニル]プロパン、
2,2−ビス[3−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−
5−(4−ヒドロキシ−3−メチルベンジル)フェニ
ル]プロパン、2,2−ビス[3−シクロヘキシル−4
−ヒドロキシ−5−(2−ヒドロキシ−5−メチルベン
ジル)フェニル]プロパンなど;
びJ2bを介してフェノール単位が結合し、かつ環にハロ
ゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ
基などから選択された少なくとも一種の置換基が置換し
ていてもよいペンタフェノール類、例えば、2,6−ビ
ス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシベンジル)
−2,5−ジメチルベンジル]−4−メチルフェノー
ル、2,6−ビス[4−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロ
キシ−3−メチルベンジル)−2,5−ジメチルベンジ
ル]−4−メチルフェノール、2,6−ビス[4−ヒド
ロキシ−3−(2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)
−2,5−ジメチルベンジル]−4−メチルフェノー
ル、2,6−ビス[4−ヒドロキシ−3−(2,4−ジ
ヒドロキシベンジル)−2,5−ジメチルベンジル]−
4−メチルフェノール、2,6−ビス[4−ヒドロキシ
−3−(4−ヒドロキシベンジル)−5−メチルベンジ
ル]−4−メチルフェノール、2,6−ビス[4−ヒド
ロキシ−3−(4−ヒドロキシ−3−メチルベンジル)
−5−メチルベンジル]−4−メチルフェノール、2,
6−ビス[4−ヒドロキシ−3−(2−ヒドロキシ−5
−メチルベンジル)−5−メチルベンジル]−4−メチ
ルフェノール、2,6−ビス[4−ヒドロキシ−3−
(2,4−ジヒドロキシベンジル)−5−メチルベンジ
ル]−4−メチルフェノール、2,6−ビス[2−ヒド
ロキシ−3−(4−ヒドロキシベンジル)−5−メチル
ベンジル]−4−メチルフェノール、2,6−ビス[2
−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−3−メチルベン
ジル)−5−メチルベンジル]−4−メチルフェノー
ル、2,6−ビス[2−ヒドロキシ−3−(2−ヒドロ
キシ−5−メチルベンジル)−5−メチルベンジル]−
4−メチルフェノール、2,6−ビス[2−ヒドロキシ
−3−(2,4−ジヒドロキシベンジル)−5−メチル
ベンジル]−4−メチルフェノールなどのビス[ヒドロ
キシ−(ヒドロキシベンジル)−ベンジル]−フェノー
ル類など;
J2bを介してフェノール単位が結合し、かつ環にハロゲ
ン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基
などから選択された少なくとも一種の置換基が置換して
いてもよいポリフェノール類、例えば、ビス{3−[4
−ヒドロキシ−3−(4−ヒドロキシ−5−メチルベン
ジル)−5−メチルベンジル]−4−ヒドロキシ−5−
メチルフェニル}メタン、2,6−ビス{3−[2−ヒ
ドロキシ−3−(2−ヒドロキシ−5−メチルベンジ
ル)−5−メチルベンジル]−2−ヒドロキシ−5−メ
チルフェニル}−4−メチルフェノールなどのビス
{[ヒドロキシ−(ヒドロキシベンジル)−ベンジル]
−ヒドロキシフェニル}アルカン類など;
ドロキシ−3−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェ
ニル)メチルフェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ
−3−ビス(2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)メ
チルフェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−3−ビ
ス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)メチ
ルフェニル]メタン、ビス[4−ヒドロキシ−3−ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)メチル
フェニル]メタンなどのビス[ヒドロキシ−ビス(ヒド
ロキシアリール)アリール]アルカン類など;
体化合物:トリス(ヒドロキシベンジル)フェノール
類、例えば、2,4,6−トリス(4−ヒドロキシベン
ジル)フェノール、2,4,6−トリス(4−ヒドロキ
シ−3−メチルベンジル)フェノール、2,4,6−ト
リス(4−ヒドロキシ−2−メチルベンジル)フェノー
ル、2,4,6−トリス(2−ヒドロキシ−5−メチル
ベンジル)フェノール、2,4,6−トリス(4−ヒド
ロキシ−2,5−ジメチルベンジル)フェノール、2,
4,6−トリス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルベ
ンジル)フェノール、2,4,6−トリス(3−tert−
ブチル−4−ヒドロキシベンジル)フェノール、2,
4,6−トリス(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−
3−メチルベンジル)フェノールなど。
異なって、炭化水素環又は複素環を示し、J3は連結基
を示し、R1i、R1j、R1k及びR1mは同一又は異なって
ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシ
カルボニル基、シクロアルキル基、アリール基、アラル
キル基、又はケイ素含有基を示し、n9、n10、n11及
びn12はそれぞれ0又は1以上の整数を示し、n9+n
10+n11+n12≧1である。u、r、J、m、X、Pr
oは前記に同じ)
1と同様の炭化水素環又は複素環(特に、シクロヘキサ
ン環などのC4-8シクロアルカン環、ベンゼン環などの
C6-1 0アレーン環)が例示できる。置換基R1i、R1j、
R1k及びR1mとしては、前記R1と同様の置換基が例示
できる。rは、前記式(3a)と同様である。連結基J
3は、前記式(4a)の連結基A3や連結基J1、連結基J1a
及びJ1bと同様の連結基が例示でき、例えば、直鎖又は
分岐鎖状アルキレン基(C1-6アルキレン基など)、ア
ルケニレン基(C2-4アルケニレン基など)、シクロア
ルキレン基(シクロヘキシレン基などのC4-8シクロア
ルキレン基など)、アリーレン基(フェニレン、ナフチ
レン基などのC6-10アリーレン基など)などであっても
よい。mは0又は1である。
n10+n11+n12=4〜12(例えば4〜10)、好ま
しくは4〜8(例えば、4〜6)程度である。
ば、次のような化合物が例示できる。
ラキス(ヒドロキシフェニル)アルカン類、例えば、
1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニ
ル)エタン、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子
などから選択された少なくとも一種の置換基を有する放
射状テトラキスフェノール類[1,1,2,2−テトラ
キス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)エタン、
1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシ−2,5
−ジメチルフェニル)エタン、1,1,2,2−テトラ
キス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)エ
タン、1,1,2,2−テトラキス(5−t−ブチル−
4−ヒドロキシ−2−メチルフェニル)エタン、1,
1,5,5−テトラキス(4−ヒドロキシフェニル)ペ
ンタン、1,1,5,5−テトラキス(4−ヒドロキシ
−3−メチルフェニル)ペンタンなど;ビス[ビス(ヒ
ドロキシフェニル)メチル]ベンゼン類、例えば、1,
4−ビス[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)メ
チル]ベンゼン、1,4−ビス[1,1−ビス(4−ヒ
ドロキシ−3−メチルフェニル)メチル]ベンゼン、
1,4−ビス[1,1−ビス(2−ヒドロキシ−5−メ
チルフェニル)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[1,
1−ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニ
ル)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[1,1−ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)メチ
ル]ベンゼン、1,4−ビス[1,1−ビス(4,5−
ジヒドロキシ−2−ジメチルフェニル)メチル]ベンゼ
ン、1,4−ビス[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェ
ニル)エチル]ベンゼンなど]など
ェノール類:4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェ
ニル)メチル]−4’−[1,1−ビス(4−ヒドロキ
シ−2,5−ジメチルフェニル)メチル]ベンゼン、4
−[1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチル
フェニル)メチル]−4’−[1,1−ビス(4−ヒド
ロキシ−2,5−ジメチルフェニル)メチル]ベンゼ
ン、4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)メ
チル]−4’−[1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3,
5−ジメチルフェニル)メチル]ベンゼン、4−[1,
1−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)メチ
ル]−4’−[1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3,5
−ジメチルフェニル)メチル]ベンゼン、4−[1,1
−ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メチル]−
4’−[1,1−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメ
チルフェニル)メチル]ベンゼン、4−[1,1−ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)メチ
ル]−4’−[1,1−ビス(4,5−ジヒドロキシ−
2−メチルフェニル)メチル]ベンゼン、1,1−ビス
(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)−2,
2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)エタ
ンなど。
は異なって、炭化水素環又は複素環を示し、R2及びR3
は同一又は異なって連結基を示し、R1n、R1p、R1q及
びR1rは同一又は異なってハロゲン原子、アルキル基、
アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、シクロアルキ
ル基、アリール基、アラルキル基、又はケイ素含有基を
示し、n13、n14、n15、n16、n17及びn18はそれぞ
れ0又は1以上の整数を示し、n13+n14+n15+n16
+n17+n18≧1である。r、J、m、X、Proは前
記に同じ)
1と同様の炭化水素環又は複素環(特に、シクロヘキサ
ン環などのC4-8シクロアルカン環、ベンゼン環などの
C6-1 0アレーン環)が例示できる。置換基R1n、R1p、
R1q及びR1rとしては、前記R1と同様の置換基が例示
できる。rは各環Z14〜Z19について、それぞれ、前記
式(3a)と同様である。連結基R2及びR3は、前記式(4a)
の連結基A3や連結基J1と同様の連結基が例示でき、例
えば、直鎖又は分岐鎖状アルキレン基(C1-6アルキレ
ン基など)、アルケニレン基(C2-4アルケニレン基な
ど)などであってもよい。
n14+n15+n16+n17+n18=4〜10(例えば4〜
8)、好ましくは4〜7(例えば、4〜6)程度であ
る。なお、n14及びn17は、それぞれ0であってもよ
い。
六核体化合物(ビス[ヒドロキシ−ビス(ヒドロキシベ
ンジル)フェニル]アルカン類)、例えば、2,2−ビ
ス[4−ヒドロキシ−3,5−ビス(4−ヒドロキシベ
ンジル)フェニル]プロパン、アルキル基、シクロアル
キル基、ハロゲン原子などから選択された少なくとも一
種の置換基を有する放射状ヘキサフェノール類[2,2
−ビス[4−ヒドロキシ−3,5−ビス(4−ヒドロキ
シ−3−メチルベンジル)フェニル]プロパン、2,2
−ビス[4−ヒドロキシ−3,5−ビス(4−ヒドロキ
シ−2−メチルベンジル)フェニル]プロパン、2,2
−ビス[4−ヒドロキシ−3,5−ビス(2−ヒドロキ
シ−5−メチルベンジル)フェニル]プロパン、2,2
−ビス[4−ヒドロキシ−3,5−ビス(4−ヒドロキ
シ−2,5−ジメチルベンジル)フェニル]プロパン、
2,2−ビス[4−ヒドロキシ−3,5−ビス(4−ヒ
ドロキシ−3,5−ジメチルベンジル)フェニル]プロ
パンなど]などが例示できる。
され、かつ複数の環Zを有する疎水性ユニットにおい
て、置換基R1の置換数rは、各環Z2〜Z19によって異
なっていてもよい。また、前記式(8a)では、便宜上、複
数の連結基を同じ記号R3で示しているが、これらの連
結基はそれぞれ異なっていてもよい。
化合物が、疎水性ユニットとして、感光性樹脂の構成ユ
ニットと同一又は類似のユニットを含むと、感光性樹脂
との相溶性を向上することもできる。
ト用途において、レジストのベース樹脂との親和性や現
像剤に対する溶解性を制御しやすい。なお、これらの化
合物において、親水性基X(ヒドロキシル基、カルボキ
シル基など)、及び親水性基Xは、予め保護基Proに
より、保護されていてもよく、親水性基を導入した後、
保護基Proで保護してもよい。保護基Proは、光照
射により、感光剤と関連して脱離可能である。
リマーでは、通常、5,000以上、オリゴマーでは、
通常、100〜2,500、好ましくは200〜2,0
00、さらに好ましくは300〜1,000(100
〜)程度である。光活性化合物がモノマー乃至オリゴマ
ーの場合、特にレジスト用途において、レジストの溶剤
に対する溶解性や樹脂との親和性を向上でき、溶解速度
の差を大きくできる。
る。例えば、前記式(1)の疎水性ユニットAや式(3a)に
対応する化合物のヒドロキシル基は、保護剤(例えば、
ジアルキルジカーボネート(ジ−t−ブチルジカーボネ
ートなど)、2−t−ブトキシカルボニルオキシイミノ
−2−フェニルアセトニトリル(Boc−ON)など)
との反応、オレフィン類(イソブチレンなど)やアルキ
ルビニルエーテル類(エチルビニルエーテルなど)との
付加反応、カルボン酸(イソ酪酸など)とのエステル化
反応などを利用して容易に保護できる。前記式(1)の疎
水性ユニットAや式(3a)に対応する化合物のカルボキシ
ル基は、必要によりチオニルクロライドによりアシルハ
ライド基を生成させ、保護基に対応するアルコール(t
−ブタノールなど)とエステル化する方法などで容易に
保護できる。さらに、保護基で保護されたカルボキシル
基は、前記式(1)の疎水性ユニットAや式(3a)に対応す
るハロゲン含有化合物(特に、臭素又はヨウ素原子を有
する芳香族化合物)とカルボン酸エステル(特に、アク
リル酸C1-4アルキルエステル)とのカップリング反応
(ヘック反応など)などにより容易に導入できる。な
お、カップリング反応において、不飽和化合物を用いた
後、前記式(1)の疎水性ユニットAや式(3a)に対応する
ハロゲン含有化合物に導入された不飽和結合は、水素添
加してもよい。
結合した光活性化合物は、(a)連結基AやJを介して
複数の環Zが結合し、かつ親水性基を有する疎水性化合
物を用いて、上記と同様の反応により親水性基を保護す
ることにより調製してもよく、(b)親水性基の保護基
が導入された第1の環Zを有する疎水性成分と、第2の
環Zを有する疎水性成分とを反応させることにより調製
してもよい。さらに、これらの光活性化合物が、さらに
親水性基や反応性原子(臭素原子やヨウ素原子などのハ
ロゲン原子など)を有する場合には、さらに前記反応を
利用して親水性基を保護したり保護基を導入してもよ
い。なお、第1の環Zを有する疎水性成分と、第2の環
Zを有する疎水性成分との反応には、前記連結基AやJ
を形成可能な種々の方法、例えば、付加反応、エステル
化反応、縮合反応、アミド形成反応、カップリング反応
などが利用できる。
されないが、特にレジスト用途に好適である。すなわ
ち、前記光活性化合物は、疎水性である(又はアルカリ
との相互作用により疎水化可能である)ものの、感光剤
(光酸発生剤など)と組み合わせて用いることにより、
保護基が光照射に起因して(特に、光照射により感光剤
と関連して)脱離(脱保護)し、親水性基を生成し、親
水化可能である。従って、レジスト(特にポジ型レジス
ト)などに適用すると、露光部では、親水性ドメインを
形成し、レジスト膜の溶解が促進され、未露光部では、
保護基の作用によりベース樹脂との親和性を高めて溶解
を抑止でき、露光部と未露光部とで溶解速度の差を大き
くすることができる。特に、前記保護基として、疎水性
基を用いることにより、未露光部での溶解性を大幅に抑
制できるとともに、現像に伴うレジストの膨潤を抑制す
ることもでき、解像度を改善することも可能である。前
記保護基の脱離は、感光剤と関連して、特に、酸の触媒
作用により生じる場合が多い。このような酸としては、
光照射に伴って発生する酸(特に感光性樹脂組成物を構
成する光酸発生剤から生成する酸)を利用するのが有利
である。
は、ポジ型レジストに用いられる慣用の感光剤又は光増
感剤、例えば、ジアゾニウム塩(ジアゾニウム塩、テト
ラゾニウム塩、ポリアゾニウム塩など)、キノンジアジ
ド類(ジアゾベンゾキノン誘導体、ジアゾナフトキノン
誘導体など)、光酸発生剤、溶解抑制剤などが選択でき
る。
物が例示できる。なお、参考までに、括弧内にはミドリ
化学(株)製の商品名を記載する。スルホニウム塩誘導
体[スルホン酸エステル、例えば、1,2,3−トリ
(メチルスルホニルオキシ)ベンゼンなどのアリールア
ルカンスルホネート(特にC6-10アリールC1-2アルカ
ンスルホネート);2,6−ジニトロベンジルトルエン
スルホネート、ベンゾイントシレートなどのアリールベ
ンゼンホスホネート(特にベンゾイル基を有していても
よいC6-10アリールトルエンホスホネート);2−ベン
ゾイル−2−ヒドロキシ−2−フェニルエチルトルエン
スルホネートなどのアラルキルベンゼンスルホネート類
(特にベンゾイル基を有していてもよいC6-10アリール
−C1-4アルキルトルエンスルホネート);ジフェニル
ジスルホンなどのジスルホン類;ルイス酸塩(トリフェ
ニルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート(TP
S−102)、トリフェニルスルホニウム ヘキサフル
オロアンチモン(TPS−103)、4−(フェニルチ
オ)フェニルジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロ
アンチモン(DTS−103)、4−メトキシフェニル
ジフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモン
(MDS−103)、トリフェニルスルホニウムメタン
スルホニル、トリフェニルスルホニウム トリフルオロ
メタンスルホニル(TPS−105)、トリフェニルス
ルホニウム ノナフルオロブタンスルホニル(TPS−
109)などのトリアリールスルホニウム塩(特にトリ
フェニルスルホニウム塩)など)など]、ホスホニウム
塩誘導体、ジアリールハロニウム塩誘導体[ジアリール
ヨードニウム塩(ジフェニルヨードニウム ヘキサフル
オロホスフェート、4,4’−ジ(t−ブチルフェニ
ル)ヨードニウム ヘキサフルオロホスフェート(BB
I−102)、4,4’−ジ(t−ブチルフェニル)ヨ
ードニウム ヘキサフルオロアンチモネート(BBI−
103)、4,4’−ジ(t−ブチルフェニル)ヨード
ニウム テトラフルオロボレート(BBI−101)、
4,4’−ジ(t−ブチルフェニル)ヨードニウム ト
リフルオロメタンスルホネート(BBI−105)、
4,4’−ジ(t−ブチルフェニル)ヨードニウム カ
ンファスルホネート(BBI−106)、ジフェニルヨ
ードニウムトリフルオロメタンスルホネート(DPI−
105)、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム
トリフルオロメタンスルホネート(DPI−105)
など)などのルイス酸塩など]、ジアゾニウム塩誘導体
(p−ニトロフェニルジアゾニウムヘキサフルオロホス
フェートなどのルイス酸塩など)、ジアゾメタン誘導
体、トリアジン誘導体[1−メトキシ−4−(3,5−
ジ(トリクロロメチル)トリアジニル)ベンゼン(TA
Z−104)、1−メトキシ−4−(3,5−ジ(トリ
クロロメチル)トリアジニル)ナフタレン(TAZ−1
06)などのハロアルキルトリアジニルアリール、1−
メトキシ−4−[2−(3,5−ジトリクロロメチルト
リアジニル)エテニル]ベンゼン(TAZ−110)、
1,2−ジメトキシ−4−[2−(3,5−ジトリクロ
ロメチルトリアジニル)エテニル]ベンゼン(TAZ−
113)、1−メトキシ−2−[2−(3,5−ジトリ
クロロメチルトリアジニル)エテニル]ベンゼン(TA
Z−118)などのハロアルキルトリアジニルアルケニ
ルアリールなど]、イミジルスルホネート誘導体[スク
シンイミジル カンファスルホネート(SI−10
6)、スクシンイミジル フェニルスルホネート(SI
−100)、スクシンイミジル トルイルスルホネート
(SI−101)、スクシンイミジル トリフルオロメ
チルスルホネート(SI−105)、フタルイミジル
トリフルオロスルホネート(PI−105)、ナフタル
イミジル カンファスルホネート(NAI−106)、
ナフタルイミジル メタンスルホネート(NAI−10
0)、ナフタルイミジル トリフルオロメタンスルホネ
ート(NAI−105)、ナフタルイミジル トルイル
スルホネート(NAI−101)、ノルボルネンイミジ
ル トリフルオロメタンスルホネート(NDI−10
5)など]などが例示できる。また、スルホン誘導体
[例えば、商品名「DAM−101」「DAM−10
2」「DAM−105」「DAM−201」などの−S
O2−C(=N)−単位を有する化合物;「DSM−3
01」などの−CH2−SO2−単位を有する化合物;
「PAI−101」などの=N−O−SO2−単位を有
する化合物など]も含まれる。特に、ルイス酸塩(ホス
ホニウム塩などのルイス酸塩)が好ましい。
ら光照射により発生した酸により、脱保護され、親水性
基を生成する前記光活性化合物と、ベース樹脂(特に、
前記酸により保護基が脱離してアルカリ可溶性となるベ
ース樹脂)を組み合わせた感光性樹脂組成物は、化学増
幅系レジストとして有用である。
活性化合物と前記感光剤とベース樹脂(オリゴマー又は
ポリマー)とで感光性樹脂組成物(又はレジスト組成
物)を構成できる。感光性樹脂組成物は、有機溶媒(ア
ルコール類など)により現像可能であってもよいが、通
常、水又はアルカリ現像可能であるのが好ましい。
ば、ヒドロキシル基含有ポリマー[ポリビニルアセター
ル、ポリビニルアルコール、エチレン−ビニルアルコー
ル共重合体、ヒドロキシル基含有セルロース誘導体(ヒ
ドロキシエチルセルロースなど)、ポリビニルフェノー
ル系樹脂、ノボラック樹脂(フェノールノボラック樹
脂)など]、カルボキシル基含有ポリマー[重合性不飽
和カルボン酸((メタ)アクリル酸、無水マレイン酸、
イタコン酸など)を含む単独又は共重合体、カルボキシ
ル基含有セルロース誘導体(カルボキシメチルセルロー
ス又はその塩など)など]、エステル基含有ポリマー
[カルボン酸ビニルエステル(酢酸ビニルなど)、(メ
タ)アクリル酸エステル(メタクリル酸メチルなど)な
どの単量体の単独または共重合体(ポリ酢酸ビニル、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体、(メタ)アクリル系樹脂
など)、ポリエステル、セルロースエステル類など]、
エーテル基を有するポリマー[ポリアルキレンオキシ
ド、ポリオキシアルキレングリコール、ポリビニルエー
テル系樹脂、ケイ素樹脂、セルロースエーテル類な
ど]、カーボネート基含有ポリマー、アミド基又は置換
アミド基を有するポリマー[ポリビニルピロリドン、ポ
リウレタン系重合体、ポリ尿素、ナイロン又はポリアミ
ド系重合体(ラクタム成分、ジカルボン酸成分やジアミ
ン成分を用いたポリアミドなど);ポリ(メタ)アクリ
ルアミド系重合体;ポリアミノ酸;ビュレット結合を有
するポリマー;アロハネート結合を有するポリマー;ゼ
ラチンなどの蛋白類など]、ニトリル基を有するポリマ
ー(アクリロニトリル系重合体など)、グリシジル基を
有するポリマー(エポキシ樹脂、グリシジル(メタ)ア
クリレートの単独又は共重合体など)、ハロゲン含有ポ
リマー(ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重
合体、塩化ビニリデン系ポリマー、塩素化ポリプロピレ
ンなど)、非芳香族性環基を有するポリマー(例えば、
(メタ)アクリル酸シクロヘキシルなどのC 5-8シクロ
アルキル基を有するポリマー;(メタ)アクリル酸ノル
ボルニル、(メタ)アクリル酸アダマンチルなどの架橋
環式C7-20炭化水素環基を有するポリマーなど)、重合
性オリゴマー又はポリマー((メタ)アクリロイル基、
アリル基、ビニル基、シンナモイル基などの重合性基を
有するオリゴマー又はポリマーなど)などが例示でき
る。これらのベース樹脂は単独で又は2種以上組合わせ
て使用してもよい。ベース樹脂としては、ネガ型感光性
樹脂組成物を構成するベース樹脂でもよいが、ポジ型感
光性樹脂組成物(ポジ型レジスト)を構成するためのベ
ース樹脂が好ましい。
樹脂には、ノボラック樹脂(フェノールノボラック樹
脂、クレゾールノボラック樹脂など)、親水性基(ヒド
ロキシル基及び/又はカルボキシル基など)が脱離可能
な保護基で保護された樹脂などが含まれる。ベース樹脂
は単独で又は2種以上組合わせて使用してもよい。
可溶性ノボラック樹脂が使用され、半導体製造用レジス
トとして利用する場合、レジスト分野で使用されている
慣用のノボラック樹脂が使用できる。ノボラック樹脂
は、分子内に少なくとも1つのフェノール性ヒドロキシ
ル基を有するフェノール類とアルデヒド類とを、酸触媒
の存在下、縮合することにより得ることができる。フェ
ノール類としては、例えば、フェノール、o−,m−又
はp−クレゾール、2,5−,3,5−または3,4−
キシレノール、2,3,5−トリメチルフェノール、エ
チルフェノール、プロピルフェノール、ブチルフェノー
ル、2−t−ブチル−5−メチルフェノールのC1-4ア
ルキルフェノール類、ジヒドロキシベンゼン、ナフトー
ル類などが挙げられる。アルデヒド類には、ホルムアル
デヒド、アセトアルデヒド、グリオキサールなどの脂肪
族アルデヒド、ベンズアルデヒド、サリチルアルデヒド
などの芳香族アルデヒドが含まれる。
わせて使用でき、アルデヒド類も単独で又は二種以上組
み合わせて使用できる。酸触媒としては、無機酸(塩
酸、硫酸、リン酸など)、有機酸(シュウ酸、酢酸、p
−トルエンスルホン酸など)、有機酸塩(酢酸亜鉛など
の二価金属塩など)などが挙げられる。縮合反応は常
法、例えば、温度60〜120℃程度で2〜30時間程
度行なうことができる。反応はバルクで行ってもよく、
適当な溶媒中で行ってもよい。
生成可能な樹脂で構成するのが好ましい。このようなベ
ース樹脂は、親水性基(特に、ヒドロキシル基及びカル
ボキシル基から選択された親水性基)であって、酸の作
用により脱離可能な保護基で保護可能な親水性基を有す
る単量体の単独又は共重合体で構成できる。前記親水性
基(ヒドロキシル基及び/又はカルボキシル基など)が
脱離可能な保護基で保護された樹脂(又は保護基で保護
可能な樹脂)としては、例えば、フェノール性ヒドロキ
シル基が脱離可能な保護基で保護されたポリビニルフェ
ノール系樹脂(ビニルフェノールの単独重合体、又は共
重合性単量体との共重合体など)、ヒドロキシル基及び
/又はカルボキシル基含有(メタ)アクリル系樹脂[例
えば、(メタ)アクリレートの単独又は共重合体、又は
(メタ)アクリレートと共重合性単量体との共重合体な
ど]、ヒドロキシル基及び/又はカルボキシル基含有ノ
ルボルネン系樹脂(ヒドロキシル基及び/又はカルボキ
シル基含有ノルボルネン誘導体と共重合性単量体との共
重合体など)などが例示できる。前記ベース樹脂として
露光波長に対して透明性の高い樹脂((メタ)アクリル
系樹脂やノルボルネン系樹脂などの非芳香族性樹脂)を
使用すると、短波長の露光光線に対しても感度を高める
ことができる。また、非芳香族性の感光性樹脂組成物を
用いると、より短波長の露光源を利用できるとともに、
より微細なパターンを形成可能である。
された樹脂は、親水性基が予め保護基(前記光活性化合
物の項で例示の保護基など)で保護された単量体を重合
することにより得てもよく、親水性基を有する単量体を
重合し、得られた樹脂の親水性基を前記保護基で保護す
ることにより得てもよい。
ロキシル基を有する単量体としては、ビニルフェノール
系単量体(ビニルフェノールなど);アリルアルコー
ル;ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート(ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル
(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)
アクリレートなどヒドロキシC2-6(メタ)アクリレー
トなど);ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレ
ートなどの(ポリ)オキシアルキレングリコールモノ
(メタ)アクリレート;ヒドロキシシクロアルキル(メ
タ)アクリレート(ヒドロキシシクロヘキシル(メタ)
アクリレートなどのヒドロキシC3-8シクロアルキル
(メタ)アクリレート)、ヒドロキシオキサシクロアル
キル(メタ)アクリレートなどの単環式脂環族基を有す
る(メタ)アクリレート;ヒドロキシデカリニル(メ
タ)アクリレート、ヒドロキシボルニル(メタ)アクリ
レート、ヒドロキシノルボルニル(メタ)アクリレー
ト、ヒドロキシアダマンチル(メタ)アクリレートなど
の架橋環式脂環族基を有する(メタ)アクリレート(ヒ
ドロキシビ乃至テトラC3-8シクロアルキル(メタ)ア
クリレートなど);ヒドロキシノルボルネン、ヒドロキ
シアルキル−ノルボルネン(ヒドロキシメチル−ノルボ
ルネン、ヒドロキシエチル−ノルボルネンなどのヒドロ
キシC1-4アルキル−ノルボルネンなど)などのヒドロ
キシル基を有するノルボルネン誘導体などが挙げられ
る。カルボキシル基を有する単量体としては、(メタ)
アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル安息香酸な
どの不飽和カルボン酸;カルボキシシクロヘキシル(メ
タ)アクリレートなどのカルボキシC5-8シクロアルキ
ル(メタ)アクリレート;カルボキシル基含有架橋環式
脂環族炭化水素基を有する(メタ)アクリレート(例え
ば、カルボキシデカリニル(メタ)アクリレート、カル
ボキシノルボルニル(メタ)アクリレート、カルボキシ
メチル−ノルボルニル(メタ)アクリレート、カルボキ
シボルニル(メタ)アクリレート、カルボキシアダマン
チル(メタ)アクリレートなどのカルボキシビ乃至テト
ラC3-8シクロアルキル(メタ)アクリレートなど)な
どが挙げられる。これらの親水性基を有する単量体は単
独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
単量体、例えば、(メタ)アクリル系単量体[例えば、
メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレ
ート、ブチル(メタ)アクリレートなどのアルキル(メ
タ)アクリレート(C1-10アルキル(メタ)アクリレー
ト);シクロへキシル(メタ)アクリレートなどのシク
ロアルキル(メタ)アクリレート(シクロC3-8アルキ
ル(メタ)アクリレート);オキサシクロアルキル(メ
タ)アクリレートなどの単環式複素環基を有する(メ
タ)アクリレート;デカリニル(メタ)アクリレート、
ノルボルニル(メタ)アクリレート、ボルニル(メタ)
アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレートなど
の架橋環式脂環族基を有する(メタ)アクリレート(ビ
乃至テトラシクロC3-8アルキル(メタ)アクリレー
ト);ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートなどのヒ
ドロキシC2-6アルキル(メタ)アクリレート;グリシ
ジル(メタ)アクリレートなどのエポキシ基含有(メ
タ)アクリレート;(メタ)アクリロニトリルなど];
イミド系単量体[例えば、マレイミド、N−メチルマレ
イミド、N−エチルマレイミドなどのN−C1-4アルキ
ルマレイミド、N−フェニルマレイミドなどのN−C
6-10アリールマレイミドなど];不飽和カルボン酸[例
えば、クロトン酸、無水マレイン酸、イタコン酸な
ど]、スチレン、α-メチルスチレン、p−t−ブチル
スチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル系単量体
(スチレン系単量体);ビニルメチルエーテル、ビニル
エチルエーテルなどのビニルエーテル系単量体;酢酸ビ
ニル、プロピオン酸ビニルなどの脂肪酸ビニルエスエル
系単量体などが挙げられる。
以上組み合わせて使用できる。共重合性単量体との共重
合体において、前記親水性基を有する単量体の割合は、
単量体の総量に対して、10〜100重量%、好ましく
は25〜80重量%、さらに好ましくは30〜70重量
%程度である。
において、親水性基の保護基としては、前記光活性化合
物の項で例示の保護基、例えば、アルコキシアルキル
基、アルコキシカルボニル基、シクロアルキル基、オキ
サシクロアルキル基、架橋環式脂環族基、アルキルシリ
ル基などのヒドロキシル基に対する保護基;アルキル基
などのカルボキシル基に対する保護基などが挙げられ
る。
シル基が、アルコキシアルキル基、アルコキシカルボニ
ル基(t−BOC基など)などの保護基で保護されたポ
リ脂環族アルコール系樹脂(ヒドロキシシクロアルキル
(メタ)アクリレートなどのヒドロキシル基含有脂環族
(メタ)アクリレートの単独又は共重合体など)、ヒド
ロキシル基が、シクロアルキル基(オキサシクロアルキ
ル基;ノルボルニル基、アダマンチル基などのビ又はト
リシクロアルキル基なども含む)などの脂環族基で保護
された(メタ)アクリル系樹脂(ヒドロキシアルキル
(メタ)アクリレートの単独又は共重合体など)、カル
ボキシル基が、アルキル基(t−ブチル基など)などの
保護基で保護された(メタ)アクリル系樹脂((メタ)
アクリル酸の単独又は共重合体など)などが挙げられ
る。
0〜50,000、好ましくは7,000〜30,00
0、さらに好ましくは7,000〜20,000程度で
ある。
に酸発生剤から生成した酸の触媒作用による脱保護)に
より親水性基を生成する樹脂と感光剤(光酸発生剤)と
の組み合わせなどが含まれる。
剤との割合(重量比)は、前者/後者=0.01/1〜
100/1程度の広い範囲から選択でき、通常、0.1
/1〜75/1、好ましくは1/1〜50/1程度であ
ってもよい。
スト)において、感光剤の使用量は、例えば、ベース樹
脂100重量部に対して0.1〜50重量部、好ましく
は1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部
(特に、1〜10重量部)程度の範囲から選択できる。
記光活性化合物の割合は、レジストの固形分全体に対し
て、50重量%以下(例えば、1〜50重量%程度)、
好ましくは3〜40重量%、さらに好ましくは5〜30
重量%程度である。また、前記光活性化合物の割合は、
固形分換算で、ベース樹脂100重量部に対して、1〜
1000重量部(例えば、5〜1000重量部)、好ま
しくは10〜500重量部、さらに好ましくは10〜3
00重量部、特に10〜100重量部程度である。
止剤などの安定剤、可塑剤、界面活性剤、溶解促進剤、
染料や顔料などの着色剤などの種々の添加剤を添加して
もよい。さらに、感光性樹脂組成物は、塗布性などの作
業性を改善するため、溶媒[炭化水素類,ハロゲン化炭
化水素類,アルコール類(メタノール、エタノール、イ
ソプロパノールなど)、ケトン類(アセトン、シクロヘ
キサノンなど)、エステル(酢酸エチル、乳酸エチルな
ど)、エーテル類,セロソルブ類(メチルセロソルブ、
エチルセロソルブ、ブチルセロソルブなど),カルビト
ール類,グリコールエーテルエステル類(セロソルブア
セテート,プロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート(PGMEAなど)などの(ポリ)オキシアル
キレングリコールアルキルエーテルアセテートなど)な
ど]を含んでいてもよい。
ば、感光性樹脂[ベース樹脂(ポリマー又はオリゴマ
ー)及び感光剤で構成された感光性樹脂組成物]と、光
活性化合物とを混合することにより調製できる。感光性
樹脂組成物は、通常、溶媒[例えば、乳酸エチルなどの
乳酸エステル;プロピレングリコールメチルエーテルア
セテート(PGMEAなど)などの(ポリ)オキシアル
キレングリコールアルキルエーテルアセテートなど)な
ど]を含有している。溶媒の使用量は、特に制限され
ず、例えば、感光性樹脂1重量部に対して、0.1〜5
0重量部、好ましくは1〜40重量部、さらに好ましく
は5〜30重量部程度である。
(基板)に適用(塗布又は被覆)することにより感光層
を形成できる。基体(基板)としては、パターンの特性
や用途に応じて、金属(アルミニウム),ガラス,セラ
ミックス(アルミナ,銅ドープアルミナ,タングステン
シリケートなど),プラスチックなどから適当に選択で
き、シリコンウェハーなどの半導体基板であってもよ
い。
を向上させるため、予め、表面処理してもよい。表面処
理には、例えば、前記シランカップリング剤(重合性基
を有する加水分解重合性シランカップリング剤など)な
どによる表面処理、アンカーコート剤又は下地剤(ポリ
ビニルアセタール,アクリル系樹脂,酢酸ビニル系樹
脂,エポキシ樹脂,ウレタン樹脂など)、又はこれらの
下地剤と無機微粒子との混合物によるコーティング処理
などが含まれる。
後、乾燥により溶媒を蒸発させてもよい。溶媒の除去
は、例えば、ホットプレートなどの加熱手段を利用し
て、ソフトベーク(プリベーク)などにより行ってもよ
い。
は、レジスト層の少なくとも表面に形成してもよい。感
光層の構造は、パターン形成プロセスや回路構造などに
応じて選択でき、単層構造や多層構造(又は積層、複合
構造)であってもよい。
ば、0.01〜10μm、好ましくは0.05〜5μ
m、好ましくは0.08〜2μm程度の範囲から選択で
き、通常、0.05〜1μm(例えば、0.1〜0.7
μm)程度である。
例えば、スピンコーティング法、ディッピング法、キャ
スト法などにより行うことができ、必要により、乾燥し
て溶媒を除去して感光層を形成できる。
なパターン)は、露光,現像やエッチングなどを組み合
わせた慣用のリソグラフィー技術を利用して行うことが
できる。
布して感光層を形成し、露光し、現像することによりパ
ターンを形成できる。特に、化学増幅系の感光性樹脂を
用いる場合、露光により発生した酸を効率よく拡散させ
るため、露光後、加熱処理(露光後ベーク(ポストエク
スポージャーベーク,PEB))するのが好ましい。ま
た、現像によりパターンニングした後、プラズマ処理
(酸素プラズマなど)によりエッチング処理をしてもよ
い。
ば、所定のマスクを介して光線をパターン照射又は露光
することにより行うことができる。光線としては、感光
性樹脂組成物の感光特性,パターンの微細度、ベース樹
脂の種類などに応じて種々の光線(活性光線)、例え
ば、ハロゲンランプ,高圧水銀灯,UVランプなどの光
線;g線(436nm)、i線(365nm)、エキシ
マーレーザー(例えば、XeCl(308nm),Kr
F(248nm),KrCl(222nm),ArF
(193nm),ArCl(172nm),F2(15
7nm)など),電子線,EB線、EUV線(13n
m)、X線などの放射線などが利用でき、単一波長であ
っても、複合波長であってもよい。特に、KrF(24
8nm),ArF(193nm),F2(157nm)
などのエキシマーレーザー、X線、EB線、EUV線
(13nm)などの10〜300nm程度の波長の光線
が有利に利用できる。
たレジストを用いることにより、短波長の光線に対する
透明性を向上でき、感度を向上させることができる。例
えば、KrFエキシマーレーザー(248nm)を露光
源として利用する場合には、化学増幅系の感光性樹脂組
成物、例えば、脱保護により親水性基を生成する樹脂
[ヒドロキシル基が保護基で保護されたポリビニルフェ
ノール系樹脂や、ヒドロキシル基やカルボキシル基が保
護基で保護された非芳香族性樹脂など]と感光剤(酸発
生剤)とで構成されたポジ型感光性樹脂組成物などが利
用できる。前記ヒドロキシル基やカルボキシル基が保護
基で保護された非芳香族性樹脂としては、例えば、カル
ボキシル基が保護基で保護された(メタ)アクリル系樹
脂;保護基で保護されたカルボキシル基やヒドロキシル
基を有する脂環族樹脂[例えば、脂環族単量体(カルボ
キシノルボルネン、ヒドロキシノルボルネン、ヒドロキ
シエチルノルボルネンなどのノルボルネン誘導体など)
と無水マレイン酸などの共重合性単量体との共重合体に
おいて、ヒドロキシル基やカルボキシル基が保護基で保
護されている樹脂など]などが例示できる。
nm)を露光源として利用する場合には、例えば、前記
ヒドロキシル基やカルボキシル基が保護基で保護された
非芳香族性樹脂などが利用できる。
の感光特性(溶解性など)などに応じて選択でき、露光
時間は、通常、0.005秒〜10分、好ましくは0.
01秒〜1分程度の範囲から選択できる。
50〜150℃、好ましくは60〜150℃、さらに好
ましくは70〜150℃程度であり、加熱の時間は、3
0秒〜5分、好ましくは1〜2分程度である。
ことにより解像度の高いパターンを形成できる。現像に
は、感光性樹脂組成物の種類に応じて種々の現像液
(水,アルカリ水溶液など)が使用できる。好ましい現
像液は水又はアルカリ現像液であり、必要であれば、少
量の有機溶媒(例えば、メタノール,エタノール,イソ
プロパノールなどのアルコール類、アセトンなどのケト
ン類、ジオキサン,テトラヒドロフランなどのエーテル
類、セロソルブ類、セロソルブアセテート類などの親水
性又は水溶性溶媒)や界面活性剤などを含んでいてもよ
い。現像法も特に制限されず、例えば、パドル(メニス
カス)法,ディップ法,スプレー法などが採用できる。
らず、感光性樹脂組成物の塗布から現像に至る工程のう
ち適当な工程で、塗膜(感光層)を適当な温度で加熱又
は硬化処理してもよい。例えば、現像後などにおいて、
必要により加熱処理してもよい。
た脱保護により親水化可能であるため、感光剤(感光剤
及びベース樹脂)と組み合わせて用いると、レジスト
(前記感光性樹脂組成物で形成されたレジストなど)用
途において、感光層を形成しても、露光部と未露光部と
で溶解度差を生じさせることができる。特に、未露光部
では、感光層が保護(特に疎水化)されて表面が疎水化
された状態になるとともに、露光部において、親水化さ
れた部分が親水性ドメインを形成するため、露光部では
溶解が促進される。そのため、未露光部と露光部とにお
ける溶解速度の差を大きくすることができる。
スト組成物などに適用するのに有用であり、前記光活性
化合物で構成された感光性樹脂組成物は、種々の用途、
例えば、回路形成材料(半導体製造用レジスト、プリン
ト配線板など)、画像形成材料(印刷版材,レリーフ像
など)などに利用できる。特に、高い感度と解像度を得
ることも可能であるので、半導体製造用レジストに有利
に利用できる。
した脱保護により親水化可能であるので、感光剤と組み
合わせることにより、特にレジスト(前記光活性化合物
を含む感光性樹脂組成物で形成されたレジストなど)の
感度及び解像度を改善するために有用である。また、短
波長の露光源に対する感度を向上させ、微細パターンの
解像度を向上できる。さらに、レジストの露光部と未露
光部とにおいて、現像液に対する溶解度差を大きくで
き、微細パターンを高感度及び高解像度で形成できる。
に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定さ
れるものではない。
ロピルベンゼン(化合物1)の合成
に、4−イソプロピルフェノール5.0g(36.7m
mol)、塩酸/エーテル(HCl−Ether)溶液
(1.0mol/L)1.7mlを加えて40℃に設定
した。この中にエチルビニルエーテル7.9g(10
9.6mmol)を滴下し一晩攪拌した。反応終了後、
炭酸水素ナトリウム水溶液で洗浄後、水洗し溶媒を除去
した。シリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶出液:
ヘキサン)にて精製することにより1−(1−エトキ
シ)エトキシ−4−イソプロピルベンゼン7.0g(3
3.6mmol)を得た。
4−イソプロピルベンゼンの1H−NMRスペクトルを
図1に示す。
10〜1.30(m,9H,iso−Prと末端C
H3),1.49(d,3H,分岐CH3),2.80〜
3.00(m,1H,CH),3.45〜3.70
(m,1H,OCH2),3.70〜3.90(m,1
H,OCH2),5.35(q,1H,分岐OCH),
6.95(d,2H,C6H4),7.15(d,2H,
C6H4)。
ボニルオキシ)−4−イソプロピルベンゼン(化合物2)
の合成
に、4−イソプロピルフェノール5.0g(36.7m
mol)と4−ジメチルアミノピリジン[(CH3)2N
C5H 4N]4.5mg(3.7×10-2mmol)とを
加え、40℃に加熱した後、ジ−tert−ブチルジカ
ーボネート8.0g(36.7mmol)を滴下し24
時間攪拌した。反応終了後、反応液を氷水に入れ最少量
の水酸化カリウムでアルカリ性にし、得られた固体を濾
過・乾燥し、メタノールで再結晶することにより1−
(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−4−イソプ
ロピルベンゼン8.3g(35.1mmol)を得た。
ニルオキシ)−4−イソプロピルベンゼンの1H−NM
Rスペクトルを図2に示す。
5(d,6H,iso−Pr),1.55(s,9H,
tert−Bu),2.80〜3.00(m,1H,C
H),7.08(d,2H,C6H4),7.25(d,
2H,C6H4)。
ボニルオキシ)−4−(tert−ブチル)ベンゼン
(化合物3)の合成
ブチルフェノール5.0g(33.3mmol)と4−
ジメチルアミノピリジン4.0mg(3.3×10-2m
mol)を加え、40℃に加熱した後、ジ−tert−
ブチルジカーボネート7.3g(33.3mmol)を
滴下し24時間攪拌した。反応終了後、溶媒を除去し、
ヘキサンに溶かしてシリカゲルカラムで処理することに
より、1−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−
4−(tert−ブチル)ベンゼン8.0g(32.0
mmol)を得た。1H−NMR(CDCl3)ppm:
1.30(s,9H,tert−Bu),1.55
(s,9H,tert−Bu),7.10(d,2H,
C6H4),7.35(d,2H,C6H4)。
ボニルオキシ)−4−ブロモベンゼン(化合物4)の合成
ノールを4−ブロモフェノールに代える以外、実施例2
と同様にして1−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)−4−ブロモベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),7.08(d,2H,C
6H4),7.48(d,2H,C6H4)。
ボニルオキシ)安息香酸ベンジルエステル(化合物5)の
合成
ノールを4−ヒドロキシ安息香酸ベンジルエステルに代
える以外、実施例2と同様にして4−(tert−ブト
キシカルボニルオキシ)安息香酸ベンジルエステルを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),5.37(s,2H,C
H2),7.25(d,2H,C6H4),7.30〜
7.38(m,5H,C6H5),8.10(d,2H,
C6H4)。
シカルボニルオキシ)ベンゼン(化合物6)の合成
ノールをハイドロキノンに代える以外、実施例2と同様
にして1,4−ジ(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)ベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),7.18(s,4H,C
6H4)。
キシカルボニルオキシ)ビフェニル(化合物7)の合成
ノールを4,4'−ビフェノールに代える以外、実施例
2と同様にして4,4'−ジ(tert−ブトキシカル
ボニルオキシ)ビフェニルを得た。1H−NMR(CD
Cl3)ppm:1.55(s,18H,tert−B
u),7.25(d,4H,C6H4),7.55(d,
4H,C6H4)。
ボニルオキシ)安息香酸フェニルエステル(化合物8)の
合成
ノールを4−ヒドロキシ安息香酸フェニルエステルに代
える以外、実施例2と同様にして4−(tert−ブト
キシカルボニルオキシ)安息香酸フェニルエステルを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),7.18〜7.50(m,7
H,C6H4+C6H5),8.24(d,2H,C
6H4)。
ボニルオキシ)−4'−ブロモビフェニル(化合物9)の
合成
ノールを4−ブロモ−4'−ヒドロキシビフェニルに代
える以外、実施例2と同様にして4−(tert−ブト
キシカルボニルオキシ)−4'−ブロモビフェニルを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),7.25(d,2H,C
6H4),7.43(d,2H,C6H4),7.50〜
7.60(m,4H,C6H4)。
キシカルボニルオキシ)ナフタレン(化合物10)の合成
ノールを2,6−ジヒドロキシナフタレンにし、再結晶
溶媒をメタノールからトルエンに代える以外、実施例2
と同様にして2,6−ジ(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)ナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),7.35(d,2H,C
10H6),7.67(d,2H,C10H6),7.83
(d,2H,C10H6)。
キシカルボニルオキシ)ナフタレン(化合物11)の合成
ノールを1,5−ジヒドロキシナフタレンにし、再結晶
溶媒をメタノールからトルエンに代える以外、実施例2
と同様にして1,5−ジ(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)ナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),7.38(d,2H,C
10H6),7.55(t,2H,C10H6),7.89
(d,2H,C10H6)。
ルボニルオキシ)−2−ブロモナフタレン(化合物12)
の合成
ノールを6−ブロモ−2−ナフトールに代える以外、実
施例2と同様にして6−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)−2−ブロモナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),7.38(d,2H,C
10H6),7.55(t,2H,C10H6),7.89
(d,2H,C10H6)。
ルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベンゼン(化合
物13)の合成
ノールを4−(ベンジルオキシ)フェノールに代える以
外、実施例2と同様にして1−(tert−ブトキシカ
ルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベンゼンを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),5.05(s,2H,CH
2O),6.97(d,2H,C6H4),7.10
(d,2H,C6H4),7.28〜7.48(m,5
H,C6H5)。
ルボニルオキシ)−4−(trans−4−プロピルシ
クロヘキシル)ベンゼン(化合物14)の合成
ノールをp−(trans−4−プロピルシクロヘキシ
ル)フェノールに代える以外、実施例2と同様にして1
−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−4−(t
rans−4−プロピルシクロヘキシル)ベンゼンを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),0.95〜1.50(m,9H,C2H4
とC6H10),1.55(s,9H,tert−B
u),1.78〜1.94(m,4H,C6H10),
2.39〜2.53(m,1H,C6H10),7.07
(d,2H,C6H4),7.20(d,2H,C
6H4)。
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]プロパン
(化合物15)の合成
ノールをビスフェノールAに代える以外、実施例2と同
様にして2,2−ビス[4−(tert−ブトキシカル
ボニルオキシ)フェニル]プロパンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),1.68(s,6H,iso−
Pr),7.07(d,4H,C6H4),7.23
(d,4H,C6H4)。
−ブトキシカルボニルオキシ)ベンゼン(化合物16)の
合成
ノールを1,3,5−トリヒドロキシベンゼンに代える
以外、実施例2と同様にして1,3,5−トリ(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)ベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,27
H,tert−Bu),7.00(s,3H,C
6H3)。
キシカルボニルオキシ)−2,3,5,6−テトラフル
オロベンゼン(化合物17)の合成
ノールを2,3,5,6−テトラフルオロハイドロキノ
ンに代える以外、実施例2と同様にして1,4−ジ(t
ert−ブトキシカルボニルオキシ)−2,3,5,6
−テトラフルオロベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu)。
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]ヘキサフル
オロプロパン(化合物18)の合成
ノールを2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ヘキ
サフルオロプロパンに代える以外、実施例2と同様にし
て2,2−ビス[4−(tert−ブトキシカルボニル
オキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),7.20(d,4H,C
6H4),7.40(d,4H,C6H4)。
キシカルボニルオキシ)フェニル]スルフォン(化合物
19)の合成
ノールをビス(4−ヒドロキシフェニル)スルフォンに
代える以外、実施例2と同様にしてビス[4−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]スルフォン
を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),7.35(d,4H,C
6H4),7.96(d,4H,C6H4)。
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]フルオレン
(化合物20)の合成
ノールを9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フル
オレンにして、再結晶溶媒をメタノールからトルエンに
代える以外、実施例2と同様にして9,9−ビス[4−
(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]フ
ルオレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),7.03(d,4H,C
6H4),7.27(d,4H,C6H4),7.15〜
7.41(m,6H,C13H8),7.76(d,2
H,C13H8)。
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]シクロヘキ
サン(化合物21)の合成
ノールを4,4’−シクロヘキシリデンビスフェノール
にし、再結晶溶媒をメタノールからエタノールに代える
以外、実施例2と同様にして1,4−ビス[4−(te
rt−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]シクロヘ
キサンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),2.20〜2.30(m,4
H,C6H10),7.17(d,4H,C6H4),7.
28(d,4H,C6H4)。
(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]プ
ロパン−2−イル}ベンゼン(化合物22)の合成
ノールを4,4’−(1,3−フェニレンジイソプロピ
リデン)ビスフェノールにし、再結晶溶媒をメタノール
からエタノールに代える以外、実施例2と同様にして
1,3−ビス{2−[4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)フェニル]プロパン−2−イル}ベンゼン
を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),1.62(s,12H,C
H3),6.98〜7.09(m,6H,C6H4),
7.10〜7.20(m,6H,C6H4)。
ルボニルオキシ)−4−(trans−4−ペンチルシ
クロヘキシル)ベンゼン(化合物23)の合成
ノールをp−(trans−4−ペンチルシクロヘキシ
ル)フェノールに代える以外、実施例2と同様にして1
−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−4−(t
rans−4−ペンチルシクロヘキシル)ベンゼンを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),0.95〜1.72(m,13H,C4H
8とC6H10),1.55(s,9H,tert−B
u),1.78〜1.94(m,4H,C6H10),
2.39〜2.53(m,1H,C6H10),7.07
(d,2H,C6H4),7.20(d,2H,C6H4) 実施例24:4’−(tert−ブトキシカルボニルオ
キシ)フェニル−4−n−プロピルオキシベンゾエート
(化合物24)の合成
合成 4−ヒドロキシ安息香酸メチル15.4g(101.2
mmol)をジメチルスルホキサイド(DMSO)15
0mlに溶かし、さらに水酸化カリウム水溶液(KOH
/H2O:7g/15ml)を加えて均一になるまで攪
拌した。次に、n−プロピルブロマイド12.5g(1
01.6mmol)を加えて室温で24時間反応させ
た。反応溶液を氷水1Lの中へ投入し、生じた沈殿を濾
過した。得られた沈殿をエタノール300mlに溶か
し、水酸化ナトリウム水溶液(NaOH/H2O:5g
/100ml)を加えて1時間加熱還流後エタノール
(EtOH)を除去しながら水を加えた(水添加量:約
300ml)。室温まで冷却後、透明な溶液に濃塩酸を
加えて溶液を酸性にした。生じた白色沈殿を濾過後、ト
ルエンで再結晶することにより4−n−プロピルオキシ
安息香酸17.5g(97.2mmol)を得た。 (ii)4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フ
ェノールの合成 実施例13において合成した1−(tert−ブトキシ
カルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベンゼン1
0.0g(33.3mmol)にエタノール100m
l,10%−Pd/C0.5gを加え、室温にて攪拌
し、H2雰囲気下水素化分解させた。反応終了後、Pd
/Cを濾過により除去した後、溶媒を留去し、得られた
残留物をヘキサン/トルエンの混合溶媒にて再結晶する
ことにより4−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)フェノール6.74g(32.1mmol)を得
た。 (iii)4’−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)フェニル−4−n−プロピルオキシベンゾエートの
合成 ステップ(i),(ii)で得られた4−プロピルオキシ
安息香酸1.64g(10mmol)及び4−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェノール2.1g
(10mmol)に、トリフェニルホスフィン(PPh
3)2.62g(10mmol)を加え、乾燥テトラハ
イドロフラン(THF)50mlに均一溶解させた。次
に、アゾジカルボン酸ジエチル1.74g(10mmo
l)を氷冷下で滴下後、室温で24時間反応させた。反
応終了後、溶媒を留去し、シリカゲルカラムクロマトグ
ラフィー(溶出液:トルエン)にて精製後メタノールで
再結晶することにより4’−(tert−ブトキシカル
ボニルオキシ)フェニル−4−n−プロピルオキシベン
ゾエート1.9g(5.1mmol)を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.08(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.80〜1.94(m,2H,CH2),4.
02(t,2H,OCH2),6.98(d,2H,C6
H4),7.25(d,4H,C6H4),8.15
(d,2H,C6H4)。
−4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)ベンゾ
エート(化合物25)の合成
ルオキシ)安息香酸の合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンを実施例5で合成した1−(tert−ブトキシ
カルボニルオキシ)−4−安息香酸ベンジルエステルに
代える以外、実施例24のステップ(ii)と同様に水素
化分解を行い、4−(tert−ブトキシカルボニルオ
キシ)安息香酸を得た。 (ii)4’−n−プロピルフェニル−4−(tert−
ブトキシカルボニルオキシ)ベンゾエートの合成 実施例24のステップ(iii)において、4−n−プロ
ピルオキシ安息香酸と4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)フェノールを、ステップ(i)で得られた
化合物4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)安
息香酸と4−n−プロピルフェノールに代える以外、実
施例24のステップ(iii)と同様にして、4’−n−
プロピルフェニル−4−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)ベンゾエートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.98(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.50〜1.77(m,2H,CH2),2.
62(t,2H,CH2),7.10(d,2H,C6H
4),7.23(d,2H,C6H4),7.33(d,
2H,C6H4),8.24(d,2H,C6H4)。
キシカルボニルオキシ)フェニル]トリメセート(化合
物26)の合成
mol)に、トルエン(Toluene)30ml,ピ
リジン1.5g(17.0mmol)を加えて、さらに
実施例24のステップ(ii)で合成した4−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)フェノール3.55g
(16.9mmol)を加え、室温で24時間反応させ
た。反応終了後、エタノールにて再結晶することによ
り、トリ[4−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)フェニル]トリメセート2.8g(3.7mmo
l)を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,27
H,tert−Bu),7.28(s,12H,C
6H4),9.22(s,3H,C6H3)。
ェニル−4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)
ベンゾエート(化合物27)の合成
ベンジルオキシベンゼンの合成 4−(ベンジルオキシ)フェノール7.5g(37.5
mmol)をジメチルスルホキサイド(DMSO)75
mlに溶かし、さらに水酸化ナトリウム水溶液(NaO
H/H2O:1.65g/15ml)を加えて均一にな
るまで攪拌した。次に、n−プロピルブロマイド5.0
g(40.7mmol)を加えて室温で24時間反応さ
せた。反応溶液を氷水1Lの中へ投入し攪拌により得ら
れた固体を濾過・乾燥後メタノールで再結晶することに
より、1−(n−プロピルオキシ)−4−ベンジルオキ
シベンゼン8.82g(36.4mmol)を得た。 (ii)1−(n−プロピルオキシ)フェノールの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(i)で合成した1−(n−プロピル
オキシ)−4−ベンジルオキシベンゼンに代える以外、
実施例24のステップ(ii)と同様に水素化分解を行
い、1−(n−プロピルオキシ)フェノールを得た。 (iii)4’−n−プロピルオキシフェニル−4−(t
ert−ブトキシカルボニルオキシ)ベンゾエートの合
成 実施例24のステップ(iii)において、4−n−プロ
ピルオキシ安息香酸と、4−(tert−ブトキシカル
ボニルオキシ)フェノールを、実施例25のステップ
(i)で得られた4−(tert−ブトキシカルボニル
オキシ)安息香酸とステップ(ii)で合成した1−(n
−プロピルオキシ)フェノールとに代える以外、実施例
24のステップ(iii)と同様にして4’−n−プロピ
ルオキシフェニル−4−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)ベンゾエートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.08(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.75〜1.90(m,2H,CH2),3.
95(t,2H,OCH2),6.98(d,2H,C6
H4),7.10(d,2H,C6H4),7.33
(d,2H,C6H4),8.24(d,2H,C
6H4)。
カルボニルオキシ)フェニル−4−n−プロピルベンゾ
エート(化合物28)の合成
−n−プロピルオキシ安息香酸を4−n−プロピル安息
香酸に代える以外、実施例24のステップ(iii)と同
様にして4’−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)フェニル−4−n−プロピルベンゾエートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.98(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.60〜1.85(m,2H,CH2),2.
69(t,2H,CH2),7.25(d,4H,C6H
4),7.32(d,2H,C6H4),8.10(d,
2H,C6H4)。
カルボニルオキシ)フェニル−trans−4−n−プ
ロピルシクロヘキシルカルボキシレート(化合物29)の
合成
−n−プロピルオキシ安息香酸をtrans−4−n−
プロピルシクロヘキシルカルボン酸に代える以外、実施
例24のステップ(iii)と同様にして4’−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル−trans
−4−n−プロピルシクロヘキシルカルボキシレートを
得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.92(t,3
H,CH3),0.90〜1.08(m,2H,C
H2),1.02〜1.44(m,5H,CH2とC6H
10),1.55(s,9H,tert−Bu),1.4
5〜1.68(m,2H,CH2),1.88(d,2
H,C6H10),2.14(d,2H,C6H10),2.
38〜2.55(m,1H,C6H10),7.06
(d,2H,C6H4),7.17(d,2H,C
6H4)。
カルボニルオキシ)フェニル−4−n−プロピルオキシ
ベンジルエーテル(化合物30)の合成
ルコールの合成 4−ヒドロキシベンジルアルコール12.4g(10
0.0mmol)をジメチルスルホキサイド100ml
に溶解し、さらに水酸化カリウム水溶液(KOH/H2
O:6.6g/15ml)を加えて均一になるまで攪拌
した。次に、n−プロピルブロマイド12.3g(10
0.0mmol)を加えて室温で24時間反応させた。
反応溶液を氷水1Lの中へ投入し、攪拌し得られた固体
を濾過・乾燥後トルエンで再結晶することにより、4−
n−プロピルオキシベンジルアルコール15.8g(9
5.2mmol)を得た。 (ii)4’−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)
フェニル−4−n−プロピルオキシベンジルエーテルの
合成 実施例24のステップ(iii)において4−n−プロピ
ルオキシ安息香酸をステップ(i)で合成した4−n−
プロピルオキシベンジルアルコールに代える以外、実施
例24のステップ(iii)と同様にして4'−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル−4−n−プロ
ピルオキシベンジルエーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.06(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.74〜1.90(m,2H,CH2),3.
95(t,2H,OCH2),4.99(s,2H,C
H2O),6.92(t,4H,C6H4),7.08
(d,2H,C6H4),7.33(d,2H,C
6H4)。
キシカルボニルオキシ)フェニル]−2−(4−n−プ
ロピルフェニル)アセチレン(化合物31)の合成
−2−トリメチルシリルアセチレンの合成 1−n−プロピル−4−ブロモベンゼン15.0g(7
5.4mmol)にトリメチルシリルアセチレン8.8
g(89.8mmol),トリエチルアミン(NE
t3)100mlを加え反応系内をアルゴン置換した。
次にヨウ化銅(I)(CuI)81mg(0.4mmo
l),トリフェニルホスフィン324mg(1.2mm
ol),ジクロロビストリフェニルホスフィンパラジウ
ム(II)[PdCl2(PPh3)2]162mgを加え
加熱還流下、24時間反応させた。反応終了後、反応溶
液を氷水の中へ投入して、塩酸を加えて系内を酸性にし
た。水に不溶のオイルをヘキサンで抽出したのちヘキサ
ン層を水洗した。ヘキサンを除去することにより、1−
(4−n−プロピルフェニル)−2−トリメチルシリル
アセチレン14.2g(65.7mmol)を得た。 (ii)4−n−プロピルフェニルアセチレンの合成 ステップ(i)で合成した1−(4−n−プロピルフェ
ニル)−2−トリメチルシリルアセチレン14.2g
(65.7mmol)に、メタノール150ml,1N
−水酸化カリウム水溶液100mlを加えて一晩激しく
攪拌して加水分解を行った。反応終了後、メタノールを
除去後ヘキサンで抽出し、ヘキサン層を除去してから水
洗することにより、4−n−プロピルフェニルアセチレ
ン9.4g(65.3mmol)を得た。 (iii)1−[4−(tert−ブトキシカルボニルオ
キシ)フェニル]−2−(4−n−プロピルフェニル)
アセチレンの合成 ステップ(i)において、1−n−プロピル−4−ブロ
モベンゼンとトリメチルシリルアセチレンを、ステップ
(ii)で合成した4−n−プロピルフェニルアセチレン
と実施例4で合成した1−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4−ブロモベンゼンとに代える以外、同
様にして反応させた後、反応溶液を氷水の中へ投入し
て、塩酸を加えて系内を酸性にした。生じた固体を濾過
・水洗乾燥後、ヘキサン次いでエタノールで再結晶する
ことにより、1−[4−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)フェニル]−2−(4−n−プロピルフェニ
ル)アセチレン4.1g(12.1mmol)を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.95(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.55〜1.75(m,2H,CH2),2.
60(t,2H,CH2),7.15(d,4H,C6H
4),7.43(d,2H,C6H4),7.52(d,
2H,C6H4)。
キシカルボニルオキシ)フェニル]−2−(4−n−プ
ロピルオキシフェニル)アセチレン(化合物32)の合成
シベンゼンの合成 4−ブロモフェノール17.3g(100.0mmo
l)をジメチルスルホキサイド100mlに溶解し、さ
らに水酸化ナトリウム水溶液(NaOH/H2O:4.
0g/25ml)を加えて均一になるまで攪拌した。次
に、n−プロピルブロマイド12.3g(100.0m
mol)を加えて室温で24時間反応させた。反応溶液
を氷水の中へ投入し,生じたオイルをヘキサンにて抽出
した。ヘキサン層を水洗後、ヘキサンを除去することに
より、1−ブロモ−4−n−プロピルオキシベンゼン2
0.5g(95.3mmol)を得た。 (ii)1−(4−n−プロピルオキシフェニル)−2−
トリメチルシリルアセチレンの合成 実施例31のステップ(i)において1−ブロモ−4−
n−プロピルベンゼンを、ステップ(i)で合成した1
−ブロモ−4−n−プロピルオキシベンゼンに代える以
外、実施例31のステップ(i)と同様にして1−(4
−n−プロピルオキシフェニル)−2−トリメチルシリ
ルアセチレンを得た。 (iii)4−n−プロピルオキシフェニルアセチレンの
合成 実施例31のステップ(ii)において1−(4−n−プ
ロピルフェニル)−2−トリメチルシリルアセチレン
を、ステップ(ii)で合成した1−(4−n−プロピル
オキシフェニル)−2−トリメチルシリルアセチレンに
代える以外、実施例31のステップ(ii)と同様にして
4−n−プロピルオキシフェニルアセチレンを得た。 (iv)1−[4−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)フェニル]−2−(4−n−プロピルオキシフェニ
ル)アセチレンの合成 実施例31のステップ(iii)において4−n−プロピ
ルフェニルアセチレンを、ステップ(iii)で合成した
4−(n−プロピルオキシ)フェニルアセチレンに代え
る以外、実施例31のステップ(iii)と同様にして1
−[4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フェ
ニル]−2−(4−n−プロピルオキシフェニル)アセ
チレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.06(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.75〜1.90(m,2H,CH2),3.
94(t,2H,OCH2),6.87(d,2H,C6
H4),7.15(d,2H,C6H4),7.45
(d,2H,C6H4),7.50(d,2H,C
6H4)。
カルボニルオキシ)フェニル−4−n−プロピルベンジ
ルエーテル(化合物33)の合成
ステルの合成 4−n−プロピル安息香酸10.0g(61.0mmo
l)をメタノール(MeOH)40mlに溶解し、さら
に硫酸2mlを加えて24時間還流させた後、大部分の
メタノールを留去した。再度メタノール400mlを加
えて還流,留去した後、反応溶液に水を加え、分離した
オイルをヘキサンで抽出した。ヘキサン層を炭酸水素ナ
トリウム水,水で洗浄した後、ヘキサンを除去すること
により、4−n−プロピル安息香酸メチルエステル1
0.4g(58.4mmol)を得た。 (ii)4−n−プロピルベンジルアルコールの合成 水素化リチウムアルミニウム1.54g(40.5mm
ol)を懸濁させた乾燥テトラハイドロフラン50ml
中に、ステップ(i)で合成した4−n−プロピル安息
香酸メチルエステル10.4g(58.4mmol)を
溶解した乾燥テトラハイドロフラン50mlを氷冷下、
10℃以下で滴下後、室温で一晩反応させた。反応終了
後、氷冷下で過剰の水素化リチウムアルミニウムをメタ
ノールと反応させた後、水,塩酸水を加えた後、ヘキサ
ンで抽出した。ヘキサン層を水洗後、ヘキサンを除去す
ることにより、4−n−プロピルベンジルアルコール
8.63g(57.5mmol)を得た。 (iii)4−n−プロピルベンジルクロライドの合成 ステップ(ii)で合成した4−n−プロピルベンジルア
ルコール8.63g(57.5mmol)をクロロホル
ム50mlに溶解し、さらに、塩化チオニル8.10g
(68.1mmol)を加え室温で24時間反応させ
た。反応終了後、クロロホルム層を炭酸水素ナトリウム
水,水で洗浄し、クロロホルムを除去することにより、
4−n−プロピルベンジルクロライド9.40g(5
5.8mmol)を得た。 (iv)4’−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)
フェニル−4−n−プロピルベンジルエーテルの合成 実施例27のステップ(i)において4−(ベンジルオ
キシ)フェノールとn−プロピルブロマイドを、実施例
24のステップ(ii)で合成した4−(tert−ブト
キシカルボニルオキシ)フェノールと、ステップ(ii
i)で合成した4−n−プロピルベンジルクロライドに
代え、さらに再結晶溶媒をヘキサンに代える以外、実施
例27のステップ(i)と同様にして4’−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル−4−n−プロ
ピルベンジルエーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.92(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.57〜1.78(m,2H,CH2),2.
60(t,2H,CH2),5.00(s,2H,CH2
O),6.94(d,2H,C6H4),7.07(d,
2H,C6H4),7.19(d,2H,C6H4),7.
33(d,2H,C6H4)。
カルボニルオキシ)フェニル−4−メチルベンジルエー
テル(化合物34)の合成
ル)エーテルの合成 4−(ベンジルオキシ)フェノール35.0g(17
5.0mmol)に乾燥テトラハイドロフラン100m
l,トリエチルアミン17.7g(175.2mmo
l)を加え均一溶解させた。次にアセチルクロライド1
3.75g(175.2mmol)を氷冷下にて加え、
室温で24時間反応させた。反応溶液を氷水500ml
の中へ投入し、攪拌し得られた固体を濾過・乾燥後ヘキ
サン/トルエン混合溶媒で再結晶することにより、ベン
ジル−(4−アセトキシフェニル)エーテル40.3g
(166.5mmol)を得た。 (ii)4−アセトキシフェノールの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(i)で合成したベンジル−(4−ア
セトキシフェニル)エーテルに代え、再結晶溶媒をトル
エンに代える以外、実施例24のステップ(ii)と同様
に水素化分解を行い4−アセトキシフェノールを得た。 (iii)4’−アセトキシフェニル−4−メチルベンジ
ルエーテルの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールとn−プロピルブロマイドをそれぞ
れステップ(ii)で合成した4−アセトキシフェノール
と4−メチルベンジルクロライドに代える以外、実施例
27のステップ(i)と同様にして4’−アセトキシフ
ェニル−4−メチルベンジルエーテルを得た。 (iv)4’−ヒドロキシフェニル−4−メチルベンジル
エーテルの合成 ステップ(iii)で合成した4’−アセトキシフェニル
−4−メチルベンジルエーテル8.0g(31.3mm
ol)にメタノール130ml,水酸化カリウム5.0
g(89.1mmol)を加え加熱攪拌により加水分解
させた。反応液を水に置換した後、得られた固体を濾過
・乾燥後トルエンで再結晶することにより、4’−ヒド
ロキシフェニル−4−メチルベンジルエーテル6.3g
(29.4mmol)を得た。 (v)4’−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)
フェニル−4−メチルベンジルエーテルの合成 実施例2において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(iv)で合成した4’−ヒドロキシフェニル−4−
メチルベンジルエーテルに代える以外、実施例2と同様
にして4’−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)
フェニル−4−メチルベンジルエーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),2.36(s,3H,C
H3),5.00(s,2H,CH2O),6.94
(d,2H,C6H4),7.07(d,2H,C
6H4),7.19(d,2H,C6H4),7.31
(d,2H,C6H4)。
ルボニルオキシ−4−n−ペンチルビフェニル(化合物
35)の合成
ゼンの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールとn−プロピルブロマイドをそれぞ
れ4−ブロモフェノールとベンジルクロライドに代える
以外、実施例27のステップ(i)と同様にして4−
(ベンジルオキシ)ブロモベンゼンを得た。 (ii)4−n−ペンチル−4’−ベンジルオキシビフェ
ニルの合成 マグネシウム1.06g(88.3mmol)と4−n
−ペンチルブロモベンゼン10.0g(44.01mm
ol)とを溶かした乾燥テトラハイドロフラン50ml
の溶液から調製したGrignard試薬に、ステップ
(i)で合成した4−(ベンジルオキシ)ブロモベンゼ
ン11.6g(44.1mmol)を加え反応系をアル
ゴン雰囲気にした後、ジクロロ(1,4−ジフェニルホ
スフィノブタン)パラジウム(II)[Pd(dppb)C
l2]600mgを加え24時間反応させた。反応液を
氷水に投入し,塩酸を加えて酸性にした後、生じた固体
を濾過・水洗・乾燥後、ヘキサン/トルエン混合溶媒で
再結晶することにより、4−n−ペンチル−4’−ベン
ジルオキシビフェニル9.0g(27.3mmol)を
得た。 (iii)4−n−ペンチル−4’−ヒドロキシビフェニ
ルの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(ii)で合成した4−n−ペンチル−
4’−ベンジルオキシビフェニルに代え、再結晶溶媒を
トルエンに代える以外、実施例24のステップ(ii)と
同様に水素化分解を行い4−n−ペンチル−4’−ヒド
ロキシビフェニルを得た。 (iv)4’−tert−ブトキシカルボニルオキシ−4
−n−ペンチルビフェニルの合成 実施例2において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(iii)で合成した4−n−ペンチル−4’−ヒド
ロキシビフェニルに代える以外、実施例2と同様にして
4’−tert−ブトキシカルボニルオキシ−4−n−
ペンチルビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.93(t,3
H,CH3),1.30〜1.43(m,4H,C
H2),1.55(s,9H,tert−Bu),1.
55〜1.75(m,2H,CH2),2.65(t,
2H,CH2),7.18〜7.28(m,4H,C6H
4),7.46(d,2H,C6H4),7.57(d,
2H,C6H4)。
ルボニルオキシ)−4−フェニルベンゼン(化合物36)
の合成
ノールを4−フェニルフェノールにし、再結晶溶媒をメ
タノールからヘキサンに代える以外、実施例2と同様に
して1−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−4
−フェニルベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),7.24(d,2H,C
6H4),7.30〜7.39(m,1H,C6H5),
7.39〜7.49(m,2H,C6H5),7.52〜
7.63(m,4H,C 6H4とC6H5)。
ルボニルオキシ−4−n−プロピルオキシビフェニル
(化合物37)の合成
ドロキシビフェニルの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールを4,4’−ビフェノールに代え、
再結晶溶媒をメタノールからトルエンに代える以外、実
施例27のステップ(i)と同様にして4−n−プロピ
ルオキシ−4’−ヒドロキシビフェニルを得た。 (ii)4’−tert−ブトキシカルボニルオキシ−4
−n−プロピルオキシビフェニルの合成 実施例2において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(i)で合成した4−n−プロピルオキシ−4’−
ヒドロキシビフェニルに代え、再結晶溶媒をメタノール
からヘキサンに代える以外、実施例2と同様にして4’
−tert−ブトキシカルボニルオキシ−4−n−プロ
ピルオキシビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.07(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.78〜1.935(m,2H,CH2),
3.98(t,2H,OCH2),6.96(d,2
H,C6H4),7.21(d,2H,C6H4),7.4
7(d,2H,C6H4),7.53(d,2H,C
6H4)。
キシカルボニルオキシ)フェニル]−2−フェニルアセ
チレン(化合物38)の合成
−n−プロピルフェニルアセチレンを、フェニルアセチ
レンに代える以外、実施例31のステップ(iii)と同
様にして1−[4−(tert−ブトキシカルボニルオ
キシ)フェニル]−2−フェニルアセチレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),7.16(d,2H,C
6H4),7.30〜7.38(m,3H,C6H5),
7.49〜7.57(m,4H,C6H4とC6H5)。
ルボニルオキシ)ナフタレン(化合物39)の合成
フェノールを1−ナフトールに代える以外、実施例3と
同様にして1−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)ナフタレンを得た。1H−NMR(CDCl3)pp
m:1.58(s,18H,tert−Bu),7.3
2(q,1H,C10H7),7.42〜7.58(m,
3H,C10H7),7.74(d,1H,C10H7),
7.81〜8.00(m,2H,C10H7)。
ルボニルオキシ)ナフタレン(化合物40)の合成
ノールを2−ナフトールにし、再結晶溶媒をメタノール
からヘキサンに代える以外、実施例2と同様にして2−
(tert−ブトキシカルボニルオキシ)ナフタレンを
得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.58(s,18
H,tert−Bu),7.31(q,1H,C
10H7),7.41〜7.52(m,2H,C10H7),
7.64(d,1H,C10H7),7.77〜7.88
(m,3H,C10H7)。
ルボニルオキシ)−2−n−ペンチルナフタレン(化合
物41)の合成
モナフタレンの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールを6−ブロモ−2−ナフトールに、
n−プロピルブロマイドをベンジルクロライドに、再結
晶溶媒をエタノールにそれぞれ代える以外、実施例27
のステップ(i)と同様にして2−(ベンジルオキシ)
−6−ブロモナフタレンを得た。 (ii)2−(ベンジルオキシ)−6−(2−n−プロピ
ルエチニル)ナフタレンの合成 実施例31のステップ(i)において、1−ブロモ−4
−n−プロピルベンゼンをステップ(i)で合成した2
−(ベンジルオキシ)−6−ブロモナフタレンに代え,
トリメチルシリルアセチレンを1−n−ペンチンにそれ
ぞれ代えて実施例31のステップ(i)と同様にして合
成した後、エタノールにて再結晶することにより2−
(ベンジルオキシ)−6−(2−n−プロピルエチニ
ル)ナフタレンを得た。 (iii)6−n−ペンチル−2−ナフトールの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(ii)で合成した2−(ベンジルオキ
シ)−6−(2−n−プロピルエチニル)ナフタレン
に、再結晶溶媒をヘキサンにそれぞれ代える以外、実施
例24のステップ(ii)と同様に水素化分解を行い6−
n−ペンチル−2−ナフトールを得た。 (iv)6−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−
2−n−ペンチルナフタレンの合成 実施例2において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(iii)で合成した6−n−ペンチル−2−ナフト
ールに代える以外、実施例2と同様にして6−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)−2−n−ペンチルナ
フタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),1.28〜1.45(m,4H,C
H2),1.57(s,9H,tert−Bu),1.
61〜1.79(m,2H,CH2),2.76(t,
2H,CH2),7.24〜7.37(m,2H,C10
H6),7.59(d,2H,C10H6),7.68〜
7.80(q,2H,C10H6)。
ルボニルオキシ)−N−(4−エチルフェニル)カーバ
メート(化合物42)の合成
N−(4−エチルフェニル)カーバメートの合成 4−(ベンジルオキシ)フェノール6.8g(34.0
mmol)に乾燥テトラハイドロフラン(dry−TH
F)50mlを加え均一溶解させた。次にエチルフェニ
ルイソシアネート(C2H5PhNCO)5.0g(3
4.0mmol)を加え室温で24時間反応させた。反
応溶液を氷水1Lの中へ投入し、攪拌し得られた固体を
濾過・乾燥後エタノールで再結晶することにより、4−
(ベンジルオキシフェニル)−N−(4−エチルフェニ
ル)カーバメート11.3g(32.6mmol)を得
た。 (ii)4−(ヒドロキシフェニル)−N−(4−エチル
フェニル)カーバメートの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(i)で合成した4−(ベンジルオキ
シフェニル)−N−(4−エチルフェニル)カーバメー
トに、再結晶溶媒をヘキサン/酢酸エチルの混合溶媒に
それぞれ代える以外、実施例24のステップ(ii)と同
様に水素化分解を行い4−(ヒドロキシフェニル)−N
−(4−エチルフェニル)カーバメートを得た。 (iii)4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)
−N−(4−エチルフェニル)カーバメートの合成 実施例2において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(ii)で合成した4−(ヒドロキシフェニル)−N
−(4−エチルフェニル)カーバメートに代える以外、
実施例2と同様にして4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−N−(4−エチルフェニル)カーバメー
トを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.24(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),2.63(q,2H,CH2),6.87(s,
1H,NH),7.14〜7.21(m,6H,C
6H4),7.35(d,2H,C6H4)。
ルボニルオキシ)−N−(4'−n−ペンチル)ベンズ
アニリド(化合物43)の合成
ルオキシ)安息香酸の合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンを実施例5で合成した1−(tert−ブトキシ
カルボニルオキシ)−4−安息香酸ベンジルに代える以
外、実施例24のステップ(ii)と同様に水素化分解を
行い4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)安息
香酸を得た。 (ii)4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−
N−(4’−n−ペンチル)ベンズアニリドの合成 実施例24のステップ(iii)において4−n−プロピ
ルオキシ安息香酸と4−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)フェノールを、ステップ(i)で得られた4
−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)安息香酸と
4−n−ペンチルアニリンに代える以外、実施例24の
ステップ(iii)と同様にして4−(tert−ブトキ
シカルボニルオキシ)−N−(4’−n−ペンチル)ベ
ンズアニリドを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),1.28〜1.45(m,4H,C
H2),1.57(s,9H,tert−Bu),1.
61〜1.79(m,2H,CH2),2.76(t,
2H,CH2),7.10(d,2H,C6H4),7.
23(d,2H,C6H4),7.33(d,2H,C6
H4),8.24(d,2H,C6H4)。
(4’−tert−ブトキシカルボニルオキシフェニ
ル)シンナメート(化合物44)の合成
キシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニル7.
4g(21.2mmol)に,アクリル酸tert−ブ
チル2.85g(22.2mmol),トリエチルアミ
ン10ml,アセトニトリル30ml,酢酸パラジウム
[Pd(OAc)2]50mg(2.22×10-1mmo
l),トリフェニルホスフィン116mg(4.42×
10-1mmol)を加え反応系中をAr置換した後、加
熱還流下24時間反応させた。反応溶液を氷水500m
lの中へ投入後攪拌しながら塩酸を添加し、攪拌し得ら
れた固体を濾過・水洗・乾燥後、メタノールで再結晶す
ることにより、tert−ブチル−4−(4’−ter
t−ブトキシカルボニルオキシフェニル)シンナメート
7.9g(19.9mmol)を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),6.40(d,1H,CH=C
H),7.26(d,4H,C6H4),7.59(d,
4H,C6H4),7.61(d,1H,CH=CH)。
カルボニルオキシ)−4−(2−tert−ブトキシカ
ルボニルエチル)ビフェニル(化合物45)の合成
−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベン
ジルオキシベンゼンを実施例44で合成したtert−
ブチル−4−(4’−tert−ブトキシカルボニルオ
キシフェニル)シンナメートに代え、再結晶溶媒をヘキ
サンに代える以外、実施例24のステップ(ii)と同様
の操作を行って水素化を行い4’−(tert−ブトキ
シカルボニルオキシ)−4−(2−tert−ブトキシ
カルボニルエチル)ビフェニルを得た。
ルボニルオキシ)−6−(2−tert−ブトキシカル
ボニルビニル)ナフタレン(化合物46)の合成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
実施例12で合成した6−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−2−ブロモナフタレンに,再結晶溶媒を
メタノールからエタノールに代える以外、実施例44と
同様にして2−(tert−ブトキシカルボニルオキ
シ)−6−(2−tert−ブトキシカルボニルビニ
ル)ナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),6.49(d,1H,CH=C
H),7.34(d,1H,C10H6),7.60〜
7.91(m,6H,C10H6とCH=CH)。
ルボニルオキシ)−6−(2−tert−ブトキシカル
ボニルエチル)ナフタレン(化合物47)の合成
−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベン
ジルオキシベンゼンを実施例46で合成した2−(te
rt−ブトキシカルボニルオキシ)−6−(2−ter
t−ブトキシカルボニルビニル)ナフタレンに代え、再
結晶溶媒をヘキサンに代える以外、実施例24のステッ
プ(ii)と同様の操作を行って水素化を行い2−(te
rt−ブトキシカルボニルオキシ)−6−(2−ter
t−ブトキシカルボニルエチル)ナフタレンを得た。
カルボニルオキシ)−4−(2−トリメチルシリルエチ
ニル)ビフェニル(化合物48)の合成
ブロモ−4−n−プロピルベンゼンを、実施例9で合成
した4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−
4’−ブロモビフェニルに代え実施例31のステップ
(i)と同様にして合成した後、メタノールにて再結晶
することにより4’−(tert−ブトキシカルボニル
オキシ)−4−(2−トリメチルシリルエチニル)ビフ
ェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.28(s,9
H,Si(CH3)3),1.55(s,9H,tert
−Bu),7.24(d,2H,C6H4),7.47〜
7.60(m,6H,C6H4)。
カルボニルオキシ)−4−(2−トリメチルシリルビニ
ル)ビフェニル(化合物49)の合成
−ブチルをビニルトリメチルシランに代える以外、実施
例44と同様にして4’−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4−(2−トリメチルシリルビニル)ビ
フェニルを得た。
ルボニルオキシ)−2−(2−トリメチルシリルエチニ
ル)ナフタレン(化合物50)の合成
ブロモ−4−n−プロピルベンゼンを、実施例12で合
成した6−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)−
2−ブロモナフタレンに代え実施例31のステップ
(i)と同様にして合成した後、メタノールにて再結晶
することにより6−(tert−ブトキシカルボニルオ
キシ)−2−(2−トリメチルシリルエチニル)ナフタ
レンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.29(s,9
H,Si(CH3)3),1.57(s,9H,tert
−Bu),7.31(d,1H,C10H6),7.51
(d,1H,C10H6),7.60(d,1H,C
10H6),7.75(q,2H,C10H6),7.79
(s,1H,C10H6)。
ルボニルオキシ)−2−(2−トリメチルシリルビニ
ル)ナフタレン(化合物51)の合成
−ブチルをビニルトリメチルシランに代える以外、実施
例44と同様にして6−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)−2−(2−トリメチルシリルビニル)ナフ
タレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.29(s,9
H,Si(CH3)3),1.58(s,18H,ter
t−Bu),6.60(d,1H,CH=CH),7.
02(d,1H,CH=CH),7.29(d,1H,
C10H6),7.56〜7.87(m,5H,C
10H6)。
ルボニルオキシ)フェニル−4−(2−トリメチルシリ
ルエチニル)ベンジルエーテル(化合物52)の合成
ニルオキシ)フェニル−4−ブロモベンジルエーテルの
合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールを実施例24のステップ(ii)で合
成した4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フ
ェノールに,n−プロピルブロマイドをp−ブロモベン
ジルブロマイドに代える以外、実施例27のステップ
(i)と同様にして4’−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)フェニル−4−ブロモベンジルエーテルを
得た。 (ii)4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フ
ェニル−4−(2−トリメチルシリルエチニル)ベンジ
ルエーテルの合成 実施例31のステップ(i)において1−ブロモ−4−
n−プロピルベンゼンを、ステップ(i)で合成した
4’−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フェニ
ル−4−ブロモベンジルエーテルに代える以外は実施例
31のステップ(i)と同様にして合成した後、ヘキサ
ンにて再結晶することにより4−(tert−ブトキシ
カルボニルオキシ)フェニル−4−(2−トリメチルシ
リルエチニル)ベンジルエーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.27(s,9
H,Si(CH3)3),1.55(s,9H,tert
−Bu),5.04(s,2H,OCH2),6.92
(d,2H,C6H4),7.08(d,2H,C
6H4),7.34(d,2H,C6H4),7.48
(d,2H,C6H4)。
ルボニルオキシ)フェニル−4−(2−トリメチルシリ
ルビニル)ベンジルエーテル(化合物53)の合成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
実施例52のステップ(i)で合成した4’−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル−4−ブロモ
ベンジルエーテルに,アクリル酸tert−ブチルをビ
ニルトリメチルシランに代える以外、実施例44と同様
にして4−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)フ
ェニル−4−(2−トリメチルシリルビニル)ベンジル
エーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.17(s,9
H,Si(CH3)3),1.55(s,18H,ter
t−Bu),5.05(s,2H,OCH2),6.4
8(d,1H,CH=CH),6.87(d,1H,C
H=CH),6.93(d,2H,C6H4),7.07
(d,2H,C6H4),7.32〜7.49(m,4
H,C6H4)。
シ−4−(tert−ブチル)ベンゼン(化合物54)の
合成
ノールを4−t−ブチルフェノールに代える以外、実施
例1と同様にして1−(1−エトキシ)エトキシ−4−
(tert−ブチル)ベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.24(t,3
H,末端CH3),1.30(s,9H,tert−B
u),1.49(d,3H,分岐CH3),3.49〜
3.63(m,1H,OCH2),3.74〜3.89
(m,1H,OCH2),5.35(q,1H,分岐O
CH),6.92(d,2H,C6H4),7.28
(d,2H,C6H4)。
シ−4−ブロモベンゼン(化合物55)の合成
ノールを4−ブロモフェノールに代える以外、実施例1
と同様にして1−(1−エトキシ)エトキシ−4−ブロ
モベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.19(t,3
H,末端CH3),1.49(d,3H,分岐CH3),
3.49〜3.62(m,1H,OCH2),3.70
〜3.85(m,1H,OCH2),5.36(q,1
H,分岐OCH),6.89(d,2H,C6H4),
7.37(d,2H,C6H4)。
シ−4−安息香酸ベンジルエステル(化合物56)の合成
ノールを4−ヒドロキシ安息香酸ベンジルエステルに代
える以外、実施例1と同様にして1−(1−エトキシ)
エトキシ−4−安息香酸ベンジルエステルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.19(t,3
H,末端CH3),1.53(d,3H,分岐CH3),
3.45〜3.60(m,1H,OCH2),3.69
〜3.82(m,1H,OCH2),5.35(s,2
H,OCH2),5.49(q,1H,分岐OCH),
7.02(d,2H,C6H4),7.29〜7.49
(m,5H,C6H5),8.02(d,2H,C
6H4)。
シ)エトキシ]ベンゼン(化合物57)の合成
ノールをハイドロキノンに代える以外、実施例1と同様
にして1,4−ジ[(1−エトキシ)エトキシ]ベンゼ
ンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,6
H,末端CH3),1.48(d,6H,分岐CH3),
3.49〜3.62(m,2H,OCH2),3.73
〜3.90(m,2H,OCH2),5.28(q,2
H,分岐OCH),6.93(s,4H,C6H4)。
シ)エトキシ]ビフェニル(化合物58)の合成
ノールを4,4’−ビフェノールに代える以外、実施例
1と同様にして4,4’−ジ[(1−エトキシ)エトキ
シ]ビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.21(t,6
H,末端CH3),1.53(d,6H,分岐CH3),
3.50〜3.69(m,2H,OCH2),3.76
〜3.91(m,2H,OCH2),5.42(q,2
H,分岐OCH),7.04(d,4H,C6H4),
7.46(d,4H,C6H4)。
シ−4−安息香酸フェニルエステル(化合物59)の合成
ノールを4−ヒドロキシ安息香酸フェニルエステルに代
える以外、実施例1と同様にして1−(1−エトキシ)
エトキシ−4−安息香酸フェニルエステルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,3
H,末端CH3),1.56(d,3H,分岐CH3),
3.49〜3.67(m,1H,OCH2),3.70
〜3.89(m,1H,OCH2),5.52(q,1
H,分岐OCH),7.08(d,2H,C6H4),
7.14〜7.32(m,3H,C6H5),7.42
(t,2H,C6H4),8.15(d,2H,C
6H5)。
シ−4’−ブロモビフェニル(化合物60)の合成
ノールを4−ブロモ−4’−ヒドロキシビフェニルに代
える以外、実施例1と同様にして4−(1−エトキシ)
エトキシ−4’−ブロモビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,3
H,末端CH3),1.48(d,3H,分岐CH3),
3.49〜3.62(m,1H,OCH2),3.73
〜3.90(m,1H,OCH2),5.28(q,1
H,分岐OCH),7.25(d,2H,C6H4),
7.43(d,2H,C6H4),7.50〜7.60
(m,4H,C6H4)。
シ)エトキシ]ナフタレン(化合物61)の合成
ノールを2,6−ジヒドロキシナフタレンに代える以
外、実施例1と同様にして2,6−ジ[(1−エトキ
シ)エトキシ]ナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.21(t,6
H,末端CH3),1.63(d,6H,分岐CH3),
3.49〜3.68(m,2H,OCH2),3.78
〜3.93(m,2H,OCH2),5.60(q,2
H,分岐OCH),7.35(d,2H,C10H6),
7.67(d,2H,C10H6),7.83(d,2
H,C10H6)。
シ)エトキシ]ナフタレン(化合物62)の合成
ノールを1,5−ジヒドロキシナフタレンに代える以
外、実施例1と同様にして1,5−ジ[(1−エトキ
シ)エトキシ]ナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.21(t,6
H,末端CH3),1.63(d,6H,分岐CH3),
3.49〜3.68(m,2H,OCH2),3.78
〜3.93(m,2H,OCH2),5.60(q,2
H,分岐OCH),7.03(d,2H,C10H6),
7.37(t,2H,C10H6),7.92(d,2
H,C10H6)。
キシ]−6−ブロモナフタレン(化合物63)の合成
ノールを6−ブロモ−2−ナフトールに代える以外、実
施例1と同様にして2−[(1−エトキシ)エトキシ]
−6−ブロモナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,3
H,末端CH3),1.57(d,3H,分岐CH3),
3.50〜3.69(m,1H,OCH2),3.73
〜3.90(m,1H,OCH2),5.55(q,1
H,分岐OCH),7.18〜7.32(m,2H,C
10H6),7.49(d,1H,C10H6),7.55〜
7.70(q,2H,C10H6),7.92(d,1
H,C10H6)。
キシ]−4−ベンジルオキシベンゼン(化合物64)の合
成
ノールを4−(ベンジルオキシ)フェノールに,シリカ
ゲルカラムクロマトグラフィーの溶出液をヘキサンから
トルエンに代える以外、実施例1と同様にして1−
[(1−エトキシ)エトキシ]−4−ベンジルオキシベ
ンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,3
H,末端CH3),1.46(d,3H,分岐CH3),
3.48〜3.63(m,1H,OCH2),3.72
〜3.90(m,1H,OCH2),5.01(s,2
H,OCH2),5.26(q,1H,分岐OCH),
6.85〜6.98(m,4H,C6H4とC 6H5),
7.28〜7.46(m,5H,C6H4とC6H5)。
キシ]−4−(trans−4’−n−プロピルシクロ
ヘキシル)ベンゼン(化合物65)の合成
ノールをp−(trans−4’−n−プロピルシクロ
ヘキシル)フェノールに代える以外、実施例1と同様に
して1−[(1−エトキシ)エトキシ]−4−(tra
ns−4’−n−プロピルシクロヘキシル)ベンゼンを
得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),0.95〜1.52(m,9H,C2H4
とC6H10),1.20(t,3H,末端CH3),1.
49(d,3H,分岐CH3),1.79〜1.94
(m,4H,C6H10),2.35〜2.50(m,1
H,C6H10),3.49〜3.62(m,1H,OC
H2),3.72〜3.90(m,1H,OCH2),
5.33(q,1H,分岐OCH),6.91(d,2
H,C6H4),7.11(d,2H,C6H4)。
エトキシ)エトキシ]フェニル}プロパン(化合物66)
の合成
ノールをビスフェノールAに代える以外、実施例1と同
様にして2,2−ビス{4−[(1−エトキシ)エトキ
シ]フェニル}プロパンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,6
H,末端CH3),1.48(d,6H,分岐CH3),
1.63(s,6H,CH3),3.47〜3.62
(m,2H,OCH2),3.72〜3.89(m,2
H,OCH2),5.35(q,2H,分岐OCH),
6.88(d,4H,C6H4),7.13(d,4H,
C6H4)。
シ)エトキシ]−2,3,5,6−テトラフルオロベン
ゼン(化合物67)の合成
ノールを2,3,5,6−(テトラフルオロ)ハイドロ
キノンに代える以外、実施例1と同様にして1,4−ジ
[(1−エトキシ)エトキシ]−2,3,5,6−テト
ラフルオロベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.21(t,6
H,末端CH3),1.50(d,6H,分岐CH3),
3.60〜3.78(m,2H,OCH2),3.88
〜4.03(m,2H,OCH2),5.30(s,2
H,OCH2)。
エトキシ)エトキシ]フェニル}ヘキサフルオロプロパ
ン(化合物68)の合成
ノールを2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ヘキ
サフルオロプロパンに代える以外、実施例1と同様にし
て2,2−ビス{4−[(1−エトキシ)エトキシ]フ
ェニル}ヘキサフルオロプロパンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.25(t,6
H,末端CH3),1.52(d,6H,分岐CH3),
3.50〜3.65(m,2H,OCH2),3.71
〜3.88(m,2H,OCH2),5.42(q,2
H,分岐OCH),6.96(d,4H,C6H4),
7.29(d,4H,C6H4)。
エトキシフェニル]スルフォン(化合物69)の合成
ノールをビス(4−ヒドロキシフェニル)スルフォン
に,シリカゲルカラムクロマトグラフィーの溶出液をヘ
キサンからトルエンに代える以外、実施例1と同様にし
てビス[4−(1−エトキシ)エトキシフェニル]スル
フォンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.19(t,6
H,末端CH3),1.50(d,6H,分岐CH3),
3.42〜3.60(m,2H,OCH2),3.67
〜3.80(m,2H,OCH2),5.45(q,2
H,分岐OCH),7.05(d,4H,C6H4),
7.84(d,4H,C6H4)。
エトキシ)エトキシ]フェニル}フルオレン(化合物7
0)の合成
ノールを9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フル
オレンに,シリカゲルカラムクロマトグラフィーの溶出
液をヘキサンからトルエンに代える以外、実施例1と同
様にして9,9−ビス{4−[(1−エトキシ)エトキ
シ]フェニル}フルオレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.19(t,6
H,末端CH3),1.47(d,6H,分岐CH3),
3.42〜3.59(m,2H,OCH2),3.70
〜3.84(m,2H,OCH2),5.30(q,2
H,分岐OCH),6.82(d,4H,C6H4),
7.09(d,4H,C6H4),7.21〜7.41
(m,6H,C13H8),7.75(d,2H,C
13H8)。
(エトキシ)エトキシ]フェニル}シクロヘキサン(化
合物71)の合成
ノールを4,4’−シクロヘキシリデンビスフェノール
に代える以外、実施例1と同様にして1,4−ビス{4
−[1−(エトキシ)エトキシ]フェニル}シクロヘキ
サンを得た。1H−NMR(CDCl3)ppm:1.2
1(t,6H,末端CH3),1.20〜1.39
(m,2H,C6H10),1.49(d,6H,分岐C
H3),1.40〜1.67(m,4H,C6H10),
2.19〜2.30(m,4H,C6H10),3.48
〜3.62(m,2H,OCH2),3.70〜3.8
9(m,2H,OCH2),5.33(q,2H,分岐
OCH),6.88(d,4H,C6H4),7.15
(d,4H,C6H4)。
(1−エトキシ)エトキシフェニル]プロパン−2−イ
ル}ベンゼン(化合物72)の合成
ノールを4,4’−(1,3−フェニレンジイソプロピ
リデン)ビスフェノールに代える以外、実施例1と同様
にして1,3−ビス{2−[4−(1−エトキシ)エト
キシフェニル]プロパン−2−イル}ベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,6
H,末端CH3),1.49(d,6H,分岐CH3),
1.61(s,12H,CH3),3.48〜3.63
(m,2H,OCH2),3.70〜3.89(m,2
H,OCH2),5.35(q,2H,分岐OCH),
6.86(d,4H,C6H4),6.97〜7.20
(m,8H,C6H4)。
キシ]−4−(trans−4’−n−ペンチルシクロ
ヘキシル)ベンゼン(化合物73)の合成
ノールをp−(trans−4−n−ペンチルシクロヘ
キシル)フェノールに代える以外、実施例1と同様にし
て1−[(1−エトキシ)エトキシ]−4−(tran
s−4’−n−ペンチルシクロヘキシル)ベンゼンを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),1.20(t,3H,末端CH3),0.
95〜1.50(m,13H,C4H8とC6H10),
1.49(d,3H,分岐CH3),1.79〜1.9
4(m,4H,C6H 10),2.32〜2.49(m,
1H,C6H10),3.48〜3.62(m,1H,O
CH2),3.71〜3.89(m,1H,OCH2),
5.35(q,1H,分岐OCH),6.91(d,2
H,C6H4),7.11(d,2H,C 6H4)。
キシフェニル]−4'−(n−プロピルオキシ)ベンゾ
エート(化合物74)の合成
−(n−プロピルオキシ)ベンゾエートの合成 実施例24のステップ(iii)において、4−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェノールを4−(ベ
ンジルオキシ)フェノールに代え、再結晶溶媒をメタノ
ールからエタノールに代える以外、実施例24のステッ
プ(iii)と同様にして4−ベンジルオキシフェニル−
4’−(n−プロピルオキシ)ベンゾエートを得た。 (ii)4−ヒドロキシフェニル−4’−(n−プロピル
オキシ)ベンゾエートの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(i)で合成した4−ベンジルオキシ
フェニル−4’−(n−プロピルオキシ)ベンゾエート
に代え、再結晶溶媒をトルエンに代える以外、実施例2
4のステップ(ii)と同様にして4−ヒドロキシフェニ
ル−4’−(n−プロピルオキシ)ベンゾエートを得
た。 (iii)4−[(1−エトキシ)エトキシフェニル]−
4’−(n−プロピルオキシ)ベンゾエートの合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(ii)で合成した4−ヒドロキシフェニル−4’−
(n−プロピルオキシ)ベンゾエートに,シリカゲルカ
ラムクロマトグラフィーの溶出液をヘキサンからトルエ
ンに代え、実施例1と同様にして合成した後、ヘキサン
で再結晶化することにより4−[(1−エトキシ)エト
キシフェニル]−4’−(n−プロピルオキシ)ベンゾ
エートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.08(t,3
H,CH3),1.21(t,3H,末端CH3),1.
51(d,3H,分岐CH3),1.78〜1.97
(m,2H,CH2),3.50〜3.67(m,1
H,OCH2),3.73〜3.90(m,1H,OC
H2),4.01(t,2H,OCH2),5.38
(q,1H,分岐OCH),6.97(d,2H,C6
H4),7.03(d,2H,C6H4),7.11
(d,2H,C6H4),8.12(d,2H,C
6H4)。
4’−[(1−エトキシ)エトキシ]ベンゾエート(化
合物75)の合成
合成 実施例24のステップ(i)において、水酸化カリウム
水溶液を水酸化ナトリウム水溶液に,n−プロピルブロ
マイドをベンジルクロライドに,水酸化ナトリウム水溶
液を水酸化カリウム水溶液にそれぞれ代えて、実施例2
4のステップ(i)と同様にして4−(ベンジルオキ
シ)安息香酸を得た。 (ii)4’−n−プロピルフェニル−4−(ベンジルオ
キシ)ベンゾエートの合成 実施例24のステップ(iii)において4−n−プロピ
ルオキシ安息香酸と4−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)フェノールを、ステップ(i)で得られた4
−(ベンジルオキシ)安息香酸と4−n−プロピルフェ
ノールに代え、再結晶溶媒をメタノールからエタノール
にそれぞれ代える以外、実施例24のステップ(iii)
と同様にして4’−n−プロピルフェニル−4−(ベン
ジルオキシ)ベンゾエートを得た。 (iii)4−n−プロピルフェニル−4’−ヒドロキシ
ベンゾエートの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシル
ベンゼンをステップ(ii)で合成した4’−n−プロピ
ルフェニル−4−(ベンジルオキシ)ベンゾエートに代
え、再結晶溶媒をトルエンに代える以外、実施例24の
ステップ(ii)と同様にして4−n−プロピルフェニル
−4’−ヒドロキシベンゾエートを得た。 (iv)4−n−プロピルフェニル−4’−[(1−エト
キシ)エトキシ]ベンゾエートの合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(iii)で合成した4−n−プロピルフェニル−
4’−ヒドロキシベンゾエートに,シリカゲルカラムク
ロマトグラフィーの溶出液をヘキサンからトルエンに代
え、実施例1と同様にして4−n−プロピルフェニル−
4’−[(1−エトキシ)エトキシ]ベンゾエートを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.98(t,3
H,CH3),1.21(t,3H,末端CH3),1.
56(d,3H,分岐CH3),1.59〜1.78
(m,2H,CH2),2.60(t,2H,CH2),
3.49〜3.64(m,1H,OCH2),3.71
〜3.89(m,1H,OCH2),5.53(q,1
H,分岐OCH),7.15〜7.24(m,4H,C
6H4),7.22(d,2H,C6H4),8.14
(d,2H,C6H4)。
ニル−4’−[(1−エトキシ)エトキシ]ベンゾエー
ト(化合物76)の合成
−4−(ベンジルオキシ)ベンゾエートの合成 実施例24のステップ(iii)において4−n−プロピ
ルオキシ安息香酸と4−(tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ)フェノールを、実施例75のステップ(i)
で得られた4−(ベンジルオキシ)安息香酸と実施例2
7のステップ(ii)で得られた4−n−プロピルオキシ
フェノールに代え、再結晶溶媒をメタノールからエタノ
ールにそれぞれ代える以外、実施例24のステップ(ii
i)と同様にして4’−n−プロピルオキシフェニル−
4−(ベンジルオキシ)ベンゾエートを得た。 (ii)4−n−プロピルオキシフェニル−4’−ヒドロ
キシベンゾエートの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(i)で合成した4’−n−プロピル
オキシフェニル−4−(ベンジルオキシ)ベンゾエート
に代え、再結晶溶媒をトルエンに代える以外、実施例2
4のステップ(ii)と同様にして4−n−プロピルオキ
シフェニル−4’−ヒドロキシベンゾエートを得た。 (iii)4−n−プロピルオキシフェニル−4’−
[(1−エトキシ)エトキシ]ベンゾエートの合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(ii)で合成した4−n−プロピルオキシフェニル
−4’−ヒドロキシベンゾエートに,シリカゲルカラム
クロマトグラフィーの溶出液をヘキサンからトルエンに
代え、実施例1と同様にして4−n−プロピルオキシフ
ェニル−4’−[(1−エトキシ)エトキシ]ベンゾエ
ートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.98(t,3
H,CH3),1.21(t,3H,末端CH3),1.
56(d,3H,分岐CH3),1.59〜1.78
(m,2H,CH2),3.49〜3.64(m,1
H,OCH2),3.71〜3.89(m,1H,OC
H2),4.01(t,2H,OCH2),5.53
(q,1H,分岐OCH),7.15〜7.24(m,
4H,C6H4),7.22(d,2H,C6H4),8.
14(d,2H,C6H4)。
キシフェニル]−4’−n−プロピルベンゾエートの合
成(化合物77)
ロピルフェニルベンゾエートの合成 実施例24のステップ(iii)において、4−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)フェノールを4−(ベ
ンジルオキシ)フェノールに代え、再結晶溶媒をメタノ
ールからエタノールに代える以外、実施例24のステッ
プ(iii)と同様にして4−ベンジルオキシ−4’−n
−プロピルフェニルベンゾエートを得た。 (ii)4−ヒドロキシフェニル−4’−n−プロピルベ
ンゾエートの合成 実施例24のステップ(ii)において、1−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ベンジルオキシベ
ンゼンをステップ(i)で合成した4−ベンジルオキシ
−4’−n−プロピルフェニルベンゾエートに代え、再
結晶溶媒をトルエンに代える以外、実施例24のステッ
プ(ii)と同様にして4−ヒドロキシフェニル−4’−
n−プロピルベンゾエートを得た。 (iii)4−[(1−エトキシ)エトキシフェニル]−
4’−n−プロピルベンゾエートの合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(ii)で合成した4−ヒドロキシフェニル−4’−
n−プロピルベンゾエートに,シリカゲルカラムクロマ
トグラフィーの溶出液をヘキサンからトルエンに代え、
実施例1と同様にして合成した後、ヘキサンで再結晶化
することにより4−[(1−エトキシ)エトキシフェニ
ル]−4’−n−プロピルベンゾエートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.98(t,3
H,CH3),1.21(t,3H,末端CH3),1.
51(d,3H,分岐CH3),1.60〜1.79
(m,2H,CH2),2.69(t,2H,CH2),
3.50〜3.65(m,1H,OCH2),3.72
〜3.89(m,1H,OCH2),5.38(q,1
H,分岐OCH),7.04(d,2H,C6H4),
7.12(d,2H,C6H4),7.30(d,2H,
C6H4),8.10(d,2H,C6H4)。
キシフェニル]−4’−(n−プロピルオキシ)ベンジ
ルエーテル(化合物78)の合成
(n−プロピルオキシ)ベンジルエーテルの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールとn−プロピルブロマイドをそれぞ
れ実施例34のステップ(ii)で合成した4−アセトキ
シフェノールと実施例30のステップ(i)で合成した
4−n−プロピルオキシベンジルアルコールに代える以
外、実施例27のステップ(i)と同様にして4’−ア
セトキシフェニル−4−(n−プロピルオキシ)ベンジ
ルエーテルを得た。 (ii)4’−ヒドロキシフェニル−4−(n−プロピル
オキシ)ベンジルエーテルの合成 実施例34のステップ(iv)において、4’−アセトキ
シフェニル−4−メチルベンジルエーテルをステップ
(i)で合成した4’−アセトキシフェニル−4−(n
−プロピルオキシ)ベンジルエーテルに代え、再結晶溶
媒をトルエンに代える以外、実施例34のステップ(i
v)と同様にして4’−ヒドロキシフェニル−4−(n
−プロピルオキシ)ベンジルエーテルを得た。 (iii)4−[(1−エトキシ)エトキシフェニル]−
4’−(n−プロピルオキシ)ベンジルエーテルの合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(ii)で合成した4’−ヒドロキシフェニル−4−
(n−プロピルオキシ)ベンジルエーテルに代える以
外、実施例1と同様にして4−[(1−エトキシ)エト
キシフェニル]−4’−(n−プロピルオキシ)ベンジ
ルエーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.02(t,3
H,CH3),1.20(t,3H,末端CH3),1.
48(d,3H,分岐CH3),1.72〜1.90
(m,2H,CH2),3.45〜3.62(m,1
H,OCH2),3.73〜3.87(m,1H,OC
H2),3.90(t,2H,CH2O),4.92
(s,2H,CH2O),5.28(q,1H,分岐O
CH),6.90(d,2H,C6H4),7.09
(d,2H,C6H4),7.33(d,2H,C
6H4)。
シ)エトキシフェニル]}−2−(4−n−プロピルフ
ェニル)アセチレン(化合物79)の合成
ンの合成 実施例34のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールをp−ブロモフェノールに代える以
外、実施例34のステップ(i)と同様にして合成する
ことにより、1−ブロモ−4−アセトキシベンゼンを得
た。 (ii)1−(4−アセトキシフェニル)−2−(4−n
−プロピルフェニル)アセチレンの合成 実施例31のステップ(iii)において、1−(ter
t−ブトキシカルボニルオキシ)−4−ブロモベンゼン
をステップ(i)で合成した1−ブロモ−4−アセトキ
シベンゼンに代える以外、実施例31のステップ(ii
i)と同様にして1−(4−アセトキシフェニル)−2
−(4−n−プロピルフェニル)アセチレンを得た。 (iii)1−(4−ヒドロキシフェニル)−2−(4−
n−プロピルフェニル)アセチレンの合成 実施例34のステップ(iv)において、4’−アセトキ
シフェニル−4−メチルベンジルエーテルをステップ
(ii)で合成した1−(4−アセトキシフェニル)−2
−(4−n−プロピルフェニル)アセチレンに代える以
外、実施例34のステップ(iv)と同様にして1−(4
−ヒドロキシフェニル)−2−(4−n−プロピルフェ
ニル)アセチレンを得た。 (iv)1−{4−[(1−エトキシ)エトキシフェニ
ル]}−2−(4−n−プロピルフェニル)アセチレン
の合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(iii)で合成した1−(4−ヒドロキシフェニ
ル)−2−(4−n−プロピルフェニル)アセチレンに
代える以外、実施例1と同様にして1−{4−[(1−
エトキシ)エトキシフェニル]}−2−(4−n−プロ
ピルフェニル)アセチレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.93(t,3
H,CH3),1.20(t,3H,末端CH3),1.
51(d,3H,分岐CH3),1.58〜1.77
(m,2H,CH2),2.59(t,2H,CH2),
3.47〜3.62(m,1H,OCH2),3.70
〜3.87(m,1H,OCH2),5.42(q,1
H,分岐OCH),6.97(d,2H,C6H4),
7.14(d,2H,C6H4),7.38〜7.48
(m,4H,C6H4)。
シ)エトキシフェニル]}−2−(4−n−プロピルオ
キシフェニル)アセチレン(化合物80)の合成
2−(4−n−プロピルオキシフェニル)アセチレンの
合成 実施例31のステップ(iii)において、4−n−プロ
ピルフェニルアセチレンと1−(tert−ブトキシカ
ルボニルオキシ)−4−ブロモベンゼンを実施例79の
ステップ(i)で合成した1−ブロモ−4−(アセトキ
シ)ベンゼンと実施例32のステップ(iii)で合成し
た4−(n−プロピルオキシ)フェニルアセチレンに代
え、再結晶溶媒をエタノールからヘキサンに代える以
外、実施例31のステップ(iii)と同様にして1−
(4−アセトキシフェニル)−2−(4−n−プロピル
オキシフェニル)アセチレンを得た。 (ii)1−(4−ヒドロキシフェニル)−2−(4−n
−プロピルオキシフェニル)アセチレンの合成 実施例34のステップ(iv)において、4’−アセトキ
シフェニル−4−メチルベンジルエーテルをステップ
(i)で合成した1−(4−アセトキシフェニル)−2
−(4−n−プロピルオキシフェニル)アセチレンに代
える以外、実施例34のステップ(iv)と同様にして1
−(4−ヒドロキシフェニル)−2−(4−n−プロピ
ルオキシフェニル)アセチレンを得た。 (iii)1−{4−[(1−エトキシ)エトキシフェニ
ル]}−2−(4−n−プロピルオキシフェニル)アセ
チレンの合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(ii)で合成した1−(4−ヒドロキシフェニル)
−2−(4−n−プロピルオキシフェニル)アセチレン
に代える以外、実施例1と同様にして1−{4−[(1
−エトキシ)エトキシフェニル]}−2−(4−n−プ
ロピルオキシフェニル)アセチレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.05(t,3
H,CH3),1.20(t,3H,末端CH3),1.
51(d,3H,分岐CH3),1.73〜1.94
(m,2H,CH2),3.48〜3.63(m,1
H,OCH2),3.70〜3.88(m,1H,OC
H2),3.94(t,2H,OCH2),5.42
(q,1H,分岐OCH),6.85(d,2H,C6
H4),6.96(d,2H,C6H4),7.43
(d,4H,C6H4)。
キシフェニル]−4’−(n−プロピル)ベンジルエー
テル(化合物81)の合成
(n−プロピル)ベンジルエーテルの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールとn−プロピルブロマイドをそれぞ
れ実施例34のステップ(ii)で合成した4−アセトキ
シフェノールと実施例33のステップ(iii)で合成し
た4−n−プロピルベンジルクロライドに代える以外、
実施例27のステップ(i)と同様にして4’−アセト
キシフェニル−4−(n−プロピル)ベンジルエーテル
を得た。 (ii)4’−ヒドロキシフェニル−4−(n−プロピ
ル)ベンジルエーテルの合成 実施例34のステップ(iv)において、4’−アセトキ
シフェニル−4−メチルベンジルエーテルをステップ
(i)で合成した4’−アセトキシフェニル−4−(n
−プロピル)ベンジルエーテルに代える以外、実施例3
4と同様にして4’−ヒドロキシフェニル−4−(n−
プロピル)ベンジルエーテルを得た。 (iii)4−[(1−エトキシ)エトキシフェニル]−
4’−(n−プロピル)ベンジルエーテルの合成 実施例1において、4−イソプロピルフェノールをステ
ップ(ii)で合成した4’−ヒドロキシフェニル−4−
(n−プロピル)ベンジルエーテルに,シリカゲルカラ
ムクロマトグラフィーの溶出液をヘキサンからトルエン
に代え、実施例1と同様にして4−[(1−エトキシ)
エトキシフェニル]−4’−(n−プロピル)ベンジル
エーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.93(t,3
H,CH3),1.21(t,3H,末端CH3),1.
45(d,3H,分岐CH3),1.59〜1.760
(m,2H,CH2),2.60(t,2H,CH2),
3.49〜3.64(m,1H,OCH2),3.74
〜3.90(m,1H,OCH2),4.99(s,2
H,CH2O),5.25(q,1H,分岐OCH),
6.84〜6.98(m,4H,C6H4),7.19
(d,2H,C6H4),7.34(d,2H,C
6H4)。
キシフェニル]−4’−メチルベンジルエーテル(化合
物82)の合成
ノールを実施例34のステップ(iv)で合成した4’−
ヒドロキシフェニル−4−メチルベンジルエーテルに,
シリカゲルカラムクロマトグラフィーの溶出液をヘキサ
ンからトルエンに代え、実施例1と同様にして4−
[(1−エトキシ)エトキシフェニル]−4’−メチル
ベンジルエーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.20(t,3
H,末端CH3),1.45(d,3H,分岐CH3),
2.37(s,3H,CH3),3.48〜3.62
(m,1H,OCH2),3.74〜3.90(m,1
H,OCH2),4.99(s,2H,CH2O),5.
27(q,1H,分岐OCH),6.84〜6.98
(m,4H,C6H4),7.18(d,2H,C
6H4),7.31(d,2H,C6H4)。
キシ]−4’−n−ペンチルビフェニル(化合物83)の
合成
ノールを実施例35のステップ(iii)で合成した4−
n−ペンチル−4’−ヒドロキシビフェニルに,シリカ
ゲルカラムクロマトグラフィーの溶出液をヘキサンから
トルエンに代え、実施例1と同様にして4−[(1−エ
トキシ)エトキシ]−4’−n−ペンチルビフェニルを
得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),1.25(t,3H,末端CH3),1.
29〜1.48(m,4H,CH2),1.54(d,
3H,分岐CH3),1.59〜1.75(m,4H,
CH2),2.63(t,3H,CH2),3.50〜
3.66(m,1H,OCH2),3.75〜3.90
(m,1H,OCH2),5.42(q,1H,分岐O
CH),7.05(d,2H,C6H4),7.22
(d,2H,C6H4),7.48(t,4H,C
6H4)。
キシフェニル]ベンゼン(化合物84)の合成
ノールを4−フェニルフェノールに,シリカゲルカラム
クロマトグラフィーの溶出液をヘキサンからトルエンに
代え、実施例1と同様にして4−[(1−エトキシ)エ
トキシフェニル]ベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.21(t,3
H,末端CH3),1.53(d,3H,分岐CH3),
3.50〜3.69(m,1H,OCH2),3.76
〜3.91(m,1H,OCH2),5.42(q,1
H,分岐OCH),7.24(d,2H,C6H4),
7.30〜7.39(m,1H,C6H5),7.39〜
7.49(m,2H,C6H5),7.52〜7.63
(m,4H,C 6H4とC6H5)。
キシ]−4’−(n−プロピルオキシ)ビフェニル(化
合物85)の合成
ノールを実施例37のステップ(i)で合成した4−n
−プロピルオキシ−4’−ヒドロキシビフェニルに,シ
リカゲルカラムクロマトグラフィーの溶出液をヘキサン
からトルエンに代え、実施例1と同様にして4−[(1
−エトキシ)エトキシ]−4’−(n−プロピルオキ
シ)ビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.08(t,3
H,CH3),1.24(t,3H,末端CH3),1.
52(d,3H,分岐CH3),1.78〜1.92
(m,2H,CH2),3.49〜3.68(m,1
H,OCH2),3.75〜3.90(m,1H,OC
H2),3.95(t,2H,OCH2),5.40
(q,1H,分岐OCH),6.95(d,2H,C6
H4),7.05(d,2H,C6H4),7.46
(t,4H,C6H4)。
シナフタレン(化合物86)の合成
ノールを1−ナフトールに,シリカゲルカラムクロマト
グラフィーの溶出液をヘキサンからトルエンに代え、実
施例1と同様にして1−(1−エトキシ)エトキシナフ
タレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.24(t,3
H,末端CH3),1.52(d,3H,分岐CH3),
3.49〜3.68(m,1H,OCH2),3.75
〜3.90(m,1H,OCH2),5.40(q,1
H,分岐OCH),7.32(q,1H,C10H7),
7.42〜7.58(m,3H,C10H7),7.74
(d,1H,C10H7),7.81〜8.00(m,2
H,C10H7)。
シナフタレン(化合物87)の合成
ノールを2−ナフトールに,シリカゲルカラムクロマト
グラフィーの溶出液をヘキサンからトルエンに代え、実
施例1と同様にして2−(1−エトキシ)エトキシナフ
タレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.24(t,3
H,末端CH3),1.52(d,3H,分岐CH3),
3.49〜3.68(m,1H,OCH2),3.75
〜3.90(m,1H,OCH2),5.40(q,1
H,分岐OCH),7.31(q,1H,C10H7),
7.41〜7.52(m,2H,C10H7),7.64
(d,1H,C10H7),7.77〜7.88(m,3
H,C10H7)。
−エトキシ)エトキシナフタレン(化合物88)の合成
ノールを実施例41のステップ(iii)で合成した6−
n−ペンチル−2−ナフトールに,シリカゲルカラムク
ロマトグラフィーの溶出液をヘキサンからトルエンに代
え、実施例1と同様にして6−n−ペンチル−2−(1
−エトキシ)エトキシナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),1.23(t,3H,末端CH3),1.
29〜1.48(m,4H,CH2),1.54(d,
3H,分岐CH3),1.56〜1.78(m,2H,
CH2),2.63(t,2H,CH2),3.50〜
3.68(m,1H,OCH2),3.75〜3.91
(m,1H,OCH2),5.42(q,1H,分岐O
CH),7.24〜7.37(m,2H,C10H6),
7.59(d,2H,C10H6),7.68〜7.80
(q,2H,C10H6)。
シ−N−(4−エチルフェニル)カーバメート(化合物
89)の合成
ノールを実施例42のステップ(ii)で合成した4−
(ヒドロキシフェニル)−N−(4−エチルフェニル)
カーバメートに代える以外、実施例1と同様にして4−
(1−エトキシ)エトキシ−N−(4−エチルフェニ
ル)カーバメートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.12(t,3
H,CH3),1.23(t,3H,末端CH3),1.
54(d,3H,分岐CH3),2.63(t,2H,
CH2),3.50〜3.68(m,1H,OCH2),
3.75〜3.91(m,1H,OCH2),5.42
(q,1H,分岐OCH),6.87(s,1H,N
H),7.14〜7.21(m,6H,C6H4),7.
35(d,2H,C6H4)。
rt−ブトキシカルボニルビニル)ベンゼン(化合物9
0)の合成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
1,3,5−トリブロモベンゼンに代える以外、実施例
44と同様にして1,3,5−トリ(2−tert−ブ
トキシカルボニルビニル)ベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,27
H,tert−Bu),6.42(d,3H,CH=C
H),7.56(d,3H,CH=CH),7.60
(s,3H,C6H4)。
シカルボニルビニル)−4−(trans−4’−n−
プロピルシクロヘキシル)ベンゼン(化合物91)の合成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
1−(trans−4−n−プロピルシクロヘキシル)
−4−ブロモベンゼンに代える以外、実施例44と同様
にして1−(2−tert−ブトキシカルボニルビニ
ル)−4−(trans−4’−n−プロピルシクロヘ
キシル)ベンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),0.95〜1.50(m,9H,C2H4
とC6H10),1.55(s,9H,tert−B
u),1.80〜1.98(m,4H,C6H10),
2.39〜2.59(m,1H,C6H10),6.32
(d,1H,CH=CH),7.21(d,2H,C6
H4),7.42(d,2H,C6H4),7.56
(d,1H,CH=CH)。
ブトキシカルボニルビニル)ベンゼン(化合物92)の合
成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
p−ジブロモベンゼンに,再結晶溶媒をメタノールから
エタノールに代える以外、実施例44と同様にして1,
4−ジ(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)ベ
ンゼンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.54(s,18
H,tert−Bu),6.39(d,2H,CH=C
H),7.51(s,4H,C6H4),7.56(d,
2H,CH=CH)。
−ジ(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)ベン
ゼン(化合物93)の合成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
2,5−ジフルオロ−1,4−ジブロモベンゼンに,再
結晶溶媒をメタノールからヘキサンに代える以外、実施
例44と同様にして1,4−ジフルオロ−2,5−ジ
(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)ベンゼン
を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),6.44(d,2H,CH=C
H),7.22〜7.39(m,2H,C6H4),7.
59(d,2H,CH=CH)。
ert−ブトキシカルボニルビニル)フェニル]ヘキサ
フルオロプロパン(化合物94)の合成
メチルスルホニルオキシ)フェニル]ヘキサフルオロプ
ロパンの合成 2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオ
ロプロパン5.0g(14.9mmol)を脱水ピリジ
ン(C5H5N)50mlに溶解し、さらに無水トリフル
オロメタンスルホン酸8.8g(31.2mmol)を
氷冷下で加えて室温で24時間反応させた。反応溶液を
氷水の中へ投入後、塩酸を加えて系内を酸性にした。生
じた固体をろ過、水洗、乾燥後、ヘキサンで再結晶する
ことにより2,2−ビス[4−(トリフルオロメチルス
ルホニルオキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン
7.07g(11.8mmol)を得た。 (ii)2,2−ビス[4−(2−tert−ブトキシカ
ルボニルビニル)フェニル]ヘキサフルオロプロパンの
合成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した2,2−ビス[4−(トリフルオロメ
チルスルホニルオキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロ
パンに代え、実施例44と同様にして合成した後、シリ
カゲルカラムクロマトグラフィー(溶出液:ヘキサン/
酢酸エチル=95/5)にて精製することにより2,2
−ビス[4−(2−tert−ブトキシカルボニルビニ
ル)フェニル]ヘキサフルオロプロパンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),6.40(d,2H,CH=C
H),7.39(d,4H,C6H4),7.51(d,
4H,C6H4),7.57(d,2H,CH=CH)。
−ブトキシカルボニルビニル)ビフェニル(化合物95)
の合成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
4,4’−ジブロモビフェニルに,再結晶溶媒をメタノ
ールからエタノールに代える以外、実施例44と同様に
して4,4’−ジ(2−tert−ブトキシカルボニル
ビニル)ビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,18
H,tert−Bu),6.51(d,2H,CH=C
H),7.50〜7.68(m,10H,C6H4とCH
=CH)。
ェニル−4−(2−tert−ブトキシカルボニルビニ
ル)ベンジルエーテル(化合物96)の合成
−4−ブロモベンジルエーテルの合成実施例27のステ
ップ(i)において、4−(ベンジルオキシ)フェノー
ルを実施例27のステップ(ii)で合成した1−(n−
プロピルオキシ)フェノールに,n−プロピルブロマイ
ドをp−ブロモベンジルブロマイドに代える以外、実施
例27のステップ(i)と同様にして4’−n−プロピ
ルオキシフェニル−4−ブロモベンジルエーテルを得
た。 (ii)4’−n−プロピルオキシフェニル−4−(2−
tert−ブトキシカルボニルビニル)ベンジルエーテ
ルの合成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した4’−(n−プロピルオキシ)フェニ
ル−4−ブロモベンジルエーテルに,再結晶溶媒をメタ
ノールからヘキサンに代える以外、実施例44と同様に
して4’−n−プロピルオキシフェニル−4−(2−t
ert−ブトキシカルボニルビニル)ベンジルエーテル
を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.01(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.69〜1.79(m,2H,CH2),3.
88(t,2H,OCH2),5.01(s,2H,O
CH2),6.36(d,1H,CH=CH),6.7
4〜6.92(m,4H,C6H4),7.34〜7.5
5(m,4H,C6H4),7.58(d,1H,CH=
CH)。
ブトキシカルボニルビニル)ナフタレン(化合物97)の
合成
ルホニルオキシ)ナフタレンの合成 実施例94のステップ(i)において、2,2−ビス
(4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンを
2,6−ジヒドロキシナフタレンに代え、実施例94の
ステップ(i)と同様にして合成した後、メタノールで
再結晶することにより2,6−ジ(トリフルオロメチル
スルホニルオキシ)ナフタレンを得た。 (ii)2,6−ジ(2−tert−ブトキシカルボニル
ビニル)ナフタレンの合成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した2,6−ジ(トリフルオロメチルスル
ホニルオキシ)ナフタレンに,再結晶溶媒をメタノール
からアセトンに代える以外、実施例44と同様にして
2,6−ジ(2−tert−ブトキシカルボニルビニ
ル)ナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.56(s,18
H,tert−Bu),6.50(d,2H,CH=C
H),7.62〜7.92(m,8H,C10H 6とCH
=CH)。
(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)ビフェニ
ル(化合物98)の合成
トキシカルボニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルを
4−n−プロピル−4’−ブロモビフェニルに,再結晶
溶媒をメタノールからヘキサンに代える以外、実施例4
4と同様にして4−n−プロピル−4’−(2−ter
t−ブトキシカルボニルビニル)ビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.99(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.60〜1.82(m,2H,CH2),2.
64(t,2H,CH2),6.39(d,1H,CH
=CH),7.26(d,2H,C6H4),7.48〜
7.68(m,7H,C6H4とCH=CH)。
−4−(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)ベ
ンジルエーテル(化合物99)の合成
ブロモベンジルエーテルの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールを4−n−プロピルフェノールに,
n−プロピルブロマイドをp−ブロモベンジルブロマイ
ドに代える以外、実施例27のステップ(i)と同様に
して4’−n−プロピルフェニル−4−ブロモベンジル
エーテルを得た。 (ii)4’−n−プロピルフェニル−4−(2−ter
t−ブトキシカルボニルビニル)ベンジルエーテルの合
成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した4’−n−プロピルフェニル−4−ブ
ロモベンジルエーテルに,再結晶溶媒をメタノールから
ヘキサンに代える以外、実施例44と同様にして4’−
n−プロピルフェニル−4−(2−tert−ブトキシ
カルボニルビニル)ベンジルエーテルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.91(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.53〜1.719(m,2H,CH2),
2.52(t,2H,CH2),5.06(s,2H,
OCH2),6.37(d,1H,CH=CH),6.
88(d,2H,C6H4),7.09(d,2H,C6
H4),7.43(d,2H,C6H4),7.52
(d,2H,C6H4),7.59(d,1H,CH=C
H)。
ル−4−(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)
ベンゾエート(化合物100)の合成
ブロモベンゾエートの合成 実施例24のステップ(iii)において、4−プロピル
オキシ安息香酸と4−(tert−ブトキシカルボニル
オキシ)フェノールを、4−n−ペンチルフェノールと
p−ブロモ安息香酸(HOOCPhBr)に代える以
外、実施例24のステップ(iii)と同様にして4’−
n−ペンチルフェニル−4−ブロモベンゾエートを得
た。 (ii)4’−n−ペンチルフェニル−4−(2−ter
t−ブトキシカルボニルビニル)ベンゾエートの合成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した4’−n−ペンチルフェニル−4−ブ
ロモベンゾエートに,再結晶溶媒をメタノールからヘキ
サンに代える以外、実施例44と同様にして4’−n−
ペンチルフェニル−4−(2−tert−ブトキシカル
ボニルビニル)ベンゾエートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),1.24〜1.48(m,4H,C
2H4),1.55(s,9H,tert−Bu),1.
58〜1.75(m,2H,CH2),2.64(t,
2H,CH2),6.49(d,1H,CH=CH),
7.11(d,2H,C6H4),7.23(d,2H,
C6H4),7.62(d,2H,C6H4),7.63
(d,1H,CH=CH),8.19(d,2H,C6
H4)。
−4−(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)ビ
フェニル(化合物101)の合成
ロモビフェニルの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールを4’−ヒドロキシ−4−ブロモビ
フェニルに,n−プロピルブロマイドをn−ペンチルブ
ロマイドに,再結晶溶媒をメタノールからエタノールに
代える以外、実施例27のステップ(i)と同様にして
4’−n−ペンチルオキシ−4−ブロモビフェニルを得
た。 (ii)4’−n−ペンチルオキシ−4−(2−tert
−ブトキシカルボニルビニル)ビフェニルの合成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した4’−n−ペンチルオキシ−4−ブロ
モビフェニルに,再結晶溶媒をメタノールからヘキサン
に代える以外、実施例44と同様にして4’−n−ペン
チルオキシ−4−(2−tert−ブトキシカルボニル
ビニル)ビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.94(t,3
H,CH3),1.30〜1.55(m,4H,C
2H4),1.55(s,9H,tert−Bu),1.
74〜1.90(m,2H,CH2),4.00(t,
2H,OCH2),6.39(d,1H,CH=C
H),6.98(d,2H,C6H4),7.50〜7.
61(d,6H,C6H4),7.61(d,1H,CH
=CH)。
6−(2−tert−ブトキシカルボニルビニル)ナフ
タレン(化合物102)の合成
モナフタレンの合成 実施例27のステップ(i)において、4−(ベンジル
オキシ)フェノールを2−ヒドロキシ−6−ブロモナフ
タレンに,再結晶溶媒をメタノールからヘキサンに代え
る以外、実施例27のステップ(i)と同様にして2−
n−プロピルオキシ−6−ブロモナフタレンを得た。 (ii)2−n−プロピルオキシ−6−(2−tert−
ブトキシカルボニルビニル)ナフタレンの合成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した2−(n−プロピルオキシ)−6−ブ
ロモナフタレンに,再結晶溶媒をメタノールからヘキサ
ンに代える以外、実施例44と同様にして2−n−プロ
ピルオキシ−6−(2−tert−ブトキシカルボニル
ビニル)ナフタレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.09(t,3
H,CH3),1.55(s,9H,tert−B
u),1.78〜1.99(m,2H,CH2),4.
05(t,2H,OCH2),6.43(d,1H,C
H=CH),7.09〜7.20(m,2H,C
10H6),7.57〜7.88(m,5H,C6H4とC
H=CH)。
tert−ブトキシカルボニルビニル)フェニル]フル
オレン(化合物103)の合成
メチルスルホニルオキシ)フェニル]フルオレンの合成 実施例94のステップ(i)において、2,2−ビス
(4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンを
9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンに
代え、実施例94のステップ(i)と同様にして合成し
た後、ヘキサン/酢酸エチル混合溶媒で再結晶すること
により9,9−ビス[4−(トリフルオロメチルスルホ
ニルオキシ)フェニル]フルオレンを得た。 (ii)9,9−ビス[4−(2−tert−ブトキシカ
ルボニルビニル)フェニル]フルオレンの合成 実施例44において、4−(tert−ブトキシカルボ
ニルオキシ)−4’−ブロモビフェニルをステップ
(i)で合成した9,9−ビス[4−(トリフルオロメ
チルスルホニルオキシ)フェニル]フルオレンに,トリ
フェニルホスフィンをトリ−o−トリルホスフィンに代
え、実施例44と同様にして合成した後、シリカゲルカ
ラムクロマトグラフィー(溶出液:トルエン)にて精製
することにより9,9−ビス[4−(2−tert−ブ
トキシカルボニルビニル)フェニル]フルオレンを得
た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.53(s,18
H,tert−Bu),6.29(d,2H,CH=C
H),7.08〜7.45(m,14H,C6H4とC13
H8),7.51(d,2H,CH=CH),7.78
(d,2H,C 13H8)。
チル)テレフタレート(化合物104)の合成
mmol)を脱水ピリジン50mlに溶解し、さらにt
ert−ブタノール4.0g(54.1mmol)を加
えて室温で24時間反応させた。反応溶液を氷水の中へ
投入し、塩酸を加えて系内を酸性にした後、生じた沈殿
をろ過、水洗、乾燥後、メタノールで再結晶することに
より1,4−ジ(tert−ブチル)テレフタレート
6.1g(21.9mmol)を得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.60(s,18
H,tert−Bu),8.02(s,4H,C
6H4)。
t−ブチル)トリメセート(化合物105)の合成
リドをトリメシン酸クロリドに代える以外、実施例10
4と同様にして1,3,5−トリ(tert−ブチル)
トリメセートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.60(s,27
H,tert−Bu),8.72(s,3H,C
6H3)。
トキシカルボニル)フェニル]−2−(4−n−プロピ
ルオキシフェニル)アセチレン(化合物106)の合成
ベンゾエートの合成 実施例104において、テレフタル酸クロリドを4−ブ
ロモベンゾイルクロリドに代える以外、実施例104と
同様にして1−[4−(tert−ブトキシカルボニ
ル)フェニル]−2−(4−n−プロピルオキシフェニ
ル)アセチレンを得た。 (ii)1−[4−(tert−ブトキシカルボニル)フ
ェニル]−2−(4−n−プロピルオキシフェニル)ア
セチレンの合成 実施例31のステップ(i)において、1−n−プロピ
ル−4−ブロモベンゼンとトリメチルシリルアセチレン
をステップ(i)で合成した1−tert−ブチル−4
−ブロモベンゾエートと実施例32のステップ(iii)
で合成した4−n−プロピルオキシフェニルアセチレン
に代える以外、実施例31のステップ(i)と同様にし
て反応させた後、反応溶液を氷水の中へ投入して、塩酸
を加えて系内を酸性にした。生じた固体を濾過・水洗乾
燥後、ヘキサンで再結晶することにより1−[4−(t
ert−ブトキシカルボニル)フェニル]−2−(4−
n−プロピルオキシフェニル)アセチレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.06(t,3
H,CH3),1.60(s,9H,tert−B
u),1.73〜1.91(m,2H,CH2),3.
95(t,2H,OCH2),6.88(d,2H,C6
H4),7.48(d,2H,C6H4),7.53
(d,2H,C6H4),7.95(d,2H,C
6H4)。
トキシカルボニル)フェニル]−2−(4−n−プロピ
ルフェニル)アセチレン(化合物107)の合成
−n−プロピル−4−ブロモベンゼンとトリメチルシリ
ルアセチレンを実施例106のステップ(i)で合成し
た1−tert−ブチル−4−ブロモベンゾエートと実
施例31のステップ(ii)で合成した4−n−プロピル
フェニルアセチレンに代える以外、同様にして反応させ
た後、反応溶液を氷水の中へ投入して、塩酸を加えて系
内を酸性にした。生じた固体を濾過・水洗乾燥後、ヘキ
サンで再結晶することにより1−[4−(tert−ブ
トキシカルボニル)フェニル]−2−(4−n−プロピ
ルフェニル)アセチレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.95(t,3
H,CH3),1.59(s,9H,tert−B
u),1.59〜1.75(m,2H,CH2),2.
60(t,2H,CH2),7.18(d,2H,C6H
4),7.46(d,2H,C6H4),7.55(d,
2H,C6H4),7.96(d,2H,C6H4)。
シ)−4−(tert−ブトキシカルボニル)ビフェニ
ル(化合物108)の合成
息香酸エチルの合成 実施例33のステップ(i)において、4−n−プロピ
ル安息香酸を4−(4−ヒドロキシフェニル)安息香酸
に,メタノールをエタノールに代える以外、実施例33
のステップ(i)と同様にして合成した後、トルエンで
再結晶することにより4−(4−ヒドロキシフェニル)
安息香酸エチルを得た。 (ii)4−(4−n−プロピルオキシフェニル)安息香
酸の合成 実施例24のステップ(ii)において、4−ヒドロキシ
安息香酸メチルをステップ(i)で合成した4−(4−
ヒドロキシフェニル)安息香酸エチルに代える以外、実
施例24のステップ(ii)と同様にして4−(4−n−
プロピルオキシフェニル)安息香酸エチルを得た。 (iii)4’−(n−プロピルオキシ)−4−(ter
t−ブトキシカルボニル)ビフェニルの合成 ステップ(ii)で合成した4−(4−n−プロピルオキ
シフェニル)安息香酸5.0g(19.5mmol)に
塩化チオニル10mlを加え一晩還流した。過剰の塩化
チオニルを除去した後、実施例104と同様にして4’
−(n−プロピルオキシ)−4−(tert−ブトキシ
カルボニル)ビフェニルを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.07(t,3
H,CH3),1.61(s,9H,tert−B
u),1.78〜1.94(m,2H,CH2),3.
99(t,2H,OCH2),6.99(d,2H,C6
H4),7.55(d,2H,C6H4),7.60
(d,2H,C6H4),8.02(d,2H,C
6H4)。
ロピルシクロヘキシル)−1−tert−ブチルベンゾ
エート(化合物109)の合成
クロヘキシル)安息香酸の合成 マグネシウム0.88g(36.7mmol)と1−
(trans−4−n−プロピルシクロヘキシル)−4
−ブロモベンゼン10.0g(35.6mmol)を溶
かした乾燥テトラハイドロフラン50mlの溶液から調
整したGrignard試薬を、ドライアイスに投入し
た。ドライアイスが気化後、塩酸水を加え生じた沈殿を
ろ過、水洗乾燥後、トルエンで再結晶することにより、
p−(trans−4−プロピルシクロヘキシル)安息
香酸7.5g(30.5mmol)を得た。 (ii)4−(trans−4−プロピルシクロヘキシ
ル)−1−tert−ブチルベンゾエートの合成 実施例108の(iii)において、4−(4−n−プロ
ピルオキシフェニル)安息香酸をステップ(i)で合成
したp−(trans−4−プロピルシクロヘキシル)
安息香酸に代える以外、実施例108の(iii)と同様
にして合成した後、エタノールで再結晶することにより
4−(trans−4−プロピルシクロヘキシル)−1
−tert−ブチルベンゾエートを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.90(t,3
H,CH3),0.95〜1.55(m,9H,C2H4
とC6H10),1.55(s,9H,tert−B
u),1.84〜1.99(m,4H,C6H10),
2.49〜2.67(m,1H,C6H10),7.35
(d,2H,C6H4),8.06(d,2H,C
6H4)。
ェニル)−1−tert−ブチルベンゾエート(化合物
110)の合成
安息香酸の合成 実施例109のステップ(i)において、1−(tra
ns−4−n−プロピルシクロヘキシル)−4−ブロモ
ベンゼンを4−n−プロピル−4’−ブロモビフェニル
に代える以外、実施例109のステップ(i)と同様に
して4−(4−n−プロピルフェニル)安息香酸を得
た。 (ii)4−(4−n−プロピルフェニル)−1−ter
t−ブチルベンゾエートの合成 実施例108の(iii)において、4−(4−n−プロ
ピルオキシフェニル)安息香酸をステップ(i)で合成
した4−(4−n−プロピルフェニル)安息香酸に代え
る以外、実施例108の(iii)と同様にして合成した
後、エタノールで再結晶することにより4−(4−n−
プロピルフェニル)−1−tert−ブチルベンゾエー
トを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:0.98(t,3
H,CH3),1.60(s,9H,tert−B
u),1.60〜1.80(m,2H,CH2),2.
65(t,2H,CH2),7.28(d,2H,C6H
4),7.55(d,2H,C6H4),7.63(d,
2H,C6H4),8.04(d,2H,C6H4)。
トキシカルボニルオキシ)フェニル]9−[4−ヒドロ
キシフェニル]フルオレン(化合物111)の合成
ルジカーボネートを9,9−ビス(4−ヒドロキシフェ
ニル)フルオレンに対して1/2モル用い、シリカゲルカ
ラム(溶出液:ヘキサン/酢酸エチル=7/3)で精製す
る以外、実施例20と同様にして9−[4−(tert
−ブトキシカルボニルオキシ)フェニル]9−[4−ヒ
ドロキシフェニル]フルオレンを得た。1 H−NMR(CDCl3)ppm:1.55(s,9
H,tert−Bu),6.67(d,2H,C
6H4),7.00(d,2H,C6H4),7.06
(d,2H,C6H4),7.19(d,2H,C
6H4),7.22〜7.39(m,6H,C13H8),
7.75(d,2H,C13H8)。
で得られた光活性物質を含む感光性樹脂組成物の評価) (1)感光性樹脂の調製 ヒドロキシル基のうち35モル%を1−エトキシエトキ
シ基で保護した平均分子量9,000のポリビニルフェ
ノール樹脂0.5重量部に、ヒドロキシル基のうち37
モル%をt−BOC(tert−ブトキシカルボニルオ
キシ)基で置換した平均分子量8,500のポリビニル
フェノール樹脂0.5重量部を加え、下記式(A)で表
される光酸発生剤0.02重量部を添加し、溶媒として
のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
6重量部を混合することによりポジ型フォトレジストを
調製した。
に示す割合で実施例で得られた光活性化合物を添加し、
フッ素樹脂(ポリテトラフルオロエチレン)(0.2μ
m)製フィルターで濾過して感光性樹脂組成物を得た。
なお、表1に示す割合は、前記感光性樹脂溶液の溶剤を
除く固形分に対する割合である。
処理した後、前記ステップ(2)で得られた感光性樹脂
組成物を、スピンコーターを用いて乾燥後の膜厚が0.
4μmとなるように塗布し、ホットプレートにて100
℃で1分間加熱した。次いで、248nm(KrFエキ
シマーレーザー)の露光波長を有する縮小投影露光機
(キャノン(株)製、FPA−3000EX5,NA=
0.63)を用いて、線幅の異なるラインアンドスペー
スパターンを有するテストマスクを介して、露光量を段
階的に変えて露光した。このウエハーをホットプレート
にて100℃で1分間加熱した後、2.38重量%のテ
トラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液で1
分間パドル現像してポジ型パターンを得た。
して各特性を評価した。 (i)感度:ライン幅0.25μmのライン:スペース=
1:1がマスク寸法どおりになる露光量で表示した。
(値が小さいほど高感度で良好) (ii)γ(ガンマ)値:露光量の対数に対する規格化した
残膜厚(初期膜厚を1としたときの膜厚)の変化(いわ
ゆる感度曲線)をプロットし、残膜厚が0となる点で接
線を引き、この接線の傾きをγ(ガンマ)値とした。
(この値が高いほどコントラストが大きく良好) (iii)解像度:ライン幅0.25μmのライン:スペー
ス=1:1がマスク寸法どおりになる露光量でラインが
分離する最小寸法で表示した。(値が小さいほど高解像
度で良好) 結果を表1及び表2に示す。なお、表1には比較例とし
て、光活性化合物を含有しない感光性樹脂組成物の感度
及び解像度も記した。
シ)エトキシ−4−イソプロピルベンゼンの1H−NM
Rスペクトルである。
カルボニルオキシ)−4−イソプロピルベンゼンの1H
−NMRスペクトルである。
Claims (22)
- 【請求項1】 感光剤と組み合わせて用いられる光活性
化合物であって、下記式(1)で表される光活性化合
物。 A−[(J)m−(X−Pro)]n (1) (式中、Aは、炭化水素基及び複素環基から選択された
少なくとも一種の疎水性基で構成された疎水性ユニット
を示し、Jは連結基を示し、X−Proは光照射に起因
して脱離可能な保護基Proで保護された親水性基を示
す。mは0又は1、nは1以上の整数である) - 【請求項2】 保護基Proが、光照射により、感光剤
と関連して脱離可能である請求項1記載の光活性化合
物。 - 【請求項3】 保護基Proが、疎水性保護基であり、
この疎水性保護基の脱離により、ヒドロキシル基又はカ
ルボキシル基を生成可能である請求項1記載の光活性化
合物。 - 【請求項4】 保護基Proが、(i)アルコキシアルキ
ル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、オキサシク
ロアルキル基、架橋環式脂環族基、及びアルキルシリル
基から選択されたヒドロキシル基に対する保護基、又は
(ii)アルキル基、橋架環式脂環族炭化水素基、オキサシ
クロアルキル基、ラクトン環基、及びカルバモイル基又
はN−置換カルバモイル基から選択されたカルボキシル
基に対する保護基である請求項1記載の光活性化合物。 - 【請求項5】 式(1)において、疎水性ユニットA
が、脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基又は芳香族炭
化水素基で構成され、親水性基がヒドロキシル基又はカ
ルボキシル基であり、保護基Proが、(i)C1-6アルキ
ル−カルボニル基、C1-6アルコキシ−C1-6アルキル
基、C1-6アルコキシ−カルボニル基、オキサシクロア
ルキル基、ビ又はトリシクロアルキル基、及びC1-6ア
ルキルシリル基から選択されたヒドロキシル基に対する
保護基、又は(ii)C1-6アルキル基、ビ又はトリシクロ
アルキル基、カルバモイル基、N−C1-6アルキル−カ
ルバモイル基及びN−C6-10アリール−カルバモイル基
から選択されたカルボキシル基に対する保護基である請
求項1記載の光活性化合物。 - 【請求項6】 連結基Jが、アルキレン基、アルケニレ
ン基、アルキニレン基、シクロアルキレン基、アリーレ
ン基、オキシアルキレン基、アルキレンオキシ基、ポリ
(オキシアルキレン)基、エーテル基、チオエーテル
基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、オキシカルボ
ニル基、アミド基、ウレタン基、又は尿素基である請求
項1記載の光活性化合物。 - 【請求項7】 式(1)において、nが1〜10の整数
である請求項1記載の光活性化合物。 - 【請求項8】 下記式(3b) 【化1】 (式中、Z1は、同一又は異なって、炭化水素環又は複
素環を示し、R1は同一又は異なって、ハロゲン原子、
アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、
シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、又はケ
イ素含有基を示し、rは0又は1以上の整数を示す。
J、m、X、Pro、nは前記に同じ)で表される請求
項1記載の光活性化合物。 - 【請求項9】 Z1がC4-40脂環族炭化水素環又はC
6-40芳香族炭化水素環であり、R1が、同一又は異なっ
て、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、シクロ
アルキル基、又はケイ素含有基であり、rが0〜4であ
り、Jが、アルキレン基、アルケニレン基、又はアルキ
ニレン基であり、mが0又は1、nが1〜6である請求
項9記載の光活性化合物。 - 【請求項10】 下記式(4b) 【化2】 (式中、Z2及びZ3は、同一又は異なって、炭化水素環
又は複素環を示し、A3は、アルキレン基、アルケニレ
ン基、アルキニレン基、シクロアルキレン基、アリーレ
ン基、オキシアルキレン基、アルキレンオキシ基、エー
テル基、チオエーテル基、カルボニル基、カルボニルオ
キシ基、オキシカルボニル基、アミド基、ウレタン基、
尿素基、スルホニル基から選択された連結基を示し、s
及びuは同一又は異なって0又は1である。J1a及びJ
1bは同一又は異なってA3と異なる連結基を示し、R1a
及びR1bは同一又は異なってハロゲン原子、アルキル
基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、シクロア
ルキル基、アリール基、アラルキル基、又はケイ素含有
基を示し、n1及びn2はそれぞれ独立して0又は1以
上の整数であり、n1+n2≧1である。r、m、X、
Proは前記に同じ)で表される請求項1記載の光活性
化合物。 - 【請求項11】 連結基A3が、直接結合、アルキレン
基、アルケニレン基、アルキニレン基、オキシアルキレ
ン基、アルキレンオキシ基、エーテル基、チオエーテル
基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、オキシカルボ
ニル基、アミド基、ウレタン基、尿素基又はスルホニル
基であるとき、u=0であり、連結基A3が、シクロア
ルキレン基又はアリーレン基であるとき、u=1である
請求項10記載の光活性化合物。 - 【請求項12】 連結基A3が、シクロアルキレン基又
はアリーレン基であるとき、連結基J1a及びJ1bが直接
結合又はアルキレン基である請求項10記載の光活性化
合物。 - 【請求項13】 連結基A3が、シクロアルキレン基又
はアリーレン基であるとき、連結基J1a及びJ1bが、ハ
ロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール
基から選択された置換基を有していてもよいアルキレン
基である請求項10記載の光活性化合物。 - 【請求項14】 Z2-(J1a)u-(A3)s-(J1b)u-Z3で表
される疎水性ユニットが、(a)ビフェノール類、
(b)ビス(ヒドロキシアリール)C1-10アルカン類、
(c)ビス(ヒドロキシアリール)シクロアルカン類、
(d)A3がカルボニル基、酸素原子、エステル基、ア
ルキレンオキシ基、オキシアルキレン基、アミド基又は
スルホニル基であるビスフェノール類、(e)A3がベ
ンゼン環であり、J1a及びJ1bがアルキレン基であるビ
スフェノール類及び(h)フルオレン骨格を有するビス
フェノール類から選択された化合物に対応する疎水性ユ
ニットであり、n1+n2=1〜10である請求項10
記載の光活性化合物。 - 【請求項15】 ベース樹脂と感光剤と請求項1記載の
光活性化合物とで構成されている感光性樹脂組成物。 - 【請求項16】 水又はアルカリ現像可能である請求項
15記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項17】 ポジ型感光性樹脂組成物である請求項
15記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項18】 ベース樹脂が、酸の作用により親水性
基を生成可能な樹脂で構成され、感光剤が光酸発生剤で
構成されている請求項15記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項19】 ベース樹脂が、ヒドロキシル基及びカ
ルボキシル基から選択され、かつ酸の作用により脱離可
能な保護基で保護可能な親水性基を有する単量体の単独
又は共重合体で構成されている請求項15記載の感光性
樹脂組成物。 - 【請求項20】 光活性化合物と感光剤との割合(重量
比)が、前者/後者=0.01/1〜100/1である
請求項15記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項21】 感光剤の使用量が、ベース樹脂100
重量部に対して0.1〜50重量部であり、光活性化合
物の使用量が、ベース樹脂100重量部に対して1〜1
000重量部である請求項15記載の感光性樹脂組成
物。 - 【請求項22】 請求項15記載の感光性樹脂組成物を
基板に塗布し、露光した後、加熱処理し、さらに現像し
てパターンを形成する方法。
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