JP2002357562A - 欠陥を検出する検査方法及び検査装置 - Google Patents
欠陥を検出する検査方法及び検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検体の欠陥が感度よく検出され、欠陥場所
の特定及び記録が容易で、検査時間及び検査前後の前処
理、後処理時間が短い又は不要な検査方法及び検査装置
を提供する。 【解決手段】 被検体２０の欠陥を検出する検査方法で
ある。微粒子を発生させて、次に、発生した微粒子を被
検体２０内へ導入して、次に、指向性の強い光が被検体
２０の近傍を通過するように光を発生させて、前記光
が、被検体２０から排出される前記微粒子を照射するこ
とにより欠陥を可視化検出することを特徴とする被検体
２０の欠陥を検出する検査方法を提供する。微粒子を発
生させる微粒子発生手段と、前記微粒子を被検体２０内
へ導入する微粒子導入手段と、光が被検体２０の近傍を
通過し、被検体２０を通って排出される微粒子に照射
し、前記微粒子を可視化するように指向性の強い光を発
生させる光発生手段とを備えたことを特徴とする被検体
２０の欠陥を検出する検査装置を提供する。
の特定及び記録が容易で、検査時間及び検査前後の前処
理、後処理時間が短い又は不要な検査方法及び検査装置
を提供する。 【解決手段】 被検体２０の欠陥を検出する検査方法で
ある。微粒子を発生させて、次に、発生した微粒子を被
検体２０内へ導入して、次に、指向性の強い光が被検体
２０の近傍を通過するように光を発生させて、前記光
が、被検体２０から排出される前記微粒子を照射するこ
とにより欠陥を可視化検出することを特徴とする被検体
２０の欠陥を検出する検査方法を提供する。微粒子を発
生させる微粒子発生手段と、前記微粒子を被検体２０内
へ導入する微粒子導入手段と、光が被検体２０の近傍を
通過し、被検体２０を通って排出される微粒子に照射
し、前記微粒子を可視化するように指向性の強い光を発
生させる光発生手段とを備えたことを特徴とする被検体
２０の欠陥を検出する検査装置を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、被検体の欠陥を
検出する検査方法及び検査装置に関し、特に欠陥が感度
よく検出され、短時間で検査及び後処理をすることがで
きる被検体の欠陥の検査方法及び検査装置に関する。
検出する検査方法及び検査装置に関し、特に欠陥が感度
よく検出され、短時間で検査及び後処理をすることがで
きる被検体の欠陥の検査方法及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 欠陥を検出するための検査が必要な被
検体として、例えば多孔質体などが挙げられる。多孔質
体は、フィルターや触媒担体などに多く用いられてお
り、例えば内燃機関等の熱機関又はボイラー等の燃焼装
置の排気ガス浄化装置、液体燃料又は気体燃料の改質装
置、上下水の浄化処理装置等に多孔質体が用いられてい
る。また、ディーゼルエンジンから排出される排気ガス
のような含塵流体中に含まれる粒子状物質を捕集除去す
るためにハニカム形状の多孔質体がディーゼルパーティ
キュレートフィルターや高温ガス集塵装置として用いら
れている。
検体として、例えば多孔質体などが挙げられる。多孔質
体は、フィルターや触媒担体などに多く用いられてお
り、例えば内燃機関等の熱機関又はボイラー等の燃焼装
置の排気ガス浄化装置、液体燃料又は気体燃料の改質装
置、上下水の浄化処理装置等に多孔質体が用いられてい
る。また、ディーゼルエンジンから排出される排気ガス
のような含塵流体中に含まれる粒子状物質を捕集除去す
るためにハニカム形状の多孔質体がディーゼルパーティ
キュレートフィルターや高温ガス集塵装置として用いら
れている。
【０００３】 このような目的で使用される多孔質体
は、多孔質体の細孔中を被処理流体が通過する際に、不
要な粒子状物質を捕集除去したり、多孔質体の表面及び
細孔中に触媒を担持させ、触媒と被処理流体とを接触さ
せたりする働き等をする。このような働きを効率よく行
わせるために、薄い膜状や壁状の多孔質体をチューブ形
状、モノリス形状、ハニカム形状などの形状として被処
理流体との接触面積を増やすことが一般的に行われてい
る。従って、多孔質体の膜や壁を貫通するような穴、即
ち欠陥があると多孔質体の濾過性能や触媒担体としての
性能を発揮できない。また、多孔質体でない場合、欠陥
となる穴があると本来の性能が発揮できない場合は多々
ある。このような多孔質体や非多孔質体の欠陥を検査す
る最も簡易な方法は目視によるものである。
は、多孔質体の細孔中を被処理流体が通過する際に、不
要な粒子状物質を捕集除去したり、多孔質体の表面及び
細孔中に触媒を担持させ、触媒と被処理流体とを接触さ
せたりする働き等をする。このような働きを効率よく行
わせるために、薄い膜状や壁状の多孔質体をチューブ形
状、モノリス形状、ハニカム形状などの形状として被処
理流体との接触面積を増やすことが一般的に行われてい
る。従って、多孔質体の膜や壁を貫通するような穴、即
ち欠陥があると多孔質体の濾過性能や触媒担体としての
性能を発揮できない。また、多孔質体でない場合、欠陥
となる穴があると本来の性能が発揮できない場合は多々
ある。このような多孔質体や非多孔質体の欠陥を検査す
る最も簡易な方法は目視によるものである。
【０００４】 しかし、多孔質体や非多孔質体である被
検体の形状、検出すべき欠陥の位置、大きさによっては
検査が困難な場合がある。例えばハニカム構造体は、一
般に図８に示されるように、隔壁により仕切られた軸方
向（Ｘ方向）に貫通する多数の流通孔を有している。更
に図２に示されるように流通孔の端部は互い違いに封じ
られ、多孔質の隔壁により粒子状物質が捕集除去される
ように構成されている場合がある。従ってこのような構
造の隔壁の欠陥は外部から観察することはできない。
検体の形状、検出すべき欠陥の位置、大きさによっては
検査が困難な場合がある。例えばハニカム構造体は、一
般に図８に示されるように、隔壁により仕切られた軸方
向（Ｘ方向）に貫通する多数の流通孔を有している。更
に図２に示されるように流通孔の端部は互い違いに封じ
られ、多孔質の隔壁により粒子状物質が捕集除去される
ように構成されている場合がある。従ってこのような構
造の隔壁の欠陥は外部から観察することはできない。
【０００５】 このような被検体の欠陥の検査方法とし
て、従来は例えば、図８に示されるようなハニカム構造
体の上端面を白色の布で覆い、ディーゼル燃料軽油の燃
焼により発生させられたすす状物質をハニカム構造体の
下端面から流入させ、上端面から排出されるすす状物質
を白色の布に付着させることにより図７のような模様を
得て、欠陥を検出する方法が知られており、スートプリ
ント法と呼ばれている。この場合、すすが多く付着して
黒くなった部分に欠陥があることを示す。この方法は、
簡便であり欠陥のレベル検出及び欠陥場所の特定に優れ
ているが、すす状物質を用いるために、検査後にハニカ
ム構造体に付着したすす状物質を熱処理により取り除く
必要があり、このための後処理に数時間を要する。ま
た、１つの検体を検査するのに５〜６分の時間を必要と
する。
て、従来は例えば、図８に示されるようなハニカム構造
体の上端面を白色の布で覆い、ディーゼル燃料軽油の燃
焼により発生させられたすす状物質をハニカム構造体の
下端面から流入させ、上端面から排出されるすす状物質
を白色の布に付着させることにより図７のような模様を
得て、欠陥を検出する方法が知られており、スートプリ
ント法と呼ばれている。この場合、すすが多く付着して
黒くなった部分に欠陥があることを示す。この方法は、
簡便であり欠陥のレベル検出及び欠陥場所の特定に優れ
ているが、すす状物質を用いるために、検査後にハニカ
ム構造体に付着したすす状物質を熱処理により取り除く
必要があり、このための後処理に数時間を要する。ま
た、１つの検体を検査するのに５〜６分の時間を必要と
する。
【０００６】 他の方法は、ハニカム構造体を水中に入
れ、一方の端面からエア圧をかけ他方の端面からの発泡
現象により欠陥の有無を検査する方法である。この方法
の場合、後処理時間は前述のスートプリント法ほどかか
らないが、検査後に乾燥する必要があり、また検査前に
水中で脱泡する必要があり時間がかかる。
れ、一方の端面からエア圧をかけ他方の端面からの発泡
現象により欠陥の有無を検査する方法である。この方法
の場合、後処理時間は前述のスートプリント法ほどかか
らないが、検査後に乾燥する必要があり、また検査前に
水中で脱泡する必要があり時間がかかる。
【０００７】 また、多孔質体を形成させる場合、原料
を所定形状の成形体に成形した後、焼成することにより
気孔を形成させて多孔質体とする場合がある。従って、
焼成前の非多孔質体の状態で既に形成されている欠陥を
検出できれば、焼成前に欠陥品を排除することができ経
済的に有利である。
を所定形状の成形体に成形した後、焼成することにより
気孔を形成させて多孔質体とする場合がある。従って、
焼成前の非多孔質体の状態で既に形成されている欠陥を
検出できれば、焼成前に欠陥品を排除することができ経
済的に有利である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】 本発明の目的は、上
記事情に鑑み、外部から欠陥の確認できない形状の被検
体であっても、また、被検体が多孔質体であっても非多
孔質体であっても欠陥が感度よく検出される欠陥の検査
方法及び検査装置を提供することにある。本発明の他の
目的は、欠陥場所の特定が容易な、欠陥の検査方法及び
検査装置を提供することにある。本発明の更に他の目的
は、欠陥場所の記録が容易にできる欠陥の検査方法及び
検査装置を提供することにある。本発明の更に他の目的
は、検査時間及び検査前後の前処理、後処理時間が短い
又は不要な、欠陥の検査方法及び検査装置を提供するこ
とにある。
記事情に鑑み、外部から欠陥の確認できない形状の被検
体であっても、また、被検体が多孔質体であっても非多
孔質体であっても欠陥が感度よく検出される欠陥の検査
方法及び検査装置を提供することにある。本発明の他の
目的は、欠陥場所の特定が容易な、欠陥の検査方法及び
検査装置を提供することにある。本発明の更に他の目的
は、欠陥場所の記録が容易にできる欠陥の検査方法及び
検査装置を提供することにある。本発明の更に他の目的
は、検査時間及び検査前後の前処理、後処理時間が短い
又は不要な、欠陥の検査方法及び検査装置を提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】 本発明は第一に、欠陥
を検出する検査方法であって、微粒子を発生させた後、
発生させた前記微粒子を前記被検体内へ導入し、次い
で、前記被検体の近傍を通過するように指向性の強い光
を発生させて、前記光が、前記被検体から排出される前
記微粒子を照射して微粒子を可視化することを特徴とす
る欠陥を検出する検査方法を提供するものである。
を検出する検査方法であって、微粒子を発生させた後、
発生させた前記微粒子を前記被検体内へ導入し、次い
で、前記被検体の近傍を通過するように指向性の強い光
を発生させて、前記光が、前記被検体から排出される前
記微粒子を照射して微粒子を可視化することを特徴とす
る欠陥を検出する検査方法を提供するものである。
【００１０】 また、本発明の検査方法において、欠陥
場所の特定を容易にする観点から、上記光を面状に発生
させて、欠陥を二次元的に検出することが好ましい。更
に、検出場所の記録を容易にする観点から、可視化検出
された微粒子像をカメラにより記録することが好まし
い。更に、検出感度及び後処理の容易化の観点から、発
生させる微粒子の粒子径が０．３〜２００μｍであるこ
とが好ましく、０．５〜５０μｍであることが更に好ま
しく、１〜１０μｍであることが更により好ましい。ま
た、本発明の欠陥を検出する検査方法は、被検体が、多
孔質体であっても好適に用いることができ、更に被検体
がハニカム構造体、特にディーゼルパーティキュレート
フィルターである場合に好適に用いることができる。こ
の場合において、光が微粒子排出面近傍を微粒子排出面
と略平行に通過するように、光を発生させることが検出
感度の点で好ましい。
場所の特定を容易にする観点から、上記光を面状に発生
させて、欠陥を二次元的に検出することが好ましい。更
に、検出場所の記録を容易にする観点から、可視化検出
された微粒子像をカメラにより記録することが好まし
い。更に、検出感度及び後処理の容易化の観点から、発
生させる微粒子の粒子径が０．３〜２００μｍであるこ
とが好ましく、０．５〜５０μｍであることが更に好ま
しく、１〜１０μｍであることが更により好ましい。ま
た、本発明の欠陥を検出する検査方法は、被検体が、多
孔質体であっても好適に用いることができ、更に被検体
がハニカム構造体、特にディーゼルパーティキュレート
フィルターである場合に好適に用いることができる。こ
の場合において、光が微粒子排出面近傍を微粒子排出面
と略平行に通過するように、光を発生させることが検出
感度の点で好ましい。
【００１１】 本発明は第二に、欠陥を検出する検査装
置であって、微粒子を発生させる微粒子発生手段と、前
記微粒子発生手段で発生させた微粒子を被検体内へ導入
する微粒子導入手段と、前記被検体近傍を通過し、前記
被検体から排出される微粒子に照射し、前記微粒子を可
視化するように指向性の強い光を発生させる光発生手段
とを備えたことを特徴とする欠陥を検出する検査装置を
提供するものである。
置であって、微粒子を発生させる微粒子発生手段と、前
記微粒子発生手段で発生させた微粒子を被検体内へ導入
する微粒子導入手段と、前記被検体近傍を通過し、前記
被検体から排出される微粒子に照射し、前記微粒子を可
視化するように指向性の強い光を発生させる光発生手段
とを備えたことを特徴とする欠陥を検出する検査装置を
提供するものである。
【００１２】 また、検出場所の特定を容易にする観点
から、本発明の検査装置は、前記光発生手段が面状に光
を発生させる手段であることが好ましい。更に、欠陥場
所の記録を容易にする観点から、本発明の検査装置は、
可視化検出された微粒子像を記録する記録手段を更に備
えていることが好ましい。更に、検出感度及び後処理の
容易化の観点から、本発明の装置は、前記微粒子発生手
段が０．３〜２００μｍ、更に好ましくは０．５〜５０
μｍ、更により好ましくは１〜１０μｍの粒子径を有す
る微粒子を発生させる手段であることが好ましい。ま
た、本発明の欠陥を検出する検査装置は、被検体が多孔
質体であっても好適に用いることができ、更に被検体が
ハニカム構造体、特にディーゼルパーティキュレートフ
ィルターである場合に好適に用いることができるが、こ
の場合において、光発生手段が、微粒子排出面近傍を微
粒子排出面と略平行に通過するように光を発生させる手
段であることが検出感度の点で好ましい。
から、本発明の検査装置は、前記光発生手段が面状に光
を発生させる手段であることが好ましい。更に、欠陥場
所の記録を容易にする観点から、本発明の検査装置は、
可視化検出された微粒子像を記録する記録手段を更に備
えていることが好ましい。更に、検出感度及び後処理の
容易化の観点から、本発明の装置は、前記微粒子発生手
段が０．３〜２００μｍ、更に好ましくは０．５〜５０
μｍ、更により好ましくは１〜１０μｍの粒子径を有す
る微粒子を発生させる手段であることが好ましい。ま
た、本発明の欠陥を検出する検査装置は、被検体が多孔
質体であっても好適に用いることができ、更に被検体が
ハニカム構造体、特にディーゼルパーティキュレートフ
ィルターである場合に好適に用いることができるが、こ
の場合において、光発生手段が、微粒子排出面近傍を微
粒子排出面と略平行に通過するように光を発生させる手
段であることが検出感度の点で好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】 以下、本発明を好適な実施の形
態に基づいて説明するが本発明は以下の実施の形態に限
定されるものではない。
態に基づいて説明するが本発明は以下の実施の形態に限
定されるものではない。
【００１４】 本発明の検査方法の重要な特徴は、指向
性の強い光を発生させて、被検体の欠陥部分を通って排
出される微粒子に照射し微粒子を可視化検出することで
ある。この光を微粒子に照射することにより、外部から
欠陥が確認できない形状の被検体であっても欠陥を感度
よく検出することができる。
性の強い光を発生させて、被検体の欠陥部分を通って排
出される微粒子に照射し微粒子を可視化検出することで
ある。この光を微粒子に照射することにより、外部から
欠陥が確認できない形状の被検体であっても欠陥を感度
よく検出することができる。
【００１５】 以下、図２に示されるのハニカム構造体
の欠陥の検出を例に本発明の原理を詳細に説明するが本
発明はハニカム構造体にのみ適用できるのではなく、各
種の形状や材質の被検体に適用することができる。
の欠陥の検出を例に本発明の原理を詳細に説明するが本
発明はハニカム構造体にのみ適用できるのではなく、各
種の形状や材質の被検体に適用することができる。
【００１６】 図２に示されるハニカム構造体が多孔質
体である場合において、隔壁５８に欠陥６２のある流通
孔５６にＡ方向から微粒子が導入される。導入された微
粒子は欠陥６２を通って、微粒子排出面５４より排出さ
れる。微粒子排出面５４近傍のＢ方向に指向性の強い光
を照射しておくと排出された微粒子は光を乱反射させ可
視化される。ここで、より大きな欠陥がある場合、より
大きな微粒子がより多くその流通孔から排出されるが、
より大きな微粒子は光をより多く乱反射させる。従っ
て、より大きな欠陥のある箇所は、光をより多く乱反射
し、これにより欠陥のある流通孔を検出することができ
る。また、封止部６０に欠陥がある場合も、その欠陥の
ある流通孔から、より大きな粒子径の微粒子又はより多
くの微粒子が排出され、封止部に欠陥のある流通孔を検
出することができる。被検体が非多孔質の場合、例えば
図２に示されるハニカム構造体が焼成前の成形体である
場合、導入された微粒子は、隔壁５８又は封止部６０に
欠陥のある流通孔のみから排出され、排出された微粒子
が光を乱反射させ可視化される。これにより欠陥のある
流通孔を検出することができる。
体である場合において、隔壁５８に欠陥６２のある流通
孔５６にＡ方向から微粒子が導入される。導入された微
粒子は欠陥６２を通って、微粒子排出面５４より排出さ
れる。微粒子排出面５４近傍のＢ方向に指向性の強い光
を照射しておくと排出された微粒子は光を乱反射させ可
視化される。ここで、より大きな欠陥がある場合、より
大きな微粒子がより多くその流通孔から排出されるが、
より大きな微粒子は光をより多く乱反射させる。従っ
て、より大きな欠陥のある箇所は、光をより多く乱反射
し、これにより欠陥のある流通孔を検出することができ
る。また、封止部６０に欠陥がある場合も、その欠陥の
ある流通孔から、より大きな粒子径の微粒子又はより多
くの微粒子が排出され、封止部に欠陥のある流通孔を検
出することができる。被検体が非多孔質の場合、例えば
図２に示されるハニカム構造体が焼成前の成形体である
場合、導入された微粒子は、隔壁５８又は封止部６０に
欠陥のある流通孔のみから排出され、排出された微粒子
が光を乱反射させ可視化される。これにより欠陥のある
流通孔を検出することができる。
【００１７】 排出された微粒子が拡散することにより
感度が低下することを防止する観点から、光が微粒子排
出面の直上から５ｍｍまで、更に好ましくは排出面の直
上から３ｍｍまでの範囲内を通過することが好ましい。
光は平面状に通過するように発生させることが好ましい
が、光を面状に発生させるためには、光発生装置３０の
前にレンズ３２を備え、光を面状に拡散させることが好
ましい。また、光発生装置３０を走査させることによっ
ても光を面状に発生させることができる。光は指向性が
強く、本方法に用いられる微粒子により乱反射される波
長の光であれば特に制限はないが、レーザー光が好まし
く、固体レーザー、気体レーザー、半導体レーザー、色
素レーザー、エキシマレーザー、自由電子レーザーなど
を好適に用いることができる。また、光の波長にも特に
制限はなく、例えば６５０ｎｍ程度の赤色レーザー光、
５３２ｎｍ程度の緑色レーザー光、４００ｎｍ程度の紫
色レーザー光などを好適に用いることができる。
感度が低下することを防止する観点から、光が微粒子排
出面の直上から５ｍｍまで、更に好ましくは排出面の直
上から３ｍｍまでの範囲内を通過することが好ましい。
光は平面状に通過するように発生させることが好ましい
が、光を面状に発生させるためには、光発生装置３０の
前にレンズ３２を備え、光を面状に拡散させることが好
ましい。また、光発生装置３０を走査させることによっ
ても光を面状に発生させることができる。光は指向性が
強く、本方法に用いられる微粒子により乱反射される波
長の光であれば特に制限はないが、レーザー光が好まし
く、固体レーザー、気体レーザー、半導体レーザー、色
素レーザー、エキシマレーザー、自由電子レーザーなど
を好適に用いることができる。また、光の波長にも特に
制限はなく、例えば６５０ｎｍ程度の赤色レーザー光、
５３２ｎｍ程度の緑色レーザー光、４００ｎｍ程度の紫
色レーザー光などを好適に用いることができる。
【００１８】 次に本発明における検出方法の全体の構
成について説明する。先ず微粒子を発生させる。微粒子
を発生させる方法には、特に制限はなく、例えば線香な
どの香類を燃焼させる方法、グリコール類及び／又は水
を噴霧することによりこれらの微粒子を発生させる方
法、固体二酸化炭素、液体窒素、噴霧器、超音波加湿器
などにより水の微粒子を発生させる方法、市販の標準粒
子発生装置を用いる方法、炭酸カルシウム等の微粒子粉
末を振動装置やブロアなどで発塵させる方法などがあ
り、これらを用いることができる。微粒子発生手段によ
り発生させる微粒子の粒子径は、検査対象となる被検体
の形状や被検体が多孔質体の場合の細孔径などにより適
宜に選ぶことができる。例えば後述の実施例に示される
ように欠陥の種類と排出される微粒子の粒度分布の関係
を調べることにより検査対象に合った適切な粒子径を選
ぶことができるが（図３、図４参照）、被検体が多孔質
体の場合、粒子径が大きすぎると多孔質体の細孔内に捕
集される量が多くなりすぎ、後処理により除去する必要
が生じる。粒子径が小さすぎると、図４に示すように、
欠陥の有無により排出される微粒子量に差が現れにく
い。好ましい粒子径は前述のように０．３〜２００μ
ｍ、更に好ましくは０．５〜５０μｍ、更により好まし
くは１〜１０μｍである。但し、発生させる微粒子に上
記範囲外の粒子径を有する微粒子が含まれていても、上
記範囲の微粒子が本発明の目的を達成できる程度の量で
含まれていれば好ましい範囲に入る。また、発生させる
好ましい微粒子は経時変化により粒子径が変化しない微
粒子である。
成について説明する。先ず微粒子を発生させる。微粒子
を発生させる方法には、特に制限はなく、例えば線香な
どの香類を燃焼させる方法、グリコール類及び／又は水
を噴霧することによりこれらの微粒子を発生させる方
法、固体二酸化炭素、液体窒素、噴霧器、超音波加湿器
などにより水の微粒子を発生させる方法、市販の標準粒
子発生装置を用いる方法、炭酸カルシウム等の微粒子粉
末を振動装置やブロアなどで発塵させる方法などがあ
り、これらを用いることができる。微粒子発生手段によ
り発生させる微粒子の粒子径は、検査対象となる被検体
の形状や被検体が多孔質体の場合の細孔径などにより適
宜に選ぶことができる。例えば後述の実施例に示される
ように欠陥の種類と排出される微粒子の粒度分布の関係
を調べることにより検査対象に合った適切な粒子径を選
ぶことができるが（図３、図４参照）、被検体が多孔質
体の場合、粒子径が大きすぎると多孔質体の細孔内に捕
集される量が多くなりすぎ、後処理により除去する必要
が生じる。粒子径が小さすぎると、図４に示すように、
欠陥の有無により排出される微粒子量に差が現れにく
い。好ましい粒子径は前述のように０．３〜２００μ
ｍ、更に好ましくは０．５〜５０μｍ、更により好まし
くは１〜１０μｍである。但し、発生させる微粒子に上
記範囲外の粒子径を有する微粒子が含まれていても、上
記範囲の微粒子が本発明の目的を達成できる程度の量で
含まれていれば好ましい範囲に入る。また、発生させる
好ましい微粒子は経時変化により粒子径が変化しない微
粒子である。
【００１９】 次に発生した微粒子を検査対象である被
検体内へ導入する。導入する方法に特に制限はないが、
例えば発生した微粒子を粒子室に溜めて、一定濃度とし
てから一定圧力を加えることにより被検体内へ導入する
方法、又は被検体上部へダクトを設け、ファン等で排気
することにより、粒子室より微粒子を被検体内へ導入す
る方法などが好ましい。被検体内へ導入する微粒子の濃
度に特に制限はなく、指向性の強い光、例えばレーザー
光等により検出できる程度の濃度であって、欠陥部分と
それ以外の部分とのコントラストが明確になるような濃
度を適宜選択できる。加圧力に特に制限はなく被検体の
種類や形状等に応じて適宜選択することができるが、欠
陥の数が多いほど、又は欠陥の大きさが大きい程被検体
内の圧力損失は小さいため、小さい加圧力で欠陥の検出
が可能となるが、欠陥の数が少ないほど、又は欠陥の大
きさが小さいほど被検体内の圧力損失が大きく、大きな
加圧力を必要とする。また、加圧力が高いほど被検体か
ら排出される微粒子が層流で流れる距離が長くなり、被
検体から離れて光を通過させても検出できるようになる
が、被検体が多孔質体の場合には、加圧力が大きすぎる
と多量の微粒子が多孔質体を通って流出するため、微粒
子がより多く必要となることや、回収が困難になる等コ
スト上好ましくない。
検体内へ導入する。導入する方法に特に制限はないが、
例えば発生した微粒子を粒子室に溜めて、一定濃度とし
てから一定圧力を加えることにより被検体内へ導入する
方法、又は被検体上部へダクトを設け、ファン等で排気
することにより、粒子室より微粒子を被検体内へ導入す
る方法などが好ましい。被検体内へ導入する微粒子の濃
度に特に制限はなく、指向性の強い光、例えばレーザー
光等により検出できる程度の濃度であって、欠陥部分と
それ以外の部分とのコントラストが明確になるような濃
度を適宜選択できる。加圧力に特に制限はなく被検体の
種類や形状等に応じて適宜選択することができるが、欠
陥の数が多いほど、又は欠陥の大きさが大きい程被検体
内の圧力損失は小さいため、小さい加圧力で欠陥の検出
が可能となるが、欠陥の数が少ないほど、又は欠陥の大
きさが小さいほど被検体内の圧力損失が大きく、大きな
加圧力を必要とする。また、加圧力が高いほど被検体か
ら排出される微粒子が層流で流れる距離が長くなり、被
検体から離れて光を通過させても検出できるようになる
が、被検体が多孔質体の場合には、加圧力が大きすぎる
と多量の微粒子が多孔質体を通って流出するため、微粒
子がより多く必要となることや、回収が困難になる等コ
スト上好ましくない。
【００２０】 検査対象となる被検体は、欠陥が発生す
る可能性のあるものであれば、形状、材質、多孔質体の
場合の細孔径、用途等に特に制限はなく、あらゆる形
状、材質、多孔質体の場合の細孔径、用途等の被検体に
本発明の方法を適用可能であるが、例えば被検体が多孔
質体の場合においては、被処理流体が面状部分、特に好
ましくは平面状部分から排出される被検体であることが
好ましい。また、被検体が多孔質体、非多孔質体のいず
れの場合であっても、本発明において微粒子が面状部
分、特に好ましくは平面状部分から排出される被検体が
好ましい。本発明は被検体が多孔質体であっても適用で
きるため、被検体が多孔質体であることも好ましい。ま
た外部から直接欠陥を検出しにくい被検体、例えばハニ
カム構造体であることも好ましく、特に、ディーゼルパ
ーティキュレートフィルターや高温ガス集塵装置等に用
いられるものであることが更に好ましい。また、非多孔
質体であるが焼成することにより多孔質体となるもの、
例えば成形後、焼成前の状態のハニカム構造体などを被
検体とすることも焼成前の段階で欠陥を発見できるため
好ましい。このような場合には、一定形状に成形して、
形状を保つために乾燥した後に被検体とすることが好ま
しい。
る可能性のあるものであれば、形状、材質、多孔質体の
場合の細孔径、用途等に特に制限はなく、あらゆる形
状、材質、多孔質体の場合の細孔径、用途等の被検体に
本発明の方法を適用可能であるが、例えば被検体が多孔
質体の場合においては、被処理流体が面状部分、特に好
ましくは平面状部分から排出される被検体であることが
好ましい。また、被検体が多孔質体、非多孔質体のいず
れの場合であっても、本発明において微粒子が面状部
分、特に好ましくは平面状部分から排出される被検体が
好ましい。本発明は被検体が多孔質体であっても適用で
きるため、被検体が多孔質体であることも好ましい。ま
た外部から直接欠陥を検出しにくい被検体、例えばハニ
カム構造体であることも好ましく、特に、ディーゼルパ
ーティキュレートフィルターや高温ガス集塵装置等に用
いられるものであることが更に好ましい。また、非多孔
質体であるが焼成することにより多孔質体となるもの、
例えば成形後、焼成前の状態のハニカム構造体などを被
検体とすることも焼成前の段階で欠陥を発見できるため
好ましい。このような場合には、一定形状に成形して、
形状を保つために乾燥した後に被検体とすることが好ま
しい。
【００２１】 次に、上述のように、指向性の強い光が
検査対象である被検体の近傍を通過するように光を発生
させ、光が被検体から排出される微粒子に乱反射した像
を観察することにより、欠陥を検出することができる。
可視化された像を記録するためには写真機、光学ビデオ
カメラ、ＣＣＤカメラなどが好適に用いられる。
検査対象である被検体の近傍を通過するように光を発生
させ、光が被検体から排出される微粒子に乱反射した像
を観察することにより、欠陥を検出することができる。
可視化された像を記録するためには写真機、光学ビデオ
カメラ、ＣＣＤカメラなどが好適に用いられる。
【００２２】 以下、図１に従って本発明の検査装置に
ついて説明する。図１は本発明の検査装置の好適な一実
施形態を示したものである。図１において、本発明の検
査装置は、粒子室１、２つの設置台２２、光発生装置３
０として２つのレーザー光発生装置、２つのフード３
４、２つのＣＣＤカメラ３６を備える。尚、図１は２つ
の被検体を検査するように構成されているが、本発明の
検査装置は１つの被検体用でも３つあるいはそれ以上の
被検体用でもよい。
ついて説明する。図１は本発明の検査装置の好適な一実
施形態を示したものである。図１において、本発明の検
査装置は、粒子室１、２つの設置台２２、光発生装置３
０として２つのレーザー光発生装置、２つのフード３
４、２つのＣＣＤカメラ３６を備える。尚、図１は２つ
の被検体を検査するように構成されているが、本発明の
検査装置は１つの被検体用でも３つあるいはそれ以上の
被検体用でもよい。
【００２３】 粒子室１内には微粒子発生手段として線
香台３上に線香４が立てられ、線香４が燃焼することに
より、線香煙が発生するように構成されている。線香煙
は、粒子径が０．３〜１０μｍ程度の微粒子である。本
発明において微粒子発生手段には特に制限はなく、上記
線香などの香類を燃焼させる装置の他、グリコール類及
び／又は水を噴霧することによりこれらの微粒子を発生
させる装置、固体二酸化炭素、液体窒素、噴霧器、超音
波加湿器などにより水の微粒子を発生させる装置、市販
の標準微粒子発生装置、炭酸カルシウム等の微粒子粉末
を振動装置やブロアなどで発塵させる装置などがあり、
これらを用いることができる。微粒子発生手段は粒子室
１内にある必要はなく、粒子室外に微粒子発生手段を設
け、発生した微粒子を粒子室１内へ導入してもよい。
香台３上に線香４が立てられ、線香４が燃焼することに
より、線香煙が発生するように構成されている。線香煙
は、粒子径が０．３〜１０μｍ程度の微粒子である。本
発明において微粒子発生手段には特に制限はなく、上記
線香などの香類を燃焼させる装置の他、グリコール類及
び／又は水を噴霧することによりこれらの微粒子を発生
させる装置、固体二酸化炭素、液体窒素、噴霧器、超音
波加湿器などにより水の微粒子を発生させる装置、市販
の標準微粒子発生装置、炭酸カルシウム等の微粒子粉末
を振動装置やブロアなどで発塵させる装置などがあり、
これらを用いることができる。微粒子発生手段は粒子室
１内にある必要はなく、粒子室外に微粒子発生手段を設
け、発生した微粒子を粒子室１内へ導入してもよい。
【００２４】 粒子室１の上部には、該粒子室１から被
検体２０へ微粒子を導入する微粒子導入口６が設けられ
ており、微粒子導入手段として、加圧機構１０が設けら
れている。粒子室１内部は加圧機構１０により加圧さ
れ、粒子室１内の微粒子は微粒子導入口６を通って、検
査対象である被検体２０内へ導入される。粒子室１内の
圧力を一定に保つ観点から、加圧機構１０はレギュレー
タが備えられたコンプレッサーなどが好適に用いられ
る。好ましい加圧力は、被検体が多孔質体の場合は１〜
３０Ｐａであり、被検体が非多孔質の場合は１００〜２
００００Ｐａであるため、加圧機構は、このような範囲
の加圧力を付与できることが好ましい。
検体２０へ微粒子を導入する微粒子導入口６が設けられ
ており、微粒子導入手段として、加圧機構１０が設けら
れている。粒子室１内部は加圧機構１０により加圧さ
れ、粒子室１内の微粒子は微粒子導入口６を通って、検
査対象である被検体２０内へ導入される。粒子室１内の
圧力を一定に保つ観点から、加圧機構１０はレギュレー
タが備えられたコンプレッサーなどが好適に用いられ
る。好ましい加圧力は、被検体が多孔質体の場合は１〜
３０Ｐａであり、被検体が非多孔質の場合は１００〜２
００００Ｐａであるため、加圧機構は、このような範囲
の加圧力を付与できることが好ましい。
【００２５】 粒子室１には、圧力計１１及び微粒子濃
度計１３が備えられており、粒子室１内の圧力及び微粒
子濃度の管理が可能となる。更に、排出された微粒子を
粒子室１内へ戻すための、微粒子循環口８及び微粒子循
環管９が設けられている。図１における本発明の装置
は、２つの被検体２０の検査ができるように構成されて
おり、２つの微粒子導入口６にはシリンダー１７の上下
により微粒子導入口６の開閉が可能なように、各々シリ
ンダー１７と連結された微粒子導入口蓋１６が備えられ
ている。このシリンダー１７の上下により微粒子導入口
６の開閉が可能となり、使用しない微粒子導入口６を閉
じておくことが可能となる。
度計１３が備えられており、粒子室１内の圧力及び微粒
子濃度の管理が可能となる。更に、排出された微粒子を
粒子室１内へ戻すための、微粒子循環口８及び微粒子循
環管９が設けられている。図１における本発明の装置
は、２つの被検体２０の検査ができるように構成されて
おり、２つの微粒子導入口６にはシリンダー１７の上下
により微粒子導入口６の開閉が可能なように、各々シリ
ンダー１７と連結された微粒子導入口蓋１６が備えられ
ている。このシリンダー１７の上下により微粒子導入口
６の開閉が可能となり、使用しない微粒子導入口６を閉
じておくことが可能となる。
【００２６】 微粒子導入口６の上には、微粒子導入口
６につながる開口部を有する設置台２２が、被検体２０
を着脱可能に設置できるように設けられている。被検体
２０はシール２４により外周をシールされた状態で設置
台２２に設置される。シール２４は、検査対象である被
検体２０の形状に合わせて種々の形状を取ることができ
る。設置台２２がこのように構成されているので微粒子
導入口６を通った微粒子は総て被検体２０内へ導入され
る。
６につながる開口部を有する設置台２２が、被検体２０
を着脱可能に設置できるように設けられている。被検体
２０はシール２４により外周をシールされた状態で設置
台２２に設置される。シール２４は、検査対象である被
検体２０の形状に合わせて種々の形状を取ることができ
る。設置台２２がこのように構成されているので微粒子
導入口６を通った微粒子は総て被検体２０内へ導入され
る。
【００２７】 被検体２０の上方には、上下に移動可能
なようにシリンダー３５と連結されたフード３４が備え
られており、検査時にはフード３４は下方へ移動し、被
検体２０から排出される微粒子の流れを乱す外乱、例え
ば風などを防止する。
なようにシリンダー３５と連結されたフード３４が備え
られており、検査時にはフード３４は下方へ移動し、被
検体２０から排出される微粒子の流れを乱す外乱、例え
ば風などを防止する。
【００２８】 更に被検体２０の上方には光発生装置３
０としてレーザー光発生装置が備えられている。指向性
の強い光発生手段であるレーザー光発生装置も上下動が
可能なように備えられることが好ましく、検査時には光
が排出面の直上から５ｍｍまで、更に好ましくは排出面
の直上から３ｍｍまでの範囲内を通過するように備えら
れることが好ましい。光が、被検体２０の微粒子排出面
５４と平行に面状に通過するように光を拡散させるた
め、光発生装置３０の前にレンズ３２が備えられてい
る。図１において、光発生装置として、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザー光発生装置が備えられているが、本発明の光発生手
段には特に限定はなく、本方法の微粒子発生手段により
発生させられる微粒子により乱反射される波長の指向性
の強い光であればよいが、レーザー光が好ましく、例え
ば固体レーザー、気体レーザー、半導体レーザー、色素
レーザー、エキシマレーザー、自由電子レーザーなどの
光発生手段を備えていることが好ましい。このような光
発生手段から発生する光は、例えば６５０ｎｍ程度の赤
色レーザー光、５３２ｎｍ程度の緑色レーザー光、４０
０ｎｍ程度の紫色レーザー光などがある。
０としてレーザー光発生装置が備えられている。指向性
の強い光発生手段であるレーザー光発生装置も上下動が
可能なように備えられることが好ましく、検査時には光
が排出面の直上から５ｍｍまで、更に好ましくは排出面
の直上から３ｍｍまでの範囲内を通過するように備えら
れることが好ましい。光が、被検体２０の微粒子排出面
５４と平行に面状に通過するように光を拡散させるた
め、光発生装置３０の前にレンズ３２が備えられてい
る。図１において、光発生装置として、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザー光発生装置が備えられているが、本発明の光発生手
段には特に限定はなく、本方法の微粒子発生手段により
発生させられる微粒子により乱反射される波長の指向性
の強い光であればよいが、レーザー光が好ましく、例え
ば固体レーザー、気体レーザー、半導体レーザー、色素
レーザー、エキシマレーザー、自由電子レーザーなどの
光発生手段を備えていることが好ましい。このような光
発生手段から発生する光は、例えば６５０ｎｍ程度の赤
色レーザー光、５３２ｎｍ程度の緑色レーザー光、４０
０ｎｍ程度の紫色レーザー光などがある。
【００２９】 被検体２０の更に上方には、乱反射した
レーザー光を撮影し記録できるように記録手段としてモ
ニター３８に接続されたＣＣＤカメラ３６が垂直下向き
に設置されている。記録手段としては、ＣＣＤカメラの
他に、写真機、光学ビデオカメラなどを用いることもで
きる。更に、ＣＣＤカメラ３６のレンズの垂直下方には
カメラレンズに微粒子が付着するのを防ぐように正圧を
かけることができるエアーパージ機構３７が備えられて
いる。
レーザー光を撮影し記録できるように記録手段としてモ
ニター３８に接続されたＣＣＤカメラ３６が垂直下向き
に設置されている。記録手段としては、ＣＣＤカメラの
他に、写真機、光学ビデオカメラなどを用いることもで
きる。更に、ＣＣＤカメラ３６のレンズの垂直下方には
カメラレンズに微粒子が付着するのを防ぐように正圧を
かけることができるエアーパージ機構３７が備えられて
いる。
【００３０】
【実施例】 以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。尚、以下の試験において、直径１５０ｍ
ｍ、長さ１５０ｍｍの円筒形であって、セル密度が４０
個／ｃｍ2であり、ディーゼルパーティキュレートフィ
ルターとして用いられる多孔質のハニカム構造体（以下
フィルターと略す）を評価用被検体として用いた。ま
た、実施例及び比較例には３個の上記フィルター
（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）を用いた。
に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。尚、以下の試験において、直径１５０ｍ
ｍ、長さ１５０ｍｍの円筒形であって、セル密度が４０
個／ｃｍ2であり、ディーゼルパーティキュレートフィ
ルターとして用いられる多孔質のハニカム構造体（以下
フィルターと略す）を評価用被検体として用いた。ま
た、実施例及び比較例には３個の上記フィルター
（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）を用いた。
【００３１】 （欠陥の種類と排出される微粒子の粒度
分布との関係）各々直径０．１ｍｍの円形、直径０．３
ｍｍの円形及び０．８ｍｍ×２ｍｍの長方形の欠陥のあ
る流通孔（セル）及び欠陥のないセル（正常セル）を有
するフィルターを用意し、図３に示される装置を用い
て、パーティクルカウンタにより欠陥セルを通った微粒
子を吸引し、吸引した微粒子の粒度分布を測定した。図
４に欠陥６２の種類と、欠陥セルを通って微粒子排出面
５４へ排出される微粒子の粒度分布の測定例を示す。欠
陥セルより排出される微粒子の個数は０．３〜１μｍの
範囲では正常セルより少なかったが、より多くの乱反射
光を発する１〜１０μｍの範囲では正常セルより多かっ
た。従って、検査対象が上記フィルターであり、対象と
する欠陥の径が０．１〜０．８ｍｍ程度であれば、１〜
１０μｍ程度の粒子径の微粒子が欠陥の検出に適切であ
ることが判った。
分布との関係）各々直径０．１ｍｍの円形、直径０．３
ｍｍの円形及び０．８ｍｍ×２ｍｍの長方形の欠陥のあ
る流通孔（セル）及び欠陥のないセル（正常セル）を有
するフィルターを用意し、図３に示される装置を用い
て、パーティクルカウンタにより欠陥セルを通った微粒
子を吸引し、吸引した微粒子の粒度分布を測定した。図
４に欠陥６２の種類と、欠陥セルを通って微粒子排出面
５４へ排出される微粒子の粒度分布の測定例を示す。欠
陥セルより排出される微粒子の個数は０．３〜１μｍの
範囲では正常セルより少なかったが、より多くの乱反射
光を発する１〜１０μｍの範囲では正常セルより多かっ
た。従って、検査対象が上記フィルターであり、対象と
する欠陥の径が０．１〜０．８ｍｍ程度であれば、１〜
１０μｍ程度の粒子径の微粒子が欠陥の検出に適切であ
ることが判った。
【００３２】 （実施例１）図１に示された被検体の欠
陥の検査装置の設置台２２にフィルター（ａ）を、シー
ル２４を用いて設置した。次に線香を燃焼させ、図５に
示される粒度分布の微粒子を発生させた。微粒子濃度が
３００個／ｃｃとなったところで、加圧機構１０により
１０Ｐａで加圧し、微粒子をフィルター（ａ）に導入し
た。光生装置３０としてＨｅ−Ｎｅレーザー光発生器を
用い、レンズ３２を介してレーザー光を発生させ、フィ
ルター（ａ）の３ｍｍ上方をフィルター（ａ）の上面
（微粒子排出面５４）と略平行に面状にレーザー光を通
過させた。排出された微粒子により乱反射したレーザー
光をＣＣＤカメラ３６により撮影し、モニター３８によ
り観察し記録した。検査開始から撮影までの時間は５秒
だった。また、検査後に後処理を行わなくてもフィルタ
ーとしての機能は損なわれていなかった。撮影された画
像を図６（ａ）に示した。図６（ａ）において、明るく
見える部分が、微粒子によりレーザー光がより多く乱反
射された箇所であり、この部分から大きな微粒子が多く
排出されたこと、即ちこの部分に欠陥があったことを示
している。
陥の検査装置の設置台２２にフィルター（ａ）を、シー
ル２４を用いて設置した。次に線香を燃焼させ、図５に
示される粒度分布の微粒子を発生させた。微粒子濃度が
３００個／ｃｃとなったところで、加圧機構１０により
１０Ｐａで加圧し、微粒子をフィルター（ａ）に導入し
た。光生装置３０としてＨｅ−Ｎｅレーザー光発生器を
用い、レンズ３２を介してレーザー光を発生させ、フィ
ルター（ａ）の３ｍｍ上方をフィルター（ａ）の上面
（微粒子排出面５４）と略平行に面状にレーザー光を通
過させた。排出された微粒子により乱反射したレーザー
光をＣＣＤカメラ３６により撮影し、モニター３８によ
り観察し記録した。検査開始から撮影までの時間は５秒
だった。また、検査後に後処理を行わなくてもフィルタ
ーとしての機能は損なわれていなかった。撮影された画
像を図６（ａ）に示した。図６（ａ）において、明るく
見える部分が、微粒子によりレーザー光がより多く乱反
射された箇所であり、この部分から大きな微粒子が多く
排出されたこと、即ちこの部分に欠陥があったことを示
している。
【００３３】 （実施例２及び３）フィルター（ｂ）及
び（ｃ）について、実施例１と同様の検査を行った。検
査開始から撮影までの時間は５秒だった。また、検査後
に後処理を行わなくてもフィルターとしての機能は損な
われていなかった。撮影した画像をそれぞれ図６（ｂ）
及び図６（ｃ）に示した。
び（ｃ）について、実施例１と同様の検査を行った。検
査開始から撮影までの時間は５秒だった。また、検査後
に後処理を行わなくてもフィルターとしての機能は損な
われていなかった。撮影した画像をそれぞれ図６（ｂ）
及び図６（ｃ）に示した。
【００３４】 （比較例１〜３）フィルター（ａ）〜
（ｃ）についてスートプリント法により検査を行った。
検査開始からスートプリントができるまでの時間は５分
だった。検査後各フィルター内には大量のすすが付着
し、これを約８時間かけて加熱燃焼させ取り除く必要が
あった。得られたスートプリントの像をそれぞれ図７
（ａ）、図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示した。
（ｃ）についてスートプリント法により検査を行った。
検査開始からスートプリントができるまでの時間は５分
だった。検査後各フィルター内には大量のすすが付着
し、これを約８時間かけて加熱燃焼させ取り除く必要が
あった。得られたスートプリントの像をそれぞれ図７
（ａ）、図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示した。
【００３５】 図６（本発明の方法）と図７（従来のス
ートプリント法）を比較すると、非常によい一致が見ら
れ、本発明の方法の信頼性が確認された。また、本発明
の方法により得られた画像のほうがセル単位の明暗が鮮
明に示され、より高感度に、欠陥場所の特定ができた。
ートプリント法）を比較すると、非常によい一致が見ら
れ、本発明の方法の信頼性が確認された。また、本発明
の方法により得られた画像のほうがセル単位の明暗が鮮
明に示され、より高感度に、欠陥場所の特定ができた。
【００３６】
【発明の効果】 本発明の方法及び装置を用いることに
より、外部から欠陥の確認できない形状の被検体であっ
ても、欠陥を感度よく検出することができた。また、欠
陥場所の特定が容易となり、欠陥場所の記録が容易にで
きるようになった。更に、検査時間及び検査前後の前処
理、後処理時間が短く又は不要となった。
より、外部から欠陥の確認できない形状の被検体であっ
ても、欠陥を感度よく検出することができた。また、欠
陥場所の特定が容易となり、欠陥場所の記録が容易にで
きるようになった。更に、検査時間及び検査前後の前処
理、後処理時間が短く又は不要となった。
【図１】 本発明の好適な装置の模式図である。
【図２】 本発明の原理を示す模式図である。
【図３】 欠陥の種類と排出される微粒子の粒度分布と
の関係を調べる装置の模式図である。
の関係を調べる装置の模式図である。
【図４】 図３の装置を用いて得られた結果の一例を示
すグラフである。
すグラフである。
【図５】 線香を燃焼させることにより発生した微粒子
の粒度分布を示すグラフである。
の粒度分布を示すグラフである。
【図６】 実施例１〜３で得られた被検体の欠陥場所の
画像を示す図である。
画像を示す図である。
【図７】 比較例１〜３で得られた被検体の欠陥場所の
画像を示す図である。
画像を示す図である。
【図８】 ハニカム構造体の一例を示す斜視図である。
１…粒子室、３…線香台、４…線香、６…微粒子導入
口、８…微粒子循環口、９…微粒子循環管、１０…加圧
機構、１１…圧力計、１３…微粒子濃度計、１６…微粒
子導入口蓋、１７…シリンダー、２０…被検体、２２…
設置台、２４…シール、３０…光発生装置、３２…レン
ズ、３４…フード、３５…シリンダー、３６…ＣＣＤカ
メラ、３７…エアーパージ機構、３８…モニター、５４
…微粒子排出面、５６…流通孔、５８…隔壁、６０…封
止部、６２…欠陥部。
口、８…微粒子循環口、９…微粒子循環管、１０…加圧
機構、１１…圧力計、１３…微粒子濃度計、１６…微粒
子導入口蓋、１７…シリンダー、２０…被検体、２２…
設置台、２４…シール、３０…光発生装置、３２…レン
ズ、３４…フード、３５…シリンダー、３６…ＣＣＤカ
メラ、３７…エアーパージ機構、３８…モニター、５４
…微粒子排出面、５６…流通孔、５８…隔壁、６０…封
止部、６２…欠陥部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB02 BA04 BA10 CA03 CB01 3G091 AA18 AA28 AB01 AB13 BA31 FC02 GA06 GA20 GA21 4D058 JA32 SA08 UA16
Claims (16)
- 【請求項１】 欠陥を検出する検査方法であって、 微粒子を発生させた後、 発生させた前記微粒子を前記被検体内へ導入し、 次いで、前記被検体の近傍を通過するように指向性の強
い光を発生させて、前記光が、前記被検体から排出され
る前記微粒子を照射して微粒子を可視化することを特徴
とする欠陥を検出する検査方法。 - 【請求項２】 前記光を面状に発生させて、欠陥を二次
元的に検出することを特徴とする請求項１に記載の欠陥
を検出する検査方法。 - 【請求項３】 可視化検出された微粒子像をカメラによ
り記録することを特徴とする請求項１又は２に記載の欠
陥を検出する検査方法。 - 【請求項４】 発生させる前記微粒子の粒子径が０．３
〜２００μｍであることを特徴とする請求項１乃至３の
何れか１項に記載の欠陥を検出する検査方法。 - 【請求項５】 前記被検体が、多孔質体であることを特
徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の欠陥を検
出する検査方法。 - 【請求項６】 前記被検体が、ハニカム構造体であるこ
とを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の欠
陥を検出する検査方法。 - 【請求項７】 前記ハニカム構造体がディーゼルパーテ
ィキュレートフィルターであることを特徴とする請求項
６に記載の欠陥を検出する検査方法。 - 【請求項８】 前記微粒子排出面近傍を微粒子排出面と
略平行に通過するように、光を発生させることを特徴と
する請求項６又は７に記載の欠陥を検出する検査方法。 - 【請求項９】 欠陥を検出する検査装置であって、 微粒子を発生させる微粒子発生手段と、 前記微粒子発生手段で発生させた微粒子を被検体内へ導
入する微粒子導入手段と、 前記被検体近傍を通過し、前記被検体から排出される微
粒子に照射し、前記微粒子を可視化するように指向性の
強い光を発生させる光発生手段とを備えたことを特徴と
する欠陥を検出する検査装置。 - 【請求項１０】 前記光発生手段が面状に光を発生させ
る手段であることを特徴とする請求項９に記載の欠陥を
検出する検査装置。 - 【請求項１１】 可視化検出された微粒子像を記録する
記録手段を更に備えることを特徴とする請求項９又は１
０に記載の欠陥を検出する検査装置。 - 【請求項１２】 前記微粒子発生手段が０．３〜２００
μｍの粒子径を有する微粒子を発生させる手段であるこ
とを特徴とする請求項９乃至１１の何れか１項に記載の
欠陥を検出する検査装置。 - 【請求項１３】 前記被検体が多孔質体であることを特
徴とする請求項９乃至１２の何れか１項に記載の欠陥を
検出する検査装置。 - 【請求項１４】 前記被検体がハニカム構造体であるこ
とを特徴とする請求項９乃至１３の何れか１項に記載の
欠陥を検出する検査装置。 - 【請求項１５】 前記ハニカム構造体がディーゼルパー
ティキュレートフィルターであることを特徴とする請求
項１４に記載の欠陥を検出する検査装置。 - 【請求項１６】 ハニカム構造体の微粒子排出面と略平
行に通過するように光を発生させる光発生手段を備える
ことを特徴とする請求項１４又は１５に記載の欠陥を検
出する検査装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002018474A JP3904933B2 (ja) | 2001-03-30 | 2002-01-28 | 欠陥を検出する検査方法及び検査装置 |
| CNB028009770A CN100468031C (zh) | 2001-03-30 | 2002-02-12 | 检测缺陷的检查方法及检查装置 |
| US10/258,961 US7012678B2 (en) | 2001-03-30 | 2002-02-12 | Inspection method and inspection apparatus for detecting defects |
| EP02711443.8A EP1296125B1 (en) | 2001-03-30 | 2002-02-12 | Inspection method for detecting defects |
| PCT/JP2002/001120 WO2002082035A1 (fr) | 2001-03-30 | 2002-02-12 | Procede et dispositif d'inspection destines a la detection de defauts |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001101182 | 2001-03-30 | ||
| JP2001-101182 | 2001-03-30 | ||
| JP2002018474A JP3904933B2 (ja) | 2001-03-30 | 2002-01-28 | 欠陥を検出する検査方法及び検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002357562A true JP2002357562A (ja) | 2002-12-13 |
| JP3904933B2 JP3904933B2 (ja) | 2007-04-11 |
Family
ID=26612839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002018474A Expired - Lifetime JP3904933B2 (ja) | 2001-03-30 | 2002-01-28 | 欠陥を検出する検査方法及び検査装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP1296125B1 (ja) |
| JP (1) | JP3904933B2 (ja) |
| CN (1) | CN100468031C (ja) |
| WO (1) | WO2002082035A1 (ja) |
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